JPS58165954A - 加工寸法検出方法 - Google Patents

加工寸法検出方法

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Publication number
JPS58165954A
JPS58165954A JP4956882A JP4956882A JPS58165954A JP S58165954 A JPS58165954 A JP S58165954A JP 4956882 A JP4956882 A JP 4956882A JP 4956882 A JP4956882 A JP 4956882A JP S58165954 A JPS58165954 A JP S58165954A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
working
conductor thin
conductor
thin films
Prior art date
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Pending
Application number
JP4956882A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuji Sato
佐藤 和司
Yoshiji Nakagawa
祥次 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4956882A priority Critical patent/JPS58165954A/ja
Publication of JPS58165954A publication Critical patent/JPS58165954A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/20Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は加工寸法検出方法に関する。
従来の加工寸法検出方法に使用する薄膜抵抗体素子は第
1図のように長さ9幅、厚みがそれぞれg、w、tの寸
法であり、かつ固有の比抵抗を持つ材料からなる短冊形
の抵抗素子1とリード端子用導体薄膜2から構成されて
いる。この薄膜抵抗体素子を用いて第2図に示す加工物
6の加工寸法を検出するには、第2図のように加工物6
の加工面3に対して垂直な面4の両サイド已にこの薄膜
抵抗体素子を配置し、加工物6の加工量7に応じて素子
幅の減少する抵抗素子1の抵抗値変化として検出してい
る。
しかし、このような従来の加工寸法検出方法において抵
抗素子の抵抗値の変化は第3図に示すように、抵抗素子
の幅Wと逆数の関係に変化し、素子幅が減少すれば、す
るほど、抵抗値は急激に増加し、抵抗値変化により加工
寸法を検出するのが困難であった。そして抵抗素子1の
切れた時点で抵抗は無限大となる。
さらに、この従来の方法では、加工中の位置出しは抵抗
値から算出せねばならず、抵抗素子の比抵抗pと素子膜
厚tを正確に把握しておく必要もあり、常時、適確に位
置を検出することは困難であるという間粗があり、又、
加工物は電気的に絶縁性の材料でなければ従来の方法で
は適用できないという欠点もあった。
本発明の加工寸法検出方法は、前記従来の欠点を除去す
るもので、加工作業中に、高精度かつ迅速な位置出しを
行なうことを目的とするものである。
以下に本発、明の実施例の加工寸法検出方法全図面と共
に詳細に説明する。第4図は本発明の実施例による加工
寸法検出方法を示す。同図において薄膜検出素子8は加
工物11の加工面3に対して垂直な面上の両端に位置さ
れ、加工進行方向証に平行に共通端子としての導体薄膜
9とL字形溝体薄膜IQi構成する。又加工物が絶縁性
材料であれば加工物上に直接導体薄膜を作成し、加工物
が電気伝導性材料であれば、第6図に示すように、加工
物11と導体薄膜9.10の間に絶縁性の薄膜12を介
した構造をとる。
第6図は加工目的の寸法位置と本発明の実施例にかかる
検出素子とを示す詳細図である。検出素子を構成するL
字形溝体薄膜1oの幅W+a、現在の薄膜技術によれば
、1〜3μm以上で任意の幅まで調節でき、又各り字形
導体薄膜間のピッチPも1〜3μ重以上で任意のピッチ
間隔に調節することが可能である。一方、各々のL字形
溝体薄膜1oの端部15は第7図に示すモニター回路端
子16に接続され、又共通端子13はモニター回路端子
17に接続され、各り字形素子と共通端子とが導通状態
の時、各々の素子の導通状態ヲ示す第7図のLEDが点
灯状態となっている。2oは駆動電源回路である。従っ
てL字形溝体薄膜10が加工によって順々に切れ開回路
になると外部回路中のLED第8図に示すように順々に
消灯し、その位置により、消失したL字形溝体薄膜10
のどの位置まで加工物が加工されたかの位置が判るので
、加工寸法を検出することができる。
第8図において19はLEDが消された状態を、18は
LEDが点灯している状@を示す。
以上のように、目的寸法個i’fTh基準にして、任意
の線幅とピッチ間隔でL字形溝体薄膜のパターンを作成
することにより加工寸法が検出できる。
本発明の加工寸法検出方法によれば、 (1)従来5例に比較して、目的寸法個所付近で急激に
検出信号が変化することがなく、加工量に対して段階的
に検出信号が得られるため、目的寸法までの加工量が把
握し易い (2)例えば第8図に示すように目的寸法までの各段階
で発光ダイオードの点灯18から消灯19という簡単な
変化で寸法が読み取れるという簡便さがある。
等の効果があり、工業上有用なものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の加工寸法検出方法に用いる抵抗薄膜素子
と導体薄膜の斜視図、第2図は従来の加工寸法検出方法
を示す斜視図、第3図は従来の加工寸法測定方法で検出
される信号の変化を示す図、第4図は本発明の加工寸e
tlr出方法を示す図、第6図は本発明の加工寸法検出
方法において、加工物が電気的良導体である場合に用い
る薄膜の斜視図、第6図は同方法において加工目的の寸
法位置とL字形素子の位置関係を示す図、第7図は本発
明の加工寸法検出方法において外部回路として発光ダイ
オードと直流電源を用いた場合の同回路図、第8図は本
発明の加工寸法検出方法において加工寸法量におじで発
光ダイオードが点灯、消灯している状態を示す図である
。 8・・・・・・薄膜検出素子、9・・・・・・導体薄膜
、10・・・・・・L字形溝体薄膜、11・・・・・・
加工物、12・・・・・・絶縁性の薄膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名at
図 第2図 第311 紮峯楊W 第4図 第5図 //1 第6131 第7図 第8図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)加工物の加工面に垂直な一面に予め切削加工面と
    平行をなす薄膜導体細線を前記加工方向に多数本被着形
    成し、加工により前記各薄膜導体細線が消失する事によ
    る電気信号の変化を検出することにより前記加工物の加
    工寸法を検知することを 特徴とする加工寸法検出方法。 (噂 各薄膜導体細線の一端を共通端子とすることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載の加工寸法検出方
    法。
JP4956882A 1982-03-26 1982-03-26 加工寸法検出方法 Pending JPS58165954A (ja)

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JPS58165954A true JPS58165954A (ja) 1983-10-01

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0269013A2 (de) * 1986-11-22 1988-06-01 Fried. Krupp Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung zur Früherkennung von Schneidenbrüchen und Grenzverschleiss von Werkzeugen zur spanabhebenden Bearbeitung
CN113977337A (zh) * 2021-12-28 2022-01-28 广州市腾嘉自动化仪表有限公司 一种基于自动化生产线的物料控制***

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0269013A2 (de) * 1986-11-22 1988-06-01 Fried. Krupp Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung zur Früherkennung von Schneidenbrüchen und Grenzverschleiss von Werkzeugen zur spanabhebenden Bearbeitung
EP0269013A3 (de) * 1986-11-22 1990-08-16 Fried. Krupp Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung zur Früherkennung von Schneidenbrüchen und Grenzverschleiss von Werkzeugen zur spanabhebenden Bearbeitung
CN113977337A (zh) * 2021-12-28 2022-01-28 广州市腾嘉自动化仪表有限公司 一种基于自动化生产线的物料控制***

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