JPS58126056A - 斜め溝加工方法 - Google Patents
斜め溝加工方法Info
- Publication number
- JPS58126056A JPS58126056A JP888382A JP888382A JPS58126056A JP S58126056 A JPS58126056 A JP S58126056A JP 888382 A JP888382 A JP 888382A JP 888382 A JP888382 A JP 888382A JP S58126056 A JPS58126056 A JP S58126056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- grinding wheel
- flat
- oblique groove
- work
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/02—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明ａ、ａ数の半導体層から々る１流素子にポジテ
ィブベベル形成用の斜め溝を加工する場合に適用される
斜め線加工方法に関する。
ィブベベル形成用の斜め溝を加工する場合に適用される
斜め線加工方法に関する。
し発明の技術的賀歌］
本山−人は、先−である特−昭５６−１８５３１号、「
半導体の溝加工方法」において、第１図に示すように被
加工物である１１ｔＩｔ嵩子（１）を被加工＃Ｉｊ−転
装置に保持して回転するとともに１円板状の研削砥石を
上記整流素子（１）に対して傾斜して設け、この研削砥
石を回転させながら送り装置により移−させ、Ｉｌ流素
子（１）の外周縁に歯ってポジティブベベル形成用の斜
め溝（２）を加工する方法を出−した。
半導体の溝加工方法」において、第１図に示すように被
加工物である１１ｔＩｔ嵩子（１）を被加工＃Ｉｊ−転
装置に保持して回転するとともに１円板状の研削砥石を
上記整流素子（１）に対して傾斜して設け、この研削砥
石を回転させながら送り装置により移−させ、Ｉｌ流素
子（１）の外周縁に歯ってポジティブベベル形成用の斜
め溝（２）を加工する方法を出−した。
すなわち、上記ｌｌｌ１ｌ素子１１）は、カソード１１
１極ｔ３）が抵抗接触されているカソード層（４）、こ
のカソード層（４）に隣接するカソード隣接層ζ５）、
このカソード隣接層（５）に隣接する高比抵抗層（６）
及びこの高比抵抗層（６）とアノード電極（７）との間
にあるアノード層１８）からなっている。そうして、上
記４層の境界に紘それぞれＰＮ［合であるＪｌ、Ｊｌ及
びＪ３が形成されている。しかして、整流卓子（１）の
外Ｊ＋１１１１面は、＊合Ｊ３周縁部においてポジティ
ブベベルとなるように円−状く形成され、かつ上記斜め
縛（２）は、ＩＩ合Ｊ３周嫌部においてポジティブベベ
ルとなるように逆円−状に傾斜づけられている。したが
って、＊＊素子（１）の耐電圧特性は自わめてすぐれた
ものとなつている。第２図は、上記斜め＃（２）の加工
を示すもので、厚す１０〜１００μｍ４度の例えばダイ
ヤモンド砥粒からなる円環状平形砥石（９）及び一方の
１１１４００μｍ４！！度の片角度砥石ｕ１からなる研
削砥石ｕ１１を用いて、上記平形砥石（９）が！１ｒＩ
ｌ素子１１）中心側の廁め溝（２）内周面ｕりに摺接す
るように加工する０このと角、上記研削砥石Ｕυの送り
方向と上記研削砥石ａυの回転軸の軸心は正確に直角に
なるように設定されている。
１極ｔ３）が抵抗接触されているカソード層（４）、こ
のカソード層（４）に隣接するカソード隣接層ζ５）、
このカソード隣接層（５）に隣接する高比抵抗層（６）
及びこの高比抵抗層（６）とアノード電極（７）との間
にあるアノード層１８）からなっている。そうして、上
記４層の境界に紘それぞれＰＮ［合であるＪｌ、Ｊｌ及
びＪ３が形成されている。しかして、整流卓子（１）の
外Ｊ＋１１１１面は、＊合Ｊ３周縁部においてポジティ
ブベベルとなるように円−状く形成され、かつ上記斜め
縛（２）は、ＩＩ合Ｊ３周嫌部においてポジティブベベ
ルとなるように逆円−状に傾斜づけられている。したが
って、＊＊素子（１）の耐電圧特性は自わめてすぐれた
ものとなつている。第２図は、上記斜め＃（２）の加工
を示すもので、厚す１０〜１００μｍ４度の例えばダイ
ヤモンド砥粒からなる円環状平形砥石（９）及び一方の
１１１４００μｍ４！！度の片角度砥石ｕ１からなる研
削砥石ｕ１１を用いて、上記平形砥石（９）が！１ｒＩ
ｌ素子１１）中心側の廁め溝（２）内周面ｕりに摺接す
るように加工する０このと角、上記研削砥石Ｕυの送り
方向と上記研削砥石ａυの回転軸の軸心は正確に直角に
なるように設定されている。
［背量技術の問題点］
上述したように、研ｐＡ眞石Ｕυの回転軸の軸心と研削
砥石ａυの送り方向が直交している結果、第２図に示す
ように、平形砥石（９）の一方の端面と斜め婢（２）の
内周面Ｕ擾とが常に接触する結果、内周面ａ湯が摩擦熱
により高温になり、かつ研削砥石Ｉの振動によるふれに
↓シ内局面ａ′ＩＪが衝華力を受けるので、内周１１Ｉ
ｌｉｄａとくに第１１接合Ｊ２周縁部の破砕やエラ、＞
Ｓ分のチッピングを惹起する。その結果、接合Ｊ２にお
けるポジティブベベル伏線が部分的に破壊ζｎ、 ＊ｔ
ｌｌ素子の表面耐罐圧特性が着しく劣化し、これにとも
ない＊ｉ素子としての部品歩留りが低下する。また、研
削砥石１１υの寿命も短い。
砥石ａυの送り方向が直交している結果、第２図に示す
ように、平形砥石（９）の一方の端面と斜め婢（２）の
内周面Ｕ擾とが常に接触する結果、内周面ａ湯が摩擦熱
により高温になり、かつ研削砥石Ｉの振動によるふれに
↓シ内局面ａ′ＩＪが衝華力を受けるので、内周１１Ｉ
ｌｉｄａとくに第１１接合Ｊ２周縁部の破砕やエラ、＞
Ｓ分のチッピングを惹起する。その結果、接合Ｊ２にお
けるポジティブベベル伏線が部分的に破壊ζｎ、 ＊ｔ
ｌｌ素子の表面耐罐圧特性が着しく劣化し、これにとも
ない＊ｉ素子としての部品歩留りが低下する。また、研
削砥石１１υの寿命も短い。
「発明の目的」
本発明は斜め溝によりポジティブベベルが形成されてい
るＰＮｇ合周縁周縁部ける破砕のない斜め溝加工方法を
提供することにある。
るＰＮｇ合周縁周縁部ける破砕のない斜め溝加工方法を
提供することにある。
［＠明の概４Ｒ］
研削砥石の切込み方向に対して研削砥石を傾斜させ研削
砥石とこの研削砥石により形成される斜め溝の内周面と
の間に逃げ角を付与するようにし友ものである〇 ［発明の実施例コ 以下、本発明を図面を参照して実施例に基づいて詳述す
る。なお、以下の説明において、従来技術の説明に用い
たｇ１図及び４２図中の各部分と同−一所には同一符号
を付しである。
砥石とこの研削砥石により形成される斜め溝の内周面と
の間に逃げ角を付与するようにし友ものである〇 ［発明の実施例コ 以下、本発明を図面を参照して実施例に基づいて詳述す
る。なお、以下の説明において、従来技術の説明に用い
たｇ１図及び４２図中の各部分と同−一所には同一符号
を付しである。
４３図は本発明の実施例において用いる斜め溝加工ｔ１
瀘を示している・この斜め＃Ｉ加工績装は。
瀘を示している・この斜め＃Ｉ加工績装は。
被卯ｆ備回転部ｕ４と研削加工部位◆とからなっている
０１：起被卯工吻回転部ｄりは、軸受ｕ９．この軸受ｕ
９に軸支され九１ｇＩＩｋ、軸σｅ、この回転軸αのの
一端部に同軸に設けられＩｌｌ流素子（１）のγノード
成極（７）側を真空吸着して回転軸−と同軸に保持する
保持体顛、上記回転輪４の他端部に取付けられたプーリ
圓。
０１：起被卯工吻回転部ｄりは、軸受ｕ９．この軸受ｕ
９に軸支され九１ｇＩＩｋ、軸σｅ、この回転軸αのの
一端部に同軸に設けられＩｌｌ流素子（１）のγノード
成極（７）側を真空吸着して回転軸−と同軸に保持する
保持体顛、上記回転輪４の他端部に取付けられたプーリ
圓。
このプーリー婦に近接して設けられ走電ＩＩＪ機ｄ場、
この１ｍ機１の回転軸−に取付けられたプーリＣ２１）
及び上記プーリ圓とプーリＱ１）との間に４にき掛けら
れたベルト（至）とからなっている〇一方、研削加工物
ＵΦは、保持体Ｑりに近接して設けられたノ・ンドル（
至）の回転により矢印（至）方向に進退自在な横送りテ
ーブル（至）、この横送りテーブル（ハ）の上面に矢印
＠方向に対して所定の角度傾いて設けられ４ＩＩＪ４１
Ｉ（至）により矢印一方向に進退自在な切込み送りテー
ブル（至）、この切込み送りテーブル（至）の上面に固
定され九′ＩｔｌＩｂ機（至）、このＩＩＥＩＩ！ｌ横
−の回転軸に一端部が連結されＥ紀１１動機（至）と一
体的に連結された軸受（支））により軸支されたキー船
回転軸φυ及びこの回転軸〕（，３ｇの他端部に一対の
７ランジ４により回転軸φυと同軸かつ平形砥石（９）
四がｌｌ流素子＋１）の回転軸心に対向す名ように挟持
固定され九研削砥石συから構成されている。ここで、
上記研削砥石ａυを保持する回転軸６１の回転軸心−は
、整流素子（１）の回転軸心（至）と同一平面上となり
、かつ上記切込み送りテーブル（至）による切込み送り
方向が上記１ｇｌ＠軸心−（ロ）がのっている平面に平
行になるように回転軸１３１）が軸受Ｃ３０）により軸
支されている０ま九、上記４ｃ＃ＩＪ機（至）と軸受（
ＪＯ）とは切込み送りテーブル（至）に対して一体的に
回動自在となっていて、かつ回転軸Ｃ珍の回転軸心（至
）が以下の条件を満足する位置ｒｃ固定されている。す
なわち、回転軸１３１の回転軸心（至）は。
この１ｍ機１の回転軸−に取付けられたプーリＣ２１）
及び上記プーリ圓とプーリＱ１）との間に４にき掛けら
れたベルト（至）とからなっている〇一方、研削加工物
ＵΦは、保持体Ｑりに近接して設けられたノ・ンドル（
至）の回転により矢印（至）方向に進退自在な横送りテ
ーブル（至）、この横送りテーブル（ハ）の上面に矢印
＠方向に対して所定の角度傾いて設けられ４ＩＩＪ４１
Ｉ（至）により矢印一方向に進退自在な切込み送りテー
ブル（至）、この切込み送りテーブル（至）の上面に固
定され九′ＩｔｌＩｂ機（至）、このＩＩＥＩＩ！ｌ横
−の回転軸に一端部が連結されＥ紀１１動機（至）と一
体的に連結された軸受（支））により軸支されたキー船
回転軸φυ及びこの回転軸〕（，３ｇの他端部に一対の
７ランジ４により回転軸φυと同軸かつ平形砥石（９）
四がｌｌ流素子＋１）の回転軸心に対向す名ように挟持
固定され九研削砥石συから構成されている。ここで、
上記研削砥石ａυを保持する回転軸６１の回転軸心−は
、整流素子（１）の回転軸心（至）と同一平面上となり
、かつ上記切込み送りテーブル（至）による切込み送り
方向が上記１ｇｌ＠軸心−（ロ）がのっている平面に平
行になるように回転軸１３１）が軸受Ｃ３０）により軸
支されている０ま九、上記４ｃ＃ＩＪ機（至）と軸受（
ＪＯ）とは切込み送りテーブル（至）に対して一体的に
回動自在となっていて、かつ回転軸Ｃ珍の回転軸心（至
）が以下の条件を満足する位置ｒｃ固定されている。す
なわち、回転軸１３１の回転軸心（至）は。
回転軸心（至）Ｋ交差し、かつ切込み送り方向（第３図
矢印罰方向）に平行な直線に直交する直線ｒ！＠に対し
て第３図に示すように角度α（数秒ないし数置）だけ時
針回り方向に傾斜させる。換言すれば上記回転軸ｕ１）
は、研削砥石αυの整流素子（１）への切込み時に平形
砥石（９）とこの平形砥石＋９） Ｋより形成された内
周面との間に逃げ角が付与されるような位置に軸受１３
０）により軸支されている。
矢印罰方向）に平行な直線に直交する直線ｒ！＠に対し
て第３図に示すように角度α（数秒ないし数置）だけ時
針回り方向に傾斜させる。換言すれば上記回転軸ｕ１）
は、研削砥石αυの整流素子（１）への切込み時に平形
砥石（９）とこの平形砥石＋９） Ｋより形成された内
周面との間に逃げ角が付与されるような位置に軸受１３
０）により軸支されている。
つぎに、上述のように構成され九斜め溝加工装置により
ｇＩｉ流素子（１）に斜め溝を形成する方法について説
明する。まず、被加工物回転部ＩＯ保持体ｕ７）に、こ
の保持体αηの回転軸心（ロ）と同軸に整流素子１１）
を保持するとともに、′鑞動磯ｌｌ１％（２）を起動し
保持体αη及び研削砥石Ｏυを回転駆動する。つぎに・
・ンドルｄｔ−操作して、横送りテーブル（至）を１１
５！素子Ｑυに同って嬉３図矢印一方向に進め、研削砥
石（Ｉυの一部をなす平形砥石−９）の先端部を整ａＳ
子（１）の斜め＃（至）を形成する位置に合わせ九のち
、（このと自研削砥石αυの平形砥石Ｉ９）＠が回転軸
心（至）に対向している。）４１１１機（至）を作動さ
せて、切込み送りテーブル（至）を整流素子＋１）に向
って矢印一方向に送る。この切込み送りテーブル（２）
による切込み送りは研削砥石αυが鳥比抵抗層（６）の
内部に到達するまで継続する。しかして、平形砥石（９
）の先熾は、＃Ｉ４図矢印（至）方向に切込み（この切
込み方向（至）は、平形砥石（９）がのっている平面に
対して角度α疋け＃を斜している。）、整流素子（１）
には円環状の斜め溝１．（ηが形成されるが、箒５図に
示すように！１流素子＋１）の回転軸線貴の斜め＃ｃ７
）の内周ｌ１ｒ（至）と平形砥石（９）との間には逃げ
角α（前述したように数秒ないし数置）付与されるので
、上記内周＃Ｊ−と平形砥石（９）とは直接に接触せず
、上記内周面一は摩擦熱により高温に上昇したり、研削
砥石αυの機械的振動くよるふれにより内周面（至）が
傭撃カを受けることがなくなる。したがって、内Ｊ４ｒ
ｋｉ−の仕上ｒＥ槽度が向上しｌ／Ｘ５図のエツジ部分
（至）のチッピングや内周面（至）とくに第１固接合Ｊ
２周縁部の破砕を防止することができる０その結果、脩
ＲＩＡ子のポジティブベベル状態が破壊されることなく
。
ｇＩｉ流素子（１）に斜め溝を形成する方法について説
明する。まず、被加工物回転部ＩＯ保持体ｕ７）に、こ
の保持体αηの回転軸心（ロ）と同軸に整流素子１１）
を保持するとともに、′鑞動磯ｌｌ１％（２）を起動し
保持体αη及び研削砥石Ｏυを回転駆動する。つぎに・
・ンドルｄｔ−操作して、横送りテーブル（至）を１１
５！素子Ｑυに同って嬉３図矢印一方向に進め、研削砥
石（Ｉυの一部をなす平形砥石−９）の先端部を整ａＳ
子（１）の斜め＃（至）を形成する位置に合わせ九のち
、（このと自研削砥石αυの平形砥石Ｉ９）＠が回転軸
心（至）に対向している。）４１１１機（至）を作動さ
せて、切込み送りテーブル（至）を整流素子＋１）に向
って矢印一方向に送る。この切込み送りテーブル（２）
による切込み送りは研削砥石αυが鳥比抵抗層（６）の
内部に到達するまで継続する。しかして、平形砥石（９
）の先熾は、＃Ｉ４図矢印（至）方向に切込み（この切
込み方向（至）は、平形砥石（９）がのっている平面に
対して角度α疋け＃を斜している。）、整流素子（１）
には円環状の斜め溝１．（ηが形成されるが、箒５図に
示すように！１流素子＋１）の回転軸線貴の斜め＃ｃ７
）の内周ｌ１ｒ（至）と平形砥石（９）との間には逃げ
角α（前述したように数秒ないし数置）付与されるので
、上記内周＃Ｊ−と平形砥石（９）とは直接に接触せず
、上記内周面一は摩擦熱により高温に上昇したり、研削
砥石αυの機械的振動くよるふれにより内周面（至）が
傭撃カを受けることがなくなる。したがって、内Ｊ４ｒ
ｋｉ−の仕上ｒＥ槽度が向上しｌ／Ｘ５図のエツジ部分
（至）のチッピングや内周面（至）とくに第１固接合Ｊ
２周縁部の破砕を防止することができる０その結果、脩
ＲＩＡ子のポジティブベベル状態が破壊されることなく
。
所期のＳ面耐電圧特性を得ることかで自、＊流素子とし
ての製品歩留りが向上する。また、逃げ角αが付された
結果、研削抵抗が低減し、かつ研削液が研削点へ十分に
供給されるので研削砥石ａυの工具寿命が著しく長くな
り、製品原価の低減に寄与する。
ての製品歩留りが向上する。また、逃げ角αが付された
結果、研削抵抗が低減し、かつ研削液が研削点へ十分に
供給されるので研削砥石ａυの工具寿命が著しく長くな
り、製品原価の低減に寄与する。
なお、上記夷總例においては研削砥石αυの回転ｇｍｓ
として゛１１Ｅ動砿を用いているが、これに臓らず、エ
アータービンを用いてもよい。
として゛１１Ｅ動砿を用いているが、これに臓らず、エ
アータービンを用いてもよい。
また、上記実施料においては、研削磁石（１１１は。
平形砥石（９）と片角度砥石−とから構成されたもので
あるが、研削砥石Ｕの構造に拘泥することなく逃げ角す
を円環状の斜め溝の中心側内周面に対してｔ＆せるもの
であれば本発明の要旨の範囲内である。
あるが、研削砥石Ｕの構造に拘泥することなく逃げ角す
を円環状の斜め溝の中心側内周面に対してｔ＆せるもの
であれば本発明の要旨の範囲内である。
［発明の効果］
本発明は、以下に列記する格別の効果を奏する。
（イ）ＩＩ流素子にポジティブベベルを付与するための
逆円−状部位のエツジ部分のチッピング及びカソード隣
接層と高比抵抗１−との接合面外周縁近傍の破砕を防止
できるので、設計上予定された理想的表面耐電圧特性を
得ることかで−る０その結果、整流素子としての製品歩
留りが向上する。
逆円−状部位のエツジ部分のチッピング及びカソード隣
接層と高比抵抗１−との接合面外周縁近傍の破砕を防止
できるので、設計上予定された理想的表面耐電圧特性を
得ることかで−る０その結果、整流素子としての製品歩
留りが向上する。
（ロン研削抵抗が低減し、かつ研削液が研削点へ十分に
供給されるので、研削工具寿命が長くなり、製造ＩＪＫ
Ｉｌｆｆｌが低摩になる。
供給されるので、研削工具寿命が長くなり、製造ＩＪＫ
Ｉｌｆｆｌが低摩になる。
第１図は本発明の斜め溝加工方法の被加工物である！１
流素子の内部構造を示す置部Ｆｆｒ面図、４２図は従来
の斜め溝加工方法を示す図、第３図は本発明の斜め＃ｌ
加工方法の実細において用いられる斜め４加工装置の磯
部平面図、第４図は本発明の一実施例における送り方向
を示す図、第５図は本発明の一実施例における斜め師加
工を示す図である。 （１）：整流素子（被加工＊）、 （１１１：研削砥石、 ６？）：斜め擲、（至）：内局
面。 第 １図 ！４図
流素子の内部構造を示す置部Ｆｆｒ面図、４２図は従来
の斜め溝加工方法を示す図、第３図は本発明の斜め＃ｌ
加工方法の実細において用いられる斜め４加工装置の磯
部平面図、第４図は本発明の一実施例における送り方向
を示す図、第５図は本発明の一実施例における斜め師加
工を示す図である。 （１）：整流素子（被加工＊）、 （１１１：研削砥石、 ６？）：斜め擲、（至）：内局
面。 第 １図 ！４図
Claims (1)
- ＋１）被加工物を保持して回転させる方法と、回転中の
１記被加工物に対して傾斜する研削砥石を回転しながら
上記被加工物に対して切込ませ上記被加工物に円環状の
斜め溝を形成する方法とを具備し、上記研削砥石の切込
み方向に対して上記研削砥石を傾斜させ上記研削砥石と
上記研削砥石により形成される斜め酵の内周面との間に
逃げ角を付与することをｑＩＩ値とする斜め溝加工方法
っ（２）逃げ角は数秒〜数置であることを特徴とする特
許請求の１ｉｆｌｊｌ １項記載の斜め縛加工方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP888382A JPS58126056A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
| US06/377,008 US4517769A (en) | 1981-05-20 | 1982-05-11 | Method and apparatus for forming oblique groove in semiconductor device |
| GB8214280A GB2098893B (en) | 1981-05-20 | 1982-05-17 | Method and apparatus for forming oblique groove in semiconductor device |
| DE3218953A DE3218953C2 (de) | 1981-05-20 | 1982-05-19 | Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer Schrägrille in einer Halbleitervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP888382A JPS58126056A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58126056A true JPS58126056A (ja) | 1983-07-27 |
| JPS6335380B2 JPS6335380B2 (ja) | 1988-07-14 |
Family
ID=11705069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP888382A Granted JPS58126056A (ja) | 1981-05-20 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58126056A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258154U (ja) * | 1985-10-01 | 1987-04-10 | ||
| JPH01218027A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-31 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH01264758A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-23 | Nippon Inter Electronics Corp | 半導体装置の加工装置ならびにに製造方法 |
| KR20030064539A (ko) * | 2002-01-28 | 2003-08-02 | 배영철 | 엔드밀을 이용한 홈가공 장치 및 방법 |
| KR100650239B1 (ko) * | 1999-08-30 | 2006-11-24 | 리켄 | 중성자 렌즈부재의 가공장치 및 방법 |
| JP2011135535A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Ngk Insulators Ltd | 複合基板及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54108086A (en) * | 1978-02-13 | 1979-08-24 | Nobumasa Fujishiro | Method of forming groove by means of saw machine and milling machine |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP888382A patent/JPS58126056A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS54108086A (en) * | 1978-02-13 | 1979-08-24 | Nobumasa Fujishiro | Method of forming groove by means of saw machine and milling machine |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6335380B2 (ja) | 1988-07-14 |
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