JPS5812937A - 省エネルギ−型クリ−ンル−ム - Google Patents
省エネルギ−型クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS5812937A JPS5812937A JP56111434A JP11143481A JPS5812937A JP S5812937 A JPS5812937 A JP S5812937A JP 56111434 A JP56111434 A JP 56111434A JP 11143481 A JP11143481 A JP 11143481A JP S5812937 A JPS5812937 A JP S5812937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- blow
- slit width
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、層流型クリーンルームの必要風量ヲ、層流型
クリーンルームの機能を損わないで、大rlJに低減す
るようにした省エネルギー型のクリーンルームに関する
。
クリーンルームの機能を損わないで、大rlJに低減す
るようにした省エネルギー型のクリーンルームに関する
。
垂直方向または水平方向に層流式に気流を吹出す層流型
クリーンルームは、その吹出面のヤ面がら吹出速度か均
一となるように清浄空気を吹出し、吹田面と実質上同じ
面積を有する対向吸込面がら一様゛にこの空気を吸込む
ようにしたものであるが。
クリーンルームは、その吹出面のヤ面がら吹出速度か均
一となるように清浄空気を吹出し、吹田面と実質上同じ
面積を有する対向吸込面がら一様゛にこの空気を吸込む
ようにしたものであるが。
通常その吹出気流の平均風速はQ、5m/B程度である
。
。
従来の層流型クリーンルームは、このよう゛にして、ク
リーンルーム空間の全体に層流を形成させ、全空間の清
浄度を冒めるようにしていた。
リーンルーム空間の全体に層流を形成させ、全空間の清
浄度を冒めるようにしていた。
しかし、′このように約0.5rn//Bの平均気流に
よって全面清浄化を図うても、実際にはこのクリーンル
ームの作業域、例えば手術場所、精密加工や薬品処理作
業台等は、このクリーンルームの全空間ノ一部領域であ
る場合か多く、この作業域の部分で清浄度を確保するこ
とか必要な場合か多い。
よって全面清浄化を図うても、実際にはこのクリーンル
ームの作業域、例えば手術場所、精密加工や薬品処理作
業台等は、このクリーンルームの全空間ノ一部領域であ
る場合か多く、この作業域の部分で清浄度を確保するこ
とか必要な場合か多い。
本発明は、この作業域での清浄度は確保しdがら、全体
の風量を低域し、これによって駆動装置の省エネルギー
化を図ることを目的としてなされたもので、従来の層流
型クリーンルームに可変スリット巾吹出口を結合するこ
とによって特殊なこの目的を効果的に達成し′たもので
ある。この可変スリット巾吹出口の使用によって、風量
は訃来の60〜8096程度に減少させることができ、
これによっても作業域においてて十分な清浄度を確保す
ることかできる。
の風量を低域し、これによって駆動装置の省エネルギー
化を図ることを目的としてなされたもので、従来の層流
型クリーンルームに可変スリット巾吹出口を結合するこ
とによって特殊なこの目的を効果的に達成し′たもので
ある。この可変スリット巾吹出口の使用によって、風量
は訃来の60〜8096程度に減少させることができ、
これによっても作業域においてて十分な清浄度を確保す
ることかできる。
図面に従って本発明を゛具体的に説明すると、第1図は
本発明に従う垂直層流型クリーンルームを示しており、
可変スリット巾吹出口Nを吹出面1の1部の面2に取付
けである。第1図において、20は気密構造体、21は
高性能フィルター、22は通気性の床、2′5は作業域
、24は外気取入口、25はプレフィルタ−126は風
量調整ダンパ、27は空気調和器、29は送風機、30
は送風空気室、31はクリーンルーム空間を示している
。また、第2図はクリーンルーム排気口32および工程
排気装置36を設けた以外は猿1図同様の垂直層流型ク
リーンルームを示している。送風機29は吹出風量を任
意に制御できる送風機であり、例えば可変速送風機、可
変ピッチ送風機、入ロ案内羽根制御送風機などである。
本発明に従う垂直層流型クリーンルームを示しており、
可変スリット巾吹出口Nを吹出面1の1部の面2に取付
けである。第1図において、20は気密構造体、21は
高性能フィルター、22は通気性の床、2′5は作業域
、24は外気取入口、25はプレフィルタ−126は風
量調整ダンパ、27は空気調和器、29は送風機、30
は送風空気室、31はクリーンルーム空間を示している
。また、第2図はクリーンルーム排気口32および工程
排気装置36を設けた以外は猿1図同様の垂直層流型ク
リーンルームを示している。送風機29は吹出風量を任
意に制御できる送風機であり、例えば可変速送風機、可
変ピッチ送風機、入ロ案内羽根制御送風機などである。
通気床22から一様に床下空間に吸込まれた空気は、必
要量の外気と共に空気調和器27に入り、送風機29に
よって空気室60を経て高性能フィルター22が全面に
張り渡だされた吹出面1から等速の吹出気流としてり1
7−ンルーム空間31内に吹出される。すなわち、吹出
面1の全面は、可変スリット巾吹出口Nが取付けられた
1部の而2であろうと、その他の面であろうとも、等速
の気流が吹出されるような構造を有しており、従来の層
流型クリーンルームの等速成出面構造そのものである。
要量の外気と共に空気調和器27に入り、送風機29に
よって空気室60を経て高性能フィルター22が全面に
張り渡だされた吹出面1から等速の吹出気流としてり1
7−ンルーム空間31内に吹出される。すなわち、吹出
面1の全面は、可変スリット巾吹出口Nが取付けられた
1部の而2であろうと、その他の面であろうとも、等速
の気流が吹出されるような構造を有しており、従来の層
流型クリーンルームの等速成出面構造そのものである。
しかし、この吹田面1から吹出される清浄空気は、従来
必要とした0、5m/A程度の風速ヨリ’モ低下すセ、
02〜0.35m/sの範囲にまで風速を落として運転
しても、作 i/業域23での清浄度は、可変ス
リット巾吹出口Nによって十分に確保ができ、かっこの
作業域23以外の域においても塵埃の乱流拡散滞留は十
分に防がれる。これは、1部の面2から吹出される空気
だけを可変スリット巾吹出口Nによって収斂してからこ
れを作業域23に向けて吹出すようにしたことによる。
必要とした0、5m/A程度の風速ヨリ’モ低下すセ、
02〜0.35m/sの範囲にまで風速を落として運転
しても、作 i/業域23での清浄度は、可変ス
リット巾吹出口Nによって十分に確保ができ、かっこの
作業域23以外の域においても塵埃の乱流拡散滞留は十
分に防がれる。これは、1部の面2から吹出される空気
だけを可変スリット巾吹出口Nによって収斂してからこ
れを作業域23に向けて吹出すようにしたことによる。
第6図は第1図または第2図の可変スリット巾吹出口N
の部分を拡大した断面図であり、第4図はこの可変スリ
ット巾吹出口Nの組立分解図である。これらの図に示し
たようにこの吹出口Nは、空気吹川面1における1部の
面2の吹出側に取付けられるノズルであって、吹出向と
実質上直角方向に吹田側に延びる側板3と4と、この側
板3と4の間において面2から吹出側に延びる傾斜板で
あって面2の開口面積よりも小さな開口面積のノズル口
5を形成する傾斜板6および7と、からなっている。そ
して、この側板3と4には、後で述べるが、傾斜板6の
角度可変係止穴12が列設されている。なお、11は弾
力性パツキン、21はフィルターである。
の部分を拡大した断面図であり、第4図はこの可変スリ
ット巾吹出口Nの組立分解図である。これらの図に示し
たようにこの吹出口Nは、空気吹川面1における1部の
面2の吹出側に取付けられるノズルであって、吹出向と
実質上直角方向に吹田側に延びる側板3と4と、この側
板3と4の間において面2から吹出側に延びる傾斜板で
あって面2の開口面積よりも小さな開口面積のノズル口
5を形成する傾斜板6および7と、からなっている。そ
して、この側板3と4には、後で述べるが、傾斜板6の
角度可変係止穴12が列設されている。なお、11は弾
力性パツキン、21はフィルターである。
傾斜板6および7は、1部の面2を通過する空気を、速
度を速めかつ方向を変えて吹出すように、傾斜を有する
。より具体的には、傾斜板6と7は相互に曲率が異る曲
面板からなっており、ノズル口5の向きが面2からの吹
出方向とは偏向するようにしである。このため、傾斜板
7は面2の開口面積の大部分を塞ぐような割合で面2の
吹出側に張り出しており、この張り出しの程度は少なく
とも面2の中央を超えh部分までとしておくとよい。
度を速めかつ方向を変えて吹出すように、傾斜を有する
。より具体的には、傾斜板6と7は相互に曲率が異る曲
面板からなっており、ノズル口5の向きが面2からの吹
出方向とは偏向するようにしである。このため、傾斜板
7は面2の開口面積の大部分を塞ぐような割合で面2の
吹出側に張り出しており、この張り出しの程度は少なく
とも面2の中央を超えh部分までとしておくとよい。
そして、この傾斜板7の張り出した面は急、に向きを反
転して、ノズル口5の方向がこの傾斜板7自身の側に傾
(ようにしである。他方、傾斜板6は傾斜板7のような
特殊な曲面を有しておら゛ず、ゆるやかなカーブを有し
ている。
転して、ノズル口5の方向がこの傾斜板7自身の側に傾
(ようにしである。他方、傾斜板6は傾斜板7のような
特殊な曲面を有しておら゛ず、ゆるやかなカーブを有し
ている。
この両頭斜板6と7は、側板3と4に接続される。すな
わち、側板3と4に設けられたボルト穴にボルトを挿入
すると共に、このボルトを両頭斜板6と7に設けられた
ボルト係止孔または溝13〜16に通して、両者の接続
が行なわれる。
わち、側板3と4に設けられたボルト穴にボルトを挿入
すると共に、このボルトを両頭斜板6と7に設けられた
ボルト係止孔または溝13〜16に通して、両者の接続
が行なわれる。
そのさい、側板3および4においては、傾斜板6が面2
に対する接合点(パツキン11の存在位置)を中心にし
である程度回転しても、これを係止できるような幅をも
つ広い面積にしてあり、この部分に角度可変係止穴12
が列設または溝状に設けである。これによって、傾斜板
6はその取付角を自由に調整できるようになっており、
この取付角の調整によって、ノズル口5からの吹出気流
の速度と方向が制御ヤきる。実際の組立にあだ、つては
、予め側板工2.4と、傾斜板6,7とを接合してから
、この組立品をクリーンルーム吹出面の適切゛な個所に
取付け、そのノズル口5の調整は取付後においても自由
に行なうことができる。
に対する接合点(パツキン11の存在位置)を中心にし
である程度回転しても、これを係止できるような幅をも
つ広い面積にしてあり、この部分に角度可変係止穴12
が列設または溝状に設けである。これによって、傾斜板
6はその取付角を自由に調整できるようになっており、
この取付角の調整によって、ノズル口5からの吹出気流
の速度と方向が制御ヤきる。実際の組立にあだ、つては
、予め側板工2.4と、傾斜板6,7とを接合してから
、この組立品をクリーンルーム吹出面の適切゛な個所に
取付け、そのノズル口5の調整は取付後においても自由
に行なうことができる。
この可変スリット巾吹出口Nの取付数および位置はクリ
ーンルームの規模や作業域25の大きさや位置の変動に
応じて適当に定めることができる。
ーンルームの規模や作業域25の大きさや位置の変動に
応じて適当に定めることができる。
つまり、層流型クリーンルーム自体の基本構造には何ら
変更を要することなぐ、可変スリット巾吹田口Nを作業
域23に応じ<i付け、送風機29の吐出量を、この可
変スリット巾吹出口無しの場合の60〜80y)程度に
低下させればよい。このように送風機29の吐出量を低
下させても作業域26での清浄度は十分に確保すること
ができ、かつ室内塵埃粒子の主制御頭載外への乱流拡散
滞留も、可変スリット巾吹出口Nの存在しない他の面か
らの吹出気流によって十分に防ぐことかできる。
変更を要することなぐ、可変スリット巾吹田口Nを作業
域23に応じ<i付け、送風機29の吐出量を、この可
変スリット巾吹出口無しの場合の60〜80y)程度に
低下させればよい。このように送風機29の吐出量を低
下させても作業域26での清浄度は十分に確保すること
ができ、かつ室内塵埃粒子の主制御頭載外への乱流拡散
滞留も、可変スリット巾吹出口Nの存在しない他の面か
らの吹出気流によって十分に防ぐことかできる。
このようにして、本発明のクリーンルームは、目的区域
の清浄度を従来の層流型クリーンルーム通りに確保しな
がら、これら従来のものか必要とした約0.5 myB
(7)平均気流ヲ0.3〜0.4 m/程度まで下げる
ことを可能にしたもので、クリーンルーム全体としての
平均風速を20〜40%程度低減せしめることができる
。通常、動力費は風量比の三乗に概ね比例するから、本
発明のクリーンルームの動力費は従来のものより50〜
70%節減することかできることになり、極めて省エネ
ルギーか達成される。しかも、本発明に従う可変スリッ
ト巾吹出口Nは構造および組立が簡単で、その吹出方向
も自由に変えることができるから、作業域の大きさや位
置変更に対しても対処か容易であり、 パ既存
クリーンルームの省エネルギー運転への変更が容易にな
し得るものである。
の清浄度を従来の層流型クリーンルーム通りに確保しな
がら、これら従来のものか必要とした約0.5 myB
(7)平均気流ヲ0.3〜0.4 m/程度まで下げる
ことを可能にしたもので、クリーンルーム全体としての
平均風速を20〜40%程度低減せしめることができる
。通常、動力費は風量比の三乗に概ね比例するから、本
発明のクリーンルームの動力費は従来のものより50〜
70%節減することかできることになり、極めて省エネ
ルギーか達成される。しかも、本発明に従う可変スリッ
ト巾吹出口Nは構造および組立が簡単で、その吹出方向
も自由に変えることができるから、作業域の大きさや位
置変更に対しても対処か容易であり、 パ既存
クリーンルームの省エネルギー運転への変更が容易にな
し得るものである。
第1図は本発明のクリーンルームの一実施例を示す全体
図、第2図は同様に他の実施例を示す全体図、第3図は
第1図の可変スリット巾吹出日の部分拡大断面図、第4
図は第6図の可変スIJ y )11]吹出口の組立分
解図である。 1・・・吹出面 2・・・吹出面の一部の面 3.4・・・側板 5・・・ノズル口 6.7・・・傾斜板 12・・・角度可変係止穴 21・・・高性能フィルター 22・・・通気床 23・・・作業域 27・・・空気調和器 29・・・送風機 31・・・クリーンルーム空間 出 願 人 高砂熱学工業株式会社 代理人 和田憲賀
図、第2図は同様に他の実施例を示す全体図、第3図は
第1図の可変スリット巾吹出日の部分拡大断面図、第4
図は第6図の可変スIJ y )11]吹出口の組立分
解図である。 1・・・吹出面 2・・・吹出面の一部の面 3.4・・・側板 5・・・ノズル口 6.7・・・傾斜板 12・・・角度可変係止穴 21・・・高性能フィルター 22・・・通気床 23・・・作業域 27・・・空気調和器 29・・・送風機 31・・・クリーンルーム空間 出 願 人 高砂熱学工業株式会社 代理人 和田憲賀
Claims (2)
- (1)層流型クリーンルームの空気吹出面のうちの1部
の面において、この1部の面から吹出される空気を収斂
するための可変スリット巾吹田口を、その吹出方向をル
ーム空間の特定作業域に向けて設置したことを特徴とす
る省エネルギー型クリーンルーム。 - (2)可変スリット巾吹出口は、吹出面から吹出方向に
実質上直角方向に延びる側板3,4と、この側板3と4
との間において吹出面から吹出側に互いに近接するよう
に傾斜して配置された傾斜板6および7と、からなって
おり、かつこの傾斜板6と7の少なくとも一方が側板3
と4に対して傾斜角を自在に変えられるような係止構造
を有したものである特許請求の範囲第1項記載のクリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56111434A JPS5812937A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 省エネルギ−型クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56111434A JPS5812937A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 省エネルギ−型クリ−ンル−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5812937A true JPS5812937A (ja) | 1983-01-25 |
Family
ID=14561088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56111434A Pending JPS5812937A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 省エネルギ−型クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5812937A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625032A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-12 | Taikisha Ltd | クリ−ンル−ム |
US5015425A (en) * | 1984-11-22 | 1991-05-14 | Hitachi, Ltd. | Manufacturing apparatus |
JP2018513343A (ja) * | 2015-04-20 | 2018-05-24 | シネクシス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーSynexis LLC | 希薄過酸化水素(dhp)ガスを含むクリーンルームおよびその使用方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52108648A (en) * | 1976-03-05 | 1977-09-12 | Svenska Flaektfabriken Ab | Exhausting system for cooking method of guiding air stream produced from airrpermeable surface* particularly perforated surface and apparatus for carrying out the same method |
-
1981
- 1981-07-16 JP JP56111434A patent/JPS5812937A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52108648A (en) * | 1976-03-05 | 1977-09-12 | Svenska Flaektfabriken Ab | Exhausting system for cooking method of guiding air stream produced from airrpermeable surface* particularly perforated surface and apparatus for carrying out the same method |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5015425A (en) * | 1984-11-22 | 1991-05-14 | Hitachi, Ltd. | Manufacturing apparatus |
JPS625032A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-12 | Taikisha Ltd | クリ−ンル−ム |
JP2018513343A (ja) * | 2015-04-20 | 2018-05-24 | シネクシス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーSynexis LLC | 希薄過酸化水素(dhp)ガスを含むクリーンルームおよびその使用方法 |
JP2021183902A (ja) * | 2015-04-20 | 2021-12-02 | シネクシス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニーSynexis LLC | 希薄過酸化水素(dhp)ガスを含むクリーンルームおよびその使用方法 |
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