JPS58223004A - 段差の山谷識別装置 - Google Patents
段差の山谷識別装置Info
- Publication number
- JPS58223004A JPS58223004A JP10535682A JP10535682A JPS58223004A JP S58223004 A JPS58223004 A JP S58223004A JP 10535682 A JP10535682 A JP 10535682A JP 10535682 A JP10535682 A JP 10535682A JP S58223004 A JPS58223004 A JP S58223004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- photocell
- valleys
- peaks
- steps
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、段差の山谷識別装置に係シ、ｑｒｆＫ１ホト
マスクまたＱユウエノ・上のパターンの寸法を測定する
とともに、パターンの山と谷との区別？認識したい場合
に使用下るのに好適な段差の山谷識別装置に関する。
マスクまたＱユウエノ・上のパターンの寸法を測定する
とともに、パターンの山と谷との区別？認識したい場合
に使用下るのに好適な段差の山谷識別装置に関する。
一般ＣＣ１半導体装置の製造工程においては、ホトマス
クまたはウェハ上に形成さ才したパターンの寸法ン６１
１１定検食することか行なわｎておシ、従来から、この
寸法測定検査ケ目視によらず目動的に遂行できる寸法検
査装置も開発さ２ｔている。
クまたはウェハ上に形成さ才したパターンの寸法ン６１
１１定検食することか行なわｎておシ、従来から、この
寸法測定検査ケ目視によらず目動的に遂行できる寸法検
査装置も開発さ２ｔている。
この植の寸法検査装置として、例えば、パターンのエツ
ジ（段差に相当する。）に光？照射してこのエツジにお
ける散乱光を検出することによシエツジの位置τ得、エ
ツジ間隔によりノくターンの寸法を求めるようにしたも
のがある。
ジ（段差に相当する。）に光？照射してこのエツジにお
ける散乱光を検出することによシエツジの位置τ得、エ
ツジ間隔によりノくターンの寸法を求めるようにしたも
のがある。
しかしながら、このような寸法検査装置［めりてハ、ハ
ターン寸法が求まるだけでラインとスペース（山部と谷
部に相当する）との区別はできないという欠点がある。
ターン寸法が求まるだけでラインとスペース（山部と谷
部に相当する）との区別はできないという欠点がある。
そ（−２て、今後さらにパターン寺の倣細化が進み、サ
ブミクロンの寸法測定盆石なう場合、エツジにより得た
寸法がラインとスペースとのいず几の情報であるかケ明
確に識別する会費がある。
ブミクロンの寸法測定盆石なう場合、エツジにより得た
寸法がラインとスペースとのいず几の情報であるかケ明
確に識別する会費がある。
本発明の目的は、前記従来技術の欠点ン解消し、寸法検
奔等において段差（エツジ）における山と谷とｒ明確に
篩別させることができる段差の山谷識別装置ｒ提供する
にある。
奔等において段差（エツジ）における山と谷とｒ明確に
篩別させることができる段差の山谷識別装置ｒ提供する
にある。
この目的ｒ達成するため、本発明は、段差の両脇にナハ
ぞｎ位置した検出手段で段差の散乱することにより構成
さｆＬる段差情報を含む信号（散乱光）ｔそｎぞれ検出
し、この４８号の大きさが山側と谷側とで異なることに
着目、して、両横１１：を信号睡ｒ比叡することによｐ
山と谷とｒ酸別するようにしたものである。
ぞｎ位置した検出手段で段差の散乱することにより構成
さｆＬる段差情報を含む信号（散乱光）ｔそｎぞれ検出
し、この４８号の大きさが山側と谷側とで異なることに
着目、して、両横１１：を信号睡ｒ比叡することによｐ
山と谷とｒ酸別するようにしたものである。
以下、本発明ｒ図面に示す実施例にしたがってさらに説
明する。
明する。
第１図は本発明による段差の山谷識別装備〒パターン寸
法検査装置に適用した場合の一実施例〒示すものである
。
法検査装置に適用した場合の一実施例〒示すものである
。
第１図において、ＸＹテーブル１上には我面土にパター
ン３を形成場ｔ′したホトマスク２が載置して保持さｎ
ており、ＸＹテーブル１の位置は位置検出器４により検
出さｎる。ＸＹテーブル１の上方にｉＩ信号媒体として
のレーザ５ンホトマスク２の表面に照射する光学系６が
設備さ几、この光学系６はレーザ５ンホトマスク２の表
面にほぼ直角に、かつスポット的に照射するよう構成ζ
ｎている。’ＦｆＣ，光学系６の両脇にはレーザ５のパ
ターンエツジにおける散乱光ｔそｎ （′ｔｔ検出する
絹１お工び第２ホトセルフ、８がそれぞれ配さ１１．で
いる。ホトマスク２上のパターン３と、９七学糸６のレ
ーザ５および各ホトセルフ、８とＶゴＸＹテーブル鳳の
送りに従って相対的に移動する。
ン３を形成場ｔ′したホトマスク２が載置して保持さｎ
ており、ＸＹテーブル１の位置は位置検出器４により検
出さｎる。ＸＹテーブル１の上方にｉＩ信号媒体として
のレーザ５ンホトマスク２の表面に照射する光学系６が
設備さ几、この光学系６はレーザ５ンホトマスク２の表
面にほぼ直角に、かつスポット的に照射するよう構成ζ
ｎている。’ＦｆＣ，光学系６の両脇にはレーザ５のパ
ターンエツジにおける散乱光ｔそｎ （′ｔｔ検出する
絹１お工び第２ホトセルフ、８がそれぞれ配さ１１．で
いる。ホトマスク２上のパターン３と、９七学糸６のレ
ーザ５および各ホトセルフ、８とＶゴＸＹテーブル鳳の
送りに従って相対的に移動する。
削８ｃ谷ホトセルフ、８には（ｇ号処理器９か接続さｎ
ている。１ｇ号処理器９の出力端には比ａ判定器ｌＯと
寸法演Ｊ！器１１とがそれぞ几従続さｎ１比較判定器１
０と寸法演算１１との出力端にはディスプレイ装置Ｒや
プリンタ等からなる検査結果出力器菖２が接続さ几てい
る。この検査結果出力器１２にはＦＩＪ記位置検出器４
も接続さ几ている。
ている。１ｇ号処理器９の出力端には比ａ判定器ｌＯと
寸法演Ｊ！器１１とがそれぞ几従続さｎ１比較判定器１
０と寸法演算１１との出力端にはディスプレイ装置Ｒや
プリンタ等からなる検査結果出力器菖２が接続さ几てい
る。この検査結果出力器１２にはＦＩＪ記位置検出器４
も接続さ几ている。
仄に作用デ散明する。
第２図に示すように、パターン３の右側のエツジにレー
ザ５が照射した場合、レーザ５はエツジ段差において正
反射方向以外にも散乱する。この散乱光１３は原則とし
てエツジでのみ発生するからエツジの存任を示す情報ｒ
乗せた４８号を実質的に構成しており、しかもこの散乱
光１３はエツジ段差の山側（パターン３側）よりも谷１
１４１１ （マスク２の次面たるスペース１１１１ ）
へ一層多く回かう。したがって、第２図の左右に七ｆＬ
それ示すように、第２ホトセル８の検出信号１直は第１
ホトセルフの検出信号値よりも犬きくなる。ＸＹテーブ
ル１か第１図の矢印方間に一定速度で送らｔした結果、
第３図に示すように、パターン３の左側のエツジにレー
ザ５が照射した場合、散乱光１３はエツジの山側１より
も谷側へ多く回かうため、第ｌホトセルフの検出信号値
は第２ホトセル８のそれよりも太きくなる。
ザ５が照射した場合、レーザ５はエツジ段差において正
反射方向以外にも散乱する。この散乱光１３は原則とし
てエツジでのみ発生するからエツジの存任を示す情報ｒ
乗せた４８号を実質的に構成しており、しかもこの散乱
光１３はエツジ段差の山側（パターン３側）よりも谷１
１４１１ （マスク２の次面たるスペース１１１１ ）
へ一層多く回かう。したがって、第２図の左右に七ｆＬ
それ示すように、第２ホトセル８の検出信号１直は第１
ホトセルフの検出信号値よりも犬きくなる。ＸＹテーブ
ル１か第１図の矢印方間に一定速度で送らｔした結果、
第３図に示すように、パターン３の左側のエツジにレー
ザ５が照射した場合、散乱光１３はエツジの山側１より
も谷側へ多く回かうため、第ｌホトセルフの検出信号値
は第２ホトセル８のそれよりも太きくなる。
第１および第２ホトセルフ、８で受光さｆして光電変換
ζｎてなる検出イぎ号は信号処理器９に印加し、ここで
波形整形や増巾等の処理ｒ受けるとともに、比較判定器
１０と寸法演算器１１とにそｎぞｎ出力さｎる。
ζｎてなる検出イぎ号は信号処理器９に印加し、ここで
波形整形や増巾等の処理ｒ受けるとともに、比較判定器
１０と寸法演算器１１とにそｎぞｎ出力さｎる。
比較判定器１０は同時点における第１ホトセルフの検出
イ百号＠（出力レベルＬ）の大きさと第２ホトセル８の
それとｒ比較し、当該（ｉ号の発生源になったエツジ段
差におｈて、大きい検出信号眞葡示したホトセルが位置
する側を谷側下なわちスペース側と判定し、他側を山側
丁なわちパターン３１ｆｔ１１と判定する。
イ百号＠（出力レベルＬ）の大きさと第２ホトセル８の
それとｒ比較し、当該（ｉ号の発生源になったエツジ段
差におｈて、大きい検出信号眞葡示したホトセルが位置
する側を谷側下なわちスペース側と判定し、他側を山側
丁なわちパターン３１ｆｔ１１と判定する。
例えば、第２図に示すような状態の場合、第２ホトセル
８が位置する側ｔスペース側と、第１ホトセルフが位置
する側ｔパターン側と判定する。
８が位置する側ｔスペース側と、第１ホトセルフが位置
する側ｔパターン側と判定する。
また、第３−に示す工うな状態の場合、第２ホトセル８
が位負する側ｒパターン側と、＄１ホトセルフが位置す
る側ｒスペース側と判定する。
が位負する側ｒパターン側と、＄１ホトセルフが位置す
る側ｒスペース側と判定する。
そして、パターン３は２つのエツジ’ａ［してｂるため
、比較判定器１０は後から印加さ１ｔてくる検出信号（
例えば第３図に示す場合）で先に判定した結果（第２図
に示しｆｃ場合による判定結果°）勿確認することがで
きる。″また、先に判定した後、予想さｎる第３図に示
すような信号が人力さｎない場合には先の判定の段差が
パターン３のエツジではなく、ホトマスク２０表面に付
着したごみ等の異物でるると、想定することもできる。
、比較判定器１０は後から印加さ１ｔてくる検出信号（
例えば第３図に示す場合）で先に判定した結果（第２図
に示しｆｃ場合による判定結果°）勿確認することがで
きる。″また、先に判定した後、予想さｎる第３図に示
すような信号が人力さｎない場合には先の判定の段差が
パターン３のエツジではなく、ホトマスク２０表面に付
着したごみ等の異物でるると、想定することもできる。
このようにして判定されｆｃ結果は、比較判定器１１か
ら検査結果出力器菖２の一入力端に印加さｎる。
ら検査結果出力器菖２の一入力端に印加さｎる。
他方、信号処理器９から検出（ｇ号ｒ印加さｎ７’（寸
法演算５１菖は、例えは、第４図（Ａ）に・示す第２ホ
トセル８からの検出信号と、第４図（ト））に示す第１
ホトセルフからの検出信号とｔ合成して、第４図（０）
に示す工うな合成信号ｒ作り、当該信号のピーク間隔り
の相対的な直ｒ鼻出し、その結果を検査結果出力器１２
の一入力端に印加する。
法演算５１菖は、例えは、第４図（Ａ）に・示す第２ホ
トセル８からの検出信号と、第４図（ト））に示す第１
ホトセルフからの検出信号とｔ合成して、第４図（０）
に示す工うな合成信号ｒ作り、当該信号のピーク間隔り
の相対的な直ｒ鼻出し、その結果を検査結果出力器１２
の一入力端に印加する。
検査結果出力器１２は位置検出器４から入力さｎでくる
位置検出４Ｕ号と、前記比較判定器１０から人力さｆし
てくるパターンおよびスペースの判定結果とケ用い、ホ
トマスク２上におけるパターン３の対応箇所ｒテレビモ
ニタに写し出しタリ、プリンタによりＸＹ座標にて打ち
出したりする等の適当な態様で表示する。かつまた、こ
の出力器１２は前記位置検出信号と、前記寸法演算５１
１から入力さｎてくるピーク間隔値とｔ用い、対応する
パターン３の寸法ｒ絶対値にて適当な態様ｒもって表示
する。
位置検出４Ｕ号と、前記比較判定器１０から人力さｆし
てくるパターンおよびスペースの判定結果とケ用い、ホ
トマスク２上におけるパターン３の対応箇所ｒテレビモ
ニタに写し出しタリ、プリンタによりＸＹ座標にて打ち
出したりする等の適当な態様で表示する。かつまた、こ
の出力器１２は前記位置検出信号と、前記寸法演算５１
１から入力さｎてくるピーク間隔値とｔ用い、対応する
パターン３の寸法ｒ絶対値にて適当な態様ｒもって表示
する。
本実施例によノ′Ｌｉ１ｆ１ パターンのエツジ間隔寸
法ｒ求めると同時に、当該寸法情報がパターン１にはス
ペースのうちいずｒＬに対応するものなのか、丁なわち
、パターンとスペースとｔＲ別した上で、パターンの寸
法およびスペースの寸法を対応させて表示することかで
きる。
法ｒ求めると同時に、当該寸法情報がパターン１にはス
ペースのうちいずｒＬに対応するものなのか、丁なわち
、パターンとスペースとｔＲ別した上で、パターンの寸
法およびスペースの寸法を対応させて表示することかで
きる。
そして、ホトマスクのパターンの値細化が進むと、寸法
測定時にパターンとスペースとの〆別τ正しく行なうこ
とが困難になるが、本実施例［工ｎば、こｎ【正確にし
かも自動的に遂行することができる。筐た、寸法検査シ
ステムを全自動化する場合に、パターンの山谷情報やこ
れに基〈各パターン相方の位置１寸法、パターンとスペ
ースとの位置１寸法等の関係情報も同時に記録できるめ
で、寸法検査システムとしてＪ：ｊ）完成に近づけるこ
とができ、テークの利用仙ｉ ｆｉｉ ｋ高めることが
できる。
測定時にパターンとスペースとの〆別τ正しく行なうこ
とが困難になるが、本実施例［工ｎば、こｎ【正確にし
かも自動的に遂行することができる。筐た、寸法検査シ
ステムを全自動化する場合に、パターンの山谷情報やこ
れに基〈各パターン相方の位置１寸法、パターンとスペ
ースとの位置１寸法等の関係情報も同時に記録できるめ
で、寸法検査システムとしてＪ：ｊ）完成に近づけるこ
とができ、テークの利用仙ｉ ｆｉｉ ｋ高めることが
できる。
従来では、人間がテレビモニタの映１＊ ｖ 姑でパタ
ーンのエツジ段差における山と谷との識別を行ない、寸
法情報と対応させる判断が行なわｎていたため、誤判断
の危険があったが、本実施例によ几は、この危険が解消
され、信頼性が向上し、作業性が同上する。
ーンのエツジ段差における山と谷との識別を行ない、寸
法情報と対応させる判断が行なわｎていたため、誤判断
の危険があったが、本実施例によ几は、この危険が解消
され、信頼性が向上し、作業性が同上する。
なお、前記実施例では、ホトマスク１ｊｌｔｌが送り移
動して測定系が相対的に走査さ几る場合につき説明した
が、測定糸側が走査動作するよう［構成してもよい。レ
ーザはホトマスクに直角に照射させ、ｔ＜ても１（、賛
はエツジにおける散乱が適切に確保さｎｒＬばよい。一
対のホトセルはレーザ照射軸の移ＷｊＪＪ前後に配置す
るに限らす、衆はエツジにおける散乱光勿適切に受光可
能な配置であｎＩｆ、よい。
動して測定系が相対的に走査さ几る場合につき説明した
が、測定糸側が走査動作するよう［構成してもよい。レ
ーザはホトマスクに直角に照射させ、ｔ＜ても１（、賛
はエツジにおける散乱が適切に確保さｎｒＬばよい。一
対のホトセルはレーザ照射軸の移ＷｊＪＪ前後に配置す
るに限らす、衆はエツジにおける散乱光勿適切に受光可
能な配置であｎＩｆ、よい。
一対のホトセル葡段差の山谷識別作用とパターンの寸法
演算作用とに爺用した場合につき説明したが、山谷識別
専用のホトセルを設けてもよいし、婆らに専用の光学系
ｒ設けてもよい。
演算作用とに爺用した場合につき説明したが、山谷識別
専用のホトセルを設けてもよいし、婆らに専用の光学系
ｒ設けてもよい。
パターンエツジで散乱することに↓リエッジ段差情報ｒ
知らせる１ｇ号〒乗せ得る信号媒体はレーザに限らず、
例えは−子ビーム等を用いることもできる。また、当該
信号ｒ検出する検出手段はホトセルＶＣ限らない。
知らせる１ｇ号〒乗せ得る信号媒体はレーザに限らず、
例えは−子ビーム等を用いることもできる。また、当該
信号ｒ検出する検出手段はホトセルＶＣ限らない。
前記実施例では、パターンの寸法検査装置に適用した場
合につ＠説明したが、本発明は、パターンとスペースと
の識別に限らず、段差の山と谷と２詠別する場合全般に
ついて通用することかできる。
合につ＠説明したが、本発明は、パターンとスペースと
の識別に限らず、段差の山と谷と２詠別する場合全般に
ついて通用することかできる。
以上説明したように、本発明に工ｒｔは、段差の山と谷
とｔｗｌ、別することができる。
とｔｗｌ、別することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図おまひ
第３図は山谷識別作用ケ説明するための各作用図、 第４図（Ａ） 、 （Ｂ） 、 （０）は寸法演算作用
ｒ曲間するための各信号波形図である。 １・・・ＸＹテーブル、２・・・ホトマスク、３・・・
パターン、４・・・位置検出器、５・・・レーザ、６・
・・光学系、７・・・第１ホトセル、８・・・第２ホト
セル、９・・・信号処理器、１０・・・比較判定器、１
１・・・寸法演算器、１２・・・検査結泉出力器、１３
・・・散乱光。 第 １ 図
第３図は山谷識別作用ケ説明するための各作用図、 第４図（Ａ） 、 （Ｂ） 、 （０）は寸法演算作用
ｒ曲間するための各信号波形図である。 １・・・ＸＹテーブル、２・・・ホトマスク、３・・・
パターン、４・・・位置検出器、５・・・レーザ、６・
・・光学系、７・・・第１ホトセル、８・・・第２ホト
セル、９・・・信号処理器、１０・・・比較判定器、１
１・・・寸法演算器、１２・・・検査結泉出力器、１３
・・・散乱光。 第 １ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、平…１に彰成さｎ女段差に信号媒体ン照射丁不＋＋
Ｓ射−Ｊ一段と、ｋｇ差の両脇に位置Ｌ２て段差で散乱
し１こ１ｇ号奴１＊ｉ七！Ｌぞｎ検出する検出手段と、
両検出手段の検出１８号低Ｏ大小を比較し、検出信号１
直の大きい方の検出手段が位置する側を谷側と、他力の
側ｒ山側とそｎぞ几判定する比較判定す段とｋ・備え′
た段差の山谷識別装置。 ２、信号媒体が、光１ｆｃは電子ビームであることｒ特
徴とするｔ￥ｉ訂請求の範囲第り項記載の段差の山谷識
別装置。 ３、照射手段および検出手段と平面とが、段差と信号媒
体照射軸とが父差する工うに相対的に送り＃ ！１１１
１をｎることン付徴とする特許請求の範囲第１項記載の
段差の出合識別装置。 ４、円検出手段が、信号媒体照射軸の相対移動方間の前
後位置に配さｎたこと２％徴とする特許請求の範囲第３
項記載の段差の山谷識別装置。 ５、段差が、ホトマスク上に形成ざｎたパターンのエツ
ジからなること？％徴とする特許ｄ哲求の範囲第１Ｊ］
記載の段差の山谷識別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10535682A JPS58223004A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 段差の山谷識別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10535682A JPS58223004A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 段差の山谷識別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223004A true JPS58223004A (ja) | 1983-12-24 |
Family
ID=14405442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10535682A Pending JPS58223004A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 段差の山谷識別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58223004A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0747665A2 (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-11 | Electrocom Automation L.P. | Dichotomous scan system for detection of edges of objects and overlapped objects having relatively uniform surfaces |
| EP2390620A1 (de) * | 2010-05-31 | 2011-11-30 | Sick AG | Optoelektronischer Sensor zur Detektion von Objektkanten |
| US9677914B2 (en) | 2013-05-08 | 2017-06-13 | Sick Ag | Optoelectronic sensor for recognizing object edges |
-
1982
- 1982-06-21 JP JP10535682A patent/JPS58223004A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0747665A2 (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-11 | Electrocom Automation L.P. | Dichotomous scan system for detection of edges of objects and overlapped objects having relatively uniform surfaces |
| EP0747665A3 (en) * | 1995-06-07 | 1997-05-21 | Electrocom Automation Lp | Dichotomic scanning system for edge determination of objects with relatively uniform surfaces |
| EP2390620A1 (de) * | 2010-05-31 | 2011-11-30 | Sick AG | Optoelektronischer Sensor zur Detektion von Objektkanten |
| US8963113B2 (en) | 2010-05-31 | 2015-02-24 | Sick Ag | Optoelectronic sensor for detecting object edges |
| EP2390620B2 (de) † | 2010-05-31 | 2018-02-21 | Sick AG | Optoelektronischer Sensor zur Detektion von Objektkanten |
| US9677914B2 (en) | 2013-05-08 | 2017-06-13 | Sick Ag | Optoelectronic sensor for recognizing object edges |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1985003353A1 (en) | Inspection system utilizing dark-field illumination | |
| JPS6017044B2 (ja) | 印刷配線板のパタ−ン検査装置 | |
| JPS58153327A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| US10379064B2 (en) | Substrate inspection device and substrate manufacturing method | |
| JPH06249791A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS58223004A (ja) | 段差の山谷識別装置 | |
| EP0335163B1 (en) | Apparatus for detecting foreign matter on the surface of a substrate | |
| JPH0694642A (ja) | 表面欠陥検査方法および装置 | |
| JP3053096B2 (ja) | 異物検出方法およびその装置 | |
| JPH0254494B2 (ja) | ||
| JP2603078B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH07286968A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS63124944A (ja) | スル−ホ−ル充填状態検査方法 | |
| JPS63284455A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2970235B2 (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JPH08285790A (ja) | ガラス繊維シート用欠陥検出方法 | |
| JP3020546B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH0821711A (ja) | シート板表面のうねり検出装置 | |
| JPH04361548A (ja) | 欠陥検査方法及び検査装置 | |
| JPS58123164A (ja) | 線管材のマ−ク部検出装置 | |
| JP2768368B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH02156144A (ja) | シート状物の欠陥検査装置 | |
| JPH03264851A (ja) | 板材端面の欠陥検査方法およびその装置 | |
| JPS61200415A (ja) | 微細パタ−ン検査装置 | |
| JPS637602B2 (ja) |