JPS58204348A - 金属物体表面探傷方法 - Google Patents
金属物体表面探傷方法Info
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- JPS58204348A JPS58204348A JP8769282A JP8769282A JPS58204348A JP S58204348 A JPS58204348 A JP S58204348A JP 8769282 A JP8769282 A JP 8769282A JP 8769282 A JP8769282 A JP 8769282A JP S58204348 A JPS58204348 A JP S58204348A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属物体表面探傷方法に係り、特に、連続鋳
造スラブ等の走行中の高−鋼材の表面欠陥ｔオンライン
で検出する際に用いるのに好適な、走行中の被検体のＩ
！面に外部から光を照射し、被検体表面による反射光を
受光して、被検体の表面欠陥を検出するようにし念金属
物体表面探傷方法の改良に関する。
造スラブ等の走行中の高−鋼材の表面欠陥ｔオンライン
で検出する際に用いるのに好適な、走行中の被検体のＩ
！面に外部から光を照射し、被検体表面による反射光を
受光して、被検体の表面欠陥を検出するようにし念金属
物体表面探傷方法の改良に関する。
搬送ラインを走行中の被検体の表面に外部から光を照射
し、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面
欠陥を検出するようにした光学的表向探傷方法が知られ
ている。この光学的表面探傷方法は、例えば第１図に示
す如く、被検体１０の走行ライン上方の、被検体直上方
向に配置した投光器１２かも被検体１０表面に扇状に拡
げて同時に照射された外部光或いは飛点走査きれる外部
光を利用し、同じく被検体走行ラインの被検体重２ヒ方
向に配置した受光器１４により受光される反射光（Ｄ諸
物埋置の変化（光量変化又は回折パターン等ンから、被
検体１００表面欠陥を検出するものである０例えば、前
記投光器１２としてレーザ光源を用いた場合には、スポ
ット状の光点を地点走査方式で被検体１００幅方向に走
査し、被検体１０からの反射光を光電子増倍管やシリコ
ンフォトセル等からなる受光器１４で受光して、各点の
光量変化から、欠陥部の幅方向位ｔｔ−検出する。
し、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面
欠陥を検出するようにした光学的表向探傷方法が知られ
ている。この光学的表面探傷方法は、例えば第１図に示
す如く、被検体１０の走行ライン上方の、被検体直上方
向に配置した投光器１２かも被検体１０表面に扇状に拡
げて同時に照射された外部光或いは飛点走査きれる外部
光を利用し、同じく被検体走行ラインの被検体重２ヒ方
向に配置した受光器１４により受光される反射光（Ｄ諸
物埋置の変化（光量変化又は回折パターン等ンから、被
検体１００表面欠陥を検出するものである０例えば、前
記投光器１２としてレーザ光源を用いた場合には、スポ
ット状の光点を地点走査方式で被検体１００幅方向に走
査し、被検体１０からの反射光を光電子増倍管やシリコ
ンフォトセル等からなる受光器１４で受光して、各点の
光量変化から、欠陥部の幅方向位ｔｔ−検出する。
又、前記投光器１２として白色光の棒状光源を用いた場
合には、被検体１０かもの反射光を、−次元イメージセ
ンサかもなる受光器１４で飛偉走査方式により一点（一
画素）ずつ順に受光する。
合には、被検体１０かもの反射光を、−次元イメージセ
ンサかもなる受光器１４で飛偉走査方式により一点（一
画素）ずつ順に受光する。
このような光学的表面探傷方法によれば、走行中の被検
体１００表面欠陥會非接触でオンライン測定できるとい
う特徴を有するが、従来は、雑音信号を欠陥信号と糾問
し、誤検出のｍ度が高（、実用上の障害となっていた。
体１００表面欠陥會非接触でオンライン測定できるとい
う特徴を有するが、従来は、雑音信号を欠陥信号と糾問
し、誤検出のｍ度が高（、実用上の障害となっていた。
又、被検体１０として、例えば冷間圧延鋼板尋の常温被
検体が主として対象ときれており、連続鋳造スラブ等の
ような高温材の表面探傷にそのｉｔ用いることは、耐熱
性等の点で問題があった。更に、回転ミラ一部等、複雑
な機構ｔ−有し、装置全体の耐熱対策及び調整が非常に
繁雑であった。
検体が主として対象ときれており、連続鋳造スラブ等の
ような高温材の表面探傷にそのｉｔ用いることは、耐熱
性等の点で問題があった。更に、回転ミラ一部等、複雑
な機構ｔ−有し、装置全体の耐熱対策及び調整が非常に
繁雑であった。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で、走行中の被検体の＆面欠陥を、高いＳ／Ｎ比で精度
良（検出することができ、しかも、投光器や受光器の耐
熱対策が容易な金属物体表面探傷方法を提供することを
目的とする。
で、走行中の被検体の＆面欠陥を、高いＳ／Ｎ比で精度
良（検出することができ、しかも、投光器や受光器の耐
熱対策が容易な金属物体表面探傷方法を提供することを
目的とする。
本発明は、走行中の被検体の表面に外部から光を照射し
、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面欠
陥を検出するようにした金属物体表面探傷方法において
、被検体走行ライン側方の、被検体走行方向と直交する
斜め方向に配置した投光器から、被検体表面の法線と照
射光入射方向とのなす角度が１５度〜５５度となるよう
に被検体表面に外部光を照射し、被検体走行ラインの投
光器と同−側或いは／及び反対側の側方に配置した受光
器により受光される、照射光入射方向或いは／及び正反
射方向となす角度が２０度以内の散乱反射光の変化から
、被検体の表面欠陥を検出するようにして、前記目的を
達成したものである。
、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面欠
陥を検出するようにした金属物体表面探傷方法において
、被検体走行ライン側方の、被検体走行方向と直交する
斜め方向に配置した投光器から、被検体表面の法線と照
射光入射方向とのなす角度が１５度〜５５度となるよう
に被検体表面に外部光を照射し、被検体走行ラインの投
光器と同−側或いは／及び反対側の側方に配置した受光
器により受光される、照射光入射方向或いは／及び正反
射方向となす角度が２０度以内の散乱反射光の変化から
、被検体の表面欠陥を検出するようにして、前記目的を
達成したものである。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明は、前出第１図に示したような、投光器１２によ
り走行中の被検体１００表面に外部から光を照射し、被
検体１０の＆面による反射光を受光器１４により受光し
て、被検体１０のｌＩ面欠陥を検出するようにした表面
探傷方法において、発明者等が、投光器１２による照射
光入射方向と、受光器１４による反射光受光方向とを種
々質えて最適な位愛関係について寮験した結果に基いて
なされたものである。
り走行中の被検体１００表面に外部から光を照射し、被
検体１０の＆面による反射光を受光器１４により受光し
て、被検体１０のｌＩ面欠陥を検出するようにした表面
探傷方法において、発明者等が、投光器１２による照射
光入射方向と、受光器１４による反射光受光方向とを種
々質えて最適な位愛関係について寮験した結果に基いて
なされたものである。
即ち、投光器１２を、被検体走行ライン側方の、被検体
走行方向と直交する斜め方向に配置し、被検体表面の法
線と照射光入射方向とのなす角Ｒ’＋を変化させて、被
検体走行ラインの投光器１２と同一側の側方に配着した
受光器１４により、照射光入射方向となす角度０．が１
０度の散乱反射光を受光し、これから被検体１０の表面
欠陥を検出し次ところ、欠陥（主として縦割れ）信号の
Ｓ／Ｎ比は、第２図に示す如くとなった０図から明らか
な如く、角度θ、が１５Ｊｆ〜５ｂ度の範囲内にある場
合には、欠陥信号の８／Ｎ比が、実用上欠陥信号を弁別
し得る水準であるＳ／Ｎ比２．０以上となり、精度の高
い欠陥検出が可能である。
走行方向と直交する斜め方向に配置し、被検体表面の法
線と照射光入射方向とのなす角Ｒ’＋を変化させて、被
検体走行ラインの投光器１２と同一側の側方に配着した
受光器１４により、照射光入射方向となす角度０．が１
０度の散乱反射光を受光し、これから被検体１０の表面
欠陥を検出し次ところ、欠陥（主として縦割れ）信号の
Ｓ／Ｎ比は、第２図に示す如くとなった０図から明らか
な如く、角度θ、が１５Ｊｆ〜５ｂ度の範囲内にある場
合には、欠陥信号の８／Ｎ比が、実用上欠陥信号を弁別
し得る水準であるＳ／Ｎ比２．０以上となり、精度の高
い欠陥検出が可能である。
又、投光器１２による照射光入射方向と被検体表面の法
線とのなす角度０．を４５度に固定して、前記受光器１
４による散乱反射光受光方向と前記投光器１２による照
射光入射方向とのなす角度−曾ｔ−変化させ、散乱反射
光から検出される欠陥信号Ｏ８／Ｎ比の変化状ｌＩＩを
調べたところ、第３図に示すような結果が得られた。図
から明らかな如く、角ｆ１が±２０度以内であれば、欠
陥信号のＳ／Ｎ比は２．０以上であり、精度の高い欠陥
検出が可能である。
線とのなす角度０．を４５度に固定して、前記受光器１
４による散乱反射光受光方向と前記投光器１２による照
射光入射方向とのなす角度−曾ｔ−変化させ、散乱反射
光から検出される欠陥信号Ｏ８／Ｎ比の変化状ｌＩＩを
調べたところ、第３図に示すような結果が得られた。図
から明らかな如く、角ｆ１が±２０度以内であれば、欠
陥信号のＳ／Ｎ比は２．０以上であり、精度の高い欠陥
検出が可能である。
更に、投光器１２による照射光入射方向を、ライン側方
の斜め方向とした場合には、第４図（４）に示す如（、
縦割れ１０ｍの肩部かもの正反射光に近い反射光が強調
されて散乱反射光となるので、このように、投光器′１
２ｔ−ライン側方の斜村上方に置（方法は、特に走行方
向と平行な縦割れの検出に対して有効である。第４図（
Ｂ）は、入射角度４５度の場合の受光波形を示したもの
であり、ビークＡが欠陥信号である。又、被検体１０か
もの垂直距離が小さい状態でも、耐熱対策が容易である
。更に、投光器と反射点の距Ｍを大きくとる必要がな（
、現場に多いほこりの影響に拘らず、十分な光が反射点
に到達する。
の斜め方向とした場合には、第４図（４）に示す如（、
縦割れ１０ｍの肩部かもの正反射光に近い反射光が強調
されて散乱反射光となるので、このように、投光器′１
２ｔ−ライン側方の斜村上方に置（方法は、特に走行方
向と平行な縦割れの検出に対して有効である。第４図（
Ｂ）は、入射角度４５度の場合の受光波形を示したもの
であり、ビークＡが欠陥信号である。又、被検体１０か
もの垂直距離が小さい状態でも、耐熱対策が容易である
。更に、投光器と反射点の距Ｍを大きくとる必要がな（
、現場に多いほこりの影響に拘らず、十分な光が反射点
に到達する。
伺、前記角度０１をあまり小さくすると、投光視野の遠
近感が強調され、焦点合せ及び信号処理の際のアドレス
付けに支障をもたらすことがある。
近感が強調され、焦点合せ及び信号処理の際のアドレス
付けに支障をもたらすことがある。
一方、角度０．が太であるほど、被検体１０の上下動の
影響は受けにくくなるものの、被検体１０の上面に近く
なるので、特に高温材の耐熱の面では不利となる。又、
被検体１０の下面を反転せずに検査する場合には投光器
１２を配設するためのビットの深さを太き（する必要も
生じる。従って、上述の如き、１５度〜５５１ｆの範囲
内が好ましく、特に、寮用上は、２０度〜５０度の範囲
がより有効である。
影響は受けにくくなるものの、被検体１０の上面に近く
なるので、特に高温材の耐熱の面では不利となる。又、
被検体１０の下面を反転せずに検査する場合には投光器
１２を配設するためのビットの深さを太き（する必要も
生じる。従って、上述の如き、１５度〜５５１ｆの範囲
内が好ましく、特に、寮用上は、２０度〜５０度の範囲
がより有効である。
本発明は、上記のような知見に基いてなされたものであ
る。
る。
以下図面を参照して、本発明に係る金属物体表面探傷方
法が採用された連続鋳造スラブの表面探傷装置の実施例
ｔ−ｔｆ−細に説明するＯ本実施例は、第５図に示す如
（、連続鋳造スラブ２０υ走行ライン側方のスラブ走行
方向と直交する斜め方向に配置された、連続鋳造スラブ
２０表向の法紐と照射光入射方向とのなす角度θ１が、
１５度〜５５度となるように連続鋳造スラブ２００表面
に外部光を照射するレー°ザ光源２２と、該レーザ光源
２２により発振されたレーザ光２２ｍを、連続鋳造スラ
ブ２０上の必要視野幅迄帯状に広げるためのシリンドリ
カルレンズ２４と、スラブ走行ラインの前記レーザ光源
２２と同一側の側方に配置され、照射光入射方向となす
角層θ曾が２０ｆ以内の散乱反射光を受光するための受
光力成されている。第５図において、３０は、受光カメ
ラ２６の受光部に配設これた、レーザ光源２２から照射
されたレーザ光２２ｍの使用波長域のみを通過させるこ
とｆＣよって、連続鋳造スラブ２０の自発光エネルギの
影響を除去し、検出精［［めるための干渉フィルタであ
る。
法が採用された連続鋳造スラブの表面探傷装置の実施例
ｔ−ｔｆ−細に説明するＯ本実施例は、第５図に示す如
（、連続鋳造スラブ２０υ走行ライン側方のスラブ走行
方向と直交する斜め方向に配置された、連続鋳造スラブ
２０表向の法紐と照射光入射方向とのなす角度θ１が、
１５度〜５５度となるように連続鋳造スラブ２００表面
に外部光を照射するレー°ザ光源２２と、該レーザ光源
２２により発振されたレーザ光２２ｍを、連続鋳造スラ
ブ２０上の必要視野幅迄帯状に広げるためのシリンドリ
カルレンズ２４と、スラブ走行ラインの前記レーザ光源
２２と同一側の側方に配置され、照射光入射方向となす
角層θ曾が２０ｆ以内の散乱反射光を受光するための受
光力成されている。第５図において、３０は、受光カメ
ラ２６の受光部に配設これた、レーザ光源２２から照射
されたレーザ光２２ｍの使用波長域のみを通過させるこ
とｆＣよって、連続鋳造スラブ２０の自発光エネルギの
影響を除去し、検出精［［めるための干渉フィルタであ
る。
前記レーザ光源２２としては、例えば出力５Ｗのアルゴ
ンレーザを用いることができる。一般に、′ｉ！６湛物
体ｔ−被検体とした場合、被検体の自発光エネルギは、
赤外及びＢＪ視の長波長側に強いエネルギ成分を持つの
で、反射光を受光して欠陥信号を得る一合には、なるべ
く自発光成分の少ない短波長の光を投射した方が有オリ
である。アルゴンレーザは、最強波長成分が５００ ｎ
ｍ近傍の波長を持つので、連続鋳造スラブのようなｉ＃
ｉｂ鋼材の自発光成分の比較的弱い波長域に該当し、且
つ、この種のレーザは、連続して比較的強い出力が得ら
れるので、表面探傷の光源としてを；有効である。
ンレーザを用いることができる。一般に、′ｉ！６湛物
体ｔ−被検体とした場合、被検体の自発光エネルギは、
赤外及びＢＪ視の長波長側に強いエネルギ成分を持つの
で、反射光を受光して欠陥信号を得る一合には、なるべ
く自発光成分の少ない短波長の光を投射した方が有オリ
である。アルゴンレーザは、最強波長成分が５００ ｎ
ｍ近傍の波長を持つので、連続鋳造スラブのようなｉ＃
ｉｂ鋼材の自発光成分の比較的弱い波長域に該当し、且
つ、この種のレーザは、連続して比較的強い出力が得ら
れるので、表面探傷の光源としてを；有効である。
前記受光カメラ２６としては、例えば電荷結合デバイス
を用いた電子走ｇ：、型イメージ七ンサが焦点面に配設
されたものを用いることができる。受光カメラのレンズ
は、被検体−受光カメラ間距離帯状投光面０幅等をこよ
り％棗４７！０径に選足されている。４．２０４８素子
のセンサを用いて視野幅１ｍｉ検査する場合、その幾何
学的分解能は約０．５ｍｍとなる＠ 前にレーザ５１ｉ２ｚ、シリンドリカルレンズ２４等を
含む投光装置、及び、前記受光カメラ２６、干渉フィル
タ３０等を含む受光装置は、いずれも、連続鋳造スラブ
２０の斜め方向に十分大きい距離を保って配置され、且
つ、長時間連続使用可能なように、気体或いは液体によ
る耐熱対策が施きれている。
を用いた電子走ｇ：、型イメージ七ンサが焦点面に配設
されたものを用いることができる。受光カメラのレンズ
は、被検体−受光カメラ間距離帯状投光面０幅等をこよ
り％棗４７！０径に選足されている。４．２０４８素子
のセンサを用いて視野幅１ｍｉ検査する場合、その幾何
学的分解能は約０．５ｍｍとなる＠ 前にレーザ５１ｉ２ｚ、シリンドリカルレンズ２４等を
含む投光装置、及び、前記受光カメラ２６、干渉フィル
タ３０等を含む受光装置は、いずれも、連続鋳造スラブ
２０の斜め方向に十分大きい距離を保って配置され、且
つ、長時間連続使用可能なように、気体或いは液体によ
る耐熱対策が施きれている。
以下、作用ｔ−説明する。
表面温Ｈｓｏｏ℃以上の連続鋳造スラブ２０は、製造ラ
インを矢印Ｂの方向にけぼ一定の速度で走行しており、
少なくとも被検面が平坦とみなし得る状態となっている
。レーザ光源２２から発振されたレーザ光２２＆は、シ
リンドリカルレンズ２４により帯状に連続鋳造スラブ２
０上に投光される。連続鋳造スラブ２０の被検面によっ
て反射されたレーザ光は、干渉フィルタ３０１−介して
受光カメラ２６に入射し、帯状光の像が、受光カメラ２
６ρ焦点面に一次元情報として入力され、信号処理回路
２８で欠陥信号化されて出力される。
インを矢印Ｂの方向にけぼ一定の速度で走行しており、
少なくとも被検面が平坦とみなし得る状態となっている
。レーザ光源２２から発振されたレーザ光２２＆は、シ
リンドリカルレンズ２４により帯状に連続鋳造スラブ２
０上に投光される。連続鋳造スラブ２０の被検面によっ
て反射されたレーザ光は、干渉フィルタ３０１−介して
受光カメラ２６に入射し、帯状光の像が、受光カメラ２
６ρ焦点面に一次元情報として入力され、信号処理回路
２８で欠陥信号化されて出力される。
本実施例においては、投光器として、レーザ光源２２ｔ
−用いているので、レーザ光源２２及びシリントリカル
レンズ２４の部分と高温材である連続鋳造スラブ２０と
のパスラインの距離、及び、連［Ｉｆｔスラブ２０と受
光カメラ２６とのパスラインの距離を大きくとることが
可能であり、銅熱対策上一層有利である。即ち、レーザ
光は、強い指向性を持っており、そのビームが非常に小
さく、エネルギ密度が極めて高いため、距離に対する減
衰が殆んど無く、シリンドリカルレンズ２４で横に広げ
ても、十分に高いエネルギ密度が得られる。
−用いているので、レーザ光源２２及びシリントリカル
レンズ２４の部分と高温材である連続鋳造スラブ２０と
のパスラインの距離、及び、連［Ｉｆｔスラブ２０と受
光カメラ２６とのパスラインの距離を大きくとることが
可能であり、銅熱対策上一層有利である。即ち、レーザ
光は、強い指向性を持っており、そのビームが非常に小
さく、エネルギ密度が極めて高いため、距離に対する減
衰が殆んど無く、シリンドリカルレンズ２４で横に広げ
ても、十分に高いエネルギ密度が得られる。
又、レーザ光の特性として、その波長成分が単一である
ので、本実施例のように、使用するレーザに適した干渉
フィルタ３０１に、受光カメラ２６のレンズ前面に取付
けることによって、レーザ光のみを極めて選択的に受光
することが可能であり、自発光エネルギの影響を効果的
に除去することが容易である。尚、投光器の種類は、こ
れに限定ばれず、例えば、白色光を投射する水鎖灯を用
いることも可能である。
ので、本実施例のように、使用するレーザに適した干渉
フィルタ３０１に、受光カメラ２６のレンズ前面に取付
けることによって、レーザ光のみを極めて選択的に受光
することが可能であり、自発光エネルギの影響を効果的
に除去することが容易である。尚、投光器の種類は、こ
れに限定ばれず、例えば、白色光を投射する水鎖灯を用
いることも可能である。
又、本寮施例においては、レーザ光源２２からの光を、
連続鋳造スラブ２００表面に帯状に投光し、その反射光
を、電子走査型のイメージセンサで受光して出力信号を
得るようにしているので、信号噴出し走査を、従来の機
械的走査より格段に高速化できる。従って、被検体の走
行速度が１０００隔／分以上の場合でも、応答すること
が可能である。
連続鋳造スラブ２００表面に帯状に投光し、その反射光
を、電子走査型のイメージセンサで受光して出力信号を
得るようにしているので、信号噴出し走査を、従来の機
械的走査より格段に高速化できる。従って、被検体の走
行速度が１０００隔／分以上の場合でも、応答すること
が可能である。
又、光電子増倍管やシリコンフォトセル、増幅語勢で受
光器を構成した場合に比べて、受光器が小型であり、耐
湿、耐熱、＃Ｉ４ｗＩ等のしやへい対策が行いやすい。
光器を構成した場合に比べて、受光器が小型であり、耐
湿、耐熱、＃Ｉ４ｗＩ等のしやへい対策が行いやすい。
更に、＊傷装置全体として、回転部分がないので、保守
も容易でるる。
も容易でるる。
伺、前記実施例においては、受光カメラ２６が、スラブ
走行ラインのレーザ光源２２と同一側の倒万に配置これ
、該受光カメラ２６により、照射光入射方向となす角度
が２０ｍ以内の散乱反射光を受光するようにされていた
が、散乱反射光を受光する方法は、これに限だされず、
受光カメラ２６を、スラブ走行ライ１ンのレーザ光源２
２と反対側の一方に配置して、前記受光カメラ２６によ
り、正反射方向となす角度が２０ｍ以内の散乱反射光を
受光することも可能である。
走行ラインのレーザ光源２２と同一側の倒万に配置これ
、該受光カメラ２６により、照射光入射方向となす角度
が２０ｍ以内の散乱反射光を受光するようにされていた
が、散乱反射光を受光する方法は、これに限だされず、
受光カメラ２６を、スラブ走行ライ１ンのレーザ光源２
２と反対側の一方に配置して、前記受光カメラ２６によ
り、正反射方向となす角度が２０ｍ以内の散乱反射光を
受光することも可能である。
前記実施例においては、本発明が高温材である連続鋳造
スラブの探傷に適用されていたが、本発明の適用範囲は
これに限定ばれず、より高速で走行する仕上圧延機出側
の熱延鋼帯のオンライン探傷、酸洗ラインのオンライン
探傷、冷延鋼帯、鋼板のオンライン探傷等にも同様に適
用できることは明らかである。
スラブの探傷に適用されていたが、本発明の適用範囲は
これに限定ばれず、より高速で走行する仕上圧延機出側
の熱延鋼帯のオンライン探傷、酸洗ラインのオンライン
探傷、冷延鋼帯、鋼板のオンライン探傷等にも同様に適
用できることは明らかである。
以上説明した通り、本発明によれば、連続鋳造スラブ等
の走行中の被検体の表面欠陥を、高いＳ／Ｎ比で精度良
（検出することができ、しかも、投光器や受光器の耐熱
対策も容易であるという優れた効果を有する。
の走行中の被検体の表面欠陥を、高いＳ／Ｎ比で精度良
（検出することができ、しかも、投光器や受光器の耐熱
対策も容易であるという優れた効果を有する。
第１図は、従来の表面探傷方法が行われて（・る状態を
示す斜視図、第２図に工、本発明の原理を示す、被検体
表面の法線と照射光入射方向とのなす角度と、散乱反射
光の変化から検出した欠陥信号のＳ／Ｎ比との関係の一
例を示す線図、第３図は、同じく、照射光入射方向と散
乱反射光受光方向とのなす角度と、散乱反射光の変化か
ら検出した欠陥信号のＳ／Ｎ比との関係の一例を示す線
図、第４図（Ａ）は、同じく、縦割れをＭする被検体の
表面に斜め方向から照射光を入射している状態を示す断
面図、第４図（８）は、同じく散乱反射光の変化状態を
示す線図、嬉５図は、本発明に係る金属物体表面探傷方
法が採用された連続鋳造スラブの表面探ｍ装置の実施例
の構成全示１、一部ブロック線図を含む斜視図である。 １０・・・被検体、１０ｍ・・・縦割γＬ、、１２・・
・投光器、１４・・・受光器、２０・・・連続鋳造スラ
ブ、２２・・・レーザ光源、２４・・・シリンドリカル
レンズ、２６・・・受光カメラ、２８・・・信号処理回
路、３０・・・干渉フィルタ。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
示す斜視図、第２図に工、本発明の原理を示す、被検体
表面の法線と照射光入射方向とのなす角度と、散乱反射
光の変化から検出した欠陥信号のＳ／Ｎ比との関係の一
例を示す線図、第３図は、同じく、照射光入射方向と散
乱反射光受光方向とのなす角度と、散乱反射光の変化か
ら検出した欠陥信号のＳ／Ｎ比との関係の一例を示す線
図、第４図（Ａ）は、同じく、縦割れをＭする被検体の
表面に斜め方向から照射光を入射している状態を示す断
面図、第４図（８）は、同じく散乱反射光の変化状態を
示す線図、嬉５図は、本発明に係る金属物体表面探傷方
法が採用された連続鋳造スラブの表面探ｍ装置の実施例
の構成全示１、一部ブロック線図を含む斜視図である。 １０・・・被検体、１０ｍ・・・縦割γＬ、、１２・・
・投光器、１４・・・受光器、２０・・・連続鋳造スラ
ブ、２２・・・レーザ光源、２４・・・シリンドリカル
レンズ、２６・・・受光カメラ、２８・・・信号処理回
路、３０・・・干渉フィルタ。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
Claims (1)
- （り走行中の被検体の表面に外部から光を照射し、被検
体表面による反射光を受光して、被検体の表面欠陥全検
出するようにした金属物体表面探傷方法において、被検
体走行ライン側方の、被検体走行方向と直交する斜め方
向に配置し九投光器から、被検体表面の法線と照射光入
射方向とのなす角度が１５度〜５５度となるように被検
体表面に外部光を照射し、被検体走行ラインの投光器と
同−側或いは／及び反対側の側方に配置した受光器によ
り受光される、照射光′人射方向或いは／及び正反射方
向となす角度が２ｏｆ：以内の散乱反射光の変化から、
被検体の表面欠陥を検出するようにしたことを特徴とす
る金属物体の表面探傷方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8769282A JPS58204348A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 金属物体表面探傷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8769282A JPS58204348A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 金属物体表面探傷方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58204348A true JPS58204348A (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=13921974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8769282A Pending JPS58204348A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 金属物体表面探傷方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58204348A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152965U (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-22 | ||
| WO1991017009A1 (en) * | 1990-05-01 | 1991-11-14 | The Broken Hill Proprietary Company Limited | The inspection of continuously cast metals |
| JP2008275424A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Jfe Steel Kk | 表面検査装置 |
| WO2015055060A1 (zh) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | 湖南镭目科技有限公司 | 一种连铸坯表面质量在线检测方法 |
-
1982
- 1982-05-24 JP JP8769282A patent/JPS58204348A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61152965U (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-22 | ||
| WO1991017009A1 (en) * | 1990-05-01 | 1991-11-14 | The Broken Hill Proprietary Company Limited | The inspection of continuously cast metals |
| JP2008275424A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Jfe Steel Kk | 表面検査装置 |
| WO2015055060A1 (zh) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | 湖南镭目科技有限公司 | 一种连铸坯表面质量在线检测方法 |
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