JPS5838803A

JPS5838803A - タツチ信号プロ−ブ

Info

Publication number: JPS5838803A
Application number: JP13651481A
Authority: JP
Inventors: Toru Kotado; 亨古田土
Original assignee: Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1981-08-31
Filing date: 1981-08-31
Publication date: 1983-03-07
Also published as: JPS6334961B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、タッチ信号プローブに係り、特に。

３次元測定機或いは位置測定機に用いるに好適な、被測
定物との接触による接触子の３次元的な！位をとらえて
、接触子と被測定物との接触を検知するタッチ信号プロ
ーブの改良に関する。

一般に、測定基盤上に載置された被測定物の大きさ及び
形状を測定する３次元測定機或いは、工作機械の刃物台
と被加工物との相対的な位置を測定する位置測定機が知
られており、これらの測定機においては、被測定物に対
して任意の方向に移動可能な移動台に、被測定物との接
触による接触子０３次元的な変位をとらえて、接触子と
被測定物どの接触を検知するタッチ信号プローブを装着
し、このタッチ信号プローブにより被測定物との接触が
検知され念時の位置信号を測定値とすることＫよシ、正
確な測定値を得るようＫさｈている。

このタッチ信号プローブは、被測定物と交互に係合及び
離脱させながら１つの測定点から次の測定点へと迅速に
移動させ得るようになっているが。

通常、接触子と被測定物とが係合した瞬間に直ちにプロ
ーブの動きを停止することができないので、プローブが
限られ念量だけ係合点からオーバーランし得るように、
接触子を機構学的位置決め装置によって基部に取付け、
接触子が基部に対して相対的に限られ念範凹で移動する
のを許容し得るようになっている。又、プローブが被測
定物から離れ友時に、接触子を、その初期位置、即ち静
止位置へと復帰する友めの復元機構が設けられており。

前記のオーバーランはこの復元機構の作用に抗して起こ
るようにされている。

このようなタッチ信号プローブにおいては、接触子と被
測定物との接触を正確に検出できると共に、被測定物に
当接する接触子が損傷を受けることのない構造とするこ
とが必要であり、（１）接触子が被測定物と接触してい
ない状態においてＦｉ、接触子とプローブ本体及び移動
台との相対位置関係が常に一定となること、（２）比較
的慣性の大番い移動台に装着される場合や、移動台が高
速で移行運転される場合には、接触時に接触子がプロー
ブ本体に対して傾き或いは移動して、タッチ信号プロー
ブのオーバーラン時における接触子に加わる過大な負荷
を吸収できるよう、位置決め装置により許容される接触
子の変位量が大きいこと、（３）接触子が被測定物に係
合し之瞬間に発生する接触信号の応答性が優れているこ
と、（４）被測定物に係合した時に接触子に働く力が十
分に小さいこと、（５）プローブ移動台がプローブを加
速又は減速する際に接触子又はプローブの他の構成部材
に作用する慣性力により、疑似信号が発生しないこと、
等が要求される。

前記のような目的を達成するタッチ信号プローブとして
、例えば特開昭４９−９４３７０号に示される如く、２
個の球軸受を接近配置してｖ＊’を形成し、このＶ溝を
円周上に１２０１ｆ間隔で３個配設し、各Ｖ溝に、中央
部が接触子の非接触側端部に固定され九円盤状の部材か
ら放射状に延長された軸をそれぞれ収容させるようにし
て、前記各球軸受と各軸との保合の有無から接触子と被
測定物の接触を感知するようにしたタッチ信号プローブ
が提案されている。

しかしながらこのタッチ信号グローブは、３方向に突き
出た軸を球によって支持しているので、測定の不感帯の
幅が大きく（８μｍ）、又接触子の移動方向（Ｘ、Ｙ軸
）によって、１本の軸を持ち上げて球との接触をオフと
する場合と、２本の軸を持ち上げて球との接触をオフと
する場合とでは、！！触子に係る一定力に２倍以上のば
らつきを生じる。したがって接触子の移動方向によって
測定精度にばらつきを生じてしまうという不都合があつ
几。

又前記タッチ信号プローブは、接触子を上方で支持する
ための上支点がないために、原点位置復帰性が低く、従
って繰返し測定精度が悪く、更に、２軸方向については
、前記３本の軸を持ち上げるととＫよって測定すること
になるので、繰返し精度が低く、不感帯の輻も大きくな
るという不都合があった。

更Ｋｔた、このタッチ信号プローブは、構造が複雑であ
り、Ｖ＠を形成するに際し、それぞれのＶ溝が同一形状
となるよう球軸受を精密に固定しなければならず、又、
ケーシングに対し各Ｖ溝の高さ方向を正確に位置決めし
なければならず、更に、各球軸受の加工精度も高度のも
のが要求される等Ｃ）Ｍ進上の欠点を有するだけでなく
、外部から侵入した塵埃や構成部品の摩耗により発生し
た塵が、前記Ｖ溝°内に堆積すると精度が低下し、又、
保守点検も容易ではないという使用上の欠点を有してい
た。更に、接触子が球軸受の半径に対応する角贋を越え
て回動してしまった場合には、円盤状の部材から延長さ
れた軸が元のＶ溝内に戻ることができず、測定に大きな
支障をきたす恐れもあつ几。又、構造が複雑で、各構成
要素の加工精度、組立時の誤差が直ちに精度に影響を与
えるため。

特に、数１１ｍオーダーの精度を要求される３次元測定
機等には不適であった。

本発明は上記従来の不都合に鑑みてなされたものであっ
て、測定力及び測定精度にばらつきがなく、しかも不感
帯の幅が小さく、原点位置復帰性、繰返し測定精度の高
いタッチ信号プローブを提供することを目的とする。

又この発明は、簡単な構造により接触子と被測定物との
接触状態を確実に検知することができ、実用性の高いタ
ッチ信号プローブを提供することを目的とする。

この発明は、被測定物との接触による接触子の３次元的
な変位をとらえて、接触子と被測定物との接触を検知す
るタッチ信号プローブにおいて；本体ケースからＩ！［
下方に突出して先端に前記接触子を支持するとともに、
基端側で吊下げ支持、位置決めされ念スピンドルと；こ
のスピンドルの弱力ばねおよびこれより強い強力ばねを
１組とする。少なくとも２組の位置規制手段と；前記測
定子が被測定物に当接したときに生ずる前記スピンドル
の姿勢変化もしくは変位を電気信号として検知する信号
検出手段と１を設けることによって前記目的を達成した
ものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
スピンドル基端部の吊下げ支持、位置決め手段を、前記
スピンドルが上方に変位できるよう基端部を載置して上
記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
位置規制手段の前記強力ばねを、前記スピンドルを中立
位置を越えて付勢しないようにストッパーにより位置、
規制し、まｔ前記弱カばねを。

前記強力ばねと反対方向に前記スピンドルを付勢するよ
うにすることによって上記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
位置規制手段を２組とし、相１ｉＫ直交する方向から前
記スピンドルを付勢するように配置したことによ、って
上記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号グローブにおいて、前記
強力ばねおよび弱力ばねを板ばねとすることＫよって上
記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
信号検出手段を、中立位置における前記スピンドルと強
力ばねとの接触点と、該強力ばねが前記スピンドルによ
って押される時離間する該強力ばねと前記本体側との接
触点と、を電気接点とし、これら電気接点のオン・オフ
を検知するようにして上記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
スピンドル基端部の吊下げ支持、位置決め手段を、肢ス
ビ／ドル基端部を載置するとともに、これｔスピンドル
引込み方向に付勢する板ばねと、該板ばねを下方から支
持し前記スピンドルの軸方向中立位置より先端方向への
突出を前記板ばねを介して規制するストッパーとＫよ多
構成し、前記信号検出手段を、前記ストッパと前記板ば
ねの接触点を電気接点とし、この電気接点のオン・オフ
を検知するようＫして上記目的を達成するものである。

又この発明は、前記タッチ信号プローブにおいて、前記
スピンドル基端部の吊下げ支持、位置決め手段の板ばね
Ｈ＜、その自由端近傍にスピンドル載置用の円孔１２形
成し、前記スピンドルの基端部を逆円錐形状とするとと
もに、該円錐形テーパ面において前記板ばねの円孔に載
置し、かつ基端平面において、ばねにより先端方向に付
勢することＫよって上記目的を達成する屯のである。

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。

この実施例は、図に示されるように、被測定物との接触
による接触子ｌの３次元的な変位をとらえて、接触子ｌ
と被測定物との接触を検知するタッチ信号プローブＰに
おいて；略円筒形状の本体ケース２から下端開口２人を
通って垂直下方に突出して先端に前記接触子ｌを支持す
るとともに、基端側で吊下げ支持１位置決めされたスピ
ンドル３と；このスピンドル３の軸線と直交する面内に
配置され、該スピンドル３を中立位置にあるよう半径方
向に付勢してその外径を挾み込む２組の異方ばね４Ａ、
強力ばね４Ｂと異方ばね５Ａ及び強力ばね５Ｂから成る
位置規制手段と；前記接触子１が被測定物に轟接した時
に生ずる前記スピンドル３の姿勢変化もしくは変位を電
気信号として検知する信号検出手段としての電気接点６
Ａ、６Ｂ〜ＩＯＡ、ＩＯＢと；を設けたものである。

前記２組の異方ばね、強力ばね４Ａ及び４Ｂと５Ａ、５
Ｂは、各々板ばねとされ、そのスピンドル３の外径への
作用方向が、第２図に示されるように、Ｘ軸及びＹ軸方
向とされている。

前記強力ばね４Ｂ及び５Ｂは１本体ケース２の外側から
、スピンドル３に向って半径方向に位置可変として取付
けられたサポートｌｌ及び１２に、これを挾み込むよう
にして各々ボルト１３及びナツト１４によシ締付は固定
されている。

前記強力ばね４Ｂ及び５ＢＦｉ前記サポー）１１及び１
２の側面をストッパーとして、前記スピンドル３をＸ％
Ｙ方向の中立位置を越えて付勢しないように位置規制さ
れ、又前記弱力ばね４人、５Ａは、前記強力ばね４Ｂ％
５Ｂよりも相当程度弱くされ、中立位置にあるスピンド
ル３を前記強力ばね４Ｂ、５Ｂと反対方向に付勢するよ
うＫされているが１強力ばねしＬ５ＢＫ抗してスピンド
ル３を付勢できないようにされている。

又電気接点６Ａ、８Ａｔ１前記強力ばね４Ｂ、５Ｂのス
ピンドル３の外径に接触する部分とされ。

第１図に示されるように、断面が略半円形状とされ、こ
の半円形の円弧の先端においてスピンドル３０表面に接
触するようにされている。

前記強力ばね４Ｂ、５Ｂのスピンドル３と反対側には、
第２図に示されるようＫＸ軸及びＹ軸上に軸線を有する
ロッド１５．１６が各々一体的に連結されている。これ
らロッド１５．１６の後端は、本体ケース内周面とスピ
ンドル３の略中関位置で、第２図において、時計方向に
各々直角に折り曲げられ、折曲げ部１５Ａ及び１８Ａを
形成し【いる。

これら折曲げ部１５Ａ及び１６ＡＫは、各々スピンドル
３儒の面に前記電気接点ｉ７Ａ、９Ａが設けられ、該電
気接点（？ｈ及び９ＡＫ対向して本体ケース２の内周面
から延在される接点支持部材１７及び１８に設けられた
接点７Ｂ及び９８に対向されている。前記接点支持部材
１７及び１８は、その途中に絶縁材１７人、１８Ａが介
在され、これによって接点？Ｂ及びｔｆｌＢと本体ケー
ス２が絶縁されるようＫなっている。

又前記強力ばねしＬ５Ｂに取付けられた電気接点６Ａ、
７Ａは、＃強力ばねしＢ、５Ｂの途中に絶縁材４Ｃ，５
Ｃｔ介在させることによって本体ケース２側との絶縁が
形成されている。

前記スピンドル３の上端である基端部３Ａは、第１図に
示されるようＫ、逆円錐台形状とされ、この基端部３Ａ
の円錐形テーバ面において板ばね１９の円孔２０に挿通
されることによって、該板ばね１９に載置されている。

前記板ばね１９は、その基端側において本体ケース２に
ポル）２１によって片持ち状に固定され。

前記円孔２０Ｆｉ該片持ち状の板ばね１９の自由端側に
形成されている。

前記板ばね１９の先端は、第１図に示されるように、該
板ばね１９と反対方向から半径方向に片持ち状に配置さ
れ九強力板ばね２２の先端上面の電気接点１０ＢＫ上方
から接触するととＫよって、下方への変位が規制され、
これによって前記スピンドル３Ｆｉ、軸方向中立位置よ
り先端方向への突出が規制されている。図の符号２３Ｆ
ｉ強力板ばね２２を片持ち状に支持するためのボルトを
示す。

又前記スピンドル３０基端部３Ａは、その逆円錐台の底
面である基端平面２４と本体ケース２０蓋部２Ｂとの関
に装架された圧縮コイルばね２５により下方に付勢され
ている。

前記板ばね１９は、第１図に示されるようにスピンドル
３が中立位置にある時、無負荷状態よりも図において下
方に変形され、即ち蓄力状態となるように取付けられる
とともに、圧縮コイルばねる。

又前記強力板ばね２２は、圧縮コイルばね２５の復元力
及びスピンドル３の荷重との合力によってもたわまない
強さとされるとともに、板ばね１９を介してスピンドル
３を中立位置ＫＭ椅で龜るようにされている。この強力
板ばね２２Ｆｉ、スピンドル３が異常な力によって先端
方向に引張られるような場合に撓むことによってプロー
ブの破壊を防止するものである。前記強力板ばね２２は
、絶縁材２２ＡＫよって本体ケース２との電気的絶Ｂは
各々独立して電気信号取出用導線６Ｃ〜１０Ｃが接続さ
れ、又他の電気接直Ｌ６Ｂ、　＋に、８Ｂ、春情及び１
０ＡＦｉ各々本体ケース２ｔ−介して接地され、これＫ
よって、スピンドル３のＸ′軸ラプラス方向の変位は電
気接点６Ａ、６Ｂ、Ｘ軸マイナス方向への変位は電気接
点７Ａ、７Ｂ、Ｙ軸プラス方向への変位は電気接点８Ａ
、８Ｂ、Ｙ軸マイナス方向への変位は電気接点９Ａ、９
Ｂ、又２軸方向ＫＴｒｉ電気接点１０Ａ、ＩＯＨの各々
のオープンによって検出されるように構成するものであ
る。

具体的には１例えば第４図に示されるように、各接点６
Ａ、７Ｂ、８Ａ、９Ｂ及びＩＯＢと検出回路２６を並列
に接続するとともＫ、本体ケース２も検出回路２６に接
続し、前記電気接点の少なくとも１個がオフ状態になっ
たことから、接触子１と被測定物との接触を検出するも
のである。図の符号３Ｂは絶縁材を示し、接触子ｌとス
ピンドル３の上学部とを電気的に絶縁するものである。

次に本実施例に係るタッチ信号プローブＰの作用を説明
する。

まず接触子ｌが被測定物と接触していない定常状態にお
いては、スピンドル３はサポート１１及び１２によって
変位を規制された強力ばね４Ｂ。

５Ｂと、これに対向する着力ばね４Ａ、５ＡＫよってＸ
軸及びＹ軸方向く同時に位置決めされている。又２軸方
向については、スピンドル３の基端部３Ａｔ載置する板
ばね１９が強力板ばね２２によって下方へ撓むことが規
制されているので、これによっても位置決めされている
。

プローブ移動体等の移動に伴なってタッチ信号プローブ
Ｐが移動され、接触子ｌの先端が被測定物に当接すると
、例えば第２図におけるＸ軸のマイナス方向に当接する
と、スピンドル３ｔ−を着力ばね４Ａに抗してＸ軸のプ
ラス方向に変位し、これによって電気接点６Ａ及び６Ｂ
が非接触状態となる。従ってこの非接触状態が検出回路
２６により検出され、被測定物と接触子１との接触が検
出される。

被測定物への接触の後にタッチ信号プローブＰがＸ軸の
プラス方向に戻ると、スピンドル３の基端部３Ａは、そ
の基端平面２４が圧縮コイルばね２５によって付勢され
ているので、極めて迅速に中立位置に復元されることＫ
なる。従って繰返し測定は迅速かつ精寂良くなされるこ
とＫなる。

タッチ信号プローブＰがＸ軸のプラス方向に移動する場
合は、接触子ｌが被測定物に！！接すると、スピンドル
３Ｆｉ強力ばね４Ｂに抗してＸ軸のマイナス方向に変位
される。

従ってスピンドル３は、基端部３Ａを中心として傾動し
、この時ロッド１５ｔ−Ｘ軸マイナス方向に押すことＫ
なる。ロッド１５がＸ軸のマイナス方向に変位されると
、その折曲げ部１５Ａに形成された電気接点７Ａが電気
接点７Ｂから離間して、非接触状態となる。この非接触
状態は前述と同様に検出回路２６によって検出され、ス
ピンドル３の接触子１が被測定物に当接したことが検出
される。

Ｙ軸方向についても上述と同様であるので説明は省略す
る。

Ｚ軸方向については、タッチ信号プローブＰが下方に変
位されると、スピンドル３の先端の接触子１が被測定物
に上方から当接し、これによってスピンドル３が圧縮コ
イルばね２５に抗して上方に変位される。

スピンドル３が上方に変位すると、スピンドル３０基端
部３Ａを支持する板ばね１９が解放されるので、その自
由端が上方に迅速に復元する。従って板ばね１９先端の
電気接点１０Ａと強力板ばね２２先端の電気接点１０Ｂ
が離間してこの非接触状態が検出回路２６によって検出
され、被測定物と接触子１との接触が検出されることに
なる。

タッチ信号プ四−ブＰが上方に復帰すると、板ばね１９
は、スピンドル３の荷重及び圧縮コイルばね２５の復元
力によって迅速ＫａＩ帰し、電気接点１０ＡとＩＯＢが
閉成される。測定中にスピンドル３が誤って下方に引張
られる等のスピンドル３央出方向への異常な力が加わっ
た場合は、強力板げね２２が撓むととＫよって、電気接
点１０Ａ、１０ＢＩＩｊいはスピンドル３の損傷が肪止
されることＫな゛る。

既述の如く、タッチ信号プローブにおいては、その不感
帯の幅が問題となるが、この実権例においては、Ｘ％Ｙ
軸方向については着力ばね４Ａ。

５Ａ及び強力ばね４Ｂ、５Ｂの強さ及びｚ軸方向につい
ては板ばね１９及び圧縮コイルばね２５の強さ並びにス
ピンドル３の自重を調整することによって行なう、この
場合弱力ばね４Ａ％５Ａ及び強力ばね４Ｂ、５Ｂの調整
は、サポート１１及び１２を本体ケース２に対してＸ軸
及びＹ軸方向にその進退量を調整するととによって行な
うことができる。

前記実権例においては、！Ｉ触子１と一体のスピンドル
３を付勢する板ばねの変位を介して電気接点を開くよう
にしたので、測定における不感帯の幅を従来け８　ｐｍ
であったのに対して２〜３μｍとすることが可能になつ
九。又測定力のばらつきについても、測定方向の相違に
よるばらつきが解消された。

更に接触子１と一体のスピンドル３０基端部３Ａを逆円
錐台形状として、これを板ばね１９により支持するとと
もに、その基端平面２４を圧縮コイルばね２５によって
付勢するようにし九ので。

スピンドル３の姿勢変化に対する復帰動作を迅速にする
ことができ、これによって繰返し測定を容易、確実とし
たという効果がある。

なお上記実施例は、スピンドル３の基端部３Ａを板ばね
１９によって、強力板ばね２２ｔ−介して支持するとと
もに、圧縮コイルばね２５によって先端方向に付勢し、
これＫよって位置決めするものであるが、本発明はスピ
ンドル３の基端部を単に吊り下げ支持するようｋしたも
のも含むものである。

又前記実施例は、スピンドル３のＸ軸方向の位置決め及
びその姿勢変化もしくは変位の検出手段として、板ばね
である異方ばね及び強力ばねをＸ軸方向及びＹ軸方向に
各１組使用しているが、本発明は、これらのばねが引張
り或いは圧縮コイルばね又は捩りコイルばねの場合、及
び、これらのばねが３組以上の場合も包含するものであ
る。

但し圧縮コイルはね又は引張りコイルばねの場合は、ス
ピンドル３を付勢する力の調節が板ばね或いは捩シコイ
ルばねに比較して困−である。又異方ばね及び強力ばね
を３組以上とした場合は、スピンドル３を拘束する力が
強くなる可能性があるので、その力の調節が問題となる
。

父上記実施例において、強力ばね４Ｂ、５Ｂは、各々サ
ボー）１１．１２をストッパーとしてスピンドル３を中
立位置から更に異方ばね４Ａ、５Ａを押す方向に変位さ
れないようにするものであるが、これら強力ばねしＬ５
Ｂは、無負荷状態でスピンドル３を中立位置に維持する
ようにすれば、ストッパーは必ずしも必要では碌い。

本発明Ｆｉ、被測定物との接触による接触子の３次元的
な変位をとらえて、接触子と被測定物との２５・・・圧
縮コイルばね。

接触を検知するタッチ信号プローブにおいて、上記のよ
うに構成′したので、測定力及び測定精度にばらつきが
々く、しかも不感帯の幅が小さく、原点位置復帰性、繰
返し測定精度を高くすることができるという優れた効果
を有する。又簡単な構造によシ接触子と被測定物との接
触状１１を確実に検知することができ、実用性が高いと
いう効果も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るタッチ信号プローブの実施例を示
す縦断面図、第２図は第１図の…−Ｈ１ｌｌに沿う断面
図１．第３図は第１図の１−１１ａＫ沿う断面図、第４
図は同実施例における検出回路を示すブロック図である
。Ｐ・・・タッチ信号プローブ、ｌ・・・接触子、２・・
・本体ケース、３・・・スピンドル、３Ａ・・・基端部
、４Ａ、５Ａ・・・異方ばね、４Ｂ、５Ｂ・・・強力ば
ね、６Ａ、７Ｂ、８Ａ、９Ｂ％ＩＯＢ・・・電気接点、
１１．１２・・・サポート、１９・・・板ばね、２０・
・・円孔、２２・・・強力板ばね、２４・・・基端平面
、代理人　　松　山　圭　佑（ほか１名）町５８−３８８０３（８）第３目第４図。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　　被測定物との接触による接触子の３次元的な
変位をとらえて、接触子と被測定物との接触を検知する
タッチ信号プローブにおいて；本体ケースから垂直下方
に突出して先端に前記接触子を支持するとともに、基端
側で吊下げ支持１位置決めされたスピンドルと；このス
ピンドルの軸線と直交する面内に配置され、該スピンド
ルを中立位置にあるよう半径方向に付勢してその外径を
挾み込む弱力ばねおよびこれよシ強い強力ばねを１組と
する、少なくとも２組の位置規制手段と；前記渕定子が
被測定物に当接したときに生ずる前記スピンドルの姿勢
変化もしくは変位を電気信号として検知する信号検出手
段と；を設けたことを特徴とするタッチ信号プローブ。
（２）　　前記スピンドル基端部の吊下げ支持、位置決
め手段は、前記スピンドルが上方に変位できるよう基端
部を載置することを特徴とする特許請求の範囲ｔｓ１項
記載のタッチ信号プローブ。
（３）前記位置規制手段の前記強力ばねは、前記スピン
ドルを中立位置を越えて付勢し々いようにストッパーに
よシ位置規制され、また前記弱力ばねは、前記強力ばね
と反対方向に前記スピンドルを付勢するようにされたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載
のタッチ信号プローブ。
（４）前記位置規制手段は２組であって、相互に直交す
る方向から前記スピンドルを付勢するように配置され九
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項、筒２項または
第３項記載のタッチ信号プローブ。
（５）　　前記強力ばねおよび弱力ばねは板ばねとされ
たことを特徴とする特許請求の範囲ｊＩ１項乃至第４項
記載のいずれかのタッチ信号プローブ。
（６）前記信号検出手段は、中立位置における前記スピ
ンドルと強力ばねとの接触点と、皺強力ばねが前記スピ
ンドルによって押される時離間する核強力ばねと前配本
体側との接触点とを電気接点とし、これら電気接点のオ
ン・オフを検知するようにし友ことを特徴とする特許請
求の範囲第１項、乃至第５項のうちいずれかのタッチ信
号プローブ。
（７）前記スピンドル基端部を載置するとともに、これ
をスピンドル引込み方向に付勢する板ばねと。該板ばを下方から支持し前記スピンドルの軸方向中立位
置より先端方向への突出を前記板ばねを介して規制する
ストッパーと、を有し、前記信号検出手段は前記ストツ
、パと前記板ばねの接触点を電気接点とし、この電気接
点のオン・オフを検知するようにし友ことを特徴とする
特許請求の範囲第１項乃至第６項のうちいずれかのタッ
チ信号プローブ。
（８）前記スピンドル基端部の吊下げ支持、位置決め手
段の板ばねは、その自由端近傍にスピンドル載置用の円
孔が形成され、前記スピンドルの基端部は逆円錐形状と
されるとともに、該円錐形テーバ面において前記板ばね
の円孔に載置され、かつ基端平面において、ばねＫより
先端方向に付勢されたことン特徴とする特許請求の範囲
ｇ７項記載のタッチ信号プローブ。