JPS581762B2 - コウシユクシヨウリツタイブツレンズ - Google Patents
コウシユクシヨウリツタイブツレンズInfo
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- JPS581762B2 JPS581762B2 JP50072255A JP7225575A JPS581762B2 JP S581762 B2 JPS581762 B2 JP S581762B2 JP 50072255 A JP50072255 A JP 50072255A JP 7225575 A JP7225575 A JP 7225575A JP S581762 B2 JPS581762 B2 JP S581762B2
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- Japan
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- lens
- aberration
- group
- front group
- surface facing
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学式ビデオディスク原盤作製のための変調信
号記録用対物レンズとして用いる高縮小率対物レンズに
関するものである。
号記録用対物レンズとして用いる高縮小率対物レンズに
関するものである。
従来このような光学式ビデオディスク原盤作製のための
変調信号記録用対物レンズとしては専用対物レンズが存
在せず，一般には顕微鏡用対物レンズにて代用していた
。
変調信号記録用対物レンズとしては専用対物レンズが存
在せず，一般には顕微鏡用対物レンズにて代用していた
。
そして、この変調信号の記録に用いる記録信号波長とし
ては４３５．８ｎｍ（ｇ線）と４ ８ ６ ．１ ｎｍ
の間の、或単波長が用いられるために二三の点を除けば
ある程度の性能で使用した。
ては４３５．８ｎｍ（ｇ線）と４ ８ ６ ．１ ｎｍ
の間の、或単波長が用いられるために二三の点を除けば
ある程度の性能で使用した。
しかし顕微鏡対物レンズは接合面が多いためと、色収差
の補正が可視域での補正に主眼がおかれているために収
差による影響により高精度な記録が出来ず、特に高密度
記録のため紫外域の光（例えば波長が３５１ｎｍの光）
を使用する場合にはこの色収差による影響のほかに更に
前述の接合面に使用される接着剤による吸収があり、こ
れによって透過率が低下する等の問題が生ずる。
の補正が可視域での補正に主眼がおかれているために収
差による影響により高精度な記録が出来ず、特に高密度
記録のため紫外域の光（例えば波長が３５１ｎｍの光）
を使用する場合にはこの色収差による影響のほかに更に
前述の接合面に使用される接着剤による吸収があり、こ
れによって透過率が低下する等の問題が生ずる。
一般に記録用対物レンズとして特に要求される性能とし
ては次のようなものがあげられる。
ては次のようなものがあげられる。
（１）近紫外又は紫外域まで透過率が良いこと。
（２）解像力が高いこと、（３）０次以外の回折光の影
響が出来るだけ少ないこと。
響が出来るだけ少ないこと。
（４）像のコントラストの低下がないこと。これらのう
ち（１）の要件を満足させるためにはガラスの材料の選
択が問題であり又接合向における接着剤による吸収の問
題がある。
ち（１）の要件を満足させるためにはガラスの材料の選
択が問題であり又接合向における接着剤による吸収の問
題がある。
又（２）の要件に関しては出来る限り開口数を大にする
必要がある。
必要がある。
更に（３）および（４）の要件については収差補正が問
題であり、特に球面収差とコマ収差を少なくする必要が
ある。
題であり、特に球面収差とコマ収差を少なくする必要が
ある。
又（４）に関しては更にフレア一対策も必要となる。
又接合向が存在する場合には、透過率、フレアー等のほ
かに接合状態の良否がそのまま変調波と共にノイズとし
て記録されることがあり、その上入射光が細いビームに
収斂しているので、通過光線の単位面積あたりのエネル
ギーが極めて高く、そのため接合面の剥離を生ずる場合
があり得る。
かに接合状態の良否がそのまま変調波と共にノイズとし
て記録されることがあり、その上入射光が細いビームに
収斂しているので、通過光線の単位面積あたりのエネル
ギーが極めて高く、そのため接合面の剥離を生ずる場合
があり得る。
更に記録用原盤は金属もしくはガラス等を基板とし、こ
の上に例えばフォト・レジストのような感剤を塗布した
もので、これに対物レンズを通って来た収斂された変調
光によって露光されるが，変調レーザビームは感剤面で
は直径１μ以下に収斂されているので、その部分が高温
となり感剤が蒸発する。
の上に例えばフォト・レジストのような感剤を塗布した
もので、これに対物レンズを通って来た収斂された変調
光によって露光されるが，変調レーザビームは感剤面で
は直径１μ以下に収斂されているので、その部分が高温
となり感剤が蒸発する。
この蒸発物が対物レンズに付着すると、コントラストの
低下、解像力の低下等を生ずる。
低下、解像力の低下等を生ずる。
本発明は上記の諸点に鑑み接合面を有しないレンズ構成
とし、記録面側のＮＡが大で更に作動距離の比較的大き
い記録用対物レンズを提供するものである。
とし、記録面側のＮＡが大で更に作動距離の比較的大き
い記録用対物レンズを提供するものである。
以下本発明の詳細な内容を設明すると、単レンズよりな
る５群５枚構成のレンズ系で、中間に大きなレンズ間隔
を設け，それより前の前群と、後の後群よりなっている
。
る５群５枚構成のレンズ系で、中間に大きなレンズ間隔
を設け，それより前の前群と、後の後群よりなっている
。
更に前群は、両凸レンズの第１レンズと、上記第１レン
ズ側に強い負の屈折面を有する負のメニスカスレンズの
第２レンズと、両凸レンズの第３レンズとよりなり又後
群は凸面を前群の側に向けた正のメニスカスレンズの第
４レンズと，凸面を第４レンズ側に向けた半球に近い形
状をした正のメニスカスレンズの第５レンズとよりなる
ものである。
ズ側に強い負の屈折面を有する負のメニスカスレンズの
第２レンズと、両凸レンズの第３レンズとよりなり又後
群は凸面を前群の側に向けた正のメニスカスレンズの第
４レンズと，凸面を第４レンズ側に向けた半球に近い形
状をした正のメニスカスレンズの第５レンズとよりなる
ものである。
そして上記のような構成の上に全系の焦点距離をｆ、前
述の合成焦点距離をｆ１２２、後群の合成焦点距離をｆ
４５、第１レンズの後側の面の曲率半径をｒ２、第２レ
ンズの前側の面の曲率半径をｒ３、第１レンズと第２レ
ンズとの間の空気間隔をｄ２、前群と後群との間の空気
間隔をｄ６とする時次の各条件を満足するようにしたも
のである。
述の合成焦点距離をｆ１２２、後群の合成焦点距離をｆ
４５、第１レンズの後側の面の曲率半径をｒ２、第２レ
ンズの前側の面の曲率半径をｒ３、第１レンズと第２レ
ンズとの間の空気間隔をｄ２、前群と後群との間の空気
間隔をｄ６とする時次の各条件を満足するようにしたも
のである。
（１） １．１９≧ｄ６／ｆ≧０．６２（２） ３
．７≧ｆ１２３／ｆ≧２．７（３） ０． ２ ９≧
ｆ４５／ｆ１２３≧０．１９（４） ０．８６≧｜ｒ
３｜／｜ｒ２｜≧０．６（５）０．１５≧ｄ２／ｆ≧０
．１１ 以上のようなレンズ系で，前群は主として色収差を補正
することを目的とするもので、負の屈折力を有するレン
ズと、正の屈折力を有するレンズとに屈折率の差をつけ
るか又は負の屈折力を有するレンズの屈折率を大にする
ことによって色収差を補正し得る。
．７≧ｆ１２３／ｆ≧２．７（３） ０． ２ ９≧
ｆ４５／ｆ１２３≧０．１９（４） ０．８６≧｜ｒ
３｜／｜ｒ２｜≧０．６（５）０．１５≧ｄ２／ｆ≧０
．１１ 以上のようなレンズ系で，前群は主として色収差を補正
することを目的とするもので、負の屈折力を有するレン
ズと、正の屈折力を有するレンズとに屈折率の差をつけ
るか又は負の屈折力を有するレンズの屈折率を大にする
ことによって色収差を補正し得る。
例えば第１レンズの屈折率ｍと第２レンズの屈折率ｎ２
との差ｎ２−ｎ１又第２レンズの屈折率ｎ２と第３レン
ズの屈折率ｎ３との差ｎ２−ｎ３を夫々ｎ２−ｎ１≧０
．１５，ｎ２−ｎ３≧１．５とし、第１レンズ、第２レ
ンズ，第３レンズのアツベ数ν１，ν２，ν３を夫々ν
１＞５５，ν２＞４０，ν３＞５５とすることが望まし
い。
との差ｎ２−ｎ１又第２レンズの屈折率ｎ２と第３レン
ズの屈折率ｎ３との差ｎ２−ｎ３を夫々ｎ２−ｎ１≧０
．１５，ｎ２−ｎ３≧１．５とし、第１レンズ、第２レ
ンズ，第３レンズのアツベ数ν１，ν２，ν３を夫々ν
１＞５５，ν２＞４０，ν３＞５５とすることが望まし
い。
しかしながら負の屈折力を有するレンズの屈折率ｎ２を
あまり大きくするとガラス材によっては内部透過率の低
下をまねくものであるので、特に重フリント系の場合に
はｎ２＝１．７にする必要がある。
あまり大きくするとガラス材によっては内部透過率の低
下をまねくものであるので、特に重フリント系の場合に
はｎ２＝１．７にする必要がある。
又後群は前群による光束を収斂させることを目的とする
ものであって、このために単位面積当りを通過する光速
のエネルギーが高いことが考えられるので、例えば熔融
石英等を用いることによってレンズ系の劣化を防止する
必要がある。
ものであって、このために単位面積当りを通過する光速
のエネルギーが高いことが考えられるので、例えば熔融
石英等を用いることによってレンズ系の劣化を防止する
必要がある。
更に本発明では前述の各条件を満足させることによって
レンズ系全体の諸収差をバランス良く補正し得たもので
ある。
レンズ系全体の諸収差をバランス良く補正し得たもので
ある。
これら条件中条件（１）において前群と後群の間隔ｄ６
がｄ６／ｆ＞１．１９となった場合には非点収差は良好
に補正されるが、球面収差とゴマ収差が補正過剰となり
やすいので好ましくない。
がｄ６／ｆ＞１．１９となった場合には非点収差は良好
に補正されるが、球面収差とゴマ収差が補正過剰となり
やすいので好ましくない。
又ｄ６／ｆ＜０．６２の時には非点収差が悪化し周辺に
向かうにつれ次第に正の大なる値となり、これを収差曲
線にて表わした場合だおれた状態となる。
向かうにつれ次第に正の大なる値となり、これを収差曲
線にて表わした場合だおれた状態となる。
更に非点隔差も増大する。
次に前群の合成焦点距離ｆ１２３が条件（２）の上限を
超えｆ１２３／ｆ＞３．７になるとコマ収差が補正過剰
になり易く、又逆に下限を超えｆ１２３／ｆ＜２．７の
時はコマ収差が補正不足になり易い。
超えｆ１２３／ｆ＞３．７になるとコマ収差が補正過剰
になり易く、又逆に下限を超えｆ１２３／ｆ＜２．７の
時はコマ収差が補正不足になり易い。
又上述のような前群の合成焦点距離ｆ１２３に対し、後
群の合成焦点距離ｆ４５が条件（３）の上限を超えｆ４
５／ｆ１２３＞０．２９となった時には球面収差が軸上
開口周辺にて補正不足となり、又ｆ４５／ｆ１２３＜０
．１９の場合にはコマ収差の非対称性が生ずる。
群の合成焦点距離ｆ４５が条件（３）の上限を超えｆ４
５／ｆ１２３＞０．２９となった時には球面収差が軸上
開口周辺にて補正不足となり、又ｆ４５／ｆ１２３＜０
．１９の場合にはコマ収差の非対称性が生ずる。
又第１レンズの後側の面の曲率半径ｒ２と第２レンズの
前側の面の曲率半径ｒ３との比｜ｒ３｜／｜ｒ２｜につ
いての条件（４）は色収差の補正に関するものであって
、この条件（４）において｜ｒ３｜／｜ｒ２｜＞０．８
６の時には色収差が補正不足になり易く、又｜ｒ３｜／
｜ｒ２｜＜０．６の時は 収差が補正過剰になる。
前側の面の曲率半径ｒ３との比｜ｒ３｜／｜ｒ２｜につ
いての条件（４）は色収差の補正に関するものであって
、この条件（４）において｜ｒ３｜／｜ｒ２｜＞０．８
６の時には色収差が補正不足になり易く、又｜ｒ３｜／
｜ｒ２｜＜０．６の時は 収差が補正過剰になる。
勿論前述のとおりｎ２−ｎ１≧０．１５のように第１レ
ンズと第２レンズとの屈折率の差が大である方が色収差
の補正にとっては望ましい。
ンズと第２レンズとの屈折率の差が大である方が色収差
の補正にとっては望ましい。
尚第１レンズの後側の面の曲率半径ｒ２を１．６≧｜ｒ
２｜／ｆ≧１．３の範囲内に選べば球面収差の色収差を
補正し易い。
２｜／ｆ≧１．３の範囲内に選べば球面収差の色収差を
補正し易い。
最後に条件（５）に関し、第１群レンズと第２群レンズ
のレンズ間隔ｄ２がｄ２／ｆ＞０．１５の時は球面収差
が補正不足になり又非点隔差も拡大する。
のレンズ間隔ｄ２がｄ２／ｆ＞０．１５の時は球面収差
が補正不足になり又非点隔差も拡大する。
又ｄ２／ｆ＜０．１１の時は非点収差が悪化し、その収
差曲線はたおれた状態になる。
差曲線はたおれた状態になる。
以上説明した本発明の高縮小率対物レンズは有限物点上
の光源像を記録紙上に結像せしめるようにしたものであ
るが．光学式ビデオディスク原盤作製のためには無限遠
よりの入射光を記録する方式もある。
の光源像を記録紙上に結像せしめるようにしたものであ
るが．光学式ビデオディスク原盤作製のためには無限遠
よりの入射光を記録する方式もある。
この場合上述の対物レンズを無限遠よりの入線光に対し
てそのまま適用した場合には収差が悪化するため望まし
くない。
てそのまま適用した場合には収差が悪化するため望まし
くない。
したがってこのような有限の物点に対して設計された対
物レンズを無限遠よりの入射光に対しても良好な状態に
て使用し得るようにするためには次のような方法が考え
られる。
物レンズを無限遠よりの入射光に対しても良好な状態に
て使用し得るようにするためには次のような方法が考え
られる。
その一つは対物レンズの物体側に更に有限位置にある光
源に焦点位置を有する負レンズを付加する方法である。
源に焦点位置を有する負レンズを付加する方法である。
この方法によればその川上光束は有限物点に対する軸上
ＮＡに一致させることが出来る。
ＮＡに一致させることが出来る。
又他の方法としては、レンズ系中の一部のレンズを繰出
すことによって，無限遠よりの入射光に対して使用した
場合の収差の悪化を補正することが出来る。
すことによって，無限遠よりの入射光に対して使用した
場合の収差の悪化を補正することが出来る。
本発明対物レンズにおいては後者の方法を採用したもの
で、第１レンズと第２レンズとを一体に繰出して第２レ
ンズと第３レンズとの間隔ｄ４を変化させることによっ
て無限遠入射光に対し良好な収差状態にて使用し得るよ
うにしたものである。
で、第１レンズと第２レンズとを一体に繰出して第２レ
ンズと第３レンズとの間隔ｄ４を変化させることによっ
て無限遠入射光に対し良好な収差状態にて使用し得るよ
うにしたものである。
この時の変化量△ｄ４は次の条件（６）を満足する範囲
内とするのが最適である。
内とするのが最適である。
（６）０． ５＞△ｄ４／ｆ＞０．２
この変化量△ｄ４が△ｄ４／ｆ＜０．２の時には有限入
射光用対物レンズに無限遠入射光を入射させた時に、球
面収差が補正過剰となるものが、補正されないまま過剰
となって残り、又△ｄ４／ｆ＞０．５の時には球面収差
が補正不足かつ正弦条件が補正過剰になる。
射光用対物レンズに無限遠入射光を入射させた時に、球
面収差が補正過剰となるものが、補正されないまま過剰
となって残り、又△ｄ４／ｆ＞０．５の時には球面収差
が補正不足かつ正弦条件が補正過剰になる。
次に以上説明した本発明対物レンズの実施例を示す。
実施例１
ｆ＝１．０（但しλ＝４４１．６ｎｍ）
ｒ１＝２．５４９７
ｄ１＝０．４１３０ ｎ１＝１．４６６５４ ν１＝６
７．８ｒ２＝１．４２３４ ｄ２＝０．１３３５ ｒ３＝−１．１４５２ ｄｓ＝０．１５５１ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝−１２３．１９１ ｄ４＝０．０７０３ ｒ５＝２．１６４１ ｄ５＝０．３９６８ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝２．７１６５ ｄ６＝１．０７６６ ｒ７＝０．７９５５ ｄ７＝０．２７０５ ｎ４＝１．４６６５４ ν４＝６
７．８ｒ８＝６．０５４６ ｄ８＝０．０２５２ ｒ９＝０．３７７８ ｄ９＝０．２７７７ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．７７０４ β＝−１／４０，Ｓ１＝−３８．３０２，Ｓ＝０．２２
４ｆ１〜２＝３．３５４，ｆ４５＝０．７３７実施例２ ｆ＝１．０（但しλ＝４４１．６ｎｍ） ｒ１＝２．５４３７ ｄ１＝０．４１１９ ｎ１＝１．４６６５４ ν１＝６
７．８ｊ２＝−１．４２９３ ｄ２＝０．１３４９ ｒｓ＝１．１４６８ ｄ３＝０．１４３９ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝−１０１．４３１７ ｄ４＝０．０５４７ ｒ５＝２．１．９０４ ｄ５＝０．３９５８ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝−２．７０８５ ｄ６＝１．０７４１ ｒ７＝０．７９３６ ｄ７＝Ｏ．２６９８ ｎ４＝１．４６６５４ ν４＝６
７．８ｒ８＝６．０３４９ ｄ８＝０．０２７０ ｒ９＝０．３８０６ ｄ９＝０．２７８８ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．７９６６ β＝−１／４０，Ｓ１＝３８．４０１，Ｓ＝０．２１９
ｆ１〜４＝３．３６６，ｆ４３＝０．７３５実施例３ ｆ＝１．０（但しλ＝４４１．６ｎｍ） ｒ１＝２．０７６８ ｄ１＝０．４３５２ ｎ１−１．４６６５４１ ν１＝
６７．８ｒ２＝−１．５０５６ ｄ２＝０．１３９４ ｒ３＝−１．１７７２ ｄ３＝０．１３９９ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝４３．５４６５ ｄ４＝０．０５６７ ｒ５＝１．６８４１ ｄ５＝０．４９６９ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝−３．６０１７ ｄ６＝０．６９９５ ｒ７＝Ｏ．８０４５ ｄ７＝０．３５７６ ｎ４＝１．４６６５４ ν＝６７
．８ｒＢ＝２．．６４３８ ｄ８＝０．０１９８ ｒｇ＝０．３８４５ ｄ９＝０．２６６３ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．９４３０ β＝−１／４０，Ｓ１＝３８．５４５ Ｓ＝０．２１６
４ｆ１〜３＝３．０３６，ｆ４５＝０．７８６ただしｒ
１，ｒ２・・・ｒ１０はレンズ各面の曲率半径ｄ１，ｄ
２・・・ｄ９は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、ｎ１
，ｎ２…ｎ５は波長４４１．６ｎｍに対する屈折率、ν
１，ν２・・・ν５はｄ線に対するアツベ数である。
７．８ｒ２＝１．４２３４ ｄ２＝０．１３３５ ｒ３＝−１．１４５２ ｄｓ＝０．１５５１ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝−１２３．１９１ ｄ４＝０．０７０３ ｒ５＝２．１６４１ ｄ５＝０．３９６８ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝２．７１６５ ｄ６＝１．０７６６ ｒ７＝０．７９５５ ｄ７＝０．２７０５ ｎ４＝１．４６６５４ ν４＝６
７．８ｒ８＝６．０５４６ ｄ８＝０．０２５２ ｒ９＝０．３７７８ ｄ９＝０．２７７７ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．７７０４ β＝−１／４０，Ｓ１＝−３８．３０２，Ｓ＝０．２２
４ｆ１〜２＝３．３５４，ｆ４５＝０．７３７実施例２ ｆ＝１．０（但しλ＝４４１．６ｎｍ） ｒ１＝２．５４３７ ｄ１＝０．４１１９ ｎ１＝１．４６６５４ ν１＝６
７．８ｊ２＝−１．４２９３ ｄ２＝０．１３４９ ｒｓ＝１．１４６８ ｄ３＝０．１４３９ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝−１０１．４３１７ ｄ４＝０．０５４７ ｒ５＝２．１．９０４ ｄ５＝０．３９５８ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝−２．７０８５ ｄ６＝１．０７４１ ｒ７＝０．７９３６ ｄ７＝Ｏ．２６９８ ｎ４＝１．４６６５４ ν４＝６
７．８ｒ８＝６．０３４９ ｄ８＝０．０２７０ ｒ９＝０．３８０６ ｄ９＝０．２７８８ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．７９６６ β＝−１／４０，Ｓ１＝３８．４０１，Ｓ＝０．２１９
ｆ１〜４＝３．３６６，ｆ４３＝０．７３５実施例３ ｆ＝１．０（但しλ＝４４１．６ｎｍ） ｒ１＝２．０７６８ ｄ１＝０．４３５２ ｎ１−１．４６６５４１ ν１＝
６７．８ｒ２＝−１．５０５６ ｄ２＝０．１３９４ ｒ３＝−１．１７７２ ｄ３＝０．１３９９ ｎ２＝１．６９８２７ ν２＝３
２．１ｒ４＝４３．５４６５ ｄ４＝０．０５６７ ｒ５＝１．６８４１ ｄ５＝０．４９６９ ｎ３＝１．４６６５４ ν３＝６
７．８ｒ６＝−３．６０１７ ｄ６＝０．６９９５ ｒ７＝Ｏ．８０４５ ｄ７＝０．３５７６ ｎ４＝１．４６６５４ ν＝６７
．８ｒＢ＝２．．６４３８ ｄ８＝０．０１９８ ｒｇ＝０．３８４５ ｄ９＝０．２６６３ ｎ５＝１．５２５６４ ν５＝６
４．１ｒ１０＝０．９４３０ β＝−１／４０，Ｓ１＝３８．５４５ Ｓ＝０．２１６
４ｆ１〜３＝３．０３６，ｆ４５＝０．７８６ただしｒ
１，ｒ２・・・ｒ１０はレンズ各面の曲率半径ｄ１，ｄ
２・・・ｄ９は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、ｎ１
，ｎ２…ｎ５は波長４４１．６ｎｍに対する屈折率、ν
１，ν２・・・ν５はｄ線に対するアツベ数である。
上記の実施例における各収差曲線図は夫々第２図、第３
図、第４図に示してある。
図、第４図に示してある。
又実施例１において無限遠入射光に対して使用する場合
ｄ４を０．３０９ｆだけ変化させることによって良好な
収差状況にて使用し得る。
ｄ４を０．３０９ｆだけ変化させることによって良好な
収差状況にて使用し得る。
この場合ｄ４を変化させる前の無限遠入射光に対する収
差曲線は第５図に示す通りであり、又ｄ４は０．３０９
ｆだけ変化させた場合の収差曲線は第６図に示す通りで
ある。
差曲線は第５図に示す通りであり、又ｄ４は０．３０９
ｆだけ変化させた場合の収差曲線は第６図に示す通りで
ある。
これら第５図および第６図より明らかなようにｄ４を変
化させることによって、無限遠入射光の場合の収差の悪
化は充分補正されている。
化させることによって、無限遠入射光の場合の収差の悪
化は充分補正されている。
第１図は本発明対物レンズの断面図、第２図乃至第４図
は各実施例の収差状況を示す図、第５図および第６図は
実施例１の無限遠入射光にて使用した時の収差状況を示
す図である。
は各実施例の収差状況を示す図、第５図および第６図は
実施例１の無限遠入射光にて使用した時の収差状況を示
す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １両凸レンズの第１レンズと，第１レンズ側に凹面を向
けた負のメニスカスレンズの第２レンズと、両凸レンズ
の第３レンズとよりなる前群と、第３レンズ側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズの第４レンズと，第４レン
ズ側に凸面を向けた半球に近い形状をした正のメニスカ
スレンズの第５レンズとよりなる後群とで構成され，更
に下記の各条件を満足することを特徴とする高縮小率対
物レンズ。 （１）１．１９≧ｄ６／ｆ≧０．６２ （２）３．７≧ｆ１２３／ｆ≧２．７ （３）０．２９≧ｆ４５／ｆ１２３≧０．１９（４）０
．８６≧｜ｒ３｜／｜ｒ２｜≧０．６（５）０．１５≧
ｄ２／ｆ≧０．１１ ただしｆ，ｆ１２３，ｆ４５に夫々全系、前群および後
群の焦点距離、ｒ２，ｒ３は夫々第１レンズの後側およ
び第２レンズの前面の面の曲率半径、ｄ２，ｄ６は夫々
第１レンズと第２レンズおよび前群と後群との間の空気
間隔である。 ２上記第２レンズと上記第３レンズとの間の空気間隔ｄ
４を下記の条件（６）に示す範囲内において変化させる
ことによって無限遠入射光に対しても使用できるように
収差補正を行なうことを特徴とする特許詰求範囲１の高
縮小率対物レンズ。 （６）０．５＞△ｄ４／ｆ＞０．２ ただし△ｄ４は第２レンズと第３レンズの間の空気間隔
ｄ４の変化量である。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50072255A JPS581762B2 (ja) | 1975-06-14 | 1975-06-14 | コウシユクシヨウリツタイブツレンズ |
| DE2626116A DE2626116C2 (de) | 1975-06-14 | 1976-06-10 | Aus Einzellinsen aufgebautes Objektiv |
| US05/695,037 US4046460A (en) | 1975-06-14 | 1976-06-11 | Objective for video disks |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50072255A JPS581762B2 (ja) | 1975-06-14 | 1975-06-14 | コウシユクシヨウリツタイブツレンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5231754A JPS5231754A (en) | 1977-03-10 |
| JPS581762B2 true JPS581762B2 (ja) | 1983-01-12 |
Family
ID=13483991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50072255A Expired JPS581762B2 (ja) | 1975-06-14 | 1975-06-14 | コウシユクシヨウリツタイブツレンズ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4046460A (ja) |
| JP (1) | JPS581762B2 (ja) |
| DE (1) | DE2626116C2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5476170A (en) * | 1977-11-29 | 1979-06-18 | Olympus Optical Co Ltd | Lens for video disc |
| DE3124590A1 (de) * | 1981-06-23 | 1983-01-27 | Boehringer Mannheim Gmbh, 6800 Mannheim | Stabilisiertes reagenz zum nachweis von h(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)o(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts) |
| JPS5886509A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光デイスク用集光レンズ |
| US4738496A (en) * | 1985-03-19 | 1988-04-19 | Ludvik Canzek | High speed infrared wide angle lens system |
| DE3915868C2 (de) * | 1989-05-16 | 1996-09-12 | Zeiss Carl Fa | UV-taugliches Trockenobjektiv für Mikroskope |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1791276A (en) * | 1928-02-15 | 1931-02-03 | Zeiss Carl Fa | Microscope objective |
| DE800443C (de) * | 1948-10-02 | 1950-11-06 | Leitz Ernst Gmbh | Fassung fuer Mikro-Objektive |
| US3887269A (en) * | 1971-02-10 | 1975-06-03 | Olympus Opitcal Co Ltd | Supertelescopic lens system |
-
1975
- 1975-06-14 JP JP50072255A patent/JPS581762B2/ja not_active Expired
-
1976
- 1976-06-10 DE DE2626116A patent/DE2626116C2/de not_active Expired
- 1976-06-11 US US05/695,037 patent/US4046460A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2626116C2 (de) | 1981-10-08 |
| DE2626116A1 (de) | 1976-12-16 |
| JPS5231754A (en) | 1977-03-10 |
| US4046460A (en) | 1977-09-06 |
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