JPS5827869B2 - test equipment - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、複数のプローブと概ね平坦な試１験部材とを
電気的に接触させる試験装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a test apparatus that makes electrical contact between a plurality of probes and a generally flat test member.

公知の回路板試験装置には、複数の電気試験プローブと
種々の試験点を有する回路板とを相対的に移動させて、
これらを電気的に接触させるアクチュエータ・アセンブ
リイが使用されている。Known circuit board testing equipment includes relatively moving a plurality of electrical test probes and a circuit board having various test points.
An actuator assembly is used to bring these into electrical contact.

これらのプローブは、一般に細長く、その一端は回路板
の試験点と電気的に接触するプローブ・ヘッドを具備し
、他端は回路板分析器のような試験装置と電気的に接続
されている。These probes are generally elongated and have a probe head at one end that makes electrical contact with a test point on a circuit board and at the other end that is electrically connected to test equipment, such as a circuit board analyzer.

回路板上の種種の試験点間が導通しているか否かをプロ
ーブを通して回路板分析器で検知し、この回路板が正常
であるか否かを判別する。A circuit board analyzer detects whether there is continuity between various test points on a circuit board through probes, and determines whether the circuit board is normal or not.

従来、プローブ列と試、験板とを接触させるために、様
々な方法が試みられてきた。In the past, various methods have been tried to bring the probe array into contact with the test plate.

そのような方法で使用される装置の一つに、真空作動式
のものがある。One type of equipment used in such methods is vacuum operated.

第９図は、この種の装置の概略を示す断面図であって、
簡略化のために、左半分を切除して示しである。FIG. 9 is a sectional view schematically showing this type of device,
For simplicity, the left half is shown cut away.

第９図には、一例として伸縮ばねプローブを固定支持部
材３０２に取り付けたものを示しである。FIG. 9 shows, as an example, a telescopic spring probe attached to a fixed support member 302.

このようなプローブの一本を一例として符号３０６で示
しである。One such probe is shown by reference numeral 306 as an example.

この固定支持部材３０２は、一般に長方形のプレート状
であり、額縁状のハウジング３０８内に固定されている
。This fixed support member 302 is generally in the shape of a rectangular plate and is fixed within a frame-shaped housing 308.

固定支持部材３０２と略同形状の剛性支持部材３１２は
、固定支持部材３０２の上方に、スプリング３１４を介
して上下動自在に取り付けられている。A rigid support member 312 having substantially the same shape as the fixed support member 302 is attached above the fixed support member 302 via a spring 314 so as to be vertically movable.

剛性支持部材３１２の固定支持部材３０２とは反対側に
、仕切板、即ち密閉部材３１５が取り付けられている。A partition plate or sealing member 315 is attached to the opposite side of the rigid support member 312 from the fixed support member 302 .

剛性支持部材３１２及び密閉部材３１５には、各プロー
ブと位置合せされた孔が穿たれ、このうちの一つの孔３
１６をこれと整合したプローブ３０６と共に示しである
。The rigid support member 312 and the sealing member 315 are provided with holes aligned with each probe, one of which is the hole 3.
16 is shown with a matching probe 306.

試験される回路板は参照符号３１８で示され、試験点は
プローブ３０６と位置合せされている。The circuit board being tested is indicated by reference numeral 318 and the test points are aligned with probes 306.

ヒンジ結合されたドア３２０は、回路板３１８を収容す
る四部を有するので、該ドア３２０の下部密閉縁３２０
ａと密閉部材３１５とで回路板３１８の周囲を完全に密
閉する。The hinged door 320 has four parts that house the circuit board 318 so that the lower sealing edge 320 of the door 320
A and the sealing member 315 completely seal the periphery of the circuit board 318.

その結果、真空室３２２が、ドア３２０と固定支持部材
３０２とハウジング３０８との間に形成される。As a result, a vacuum chamber 322 is formed between door 320, fixed support member 302, and housing 308.

真空室３２２は、ハウジング３０８を貫通する開口３２
４を介して空気が抜かれ、これによりプローブ・ヘッド
と回路板３１８上の試験点とが電気的に接触するまでド
ア３２０、密閉部材３１５、回路板３１８及び剛性支持
部材３１２がプローブに向かって引き寄せられる。Vacuum chamber 322 includes an opening 32 through housing 308.
4, which pulls door 320, sealing member 315, circuit board 318, and rigid support member 312 toward the probe until electrical contact is made between the probe head and the test point on circuit board 318. It will be done.

これらのプローブは、一組のインクフェース・ピン３０
７の一つと電気的に接続されており、該ピン３０γは、
プローブを介して回路板３１８の電気的導通状態を分析
するデータ処理装置にインタフェース・アセンブリイを
介して接続されている。These probes have a set of inkface pins 30
7, and the pin 30γ is
It is connected via an interface assembly to a data processing device that analyzes the electrical continuity of the circuit board 318 via the probe.

他の従来装置は、第９図に示したものと似ているが、ド
アが取り除かれており、密閉部材に対してそれ自体で密
閉できる、孔のない回路板には、有益である。Another conventional device is similar to that shown in FIG. 9, but the door has been removed and is useful for non-perforated circuit boards that can seal themselves against the sealing member.

このような回路板の一例は、全ての孔が半田や鉛で充填
されている。An example of such a circuit board has all the holes filled with solder or lead.

試験のためにプローブ列と回路板とを共に動かす他の装
置も作られている。Other devices have been constructed to move probe arrays and circuit boards together for testing.

例えば、可動プラテンを用いて回路板と離隔されたプロ
ーブ列とを接触させる装置がある。For example, there are devices that use a movable platen to bring a circuit board into contact with a spaced apart array of probes.

しかしながら、このような装置は作動速度が遅く、しか
も高価である。However, such devices operate slowly and are expensive.

他の先行技術では、支持構造体に差し込める交換可能な
試験ヘッドを使用している。Other prior art uses replaceable test heads that plug into a support structure.

この交換可能な試験ヘッドは、一面に可撓性の仕切板が
装着された支持板を含む。The replaceable test head includes a support plate fitted with a flexible partition on one side.

そして、複数のプローブは、この可撓性の仕切板に装着
されている。A plurality of probes are mounted on this flexible partition plate.

各プローブの一端は、可撓性の仕切板から露出したブロ
ーブ・ヘッドを有し、そして仕切板及び支持板を貫通し
て他の支持板まで延びる細長部を有し、この細長部は、
他の導体にワイヤー・ラッピングや半田付けなどで接続
されている。One end of each probe has a probe head exposed from a flexible divider plate and an elongated portion extending through the divider plate and the support plate to the other support plate, the elongate portion including:
Connected to other conductors by wire wrapping, soldering, etc.

この支持構造体は長方形額縁状構造体を有し、交換可能
な試験ヘッドが支持構造体内に差し込まれたときに、該
長方形額縁状構造体がプローブ・ヘッドの周囲を仕切板
に対して完全に密閉する。The support structure has a rectangular frame-like structure that completely surrounds the probe head against the partition plate when the replaceable test head is inserted into the support structure. Seal tightly.

この支持構造体は、額縁状構造体からプローブ・ヘッド
まで貫通している開口部の開閉をおこなうため、該支持
構造体にヒンジ結合されたドアを具備する。The support structure includes a door hinged to the support structure for opening and closing an opening extending from the frame-like structure to the probe head.

このドアは、該ドアと額縁状構造体との間を密閉して真
空室を形成する弾性シールを具える。The door includes a resilient seal that seals between the door and the frame-like structure to form a vacuum chamber.

額縁状構造体を通って真空室まで排気口が設けられ、該
排気口によって真空室の空気を抜くことができる。An exhaust port is provided through the frame-like structure to the vacuum chamber, through which the air in the vacuum chamber can be evacuated.

この真空室を真空にする過程で、仕切板、即ちプローブ
・ヘッドは、ドアに向って引き寄せられ、ドアとプロー
ブ・ヘッドとの間に配置された試験部材と接触する。During the process of evacuating the vacuum chamber, the partition plate, or probe head, is drawn toward the door and comes into contact with a test member located between the door and the probe head.

この構造体は、前述の従来技術装置に比べて幾つかの利
点を有しているが、額縁状構造体及びドアの構成は、装
置の組立を最も簡単な方法にする程簡略化することがで
きないので、システム全体のコストを低減できない。Although this structure has several advantages over the prior art devices described above, the construction of the frame-like structure and the door can be simplified enough to make assembly of the device the simplest method. Therefore, the cost of the entire system cannot be reduced.

発明の要約 本願は、平坦な試験部材のための試験装置を開示するも
のである。SUMMARY OF THE INVENTION This application discloses a test device for flat test members.

試験部材支持部材は、概ね平坦な試験部材支持面を有す
る。The test member support member has a generally flat test member support surface.

この平坦な試験部材支持面上の平坦な試験領域に接近可
能なドアが設けられる。A door is provided that provides access to the flat test area on the flat test member support surface.

このドアは弾性シールを具備し、該弾性シールは、ドア
から平坦な試験部材支持面へ延びて、ドアを閉じたとき
に試験領域の周囲を完全に取り囲む。The door includes a resilient seal that extends from the door to the flat test member support surface and completely surrounds the test area when the door is closed.

この弾性シールを具備するドアと平坦な試験部材支持面
とで真空空洞部を形成する。The door with the resilient seal and the flat test member support surface form a vacuum cavity.

複数の電気プローブが、上記支持部材にこれを貫通して
接着され、各プローブは、平坦な試験領域内に露出する
ように弾性的にバイアスされているプローブ・ヘッドを
具備している。A plurality of electrical probes are bonded to and through the support member, each probe having a probe head that is resiliently biased to expose within the planar test area.

このドアは、真空空洞部が真空にされたときに、試験領
域に配置された平坦な試験部材が、全てのプローブ・ヘ
ッドに電気的に接触するまでこの平坦な試験部材を、プ
ローブ・ヘッドのバイアスに逆らって付勢する。This door allows the flat test member placed in the test area to be placed in electrical contact with all probe heads when the vacuum cavity is evacuated. energizes against bias.

このドアは一枚のプレートを有し、該ドア。プレートに
弾性シールが装着されていることが好ましい。This door has one plate, the door. Preferably, the plate is fitted with a resilient seal.

上記支持部材も一枚のプレートを有し、該プレートの一
面が概ね平坦な試験部材支持面を成すことが好ましい。Preferably, the support member also has a single plate, with one side of the plate forming a generally flat test member support surface.

上記支持部材が、プローブと支持部材との間の空洞部を
シールするシール材を具備することが好ましい。Preferably, the support member includes a sealing material that seals a cavity between the probe and the support member.

弾性材のシートを上記支持プレートの一面に貼り、そし
て各プローブの周囲を包囲して緊密にシールすることが
好ましい。Preferably, a sheet of elastic material is applied to one side of the support plate and tightly sealed around each probe.

ドア・プレートに装着された弾性シールは、空洞部から
空気が抜かれたときに、該弾性シールが平坦な試験部材
支持面と接して緊密にシールするように、空洞部から外
方に拡がって該空洞部の周囲を包囲することが好ましい
。A resilient seal attached to the door plate expands outwardly from the cavity such that when air is removed from the cavity, the resilient seal contacts and seals tightly against the flat test member support surface. Preferably, the cavity is surrounded.

ドアが開いているときに、平坦な試験部材の一面とプロ
ーブ・ヘッドとを直接接触させるように位置決めを行な
う位置決め部材を設けることが好ましい。Preferably, a positioning member is provided for positioning the probe head in direct contact with one side of the flat test member when the door is open.

ドア及びドア・プレートは、本試験装置に回動自在に装
着され、ドア・プレートは、平坦な試験部材支持面と弾
性シール間の方向を自由に定めることができるものが好
ましい。The door and door plate are rotatably mounted on the test apparatus, and the door plate is preferably capable of freely determining the direction between the flat test member support surface and the elastic seal.

本発明の望ましい実施例では、真空口が空洞部から支持
部材を貫通して設けられている。In a preferred embodiment of the invention, a vacuum port is provided through the support member from the cavity.

弾性シールは、ドアが閉じられたときに試験部材支持面
に直接接触するのが好ましい。Preferably, the resilient seal is in direct contact with the test member support surface when the door is closed.

詳細な説明 第１図乃至第８図は、平坦な試験部材の試験点と電気的
接触をおこなう真空作動取り付はシステム、即ち本発明
に係る試験装置を示している。DETAILED DESCRIPTION FIGS. 1-8 illustrate a vacuum-operated mounting system, ie, a test apparatus according to the present invention, for making electrical contact with a test point on a flat test member.

第１図に示すように、この試験装置は試験部材支持部材
２を含み、該支持部材２は、試験部材を配置する試験部
材試験位置４を備える。As shown in FIG. 1, the test device includes a test member support member 2, which is provided with a test member test position 4 in which the test member is placed.

説明の都合で、プリント基板のような試験部材２１を一
点鎖線で試験位置４に示しである。For convenience of explanation, a test member 21, such as a printed circuit board, is shown at the test position 4 by a dashed line.

ドア６は、ヒンジ１０によってフレーム８にヒンジ結合
されている。The door 6 is hinged to the frame 8 by a hinge 10.

このドア６を開いた状態では試験部材２１を試験位置４
に取り付けることができるが、閉じた状態では取り付け
ることができない。When this door 6 is open, the test member 21 is moved to the test position 4.
It can be installed in the closed position, but it cannot be installed in the closed position.

このドア６及び試験部材支持部材２は上述の構成なので
、ドア６を閉じたときは、第７図及び第８図に示すよう
に、実質的に閉じた空洞部１２を形成する。Since the door 6 and the test member support member 2 have the above-described configuration, when the door 6 is closed, a substantially closed cavity 12 is formed as shown in FIGS. 7 and 8.

この空洞部１２は試験位置４を包囲している。This cavity 12 surrounds the test position 4.

上記ドア６及び支持部材２は、夫々空洞部１２の対向壁
１２ａ及び１２ｂを構成する。The door 6 and the support member 2 constitute opposing walls 12a and 12b of the cavity 12, respectively.

ドア６はドア、プレート１４を含み、試験部材支持部材
２はヘッド・プレート１６を含み、壁１２ａ 、１２ｂ
はドア６を閉じたときに互いに対向位置に来る。The door 6 includes a door plate 14, the test member support member 2 includes a head plate 16, and the walls 12a, 12b.
are located opposite each other when the door 6 is closed.

ドア・プレート１４及びヘッド・プレート１６は、絶縁
材で作られるのが好ましい。Door plate 14 and head plate 16 are preferably made of insulating material.

例えば、ドア・プレート１４は薄い透明な合成樹脂であ
り、またヘッド、プレート１６はリンネルベースのフェ
ノール樹脂である。For example, the door plate 14 is made of a thin transparent synthetic resin, and the head plate 16 is made of a linen-based phenolic resin.

更に詳細に説明する。This will be explained in more detail.

ドア６の壁１２ａは、ドア６を閉じて空洞部１２を真空
にすると、ドア６及び支持部材２の外側面にはそれぞれ
大気圧が作用しているので、この大気圧によってドア６
と支持部材２とは互いに接近する方向に圧迫されてドア
６の壁１２ａが支持部材２の壁１２ｂに向かって垂直に
動かされる。When the door 6 is closed and the cavity 12 is evacuated, atmospheric pressure acts on the outer surfaces of the door 6 and the support member 2, so the wall 12a of the door 6 is closed by this atmospheric pressure.
and the support member 2 are pressed toward each other, and the wall 12a of the door 6 is moved vertically toward the wall 12b of the support member 2.

互いに離隔された導電性のプローブ１８の列は、支持部
材２の壁１２ｂにこれを貫通して装着されている。A row of electrically conductive probes 18 spaced apart from one another are mounted on and through the wall 12b of the support member 2.

これらのプローブ１８は、試験の際に試験部材２１の所
望の試験点に対応する列状に配列されている。These probes 18 are arranged in rows corresponding to desired test points on the test member 21 during testing.

第１図には、簡略化のために四本のプローブ１８しか示
していない。Only four probes 18 are shown in FIG. 1 for simplicity.

第５図及び第６図に詳細に示しであるように、各プロー
ブ１８は、空洞部１２の外側に露出した端部１８ｂと、
電気的に接触するプローブ・ヘッド１８ａとを有する。As shown in detail in FIGS. 5 and 6, each probe 18 has an end 18b exposed to the outside of the cavity 12;
and a probe head 18a in electrical contact with the probe head 18a.

各プローブ・ヘッド１８ａは、空洞部１２内に露出して
いる（第７図及び第８図参照）。Each probe head 18a is exposed within the cavity 12 (see FIGS. 7 and 8).

各プローブ・ヘッド１８ａは、壁１２ｂから実質的に共
通な平面に弾性的にバイアスされている。Each probe head 18a is resiliently biased from wall 12b into a substantially common plane.

各プローブ・ヘッド１８ａは、ドア６を開いたときに、
試、験位置４に配置された試験部材２１の一面に直接接
触するように露出していることが好ましい。Each probe head 18a, when the door 6 is opened,
It is preferable that the test member 21 is exposed so as to be in direct contact with one surface of the test member 21 placed at the test position 4.

説明の都合で、概ね長方形で平坦な試験部材２１は、第
５図において試験位置４に一点鎖線で示されているが、
これはドア６を開いたときの状態である。For illustrative purposes, a generally rectangular and flat test member 21 is shown in dashed lines at test position 4 in FIG.
This is the state when the door 6 is opened.

各プローブ・ヘッド１８ａは、圧力下で支持部材２の壁
１２ｂに向かって移動可能である。Each probe head 18a is movable under pressure towards the wall 12b of the support member 2.

四本の位置決めピン２０は、支持部材２上にあって、ド
ア６が開いているときに試１験部材２１の一面が露出プ
ローブ・ヘッド１８ａと直接接触するように試験部材２
１を直接位置決めする位置決め部材を構成する。The four locating pins 20 are on the support member 2 and are arranged so that one side of the test member 21 is in direct contact with the exposed probe head 18a when the door 6 is open.
1 constitutes a positioning member for directly positioning.

これらの位置決めピン２０は、ヘッド・プレート１６か
ら垂直方向に延びている。These locating pins 20 extend vertically from the head plate 16.

プリント基板のような試験部材２１には、位置決めピン
２０と整合し且つそれを包囲する位置決め孔を設けであ
る。A test member 21, such as a printed circuit board, is provided with a locating hole that aligns with and surrounds the locating pin 20.

その結果、位置決めピン２０は、該位置決めピン２０上
に配置された試験部材２１を壁１２ｂに近づけたり離し
たり案内するだけでなく、該試験部材２１がプローブ１
８に対して横方向へ移動するのを妨げるので、試験部材
２１上の試１験点とプローブ１８の列とを正確に整列さ
せることができる。As a result, the positioning pin 20 not only guides the test member 21 placed on the positioning pin 20 toward or away from the wall 12b, but also guides the test member 21 placed on the probe 1
8, the test point on the test member 21 and the row of probes 18 can be accurately aligned.

一例として四本の位置決めピン２０を示したが、その数
は四本より少なくてもよい。Although four positioning pins 20 are shown as an example, the number may be less than four.

また、Ｘ−ｙ座標上の試験部材２１をヘッド・プレート
１６に対して固定するために、その他の位置決め部材を
使用することもできるが、これは当業者にとって極めて
周知である。Other positioning members may also be used to secure the X-y test member 21 relative to the head plate 16, but are well known to those skilled in the art.

但し、位置決めピン２０のような位置決め部材は、ドア
６の動きを妨げるようなものであってはならない。However, the positioning member such as the positioning pin 20 must not interfere with the movement of the door 6.

第１図乃至第３図及び第３Ａ図に関して説明する。Description will be made regarding FIGS. 1 to 3 and FIG. 3A.

ドア６は弾性シール２２を具備している。この弾性シー
ル２２は、ドア６を閉じたときにドア６の壁１２ａと支
持部材２の壁１２ｂとの間の空洞部１２の周囲を完全に
包囲する空洞部１２用の真空シールを形成する。The door 6 is equipped with a resilient seal 22. This elastic seal 22 forms a vacuum seal for the cavity 12 that completely surrounds the cavity 12 between the wall 12a of the door 6 and the wall 12b of the support member 2 when the door 6 is closed.

真空口２４は、支持部材２を貫通して空洞部１２内へ延
びており、空洞部１２を真空にするためのものである。The vacuum port 24 extends into the cavity 12 through the support member 2, and is for evacuating the cavity 12.

真空装置は図示していないが、支持部材２に装着され、
真空口２４に接続されて空洞部１２を真空にできる。Although the vacuum device is not shown, it is attached to the support member 2,
It is connected to the vacuum port 24 so that the cavity 12 can be evacuated.

弾性シール２２は、ドア・プレート１４に貼付けられ、
ドア６を閉じたときに支持部材２上でドア・プレート１
４を弾性的に支持する。A resilient seal 22 is affixed to the door plate 14;
Door plate 1 on support member 2 when door 6 is closed
4 is elastically supported.

その結果、ドア・プレート１４は、空洞部１２の真空吸
引に応動可能となり、弾性シール材２２を変形させて支
持部材２に向かって移動することができる。As a result, the door plate 14 is capable of responding to the vacuum suction of the cavity 12, deforming the resilient sealing material 22 and moving toward the support member 2.

この移動によって位置決め部材即ち位置決めピン２０で
位置決めされた試験部材２１の一面に、略均−な圧力を
加えることができる。This movement allows approximately uniform pressure to be applied to one surface of the test member 21 positioned by the positioning member, that is, the positioning pin 20.

試験部材２１に圧力が加えられる結果、弾性的にバイア
スされたプローブ・ヘッド１８ａは、第８図に示すよう
に全てのプローブ・ヘッド１８ａと試験部材２１とが電
気的に接触するまで下方へ移動する。As a result of the pressure applied to the test members 21, the elastically biased probe heads 18a move downward until all probe heads 18a and test members 21 are in electrical contact, as shown in FIG. do.

第６図は、ヘッド・プレート１６を貫通した孔２６をプ
ローブ１８が貫通している状態を示している。FIG. 6 shows the probe 18 passing through the hole 26 that passes through the head plate 16.

ヘッド・プレート１６の肩部とこの肩部に面するプロー
ブ１８との間に螺旋状の圧縮スプリング２８が挿着され
ているので、プローブ１８、即ちプローブ・ヘッド１８
ａの弾性的バイアスが可能である。A helical compression spring 28 is inserted between the shoulder of the head plate 16 and the probe 18 facing the shoulder, so that the probe 18, i.e., the probe head 18
An elastic bias of a is possible.

ショルダー・リング１８ｃがプローブ１８に設けられ、
これによってスプリング２８の作用下でのプローブ１８
の移動量が規制される。A shoulder ring 18c is provided on the probe 18;
This allows the probe 18 under the action of the spring 28 to
The amount of movement is regulated.

プローブ１８と孔２６との間には隙間があるので、空気
を抜くときにかなりの量の空気がヘッド・プレー１へ１
６を通って流入してしまうので、この空気の流入を防ぐ
ことが重要である。Since there is a gap between the probe 18 and the hole 26, a considerable amount of air flows into the head play 1 when the air is removed.
6, so it is important to prevent this air from flowing in.

そのようなわけで、シール部材を各プローブ１８の周囲
に設けて空洞部１２をシールしている。As such, a seal member is provided around each probe 18 to seal the cavity 12.

このため、好ましくはゴムである弾性材から成るゴム・
シート３０をヘッド・プレート１６の下面に貼り付けて
あり、このゴム・シート３０は、第６図に示されている
ように、各プローブ１８の周囲を包囲して緊密にシール
している。For this reason, a rubber band consisting of an elastic material, preferably rubber.
A sheet 30 is affixed to the underside of the head plate 16, and the rubber sheet 30 surrounds and tightly seals each probe 18, as shown in FIG.

プローブ１８を支持部材２上に組み込み、そしてゴム、
シート３０とプローブ１８との間を確実にシールするた
めに、プローブ１８を孔２６の中に圧入してゴム、シー
ト３０を貫通させ、他方該ゴム・シート３０を硬透過性
材のシート上に載置する。The probe 18 is assembled on the support member 2, and the rubber,
To ensure a secure seal between the sheet 30 and the probe 18, the probe 18 is pressed into the hole 26 and the rubber sheet 30 is inserted through the sheet 30, while the rubber sheet 30 is placed over a sheet of hard permeable material. Place it.

また、ゴム・シート３０をヘッド・プレート１６に貼り
付ける方法は種々知られているが、コム・シート３０の
外周を包囲するように両面接着テープ３２をヘッド・プ
レート１６の下端面とゴム・シート３０との間に介在さ
せて、該ゴム・シート３０をヘッド・プレート１６の下
端面に貼り付ける方法が好ましい。Various methods are known for attaching the rubber sheet 30 to the head plate 16, but double-sided adhesive tape 32 is attached to the lower end surface of the head plate 16 and the rubber sheet so as to surround the outer periphery of the comb sheet 30. A preferred method is to attach the rubber sheet 30 to the lower end surface of the head plate 16 by interposing it between the rubber sheet 30 and the rubber sheet 30.

この両面接着テープ３２を第４図に破線で示しである。This double-sided adhesive tape 32 is shown in broken lines in FIG.

第１図乃至第３図及び第３Ａ図に示すドア６について更
に詳述する。The door 6 shown in FIGS. 1 to 3 and 3A will be described in further detail.

ドア・プレート１４は、略長方形状であるが、本発明の
範囲内で、その他種様の形状にすることができる。Door plate 14 is generally rectangular in shape, but may have various other shapes within the scope of the present invention.

弾性シール２２は、ドア・プレート１４の周囲を包囲す
るように該ドア・プレート１４に貼り付けられてシール
し、ドア６を閉じたときに試験位置４の周囲を包囲する
。The elastic seal 22 is affixed to and seals around the door plate 14 so as to surround the door plate 14 and surround the test position 4 when the door 6 is closed.

このため、弾性シール２２は、ヘッド・プレート１６の
上面に接触し、ドア・プレート１４の周囲を取り囲んで
延在する長方形額縁状のブラケット３４によって適切に
保持される。The resilient seal 22 is thus held in place by a rectangular frame-shaped bracket 34 that contacts the top surface of the head plate 16 and extends around the periphery of the door plate 14.

この弾性シール２２は、ドア・プレート１４から外方に
、即ち、ドア６が閉じられたときの−＼ラッドプレート
１６の方向に延在する。This resilient seal 22 extends outwardly from the door plate 14, ie in the direction of the -\rad plate 16 when the door 6 is closed.

その結果、この弾性シール２２は、ヘッド・プレート１
６上にドア・プレート１４を弾力的に接触させることが
できる。As a result, this elastic seal 22
A door plate 14 can be brought into resilient contact on 6.

そして、この弾性シール２２は、空洞部１２をシールす
るだけでなく、ドア・プレート１４をヘッド・プレート
１６上に弾力的に載せる機能を有する。The elastic seal 22 not only seals the cavity 12 but also has the function of elastically placing the door plate 14 on the head plate 16.

ドア６が、空洞部１２の周囲を完全に包囲したヘッド・
プレート１６上で弾性シール２２を平うに方向法めでき
るように、ヒンジ１０からアーム３６．３γを延設し、
旋回軸４０，４２をドア６に、該ドア６がアーム３６，
３８に対して旋回可能に取り付けである。The door 6 has a head completely surrounding the cavity 12.
An arm 36.3γ extends from the hinge 10 so that the elastic seal 22 can be aligned flatly on the plate 16,
The pivot shafts 40 and 42 are attached to the door 6, and the door 6 is attached to the arm 36,
It is pivotably attached to 38.

次に操作について詳述する。Next, the operation will be explained in detail.

まずドア６を第１図に示す位置まで開き、プリント回路
板のような平坦な試験部材２１を、該試験部材２１の位
置決め孔を位置決めピン２０上に整列させて位置決めし
、第５図に示すように試験部材２１とプローブ・ヘッド
１８ａとを直接接触させた後に、第７図に示すようにド
ア６を閉じる。First, the door 6 is opened to the position shown in FIG. 1, and a flat test member 21 such as a printed circuit board is positioned by aligning the positioning holes of the test member 21 with the positioning pins 20, as shown in FIG. After bringing the test member 21 into direct contact with the probe head 18a, the door 6 is closed as shown in FIG.

この時点では、試１験部材２１は、プローブ・ヘッド１
８ａの上方に位置決めされていると共にそれらと直接電
気接触し、弾性シール２２は支持部材２のヘッド・プレ
ート１６と直接接触すると共に空洞部１２の周囲を完全
に包囲して密閉している。At this point, the test member 21 is attached to the probe head 1.
8a and in direct electrical contact therewith, the resilient seal 22 is in direct contact with the head plate 16 of the support member 2 and completely surrounds and seals the cavity 12.

弾性シール２２は、ドア・プレート１４を試験部材２１
から離隔して保持している。Resilient seal 22 connects door plate 14 to test member 21
kept separate from the

そして、ドア６及び弾性シール２２は、真空口２４及び
試１験部材２１の外側を、第４図に一点鎖線で示すよう
に取り囲んでいる。The door 6 and the elastic seal 22 surround the outside of the vacuum port 24 and the test member 21 as shown by the dashed line in FIG. 4.

次に真空口２４を介して空洞部１２の空気抜きをおこな
うと、ドア・プレート１４がヘッド・プレート１６の方
に引き寄せられ、弾性シール２２が変形及び収縮するこ
とによってドア・プレート１４が試１験部材２１の隣接
面に均等に加圧できるようになり、そして試験部材２１
は、弾性的にバイアスされたプローブ・ヘッド１８ａを
該プローブ・ヘッド１８ａが幾らか引っ込むまで押圧す
る。When the cavity 12 is then vented through the vacuum port 24, the door plate 14 is drawn toward the head plate 16, and the elastic seal 22 deforms and contracts, causing the door plate 14 to pass through the first test. This allows for even pressure to be applied to the adjacent surfaces of the member 21, and the test member 21
pushes the elastically biased probe head 18a until it retracts somewhat.

また、本発明にとって不可欠なことではないが、ドア・
プレート１４は、試１験部材２１の表面に凹凸があると
変形する。Although not essential to the invention, the door
The plate 14 is deformed if the surface of the test member 21 is uneven.

この押圧力は、プローブ・ヘッド１８ａの全部又は少な
くとも幾つかがヘッド・プレート１６の底に突き当たる
のに十分な大きさである。This pressing force is sufficient to cause all or at least some of the probe head 18a to bottom out on the head plate 16.

この状態を第８図に示しである。ここで注意すべきこと
は、試験部材が存在しない領域、若しくはプローブ１８
の存在しない試験部材の領域には、ゴム若しくは他の適
材で作られたパッドを用いてドア・プレート１４の変形
量を公称値以内に保つと共に、空洞部全域を通る流路を
形成して確実に十分な排気をすることである。This state is shown in FIG. What should be noted here is that the area where there is no test member or the probe 18
Pads made of rubber or other suitable material are used in areas of the test member where there is no porosity to maintain the amount of deformation of the door plate 14 within the nominal value and to form a flow path throughout the cavity to ensure It is important to provide sufficient exhaust air.

試験部材支持部材２は、フレーム８に着脱可能な可換試
験ヘッドを構成している。The test member support member 2 constitutes a replaceable test head that can be attached to and detached from the frame 8.

第４図及び第５図には、フレーム８から取り外した可換
試験ヘッド、即ち支持部材２を示しである。4 and 5, the replaceable test head or support member 2 is shown removed from the frame 8.

このフレーム８は、前部８ａと後部８ｂとの間で図示し
ない部材によって伸縮可能であり、従って可換試験ヘッ
ドをフレーム８から持ち上げて取り外すことができる。This frame 8 is extendable and retractable between a front part 8a and a rear part 8b by a member (not shown), so that the replaceable test head can be lifted and removed from the frame 8.

また、各プローブ１８は、各々離隔されている多数のイ
ンタフェース・ピン４６の一本に夫々接続されており、
またこれらのインタフェース・ピン４６は図示されてい
ない部材を介して図示されていない回路テスターに接続
されている。Additionally, each probe 18 is connected to one of a number of spaced apart interface pins 46, respectively.
These interface pins 46 are also connected to a circuit tester (not shown) via a member (not shown).

説明の都合で、第５図には一本のプローブ１８を一本の
インタフェース・ピン４６に導線４４で接続した状態及
び二本のインタフェース・ピン４６を示し、他のピンは
一点鎖線で示しである。For convenience of explanation, FIG. 5 shows one probe 18 connected to one interface pin 46 with a conductor 44 and two interface pins 46, and the other pins are not shown with dashed lines. be.

説明の都合上、本発明の好ましい一実施例に基づいて説
明してきたが、特許請求の範囲内で本発明の精神を逸脱
しない限り、多種多様な変形及び修正ができることは、
当然に理解されるべきである。For convenience of explanation, the present invention has been described based on a preferred embodiment, but it is understood that various changes and modifications can be made within the scope of the claims and without departing from the spirit of the present invention.
It should be understood as a matter of course.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、本発明試験装置の望ましい一実施例を示す斜
面図で、プリント回路板を試１験位置に一点鎖線で示し
である。 第２図は、第１図に示した試験装置のドアの平面図で、
支持アームを取り除いて示しである。 第３図は、第２図に示したドアを３−３線に沿って切断
した断面図である。 第４図は、第１図に示した試験装置の一部を構成する可
換試験ヘッドである支持部材の平面図で、プリント回路
板を支持部材上の試験位置に一点鎖線で示しである。 第５図は、第４図に示した支持部材を５−５線に沿って
切断した第４図の右側面図で、支持プレートを取り囲む
ハウジングの一部を切断して該支持プレートの縁部を示
しである。 第６図は、第５図の６−６線で囲んだ部分の拡大図で、
プローブの詳細を示しである。 第７図は、試験部材をプローブ上に配置した後にドアを
閉じたときの支持部材の断面図で、支持部材は第５図と
同様の部分を切断して示し、ドアは第３図と同様の部分
を切断して示しである。 第８図は、第７図に示した支持部材及びドアと同様な断
面図で、空洞部から空気を抜いた状態である。 第９図は、従来の試験装置の一部を示す部分概略断面図
である。 ２・・・・・・（試験部材）支持部材、４・・・・・・
試験位置、６・・・・・・ドア、８・・・・・・フレー
ム、１２・・・・・・空洞部、１４・・・・・ドア・プ
レート、１６・・・・・・ヘッド・プレート、１８・・
・・・プローブ、１８ａ・・・・・・プローブ・ヘッド
、２１・・・・・・試１験部材、２２・・・・・・弾性
シール。FIG. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of the test apparatus of the present invention, in which a printed circuit board is shown in a first test position by a dashed line. FIG. 2 is a plan view of the door of the test device shown in FIG.
Shown with support arm removed. FIG. 3 is a cross-sectional view of the door shown in FIG. 2 taken along line 3--3. FIG. 4 is a plan view of a support member, which is a replaceable test head forming a part of the test apparatus shown in FIG. 1, with a printed circuit board shown in a test position on the support member in dashed lines. 5 is a right side view of FIG. 4 taken by cutting the support member shown in FIG. It shows. Figure 6 is an enlarged view of the area surrounded by line 6-6 in Figure 5.
The details of the probe are shown. FIG. 7 is a cross-sectional view of the support member when the door is closed after placing the test member on the probe; the support member is shown cut away in the same way as in FIG. This section is shown cut away. FIG. 8 is a cross-sectional view similar to the support member and door shown in FIG. 7, with air removed from the cavity. FIG. 9 is a partial schematic sectional view showing a part of a conventional test device. 2... (Test member) Support member, 4...
Test position, 6...Door, 8...Frame, 12...Cavity, 14...Door plate, 16...Head Plate, 18...
... Probe, 18a ... Probe head, 21 ... Test member 1, 22 ... Elastic seal.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 実質的に平坦な支持面を有する試、験部材支持音閏
オと、 上記平坦な支持面の上方の平坦な試験領域に接近可能な
ドアと、 該ドアから上記平坦な支持面まで延在して該ドアが閉じ
られたときに上記試験領域を完全に包囲する弾性シール
と、 該弾性シールと上記ドアと上記支持部材とによって壁を
形成される真空空洞部と、 上記支持部材にこれを貫通して装着され、しかも上記平
坦な試験領域に露出すべく弾性的にバイアスされたプロ
ーブ・ヘッドを具えた複数の電気プローブと、 真空装置に接続すべく上記真空空洞部に穿たれた真空口
と、からなり、 上記真空空洞部が真空にされると、大気圧が上記ドアと
上記支持部材とを圧迫して上記試験領域内に位置する試
験部材を上記プローブ・ヘッドに押圧し、すべての当該
プローブ・ヘッドと当該試験部材とを電気的に接触させ
ることを特徴とする試１験装置。 ２ 前記ドアが一枚のプレートを含み、該ドア・プレー
トに前記弾性シールが装着されている特許請求の範囲第
１項に記載の試験装置。 ３ 前記支持部材が一枚のプレートを含み、該プレート
の一面が前記概ね平坦な支持面を形成している特許請求
の範囲第１項または第２項に記載の試１験装置。 ４ 前記プローブと前記支持部材との間で前記真空空洞
部をシールする部材を含む特許請求の範囲第１項乃至第
３項のいずれか一項に記載の試１験装置。 ５ 前記支持部材のプレートの一面に貼られ、前記各プ
ローブの周囲を緊密にシールする弾性材から成るシート
を具備する特許請求の範囲第３項に記載の試１験装置。 ６ 前記弾性シールは、前記真空空洞部から外向きに張
り出して該真空空洞部の周囲を包囲し、該真空空洞部を
真空にしたときに該弾性シールが前記平坦な試験部材支
持面に対して緊密にシールする特許請求の範囲第２項に
記載の試験装置。 ７ 前記ドアを開いたときに、前記プローブ・ヘッドと
直接接触するように前記試験部材の一面を直接位置決め
する部材を含む特許請求の範囲第１項乃至第６項のいず
れか一項に記載の試験装置。 ８ 前記ドア・プレートが、前記弾性シールを前記試験
部材に対して自由に方向法めできるように、該ドア・プ
レートを旋回自在に支持する部材を具備する特許請求の
範囲第２項に記載の試験装置。 ９ 前記試験部材支持部材を前記真空空洞部まで貫通す
る真空口を有する特許請求の範囲第１項乃至第８項のい
ずれか一項に記載の試験装置。 １０前記弾性シールが、ドアを閉じたときに前記試験部
材支持面と直接接触する特許請求の範囲第１項乃至第９
項のいずれか一項に記載の試験装置。 １１ 前記弾性シールが前記ドアを前記支持部材の平
坦な支持面かう離隔した位置に支持し、また前記ドアと
前記支持部材とが圧迫されると上記弾性シールが変形し
て上記ドアと上記支持部材とを相互に近づけることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の試験装置。 １２前記弾性シールが前記ドアと前記支持部材とが対面
する空間内には延在しないことを特徴とする特許請求の
範囲第１１項に記載の試験装置。[Scope of Claims] 1. A test or test member support bellow having a substantially flat support surface; a door providing access to a flat test area above the flat support surface; a resilient seal extending to a support surface completely surrounding the test area when the door is closed; a vacuum cavity walled by the resilient seal, the door, and the support member; a plurality of electrical probes mounted through the support member and having probe heads resiliently biased to expose the planar test area; and the vacuum cavity for connection to a vacuum device. a vacuum port drilled in the probe head; when the vacuum cavity is evacuated, atmospheric pressure compresses the door and the support member, forcing the test member located within the test area to the probe head; A first test device characterized in that the test member is pressed to electrically contact all of the probe heads and the test member. 2. The test apparatus of claim 1, wherein the door includes a plate, and the resilient seal is attached to the door plate. 3. The test device according to claim 1 or 2, wherein the support member includes a single plate, and one surface of the plate forms the generally flat support surface. 4. The test device according to any one of claims 1 to 3, including a member that seals the vacuum cavity between the probe and the support member. 5. The test device according to claim 3, further comprising a sheet made of an elastic material that is attached to one surface of the plate of the support member and tightly seals around each of the probes. 6. The elastic seal extends outward from the vacuum cavity and surrounds the vacuum cavity, and when the vacuum cavity is evacuated, the elastic seal extends against the flat test member support surface. 3. A test device according to claim 2, which seals tightly. 7. The device according to any one of claims 1 to 6, including a member that directly positions one side of the test member so that it comes into direct contact with the probe head when the door is opened. Test equipment. 8. The method according to claim 2, wherein the door plate includes a member for pivotally supporting the door plate so that the elastic seal can be freely oriented with respect to the test member. Test equipment. 9. The test device according to any one of claims 1 to 8, having a vacuum port that penetrates the test member support member to the vacuum cavity. 10. Claims 1 to 9, wherein the elastic seal is in direct contact with the test member support surface when the door is closed.
Test equipment according to any one of paragraphs. 11 said resilient seal supports said door in a spaced apart position on a flat support surface of said support member, and when said door and said support member are compressed, said resilient seal deforms said door and said support member; 2. The test device according to claim 1, wherein the test device and the test device are brought close to each other. 12. The test device according to claim 11, wherein the elastic seal does not extend into a space where the door and the support member face each other.