JPS5812653B2 - スタイラス部品の製造方法 - Google Patents
スタイラス部品の製造方法Info
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- JPS5812653B2 JPS5812653B2 JP50056958A JP5695875A JPS5812653B2 JP S5812653 B2 JPS5812653 B2 JP S5812653B2 JP 50056958 A JP50056958 A JP 50056958A JP 5695875 A JP5695875 A JP 5695875A JP S5812653 B2 JPS5812653 B2 JP S5812653B2
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- Japan
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- alloys containing
- chromium
- titanium
- stylus
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/06—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using record carriers having variable electrical capacitance; Record carriers therefor
- G11B9/07—Heads for reproducing capacitive information
- G11B9/075—Heads for reproducing capacitive information using mechanical contact with record carrier, e.g. by stylus
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静電方式のビデオディスク装置に用いるスタ
イラス部品の製造方法に関するものである。
イラス部品の製造方法に関するものである。
画像再生装置として静電方式のビデオディスク装置が用
いられている。
いられている。
このビデオディスク装置は、回転可能な円盤状の記録板
に螺旋状の溝を設け、この溝の内部に信号となる複数個
の凸状部を設け、少くとも上記凸状部を有する溝の表面
を導電層電極で被覆し、この導電層電極の表面を誘電体
層で被覆し、上記構内を追跡し上記複数個の凸状部と選
択的に接触し、静電容量の変化を出力信号として検出す
るダイヤモンドスタイラスを備え、このダイヤモンドス
タイラスの少くとも先端表面部に導電層電極を設けたも
のである。
に螺旋状の溝を設け、この溝の内部に信号となる複数個
の凸状部を設け、少くとも上記凸状部を有する溝の表面
を導電層電極で被覆し、この導電層電極の表面を誘電体
層で被覆し、上記構内を追跡し上記複数個の凸状部と選
択的に接触し、静電容量の変化を出力信号として検出す
るダイヤモンドスタイラスを備え、このダイヤモンドス
タイラスの少くとも先端表面部に導電層電極を設けたも
のである。
この種の装置において、従来、ダイヤモンドスタイラス
先端表面部に設ける導電層電極は、例えば真空蒸着によ
りアルミニウム膜をダイヤモンドスタイラス先端表面に
付着させて形成していたが、付着性が極めて悪く、剥離
する上、演奏により摩耗消滅する欠点があった。
先端表面部に設ける導電層電極は、例えば真空蒸着によ
りアルミニウム膜をダイヤモンドスタイラス先端表面に
付着させて形成していたが、付着性が極めて悪く、剥離
する上、演奏により摩耗消滅する欠点があった。
本発明はこのような従来の欠点を解消したもので、以下
その一実施例について図面を用いて説明する。
その一実施例について図面を用いて説明する。
図において１は矢印７方向へ回転可能な円盤状の記録板
であり、表面に螺旋状の溝が形成され、この溝の底面に
は記録すべき信号に応じ間隔が相隣る同士異なる凸状部
６を複数個形成する。
であり、表面に螺旋状の溝が形成され、この溝の底面に
は記録すべき信号に応じ間隔が相隣る同士異なる凸状部
６を複数個形成する。
この記録板１の表面、あるいは少くとも上記凸状部６を
含む溝の表面には導電層電極４が被覆され、かつこの導
電層電極４の表面には誘電体層５が被覆されている。
含む溝の表面には導電層電極４が被覆され、かつこの導
電層電極４の表面には誘電体層５が被覆されている。
一方、従来のレコードスタイラスと同様、溝内を追跡す
る一本のダイヤモンドスタイラス２は少くとも先端表面
部にチタン合金からなる導電層電極３が被覆されている
。
る一本のダイヤモンドスタイラス２は少くとも先端表面
部にチタン合金からなる導電層電極３が被覆されている
。
したがって記録板１の回転に従い上記ダイヤモンドスタ
イラス２は溝をトレースし、凸状部６と選択的に接触し
、ダイヤモンドスタイラス２の導電層電極３と記録板１
の導電層電極４との間隔の変化によって生ずる静電容量
の変化を出力信号として検出する。
イラス２は溝をトレースし、凸状部６と選択的に接触し
、ダイヤモンドスタイラス２の導電層電極３と記録板１
の導電層電極４との間隔の変化によって生ずる静電容量
の変化を出力信号として検出する。
上記導電層電極３のチタン合金として、例えばＴｉ−５
Ａｌ−２Ｃｒ−１Ｆｅ合金を上記ダイヤモンドスタイラ
ス２上にスパッタリング蒸着し、真空中において８００
〜２０００℃の温度でたとえば１時間熱処理を行なうと
、硬く付着性、耐磨耗性の大きい導電層電極３がダイヤ
モンドスタイラス２上に形成される事を見い出した。
Ａｌ−２Ｃｒ−１Ｆｅ合金を上記ダイヤモンドスタイラ
ス２上にスパッタリング蒸着し、真空中において８００
〜２０００℃の温度でたとえば１時間熱処理を行なうと
、硬く付着性、耐磨耗性の大きい導電層電極３がダイヤ
モンドスタイラス２上に形成される事を見い出した。
その導電層電極は５ｋｇ／ｍｍ２以上の引張り力でも剥
離しないすぐれた特性を示し、ダイヤモンドスタイラス
２の寿命は数１００時間以上に達する。
離しないすぐれた特性を示し、ダイヤモンドスタイラス
２の寿命は数１００時間以上に達する。
この付着力の大きい理由は、上記ダイヤモンドスタイラ
ス２表面層に上記チタン合金成分中のチタンが拡散した
り、あるいはスタイラス表面層のダイヤモンドと上記チ
タンが化学反応したためと考えられる。
ス２表面層に上記チタン合金成分中のチタンが拡散した
り、あるいはスタイラス表面層のダイヤモンドと上記チ
タンが化学反応したためと考えられる。
また上記電極の優れた耐摩耗性は、上記チタン合金スパ
ツタ膜が機械的強度、および耐熱特性共に優れている事
に起因している。
ツタ膜が機械的強度、および耐熱特性共に優れている事
に起因している。
なおこの場合、熱処理雰囲気、温度が重要である。
すなわちダイヤモンドスタイラス２が熱処理により酸化
されないために、雰囲気は非酸化性雰囲気たとえば真空
、アルゴンガス雰囲気でなければならない。
されないために、雰囲気は非酸化性雰囲気たとえば真空
、アルゴンガス雰囲気でなければならない。
また熱処理温度が８００℃未満では、上記蒸着金属のダ
イヤモンドへの拡散あるいはダイヤモンド表面層におけ
る化学結合が行なわれず、上記蒸着金属の付着性が悪い
。
イヤモンドへの拡散あるいはダイヤモンド表面層におけ
る化学結合が行なわれず、上記蒸着金属の付着性が悪い
。
また熱処理温度が２０００℃を超えると、たとえば極く
微量の酸素ガスが雰囲気に存在しても、ダイヤモンドス
タイラスの表面あるいは全体が酸化し、実用に供しない
。
微量の酸素ガスが雰囲気に存在しても、ダイヤモンドス
タイラスの表面あるいは全体が酸化し、実用に供しない
。
この場合、チタン合金として上記の実施例に限らず、パ
ラジウム、アルミニウム、銅、スズ、クロム、モリブデ
ン、鉄、バナジウム、マンガンのうちの一種または数種
を含むチタンの合金であれば付着性、耐摩耗性共に優れ
ている。
ラジウム、アルミニウム、銅、スズ、クロム、モリブデ
ン、鉄、バナジウム、マンガンのうちの一種または数種
を含むチタンの合金であれば付着性、耐摩耗性共に優れ
ている。
すなわち、その組成の具体例を示すと、Ｔｉ−０．５Ｐ
ｄ、Ｔｉ−５Ａｌ−２．５Ｓｎ，Ｔｉ−５Ａｌ−２Ｃｒ
−１Ｍｏ，Ｔｉ−２Ａｌ−２Ｆｅ，Ｔｉ−５Ａｌ−１Ｍ
ｏ，Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ，Ｔｉ−４Ａｌ−４Ｍｎ，Ｔｉ
−４Ａｌ−３Ｍｏ−１Ｖ，Ｔｉ−８Ａｌ−１Ｍｏ−１Ｖ
，Ｔｉ−７Ａｌ−４Ｍｏ．Ｔｉ−８Ｍｎ．Ｔｉ−１３Ｖ
−１１Ｃｒ−３Ａｌ等である。
ｄ、Ｔｉ−５Ａｌ−２．５Ｓｎ，Ｔｉ−５Ａｌ−２Ｃｒ
−１Ｍｏ，Ｔｉ−２Ａｌ−２Ｆｅ，Ｔｉ−５Ａｌ−１Ｍ
ｏ，Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ，Ｔｉ−４Ａｌ−４Ｍｎ，Ｔｉ
−４Ａｌ−３Ｍｏ−１Ｖ，Ｔｉ−８Ａｌ−１Ｍｏ−１Ｖ
，Ｔｉ−７Ａｌ−４Ｍｏ．Ｔｉ−８Ｍｎ．Ｔｉ−１３Ｖ
−１１Ｃｒ−３Ａｌ等である。
以上の実施例ではチタン合金を示したが、チタン合金以
外にクロム合金、モリブデン合金、タングステン合金、
ニオブ合金、タンタル合金、ジルコニウム合金も有効で
ある。
外にクロム合金、モリブデン合金、タングステン合金、
ニオブ合金、タンタル合金、ジルコニウム合金も有効で
ある。
すなわちモリブデン、鉄、コバルト、チタンのうちの一
種または数種を含むクロム合金、アルミニウム、クロム
、シリコン、ニッケル、硼素のうちの一種または数種を
含むモリブデン合金、モリブデン、ジルコニウム、ニオ
ブ、タンタルのうちの一種または数種を含むタングステ
ン合金、タングステン、チタン、バナシウム、モリブデ
ン、ジルコニウムの一種または数種を含むニオブ合金、
チタン、ハフニウム、タングステン、二オ リブデン、バナジウムのうちの一種または数種を含むタ
ンタル合金、錫、鉄、ニッケル、クロム、ニオブ、銅、
モリブデンのうちの一種または数種を含むジルコニウム
合金が有効である。
種または数種を含むクロム合金、アルミニウム、クロム
、シリコン、ニッケル、硼素のうちの一種または数種を
含むモリブデン合金、モリブデン、ジルコニウム、ニオ
ブ、タンタルのうちの一種または数種を含むタングステ
ン合金、タングステン、チタン、バナシウム、モリブデ
ン、ジルコニウムの一種または数種を含むニオブ合金、
チタン、ハフニウム、タングステン、二オ リブデン、バナジウムのうちの一種または数種を含むタ
ンタル合金、錫、鉄、ニッケル、クロム、ニオブ、銅、
モリブデンのうちの一種または数種を含むジルコニウム
合金が有効である。
これらの合金膜の形成は、上記実施例ではスパッタリン
グ蒸着を用いよが、これは合金膜の蒸着が組成の変化少
なく実現出来るためで、これに類似した構成であればい
ずれの構成でもよく、スパッタリング蒸着に限定しない
。
グ蒸着を用いよが、これは合金膜の蒸着が組成の変化少
なく実現出来るためで、これに類似した構成であればい
ずれの構成でもよく、スパッタリング蒸着に限定しない
。
例えばイオンビーム蒸着でも可能である。
なお、熱処理を上記実施例では真空中で行なったが、炭
化性雰囲気例えばメタンガス中、あるいは窒化性雰囲気
例えばアンモニア中で行なうと、上記合金層の表面がそ
れぞれ炭化および窒化し機械的強度がより改良される。
化性雰囲気例えばメタンガス中、あるいは窒化性雰囲気
例えばアンモニア中で行なうと、上記合金層の表面がそ
れぞれ炭化および窒化し機械的強度がより改良される。
以上のように本発明によれば、実用寿命の着るしく長い
ダイヤモンドスタイラスを提供でき、ビデオディスク装
置に用いて大なる効果を奏する。
ダイヤモンドスタイラスを提供でき、ビデオディスク装
置に用いて大なる効果を奏する。
図は本発明により得られるスタイラス部品を用いたビデ
オディスク装置の一例を示す要部断面図である。 １・・・・・・記録板、２・・・・・・ダイヤモンドス
タイラス、３・・・・・・導電層電極、４・・・・・・
導電層電極、５・・・・・・誘電体層、６・・・・・・
凸状部。
オディスク装置の一例を示す要部断面図である。 １・・・・・・記録板、２・・・・・・ダイヤモンドス
タイラス、３・・・・・・導電層電極、４・・・・・・
導電層電極、５・・・・・・誘電体層、６・・・・・・
凸状部。
Claims (1)
- １ ダイヤモンドスタイラスの少くとも先端表面部に蒸
着により、パラジウム、アルミニウム、銅、スズ、クロ
ム、モリブデン、鉄、バナジウム、マンガンのうちの一
種または数種を含むチタン合金、モリブデン、鉄、コバ
ルト、チタンのうちの一種または数種を含むクロム合金
、アルミニウム、クロム、シリコン、ニッケル、硼素の
うちの一種または数種を含むモリブデン合金、モリブデ
ン、ジルコニウム、ニオブ、タンタルのうちの一種また
は数種を含むタングステン合金、タングステン、チタン
、バナジウム、モリブデン、ジルコニウムの一種または
数種を含むニオブ合金、チタン、ハフニウム、タングス
テン、ニオフ、ジルコニウム、クロム、モリブデン、バ
ナジウムのうちの一種または数種を含むタンタル合金、
錫、鉄、ニッケル、クロム、ニオブ、銅、モリブデンの
うちの一種または数種を含むジルコニウム合金から選ば
れた一種よりなる導電層を形成した後、これを非酸化性
雰囲気において８００〜２０００℃の温度で熱処理する
ことを特徴とするスタイラス部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50056958A JPS5812653B2 (ja) | 1975-05-13 | 1975-05-13 | スタイラス部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50056958A JPS5812653B2 (ja) | 1975-05-13 | 1975-05-13 | スタイラス部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51131622A JPS51131622A (en) | 1976-11-16 |
| JPS5812653B2 true JPS5812653B2 (ja) | 1983-03-09 |
Family
ID=13042036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50056958A Expired JPS5812653B2 (ja) | 1975-05-13 | 1975-05-13 | スタイラス部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5812653B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4315358A (en) * | 1980-04-21 | 1982-02-16 | Rca Corporation | Method for the manufacture of capacitive pickup styli |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4966102A (ja) * | 1972-09-06 | 1974-06-26 |
-
1975
- 1975-05-13 JP JP50056958A patent/JPS5812653B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4966102A (ja) * | 1972-09-06 | 1974-06-26 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51131622A (en) | 1976-11-16 |
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