JPS58221103A - モアレトポグラフイ装置 - Google Patents
モアレトポグラフイ装置Info
- Publication number
- JPS58221103A JPS58221103A JP10297082A JP10297082A JPS58221103A JP S58221103 A JPS58221103 A JP S58221103A JP 10297082 A JP10297082 A JP 10297082A JP 10297082 A JP10297082 A JP 10297082A JP S58221103 A JPS58221103 A JP S58221103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- zoom
- photographing
- zoom lens
- changing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、投影側に光学的な格子、撮影側に電子格子を
用いたモアレトポグラフィ装置に関するものである。
用いたモアレトポグラフィ装置に関するものである。
モアレトポグラフィはモアレ縞を出すことにより物体の
等高線を得る方法であり、非接触で物体の三次元構造を
簡単に計測でき、特に測定の対象となる物体の表面紘粗
面のままでよく、服飾、医学関係を中心に既に広く使わ
れている０しかし、計測をより簡単にするため、現在で
も研究が続いている。
等高線を得る方法であり、非接触で物体の三次元構造を
簡単に計測でき、特に測定の対象となる物体の表面紘粗
面のままでよく、服飾、医学関係を中心に既に広く使わ
れている０しかし、計測をより簡単にするため、現在で
も研究が続いている。
本発明の目的は、適切な等高線を簡単にかつ選択的に得
ることができるようにして物体の計測をより簡単に行え
るようにしたモアレトポグラフィ装置を提供することに
ある。
ることができるようにして物体の計測をより簡単に行え
るようにしたモアレトポグラフィ装置を提供することに
ある。
以下本発明を図面を参照しながら詳細に説明するＯ
第１図はＴＶ系モモアレトポグラフィ装置して構成した
本発明による装置の基本構成を示す。図中符号１は測定
すべき物体、２は投影側の格子であり、これには光学的
な格子が用いられている。
本発明による装置の基本構成を示す。図中符号１は測定
すべき物体、２は投影側の格子であり、これには光学的
な格子が用いられている。
３は物体１と格子２との間に配置された投影側のズーム
レンズ、４は格子２について物体１と反対側に配置され
た光源であわ、この光源４によって格子２がズームレン
ズ３を介して物体１の表面に投影される。５は物体１上
に投影された格子を撮ａする丸めのテレビカメラのよう
な撮像手段、６のズームレンズであわ、物体１上の格子
はこのズームレンズ６を介して撮像手段５によって撮影
される。上記撮像手段によって撮影された物体１上の格
子についての撮影信号は、撮像手段５が有する電子格子
によって処理された後モニタＴＶ７に送られ、このこと
によってモニタＴＶ７の画面ニ物体１についてのモアレ
縞が写し出される。
レンズ、４は格子２について物体１と反対側に配置され
た光源であわ、この光源４によって格子２がズームレン
ズ３を介して物体１の表面に投影される。５は物体１上
に投影された格子を撮ａする丸めのテレビカメラのよう
な撮像手段、６のズームレンズであわ、物体１上の格子
はこのズームレンズ６を介して撮像手段５によって撮影
される。上記撮像手段によって撮影された物体１上の格
子についての撮影信号は、撮像手段５が有する電子格子
によって処理された後モニタＴＶ７に送られ、このこと
によってモニタＴＶ７の画面ニ物体１についてのモアレ
縞が写し出される。
一般ニズームレンズは、その変化調整できる部分として
、レンズの倍率を調整する「ズーム」１ピントつまり焦
点位置を調整する「フォーカス」、及び絞りを調整する
「アイリス」を有する。上記ズームレンズｓ、６ｔＣ）
ｌｉ己ｒズーム」、「フォーカス」及び「アイリス」の
うち少なくとも「ズーム」ト「フォーカス」カ、マイク
ロコンピュータのような制御手段８の制御の下で、ステ
ッピングモータのような図示しない駆動源によってそれ
ぞれ独立に枢動されて調整できるようになっており、ま
たこれらについての調整位置を検出するための、例えば
ロータリーエンコーダと光センサとからなる検出手段（
図示せず）が設けられているものとする。
、レンズの倍率を調整する「ズーム」１ピントつまり焦
点位置を調整する「フォーカス」、及び絞りを調整する
「アイリス」を有する。上記ズームレンズｓ、６ｔＣ）
ｌｉ己ｒズーム」、「フォーカス」及び「アイリス」の
うち少なくとも「ズーム」ト「フォーカス」カ、マイク
ロコンピュータのような制御手段８の制御の下で、ステ
ッピングモータのような図示しない駆動源によってそれ
ぞれ独立に枢動されて調整できるようになっており、ま
たこれらについての調整位置を検出するための、例えば
ロータリーエンコーダと光センサとからなる検出手段（
図示せず）が設けられているものとする。
なお、図示しないがマイクロコンピュータ８はキーボー
ド等の入力装置を有し、これによって必要なデータ、情
報、命令などが入力されるようになっているものとする
。
ド等の入力装置を有し、これによって必要なデータ、情
報、命令などが入力されるようになっているものとする
。
上述のように、マイクロコンピュータ８によって制御さ
れてそれぞれ独立に動かされるズームレンズ３．６は、
その投影側のズームレンズ３によって投影格子２の像の
大きさや投影される格子のピッチを、撮影側のズームレ
ンズ８Ｖｃよって物体１０大きさや撮影範囲を変化させ
ることができる。
れてそれぞれ独立に動かされるズームレンズ３．６は、
その投影側のズームレンズ３によって投影格子２の像の
大きさや投影される格子のピッチを、撮影側のズームレ
ンズ８Ｖｃよって物体１０大きさや撮影範囲を変化させ
ることができる。
このような倍率の変化するような格子投影法によってど
のようなモアレ縞が得られるかということについての理
論的な解明ははぼ行われている◇また、上記撮影側の電
子格子についての手法も既に公知でｈｂ、一般的１ｃＵ
これは、撮影手段５によって得られる撮ｇＩ信号を電子
的に処理する手法であるが、具体的な手法としては多数
提案されている。
のようなモアレ縞が得られるかということについての理
論的な解明ははぼ行われている◇また、上記撮影側の電
子格子についての手法も既に公知でｈｂ、一般的１ｃＵ
これは、撮影手段５によって得られる撮ｇＩ信号を電子
的に処理する手法であるが、具体的な手法としては多数
提案されている。
令弟１図において、ズームレンズ３の屈折面と格子２と
の間の距離を＆１、ズームレンズ６の屈折面と撮像手段
５の撮像面５ＩＬとの間の距離をａ、、ズームレンズ３
の屈折面とこのレンズの焦点位置が合わされている物体
１上の面との間の距離をｂいズームレンズ６とこのレン
ズの焦点位置が合ワされている物体１上の面との間の距
離をす１、両ズームレンズ３．６の光軸間の距離を１．
上記焦点位置の合わされている面に垂直な光軸方向の座
標をＹｌこの座標ＹＩＣ垂直でかつ両光軸と直交する方
向の座標をＸとするＯまだ、ズームレンズ３．６のそれ
ぞれの倍率をβ１ 、βい投影側、撮影側のそれぞれの
格子ピッチをλ、ｌλいそしてモニタＴＶ７の（画面の
大きさ）：撮像手段５の（撮像面ｓ＆の大きさ）、すな
わちＴＶ系の倍率をαとすると、ｂ、 ＝ｂ、の条件の
もとで生ずるモアレ縞は１般Ｖｃ１ で与えられる。ただし、ｎは次数である。
の間の距離を＆１、ズームレンズ６の屈折面と撮像手段
５の撮像面５ＩＬとの間の距離をａ、、ズームレンズ３
の屈折面とこのレンズの焦点位置が合わされている物体
１上の面との間の距離をｂいズームレンズ６とこのレン
ズの焦点位置が合ワされている物体１上の面との間の距
離をす１、両ズームレンズ３．６の光軸間の距離を１．
上記焦点位置の合わされている面に垂直な光軸方向の座
標をＹｌこの座標ＹＩＣ垂直でかつ両光軸と直交する方
向の座標をＸとするＯまだ、ズームレンズ３．６のそれ
ぞれの倍率をβ１ 、βい投影側、撮影側のそれぞれの
格子ピッチをλ、ｌλいそしてモニタＴＶ７の（画面の
大きさ）：撮像手段５の（撮像面ｓ＆の大きさ）、すな
わちＴＶ系の倍率をαとすると、ｂ、 ＝ｂ、の条件の
もとで生ずるモアレ縞は１般Ｖｃ１ で与えられる。ただし、ｎは次数である。
上記式（ＩＨＣおいて、
β１／λｍ：αβ２／λ鵞−（簡単な整数比） ・・・
・・・（２）々る条件を満しているとき、「真の等高融
」すなわち光軸と画直な平面で物体１を切ったようなモ
アレ縞が得られるＯ Ｌ１β１λ１＝ＩＦαβ１／λ茸のときには、光軸に対
して垂直でない平面で物体１を切った、第２図の座標系
に示すようなモアレ縞が得られ、このときのモアレ縞の
＃Ａきは、 で与えられる。
・・・（２）々る条件を満しているとき、「真の等高融
」すなわち光軸と画直な平面で物体１を切ったようなモ
アレ縞が得られるＯ Ｌ１β１λ１＝ＩＦαβ１／λ茸のときには、光軸に対
して垂直でない平面で物体１を切った、第２図の座標系
に示すようなモアレ縞が得られ、このときのモアレ縞の
＃Ａきは、 で与えられる。
良に、ｂ、＝＝ｉｌ、であって、しかもβ１／λ、；α
β、／λ１ なる条件が満店れているとき、 なる式（４）で表わされるモアレ縞が得られる。
β、／λ１ なる条件が満店れているとき、 なる式（４）で表わされるモアレ縞が得られる。
更にまた、等高面間の間隔、すなわち測定の精度は、
ΔＹ ＝ ｂ、λ１／β、１ 川・・
・（５）で与えられる。
・（５）で与えられる。
上記式（１）〜（５）などの中の定数を変化されること
によって種々のモアレ縞ｔ−得ることができるが、定数
の変化をレンズ、格子の交換などによって行ったのでは
、測定作業が極めて複雑で面倒であるばかねでなく、得
られるモアレ縞が限られてしまい高精度の測定も期待で
きない〇 この点本発明は上述したように、投影側、撮影側のそれ
ぞれにズームレンズ３．６ｉ配置し、これらのズームレ
ンズ３，６をそれぞれ独立にマイクロコンピュータ８に
よる制御の下で駆動するようにしているため、倍率及び
撮ｇＩ！範囲の変化、物体の凹凸の判定、姉高面の傾斜
角の変化、精度のＲ牝などを、予め足ゆられたプルグラ
ムに従ってマイクロコンピュータ８を稼働させることに
よって、以下に例示する如く極めて簡単に行うことがで
きる。
によって種々のモアレ縞ｔ−得ることができるが、定数
の変化をレンズ、格子の交換などによって行ったのでは
、測定作業が極めて複雑で面倒であるばかねでなく、得
られるモアレ縞が限られてしまい高精度の測定も期待で
きない〇 この点本発明は上述したように、投影側、撮影側のそれ
ぞれにズームレンズ３．６ｉ配置し、これらのズームレ
ンズ３，６をそれぞれ独立にマイクロコンピュータ８に
よる制御の下で駆動するようにしているため、倍率及び
撮ｇＩ！範囲の変化、物体の凹凸の判定、姉高面の傾斜
角の変化、精度のＲ牝などを、予め足ゆられたプルグラ
ムに従ってマイクロコンピュータ８を稼働させることに
よって、以下に例示する如く極めて簡単に行うことがで
きる。
（１１倍率及び撮像範囲の可変
ズームレンズはその倍率を変えることによって、当然撮
影の倍率、従って撮像範囲を変化することができる。し
かし、モアレ縞が＾の吟高融を表わすためには、上記式
（２）の条件を満していなければならないので、撮影側
だけでなく投影側のズームレンズ３も適切に制御してや
る必要があるが、この２つのズームレンズ３，６の同時
制御はマイクロコンビエータ８によって簡単に行われる
。本発明の装置では、第３図に示すように様々な画面の
大きさで物体１を撮影しているにも拘らず、モアレ縞の
測定精度をほぼ一定に保ちつつ行う測定が可能になｐｌ
また画面（像）の大きさと測定精度を独立に可成りの範
囲で変化させることも可能である０なお、第３図（荀、
中）及び（ｏ）はαβ、−１，２，０，９及びｏ、ｓの
の倍率でそれぞれ写した像であ如、撮像範囲は変化して
いてもほぼ同精度の縞が得られている。
影の倍率、従って撮像範囲を変化することができる。し
かし、モアレ縞が＾の吟高融を表わすためには、上記式
（２）の条件を満していなければならないので、撮影側
だけでなく投影側のズームレンズ３も適切に制御してや
る必要があるが、この２つのズームレンズ３，６の同時
制御はマイクロコンビエータ８によって簡単に行われる
。本発明の装置では、第３図に示すように様々な画面の
大きさで物体１を撮影しているにも拘らず、モアレ縞の
測定精度をほぼ一定に保ちつつ行う測定が可能になｐｌ
また画面（像）の大きさと測定精度を独立に可成りの範
囲で変化させることも可能である０なお、第３図（荀、
中）及び（ｏ）はαβ、−１，２，０，９及びｏ、ｓの
の倍率でそれぞれ写した像であ如、撮像範囲は変化して
いてもほぼ同精度の縞が得られている。
（２）凹凸の判定
撮影側のズームレンズ６０倍′４を固定した状態で、撮
影側の焦点ｔ−第４図に示すように変化させると、第５
図に示すように（ＩＬ）から（０）ヘモモレ縞が動く０
これは、物体１が光学系の焦点深度内にある限如、焦点
面が物体１を三次元的にスキャンしてゆく形になるため
である０このため、モアレ縞も物体１上を三次元的にス
キャンしてゆくことに々シ、理論的には任意□の面で物
体を切った等高線が得られることになる。従って、物体
１の三次元形状を連続的な画像の変化として認識できる
ようになｐ１視覚的には凹凸の判定が容易にできるよう
になる。また、この方法によれば、物体１の三次元形状
を理論的にはいくらでも高い精度で測定できることにな
る。
影側の焦点ｔ−第４図に示すように変化させると、第５
図に示すように（ＩＬ）から（０）ヘモモレ縞が動く０
これは、物体１が光学系の焦点深度内にある限如、焦点
面が物体１を三次元的にスキャンしてゆく形になるため
である０このため、モアレ縞も物体１上を三次元的にス
キャンしてゆくことに々シ、理論的には任意□の面で物
体を切った等高線が得られることになる。従って、物体
１の三次元形状を連続的な画像の変化として認識できる
ようになｐ１視覚的には凹凸の判定が容易にできるよう
になる。また、この方法によれば、物体１の三次元形状
を理論的にはいくらでも高い精度で測定できることにな
る。
なお、この場合、モニタＴＶｒへの映像信号から特定部
分についての凹凸の自動判定を行わせることも可能であ
る。
分についての凹凸の自動判定を行わせることも可能であ
る。
（３）等高面の傾斜角の変化
投影側のズームレンズ３を固定したままで撮影側のズー
ムレンズ６の倍率を変化させると、第６図に示すように
等高面の傾斜を変化させることができる０このような傾
いた平面で切った等高線を得ることによって、単一の方
向からの等高線では分９難い複雑々形状をもった物体の
三次元形状の認識が容易になる。しかし、傾斜角を変え
ても精度の変わらないモアレ縞を得るには、撮影側だけ
でなく投影側のズームレンズ３も同時に制御してやる必
要があるが、このときマイクロコンピュータ８による制
御が役立つ。
ムレンズ６の倍率を変化させると、第６図に示すように
等高面の傾斜を変化させることができる０このような傾
いた平面で切った等高線を得ることによって、単一の方
向からの等高線では分９難い複雑々形状をもった物体の
三次元形状の認識が容易になる。しかし、傾斜角を変え
ても精度の変わらないモアレ縞を得るには、撮影側だけ
でなく投影側のズームレンズ３も同時に制御してやる必
要があるが、このときマイクロコンピュータ８による制
御が役立つ。
（４）ｍ度の変化
モアレ縞の精度は、上記式（５）によって与えられるの
で、投影側、撮影側の格子がそれぞれ１種類しかない場
合でも、投影側、撮影側の２つのズームレンズ３ 、６
ヲｍｍにマイクロコンピュータ８によって制御してや
ることによって第１図に示すように可成如の範囲で変化
させることができる。なお、投影側の格子としてａ種類
用意しておけば、万遍無く精度を変化させることがで色
るようになる。
で、投影側、撮影側の格子がそれぞれ１種類しかない場
合でも、投影側、撮影側の２つのズームレンズ３ 、６
ヲｍｍにマイクロコンピュータ８によって制御してや
ることによって第１図に示すように可成如の範囲で変化
させることができる。なお、投影側の格子としてａ種類
用意しておけば、万遍無く精度を変化させることがで色
るようになる。
なお、上述した実施例では、撮像手段５にょつて得た信
号を電子格子を通して処理した後七アレ縞をモニタＴＶ
７の画面に写し出すようにしているだけであるが、後の
画像処理のためメモリーにストアすることもできる。更
に、モニタＴＶの画面以外に例えばドツトプリンタによ
シ紙面上にモアレ縞を描かせることもできる。
号を電子格子を通して処理した後七アレ縞をモニタＴＶ
７の画面に写し出すようにしているだけであるが、後の
画像処理のためメモリーにストアすることもできる。更
に、モニタＴＶの画面以外に例えばドツトプリンタによ
シ紙面上にモアレ縞を描かせることもできる。
本発明は上述したように、投影側と撮影側とｆＸ−Ｊ、
Ｌ／７Ｘをそれぞれ配し、各ズームレンズを少なくとも
ズームとフォーカスについてそれぞれ独立に制御駆動す
るようにしているため、計測に必要な適切な等高純のモ
アレ縞を簡単にかつ選択的に得ることができるものであ
る。
Ｌ／７Ｘをそれぞれ配し、各ズームレンズを少なくとも
ズームとフォーカスについてそれぞれ独立に制御駆動す
るようにしているため、計測に必要な適切な等高純のモ
アレ縞を簡単にかつ選択的に得ることができるものであ
る。
第１図は本発明の装置の基本構成を示す簡略図、１ｇ２
図は第１図の装置の動作を説明するための説明図、第３
図は第１図の装置によって得られるモアレ縞の一例を示
す図、第４図は第１因の装置の他の動作を説明するため
の説明図、第５図乃至第７図社第１図の装置によって得
られるモアレ縞の他の異なる例をそれぞれ示す図である
〇１・・・・・・物 体 ２・・・・・・（光学系）格子 ３．６・・・ズームレンズ ５・・・・・・撮像手段 ８・・・・・・マイクロコンピュータ（制御手段）特許
出願人 舟久保 煕 康 第１図 第２図 １ｚ− （ａ） （ｂ） （ｃ）（Ｇ）
（ｂ） （Ｃ）第６因 （ａ） （ｂ） （ｃ）第７図 （ａ） （ｂ） 補正の内容（特願昭５７−１０２９７０号）手続補正書
（自発） 昭和５８年９月９日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５Ｔ年 特許願 第１０２９７０
号２、発明の名称 ツク ｔ モアレトポグラフィ装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都杉並区西荻北２丁目１１番４号−一４−
」隘り、 ツｔｒｙ 氏名 舟久保 煕 康 ４、代理人 ５、補正命令の日付 昭和 年 月 日ま
す。 記 １、 第３頁Ｔ〜８行目の［撮像手段５が有するｊを、
「撮像手段５に付随する回路上で」に訂正、２、 第４
頁４行目と５行目の間に「「フォーカス」については超
音波センサ、赤外線センサ、レーザー等の距離セン？を
用いることにより自動的に焦点合わせを行うことも可能
である。」を挿入、３ 第６頁１行目の ４ 同頁１２２行目
図は第１図の装置の動作を説明するための説明図、第３
図は第１図の装置によって得られるモアレ縞の一例を示
す図、第４図は第１因の装置の他の動作を説明するため
の説明図、第５図乃至第７図社第１図の装置によって得
られるモアレ縞の他の異なる例をそれぞれ示す図である
〇１・・・・・・物 体 ２・・・・・・（光学系）格子 ３．６・・・ズームレンズ ５・・・・・・撮像手段 ８・・・・・・マイクロコンピュータ（制御手段）特許
出願人 舟久保 煕 康 第１図 第２図 １ｚ− （ａ） （ｂ） （ｃ）（Ｇ）
（ｂ） （Ｃ）第６因 （ａ） （ｂ） （ｃ）第７図 （ａ） （ｂ） 補正の内容（特願昭５７−１０２９７０号）手続補正書
（自発） 昭和５８年９月９日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５Ｔ年 特許願 第１０２９７０
号２、発明の名称 ツク ｔ モアレトポグラフィ装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都杉並区西荻北２丁目１１番４号−一４−
」隘り、 ツｔｒｙ 氏名 舟久保 煕 康 ４、代理人 ５、補正命令の日付 昭和 年 月 日ま
す。 記 １、 第３頁Ｔ〜８行目の［撮像手段５が有するｊを、
「撮像手段５に付随する回路上で」に訂正、２、 第４
頁４行目と５行目の間に「「フォーカス」については超
音波センサ、赤外線センサ、レーザー等の距離セン？を
用いることにより自動的に焦点合わせを行うことも可能
である。」を挿入、３ 第６頁１行目の ４ 同頁１２２行目
Claims (1)
- 投影側の光学系格子と物体との間と、撮影側の撮像手段
と物体との間とにそれぞれ配置したズームレンズト、該
ズームレンズの各々の少なくともズームとフォーカスと
をそれぞれ独立に変化させる駆動源と、該駆動源によっ
て駆動された前記ズームレンズの各々の前記ズームとフ
ォーカスとについての調整位置をそれぞれ検出する検出
手段と、該検出手段によって検出した調整位Ｉｔを監視
しながら前記駆動源を動作させて前記ズームレンズをそ
れぞれ独立に制御する制御手段とを備えることを特徴と
するモアレトポグラフィ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10297082A JPS58221103A (ja) | 1982-06-17 | 1982-06-17 | モアレトポグラフイ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10297082A JPS58221103A (ja) | 1982-06-17 | 1982-06-17 | モアレトポグラフイ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58221103A true JPS58221103A (ja) | 1983-12-22 |
| JPS642881B2 JPS642881B2 (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=14341618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10297082A Granted JPS58221103A (ja) | 1982-06-17 | 1982-06-17 | モアレトポグラフイ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58221103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002010679A1 (fr) * | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Yamatake Corporation | Systeme servant a mesurer la forme d'une surface |
| KR100392082B1 (ko) * | 2000-07-08 | 2003-07-22 | 정하철 | 모아레 무늬 촬상장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55131709A (en) * | 1979-03-31 | 1980-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Moire fringe measuring device |
-
1982
- 1982-06-17 JP JP10297082A patent/JPS58221103A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55131709A (en) * | 1979-03-31 | 1980-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Moire fringe measuring device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100392082B1 (ko) * | 2000-07-08 | 2003-07-22 | 정하철 | 모아레 무늬 촬상장치 |
| WO2002010679A1 (fr) * | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Yamatake Corporation | Systeme servant a mesurer la forme d'une surface |
| US6906809B2 (en) | 2000-07-28 | 2005-06-14 | Yamatake Corporation | Surface shape measuring system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS642881B2 (ja) | 1989-01-19 |
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