JPS5837940B2 - 試料微動装置 - Google Patents
試料微動装置Info
- Publication number
- JPS5837940B2 JPS5837940B2 JP1242978A JP1242978A JPS5837940B2 JP S5837940 B2 JPS5837940 B2 JP S5837940B2 JP 1242978 A JP1242978 A JP 1242978A JP 1242978 A JP1242978 A JP 1242978A JP S5837940 B2 JPS5837940 B2 JP S5837940B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- moving
- fine movement
- attached
- movement device
- Prior art date
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- Expired
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料微動装置、特に走査電子顕微鏡等に用いら
れるのに適した試料微動装置に閑する。
れるのに適した試料微動装置に閑する。
走査電子顕微鏡にえいては、第１図に示されるように、
電子ビーム軸に対して垂直な平面内でのＸ釦よびＹ移動
２むよび３、電子ビーム軸に沿うＺ移動、回転のための
Ｒ移動、傾斜のためのＴ移動等の複数種の移動が試料１
に与えられるようになっている場合が多い。
電子ビーム軸に対して垂直な平面内でのＸ釦よびＹ移動
２むよび３、電子ビーム軸に沿うＺ移動、回転のための
Ｒ移動、傾斜のためのＴ移動等の複数種の移動が試料１
に与えられるようになっている場合が多い。
ここに、Ｚ移動は対物レンズ７と試料１との間のいわゆ
る作動距離ｌを短かくして分解能を向上させたり、作動
距離１を長くして低倍率で歪の少ない像観察を行なった
りするために用いられるものである。
る作動距離ｌを短かくして分解能を向上させたり、作動
距離１を長くして低倍率で歪の少ない像観察を行なった
りするために用いられるものである。
作動距離ｌは普通試料１を電子ビーム軸に沿って移動さ
せることによって変えられる。
せることによって変えられる。
しかし、このような方法では作動距離ｌの変化範囲を非
常に大きくしたいと思うときは、これに応じて試料を広
範囲に亘って移動させなければならず、その結果として
小形化が阻止され、且つ振動の問題が無視され得なくな
る。
常に大きくしたいと思うときは、これに応じて試料を広
範囲に亘って移動させなければならず、その結果として
小形化が阻止され、且つ振動の問題が無視され得なくな
る。
したがって、本発明の目的はかかる問題を解決し得る試
料微動装置を提供することにある。
料微動装置を提供することにある。
第２図および第３図は本発明にもとづく一実施例を示す
。
。
第２図を参照するに、試料室８内には試料徴動機構９が
配置され、その上部には対物レンズ７がとりつけられて
いる。
配置され、その上部には対物レンズ７がとりつけられて
いる。
試料徴動機購９にむいて、試料１ぱ試料支持台１０によ
って支持されている。
って支持されている。
試料支持台１０は試料１に回転を与えるための回転テー
ブル１１にはね１２を介して装着されている。
ブル１１にはね１２を介して装着されている。
回転テーフル１１は傾斜台１４の中央部に回動可能に設
けられ、該傾斜台は軸１３を中心として揺動可能なるよ
うにＺ移動台１６によって支持されている。
けられ、該傾斜台は軸１３を中心として揺動可能なるよ
うにＺ移動台１６によって支持されている。
２移動台１６は軸受１５に上下動は可能なるも回転は阻
止されるように支持されている。
止されるように支持されている。
Ｙ移動台１８は軸受１５と一体となっており、該Ｙ移動
台とベース１９０間にはボール１７．２０を介してＸ移
動台２１が介在されている。
台とベース１９０間にはボール１７．２０を介してＸ移
動台２１が介在されている。
回転テーブル１１，傾斜台１４、Ｚ移動台１６ち・よび
Ｘ移動台２０は駆動軸（詳細図示は省略）２２を介して
つ昔み２３により独立して動くことができ、それによっ
て試料１に第１図に示されるようなＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ＄−
よびＴの移動を与えることができる。
Ｘ移動台２０は駆動軸（詳細図示は省略）２２を介して
つ昔み２３により独立して動くことができ、それによっ
て試料１に第１図に示されるようなＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ＄−
よびＴの移動を与えることができる。
な釦、試料１の上面は傾斜台１４の揺動中心線上に位置
づけられる。
づけられる。
Ｚ移動台１６の中間部には試料装置部２４があり、ここ
には第３図に示されるように、試料１を支持した試料台
１０をはね１２を介して装着することができるようにな
っている。
には第３図に示されるように、試料１を支持した試料台
１０をはね１２を介して装着することができるようにな
っている。
なお、第３図は回転テーフル１１から試料支持台１０を
取り去り、且つ傾斜台１４を第２図の状態から９００だ
け傾けた状態を示している。
取り去り、且つ傾斜台１４を第２図の状態から９００だ
け傾けた状態を示している。
かくして、試料１を第２図に示されるように回転テーブ
ル１１にとりつければ、作動距離１を短かくして試料１
の観察を行なうことができるようになり、又試料１を第
３図に示されるようにＺ移動台１６にとりつければ、作
動距離■を大きくして試料１の観察を行なうことができ
るようになる。
ル１１にとりつければ、作動距離１を短かくして試料１
の観察を行なうことができるようになり、又試料１を第
３図に示されるようにＺ移動台１６にとりつければ、作
動距離■を大きくして試料１の観察を行なうことができ
るようになる。
したがって、作動距離ｌを１ ０ ０ｒｒａｎだけ変え
ようとする場合、従来例では試料１を１００ｒＭｎだけ
移動させるように設計されなければならないのに対して
、第２図釦よび第３図の実施例では、試料１を回転テー
ブル１１にとりつけたときのその試料の位置から、試料
１を試料装着部２４にとりつけたときのその試料の位置
に至渣での距離をｌｊｌとすれば、試料１を１００−ｊ
Ｊｌだけ動かすように設計がなされればよいから、ｄｌ
だけ小形化が可能となり、且つ振動の問題が軽減される
。
ようとする場合、従来例では試料１を１００ｒＭｎだけ
移動させるように設計されなければならないのに対して
、第２図釦よび第３図の実施例では、試料１を回転テー
ブル１１にとりつけたときのその試料の位置から、試料
１を試料装着部２４にとりつけたときのその試料の位置
に至渣での距離をｌｊｌとすれば、試料１を１００−ｊ
Ｊｌだけ動かすように設計がなされればよいから、ｄｌ
だけ小形化が可能となり、且つ振動の問題が軽減される
。
１た、試料支持台１０は回転テーブル１１および移動台
１６に着脱可能に選択的に装着して使用されるようにな
っているため、特に長い試料の−観察をも容易に行うこ
とができる。
１６に着脱可能に選択的に装着して使用されるようにな
っているため、特に長い試料の−観察をも容易に行うこ
とができる。
というのも、特に長い試料の場合は、これを移動台１６
に装着して観察することができるからである。
に装着して観察することができるからである。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
支持台が回転テーブルに装着される場合は試料には水平
移動、上下移動、回転および傾斜を与えることができ、
１た試料支持台を傾斜台がとりつけられる移動台に装着
する場合は大きな作動距離の状態で試料の観察を行なう
ことができると共に特に長い試料の観察を行うことがで
き、加えて試料をその位置を変えて観察するに当っては
特別な付加装置を付加する必要がないと共に小形化が図
られかつ振動の問題が軽減される。
支持台が回転テーブルに装着される場合は試料には水平
移動、上下移動、回転および傾斜を与えることができ、
１た試料支持台を傾斜台がとりつけられる移動台に装着
する場合は大きな作動距離の状態で試料の観察を行なう
ことができると共に特に長い試料の観察を行うことがで
き、加えて試料をその位置を変えて観察するに当っては
特別な付加装置を付加する必要がないと共に小形化が図
られかつ振動の問題が軽減される。
第１図は試料微動の概念を示す図、第２図は本発明にも
とづく一実施例を示す試料微動装置の縦断面図、第３図
はＺ移動台にとりつけた場合の、第２図の試料徴動機構
部の縦断面図である。 １・・・試料、１０・・・試料支持台、１１・・・回転
テーフル、１４・・・傾斜台、１５・・・軸受、１６・
・・Ｚ移動台、１８・・・Ｙ移動台、１９・・・ベース
、２１・・・Ｘ移動台、２４・・・試料装着部。
とづく一実施例を示す試料微動装置の縦断面図、第３図
はＺ移動台にとりつけた場合の、第２図の試料徴動機構
部の縦断面図である。 １・・・試料、１０・・・試料支持台、１１・・・回転
テーフル、１４・・・傾斜台、１５・・・軸受、１６・
・・Ｚ移動台、１８・・・Ｙ移動台、１９・・・ベース
、２１・・・Ｘ移動台、２４・・・試料装着部。
Claims (1)
- １ 回転テーブルと、該回転テーフルが回転可能にとり
つけられた傾斜台と、該傾斜台が前記回転テーブルと共
に予め定められた軸を中心として揺動可能なるようにと
りつけられた移動台と、該移動台を水平動させるための
手段とを備え、前記移動台はその上下動は可能であるが
その回転は阻止されるように前記移動手段にとりつけら
れ、前記回転テーブルおよび前記移動台には選択的に試
料支持台が装着されるように構成したことを特徴とする
試料微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242978A JPS5837940B2 (ja) | 1978-02-08 | 1978-02-08 | 試料微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242978A JPS5837940B2 (ja) | 1978-02-08 | 1978-02-08 | 試料微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54105958A JPS54105958A (en) | 1979-08-20 |
| JPS5837940B2 true JPS5837940B2 (ja) | 1983-08-19 |
Family
ID=11805036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1242978A Expired JPS5837940B2 (ja) | 1978-02-08 | 1978-02-08 | 試料微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837940B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257205B2 (ja) * | 1981-12-03 | 1990-12-04 | Honda Motor Co Ltd | |
| US10691299B2 (en) | 2014-09-25 | 2020-06-23 | Oracle International Corporation | Display of hierarchical datasets using high-water mark scrolling |
-
1978
- 1978-02-08 JP JP1242978A patent/JPS5837940B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257205B2 (ja) * | 1981-12-03 | 1990-12-04 | Honda Motor Co Ltd | |
| US10691299B2 (en) | 2014-09-25 | 2020-06-23 | Oracle International Corporation | Display of hierarchical datasets using high-water mark scrolling |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54105958A (en) | 1979-08-20 |
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