JPS5826773B2 - 電子顕微鏡等における試料照射電流検出装置 - Google Patents

電子顕微鏡等における試料照射電流検出装置

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JPS5826773B2
JPS5826773B2 JP53004040A JP404078A JPS5826773B2 JP S5826773 B2 JPS5826773 B2 JP S5826773B2 JP 53004040 A JP53004040 A JP 53004040A JP 404078 A JP404078 A JP 404078A JP S5826773 B2 JPS5826773 B2 JP S5826773B2
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JP
Japan
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sample
electron beam
adsorbent
detection device
current detection
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Expired
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JP53004040A
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JPS5497357A (en
Inventor
勝義 植野
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Jeol Ltd
Original Assignee
Nihon Denshi KK
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡等における試料照射電流検出装置に
関する。
従来電子顕微鏡等では試料電流を測定する手段としてフ
ァラデーケージが使用され、このファラデーケージは観
察室や試料ホルダーに組込まれている。
このファラデーケージに電子線を入射せしめるには試料
移動を行なったり或いはファラデーケージを光軸上に挿
入したりする必要があるため、随時試料電流をモニター
しながら試料の観察、分析を続けることは困難であった
。
またファラデーケージを試料ホルダーに組込む場合ホル
ダー〇構造が複雑になる欠点がある。
本発明は前述した欠点を取り除いて１．随時試料電流を
測定でき測定後の観察、分析の再開が容易な試料電流モ
ニターを得るものである。
以下図面に示す実施例に基づいて詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成略図であり、１は
試料である。
この試料には実線で示すように図示外の電子銃から発生
した電子線２が集束レンズ系により細く集束されて照射
される。
該電子線照射により試料からはＸ線Ｘが発生し、このＸ
線Ｘは非分散型分析装置３により分析される。
４は前記試料１を包囲するようにおかれた導電物質から
なる吸着体で、該吸着体は図示外の冷却槽にて冷却され
ることにより試料近傍のガス分子を吸着し、試料の汚染
を防止するためのものである。
又該吸着体は対物レンズ（図示せず）等鏡体に電気的且
つ熱的に遮断された状態で固定されており、更に該吸着
体は電流計５を介して接地されている。
６は該トラップ上方に設置された偏向コイルである。
しかして今、偏向コイル６に所定の電流を供給すること
により電子線２を偏向させて同図中点線でその状態を示
すように電子線を吸着体４に照射させると、電子線が吸
着体４に吸収されて電流計５に電流が流れるため、電流
計に試料照射用電子線２の電流値が表示される。
以上詳説したように本発明においては試料移動やファラ
デーケージの光軸上への挿入を行うことなしに試料照射
用電子線の電流が測置でき、しかも偏向コイルによる電
子線の偏向を停止すれば、電子線は直ちに元の照射位置
に戻り、分析の再開が可能となる等の効果を有する。
尚前述の実施例は本発明の□１示であり、実施にあたっ
ては種々の変形が考えられる。
列えば第２図にその断面図を示すように吸着体４の電子
線照射部分に開ロアを有した遮蔽板８を一体的に設置す
ることにより吸収電子と共に吸着体４の電子線照射部か
ら発生する２次電子や反射電子を吸収せしめることがで
きる。
これにより試料照射用電子線の電流値をより正確に測定
することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す構成略図、第２図は本
発明の他の実施例を示す要部断面図である。 図において、１は試料、２は電子線、３は非分散型Ｘ線
分析装置、４は吸着体、５は電流計、６は偏向コイルで
ある。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 電子銃からの電子線を集束して試料に照射させる手
    段と、前記試料を囲むようにおかれ且つ鏡体に対して電
    気的、熱的に遮断された状態で取付けられた吸着体と、
    該吸着体を冷却する手段と、前記試料を照射する電子線
    を偏向させて前記吸着体に照射させる偏向手段及び該偏
    向手段により吸着体に吸収される電子線の電流を検出す
    る手段とを具備した事を特徴とする電子顕微鏡等におけ
    る試料照射電流検出装置。
JP53004040A 1978-01-18 1978-01-18 電子顕微鏡等における試料照射電流検出装置 Expired JPS5826773B2 (ja)

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JPS5497357A JPS5497357A (en) 1979-08-01
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0618120B2 (ja) * 1985-07-24 1994-03-09 株式会社日立製作所 荷電粒子ビーム装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5141545A (ja) * 1974-08-07 1976-04-07 Rank Organisation Ltd

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5622607Y2 (ja) * 1972-09-06 1981-05-27

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JPS5141545A (ja) * 1974-08-07 1976-04-07 Rank Organisation Ltd

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