JPS5823925B2 - 炉用放熱防止具 - Google Patents
炉用放熱防止具Info
- Publication number
- JPS5823925B2 JPS5823925B2 JP596077A JP596077A JPS5823925B2 JP S5823925 B2 JPS5823925 B2 JP S5823925B2 JP 596077 A JP596077 A JP 596077A JP 596077 A JP596077 A JP 596077A JP S5823925 B2 JPS5823925 B2 JP S5823925B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- heat
- process tube
- heat radiation
- prevention device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱拡散炉等におけるプロセスチューブ等からの
放熱を減少せしめる放熱防止具に関する。
放熱を減少せしめる放熱防止具に関する。
半導体素子等の製造工程では、たとえば半導体ウェハへ
の各種不純物の熱拡散工程のような熱処理工程が多くあ
る。
の各種不純物の熱拡散工程のような熱処理工程が多くあ
る。
こうした熱処理は大型の電気炉中に一般に石英等からな
るプロセスチューブを挿入し、このプロセスチューブ中
に被加工物をおいて加熱する。
るプロセスチューブを挿入し、このプロセスチューブ中
に被加工物をおいて加熱する。
このような熱処理工程において、炉の熱効率を高めかつ
炉に過度の負担をかけることを避ける上で炉から外部へ
の熱放散を効果的に防止してやることが重要である。
炉に過度の負担をかけることを避ける上で炉から外部へ
の熱放散を効果的に防止してやることが重要である。
一般に、電気炉からの熱放散は特に電気炉端面部におけ
るプロセスチューブとの間隙部及び露出部において最も
太きい。
るプロセスチューブとの間隙部及び露出部において最も
太きい。
従来はこのような熱放散に対してプロセスチューブと電
気炉との間隙部にグラスウール等の耐熱性断熱材をつめ
たり、プロセスチューブにつば状の熱反射板をはめ、上
記間隙部における空気の流通を遮断せしめるなどの手段
がとられてきた。
気炉との間隙部にグラスウール等の耐熱性断熱材をつめ
たり、プロセスチューブにつば状の熱反射板をはめ、上
記間隙部における空気の流通を遮断せしめるなどの手段
がとられてきた。
−しかし、最近では被加工物である半導体ウェハ等
の大面積化にともなってそれだけ口径の大きいプロセス
チューブが用いられるようになっており、プロセスチュ
ーブ両端での放熱も著るしく増大し、その分だけ電気炉
の発熱量を増してやらねばならず、電気炉に過度の負担
がかかるために電気炉の寿命を早めたり、電気炉の温度
特性が不安定になったり、消費電力が増大するなどの問
題を避けることができなかった。
の大面積化にともなってそれだけ口径の大きいプロセス
チューブが用いられるようになっており、プロセスチュ
ーブ両端での放熱も著るしく増大し、その分だけ電気炉
の発熱量を増してやらねばならず、電気炉に過度の負担
がかかるために電気炉の寿命を早めたり、電気炉の温度
特性が不安定になったり、消費電力が増大するなどの問
題を避けることができなかった。
本発明の目的は上述の如き従来の放熱防止具の欠陥を解
消し、より効果的に炉の放熱を防止しうる新規な構成に
なる放熱防止具を提供することにある。
消し、より効果的に炉の放熱を防止しうる新規な構成に
なる放熱防止具を提供することにある。
本発明の放熱防止具は、比較的やわらかい耐熱性断熱材
層と、上記断熱材層をとりかこむようにした金属製の補
強板とからなり、プロセスチューブの炉か、ら突出する
部分の少なくとも炉に近接する一部分をすき間なくとり
かこみ、かつ炉の端面部分とプロセスチューブとの間隙
を密閉するように成形されてなることを特徴とするもの
である。
層と、上記断熱材層をとりかこむようにした金属製の補
強板とからなり、プロセスチューブの炉か、ら突出する
部分の少なくとも炉に近接する一部分をすき間なくとり
かこみ、かつ炉の端面部分とプロセスチューブとの間隙
を密閉するように成形されてなることを特徴とするもの
である。
以下実施例を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施態様を示す放熱防止具の縦断面
図である。
図である。
すなわら、耐熱性断熱材層１とその補強板２とからなる
放熱防止具は、プロセスチューブ３をすき間なくとりか
こむよう円筒状に形成され、その炉４に接する部分はプ
ロセスチューブ３と炉４との間隙部を密閉するようにフ
ランジ状に形成されている。
放熱防止具は、プロセスチューブ３をすき間なくとりか
こむよう円筒状に形成され、その炉４に接する部分はプ
ロセスチューブ３と炉４との間隙部を密閉するようにフ
ランジ状に形成されている。
この放熱防止具はプロセスチューブにすきまなくはめ合
わされるように形成され、上記放熱防止具のフランジ状
に広がる部分にネジ穴５を設け、炉の端面部にナツト６
によって止めるなどして固定する。
わされるように形成され、上記放熱防止具のフランジ状
に広がる部分にネジ穴５を設け、炉の端面部にナツト６
によって止めるなどして固定する。
このようにすると、プロセスチューブ３と炉４との間隙
部の密閉を完全にすることができる。
部の密閉を完全にすることができる。
さらに、上記放熱防止具を装着する前にあらかじめグラ
スウール７などをプロセスチューブ３と炉４との間につ
め込んでおけば一層効果的に放熱を防止することができ
る。
スウール７などをプロセスチューブ３と炉４との間につ
め込んでおけば一層効果的に放熱を防止することができ
る。
ここで、上記耐熱性断熱材１としてはアスベスト等の比
較的やわらかい成形しやすい材料を用いると好適である
。
較的やわらかい成形しやすい材料を用いると好適である
。
また補強板２としてはステンレス板などの比較的熱伝導
性が低く、かつ耐久性のある材料を用いるとよい。
性が低く、かつ耐久性のある材料を用いるとよい。
第２図は本発明の他の実施例を示したもので、本図の例
のようにプロセスチューブ３の端部か細く絞られている
場合には、プロセスチューブの軸方向への放熱を防止し
うるので本発明の実施による効果はさらに大きくなる。
のようにプロセスチューブ３の端部か細く絞られている
場合には、プロセスチューブの軸方向への放熱を防止し
うるので本発明の実施による効果はさらに大きくなる。
以上述べた如き本発明の実施によれば、１０００℃程度
で運転される電気炉において炉の発熱体の所要温度を従
来に比して５〜１０℃下けることができ、電気炉の寿命
を延ばすことができると同時に熱効率の高い炉運転が可
能となる。
で運転される電気炉において炉の発熱体の所要温度を従
来に比して５〜１０℃下けることができ、電気炉の寿命
を延ばすことができると同時に熱効率の高い炉運転が可
能となる。
さらには、電気炉両端部における温度低下を効果的に防
ぐことができるため炉内温度の安定化がはかられると同
時に炉内温度特性が向上し、製品の性能の均一化、信頼
性向上にも多大の効果が得られるものである。
ぐことができるため炉内温度の安定化がはかられると同
時に炉内温度特性が向上し、製品の性能の均一化、信頼
性向上にも多大の効果が得られるものである。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の実施例による放
熱防止具およびその装着態様を示す縦断面図である。 符号の説明、１・・・・・・耐熱性断熱材層、２・・・
・・・補強板、３・・・・・・プロセスチューブ、４・
・・・・・炉、５・・・・・・ネジ穴、６・・・・・・
ネジ、７・・・・・・グラスウール。
熱防止具およびその装着態様を示す縦断面図である。 符号の説明、１・・・・・・耐熱性断熱材層、２・・・
・・・補強板、３・・・・・・プロセスチューブ、４・
・・・・・炉、５・・・・・・ネジ穴、６・・・・・・
ネジ、７・・・・・・グラスウール。
Claims (1)
- １ 比較的やわらかい耐熱性断熱材層と、上記断熱材層
をとりかこむようにした金属製の補強板とからなり、プ
ロセスチューブの炉から突出する部分の少なくとも炉に
近接する一部をすきまなくとりかこみ、かつ炉端面とプ
ロセスチューブとの間隙を密閉するように成形され、プ
ロセスチューブに着脱自在に構成されてなる炉用放熱防
止具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP596077A JPS5823925B2 (ja) | 1977-01-24 | 1977-01-24 | 炉用放熱防止具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP596077A JPS5823925B2 (ja) | 1977-01-24 | 1977-01-24 | 炉用放熱防止具 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP714884A Division JPS59140370A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5391661A JPS5391661A (en) | 1978-08-11 |
| JPS5823925B2 true JPS5823925B2 (ja) | 1983-05-18 |
Family
ID=11625450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP596077A Expired JPS5823925B2 (ja) | 1977-01-24 | 1977-01-24 | 炉用放熱防止具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5823925B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150923U (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-18 |
-
1977
- 1977-01-24 JP JP596077A patent/JPS5823925B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150923U (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5391661A (en) | 1978-08-11 |
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