JPS5822689A - Sensor device for robot - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はローラＦ用センサー装置に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a sensor device for roller F.

例えばアーク溶接又はシーリング口＆ｙ）ではアーム２
に枢着された先端アーム１にトーチ又はノズル４を取付
け、被加工物（以下ワークという）Ｓに対して、６らか
じめ作業員が手動でロゲットを動かせて作業の手本を行
ないそのときのトーチ又はノズル４の軌跡、作業内容等
を口＆ｙ）に記憶させておく、そうすると、一旦作業内
容を記憶し九〇ゲットは以後ワークｌが所定の位置に来
たとき、記憶に基づいて教示されたとおりの溶接又はシ
ーリング作業を行なう。For example, in arc welding or sealing port &y) arm 2
A torch or nozzle 4 is attached to the tip arm 1 which is pivotally connected to the workpiece S, and the worker manually moves the logget in advance to demonstrate the work. The trajectory of the torch or nozzle 4, the work contents, etc. are memorized in the mouth & y). Then, the work contents will be memorized once and the 90 get will be taught based on the memory when the work l comes to the predetermined position. Carry out welding or sealing work as specified.

このような方式の口がットの使用条件としては、次々に
ラインに沿って移動してくるワークの寸法精度が個々に
又は、・ロットととにΔラツキが表いことと、ワークが
所定の位置に来たとき一旦これを停止固定する治具６０
固定精度が十分高いことが要求され、この条件が満足さ
れないときには、所定の位置からずれた位置にアーク溶
接又はシーリングが行なわれて不良品を作ることになる
。The conditions for using this method of machining are that the dimensional accuracy of the workpieces that move one after another along the line exhibits Δ fluctuations individually or between lots, and that the workpieces are kept within the specified range. A jig 60 that temporarily stops and fixes this when it reaches the position of
Sufficiently high fixing accuracy is required, and if this condition is not met, arc welding or sealing will be performed at a position deviated from the predetermined position, resulting in a defective product.

本発明はこのような事情に鑑みて提案されたもので、個
々のワークごとに作用軸の所定位置からのずれを検出し
て教示データを補正する四−ット用センサー装置を提供
することを目的とし、ｉニビーレータの先端作用軸線上
に光軸を有するカメラに内蔵され対物面上に円環状の視
野を有する環状撮像素子と、上記環状撮像素子と上記マ
ニピル−メの先端作用軸の移動すべき軌跡と交点を検出
して上記マニピーレータの先端作用軸とその移動すべき
軌跡とのずれを演算する演算回路とを具えたことを特徴
とする。The present invention has been proposed in view of the above circumstances, and aims to provide a sensor device for a four-shot machine that detects the deviation of the working axis from a predetermined position for each workpiece and corrects the teaching data. The objective is to provide an annular imaging element built into a camera having an optical axis on the tip action axis of the i-nibilator and having a toric field of view on the object plane, and a movement of the annular imaging element and the tip action axis of the manipulator. The present invention is characterized by comprising an arithmetic circuit that detects the intersection point with the power locus and calculates the deviation between the tip operating axis of the manipulator and the locus to be moved.

本発明をシーリング口＆ｙ）に適用したｌ実施例を図面
について説明すると、第２図はその側面図、第３図は第
２図の背面図、第４図、第５図、第６図はそれぞれ撮像
カメラの視野と結像との関係を示す説明図、第７図は第
６図の環状撮像素子の拡大正面図、第８図囚、　ＣＢ）
　、　（Ｃ）はそれぞれ第２図におけるノズル先端とシ
ールラインとの関係を示す説明図、第９図は環状撮像素
子と一次元的撮像素子との対応関係を示す説明図、第１
０図（４）、ω）、（０はそれぞれ本装置による出力波
形図、第１１図はノズル先端と円環状視野とのずれを示
す説明図゛、第１２図は本装置の回路構成管示すブロッ
ク線図、第１３図は第１２図の各部の出力波形図である
。An embodiment in which the present invention is applied to a sealing opening &y Figure 7 is an enlarged front view of the annular image sensor in Figure 6, Figure 8 is an explanatory diagram showing the relationship between the field of view of the imaging camera and image formation, and Figure 8 is an explanatory diagram showing the relationship between the field of view of the imaging camera and image formation.
, (C) is an explanatory diagram showing the relationship between the nozzle tip and the seal line in FIG. 2, FIG. 9 is an explanatory diagram showing the correspondence between the annular image sensor and the one-dimensional image sensor, and FIG.
Figure 0 (4), ω), (0 is the output waveform diagram of this device, Figure 11 is an explanatory diagram showing the deviation between the nozzle tip and the annular field of view, and Figure 12 is the circuit configuration tube of this device. The block diagram, FIG. 13, is an output waveform diagram of each part of FIG. 12.

まず第２〜３図において、１は上端においてノズル４を
保持するとともに下端でアーム２に枢着された先端アー
ムで、その軸線が復配するビデオカメラ１の光軸Ｘ−Ｘ
と一致するように４−Ｊ、４−Ｊで屈曲している。３は
隣接アーム１゜２を相互に枢着する関節、ｙＦｉビデオ
カメラで対物レンズ８、環状撮像素子９、アンプコント
ロール基板群１０より構成されている。１１は光源で平
行光束を作るレンズ１２とラングＩＩよシ榊成されてい
る。１４は先端アームＪＫ固着されたカメラ搭載台、１
５はノズル４をカメラ搭載台１４に固着する留め具、１
６はノズル４、ビデオカメラ１、光源１１用のケーブル
である。First, in FIGS. 2 and 3, reference numeral 1 denotes a tip arm that holds a nozzle 4 at its upper end and is pivotally attached to an arm 2 at its lower end, and its axis is the optical axis X-X of the video camera 1, which is redistributed.
It is bent at 4-J and 4-J to match. Reference numeral 3 denotes a joint for mutually pivotally connecting adjacent arms 1.degree. 2, and a yFi video camera consisting of an objective lens 8, an annular image pickup device 9, and an amplifier control board group 10. Reference numeral 11 is a light source, and is composed of a lens 12 that creates a parallel beam of light, and a rung II. 14 is the camera mounting stand to which the tip arm JK is fixed, 1
5 is a fastener for fixing the nozzle 4 to the camera mounting base 14;
6 is a cable for the nozzle 4, video camera 1, and light source 11.

このような装置において、まず撮像素子９について述べ
ると、通常の撮像素子は、第４図に示すように１次元の
視野を得る−の、又はｗ、５図に示すように２次元の視
野を得るもので、それぞれ下記するように、一長一短が
ある。In such a device, first of all, let's talk about the image sensor 9. A normal image sensor has a one-dimensional field of view as shown in Fig. 4, or a two-dimensional field of view as shown in Fig. 5. Each has its advantages and disadvantages, as described below.

すなわち、１次元タイプのものは、処理すべき信号量が
少なく判定回路が簡素である反面、視野ＶＦｆ：横切る
検出ラインが第４図のＬＪのような場合は検出できるが
、ＬＪのように視野ＶＦに平行となったものは検出でき
ないから、レンズを光軸の周りに回動する機構が必要に
なってくる。In other words, the one-dimensional type has a small amount of signals to process and a simple judgment circuit, but the field of view VFf: If the detection line that crosses it is like LJ in Fig. 4, it can be detected; Since objects parallel to the VF cannot be detected, a mechanism for rotating the lens around the optical axis is required.

一方、第５図て示す２次元タイプのものは、同図に示す
ように、視野ＶＦ内を横切る検出ラインＬδ、Ｌｄｉ検
出することができる反面、１次元の画素数の２乗に相当
する数の画素の信号処理を必要とするので、判定回路が
複雑高価になり、さらに処理時間が長くかかるという欠
点を有する。On the other hand, the two-dimensional type shown in Fig. 5 can detect detection lines Lδ and Ldi that cross within the visual field VF, but the number of pixels corresponding to the square of the one-dimensional number of pixels is Since this method requires signal processing of pixels, the determination circuit is complicated and expensive, and the processing time is long.

そこで、本発明装置では、第６図、第７図に示すように
一周ｉＮ個に等分割して解像することのできる環状撮像
素子９を使用する。そうすると、第８図（４）、　（Ｂ
）　、　（Ｃ）にそれぞれ示すように、円環視野ＶＦの
一部如ノズルが写るために若干の死角ＤＡが生ずるが、
第４図の１次元タイプの撮像素子および第５図の２次元
タイプの撮像素子のそれぞれ長所を魚具したものとする
ことができる。Therefore, in the apparatus of the present invention, as shown in FIGS. 6 and 7, an annular image sensor 9 is used which can equally divide the image into iN parts and resolve the image. Then, Fig. 8 (4), (B
) and (C), some blind spots DA occur because some nozzles in the annular field of view VF are visible, but
The advantages of the one-dimensional type image sensor shown in FIG. 4 and the two-dimensional type image sensor shown in FIG. 5 can be combined with each other.

第８図はこのような環状撮像素子９を具えた本装置によ
る視野を示すもので、ノズルがシールライン上に正しく
セットされた場合は、同図（４）、　（Ｂ）のそれぞれ
ＬＪ、Ｌｌに示すように、円環状視野内に互いに１８０
°離れた位置Ａ、Ｂにシールラインの映倫が結像される
ので、２次元タイプの撮ｇ１素子と同様に、シールライ
ンを検出することができる。Figure 8 shows the field of view of this device equipped with such an annular image sensor 9. When the nozzle is correctly set on the seal line, LJ and Ll in Figures (4) and (B), respectively, are shown. 180 degrees from each other within the toric field of view, as shown in
Since the image of the seal line is imaged at the positions A and B, which are separated by .degree., the seal line can be detected in the same way as a two-dimensional type G1 element.

これに対して、ノズルがシールラインＬ！から外れてい
るときは、同図（Ｃ’）　Ｋ示すよう［１に、？、２箇
所のシールラインの結像点ム、Ｂの相対関係は１８０°
ではなくなる。＊状撮倫素子りは、第９図に示すように
、円環を切って直線状にすることができることを考えれ
ばＮ個の素子Ｙｃ１列に並べた１次元タイプの撮像素子
と実質的に同一の作用効果１奏するから、判定回路が著
ひく簡素化される利益がある。On the other hand, the nozzle is at seal line L! If it deviates from the figure (C'), as shown in K [1, ? , the relative relationship between the two seal line imaging points M and B is 180°
It will no longer be. *Considering that it is possible to make a straight line by cutting a circular ring, as shown in Figure 9, the *-type image sensor is essentially a one-dimensional type image sensor in which N elements Yc are arranged in one row. Since the same operation and effect are achieved, there is an advantage that the determination circuit is significantly simplified.

第１０図は以上の関係を出力波形で示したもので、ノズ
ル先端が正しくシールライン上にあれば、同図（４）、
　（Ｂ）に示すように２箇所のシールラインの結像点Ａ
、ｌは互いに距離Ｎ／２離れているので、逆に、２つの
結像点Ａ、Ｂが距離Ｎ／２離れていれば、必ずノズル先
端がシールライン上にあることが判る。Figure 10 shows the above relationship as an output waveform.If the nozzle tip is correctly on the seal line,
Image point A of two seal lines as shown in (B)
, l are separated from each other by a distance of N/2, and conversely, if the two imaging points A and B are separated by a distance of N/2, it can be seen that the nozzle tip is always on the seal line.

ノズル先端がシールラインからずれた場合は、同図（ロ
）に示すように、シールラインの結像点Ａ。If the nozzle tip deviates from the seal line, the image forming point A of the seal line is shown in the same figure (b).

ＢＯｉｊｉ素間隔はＮ／２以下になる。このようにして
、出力波形に現われる２箇所のシールラインの結像点ム
、Ｂの間隔をチェックし、それが円環上で１８００離れ
ているか否かを判定することができる。The BOiji prime interval becomes N/2 or less. In this way, it is possible to check the interval between the image points M and B of the two seal lines that appear in the output waveform, and determine whether or not they are 1800 degrees apart on the annular ring.

同図（ロ）に示すように、ずれがある場合の補正は下Ｉ
要領でこれを行なう、すなわち、（１）ずれの方向につ
いて； 視野の上方は画素ていえば、中心点からＮ／２番目の方
向であシ、視野の下方はＮ番目の方向であ）、左方はＮ
／４、右方は３Ｎ／４の方向であるから、ずれの方向は
（１）式で示される。As shown in the same figure (b), if there is a deviation, the correction is as shown below.
Do this in the following manner: (1) Regarding the direction of shift; the upper part of the field of view is the N/2th direction from the center point (in terms of pixels), and the lower part of the field of view is the Nth direction from the center point), left The direction is N
/4, and the right side is the direction of 3N/4, so the direction of the shift is expressed by equation (1).

ずれの方向＝（ム十Ｂ）／２−・・（１）例えば、同図
（ロ）の場合は、ＡｙＢＡはＮ／２の方向（上方）から
等しく離れてｉるので、Ａ　−−一　α Ｂ−一÷α とすると、（１）式はＮ／２となシ、上方にずれたこと
を示すことが判る。Direction of deviation = (Mu + B) / 2 - (1) For example, in the case of the same figure (B), AyBA is equally distant i from the N/2 direction (above), so A - - 1 If αB-1÷α, then it can be seen that equation (1) indicates an upward shift of N/2.

（２）ずれ量について； ノズル先端における対物面上で直径りの円環が撮像素子
に結健しているとすると、第１１図に示す幾何学的関係
からずれ量δは（２）式で表わされる。(2) Regarding the amount of deviation: Assuming that a circular ring with a diameter on the objective plane at the nozzle tip is connected to the image sensor, the amount of deviation δ is expressed by equation (2) from the geometrical relationship shown in Figure 11. expressed.

ずれ量ａ　ｍ−ＸＱＩｌｌ（１８０°Ｘ−！！二２）′
　　　　÷。Displacement amount a m-XQIll (180°X-!!22)'
÷.

Ｄ　　　　　　　＠　　Ｍ −−ａｉｒ　（１８０Ｘ−）　　　　　−、（２）２　
　　　　　　　　Ｎ 以上をまとめると、１周Ｎ個の画素を有する環状撮像素
子でＡ番目、８番目の２点でシールラインを検出したと
きの誤差は、 Ｂ−Ａ閣Ｍ 対象物面上での環状視野直径りとすると、Ａ＋Ｂ 方向は　　２ で示される。D @ M --air (180X-)-, (2)2
N To summarize the above, the error when detecting the seal line at the A-th and 8th points with an annular image sensor having N pixels per rotation is: B-A-M Annular field of view on the object plane If the diameter is taken as diameter, the A+B direction is indicated by 2.

畝上の誤差検出は、第１２図の回路により自動的に行な
われる。すなわち、同図において、環状撮像素子９から
のビデオ出力はビデオアング２０に入力する０通常開体
撮儂素子のビデオ〆 出力は７＃ルス状であるので、す）グルホールド回路１
１で逐次ピークホールドされるａｚｘＦｉクロック発生
部で環状撮像素子９に対してＮ個Ｏ画素の出力を逐次走
査するためにカウンタ２１．２１ｆ用いる。２３はピー
クディテクタで出力波形中のピーク位置を検出し、これ
により出力波形から２箇所のシールライン部を検出する
。Error detection on the ridges is automatically performed by the circuit shown in FIG. That is, in the figure, the video output from the annular image sensor 9 is input to the video angle 20 (0, since the video output of the open body image sensor is normally in the form of a 7# loop).
A counter 21.21f is used in order to sequentially scan the output of N O pixels to the annular image sensor 9 in the azxFi clock generation section, which is sequentially peak-held at 1. A peak detector 23 detects the peak position in the output waveform, thereby detecting two seal line portions from the output waveform.

ピークディテクタ１１からは２箇所のシールライン部を
検出したときに／４ルス出力が出され、この出力はアン
ドｒ−トｚｒ；を通してカウンタ２１に入力し、一方の
アンドｆ−）入力を作るカウンタＸｔｔはゾーン判定用
である。１からＮまでの画素を順次走査してゆく際、第
８〜１０−Ｎ！ 図に示すように、視野の一部にノズルが写るので、この
部分の信号変化は検出範囲から除外する必要がある。２
６はカウンタ２２の出力に基づいて検出範囲を決めるカ
ウンタである。２１は検出した２進のシールラインカウ
ンタで第１パルス入力でＡ点の信号を、第２パルス入力
でＢ点の信号をそれぞれ振分ける。１３は環状撮像素子
９からの出力に同期して計数するＮ進カウンタ、２ｇは
＠１のシールライン位置でのカウント値Ａを、ＳＯは第
２のシールライン位置でのカウント値Ｂをそれぞれ保持
するラッチでそれぞれシールラインカウンタｊ７の出力
タイ々ングでＮ進カウンタ２８の値がロートされる。The peak detector 11 outputs a /4 pulse output when two seal line parts are detected, and this output is input to the counter 21 through ANDr;, which is then input to the counter 21 which creates one ANDf-) input. Xtt is for zone determination. When sequentially scanning pixels from 1 to N, the 8th to 10th-N! As shown in the figure, since the nozzle is visible in a part of the field of view, it is necessary to exclude signal changes in this part from the detection range. 2
6 is a counter that determines the detection range based on the output of the counter 22. 21 is a detected binary seal line counter which distributes the signal at point A when inputting the first pulse and the signal at point B when inputting the second pulse. 13 is an N-ary counter that counts in synchronization with the output from the annular image sensor 9, 2g holds the count value A at the seal line position of @1, and SO holds the count value B at the second seal line position. With each latch, the value of the N-ary counter 28 is rotated by the output timing of the seal line counter j7.

このようにして１〜Ｎｔでの画素のＡ番目。In this way, the Ath pixel from 1 to Nt.

８番目の画素で円環状視野をシールラインが横切ること
を検出される。３１はＡ＋Ｂを演算する加算器、３２は
捧の乗算器で、この出力によシノズルとシールラインの
ずれの方向（Ａ十Ｂ）−！−を求めることができる。Ｊ
Ｊは減算器でＢ−ムＤ（１８０′４ −Ｍ′に：求める。３４１ｒ：Ｌａｓ演算回路で−−）
を演算する。ただしＤは環状撮像素子９の円環直径と対
物レンズ８の像倍率から定まる定数で、Ｎも定数である
。したがって（２）演算回路３４の出力はずれ量に相当
する。It is detected that the seal line crosses the annular field of view at the 8th pixel. 31 is an adder that calculates A+B, and 32 is a multiplier, which outputs the direction of deviation between the nozzle and the seal line (A + B) -! − can be found. J
J is a subtracter and B-muD (180'4-M': Find. 341r: Las operation circuit--)
Calculate. However, D is a constant determined from the ring diameter of the annular image sensor 9 and the image magnification of the objective lens 8, and N is also a constant. Therefore, (2) the output of the arithmetic circuit 34 corresponds to the amount of deviation.

第１２図の各部の出力波形は第１３図に示すようになる
。The output waveforms of each section in FIG. 12 are as shown in FIG. 13.

このような装置によれば、下記効果が奏せられる。According to such a device, the following effects can be achieved.

（１）信号処理を１次元撮像素子と同等の簡単な処理回
路によって行なうことができる。(1) Signal processing can be performed by a simple processing circuit equivalent to a one-dimensional image sensor.

（２）　　シールラインの位置検出は、２次元撮像素子
を使ったときと同等の検出が可能となる。(2) The position of the seal line can be detected in the same way as when using a two-dimensional image sensor.

（３）　　ノズルに軸線の周シの回動手段を付設する必
要がなくなるのでコストダウンを図ることができる。(3) Since there is no need to provide the nozzle with a means for rotating the periphery of the axis, costs can be reduced.

要するに本発明によれば、マニピ島レータの先端作用軸
線上に光軸を有するカメラに内蔵され対物面上に円環状
の視野を有する環状撮像素子と、上記項状撮ｇＩ！素子
と上記マニピーレータの先端作用軸の移動すべき軌跡と
交点を検出して上記！エビル−タの先端作用軸とその移
動図る口＆ｙ）用センサー装置を得るから、本発明は産
業上極めて有益なものである。In short, according to the present invention, there is provided an annular image pickup element built into a camera having an optical axis on the tip action axis of the Manipi island radar and having an annular field of view on the object plane, and the annular image sensor gI! Detect the intersection of the element and the tip action axis of the manipulator above and the locus that should be moved. The present invention is industrially very useful because it provides a sensor device for the end working shaft of the EVIL-TA and its movement.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は公知の溶接ロゲットの斜視図、第２図は本発明
をシーリングロゲットに適用した１実施例を示す側面図
、第３図は第２図の背面図、第４図、第５図、第６図は
それぞれ撮像カメラの視野と結像との関係を示す説明図
、第７図は第６図の環状撮像素子の拡大正面図、第８図
（４）。 ω）、（Ｑはそれぞれ第２図におけるノズル先端とシー
ルラインとの関係を示す説明図、第９図は環状撮像素子
と一次元的撮像素子との対応関係を示す説明図、第１０
図（４）、　（Ｂ）　、　（（”ｌはそれぞれ本装置に
よる出力波形図、第１１図はノズル先端と円環状視野と
のずれを示す説明図、第１２図は本装置の回路構成を示
すブロック線図、第１３図は第１２図の各部の出力波形
図であゐ。 ｌ−先端アーム、２・・・アーム、１・・・関節、４・
・・ノズル、４−Ｊ、４−Ｊ−屈曲部、５−ワー／、ｇ
−治Ａ、ｙ・・・ビデオカメラ、８・・・対物レンズ、
ｅ−３ｊＩ状撮像素子、１０・−アンプコントロール基
１ｇａ、Ｊ　ｌ　書−光源、Ｊ　ｘ−・・レンズ、１１
・−レンズ、Ｊ　４−・カメラ搭載台、１５−・留め具
、１１１−・・ケーブル、２０・・・ビデオアンプ、２
１・−サンプルホールド回路、ＪＪ−・・クロック発生
部、２Ｓ・・・ピークディテクタ、１５−・アンドゲー
ト、２６・・・カウンタ、ｚｙ−・・シールラインカウ
ンタ、：ｔａ−・・カウンタ、２ｇ・・・ラッチ、１ｏ
−ラッチ、３１・・・加算器、３２・・・丁乗算器、３
１・Ｔ減算器、３４・・・（２）演算回路。 出願人復代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦第４図 第５図 第８図 （Ａ） Ｕ八 （Ｂ） （Ｃ） 第９図 ０　　　／ｉ、Ｎ、、；Ｂ　　Ｎ勧 第１１図Fig. 1 is a perspective view of a known welding logget, Fig. 2 is a side view showing an embodiment in which the present invention is applied to a sealing logget, Fig. 3 is a rear view of Fig. 2, Figs. 6 are explanatory diagrams showing the relationship between the field of view of the imaging camera and image formation, respectively. FIG. 7 is an enlarged front view of the annular image sensor of FIG. 6, and FIG. 8 (4). ω), (Q is an explanatory diagram showing the relationship between the nozzle tip and the seal line in FIG. 2, FIG. 9 is an explanatory diagram showing the correspondence between the annular image sensor and the one-dimensional image sensor, and FIG.
Figures (4), (B), (("l are output waveform diagrams of this device, Figure 11 is an explanatory diagram showing the deviation between the nozzle tip and the annular field of view, and Figure 12 is the circuit configuration of this device. The block diagram shown in FIG. 13 is an output waveform diagram of each part in FIG. 12. l-tip arm, 2... arm, 1... joint, 4...
・・Nozzle, 4-J, 4-J-bent part, 5-war/, g
-JiA, y...video camera, 8...objective lens,
e-3j I-shaped image sensor, 10--amplifier control group 1 ga, J l light source, J x--lens, 11
- Lens, J 4- Camera mounting stand, 15- Fastener, 111- Cable, 20 Video amplifier, 2
1--Sample hold circuit, JJ--Clock generator, 2S--Peak detector, 15--And gate, 26--Counter, zy--Seal line counter, :ta--Counter, 2g ...Latch, 1o
- Latch, 31... Adder, 32... Multiplier, 3
1.T subtractor, 34...(2) Arithmetic circuit. Applicant's sub-agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 4 Figure 5 Figure 8 (A) U8 (B) (C) Figure 9 0 /i, N, ;BN Figure 11

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] マニビーレータの先端作用軸線上に光軸を有するカメラ
に内蔵され対物面上に円環状の視野を有する環状撮像素
子と、上記環状撮像素子と上記！二♂暴レータの先端作
用軸の移動すべき軌跡と交点を検出して上記ｗ＝ビーレ
ータの先端作用軸とその移動すべき軌跡とのずれを演算
する演算回路とを具えたこと？：％黴とするロゲｖト用
センサー装置。an annular image sensor that is built into a camera and has an annular field of view on the object plane and has an optical axis on the action axis of the tip of the manibilator; It is equipped with an arithmetic circuit that detects the intersection point with the trajectory of the tip working axis of the second beater and calculates the deviation between the tip working axis of the beater and the trajectory that should be moved. : Sensor device for loget that detects mold.