JPS58184117A - 複数ビ−ム走査装置 - Google Patents
複数ビ−ム走査装置Info
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- JPS58184117A JPS58184117A JP57067650A JP6765082A JPS58184117A JP S58184117 A JPS58184117 A JP S58184117A JP 57067650 A JP57067650 A JP 57067650A JP 6765082 A JP6765082 A JP 6765082A JP S58184117 A JPS58184117 A JP S58184117A
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- deflection
- light
- light source
- optical system
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/123—Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半一導体レニザーアレーの如龜、アレー状光源
を光゛源部に用いた走査装置に関するもＶである０
゛ 従来□、半導体レーザー６党出力ｔ！６を複数個並べ友
所謂半導体し−ザーアＶ−を使用して、−ゴンミラー、
ガルバ′）″ミラー等の偏向器の偏向反射向上で、各々
の光源部から射出されるビームが拡が９すぎると、＃Ａ
向反射面の面積が太きくなり、従って走査手段が大きく
なり、且つ走査スピードを上げられないという電点があ
る。
を光゛源部に用いた走査装置に関するもＶである０
゛ 従来□、半導体レーザー６党出力ｔ！６を複数個並べ友
所謂半導体し−ザーアＶ−を使用して、−ゴンミラー、
ガルバ′）″ミラー等の偏向器の偏向反射向上で、各々
の光源部から射出されるビームが拡が９すぎると、＃Ａ
向反射面の面積が太きくなり、従って走査手段が大きく
なり、且つ走査スピードを上げられないという電点があ
る。
こり電点を解消する為に１％開昭５６−６９６１０号公
報に於いては、各光源からの光束ｔコリメートするコリ
メートレンズ管設け、このコリメートレンズの射出瞳の
位置を偏向反射面上においている。この走査装置に於い
て、光Ｓ部と漏向器の間に更なる光学部材、例えば偏向
器の回転軸等の倒れを補正する為のアナモフィック光学
部材を配するには、光源部と偏向器との間隔は、光源部
と偏向器の間の距離を長くしようとすると必然的にコリ
メーターレンズの焦点距離を長くする必要があり、そう
するとコリメーターレンズのＦす／ノ゛−を暗くするか
、偏向器で・ ：′： あるポリゴンミラーの外径管大きくする必要がある。前
者の場合、すなわち、コリメーターレンズＯＦナンバー
を暗くするとポリゴンミラーの外径は小さくできるが、
光源部から発散する光束に対してコリメート光束の比率
が低下し。
報に於いては、各光源からの光束ｔコリメートするコリ
メートレンズ管設け、このコリメートレンズの射出瞳の
位置を偏向反射面上においている。この走査装置に於い
て、光Ｓ部と漏向器の間に更なる光学部材、例えば偏向
器の回転軸等の倒れを補正する為のアナモフィック光学
部材を配するには、光源部と偏向器との間隔は、光源部
と偏向器の間の距離を長くしようとすると必然的にコリ
メーターレンズの焦点距離を長くする必要があり、そう
するとコリメーターレンズのＦす／ノ゛−を暗くするか
、偏向器で・ ：′： あるポリゴンミラーの外径管大きくする必要がある。前
者の場合、すなわち、コリメーターレンズＯＦナンバー
を暗くするとポリゴンミラーの外径は小さくできるが、
光源部から発散する光束に対してコリメート光束の比率
が低下し。
エネルギー利用効率が低下してしまう０後者の場合、す
なわち、ポリゴンの外径を大きくすれば、上記のエネル
ギー利用効率は問題ないが。
なわち、ポリゴンの外径を大きくすれば、上記のエネル
ギー利用効率は問題ないが。
ポリゴンの回転速ｆを速めることが困−となるにけでな
く、低コスト化が困難となる。
く、低コスト化が困難となる。
本発明の目的は、上述した欠点を改良し、エネルギーの
利用効率が曳く、偏向装置も小型でム連の走査が可能な
複数ビーム走査装置を提供することにある。
利用効率が曳く、偏向装置も小型でム連の走査が可能な
複数ビーム走査装置を提供することにある。
本発明に係る走査装置に於いては、供給される各々Ｏ光
束の主光線が平行となる様な複数ビーム供給光源部と、
その光軸が藺紀光源部の各光束の主光線と平行になる様
に設けられた第１結欅光学系と、該第１結儂光学系と偏
向手段との間には前記第１−、侭光学系と共軸−ｔ６Ａ
ｆ＠２結像光学系を配する０第１結像光学系は光源部か
らの各々の光束管収束させ、光源部の儂を形成する位置
に設けられており、一方、第２結儂尤学系は少なくとも
偏向走査面と平行な面内に於いては、前記第１＠儂光学
系の偏向手段＠Ｏ焦点位置と、偏向手段Ｑ−Ｎ反射向Ｖ
近憎位置とｔ光学的に共役な１係に保つものでするＰＩ
３、本明細書″ｒＦは上記偏向走査面とは、−向反射向
の法−が偏向器のり動に従って、経時的に形成するＩｆ
ｉ′に意味する。
束の主光線が平行となる様な複数ビーム供給光源部と、
その光軸が藺紀光源部の各光束の主光線と平行になる様
に設けられた第１結欅光学系と、該第１結儂光学系と偏
向手段との間には前記第１−、侭光学系と共軸−ｔ６Ａ
ｆ＠２結像光学系を配する０第１結像光学系は光源部か
らの各々の光束管収束させ、光源部の儂を形成する位置
に設けられており、一方、第２結儂尤学系は少なくとも
偏向走査面と平行な面内に於いては、前記第１＠儂光学
系の偏向手段＠Ｏ焦点位置と、偏向手段Ｑ−Ｎ反射向Ｖ
近憎位置とｔ光学的に共役な１係に保つものでするＰＩ
３、本明細書″ｒＦは上記偏向走査面とは、−向反射向
の法−が偏向器のり動に従って、経時的に形成するＩｆ
ｉ′に意味する。
向、上、−１第２緒書元学糸は少なくとも偏向走査面と
平行な面内に於いてはと、いう意味は、第２結像光学系
は球面光学系であって、光源から偏向手段に至る光軸を
含み偏向走査面と直交する山内（以ＩＦ、亨に偏向走査
面と直交する面とどう）に於いても、前記−向反射１ｆ
Ｉｉｏ近傍位置光学的に共在な関係に保ってもへいし、
−或いは直交する方向マはパワー、の異なるアナモフィ
ックな光学系でろって１−向走査自と直交する山内に於
いては、上述した関Ｓを満たさなくても喪いと言う事で
ある。
平行な面内に於いてはと、いう意味は、第２結像光学系
は球面光学系であって、光源から偏向手段に至る光軸を
含み偏向走査面と直交する山内（以ＩＦ、亨に偏向走査
面と直交する面とどう）に於いても、前記−向反射１ｆ
Ｉｉｏ近傍位置光学的に共在な関係に保ってもへいし、
−或いは直交する方向マはパワー、の異なるアナモフィ
ックな光学系でろって１−向走査自と直交する山内に於
いては、上述した関Ｓを満たさなくても喪いと言う事で
ある。
本発明に係る走査、装置に於いては１．偏向、手段の偏
向反射面の倒れを補正する為に、ｕＡ向反射圓上に縁Ｉ
ＪＩＩを投影する場合は、前記第２結儂光学系はアナモ
フィックな光学系でめる必要がある。この場合、偏向走
ｆ面と直交する面内′に於いては、第１ＷＩ４＆光学系
からの光束を偏向反射面上に収束出来る様なパワーを第
２結像光学系が′ｉて′ば良い。このアナモフィックな
第２結謙元学”糸の構成としては１球面光学系とシリ／
トリカル光学系の組み゛合わせ、或いはトーリックレン
ズが一枚で構成出来る。
向反射面の倒れを補正する為に、ｕＡ向反射圓上に縁Ｉ
ＪＩＩを投影する場合は、前記第２結儂光学系はアナモ
フィックな光学系でめる必要がある。この場合、偏向走
ｆ面と直交する面内′に於いては、第１ＷＩ４＆光学系
からの光束を偏向反射面上に収束出来る様なパワーを第
２結像光学系が′ｉて′ば良い。このアナモフィックな
第２結謙元学”糸の構成としては１球面光学系とシリ／
トリカル光学系の組み゛合わせ、或いはトーリックレン
ズが一枚で構成出来る。
前記偏向走査面と平行な面内に於いては、第１鮎像光学
系に□よる前記アレー状光源から゛の光束の結像位置と
、第２結儂光学系の焦点位置とｔ合！にさせておけば、
偏向器の偏向反射面に入射するピ゛−ムは平行光束とな
る；又、第２結像元−学系□の焦点位置が、前記＠１結
儂光学系によるアレー状光源からの光束の結像位置より
光源−に存する場合は、第２結像光学系の□作用はフィ
ールドレンズとしての役割か゛増し、偏向器の偏向反射
面に入射するビームは発散光束となる。
系に□よる前記アレー状光源から゛の光束の結像位置と
、第２結儂光学系の焦点位置とｔ合！にさせておけば、
偏向器の偏向反射面に入射するピ゛−ムは平行光束とな
る；又、第２結像元−学系□の焦点位置が、前記＠１結
儂光学系によるアレー状光源からの光束の結像位置より
光源−に存する場合は、第２結像光学系の□作用はフィ
ールドレンズとしての役割か゛増し、偏向器の偏向反射
面に入射するビームは発散光束となる。
鎚って、偏向１＃Ｏ゛偏向反射面に入射するビームの形
状ｒｉ、前者ｏｎ合が線状の平行光束、後者Ｏ場合が線
状の発散光束となる。以下、図面を用い−Ｃ本発明を詳
述するが、以下に用いる実施例では偏向器の＠れな補正
する為Ｋ１１２細儂光学系として球面レンズとシリンド
リカルレンズより構成されるものを示すが１本発明に係
る構成の必ｍＳ材としては、球面レンズのみで良いので
あってシリンドリカルレンズは省いても良い０ 第１図（ＡＸＢ）は本発明に係る走査装置の一実施例を
示す図で、（Ａ）は走査装置全体の平面図を。
状ｒｉ、前者ｏｎ合が線状の平行光束、後者Ｏ場合が線
状の発散光束となる。以下、図面を用い−Ｃ本発明を詳
述するが、以下に用いる実施例では偏向器の＠れな補正
する為Ｋ１１２細儂光学系として球面レンズとシリンド
リカルレンズより構成されるものを示すが１本発明に係
る構成の必ｍＳ材としては、球面レンズのみで良いので
あってシリンドリカルレンズは省いても良い０ 第１図（ＡＸＢ）は本発明に係る走査装置の一実施例を
示す図で、（Ａ）は走査装置全体の平面図を。
β）は光源部から偏向器の間の光学系の正面図を示すも
のである。第１１四（６）に於いて、１は複数ｉ！ｉｏ
発光部１ａ、ｌｂｆ：有する半導体レーザーアレー、２
は前記半導体レーザーからの光束の主光線とその元軸４
が平行に、１な９る様に設けら′１ れた球面の第１結像レンズ、３は□球面レンズ３ａとそ
の母線が偏向走査面と平行で、且つ光軸４と直交する様
に設けられたシリンドリカルレンズ３ｂより成る第２結
像レンズ、５Ｆｉ偏向手段としてのポリゴンミラー、６
はトーリック率レンズ、７＃ｉ被走査画である０ 第１１四に騎いて、半導体アレーレーザー光線ｌの発光
部１ａ、ｌｂより出射され九光束は。
のである。第１１四（６）に於いて、１は複数ｉ！ｉｏ
発光部１ａ、ｌｂｆ：有する半導体レーザーアレー、２
は前記半導体レーザーからの光束の主光線とその元軸４
が平行に、１な９る様に設けら′１ れた球面の第１結像レンズ、３は□球面レンズ３ａとそ
の母線が偏向走査面と平行で、且つ光軸４と直交する様
に設けられたシリンドリカルレンズ３ｂより成る第２結
像レンズ、５Ｆｉ偏向手段としてのポリゴンミラー、６
はトーリック率レンズ、７＃ｉ被走査画である０ 第１１四に騎いて、半導体アレーレーザー光線ｌの発光
部１ａ、ｌｂより出射され九光束は。
第ＩＭ＊し／ズ２にて集光され第２結儂レンズ３の近傍
Ｋｆｌｉｌする０ま喪１点線で示す各々の主光１ｉ ｍ
、、 ｍ＠は第１１ｉｌ像Ｖ７ズ２の焦点Ｆを通過する
。従って、こＯＦなる位置で双方の光束の主光線は重な
り合い、空間的に双方の光束か占める拡が９が最も小さ
くなる。菖２結儂レンズ、％に球面レンズ３ｍの近傍に
集光され九光５！ｌ［は、球面レンズ３１のフィールド
レンズトシての作用によりその光路の向きが変えられ、
ポリゴンミラ−５０偏向反射画５ｍに向う。前記第１績
儂レンズの焦点ｒなる位置と偏向反射面の近傍位置Ｆ′
とは１港ｔ＃Ａ（５）に示す偏向走査面１！ と平行な市内に於いては、纂２緒像レンズ３（実質的に
は球面レンズ系３ｍであるが）Ｋ関して光学的に共役な
関係になっている。従って。
Ｋｆｌｉｌする０ま喪１点線で示す各々の主光１ｉ ｍ
、、 ｍ＠は第１１ｉｌ像Ｖ７ズ２の焦点Ｆを通過する
。従って、こＯＦなる位置で双方の光束の主光線は重な
り合い、空間的に双方の光束か占める拡が９が最も小さ
くなる。菖２結儂レンズ、％に球面レンズ３ｍの近傍に
集光され九光５！ｌ［は、球面レンズ３１のフィールド
レンズトシての作用によりその光路の向きが変えられ、
ポリゴンミラ−５０偏向反射画５ｍに向う。前記第１績
儂レンズの焦点ｒなる位置と偏向反射面の近傍位置Ｆ′
とは１港ｔ＃Ａ（５）に示す偏向走査面１！ と平行な市内に於いては、纂２緒像レンズ３（実質的に
は球面レンズ系３ｍであるが）Ｋ関して光学的に共役な
関係になっている。従って。
実質的には、偏向反射面５ａ上には、＠２結１歇し／ズ
３により−〔第１鮎儂Ｖンズ２０鳩点Ｆでの源が形成さ
れており、−内反射面５ａ上でのビームの拡がりは小さ
くなり、ポリゴンの偏向反射而も小さく出来、装置Ｏ小
型化が計れる上にポリゴンを＾速で回転出来る為走査効
率も同上する。第２結像レンズ３會構成する負Ｏシリン
ドリカルレンズ５は、第１回置に示す嫌な鏡面走ｆ面と
平行な面内ではパワーを有しないので、走査ビームには
影響を与えない。
３により−〔第１鮎儂Ｖンズ２０鳩点Ｆでの源が形成さ
れており、−内反射面５ａ上でのビームの拡がりは小さ
くなり、ポリゴンの偏向反射而も小さく出来、装置Ｏ小
型化が計れる上にポリゴンを＾速で回転出来る為走査効
率も同上する。第２結像レンズ３會構成する負Ｏシリン
ドリカルレンズ５は、第１回置に示す嫌な鏡面走ｆ面と
平行な面内ではパワーを有しないので、走査ビームには
影響を与えない。
ポリゴンミラー５に入射するビームは発散光束であるの
で、ポリゴンミラー５と被走査面との間に配されるレン
ズ糸６＃′ｉ単し／ズであっても、平坦な被走査向を良
好な結儂スポットで走査することが出来る。この理由は
、レンズ糸６のペッツバール和を積極的に生かす為でめ
９゜この詳細な技術に関しては、待關昭５４−８７５４
０号公報に述べられているので仁こでＦｉ説明を省く。
で、ポリゴンミラー５と被走査面との間に配されるレン
ズ糸６＃′ｉ単し／ズであっても、平坦な被走査向を良
好な結儂スポットで走査することが出来る。この理由は
、レンズ糸６のペッツバール和を積極的に生かす為でめ
９゜この詳細な技術に関しては、待關昭５４−８７５４
０号公報に述べられているので仁こでＦｉ説明を省く。
又、Ｍ像レンズ６は偏向走査面と直交する山内に於いて
は、ポリゴンの偏向反射面５ａと被走査向７とを光学的
に共役な位置間係に保つために、この面内に於いてもパ
ワーを持つ必要かめる０し／ズ糸藝は直交する双方の山
内でパワーを持つ必要が６９．且つそれぞれのパワーｔ
ｉ異なる為にトーリックレンズの形状を取る。
は、ポリゴンの偏向反射面５ａと被走査向７とを光学的
に共役な位置間係に保つために、この面内に於いてもパ
ワーを持つ必要かめる０し／ズ糸藝は直交する双方の山
内でパワーを持つ必要が６９．且つそれぞれのパワーｔ
ｉ異なる為にトーリックレンズの形状を取る。
又、偏向走査面内に於いて、シ／グルトーリックレンズ
６の歪曲収差を偏向器の回動特性に合わせてやれば、一
定の速度で被走査面を走査する。
６の歪曲収差を偏向器の回動特性に合わせてやれば、一
定の速度で被走査面を走査する。
ことが出来る。従ってＳ発散状態で元ビームが入射すれ
ば、偏向器と被走査＋ｋＤｌ！ＩＫ配されるレンズ系を
一枚のトーリックレンズで形成することにより、平坦な
被走査面を等速で走査し、且つ偏向ｔｈｅ）１％４れを
補正することも出来る０ｗ４１図＠に示す如く、偏向走
査面と垂直な山内に！にいては１発光部、からの光束は
上述した如く第１結像レンズ系２により集光された後、
負の７リンドリカルレ／ズ３ｂにより発散光束となって
球−レンズ３ａ４１Ｃ入射する。前記シリンドリカル凹
レンズ３ｂは球面レンズ３ａに入射する光束があたかも
前記第１ＷＩ轍し／ズ系２の焦点位置）゛から発せられ
たかの如＜ｇｌｍｍしンズ糸２からの光束を屈折させる
。上述した如く実質的に球面レンズ３１によって、第１
結像レンズ系の焦点位置Ｆとポリゴン２ラー５の偏向反
射ｔｈｉ５ ａの近傍位置Ｆ′とは光学的に共役な関係
に保たれているので、ポリゴンミラーの偏向反射面５ａ
上にはＳ偉が形成される。
ば、偏向器と被走査＋ｋＤｌ！ＩＫ配されるレンズ系を
一枚のトーリックレンズで形成することにより、平坦な
被走査面を等速で走査し、且つ偏向ｔｈｅ）１％４れを
補正することも出来る０ｗ４１図＠に示す如く、偏向走
査面と垂直な山内に！にいては１発光部、からの光束は
上述した如く第１結像レンズ系２により集光された後、
負の７リンドリカルレ／ズ３ｂにより発散光束となって
球−レンズ３ａ４１Ｃ入射する。前記シリンドリカル凹
レンズ３ｂは球面レンズ３ａに入射する光束があたかも
前記第１ＷＩ轍し／ズ系２の焦点位置）゛から発せられ
たかの如＜ｇｌｍｍしンズ糸２からの光束を屈折させる
。上述した如く実質的に球面レンズ３１によって、第１
結像レンズ系の焦点位置Ｆとポリゴン２ラー５の偏向反
射ｔｈｉ５ ａの近傍位置Ｆ′とは光学的に共役な関係
に保たれているので、ポリゴンミラーの偏向反射面５ａ
上にはＳ偉が形成される。
＃ｐ、２図（８）の）は本発明に係る走査装置の他Ｏ実
ｌＡ１４３を示す図で、第２図囚は偏向走査面と平行な
平面内、第２図０３）は偏向走査面と直交する面内に於
ける光路を示している。冑、第２図＾但）は光源部と偏
向器と０間の光学系のみを示している。第２装置に於い
て、半導体レー□ザーアレ−１の発光部１ａ、ｌｂから
の各光束は第１結偉光学系２により１面Ｑ上に結像すゐ
。第２結像光学系３Ｄ’ｌｌち、実質的には球面レンズ
系３ａであるが）の一方の焦点位置は該９面上に合致さ
せてあり、従って、第２結−光学°系３を通過した光束
は平行ビームとなって偏向器の偏向反射面５ａに向う。
ｌＡ１４３を示す図で、第２図囚は偏向走査面と平行な
平面内、第２図０３）は偏向走査面と直交する面内に於
ける光路を示している。冑、第２図＾但）は光源部と偏
向器と０間の光学系のみを示している。第２装置に於い
て、半導体レー□ザーアレ−１の発光部１ａ、ｌｂから
の各光束は第１結偉光学系２により１面Ｑ上に結像すゐ
。第２結像光学系３Ｄ’ｌｌち、実質的には球面レンズ
系３ａであるが）の一方の焦点位置は該９面上に合致さ
せてあり、従って、第２結−光学°系３を通過した光束
は平行ビームとなって偏向器の偏向反射面５ａに向う。
又、第１１Ｗ′（イ）で示した如く、第２図（５）で示
される光学系も第１結像レンズ糸２０焦点の位ｇＦと、
偏向反射向５ａ（Ｄ極く近四の位置Ｆ′とは、第２結儂
レンズ系３に関して光学的に共役な位置となる様に設定
されている。
される光学系も第１結像レンズ糸２０焦点の位ｇＦと、
偏向反射向５ａ（Ｄ極く近四の位置Ｆ′とは、第２結儂
レンズ系３に関して光学的に共役な位置となる様に設定
されている。
故に上述しえ如く、偏向反射＃Ｊ５ａ上に於ける光束の
拡がりを小さく出来、小さな偏向器で良い。
拡がりを小さく出来、小さな偏向器で良い。
シリンドリカル凸レンズ３Ｃは偏向走査面と平行な園内
に於いてはパワーを有しない為、走査用のビームに対し
ては何等屈折作用管及ぼさない。然しなから、第２図（
Ｂ）Ｋ示す如く偏向走査面と直交する面内に於いては集
光作Ｆ＠を有し、シリンドリカル凸レンズ３Ｃを通過し
て球面レンズ３１に入射する光束があたかも第１結嶽光
字糸２の焦点Ｆから発せられたかの如く、光束ｔ−屈折
させる。球面レンズ３ａｒｉ、第１ｉｉＩ像レンズ２０
焦点位置Ｆｔ偏向反射面５ａとをほぼ：：、・１ 光学的に共役な位置関係に保つので、偏向走査ｌと直交
する面内に於いては、偏向反射面上で光束は集束する。
に於いてはパワーを有しない為、走査用のビームに対し
ては何等屈折作用管及ぼさない。然しなから、第２図（
Ｂ）Ｋ示す如く偏向走査面と直交する面内に於いては集
光作Ｆ＠を有し、シリンドリカル凸レンズ３Ｃを通過し
て球面レンズ３１に入射する光束があたかも第１結嶽光
字糸２の焦点Ｆから発せられたかの如く、光束ｔ−屈折
させる。球面レンズ３ａｒｉ、第１ｉｉＩ像レンズ２０
焦点位置Ｆｔ偏向反射面５ａとをほぼ：：、・１ 光学的に共役な位置関係に保つので、偏向走査ｌと直交
する面内に於いては、偏向反射面上で光束は集束する。
第２図（Ａ）（６）では示していないが、偏向器と被走
査面との間に配される走査用の結像レンズは。
査面との間に配される走査用の結像レンズは。
偏向走査面内に於いては偏向器で偏向される平行ビーム
を被走−面上に結像させ諷屈折カを。
を被走−面上に結像させ諷屈折カを。
偏向走査面と直交する面内に於いては、−内反射面の近
傍位置Ｆ′と被走査面とを光学的１に共役とする屈折力
ｉ有す為ナナミライック結像レンズである。そし−（、
＠向走査面内に於けるアナモフィック結像レンズの歪曲
収差を偏向器め回動特性に始らして持たせ゛ることによ
り、被走査面上でビームスポットを等速＋走査すること
が出来る。 ゛ 第３図（Ａ）（Ｂ）は５本発明に係る老香装置をレーザ
ー・ビーム・プリンターに一用した概′略図を示すもの
で、第３１囚は偏向ｉｆ面と千行履山内の図、第３図の
）′Ｍ偏向走査−と直交する面内に於ける展開図である
。変調さ八た屍ビームを発する半導体アレーレーザーｌ
ｌ、該アレーレーザーから発せられるｉ々の光ビームの
主光線とほば手行な光軸１４を有すふ第１結像レンズ系
２、球面レンズ１３ａと正のシリンドリカルレンズ１３
ｂより成る第２結像光学系１３０［成、配置は第２図（
Ａ） （Ｂ） Ｋ示すものと同じでめるので、□ここで
は説ｆ！Ａを省く０１５は等速回転のポリゴンミラーで
偏向反射面１５ａ近傍で、点線で示す各発光部からの主
光線（ｌｌａ、１ｌｂ）が交わっている。偏向反射面１
５ａで偏向された光束は、ポリゴンミラー１５ｉ１４に
凹面を向けたメニスカスレンズ１４ｓ及び）−リックレ
ンズ１７より成る走査用結像レンズにより回転する電子
写真の感光ドラム１８上の所定の位置に結１象する。走
査用結像レンズ（１６，１７）は。
傍位置Ｆ′と被走査面とを光学的１に共役とする屈折力
ｉ有す為ナナミライック結像レンズである。そし−（、
＠向走査面内に於けるアナモフィック結像レンズの歪曲
収差を偏向器め回動特性に始らして持たせ゛ることによ
り、被走査面上でビームスポットを等速＋走査すること
が出来る。 ゛ 第３図（Ａ）（Ｂ）は５本発明に係る老香装置をレーザ
ー・ビーム・プリンターに一用した概′略図を示すもの
で、第３１囚は偏向ｉｆ面と千行履山内の図、第３図の
）′Ｍ偏向走査−と直交する面内に於ける展開図である
。変調さ八た屍ビームを発する半導体アレーレーザーｌ
ｌ、該アレーレーザーから発せられるｉ々の光ビームの
主光線とほば手行な光軸１４を有すふ第１結像レンズ系
２、球面レンズ１３ａと正のシリンドリカルレンズ１３
ｂより成る第２結像光学系１３０［成、配置は第２図（
Ａ） （Ｂ） Ｋ示すものと同じでめるので、□ここで
は説ｆ！Ａを省く０１５は等速回転のポリゴンミラーで
偏向反射面１５ａ近傍で、点線で示す各発光部からの主
光線（ｌｌａ、１ｌｂ）が交わっている。偏向反射面１
５ａで偏向された光束は、ポリゴンミラー１５ｉ１４に
凹面を向けたメニスカスレンズ１４ｓ及び）−リックレ
ンズ１７より成る走査用結像レンズにより回転する電子
写真の感光ドラム１８上の所定の位置に結１象する。走
査用結像レンズ（１６，１７）は。
−向走査面内ではｆ−−の結像特性、いわゆるＩ−−レ
ンズとしての機能をも有しており、ポリゴンミラーで偏
向され九九ビームは感光ドラム１８上を等速で移動する
。一方、偏向走査面と直交する山内では、光源ｌｌから
の光ビームｒよ偏向反射面１５ａ′上に結像されており
、偏向反射面ＩＳａと感光ドラム１Ｂは走査用結（象レ
ンズ（ｌ“６，１７）に対して光学的に共役な位置にあ
るので、偏向反射ｉｆｉ １５ ａが同郷かの原囚によ
り填い−Ｃも、常に感元ドシム１８上Ｏ所炬の位置に元
ビームｔＷ１啄さぜる０１−１感元ドラムのｆｆｄｉ２
ｆ１には、電子写其會形成するプロセスに必安な櫨々の
部材が配されているが、これ尋Ｏノ゛ロセス及び配置さ
ｎている部材１ユ公知で６６ので、ここでは省いである
。
ンズとしての機能をも有しており、ポリゴンミラーで偏
向され九九ビームは感光ドラム１８上を等速で移動する
。一方、偏向走査面と直交する山内では、光源ｌｌから
の光ビームｒよ偏向反射面１５ａ′上に結像されており
、偏向反射面ＩＳａと感光ドラム１Ｂは走査用結（象レ
ンズ（ｌ“６，１７）に対して光学的に共役な位置にあ
るので、偏向反射ｉｆｉ １５ ａが同郷かの原囚によ
り填い−Ｃも、常に感元ドシム１８上Ｏ所炬の位置に元
ビームｔＷ１啄さぜる０１−１感元ドラムのｆｆｄｉ２
ｆ１には、電子写其會形成するプロセスに必安な櫨々の
部材が配されているが、これ尋Ｏノ゛ロセス及び配置さ
ｎている部材１ユ公知で６６ので、ここでは省いである
。
向、第ｌ−１第２１Ｖ（示す如く、ｍ１２鮎寥元字糸３
に＃Ｉ成するシリ／トリカルレンズ３ｂ。
に＃Ｉ成するシリ／トリカルレンズ３ｂ。
３ｃｉユ、偏向走査面と直交する方向ｅ）屈折力が正と
負Ｖ場合がめる。このことはアナモノイック九字部材ｔ
ａｔｈ−置と関係がめ９、凱ｌ顛像し／ズ糸による発光
ｍｏｉＩＢ葎位置よりも光源部−に配され７ｔＪＪ！合
が負の屈折力、同じく一陶器一に配されｆｃ場合が正の
屈折力１に持つ。
負Ｖ場合がめる。このことはアナモノイック九字部材ｔ
ａｔｈ−置と関係がめ９、凱ｌ顛像し／ズ糸による発光
ｍｏｉＩＢ葎位置よりも光源部−に配され７ｔＪＪ！合
が負の屈折力、同じく一陶器一に配されｆｃ場合が正の
屈折力１に持つ。
又、不発ｑｔｉｃ係る走査装置では、糾２鮎置レンズ系
の焦点距＊ｔ−賀化さぜゐことＶこＬ９．光１１ 源と一同器との間Ｖ距離を１出−こ調整することがｕＪ
−ヒでめる０ 以上、不発明に係る走査装置では１元源と偏向−０間に
正の屈灯刀を持つ二つの鮎−系を配するだけで、光６１
ｓからの複数のビームの主光１ｍｌ！を偏向器の偏向反
射面の近傍で交叉させることが出来るし、各々の結像系
の焦点距離を変化構成である為に、偏向器の倒れを防止
する為に。
の焦点距＊ｔ−賀化さぜゐことＶこＬ９．光１１ 源と一同器との間Ｖ距離を１出−こ調整することがｕＪ
−ヒでめる０ 以上、不発明に係る走査装置では１元源と偏向−０間に
正の屈灯刀を持つ二つの鮎−系を配するだけで、光６１
ｓからの複数のビームの主光１ｍｌ！を偏向器の偏向反
射面の近傍で交叉させることが出来るし、各々の結像系
の焦点距離を変化構成である為に、偏向器の倒れを防止
する為に。
−陶器の偏向反射面上に線像を形成しても、各々の光束
の線像の中心位置はほぼ合致させることが出来るので、
複数ビームを使用しても被走査面上での各々のビームス
ポットは、良好なフォーカス状態で結像される。
の線像の中心位置はほぼ合致させることが出来るので、
複数ビームを使用しても被走査面上での各々のビームス
ポットは、良好なフォーカス状態で結像される。
第１図囚、（Ｂ）は本発明に係る複数ビーム走査装置の
一実施例を示す図、第２図因、＠は本発明に保る複数ビ
ーム走査装置の他の実施例を示す図。 妃３装置、β）は本発明に係る複数ビーム走査装置ｔレ
ーザービームプ゛′１：′″リンター適用した図を示す
図。 ｌ・・・半導体レーザーアレー、ｌａ、ｌｂ・・・発ｙ
ｔ、部、２・・・第１結像レンズ系、３・・・第２結像
レンズ系ｓ３ｍ・・・球面レンズ、３ｂ・・・シリ／ト
リカル凹レンズ、３ｃ・・・シリンドリカル凸レンズ。 ４・・・光軸、５・・・ポリゴンミラー、５ａ・・・−
向反射向。 出願人 キャノン株式会社 １′・砧
一実施例を示す図、第２図因、＠は本発明に保る複数ビ
ーム走査装置の他の実施例を示す図。 妃３装置、β）は本発明に係る複数ビーム走査装置ｔレ
ーザービームプ゛′１：′″リンター適用した図を示す
図。 ｌ・・・半導体レーザーアレー、ｌａ、ｌｂ・・・発ｙ
ｔ、部、２・・・第１結像レンズ系、３・・・第２結像
レンズ系ｓ３ｍ・・・球面レンズ、３ｂ・・・シリ／ト
リカル凹レンズ、３ｃ・・・シリンドリカル凸レンズ。 ４・・・光軸、５・・・ポリゴンミラー、５ａ・・・−
向反射向。 出願人 キャノン株式会社 １′・砧
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）各々独立したｍａＯ光ビームを供給する光源部を
備え、これ等複数Ｏ光ビームで被走査面上を走査する装
置に於いて、前記光源部からの各光束の主光線とその光
−がほぼ平行となる様に配され、且つ前記光源部からの
光束を集光して光源部の像を形成、、する第１＃ｆ像光
学系と、該第１結像光学系と参上偏向手段との間に配さ
れ、偏向手段の偏向走査面と大行な通、内に於いては、
第１結像享学系の偏向手段１ＩＩｏ焦点位置と偏向手段
の偏向反射面との位置をほぼ光学的に共役な関、ｊｌｋ
に保つ為Ｏ鯖２結像光、学系と１を有する事を特徴とす
る複数ビーム走査装置０ １ （２）前記第２結像光学系はアナ毫フィックな光学系で
ろ９、光源部と偏向手段との間の光軸、を含み、且つ偏
向器の偏向走査向と直交する山内に於ｉては、偏向器の
偏向反射面上に光ビニムを集束させる事を特徴とする特
許１ｉｌｌＸＯａ曲第１項記載の複数ビーム走査装置。 （８） ＊紀第２結像光ｉ系線、球面し／ズ系とシリ
ンドリカルＶンλ系より成４％許請求の範囲第２−記載
の複数ビーム走査装置。 （匍 ｗｉ紀第２結像光学系は、一枚のトーリックレン
ズより成る轡許−求の範囲＠２項記絨の複数ビーム走査
装置０ □
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067650A JPS58184117A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 複数ビ−ム走査装置 |
| DE19833314402 DE3314402A1 (de) | 1982-04-22 | 1983-04-21 | Vorrichtung zum abtasten einer vielzahl von strahlen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067650A JPS58184117A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 複数ビ−ム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58184117A true JPS58184117A (ja) | 1983-10-27 |
| JPS6411926B2 JPS6411926B2 (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=13351104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57067650A Granted JPS58184117A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 複数ビ−ム走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58184117A (ja) |
| DE (1) | DE3314402A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208021A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-29 | Ricoh Co Ltd | レ−ザ−ダイオ−ドアレイを用いる光走査光学系 |
| JPH01211718A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Japan Imeejingu Syst:Kk | 光走査装置 |
| US4932734A (en) * | 1987-12-11 | 1990-06-12 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system using a laser diode array |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2524567B2 (ja) * | 1991-08-03 | 1996-08-14 | キヤノン株式会社 | 複数ビ―ム走査光学装置 |
| JP3536962B2 (ja) * | 1997-05-09 | 2004-06-14 | 日立プリンティングソリューションズ株式会社 | ビーム走査装置および画像形成装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6011325B2 (ja) * | 1977-01-21 | 1985-03-25 | キヤノン株式会社 | 走査装置 |
| US4474422A (en) * | 1979-11-13 | 1984-10-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus having an array of light sources |
-
1982
- 1982-04-22 JP JP57067650A patent/JPS58184117A/ja active Granted
-
1983
- 1983-04-21 DE DE19833314402 patent/DE3314402A1/de not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208021A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-29 | Ricoh Co Ltd | レ−ザ−ダイオ−ドアレイを用いる光走査光学系 |
| US4932734A (en) * | 1987-12-11 | 1990-06-12 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system using a laser diode array |
| JPH01211718A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Japan Imeejingu Syst:Kk | 光走査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3314402A1 (de) | 1983-10-27 |
| JPS6411926B2 (ja) | 1989-02-27 |
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