JPS5848235A - 光学ヘツド - Google Patents
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- JPS5848235A JPS5848235A JP56146540A JP14654081A JPS5848235A JP S5848235 A JPS5848235 A JP S5848235A JP 56146540 A JP56146540 A JP 56146540A JP 14654081 A JP14654081 A JP 14654081A JP S5848235 A JPS5848235 A JP S5848235A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1359—Single prisms
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
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- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
- G11B7/0916—Foucault or knife-edge methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明線、たとえば光ディスク、ピデイオディスク等の
情報記憶媒体に集光したレーデ−光を照射するヒとによ
〉少くとも情報を読取ることが可能な再生ないし祉記録
再生装置岬に適用し得る光学ヘッドに関する。
情報記憶媒体に集光したレーデ−光を照射するヒとによ
〉少くとも情報を読取ることが可能な再生ないし祉記録
再生装置岬に適用し得る光学ヘッドに関する。
一般に、光ディスク、ピデイオディスク等の情報記憶媒
体の記録層ないしは光反射層としての情報形成層の所に
集光したレーザー光のビームウェス゛ト(最も絞れた部
分)が来るように焦点の調節を行なう方法として、記録
層ないしは光反射層としての情報形成層上でのレーデ−
光の焦点ぼけを検知して、この検知信号により対物レン
ズを移動させて焦点を合せるようにしている。
体の記録層ないしは光反射層としての情報形成層の所に
集光したレーザー光のビームウェス゛ト(最も絞れた部
分)が来るように焦点の調節を行なう方法として、記録
層ないしは光反射層としての情報形成層上でのレーデ−
光の焦点ぼけを検知して、この検知信号により対物レン
ズを移動させて焦点を合せるようにしている。
従来、記録層ないし線光反射層としての情報形成層上で
のレーデ−光の焦点ぼけを検知する方法の0代表的な亀
のとして、情報記憶媒体の情味形成層から反射して対物
レンズを通過し九レーデー光の反射光路上に凸レンズか
らなる検知系光学レンズおよび検知部がたとえば同心円
的に複数に分割された光検出器を′順次配置し、光検出
器に照射されたときのレーデ−光のスポットサイズ(面
積)を検知する方法がある。
のレーデ−光の焦点ぼけを検知する方法の0代表的な亀
のとして、情報記憶媒体の情味形成層から反射して対物
レンズを通過し九レーデー光の反射光路上に凸レンズか
らなる検知系光学レンズおよび検知部がたとえば同心円
的に複数に分割された光検出器を′順次配置し、光検出
器に照射されたときのレーデ−光のスポットサイズ(面
積)を検知する方法がある。
しかしながら、情報記録媒体の記録層ないしは光反射層
としての情報形成層0表面に微細な凹凸がある場合には
、そζから反射したレーデ−光に杜回折が生じ、光検出
器上でのスポットの中に回折/#ターンが現われる。厳
密に言えばこの回折a4ターンは一般に対称形をしてい
ない。
としての情報形成層0表面に微細な凹凸がある場合には
、そζから反射したレーデ−光に杜回折が生じ、光検出
器上でのスポットの中に回折/#ターンが現われる。厳
密に言えばこの回折a4ターンは一般に対称形をしてい
ない。
そのため、との回折I譬ターンの影響によ多焦点がぼけ
ているように誤って検知してしまうことがある。
ているように誤って検知してしまうことがある。
そζで、第1図fO(ロ)0で示すように、情報形成層
aから反射して対物レン)ebを通過した光ビームの反
射光路eの途中に、この光軸に関して非対称に抜出す光
抜出部材(ナイフウエツデ)dルンズ・、および2つの
光検出セルf2gを有した光検出器りを設け、従来のよ
うに光検出器O所のスポットサイズによって焦点ぼけを
検知するのではなく、光検出器り上でのビームス−ット
1の移動(矢印j方向)として焦点ぼけを検知すること
によ〕回折の影響を受けにくいようkしたものi考えら
れるに至った。
aから反射して対物レン)ebを通過した光ビームの反
射光路eの途中に、この光軸に関して非対称に抜出す光
抜出部材(ナイフウエツデ)dルンズ・、および2つの
光検出セルf2gを有した光検出器りを設け、従来のよ
うに光検出器O所のスポットサイズによって焦点ぼけを
検知するのではなく、光検出器り上でのビームス−ット
1の移動(矢印j方向)として焦点ぼけを検知すること
によ〕回折の影響を受けにくいようkしたものi考えら
れるに至った。
なお、第2図の集線で示すように、焦点があっている場
合に紘「0」となシ、また、対物レン、ebと情報形成
層aとが近づいて上側の光検出セルgにビームスポット
iが尚っでマイナスの信号が、また、対物レン、ebと
情報形成層1とが離れすぎて下側の光検出セルfにビー
ムスポット°lが轟ってグラス信号が得られるようにな
っている。
合に紘「0」となシ、また、対物レン、ebと情報形成
層aとが近づいて上側の光検出セルgにビームスポット
iが尚っでマイナスの信号が、また、対物レン、ebと
情報形成層1とが離れすぎて下側の光検出セルfにビー
ムスポット°lが轟ってグラス信号が得られるようにな
っている。
しかしながら、第1図e→の2点鎖線で示すように対物
レン、+ebと情報形成層aとの距離がある値よシ離れ
すぎるとビームスポット1は光検出器り上で中心線よシ
上にきてしまい、第2図の破線で示すようにあたかも対
物レンズbと情報形成層aとが近づきすぎた状態と同じ
マイナスの信号が出力されるといった重大な問題がある
。
レン、+ebと情報形成層aとの距離がある値よシ離れ
すぎるとビームスポット1は光検出器り上で中心線よシ
上にきてしまい、第2図の破線で示すようにあたかも対
物レンズbと情報形成層aとが近づきすぎた状態と同じ
マイナスの信号が出力されるといった重大な問題がある
。
一方、トラッキングずれの検知方法としては従来反射光
を2分して焦点ずれ検出用光学系とは別個の光学系を用
いて検出するようにしてお〕、光学ヘッドの構造が複雑
になシ大製で重量も重く、シかもコストが高くなるとい
った問題を有している。
を2分して焦点ずれ検出用光学系とは別個の光学系を用
いて検出するようにしてお〕、光学ヘッドの構造が複雑
になシ大製で重量も重く、シかもコストが高くなるとい
った問題を有している。
本発明は、上記事情にもとづきなされた°もので、その
目的とするところ紘、1個の光検出器で焦点ぼけ検出と
トラックずれ検出が同時に可能でアシ、シかも非常に安
定した検知が得られる光学ヘッドを提供しようとするも
のである。
目的とするところ紘、1個の光検出器で焦点ぼけ検出と
トラックずれ検出が同時に可能でアシ、シかも非常に安
定した検知が得られる光学ヘッドを提供しようとするも
のである。
以下、本発明を第3図〜第9図に示す一実施例を参照し
て説明する。第3図は光ディスクないし祉ビディオディ
スクを情報記憶媒体とし、半導体レーデ−を光学ヘッド
に用い九情報記録・再生装置を示し、図中・1は媒体駆
動装置2によって回転駆動される情報記憶媒体で、s#
′iこの情報記憶一体1.0片面側に対向かつ図示しな
いヘッド移動機構によ〉情報記憶媒体10牛径方向(第
3図において前後方向)に往復動自在な光学ヘッドであ
る。
て説明する。第3図は光ディスクないし祉ビディオディ
スクを情報記憶媒体とし、半導体レーデ−を光学ヘッド
に用い九情報記録・再生装置を示し、図中・1は媒体駆
動装置2によって回転駆動される情報記憶媒体で、s#
′iこの情報記憶一体1.0片面側に対向かつ図示しな
いヘッド移動機構によ〉情報記憶媒体10牛径方向(第
3図において前後方向)に往復動自在な光学ヘッドであ
る。
上記情報記憶媒体1は、円板状に成形され、その片面に
記録層ないしは光反射層としての情報形成層4が形成さ
れた2枚の透明基板6.5を、上記情報形成層4.4が
互いに内−になる状態かつ情報形成層4.4の相互対向
面間に空間部が形成さ−れるよう内外ス(−サσ、およ
び外側スペーサ1を介在させた状態で貼合せたものであ
)、情報形成層4が形成された箇所には後述する゛トラ
ッキングIイPが、また、その中央部には回転中心孔(
図示しない)が形成されている。
記録層ないしは光反射層としての情報形成層4が形成さ
れた2枚の透明基板6.5を、上記情報形成層4.4が
互いに内−になる状態かつ情報形成層4.4の相互対向
面間に空間部が形成さ−れるよう内外ス(−サσ、およ
び外側スペーサ1を介在させた状態で貼合せたものであ
)、情報形成層4が形成された箇所には後述する゛トラ
ッキングIイPが、また、その中央部には回転中心孔(
図示しない)が形成されている。
また、この情報記憶媒体1を回転駆動する媒体駆動装置
1は、図示しないモータの駆動軸と一体の回転軸8と、
この回転軸8に装着され駆動軸8の軸心線に対して直角
な水平支持面を有し情報記憶媒体1の中央部下間を支承
する回転支持体、りと、上記回転軸8の上端部に装着さ
れる押え具10とを有している。そして、情報記憶媒体
10回転中心孔を回転軸1に嵌合させ径方向の位置決め
を行なうとともに回転支持体−と押え具10とで情報記
憶媒体1の中央部を挾持して面方向の・動電を規制する
構成となっている。
1は、図示しないモータの駆動軸と一体の回転軸8と、
この回転軸8に装着され駆動軸8の軸心線に対して直角
な水平支持面を有し情報記憶媒体1の中央部下間を支承
する回転支持体、りと、上記回転軸8の上端部に装着さ
れる押え具10とを有している。そして、情報記憶媒体
10回転中心孔を回転軸1に嵌合させ径方向の位置決め
を行なうとともに回転支持体−と押え具10とで情報記
憶媒体1の中央部を挾持して面方向の・動電を規制する
構成となっている。
また、光学ヘッド3はつぎのような構成となっている。
すなわち、光学ヘッド3内には光ビームとしてのレーデ
−光11を水平方向に発振する半導体レーデ−発振器1
2が設けられておシ、この半導体レーデ−発振器12の
横方向にはカップリングレンズ13、および偏光ビーム
スグリツタJ5が順次配置されている。さらに、偏光ビ
ームスグリツタ15の上方にはλ/4板1g。
−光11を水平方向に発振する半導体レーデ−発振器1
2が設けられておシ、この半導体レーデ−発振器12の
横方向にはカップリングレンズ13、および偏光ビーム
スグリツタJ5が順次配置されている。さらに、偏光ビ
ームスグリツタ15の上方にはλ/4板1g。
および対物レンズ11が順次配置されている。
また、偏光ビームスプリッタ15の下方に紘ハーフミラ
−18が45度の角度に配置されておシ、偏光ビームス
グリツタ15を通過した光を2分割して読取り用光学系
1gと焦点ぼけΦトラックずれ検知用光学系20に振分
けるようになっている。上記読取シ用光学系1gはハー
フ書う−18の横方向に順次配置されたレン、f21お
よび読取ル用光検出器22を有し九構成となっている。
−18が45度の角度に配置されておシ、偏光ビームス
グリツタ15を通過した光を2分割して読取り用光学系
1gと焦点ぼけΦトラックずれ検知用光学系20に振分
けるようになっている。上記読取シ用光学系1gはハー
フ書う−18の横方向に順次配置されたレン、f21お
よび読取ル用光検出器22を有し九構成となっている。
まえ、焦点ぼけ・トラックずれ検知用光学系20は、ハ
ーフ$7−18の下方に順次配置された光軸の中心から
ずれた位置にある一部の光の・みを抜出す光抜出し部材
としてナイフクエツデからなる遮光板23、検知系光学
レンズJ4aJ J 4 bs 1j−j l、およ
びミツ−25の横方向に、光検出@211を有した構成
となっている。上記光検出器26は第4図0)に示すよ
うに情報形成層4の存在する位置と集光したレーザー光
11のビームウェストの位置とが一致しているときの情
報形成層4に対する2つの光学的結像点PtePm(レ
ーデ−光11の集光点)のうち情報形成層4に対して遠
くの位置にある結像点P3の位置に設けられているとと
もKjiS図に示すように反射光の母線に中心を合せ、
その真下に第1の光検出セル2#亀、真上に第2の光検
出セル2#b1左横に第3の光検出セル26@、右横に
第4の光検出セル2#dを配置した構成となっている。
ーフ$7−18の下方に順次配置された光軸の中心から
ずれた位置にある一部の光の・みを抜出す光抜出し部材
としてナイフクエツデからなる遮光板23、検知系光学
レンズJ4aJ J 4 bs 1j−j l、およ
びミツ−25の横方向に、光検出@211を有した構成
となっている。上記光検出器26は第4図0)に示すよ
うに情報形成層4の存在する位置と集光したレーザー光
11のビームウェストの位置とが一致しているときの情
報形成層4に対する2つの光学的結像点PtePm(レ
ーデ−光11の集光点)のうち情報形成層4に対して遠
くの位置にある結像点P3の位置に設けられているとと
もKjiS図に示すように反射光の母線に中心を合せ、
その真下に第1の光検出セル2#亀、真上に第2の光検
出セル2#b1左横に第3の光検出セル26@、右横に
第4の光検出セル2#dを配置した構成となっている。
なお、21は対物レンズ11を上下方向(すなわち情報
記憶媒体1の下面に接離する方向)に移動させるがイス
フィルfi7オーカスモータ等のレンズ駆動装置である
。
記憶媒体1の下面に接離する方向)に移動させるがイス
フィルfi7オーカスモータ等のレンズ駆動装置である
。
一方、検知系光学レン、ez4*Id球面レンズ、検知
系光学レンズJJbはシリンドリカルレンズからな)、
シリンドリカルレンズj4bの母線の方向は焦点は秒時
の移動方向(矢印入方向)に対して直角、トラックずれ
方向(矢印B方向)と平行に表っているとともに光検出
器26の位置を情報記憶媒体1の情報形成層4に対する
遠い方の結像点p、の位置に配置する。そうすることに
よシ焦点はけ検出方向と直角な方向で紘レーザー光11
aは第4図に)で示すような軌跡を描くととになシ、光
検出器26上でのビームスボッ)JJaは第5図に示す
ように焦点埋は検出時のビームスポットIImの移動方
向(矢印入方向)と直交する方向が長軸となる楕円形を
呈している。一方、トラックずれ検出方向から見ると情
報形成層4に対する結像点は光検出a1′″!11から
離れ九位置P1の位置に存在し、光検出器2#上で唸第
6図に示すように情報形成層4上でのトラッキングガイ
ドの回折ノfターンSOが観察される仁とになる。
系光学レンズJJbはシリンドリカルレンズからな)、
シリンドリカルレンズj4bの母線の方向は焦点は秒時
の移動方向(矢印入方向)に対して直角、トラックずれ
方向(矢印B方向)と平行に表っているとともに光検出
器26の位置を情報記憶媒体1の情報形成層4に対する
遠い方の結像点p、の位置に配置する。そうすることに
よシ焦点はけ検出方向と直角な方向で紘レーザー光11
aは第4図に)で示すような軌跡を描くととになシ、光
検出器26上でのビームスボッ)JJaは第5図に示す
ように焦点埋は検出時のビームスポットIImの移動方
向(矢印入方向)と直交する方向が長軸となる楕円形を
呈している。一方、トラックずれ検出方向から見ると情
報形成層4に対する結像点は光検出a1′″!11から
離れ九位置P1の位置に存在し、光検出器2#上で唸第
6図に示すように情報形成層4上でのトラッキングガイ
ドの回折ノfターンSOが観察される仁とになる。
しかして、半導体レーデ−発振器12から発振し九レー
ザー光11はカップリングレンズ13によ〕平行光にな
シ、その後偏光ビームスデリック15で上方に偏光され
る。この偏光された光はλ/4−板16を通過すること
によシ直線偏光光が円偏光になったのち対物レン、e1
1によシ情報記憶媒体1上の記録層ないしは光反射層と
しての情報形成層4に集光される。
ザー光11はカップリングレンズ13によ〕平行光にな
シ、その後偏光ビームスデリック15で上方に偏光され
る。この偏光された光はλ/4−板16を通過すること
によシ直線偏光光が円偏光になったのち対物レン、e1
1によシ情報記憶媒体1上の記録層ないしは光反射層と
しての情報形成層4に集光される。
このとき、情報形成層4が記録層である場合にはレーザ
ー光11の照射エネルゼーを所定値以上とすることによ
シ情報形成層4にビット(jc)の形成等の状態変化が
起ζシ、情報の記録が行なわれることになる。
ー光11の照射エネルゼーを所定値以上とすることによ
シ情報形成層4にビット(jc)の形成等の状態変化が
起ζシ、情報の記録が行なわれることになる。
一方、情報形成層4からの反射光はφ板16で円偏光か
ら直線偏光となシ、この光は偏光ビ−ムスグリッタ16
内を直進して下方に抜け、ハーフさラー18を通過して
焦点ばけ・トラックずれ検知用光学系ZaK導びかれる
。ζこで、後述するように情報形成層4上でのレーザー
光11の焦点ぼけおよびトラックずれが光検出器26の
第1ないし第4の光検出セ′AI21j ayj#dで
の光検出量の差によって検知される。すなわち、第3図
に示すように偏光ビームスlリッタ15を通過した後の
反射光路の途中に光軸に関して非対称、すなわち光軸の
中心からずれた位置にある光の一部11aのみを光抜出
し部材としての遮光板23によシ抜出し、検知系光学し
7、e:14*、24bを通した後、電ツー25で方向
を変えて光検出器26に当てるようにした場合、情報形
成層4上のレーデ−光11の焦点がぼけるとミラー25
で反射された光が光検出器2槍の中心°位置から上下方
向に移動する。
ら直線偏光となシ、この光は偏光ビ−ムスグリッタ16
内を直進して下方に抜け、ハーフさラー18を通過して
焦点ばけ・トラックずれ検知用光学系ZaK導びかれる
。ζこで、後述するように情報形成層4上でのレーザー
光11の焦点ぼけおよびトラックずれが光検出器26の
第1ないし第4の光検出セ′AI21j ayj#dで
の光検出量の差によって検知される。すなわち、第3図
に示すように偏光ビームスlリッタ15を通過した後の
反射光路の途中に光軸に関して非対称、すなわち光軸の
中心からずれた位置にある光の一部11aのみを光抜出
し部材としての遮光板23によシ抜出し、検知系光学し
7、e:14*、24bを通した後、電ツー25で方向
を変えて光検出器26に当てるようにした場合、情報形
成層4上のレーデ−光11の焦点がぼけるとミラー25
で反射された光が光検出器2槍の中心°位置から上下方
向に移動する。
参照して説明する。すなわち、第6図6)で示すように
情報形成層4に対してレーザー光11のつ九反射光は光
軸と平行とな〕、遮光板2sを通った光111のビーム
スポット11aは光検出器26の中心位置にある。とこ
ろが、第6図(ロ)で示すように情報形成層4と対物レ
ンズ、11とが接近しすぎて焦点が合わない場合には対
物レンズ11を通った反射光は光軸から徐々に離れるよ
う外方に広がシ、遮光板23を通った光11aのビーム
スポット1.1&は中心位置よシ上方に設−けられた第
2の検出セルxsb上に当る。また、これとは逆に第6
図(ハ)で示すように情報形成層4と対物レンズ17と
が離れすぎて焦点が合わない場合には対物レンズ11を
通った反射光は光軸に徐々に近づくよう内方に絞られた
状態となシ、遮光板23を通った光11aのげ−ムスI
ット11&は中心位置よシ下方に設けられた第1の検出
セル2εa上に多く当ることになる。
情報形成層4に対してレーザー光11のつ九反射光は光
軸と平行とな〕、遮光板2sを通った光111のビーム
スポット11aは光検出器26の中心位置にある。とこ
ろが、第6図(ロ)で示すように情報形成層4と対物レ
ンズ、11とが接近しすぎて焦点が合わない場合には対
物レンズ11を通った反射光は光軸から徐々に離れるよ
う外方に広がシ、遮光板23を通った光11aのビーム
スポット1.1&は中心位置よシ上方に設−けられた第
2の検出セルxsb上に当る。また、これとは逆に第6
図(ハ)で示すように情報形成層4と対物レンズ17と
が離れすぎて焦点が合わない場合には対物レンズ11を
通った反射光は光軸に徐々に近づくよう内方に絞られた
状態となシ、遮光板23を通った光11aのげ−ムスI
ット11&は中心位置よシ下方に設けられた第1の検出
セル2εa上に多く当ることになる。
したがって、情報形成層4.と対物レンjelf/との
間隔がある一定に保たれて焦点、が合っている場合には
、第1の光検出セルJ+laと第2の光検出セルxti
bの光検出゛量線ともにほとん2・零もしく拡間レベル
になシ、情報形成層4と対物レン、e11とが接近して
焦点ぼけが生じる場合に拡止側の第20光検出セルzg
bの出力レベルが下側の第10光検出七ル26aの出力
レベルよシ大きく、また、逆に離れて焦点ばけが生じる
場合には下側O第1の光検出セルJ4faの出力レベル
が大きくなる。
間隔がある一定に保たれて焦点、が合っている場合には
、第1の光検出セルJ+laと第2の光検出セルxti
bの光検出゛量線ともにほとん2・零もしく拡間レベル
になシ、情報形成層4と対物レン、e11とが接近して
焦点ぼけが生じる場合に拡止側の第20光検出セルzg
bの出力レベルが下側の第10光検出七ル26aの出力
レベルよシ大きく、また、逆に離れて焦点ばけが生じる
場合には下側O第1の光検出セルJ4faの出力レベル
が大きくなる。
上述のように検知系光学レンズとして球面レンズ14a
とシリンドリヵルレン11”24bを用いるとシリンド
リカルレン)e14bの母線方向とそれに直角方向で情
報形成層4に対する結像点p1.p、と2つでき、その
うちの情報形成層4に対して遠くの位置にある結像点p
lの所に光検出器26を置く。焦点ぼけ時の光検出器2
6上でのビームスポットI1mのサイズの変化量ないし
社ビームスーツ)JJmの中心O移動量は検知系光学レ
ンJeo焦点距離の長い程、大きくなるということが簡
単な計算で求まる。
とシリンドリヵルレン11”24bを用いるとシリンド
リカルレン)e14bの母線方向とそれに直角方向で情
報形成層4に対する結像点p1.p、と2つでき、その
うちの情報形成層4に対して遠くの位置にある結像点p
lの所に光検出器26を置く。焦点ぼけ時の光検出器2
6上でのビームスポットI1mのサイズの変化量ないし
社ビームスーツ)JJmの中心O移動量は検知系光学レ
ンJeo焦点距離の長い程、大きくなるということが簡
単な計算で求まる。
焦点が一致している時、情報形成層4に対する結像点P
sK光検出器2#が置かれた場合には若干の焦点ばけ時
には光検出Bxi上でのビームスポット11*Otイズ
の変化量ないしはビームス4ツFi1mの中心の移動量
は検知系光学レンズの焦点距離に比例する。したがって
、光検出器26を遠い位置にある結像点P、に置くと第
5図のように光検出器26上で焦点#まけ時Ka)ラッ
クずれ方向(、矢印B方向)でのス4ットサーイズの変
化量れ小さく、それに対し焦点埋は検出方向(矢印A方
向)でのビームス−ツ)JJmの変化量は大きい。
sK光検出器2#が置かれた場合には若干の焦点ばけ時
には光検出Bxi上でのビームスポット11*Otイズ
の変化量ないしはビームス4ツFi1mの中心の移動量
は検知系光学レンズの焦点距離に比例する。したがって
、光検出器26を遠い位置にある結像点P、に置くと第
5図のように光検出器26上で焦点#まけ時Ka)ラッ
クずれ方向(、矢印B方向)でのス4ットサーイズの変
化量れ小さく、それに対し焦点埋は検出方向(矢印A方
向)でのビームス−ツ)JJmの変化量は大きい。
また、第4図(ロ)で示すように焦点が一致している時
にはレーデ−光11が結像点plで集光した方向におい
て情報形成層4と対物レンズ11とが遠ざかることによ
シ集光点PMは光検出器2#から遠ざかる方向に移動す
る拳そのため、第5図においてトラックずれ検出方向(
矢印B方向)でのビームス4ツ)JJmのサイズは情報
形成層4と対物レンズ11とが遠ざかるkつれて単調に
増加し、前述の第1図f→の2点鎖線で示すような場合
には第5図の2点鎖線で示すようにビームス4ツト11
1′の一部が光検出器26からはみだして光検出セル1
1bでの光検出量が第2図の2点鎖線で示すようにはと
んど零レベルにすることができ、誤検出が防止できる。
にはレーデ−光11が結像点plで集光した方向におい
て情報形成層4と対物レンズ11とが遠ざかることによ
シ集光点PMは光検出器2#から遠ざかる方向に移動す
る拳そのため、第5図においてトラックずれ検出方向(
矢印B方向)でのビームス4ツ)JJmのサイズは情報
形成層4と対物レンズ11とが遠ざかるkつれて単調に
増加し、前述の第1図f→の2点鎖線で示すような場合
には第5図の2点鎖線で示すようにビームス4ツト11
1′の一部が光検出器26からはみだして光検出セル1
1bでの光検出量が第2図の2点鎖線で示すようにはと
んど零レベルにすることができ、誤検出が防止できる。
一方、第7図に示すように第1の光検出セルjgmと第
2の光検出セル26bの出力信号状差増巾回路28を介
して駆動回路33に入力され、レンズ駆動回路21を介
して対物レンズ1rが焦点が合う方向に移動される。
2の光検出セル26bの出力信号状差増巾回路28を介
して駆動回路33に入力され、レンズ駆動回路21を介
して対物レンズ1rが焦点が合う方向に移動される。
このようにして、情報記憶媒体1のうね〉等による焦点
ぼけが自動的に補正されることになる。
ぼけが自動的に補正されることになる。
なお、情報形成層4に♂ット(穴)Toるいは凹凸形状
で形成された情報の読取シは、偏光ビームスグリツタ1
5を通シ、バーフンツー1#で反射された光をレンll
”llを介して読取動用光検出器21に導びいて行なう
ことになる。
で形成された情報の読取シは、偏光ビームスグリツタ1
5を通シ、バーフンツー1#で反射された光をレンll
”llを介して読取動用光検出器21に導びいて行なう
ことになる。
しかして、情報形成層4の位置にレーデ−光11のビー
ムウェスト位置が一致している時には光検出器2#上で
のビームスーツ) J 1 m’が焦点ぼけ検出用光検
出セルのIg*、11bの配列方向に直角な方向に長軸
を持つ楕円形としたから、ビームス4ツト111′は下
側の第1の光検出セル261と上側の纂2の光検出セル
2#bとの間のゼヤツプjJK対向してお9、このとき
の光検出セル261〜114を照射する光量の1合(全
体のビームスーツト111′に対する光検出セルJ #
a e J 6 b K蟲る面積の割合)は、非常に
少なくなる。そのため、ピームスーット111′内O回
折/#ターンないしは結像パターン等の影10(第5図
に示す)による悪影響を受けることがない、また、焦点
ぼけが生じた場合の光検出器26上でのビームス4ツト
11畠′のパターン第6図(→、(ハ)のよりに上側O
光!中セルnibあるいは下側の光検出セルJib側に
大きく突出する状態になるので、焦点ぼけ検出感度が低
下大るようなことがない。
ムウェスト位置が一致している時には光検出器2#上で
のビームスーツ) J 1 m’が焦点ぼけ検出用光検
出セルのIg*、11bの配列方向に直角な方向に長軸
を持つ楕円形としたから、ビームス4ツト111′は下
側の第1の光検出セル261と上側の纂2の光検出セル
2#bとの間のゼヤツプjJK対向してお9、このとき
の光検出セル261〜114を照射する光量の1合(全
体のビームスーツト111′に対する光検出セルJ #
a e J 6 b K蟲る面積の割合)は、非常に
少なくなる。そのため、ピームスーット111′内O回
折/#ターンないしは結像パターン等の影10(第5図
に示す)による悪影響を受けることがない、また、焦点
ぼけが生じた場合の光検出器26上でのビームス4ツト
11畠′のパターン第6図(→、(ハ)のよりに上側O
光!中セルnibあるいは下側の光検出セルJib側に
大きく突出する状態になるので、焦点ぼけ検出感度が低
下大るようなことがない。
また、情報記憶媒体1には予めトラッキングガイド(図
示しない)がスミ4イラル状に形成されている。情報記
憶媒体1として高密度化を達成しよ・うとするトラック
ピッチを狭くして行く必要性がある。書込みや読取9時
に光学ヘッドIが所定のトラック位置へ達成するよう制
御するのに光学ヘッド3の位置制御を行なってい為アク
チュエータの機械的制御だけでは信頼性に乏しく、マた
、装置側から見て情報記憶媒体1の互換性が悪い、これ
に対し、あらかじめ情報記憶媒体1上にトラッキングガ
イドを設けておけば、情報記憶媒体1上七の光学ヘッド
30半径方向の位置検出を行ない、その補正をアクチェ
エータにフィード/々ツクするヒとができ、トラッキン
グに対して信頼性を増すことができる。
示しない)がスミ4イラル状に形成されている。情報記
憶媒体1として高密度化を達成しよ・うとするトラック
ピッチを狭くして行く必要性がある。書込みや読取9時
に光学ヘッドIが所定のトラック位置へ達成するよう制
御するのに光学ヘッド3の位置制御を行なってい為アク
チュエータの機械的制御だけでは信頼性に乏しく、マた
、装置側から見て情報記憶媒体1の互換性が悪い、これ
に対し、あらかじめ情報記憶媒体1上にトラッキングガ
イドを設けておけば、情報記憶媒体1上七の光学ヘッド
30半径方向の位置検出を行ない、その補正をアクチェ
エータにフィード/々ツクするヒとができ、トラッキン
グに対して信頼性を増すことができる。
トラッキングガイドは、情報形成層4に集光したレーザ
ー光11の一一ムウェストサイズより小さめの幅の溝を
通常のレコード板のようにスノ譬イ2ル状に形成したも
のである。そして、後述するように集光し九レーデー光
11の中ICpが溝の中心から外れると反射光の回折現
象によってそれが光学的に検知されるようになってい゛
る・ また、焦点埋は検出用に用いる光軸の中心からずれた位
置にある光JJaを抜出すための遮光板2Jは対物レン
ズ120光軸に対してトラッキングガイドの長さ方向に
偏位した位置の光IImを抜出すように形成されている
。そして、再生ないし紘記録再生用レーデー光が対物レ
ンズ11の一光軸とがぼy一致し、このレーデ−光を挾
んだ状態に焦点ぼけ検出用の入射レーザー光および焦点
埋は検出用の戻)レーデ−光が位置し、これらを結ぶ直
線がトラッキングガイドの長゛さ方向とぼ鵞平行になっ
ている。
ー光11の一一ムウェストサイズより小さめの幅の溝を
通常のレコード板のようにスノ譬イ2ル状に形成したも
のである。そして、後述するように集光し九レーデー光
11の中ICpが溝の中心から外れると反射光の回折現
象によってそれが光学的に検知されるようになってい゛
る・ また、焦点埋は検出用に用いる光軸の中心からずれた位
置にある光JJaを抜出すための遮光板2Jは対物レン
ズ120光軸に対してトラッキングガイドの長さ方向に
偏位した位置の光IImを抜出すように形成されている
。そして、再生ないし紘記録再生用レーデー光が対物レ
ンズ11の一光軸とがぼy一致し、このレーデ−光を挾
んだ状態に焦点ぼけ検出用の入射レーザー光および焦点
埋は検出用の戻)レーデ−光が位置し、これらを結ぶ直
線がトラッキングガイドの長゛さ方向とぼ鵞平行になっ
ている。
したがって、第8図に示すように光検出器26上に映る
上記トラッキングガイドの結像ツクターンなiしは回折
ノ4ターンの影30の長さ方向が、ビームス4ツト11
瓢の光検出器21f上での移動方向(矢印入方向)に沿
った方向に危る・しかして、光学ヘッドSが情報記憶媒
体1の半径方向、すなわちトラッキングガイドを横切る
方向に移動した場金vc紘光検出器2c上でのトラッキ
ングガイドO結像−ヤターンないし線回折ノ譬ターンの
影SOはビームスボッ)JJaO光検出器2σ上での移
動方向(矢印A方向)と直交する方向(矢印B方向”)
IIc移動することになる。したがって、影30の長さ
方向が焦点埋は検出用の光の光検出gxi上での移動方
向(矢印入方向)と直角状態になり、しかも影SOが矢
印入方向と平行な方向に移動した場合に生じるような、
影SOの移動があたかも焦点が乱れているような外乱誤
差信号が光検出器26から出力されるようなことがない
。
上記トラッキングガイドの結像ツクターンなiしは回折
ノ4ターンの影30の長さ方向が、ビームス4ツト11
瓢の光検出器21f上での移動方向(矢印入方向)に沿
った方向に危る・しかして、光学ヘッドSが情報記憶媒
体1の半径方向、すなわちトラッキングガイドを横切る
方向に移動した場金vc紘光検出器2c上でのトラッキ
ングガイドO結像−ヤターンないし線回折ノ譬ターンの
影SOはビームスボッ)JJaO光検出器2σ上での移
動方向(矢印A方向)と直交する方向(矢印B方向”)
IIc移動することになる。したがって、影30の長さ
方向が焦点埋は検出用の光の光検出gxi上での移動方
向(矢印入方向)と直角状態になり、しかも影SOが矢
印入方向と平行な方向に移動した場合に生じるような、
影SOの移動があたかも焦点が乱れているような外乱誤
差信号が光検出器26から出力されるようなことがない
。
一方、トラックずれが生じていない場合には第8図0)
に示すようにトラッキングガイド11の結像Iり一部な
いしは回折I譬ターンの影JOが光検出器260幅方向
中央部に当ったビームスポット11aの中心位置にあ〕
、左側に位置する第3の光検出セル26Cからの光電信
号量と右側に位置する第4の光検出セル26dからラッ
クずれが生じてトラックの右側にずれて光の中心が尚っ
たシ、あるいはトラックの左側に光の中心が肖った場合
には第8図に)計9で示すように影30がビームスポッ
ト11aの中心位置よル右側あるいは左側にずれ、左側
の第3の光検出セル26@からの光電信号量と右側の第
40光検出セルxtiaからの光電信号量とに差が生じ
る。そして、第9図に示すようにこれら左側の光検出セ
ルz6・と右側の光検出セル266の出力信号紘差増中
回路34を介してアクチェエータ駆動回路S5に入力さ
せリニアアクチェエータ3tIを介して対物レンズ17
をトラックずれを補正する位置に移動させるととになる
。
に示すようにトラッキングガイド11の結像Iり一部な
いしは回折I譬ターンの影JOが光検出器260幅方向
中央部に当ったビームスポット11aの中心位置にあ〕
、左側に位置する第3の光検出セル26Cからの光電信
号量と右側に位置する第4の光検出セル26dからラッ
クずれが生じてトラックの右側にずれて光の中心が尚っ
たシ、あるいはトラックの左側に光の中心が肖った場合
には第8図に)計9で示すように影30がビームスポッ
ト11aの中心位置よル右側あるいは左側にずれ、左側
の第3の光検出セル26@からの光電信号量と右側の第
40光検出セルxtiaからの光電信号量とに差が生じ
る。そして、第9図に示すようにこれら左側の光検出セ
ルz6・と右側の光検出セル266の出力信号紘差増中
回路34を介してアクチェエータ駆動回路S5に入力さ
せリニアアクチェエータ3tIを介して対物レンズ17
をトラックずれを補正する位置に移動させるととになる
。
また、焦点埋は時におけるトラックずれ検出方向(矢E
1方向)でのビームスボッ) J i &’の変化が小
さいため、トラックずれ信号が焦点ばけの影響を受ける
ことなく安定して得られる。
1方向)でのビームスボッ) J i &’の変化が小
さいため、トラックずれ信号が焦点ばけの影響を受ける
ことなく安定して得られる。
また、トラックずれに対する光検出器2#上での変化方
向と焦点埋けによる変化方向が直交しているため、焦点
はけによ6s−ムスIット11aが検出器26上を移動
してもトラックずれ検出系としてはその影響を受けない
。
向と焦点埋けによる変化方向が直交しているため、焦点
はけによ6s−ムスIット11aが検出器26上を移動
してもトラックずれ検出系としてはその影響を受けない
。
なお、上述の一実施例において、光軸からずれた位置に
ある一部の光の番を抜出す光抜出部材としてナイフウエ
ツヂを用いたが、透光部を有した遮光板を用いてもよく
、さらには反射光路の光軸の中心からずれた位置にミラ
ー、!リズム等を配置して光軸からずれた位置にある一
部の光のみを抜出すようにしそもよい。
ある一部の光の番を抜出す光抜出部材としてナイフウエ
ツヂを用いたが、透光部を有した遮光板を用いてもよく
、さらには反射光路の光軸の中心からずれた位置にミラ
ー、!リズム等を配置して光軸からずれた位置にある一
部の光のみを抜出すようにしそもよい。
また、トラッキングガイドを予め有したものについて説
明したがこれに限るものでないこと線勿論である。
明したがこれに限るものでないこと線勿論である。
その他、本発明は本発明の要旨を変えない範囲で種々変
形実施可能なことは勿論である。
形実施可能なことは勿論である。
本発明は、以上説明したように、情報記憶媒体の記一層
ないしは光反射層としての情報形成層から反射して対物
レンズを通過、した当ビームの光軸に関して非対称な光
を抜出したのち球面レンズとシリンドリカルレンズを通
過させることにより光検出器上に楕円状のビームスポッ
トを形成するとともにとQk’−ムス4ットの移動方向
を検出することによシ情報珍成層に対する光ビームの焦
点ばけを検知するとともにビームス−ット内での結儂ノ
9ターンないしは回折ノ豐ターンの移動方向を検知する
ことによシト2ツクずれを検知するもので、上記情報形
成層に対する異なる2つの結像点のうち、情報形成層に
対して遠くの位置にある結像点の所に光検出器を配置し
た゛ことを特徴とする光学ヘッドにある。
ないしは光反射層としての情報形成層から反射して対物
レンズを通過、した当ビームの光軸に関して非対称な光
を抜出したのち球面レンズとシリンドリカルレンズを通
過させることにより光検出器上に楕円状のビームスポッ
トを形成するとともにとQk’−ムス4ットの移動方向
を検出することによシ情報珍成層に対する光ビームの焦
点ばけを検知するとともにビームス−ット内での結儂ノ
9ターンないしは回折ノ豐ターンの移動方向を検知する
ことによシト2ツクずれを検知するもので、上記情報形
成層に対する異なる2つの結像点のうち、情報形成層に
対して遠くの位置にある結像点の所に光検出器を配置し
た゛ことを特徴とする光学ヘッドにある。
したがって、焦点ぼけとトラックずれの検出を1@の光
検出器で検出することができるようにしたから、従来の
ようにそれぞれ別個の光学系を用いて検出するものに比
べてレーデ−光を2つに分ける手段等がいらず光学系の
組立が容易であるとともに構造が簡単になシ光学ヘッド
の小型化、軽量化、低コスト化が図れ、しかも故障に対
する信頼性が高くなる。
検出器で検出することができるようにしたから、従来の
ようにそれぞれ別個の光学系を用いて検出するものに比
べてレーデ−光を2つに分ける手段等がいらず光学系の
組立が容易であるとともに構造が簡単になシ光学ヘッド
の小型化、軽量化、低コスト化が図れ、しかも故障に対
する信頼性が高くなる。
また、情報形成層に対する異壜る2つの結像点のうち、
情報形成層に対して遠くの位置にある結像点の所に光検
出器を配置したから、対物レンズと情報形成層が離れす
ぎてビームス4ツトの移動方向が逆転した場合ビームス
4ツトが大きく広がって光検知器から外れて光検出量を
零レベルに近づけることができ、あたかも対物レンズと
情報形成層とが近づい九ものとして誤検知するようなこ
とがなく安定した焦点調節が行なえる。さらに、焦点埋
は時におけるトラックずれ検出方向でのV−ムスーット
のサイズ変化が小さいのでトラックずれ信号が焦点ぼけ
の影響を受けることなく安定して得られるとい゛りた効
果を奏する。
情報形成層に対して遠くの位置にある結像点の所に光検
出器を配置したから、対物レンズと情報形成層が離れす
ぎてビームス4ツトの移動方向が逆転した場合ビームス
4ツトが大きく広がって光検知器から外れて光検出量を
零レベルに近づけることができ、あたかも対物レンズと
情報形成層とが近づい九ものとして誤検知するようなこ
とがなく安定した焦点調節が行なえる。さらに、焦点埋
は時におけるトラックずれ検出方向でのV−ムスーット
のサイズ変化が小さいのでトラックずれ信号が焦点ぼけ
の影響を受けることなく安定して得られるとい゛りた効
果を奏する。
#[[0,に)、(つはビームス4ツトの移動によシ焦
点ばけを検出する基本原理を示す説明図、第2図は光検
出器上でのビームスlシトの移動に伴う光検出量の変化
状態を示す説明図J3図乃至第9図は本発明の一実施例
を示すもので、第3図線本発明の一実施例を適用した情
報記鍮拳再生装置の概略的構成図、第4図0)、に)は
同実施例における楕円状ビームス4ツトの形成原理を示
す説明図、第5図唸光検出器上に形成されたビームスポ
ットの状態を示す説明図、第6図(イ)、(ロ)、(ハ
)線本発明の一実施例による焦点埋は検知の原理を説明
するための説明図、第7図は焦点ぼけ自動調節用駆動系
を示す説明図、第8図0)。 (E−)、f→は同実施例における光検出器上でのトラ
ッキングガイドの結像パターンないしは回折ン臂ターン
の状態を示す説明図、第9図はトラッキングずれ自動調
節用駆動系を示す説明図である。 1・−情報記憶媒体、S・・・光学ヘッド、4・・・記
録層ないしは光反射層としての情報形成層、11・・・
光ビーム(レーデ−光)、11・・・対物レンズ、20
・−焦点はけ検知用光学系、XS・・・光抜出し部材(
遮光板)、J4a”e球面レンズ、74b・・・シリン
ドリカルレンズ、j#−・・光検出器、2#1〜26d
・ニ光検出セル、Pl、Pl・−結像点(集光点)、′ 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武彦 第11!1 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 bd
点ばけを検出する基本原理を示す説明図、第2図は光検
出器上でのビームスlシトの移動に伴う光検出量の変化
状態を示す説明図J3図乃至第9図は本発明の一実施例
を示すもので、第3図線本発明の一実施例を適用した情
報記鍮拳再生装置の概略的構成図、第4図0)、に)は
同実施例における楕円状ビームス4ツトの形成原理を示
す説明図、第5図唸光検出器上に形成されたビームスポ
ットの状態を示す説明図、第6図(イ)、(ロ)、(ハ
)線本発明の一実施例による焦点埋は検知の原理を説明
するための説明図、第7図は焦点ぼけ自動調節用駆動系
を示す説明図、第8図0)。 (E−)、f→は同実施例における光検出器上でのトラ
ッキングガイドの結像パターンないしは回折ン臂ターン
の状態を示す説明図、第9図はトラッキングずれ自動調
節用駆動系を示す説明図である。 1・−情報記憶媒体、S・・・光学ヘッド、4・・・記
録層ないしは光反射層としての情報形成層、11・・・
光ビーム(レーデ−光)、11・・・対物レンズ、20
・−焦点はけ検知用光学系、XS・・・光抜出し部材(
遮光板)、J4a”e球面レンズ、74b・・・シリン
ドリカルレンズ、j#−・・光検出器、2#1〜26d
・ニ光検出セル、Pl、Pl・−結像点(集光点)、′ 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武彦 第11!1 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 bd
Claims (1)
- 情報記憶媒体の記録層ないしは光反射層としての情報形
成層から反射して対物レンズを通過した当ビームの光軸
に関して非対称な光を抜出したのち球面レンズとシリン
ドリカルレンズを通過させることによシ光検出器上に楕
円状のビームス4ツトを形成するとともに仁のビームス
4ツトの移動方向を検出することによシ情報形成層に対
する光C−ムの焦点ぼけを検知するとトモニビームスI
ット内での結儂/中ターンないしは回折/譬ターンの移
動方向を検知することによj9)ラックずれを検知する
もので、上記情報形成層に対する異なる2つの結偉点の
うち、情報形成層に対して遠くの位置にある結偉点の所
に光検出器を配置したことを特徴とする光学ヘッド。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56146540A JPS5848235A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 光学ヘツド |
DE8282106508T DE3280201D1 (de) | 1981-07-20 | 1982-07-19 | Optischer kopf. |
US06/399,873 US4521680A (en) | 1981-07-20 | 1982-07-19 | System for focusing a light beam on a light reflecting surface |
EP82106508A EP0070552B1 (en) | 1981-07-20 | 1982-07-19 | Optical head |
DE8282108269T DE3280137D1 (de) | 1981-09-17 | 1982-09-08 | Ein optischer kopf. |
EP82108269A EP0075192B1 (en) | 1981-09-17 | 1982-09-08 | An optical head |
US06/416,694 US4585933A (en) | 1981-09-17 | 1982-09-10 | Optical apparatus and method for detecting the focusing state and positional accuracy of a light beam directed onto an optical disk tracking guide in an optical read/write system |
US06/817,259 US4631395A (en) | 1981-09-17 | 1986-01-08 | Optical apparatus for detecting the focusing state and positional accuracy of a light beam directed onto an optical disk tracking guide in an optical read/write system |
US06/901,787 US4742219A (en) | 1981-09-17 | 1986-08-29 | Apparatus for detecting the focusing state and positional accuracy of a light beam directed onto an optical disk tracking guide in an optical read/write system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56146540A JPS5848235A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 光学ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5848235A true JPS5848235A (ja) | 1983-03-22 |
Family
ID=15409955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56146540A Pending JPS5848235A (ja) | 1981-07-20 | 1981-09-17 | 光学ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5848235A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60169706A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Olympus Optical Co Ltd | 表面形状測定装置 |
JPS63232335A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1981
- 1981-09-17 JP JP56146540A patent/JPS5848235A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60169706A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Olympus Optical Co Ltd | 表面形状測定装置 |
JPH056643B2 (ja) * | 1984-02-14 | 1993-01-27 | Olympus Optical Co | |
JPS63232335A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
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