JPS5817315A - 磁気ロ−タリ−エンコ−ダ - Google Patents
磁気ロ−タリ−エンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS5817315A JPS5817315A JP11547081A JP11547081A JPS5817315A JP S5817315 A JPS5817315 A JP S5817315A JP 11547081 A JP11547081 A JP 11547081A JP 11547081 A JP11547081 A JP 11547081A JP S5817315 A JPS5817315 A JP S5817315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetic
- field detector
- resistance effect
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は円筒形に成形された非磁性金属板の外周面上に
付着された磁気記録媒体からの漏洩磁界を薄膜磁気抵抗
効果素子で検出する磁気ロータリーエンコーダに関する
ものである。
付着された磁気記録媒体からの漏洩磁界を薄膜磁気抵抗
効果素子で検出する磁気ロータリーエンコーダに関する
ものである。
従来のロータリーエンコーダは光学式のものが一般的で
あり、発光素子と受光素子の間に固定スリット、可動ス
リットを配置して発光素子からの出力光を変調し、信号
光として受光素子で検知する構造のものが用いられてき
た。しかしながら、この方式では、高分解能を得るため
には複雑な調。
あり、発光素子と受光素子の間に固定スリット、可動ス
リットを配置して発光素子からの出力光を変調し、信号
光として受光素子で検知する構造のものが用いられてき
た。しかしながら、この方式では、高分解能を得るため
には複雑な調。
整機構が必要となり、また、スリットパターンを細くす
ると光の回折現象による配置関係の問題から必然的に最
小スリットパターンの大きさが定ちられ、/回転当りの
パルス数を多くするとロータリーエンコーダが大型化す
る等の問題を避けることができなかった。また発光素子
、受光素子を動作させるためには多くの電力を要し、周
囲の温度変化により素子特性が変動する等の欠点を内包
している。
ると光の回折現象による配置関係の問題から必然的に最
小スリットパターンの大きさが定ちられ、/回転当りの
パルス数を多くするとロータリーエンコーダが大型化す
る等の問題を避けることができなかった。また発光素子
、受光素子を動作させるためには多くの電力を要し、周
囲の温度変化により素子特性が変動する等の欠点を内包
している。
本発明は上記従来の光学式ロータリーエンコーダの欠点
を解消した新規有用な磁気ロータリーエンコーダを提供
することを目的とするものである。
を解消した新規有用な磁気ロータリーエンコーダを提供
することを目的とするものである。
以下、本発明を実施例に従って図面を参照しながら詳説
する。
する。
第1図は本発明の一実施例を示す磁気ロータリーエンコ
ーダの概略構成図である。第一図は第1図に用いられる
磁界検出器の詳細図である。第3図は第2図に示す磁界
検出器の仰付構造を示す構成図である。
ーダの概略構成図である。第一図は第1図に用いられる
磁界検出器の詳細図である。第3図は第2図に示す磁界
検出器の仰付構造を示す構成図である。
円筒形状に成形された非磁性金属から成る基体/の外周
面に高密度記録を施した着磁体コが付着され回転軸3を
中心として基体/とともに回転される。着磁体コの接線
方向と平行に磁界検出器グが対向配置され、磁界検出器
グからの出力信号は外部回路へ導出される。
面に高密度記録を施した着磁体コが付着され回転軸3を
中心として基体/とともに回転される。着磁体コの接線
方向と平行に磁界検出器グが対向配置され、磁界検出器
グからの出力信号は外部回路へ導出される。
磁界検出器グは、着磁体−の記録波長λに対して順次(
m 十−)λ(m、nは整数)ずれたn本の磁気抵抗効
果素子5と磁界を感受しない位置3こ載置された磁気抵
抗効果素子gをシリコンやガラス等の基板Z上に形成す
ることにより構成されている。磁気抵抗効果素子j、J
間の差動増幅を行。
m 十−)λ(m、nは整数)ずれたn本の磁気抵抗効
果素子5と磁界を感受しない位置3こ載置された磁気抵
抗効果素子gをシリコンやガラス等の基板Z上に形成す
ることにより構成されている。磁気抵抗効果素子j、J
間の差動増幅を行。
なうことにより検出磁界信号が得られ、また磁気抵抗効
果素子j1gはともに同材質で形成されていることから
温度に対する抵抗変化の割合は同一とみなされ、温度補
償も行なうことができる。従〕て、−入ずれた磁気抵抗
効果素子jの各々から正確に−λだけずれた検出信号を
得ることができる。
果素子j1gはともに同材質で形成されていることから
温度に対する抵抗変化の割合は同一とみなされ、温度補
償も行なうことができる。従〕て、−入ずれた磁気抵抗
効果素子jの各々から正確に−λだけずれた検出信号を
得ることができる。
磁界検出器グは基台♂(こ接着固定きれており、リン青
銅等の板バネ2で図のy方向へ附勢されている。基台♂
はエンコーダ本体//に螺着されている螺子IOにより
左右両端で板バネ2に抗して押圧され、この螺子10に
よって磁界検出器グは着磁体コの接線方向と平行方向に
角度調整される。
銅等の板バネ2で図のy方向へ附勢されている。基台♂
はエンコーダ本体//に螺着されている螺子IOにより
左右両端で板バネ2に抗して押圧され、この螺子10に
よって磁界検出器グは着磁体コの接線方向と平行方向に
角度調整される。
また着磁体′コと磁界検出器グ間の距離も調整される。
磁界検出器ダは磁気抵抗効果素子5.乙が着磁体コに対
向するように配置されており、基板2の厚みに影響され
ず螺子10により着磁体コとの開戦を数十μlll1こ
設定することができる。
向するように配置されており、基板2の厚みに影響され
ず螺子10により着磁体コとの開戦を数十μlll1こ
設定することができる。
第7図は磁界検出器グの特性を説明する説明図である。
□
薄膜磁気抵抗効果素子j、Jとして
Ni(g2) pe(又はN1−Co)が用いられ磁
界(uex)に対する抵抗変化率(/R)は図中の曲線
/−の如く表わされる。図中のP点で磁気抵抗効果素子
s、tにバイアス磁界が印加されているため、着磁体コ
に記録された漏洩磁界信号/3はP点を基準として印加
され、検出信号/グが得られる。
界(uex)に対する抵抗変化率(/R)は図中の曲線
/−の如く表わされる。図中のP点で磁気抵抗効果素子
s、tにバイアス磁界が印加されているため、着磁体コ
に記録された漏洩磁界信号/3はP点を基準として印加
され、検出信号/グが得られる。
第5図は着磁(*−の漏洩磁界を説明する説明図である
。
。
円筒局面の着磁体コからの漏洩磁界/3は同心円lj上
に分布しており、従って磁界検出器グは図のA点とB点
を結ぶ線上に配置される。磁界検出器グの位置が角度Q
だけ移動しA点とB′点を結ぶ線上に変位された場合に
は前述した螺子IOにより角度を調整し、必ず線分AB
上に磁界検出器グを配置し、磁気抵抗効果素子j、zの
位相を調整する。図中のdは磁界検出器グの着磁体コ間
の距離を表わす。またr。は着磁体−迄の半径である。
に分布しており、従って磁界検出器グは図のA点とB点
を結ぶ線上に配置される。磁界検出器グの位置が角度Q
だけ移動しA点とB′点を結ぶ線上に変位された場合に
は前述した螺子IOにより角度を調整し、必ず線分AB
上に磁界検出器グを配置し、磁気抵抗効果素子j、zの
位相を調整する。図中のdは磁界検出器グの着磁体コ間
の距離を表わす。またr。は着磁体−迄の半径である。
第を図は磁界検出器グ及び外部回路の回路構成の一実施
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
磁界検出器グの回路ブロック/に内には磁気抵抗効果素
子j、tが結線され、磁気抵抗効果素子j9gからの位
相の異なる検出信号は増幅回路/7へ入力され、第2図
に示ん位相の異なる増幅検出信号/7..20が得られ
る。この増幅検出信号/2..2θは波形整形回路/♂
へ入力され、カウントパルス信号を得ると同時に着磁体
−の回転方向の 別も行なう。
子j、tが結線され、磁気抵抗効果素子j9gからの位
相の異なる検出信号は増幅回路/7へ入力され、第2図
に示ん位相の異なる増幅検出信号/7..20が得られ
る。この増幅検出信号/2..2θは波形整形回路/♂
へ入力され、カウントパルス信号を得ると同時に着磁体
−の回転方向の 別も行なう。
以上詳説した如く、本発明は従来の光学式エンコーダに
比較して非常に簡単な調整機構で位置調整を行なうこと
ができる。また検出器の感受性を高くすることによって
小型で/回転当りのパルスの多いエンコーダが可能であ
り、ハイドゲージやマイクロメータ等に幅広く応用する
ことができる。
比較して非常に簡単な調整機構で位置調整を行なうこと
ができる。また検出器の感受性を高くすることによって
小型で/回転当りのパルスの多いエンコーダが可能であ
り、ハイドゲージやマイクロメータ等に幅広く応用する
ことができる。
第1図は本発明の一実施例を示す磁気ロータリーエンコ
ーダの概略構成図である。第一図は第7図に用いられる
磁界検出器の詳細図である。第3る説明図である。第2
図は磁界検出器及び外部回路の回路構成の一実施例を示
すブロック図である。 第7図は増幅検出信号を示す波形図である。 コ・・・着磁体、3・・・回転軸、り・・・磁界検出器
、s、l・・・磁気抵抗効果素子、g・・・基台、2・
・・板バネ、10・・・螺子、//・・・エンコーダ本
体。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦 第 5 図 第 6t21 q イ 7 Q
ーダの概略構成図である。第一図は第7図に用いられる
磁界検出器の詳細図である。第3る説明図である。第2
図は磁界検出器及び外部回路の回路構成の一実施例を示
すブロック図である。 第7図は増幅検出信号を示す波形図である。 コ・・・着磁体、3・・・回転軸、り・・・磁界検出器
、s、l・・・磁気抵抗効果素子、g・・・基台、2・
・・板バネ、10・・・螺子、//・・・エンコーダ本
体。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦 第 5 図 第 6t21 q イ 7 Q
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 11回動可能に設置された着磁体と、該着磁体の漏洩磁
界を検出する検出器と、該検出器の出力信号を処理する
信号処理回路と、を具備して成る磁気ロータリーエンコ
ーダに於いて、前記検出器を磁気抵抗効果素子で構成す
るとともに温度補償機能を置設したことを特徴とする磁
気ロータリーエンコーダ。 2、磁気抵抗効果素子を信号磁界が感受できる位置と信
号磁界が感受されない位置に配置し、各々の出力信号を
差動増幅することにより温度補償機能を構成した特許請
求の範囲第1項記載の磁気ロータリーエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11547081A JPS5817315A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 磁気ロ−タリ−エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11547081A JPS5817315A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 磁気ロ−タリ−エンコ−ダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5817315A true JPS5817315A (ja) | 1983-02-01 |
Family
ID=14663330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11547081A Pending JPS5817315A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 磁気ロ−タリ−エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5817315A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0314199U (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-13 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5612805B2 (ja) * | 1976-11-20 | 1981-03-24 | ||
JPS5687862A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-16 | Hitachi Ltd | Magnetic head of revolution detector |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP11547081A patent/JPS5817315A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5612805B2 (ja) * | 1976-11-20 | 1981-03-24 | ||
JPS5687862A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-16 | Hitachi Ltd | Magnetic head of revolution detector |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0314199U (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4944028A (en) | Non-contact type pattern sensor with variable clearance compensation | |
US4507638A (en) | Rotary position sensors employing planar coils | |
US4818939A (en) | Apparatus for magnetically detecting position or speed or moving body utilizing bridge circuit with series connected MR elements | |
US5786593A (en) | Rotary encoder having a plurality of patterns with different cycles | |
US4418372A (en) | Magnetic rotary encoder | |
US4791366A (en) | Apparatus including a pair of angularly spaced sensors for detecting angle of rotation of a rotary member | |
JPH043483B2 (ja) | ||
US3708681A (en) | Position and velocity sensor | |
US4124814A (en) | Magnetic displacement transducer wherein two relatively movable gratings vary the magnetic field coupled to a Hall plate proportional to the displacement | |
US4713613A (en) | Device for magnetically detecting displacement of non-magnetic movable member | |
JPS5817315A (ja) | 磁気ロ−タリ−エンコ−ダ | |
JPS6315529B2 (ja) | ||
JPS6243483B2 (ja) | ||
JPH0426047B2 (ja) | ||
JPS58154613A (ja) | 変位量検出装置 | |
JPH061201B2 (ja) | 位置検出センサ | |
JP2619621B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
JP2929714B2 (ja) | 角度検出装置 | |
US6211669B1 (en) | Magnetic detector with improved noise resistance characteristics | |
JP3412297B2 (ja) | Mr素子式回転センサ | |
JPH01219611A (ja) | 漏洩磁界型ポテンショメータ | |
JPH03282368A (ja) | 磁気センサ | |
JPH0221152B2 (ja) | ||
JPS62220809A (ja) | 磁気センサ | |
JPS62276410A (ja) | センサ− |