JPS5841310A - 磁気検出装置 - Google Patents
磁気検出装置Info
- Publication number
- JPS5841310A JPS5841310A JP13973681A JP13973681A JPS5841310A JP S5841310 A JPS5841310 A JP S5841310A JP 13973681 A JP13973681 A JP 13973681A JP 13973681 A JP13973681 A JP 13973681A JP S5841310 A JPS5841310 A JP S5841310A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- hole
- thin film
- substrate
- magnetic thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気検出装置に関し、特に磁気薄膜の着磁部を
セ／すにて検出するのに好適な磁気検出装置に関するも
のである。
セ／すにて検出するのに好適な磁気検出装置に関するも
のである。
磁気薄膜に着磁された着磁部を例えばホール素子からな
るセンナで検出し、回転角度や回転速度を検出するもの
は従来から知られている。又、センサはセンサ部分を支
持する基板上の配線にリード線により接続されている。
るセンナで検出し、回転角度や回転速度を検出するもの
は従来から知られている。又、センサはセンサ部分を支
持する基板上の配線にリード線により接続されている。
しかし、セ／すにより検出できる電圧は１００ ｍ Ｖ
ｐ−ｐ以下と非常に小さいため、リード線が拾う外部ノ
イズで誤動作する虞れがある。
ｐ−ｐ以下と非常に小さいため、リード線が拾う外部ノ
イズで誤動作する虞れがある。
又、リード線と基板の配線との接続作業も非常に難しく
、接続不良、接続状態のばらつきによっても磁気検出装
置に影響を与えている。
、接続不良、接続状態のばらつきによっても磁気検出装
置に影響を与えている。
これを解決する方法としてはセンサに印加する電圧をあ
る程度上げればよいが、電源装置やセンサの電圧、電流
容量の点からも限度がある。
る程度上げればよいが、電源装置やセンサの電圧、電流
容量の点からも限度がある。
本発明は前記諸点に着目し、センナをリード線・なしで
基板のプリント配線に接続し、センサに磁気薄膜を十分
に接近させることにより、外部ノイズに強く、信頼性、
製作性が高く、しかも高精度の検出を可能にする磁気検
出装置を得ることを目的とするものである。
基板のプリント配線に接続し、センサに磁気薄膜を十分
に接近させることにより、外部ノイズに強く、信頼性、
製作性が高く、しかも高精度の検出を可能にする磁気検
出装置を得ることを目的とするものである。
以下本発明の一実施例を第１図ないし第３図に基づいて
説明する。図面において、１は電動機、２は電動機１の
回転軸、３はこの回転軸２に取付けられた回転板でその
外周面には磁気薄膜４が担持されている。この磁気薄膜
４には周方向に並設された多数個の着磁部５を有する。
説明する。図面において、１は電動機、２は電動機１の
回転軸、３はこの回転軸２に取付けられた回転板でその
外周面には磁気薄膜４が担持されている。この磁気薄膜
４には周方向に並設された多数個の着磁部５を有する。
この着磁部５は第２図において多数本の線で示されてい
る。角度検出を１度単位まで行うものであれば、この着
磁部５は均等間隔で３６０箇所存在する。
る。角度検出を１度単位まで行うものであれば、この着
磁部５は均等間隔で３６０箇所存在する。
６は電動機１の一方のエンドブラケット、７はこのエン
ドブラケット６に取付けられ、セラミック板で構成され
る基板、８はこの基板７に設けられた長方形の透口であ
る。
ドブラケット６に取付けられ、セラミック板で構成され
る基板、８はこの基板７に設けられた長方形の透口であ
る。
又、この基板７には磁気検出器９、ボルテージコンパレ
ータ１０、コンデンサ１１，１２、および前記磁気検出
器９のセンサ９２に定電圧を送るだめの定電圧装置を構
成するトランジスタ１３が取付けられている。基板７面
にはこれらの部品９゜１ｏ、１１．１２および１３を電
気的に接続するために、図示されていないがパターン化
された配線がプリントされている。
ータ１０、コンデンサ１１，１２、および前記磁気検出
器９のセンサ９２に定電圧を送るだめの定電圧装置を構
成するトランジスタ１３が取付けられている。基板７面
にはこれらの部品９゜１ｏ、１１．１２および１３を電
気的に接続するために、図示されていないがパターン化
された配線がプリントされている。
前記磁気検出器９は０．６〜１ミリメートル程度の厚さ
のガラス基板９１と、このガラス基板９１の表面（第１
図においては下面）にこの例では１度の角度を検出する
のに最適なパターン化されて担持されたセンサ９２とか
ら構成されている。このセンサ９２は磁束を感じて電気
抵抗が変化する、いわゆるホール素子である。そして、
とのセンサ９２は前記基板７上のプリント配線にフリッ
プチップボンディング、リードビームボンディング等の
ワイヤレスボンディングにより電気的に接続する。
のガラス基板９１と、このガラス基板９１の表面（第１
図においては下面）にこの例では１度の角度を検出する
のに最適なパターン化されて担持されたセンサ９２とか
ら構成されている。このセンサ９２は磁束を感じて電気
抵抗が変化する、いわゆるホール素子である。そして、
とのセンサ９２は前記基板７上のプリント配線にフリッ
プチップボンディング、リードビームボンディング等の
ワイヤレスボンディングにより電気的に接続する。
１４は前記基板７とセンサ９２間に介在した半田ペース
トで、加熱炉あるいはマイクロ波加熱等によシ、この半
田ペースト１４を溶解し、基板７のプリント配線とセン
サ９２を接続するものである。
トで、加熱炉あるいはマイクロ波加熱等によシ、この半
田ペースト１４を溶解し、基板７のプリント配線とセン
サ９２を接続するものである。
前記磁気検出器９は第２図で明らかなように、基板７の
透口８に差渡しし、センサ９２を透口８に向け、透口８
の周面プリント配線に接続するものである。すなわち、
センサ９２は透口８を通して下面から臨めるようになっ
ている。そして、回転板３が透口８の下方からその一部
を透口８に挿入し、磁気薄膜４を前記センサ９２にでき
る限シ接近させるようにする。具体的にはセンサ９２と
磁気薄膜４との距離は１００ミクロンかそれ以下にする
。これ以上の距離があると、センサ９２により着磁部５
の確実な検出が不可能になる。言葉を変えれば、角度検
出するために必要な電圧が得られなくなるということで
ある。透口８の大きさは、当然ながらセンサ９２に磁気
薄膜４を前記距離だけ近づけたときに、磁気薄膜４が基
板７に当たらない大きさである。
透口８に差渡しし、センサ９２を透口８に向け、透口８
の周面プリント配線に接続するものである。すなわち、
センサ９２は透口８を通して下面から臨めるようになっ
ている。そして、回転板３が透口８の下方からその一部
を透口８に挿入し、磁気薄膜４を前記センサ９２にでき
る限シ接近させるようにする。具体的にはセンサ９２と
磁気薄膜４との距離は１００ミクロンかそれ以下にする
。これ以上の距離があると、センサ９２により着磁部５
の確実な検出が不可能になる。言葉を変えれば、角度検
出するために必要な電圧が得られなくなるということで
ある。透口８の大きさは、当然ながらセンサ９２に磁気
薄膜４を前記距離だけ近づけたときに、磁気薄膜４が基
板７に当たらない大きさである。
前記構成において、電動機１に通電することにより回転
板３は回転する。回転板３が回転すると、センサ９２は
磁気薄膜４の着磁部５を順次検出することができる。セ
ンサ９２にはトランジスタ１３による定電圧装置により
、数ボルトの定電圧が印加されており、着磁部５の磁気
によシセンサ９２の内部抵抗が変化する。この変化をボ
ルテージコンパレータ１０で処理することにより着磁部
５を検出することができる。
板３は回転する。回転板３が回転すると、センサ９２は
磁気薄膜４の着磁部５を順次検出することができる。セ
ンサ９２にはトランジスタ１３による定電圧装置により
、数ボルトの定電圧が印加されており、着磁部５の磁気
によシセンサ９２の内部抵抗が変化する。この変化をボ
ルテージコンパレータ１０で処理することにより着磁部
５を検出することができる。
そして、この着磁部５により得られた電圧をパルス化し
、このパルスの計数によって回転軸２の回転角度、およ
び単位時間あたシのパルス数を計数することによって回
転軸２の回転速度を検出することができる。
、このパルスの計数によって回転軸２の回転角度、およ
び単位時間あたシのパルス数を計数することによって回
転軸２の回転速度を検出することができる。
この角度や回転速度によって得られた信号を電動機の制
御に応用すれば、電動機を任意の位置に停止したり、あ
るいは速度も自由に制御できるものである。
御に応用すれば、電動機を任意の位置に停止したり、あ
るいは速度も自由に制御できるものである。
前記実施例の構成によれば、基板７の透口８に直接セン
サ９２を取付けることができるので、センサ９２と他の
電気部品との接続をワイヤレスボンデ十りグによって接
続可能になる。
サ９２を取付けることができるので、センサ９２と他の
電気部品との接続をワイヤレスボンデ十りグによって接
続可能になる。
又、長いワイヤ、リード線を使用すると、外部ノイズの
影響を受は易くなるが、前記一実施例では、いわゆるリ
ード線がなくなるのでノイズに強く、誤動作のしない装
置を提供することができる。
影響を受は易くなるが、前記一実施例では、いわゆるリ
ード線がなくなるのでノイズに強く、誤動作のしない装
置を提供することができる。
又、リード線やその接続部の断線の心配がない。
更に、本発明の一実施例のように、各種の電気部品とセ
ンサ９２部を基板７の同一面（図示したものは上面）に
配置したので、基板７に施すプリント配線、電気部品と
このプリント配線との接続が一工程でできる効果がある
。
ンサ９２部を基板７の同一面（図示したものは上面）に
配置したので、基板７に施すプリント配線、電気部品と
このプリント配線との接続が一工程でできる効果がある
。
又、透口８を通して磁気薄膜４を可能な限り接近できる
ので、それだけセンサ９２の検出能力を高めることがで
きる。これは透口８の存在による。
ので、それだけセンサ９２の検出能力を高めることがで
きる。これは透口８の存在による。
もし、透口８がなければ基板７の厚さ、普通は数ミリメ
ートルよりも磁気薄膜４をセンサ９２に接近させること
は不可能である。
ートルよりも磁気薄膜４をセンサ９２に接近させること
は不可能である。
センサ９２をガラス基板９１を用いないで、センサ９２
単独で基板７上に取付けることができれば、磁気薄膜４
をセンサ９２の図面上、上方から接近させることができ
る。しかし、センサ９２は数ミクロンの厚さであり、線
材として製作することが不可能で、実際はガラス基板９
１の面に蒸着によって形成されている。
単独で基板７上に取付けることができれば、磁気薄膜４
をセンサ９２の図面上、上方から接近させることができ
る。しかし、センサ９２は数ミクロンの厚さであり、線
材として製作することが不可能で、実際はガラス基板９
１の面に蒸着によって形成されている。
いいかえれば、この種のセンサ９２を製作する場合は、
ガラス基板９１が必要であり、センサ９２の上方から磁
気薄膜４を接近させるときは、ガラス基板９１の厚さよ
りも接近させることは物理的に無理である。
ガラス基板９１が必要であり、センサ９２の上方から磁
気薄膜４を接近させるときは、ガラス基板９１の厚さよ
りも接近させることは物理的に無理である。
ガラス基板９１の厚さは前述のように、薄くても０．６
ミリ程度である。センサ９２と磁気薄膜４がこの程度離
れてしまうと、もはや、磁気の検出はできない。そのた
めに透口８を設け、下方から磁気薄膜４を近接させるよ
うになしたものである。
ミリ程度である。センサ９２と磁気薄膜４がこの程度離
れてしまうと、もはや、磁気の検出はできない。そのた
めに透口８を設け、下方から磁気薄膜４を近接させるよ
うになしたものである。
以上説明したように、本発明によれば、センサを基板の
透口に差渡して取付け、透口を通して下方から磁気薄膜
をセンサに接近したので、センサをリード線なしで基板
のプリント配線に接続できると共に、センサと磁気薄膜
を十分に接近させることができ、信頼性、製作性が高く
、しかも高精度の検出が可能な磁気検出装置を得ること
ができるものである。
透口に差渡して取付け、透口を通して下方から磁気薄膜
をセンサに接近したので、センサをリード線なしで基板
のプリント配線に接続できると共に、センサと磁気薄膜
を十分に接近させることができ、信頼性、製作性が高く
、しかも高精度の検出が可能な磁気検出装置を得ること
ができるものである。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は電動機
に本発明装置を取付けた場合の要部断面側面図、第２図
は同要部の平面図、第３図は第２図における■−■断面
図である。
に本発明装置を取付けた場合の要部断面側面図、第２図
は同要部の平面図、第３図は第２図における■−■断面
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転軸に回転板を取付け、この回転返に多数個の着
磁部を有する磁気薄膜を担持し、この磁気薄膜の磁気を
検出するセンサと、とのセンサを担持する基板とからな
るものにおいて、 前記基板の透口に差渡ししてセンサを取付けるとともに
、前記センサに磁気薄膜を近接させるために、前記透口
に回転板の一部を挿入したことを特徴とする磁気検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13973681A JPS5841310A (ja) | 1981-09-07 | 1981-09-07 | 磁気検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13973681A JPS5841310A (ja) | 1981-09-07 | 1981-09-07 | 磁気検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5841310A true JPS5841310A (ja) | 1983-03-10 |
Family
ID=15252173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13973681A Pending JPS5841310A (ja) | 1981-09-07 | 1981-09-07 | 磁気検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841310A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6423614U (ja) * | 1987-07-31 | 1989-02-08 | ||
| JPH0365913U (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-26 | ||
| JPH0516934A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-26 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 耐圧容器 |
| JPH05246416A (ja) * | 1992-02-29 | 1993-09-24 | Nissei Asb Mach Co Ltd | 合成樹脂製自立壜 |
-
1981
- 1981-09-07 JP JP13973681A patent/JPS5841310A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6423614U (ja) * | 1987-07-31 | 1989-02-08 | ||
| JPH0365913U (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-26 | ||
| JPH0516934A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-26 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 耐圧容器 |
| JPH05246416A (ja) * | 1992-02-29 | 1993-09-24 | Nissei Asb Mach Co Ltd | 合成樹脂製自立壜 |
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