JPS58123411A - 位置測定系における誤差補正装置 - Google Patents
位置測定系における誤差補正装置Info
- Publication number
- JPS58123411A JPS58123411A JP58003602A JP360283A JPS58123411A JP S58123411 A JPS58123411 A JP S58123411A JP 58003602 A JP58003602 A JP 58003602A JP 360283 A JP360283 A JP 360283A JP S58123411 A JPS58123411 A JP S58123411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- scale
- track
- errors
- scanned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/24476—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/2448—Correction of gain, threshold, offset or phase control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Air Bags (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特許請求の範囲第１項の上部概念に記載した
如き誤差補正、特に機械誤差および／または目＆！Ｄｇ
差を補正する丸めの装置に関する。
如き誤差補正、特に機械誤差および／または目＆！Ｄｇ
差を補正する丸めの装置に関する。
位置測定系における誤差補正装置はすでに公知になって
いる。
いる。
西ドイツ国特許第２７２４８５８号明細書には、測長装
置においてリンクチェーンを有する補正装置が記載され
てお夛、この補正装置は伝達要素と接触しそして補正装
置のリンクチェーンは誤差の量に従って測定方向に交叉
する方向に位置調節可能になっている。この様な誤差補
正の精度性、測定する畏さの単位毎のリンクの数に依存
する。
置においてリンクチェーンを有する補正装置が記載され
てお夛、この補正装置は伝達要素と接触しそして補正装
置のリンクチェーンは誤差の量に従って測定方向に交叉
する方向に位置調節可能になっている。この様な誤差補
正の精度性、測定する畏さの単位毎のリンクの数に依存
する。
西ドイツ国特許第２８２０７５５号明細書から、位置測
定系における誤差補正装置が公知になっておシ、この装
置では、誤差を補正する輪郭部材が尺度担持体と統合さ
れた構成部材でありそして伝達ｌ！素と接触し、該伝達
要素は、走査単位と尺度との間の相対的な補正運動を実
現させている。
定系における誤差補正装置が公知になっておシ、この装
置では、誤差を補正する輪郭部材が尺度担持体と統合さ
れた構成部材でありそして伝達ｌ！素と接触し、該伝達
要素は、走査単位と尺度との間の相対的な補正運動を実
現させている。
西ドイツ国％杵公開第２７２９６９７号公報には、電気
的ディジタル位置測定系の周期的アナログ信号を内挿す
るだめの方法が記載されており、この方法ではアナログ
信号がディジタル化されそしてそれらのディジタル値が
、内挿値を形成する丸めの計算器に供給される。特に分
割数が多い場合には、内挿過＠に入る前に、誤差を含ん
でいるアナログ信号の信号値を修正するため、ディジタ
ル値に補正が加えられ、その際、探知された補正値社先
づ計算器の記おく装置の中に記おくされる。
的ディジタル位置測定系の周期的アナログ信号を内挿す
るだめの方法が記載されており、この方法ではアナログ
信号がディジタル化されそしてそれらのディジタル値が
、内挿値を形成する丸めの計算器に供給される。特に分
割数が多い場合には、内挿過＠に入る前に、誤差を含ん
でいるアナログ信号の信号値を修正するため、ディジタ
ル値に補正が加えられ、その際、探知された補正値社先
づ計算器の記おく装置の中に記おくされる。
上記した特許明細書記載の装置は、補正のために必要な
付加的な機械要素の丸め、このｍ類の位置測定系を本質
的に大なる外形寸法を有するものにし、そのことは位置
測定系を自由に４ｊ付けることに対して不利な点となる
。特許公開公報に記載の位［１１定系で社補正の丸めに
高価な電子要素が必要である。
付加的な機械要素の丸め、このｍ類の位置測定系を本質
的に大なる外形寸法を有するものにし、そのことは位置
測定系を自由に４ｊ付けることに対して不利な点となる
。特許公開公報に記載の位［１１定系で社補正の丸めに
高価な電子要素が必要である。
本発明の目的は、位置測定系における補正装装置を、通
常の位置測定系に重要な構造上の変化を加えることなく
、そして機械的又は電子的要素の必要数を削減し九装置
として提供することである。
常の位置測定系に重要な構造上の変化を加えることなく
、そして機械的又は電子的要素の必要数を削減し九装置
として提供することである。
上記の目的は本発明によυ、特許請求の範囲第１項記載
の％徴ある構成によシ達成される。
の％徴ある構成によシ達成される。
本発明によル得られる効果は特に、提案された補正装置
が、費用を必要とする機械的又は電子的要素を必要とせ
ず、従って簡単で且つコストが廉価な位置測定系の構造
が得られることである。空間の要求が少なくそして摩耗
する部材が無いため、自由なそして作動確実な取付けが
保証される。この補正装置は、尺度目盛）の直−的績差
も非直線的誤差も補正しそして／または機械的案内誤差
も、測定長ＫＷａ係なく補正する。更にこの補正は、次
に行われる分割数が大なる場合の間挿の誤差を無くする
ことが可能である。
が、費用を必要とする機械的又は電子的要素を必要とせ
ず、従って簡単で且つコストが廉価な位置測定系の構造
が得られることである。空間の要求が少なくそして摩耗
する部材が無いため、自由なそして作動確実な取付けが
保証される。この補正装置は、尺度目盛）の直−的績差
も非直線的誤差も補正しそして／または機械的案内誤差
も、測定長ＫＷａ係なく補正する。更にこの補正は、次
に行われる分割数が大なる場合の間挿の誤差を無くする
ことが可能である。
本発明のその他の特徴ある形成は実施態様項Ｋｉｃ！載
されている。
されている。
本発明の実施例が添附図を用いて次に評細に説明される
。
。
第１ａおよび１ｂ図によシ、中空形材の形態゛の容器１
を有し、図・示されていない工作機械のベッド２に、ね
じ結合５により一つの測長系が固着されている。工作機
械の往復台４には、連行体６を有する組付台５が任意の
態様で固着され、この組付台は刀身状に薄くなった部分
７を介してスリット８を貫通し、他の部分は完全に閉鎖
された容器１の内部に侵入し、その際スリット８に設け
られた気密唇９は容器１の内部に汚染が侵入するのを阻
止している。容器１の一方の内面には尺度１０が弾性を
有する接着層１１により取付けられ、咳尺度上には走査
単位１２がローラー１３を介して支えられそして、公知
であり、図示されていな１にが、Ｒ別装置と充電要素と
から成る装置によって、尺度１ｏの目盛シ１４を走査し
、目盛シ１４を走査する際、走査単位１２によって得ら
れる周期的なアナログ信号は、往復台４とベッド２の間
の相対約４位置をディジタル的に告知するための、図示
されていない杆価／告知単位に供給される。ベッド２に
関する往俵台４の相対運動は連行体６にょシ走査単位１
２に伝達される。
を有し、図・示されていない工作機械のベッド２に、ね
じ結合５により一つの測長系が固着されている。工作機
械の往復台４には、連行体６を有する組付台５が任意の
態様で固着され、この組付台は刀身状に薄くなった部分
７を介してスリット８を貫通し、他の部分は完全に閉鎖
された容器１の内部に侵入し、その際スリット８に設け
られた気密唇９は容器１の内部に汚染が侵入するのを阻
止している。容器１の一方の内面には尺度１０が弾性を
有する接着層１１により取付けられ、咳尺度上には走査
単位１２がローラー１３を介して支えられそして、公知
であり、図示されていな１にが、Ｒ別装置と充電要素と
から成る装置によって、尺度１ｏの目盛シ１４を走査し
、目盛シ１４を走査する際、走査単位１２によって得ら
れる周期的なアナログ信号は、往復台４とベッド２の間
の相対約４位置をディジタル的に告知するための、図示
されていない杆価／告知単位に供給される。ベッド２に
関する往俵台４の相対運動は連行体６にょシ走査単位１
２に伝達される。
第２図によれば、目！＆シ誤差および／ｉたは機械案内
誤差を補正する丸め、透明な尺度１゜上の目盛シ１４の
傍に、本発明にょシ、誤差の軽過に従って補正情報を磁
気的に記録する丸めの磁化可能なトラックの形態の２つ
の補正トラック１５，１．６が設けられてお夛、これら
のトラックはそれぞれ、走査単位１２のホール素子１７
゜１８により走査される。これらのホール素子１７゜１
８は本来の音醤発生器Ｈ，、Ｈ２と磁気回路のための鉄
片２１．２２から成シ立っている。補正トラック１５．
１５は磁化可能な箔から成夛立ち、該箔は尺度１０上に
、目盛）１４に平行に取付けられている。この磁化可能
な箔は、１周期の長さがＬの周期以内において、一定の
典灘に従って、或時は正方向に飽和する°まで磁化され
、或時は負方向に飽和するまで磁化されている。補正ト
ラック１５に示した矢印は磁化ベクトルＭを示す（補正
トラック１６には示されていない）。
誤差を補正する丸め、透明な尺度１゜上の目盛シ１４の
傍に、本発明にょシ、誤差の軽過に従って補正情報を磁
気的に記録する丸めの磁化可能なトラックの形態の２つ
の補正トラック１５，１．６が設けられてお夛、これら
のトラックはそれぞれ、走査単位１２のホール素子１７
゜１８により走査される。これらのホール素子１７゜１
８は本来の音醤発生器Ｈ，、Ｈ２と磁気回路のための鉄
片２１．２２から成シ立っている。補正トラック１５．
１５は磁化可能な箔から成夛立ち、該箔は尺度１０上に
、目盛）１４に平行に取付けられている。この磁化可能
な箔は、１周期の長さがＬの周期以内において、一定の
典灘に従って、或時は正方向に飽和する°まで磁化され
、或時は負方向に飽和するまで磁化されている。補正ト
ラック１５に示した矢印は磁化ベクトルＭを示す（補正
トラック１６には示されていない）。
＃Ｉ３図には補正トラック１５の磁化にょ多発生する磁
気誘導Ｂ−ｂ−測定道程Ｘの関数として示されている。
気誘導Ｂ−ｂ−測定道程Ｘの関数として示されている。
ホール素子１７の長さもＬに等しいから（第２＆図）、
ホール発電器Ｒ１の出力端には一ホー＃を圧ＵＨ，＝Ｂ
ＯＣ−ＢＯ（Ｌ−Ｃ）＝Ｂｏ（２Ｃ−Ｌ）＃２ ｍ［類
の磁気誘導±Ｂｏの１周期内の平均値としてあられれる
。ホール素子１７の長さＬが磁化ＭＯ周期性りと合致し
ているため、ホール素子１７が移動しそして電けん操作
比≠が一定であれば、ホール素子１７から発生するホー
ル電圧唱は変化しない。１周期り以内の電けん操作比Ｃ
／Ｌが変化すればホール電圧Ｕ１１．は変化する。
ホール発電器Ｒ１の出力端には一ホー＃を圧ＵＨ，＝Ｂ
ＯＣ−ＢＯ（Ｌ−Ｃ）＝Ｂｏ（２Ｃ−Ｌ）＃２ ｍ［類
の磁気誘導±Ｂｏの１周期内の平均値としてあられれる
。ホール素子１７の長さＬが磁化ＭＯ周期性りと合致し
ているため、ホール素子１７が移動しそして電けん操作
比≠が一定であれば、ホール素子１７から発生するホー
ル電圧唱は変化しない。１周期り以内の電けん操作比Ｃ
／Ｌが変化すればホール電圧Ｕ１１．は変化する。
測長系の走査単位１２は、尺度１ｏの目盛シ１４を光電
的に走査する際、最大振ｒｔＪａの正確に正弦波状の２
つのアナログ信号（例えば電圧又は電流） Ｕ ＝ａｓｉｎｘ および １ Ｕ ＝ａｃｏａｘ （１
）を発生するものとしよう。これらの信号は測定方向判
別の丸め９０°だけ位相がずれている。目Ｊ４］Ｊ）
１４に誤差がある時には、双方のアナログ信号Ｕ、 、
Ｕ２の位相が補正されなければならない。
的に走査する際、最大振ｒｔＪａの正確に正弦波状の２
つのアナログ信号（例えば電圧又は電流） Ｕ ＝ａｓｉｎｘ および １ Ｕ ＝ａｃｏａｘ （１
）を発生するものとしよう。これらの信号は測定方向判
別の丸め９０°だけ位相がずれている。目Ｊ４］Ｊ）
１４に誤差がある時には、双方のアナログ信号Ｕ、 、
Ｕ２の位相が補正されなければならない。
即ち補正されたアナログ信号は
Ｕ、’＝ ａ ｇｉｎ（ｘ＋ｙ）＝ａ ｇｉｎｘｃｏｇ
ψ−１−ａｃｏａｘｓｉｎｐ［１２’＝＆ｃｏｍ（ｘ−
１−ｇ＋）＝ａ ｃｏａｘｃｏａｔｐ−ｓＬａｉｎｘｔ
ａｉｎｐ （２）式（１）を式（２）に挿入すれば Ｕ、’＝ Ｈ４ｃｏｇ ｔｐ ＋ Ｕ、 ｓｉｎ ｔｐ
Ｕ ２’ ＝Ｕ ２ ｃ ｏ ｓ ｑ−Ｕ 、ｓ ｉｎ
ｑ （５）が得られる。
ψ−１−ａｃｏａｘｓｉｎｐ［１２’＝＆ｃｏｍ（ｘ−
１−ｇ＋）＝ａ ｃｏａｘｃｏａｔｐ−ｓＬａｉｎｘｔ
ａｉｎｐ （２）式（１）を式（２）に挿入すれば Ｕ、’＝ Ｈ４ｃｏｇ ｔｐ ＋ Ｕ、 ｓｉｎ ｔｐ
Ｕ ２’ ＝Ｕ ２ ｃ ｏ ｓ ｑ−Ｕ 、ｓ ｉｎ
ｑ （５）が得られる。
上記の如く補正され九アナログ信号を得るためには、第
４図に示した如く、走査単位１２から得られる周期的な
２つのアナログ信号Ｕ１．Ｕ２に、式（５）により、そ
れぞれ因子ｓｉｎψ、Ｃ０８デを乗算器’１ ＋’２
ｔ’ｓ ＋Ｍ４の中で掛は算を行いそして引続き加算器
Ａ１．ム２の中で加算する。この際角ψは２つのアナロ
グ信号Ｕ、、Ｕ、の位相を補正する量である。
４図に示した如く、走査単位１２から得られる周期的な
２つのアナログ信号Ｕ１．Ｕ２に、式（５）により、そ
れぞれ因子ｓｉｎψ、Ｃ０８デを乗算器’１ ＋’２
ｔ’ｓ ＋Ｍ４の中で掛は算を行いそして引続き加算器
Ａ１．ム２の中で加算する。この際角ψは２つのアナロ
グ信号Ｕ、、Ｕ、の位相を補正する量である。
格子常数がｆである尺度では
Ｘ＝２に８／１
９＝２πｆ ／ を
但し８は尺度に対する走査単位の推移量であシ、ｆは位
相の補正を意味する。誤差補正のため、２つの因子５ｉ
ｎｐ、ｃｏ−ψが、測定道程Ｘの関数として、尺度１０
の目盛ｆｉ１４に沿った２つの補正トラック１５．１６
（第２ｂ図）から得られる。補正信号ｓｉｎ ９）
、 ００−ψを得るため補正トラック１５．１６をホー
ル素子１７．１８で走査することは、必要な乗算過程を
簡単に実施できる特徴を提供する。第５図によ）、図示
されていない走査単位１２の光電要素は、尺度１０の目
盛夛１４を走査する際式（１）Ｋ類似し、誤差をともな
った光電流 Ｊ ＝ａｓｉｎｍ Ｊ２ ＝ ＆ ００８ Ｘ を発生する。
相の補正を意味する。誤差補正のため、２つの因子５ｉ
ｎｐ、ｃｏ−ψが、測定道程Ｘの関数として、尺度１０
の目盛ｆｉ１４に沿った２つの補正トラック１５．１６
（第２ｂ図）から得られる。補正信号ｓｉｎ ９）
、 ００−ψを得るため補正トラック１５．１６をホー
ル素子１７．１８で走査することは、必要な乗算過程を
簡単に実施できる特徴を提供する。第５図によ）、図示
されていない走査単位１２の光電要素は、尺度１０の目
盛夛１４を走査する際式（１）Ｋ類似し、誤差をともな
った光電流 Ｊ ＝ａｓｉｎｍ Ｊ２ ＝ ＆ ００８ Ｘ を発生する。
この電流Ｊ、 、、Ｔ２は増巾器ｖ、 、Ｖ２で増巾さ
れそしてＶＪ、、ＶＪ２の信号となってホール発電器Ｈ
１゜Ｂ２に供給される。この＠Ｖは増巾器Ｖ、 、ｖ、
の増巾率である。
れそしてＶＪ、、ＶＪ２の信号となってホール発電器Ｈ
１゜Ｂ２に供給される。この＠Ｖは増巾器Ｖ、 、ｖ、
の増巾率である。
ホール発電器Ｈ，，Ｈ２から得られるホール電圧■ヨ、
ｌ”Ｂ２は、電流Ｊ、 、、Ｔ、と、磁化された補正ト
ラック１５．１４によって発生した誤差の経過の関数で
ある磁気誘導の積としてあられれる。従って（Ｋａ＝ミ
ニホールとして） Ｕｉ、＝ＶＪＩＢ１ （Ｘ） ＫＨ ＵＨ２＝ ＶＪ２Ｂ２ （Ｘ） ＫＨ となる。
ｌ”Ｂ２は、電流Ｊ、 、、Ｔ、と、磁化された補正ト
ラック１５．１４によって発生した誤差の経過の関数で
ある磁気誘導の積としてあられれる。従って（Ｋａ＝ミ
ニホールとして） Ｕｉ、＝ＶＪＩＢ１ （Ｘ） ＫＨ ＵＨ２＝ ＶＪ２Ｂ２ （Ｘ） ＫＨ となる。
誤差補正の丸めには補正信号は式（５）に対応して次の
様な後退を持っていなければならない。
様な後退を持っていなければならない。
即ち
Ｂ１ （Ｘ） ＝ Ｂ（１ｓｉｎ ｔｐ （ｘ）Ｂ２
（ｘ） ＝ Ｂｇ ｃｏ−デ（リホール電圧ＵＩ１１
、Ｕｉｔ＊は式（５）により、差働増巾器Ｄ１ ＋ ”
２１ Ｄｌ ｍ Ｄ４を介して加算器ムＳ、ム４に導か
れ、補正されたアナログシグナルＵＩＺｙ２１が得られ
る。
（ｘ） ＝ Ｂｇ ｃｏ−デ（リホール電圧ＵＩ１１
、Ｕｉｔ＊は式（５）により、差働増巾器Ｄ１ ＋ ”
２１ Ｄｌ ｍ Ｄ４を介して加算器ムＳ、ム４に導か
れ、補正されたアナログシグナルＵＩＺｙ２１が得られ
る。
磁化された補正トラック１５．１４は、図示されていな
い態様で、磁場板によって走査されることも可能である
。尺度の目盛シを光電的に走査する装置と結合した、特
に好都合な配置は、尺度が磁化可能な材料（例えば鋼）
から成〕立っている場合に得られる。この様な尺度は、
落射光線測定系の場合にのみ使用可能であるが１．光学
的目盛シ情報と磁気補正情報とを同時に担持することが
可能である。
い態様で、磁場板によって走査されることも可能である
。尺度の目盛シを光電的に走査する装置と結合した、特
に好都合な配置は、尺度が磁化可能な材料（例えば鋼）
から成〕立っている場合に得られる。この様な尺度は、
落射光線測定系の場合にのみ使用可能であるが１．光学
的目盛シ情報と磁気補正情報とを同時に担持することが
可能である。
別の可能性は、強磁性でない材料（例えば導磁率の小さ
なそして保磁力の少ない材料）から成る尺度の下に磁化
可能な材料から成る層を配置することである。
なそして保磁力の少ない材料）から成る尺度の下に磁化
可能な材料から成る層を配置することである。
第６図に示した別の形成によれば、透明な尺度５０上に
、目盛ｆｉ５１ｔ）傍に１本発明によ）２つの補正トラ
ック５２．５５が配置され、これらのトラックはそれぞ
れ光電要素５４，５５１１Ｃよ）透過光が走査される。
、目盛ｆｉ５１ｔ）傍に１本発明によ）２つの補正トラ
ック５２．５５が配置され、これらのトラックはそれぞ
れ光電要素５４，５５１１Ｃよ）透過光が走査される。
目ＪＬＤ Ｓ １も光電的に走査可能である。この際誤
差０１ｉＩ遥に従って補正情報を光学的に記録する丸め
の上記Ｏ補正トラック５２．！ｉ３は、尺度３０上の透
明又紘不透明の層から成）立ち、該層はそれらの巾が補
正情報に従って変調されている。透明な補正トラック５
２゜３５を不透明な層５６に形成するのは、レーザーを
用いるか又は放電加工によって行われる。
差０１ｉＩ遥に従って補正情報を光学的に記録する丸め
の上記Ｏ補正トラック５２．！ｉ３は、尺度３０上の透
明又紘不透明の層から成）立ち、該層はそれらの巾が補
正情報に従って変調されている。透明な補正トラック５
２゜３５を不透明な層５６に形成するのは、レーザーを
用いるか又は放電加工によって行われる。
補正信号は負の符号を持つととも可能であるからその都
度プッシュプル方式が必要となる。従って補正トラック
３２ 、３３は補正情報を記録するのに役立つ。
度プッシュプル方式が必要となる。従って補正トラック
３２ 、３３は補正情報を記録するのに役立つ。
補正トラックはまた、落射光線を用いて光電的に走査す
る様に形成することも可能である。
る様に形成することも可能である。
光学的補正トラックにおいては、すでに前述した磁場に
よる補正の場合に記載した如き、パルスの巾を変化する
方法も好都合に行われる。
よる補正の場合に記載した如き、パルスの巾を変化する
方法も好都合に行われる。
５ｇ７図には透明な尺度４０上に、図示されていない目
盛シの傍に、補正情報を光学的に記録するための２つの
補正トラック４１．４２が示されており、これらのトラ
ックは走査単位１２の内部にあってプッシュプル接続さ
れた２つの光電要素４５．４４によって走査される。光
電要素４５．４４又はそれらに対応する走査視野の長さ
はＬである。補正トラック４１．４２も１周期の長さＬ
を持っておプ、その際それぞれの周期は１つの透明およ
び１つの不透明の視野から成シ立っている。
盛シの傍に、補正情報を光学的に記録するための２つの
補正トラック４１．４２が示されており、これらのトラ
ックは走査単位１２の内部にあってプッシュプル接続さ
れた２つの光電要素４５．４４によって走査される。光
電要素４５．４４又はそれらに対応する走査視野の長さ
はＬである。補正トラック４１．４２も１周期の長さＬ
を持っておプ、その際それぞれの周期は１つの透明およ
び１つの不透明の視野から成シ立っている。
補正トラック４１では、不透明（斜線をはどこした）視
野の長さはＣであシ、そして透明な視野の長さはＬ−Ｃ
である。補正トラック４２では透明な視野の長さはＣで
Ｉｈシセして不透明（斜線をほどこした）視野の長さは
Ｌ−Ｃになっている。従って差動的に接続されている光
電要素４５．４４は補正トラック４１．４２を走査する
際電圧ｉ７＝ Ｕｏ（２Ｃ−Ｌ）を与えるが、この電圧
は操作比Ｃ／Ｌに依存し、そしてこの比Ｃ／Ｌが一定で
あれば、光電要素４５，４４の運動に関係がない。
野の長さはＣであシ、そして透明な視野の長さはＬ−Ｃ
である。補正トラック４２では透明な視野の長さはＣで
Ｉｈシセして不透明（斜線をほどこした）視野の長さは
Ｌ−Ｃになっている。従って差動的に接続されている光
電要素４５．４４は補正トラック４１．４２を走査する
際電圧ｉ７＝ Ｕｏ（２Ｃ−Ｌ）を与えるが、この電圧
は操作比Ｃ／Ｌに依存し、そしてこの比Ｃ／Ｌが一定で
あれば、光電要素４５，４４の運動に関係がない。
機械案内誤差と目盛誤差との別の補正が第８図によ）説
明される。測畏系の走査単位が次の様な誤差をとも表っ
たアナ党グ信号を与えるものとする。 Ｉｌ
ｌ：。
明される。測畏系の走査単位が次の様な誤差をとも表っ
たアナ党グ信号を与えるものとする。 Ｉｌ
ｌ：。
Ｕｌ ＝＝ ＆ ｇｉｎ ３Ｃ＋ ＆６Ｕ２ ＝ ｔ
） ００８ （！＋φ）＋ｂｏ （４）
但し＆６．ｂ６はアナログ信号Ｕ、、Ｕ、の零点誤差で
あシそしてψは２つのアナログ信号Ｕ、、Ｕ、の関の（
正確には９０°であるべき）位相角の誤差である。東に
アナログ信号Ｕ、 、Ｕｌは相異なる振巾ａ、ｂを持ち
、更に目盛〕は位相角ψに対応する誤差を持っているで
あろう。補正された誤差のな一アナログ信号は Ｕ１’ ＝ ａ ｓｉｎ （Ｘ＋Ｆ ）Ｈ，１＝ａ ｃ
ｏｓ （ｘ−１−９） （５）と表現
される。
） ００８ （！＋φ）＋ｂｏ （４）
但し＆６．ｂ６はアナログ信号Ｕ、、Ｕ、の零点誤差で
あシそしてψは２つのアナログ信号Ｕ、、Ｕ、の関の（
正確には９０°であるべき）位相角の誤差である。東に
アナログ信号Ｕ、 、Ｕｌは相異なる振巾ａ、ｂを持ち
、更に目盛〕は位相角ψに対応する誤差を持っているで
あろう。補正された誤差のな一アナログ信号は Ｕ１’ ＝ ａ ｓｉｎ （Ｘ＋Ｆ ）Ｈ，１＝ａ ｃ
ｏｓ （ｘ−１−９） （５）と表現
される。
先づ式、（４）で表現されている２つのアナログ信号Ｕ
、 、ｖ、が零点に関して補正される。そのためには定
数ＩＬ（１，ｋｌ（１がアナログ信号Ｔ：ｊ１．Ｕ、か
ら減算される。２つの定数ａｌ）、１１１）はまた測定
道程Ｘの関数でもあシ、そして尺度上の付加的な２つの
補正トラックから得られる。
、 、ｖ、が零点に関して補正される。そのためには定
数ＩＬ（１，ｋｌ（１がアナログ信号Ｔ：ｊ１．Ｕ、か
ら減算される。２つの定数ａｌ）、１１１）はまた測定
道程Ｘの関数でもあシ、そして尺度上の付加的な２つの
補正トラックから得られる。
上記の如く補正され九アナログ信号は次の通やである。
Ｕｌ ＝！Ｌ ８ｉｎ ！
Ｕ２２＝ ｂｃｏｓ（ｘ＋ψ）（６）
次にアナログ信号Ｕ、２に対して振巾補正が実施される
。それは 暑Ｕ２ｔ ＝；（ｂｃｏｓ（ｘ＋ψ））＝ａｃｏｓ（ｘ
＋φ）＝ Ｕ２３ （７）即ちこの補正のため式（６
）のＵ２２に因子−／ｂが掛算される。
。それは 暑Ｕ２ｔ ＝；（ｂｃｏｓ（ｘ＋ψ））＝ａｃｏｓ（ｘ
＋φ）＝ Ｕ２３ （７）即ちこの補正のため式（６
）のＵ２２に因子−／ｂが掛算される。
振巾補正されたアナログ信号Ｕ２５は次に位相φに関し
て補正される。それは Ｕ２’ ＝ ＳＬ ００８ （Ｘ−）＄） ＝ ＩＬ
００８ Ｘ ００８φ−ａ ｓｉｎ ｘ ｓｉｎφ （
８）これから ＩＬ ００１１ Ｘ ＝ （Ｕ２ｓ＄１Ｌ ８ｉｎ Ｘ
ＩＬＩｉｎす）／ｃｏｓす （９）が得
られる。補正値ψが小さい場合にはｃｏｓ←１と置ける
から、 Ｕ２’ ＝ ＆ ＣＯａ Ｘ ＝ Ｕ２’ ＋＆ １１
１Ｊ１ Ｘ １ｌｉｌｌφ＝″−Ｕ２’ ＋Ｕ１ ’
ｌ１ｉｎφ） θ０） 今や信号Ｕ、２とＵ２４を用いて位相４１に関する補正
が実施される。式（５）から Ｕ１’ ＝ ＩＬ ｓｉｎ Ｘ ａｏｓ ９１ ＋＆
ＯＯａ Ｘ ｓｉｎ ９＝ Ｕｌ ０（８１９１＋Ｕ
２ ｇｉｎ ｆ− Ｕｌ ＆ ００８！ ００８９１− ＆ ＃ｉｎＸ
８１ｎ９１ Ｑｌ）＝＝ Ｕｌ ００８９１
−馬ｇｉｎ ｐが得られ、従って補正の九めＫは補正信
号ＩＬ（１゜ｂｇ、ａ／ｂ、ｓｉｎψ、 ｓｉｎ ？、
ｃｏｓ ｔｐが必要であるが、それらはそれぞれ尺度
上の補正トラックにょ夛得られる。
て補正される。それは Ｕ２’ ＝ ＳＬ ００８ （Ｘ−）＄） ＝ ＩＬ
００８ Ｘ ００８φ−ａ ｓｉｎ ｘ ｓｉｎφ （
８）これから ＩＬ ００１１ Ｘ ＝ （Ｕ２ｓ＄１Ｌ ８ｉｎ Ｘ
ＩＬＩｉｎす）／ｃｏｓす （９）が得
られる。補正値ψが小さい場合にはｃｏｓ←１と置ける
から、 Ｕ２’ ＝ ＆ ＣＯａ Ｘ ＝ Ｕ２’ ＋＆ １１
１Ｊ１ Ｘ １ｌｉｌｌφ＝″−Ｕ２’ ＋Ｕ１ ’
ｌ１ｉｎφ） θ０） 今や信号Ｕ、２とＵ２４を用いて位相４１に関する補正
が実施される。式（５）から Ｕ１’ ＝ ＩＬ ｓｉｎ Ｘ ａｏｓ ９１ ＋＆
ＯＯａ Ｘ ｓｉｎ ９＝ Ｕｌ ０（８１９１＋Ｕ
２ ｇｉｎ ｆ− Ｕｌ ＆ ００８！ ００８９１− ＆ ＃ｉｎＸ
８１ｎ９１ Ｑｌ）＝＝ Ｕｌ ００８９１
−馬ｇｉｎ ｐが得られ、従って補正の九めＫは補正信
号ＩＬ（１゜ｂｇ、ａ／ｂ、ｓｉｎψ、 ｓｉｎ ？、
ｃｏｓ ｔｐが必要であるが、それらはそれぞれ尺度
上の補正トラックにょ夛得られる。
次の処置が必要である。
Ｕ１２＝ Ｕｌ −ＩＬ（Ｉ
Ｕｌ・＝Ｕ２−ｂ。 零点補正Ｕ２５＝”
−０２２ 、振巾補正 Ｕｌ 、＝：ｌＪＩ Ｃ０Ｂ９＋＋Ｕ２５ｉｎｐ
機械誤差および目盛シＵ２ Ｕｌ ＣＣＭＩ９−
馬ａｉｎｑ 誤差補正２つの信号Ｕ１．Ｕ２間のア
ナログ信号の間の位相角補正ψが大であ夛、従ってＣＯ
＃ψ〜１が成シ立たない場合には式θ０）の代シに と書き換えられる。従って更に付加的な補正信号１／ｃ
ｏｏφが必要であシ、この信号は別の補正トラックから
得られる。その際補正信号をａｉｎψと１／ｃｏｓφに
又はｔａｎψと１／ｃ ｏ ａψに又はａハｅ０６ψと
ｔａｎψに分割するのは選択的に可能である。
−０２２ 、振巾補正 Ｕｌ 、＝：ｌＪＩ Ｃ０Ｂ９＋＋Ｕ２５ｉｎｐ
機械誤差および目盛シＵ２ Ｕｌ ＣＣＭＩ９−
馬ａｉｎｑ 誤差補正２つの信号Ｕ１．Ｕ２間のア
ナログ信号の間の位相角補正ψが大であ夛、従ってＣＯ
＃ψ〜１が成シ立たない場合には式θ０）の代シに と書き換えられる。従って更に付加的な補正信号１／ｃ
ｏｏφが必要であシ、この信号は別の補正トラックから
得られる。その際補正信号をａｉｎψと１／ｃｏｓφに
又はｔａｎψと１／ｃ ｏ ａψに又はａハｅ０６ψと
ｔａｎψに分割するのは選択的に可能である。
補正されたアナログ信号”１’ ｒ ”２’を、誤差を
含んだアナログ信号Ｕ、 、Ｕｌから、乗算器４〜ｌｈ
ｔを用い、加算器ム５〜ム９を用いて得られることは第
８図によシ容易に判明する。これらの数学的処置は評価
単位の中の通常の構成要素を用いて実施可能である。
含んだアナログ信号Ｕ、 、Ｕｌから、乗算器４〜ｌｈ
ｔを用い、加算器ム５〜ム９を用いて得られることは第
８図によシ容易に判明する。これらの数学的処置は評価
単位の中の通常の構成要素を用いて実施可能である。
補正トラックは補正情報の誘導的又は容量的な記録とし
て形成されることも可能である。
て形成されることも可能である。
上記の補正装置は磁気的、誘導的および容量的位置測定
系においても適用可能である。
系においても適用可能である。
ａｌｔａｔｂ図はｍｉｋ系の横断面と縦断面図を示し、
第２ ａ、ｂ、ｃ図は磁気補正を有する尺度の３・１′
１１ つの正面図を示し１、第５図は１つの機能を示す線図、
第４図は誤差補正のためのブロック結線図、第５図は第
４図にホール素子を加え九ブロック結線図、第６図は光
電的補正のための尺度、第７図は光電的補正の丸めの別
の尺度、第８図は誤差補正のための別のブロック結線図
を示す。 図において、 １０；３０；４０・・・尺度 １２・・・走査単位 １４；５１ ・・・目盛プ １５．１６・・・補正トラック １７．１８・・・ホール素子 ５２．５５：４１．４２日・補正トラック５４．５５；
４５，４４・・・光電要素３６・・・層 Ｕｌ 、Ｕｆｆｉ ；Ｊｔ ｅＪ２・・・アナログ信号
ｉ２″゛ 代理人 江 崎 光 好ｂｊ ”； 第２０図 第３図 第４図 第５図 第７図
第２ ａ、ｂ、ｃ図は磁気補正を有する尺度の３・１′
１１ つの正面図を示し１、第５図は１つの機能を示す線図、
第４図は誤差補正のためのブロック結線図、第５図は第
４図にホール素子を加え九ブロック結線図、第６図は光
電的補正のための尺度、第７図は光電的補正の丸めの別
の尺度、第８図は誤差補正のための別のブロック結線図
を示す。 図において、 １０；３０；４０・・・尺度 １２・・・走査単位 １４；５１ ・・・目盛プ １５．１６・・・補正トラック １７．１８・・・ホール素子 ５２．５５：４１．４２日・補正トラック５４．５５；
４５，４４・・・光電要素３６・・・層 Ｕｌ 、Ｕｆｆｉ ；Ｊｔ ｅＪ２・・・アナログ信号
ｉ２″゛ 代理人 江 崎 光 好ｂｊ ”； 第２０図 第３図 第４図 第５図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）２つの対象物の相対位置を測定するため、１つの
尺度が１つの対象物に結合しそして該尺度の目盛シが走
査単位によ多走査され、該走査単位は別の対象物に結合
してお）、そして目盛）を走査することによって走査単
位から得られる周期的なアナログ信号が評価単位に供給
される精密機械又は精密装置の位置測定系における誤差
補正、特に機械誤差および／ｌたは目＆夛誤差補正のた
めの装置において、尺度（１０；５０；４０ ）の目盛
シ（１４；３１）には補正情報を提示する補正トラック
（１５，１６；３２゜５５：４１．４２）が付設され、
骸トラックは走査単位（１つの要素（１７，１Ｂ：５４
，５５：４５，４４ ） によりアナログ補正信号を
発生するために走査され、七〇際アナログ補正信号社、
誤差を含んだ信号の媒介変数を補正するため、走査単位
０めから得られるアナログ信号（Ｕ、、Ｕ、；Ｊ、、Ｊ
２）に重畳させられることを％黴とする補正装置。 （２） 補正情報は補正トラック（１５，１６）上に
磁気的に記録されている、特許請求の範曲ａ１！１項記
載の装置。 （３）補正情報は補正トラック（５２，５５，４１，４
２）上に光学的に記録されている、特許請求の範囲第１
項記載の装置。 （４）補正トラック（１５，１６）は磁化可能な箔から
形成されている、％杵請求の範囲第２項記載の装置。 （５）袖１トラック（ｉ５，１６）は磁化可能な層から
形成されている、特許請求の範囲第２項記載の装置。 （６）補正トラック（１５，１６）はパルスの巾によっ
て変調されるように構成した、特許請求の範囲第２項記
載の装置。 （７）補正トラック（Ｉｓ、１．６）は素子（１７，１
８）によって走査されるように櫓、成し丸、特許請求の
範囲第２項記載の装置。 （８）補正トラック（１５，Ｌ６）は磁場板によって走
査されるように構成した、特許請求の範囲第２項記載の
装置。 ＋９） ｍ子（１７、１８）および磁場板の長さＬは
補正トラック（１５，１６）の周期の長さＬに合致して
いる、特許請求の範囲第２または第７または第８項記載
の装置。 （１０）尺度は磁化可能な材料、特に鋼から成）立って
いる、特許請求の範囲第１項記載の装置。 （１１）補正トラック（５２，５５：４１．４２）は走
査単位（１２）の光電要素（５４，３５；４３，４４）
により、透過光又は落射光線で走査されるように構成し
た、特許請求の範囲第５項記載の装置。 （１２）補正トラック（５２，１５）は不透明な層（５
優に透明な条痕として形成されている。特許請求の範囲
第３項記載の装置。 （坤 補正トラック（３２，３５）は振巾変調されてい
る、特許請求の範囲第３項記載の装置。 （１４）透明な条痕はレーザー又は放電加工により形鳴
されるように構成した、特許請求の範囲第１２１Ａ記載
の装置。 （坤 補正トラック（４１，４２）はパルスの巾によっ
て変調されるように構成した１％許趙求の範囲第３項記
載の装置。 （１つ パルスの巾による変調は、１周期の兼さＬを有
する周期内における不透明及び透明な視野によシ実現さ
れるように構成した、％許請求の範囲第３項記載の装置
。 θ″Ｉ）光電要素（４５，４４）の長さＬは補正トラッ
ク（４１，４２）の１周期の長さＬに合致している、特
許請求の範１ｅｆｌ第３または１１または１６項記載の
装置。 ０８）補正トラック（３２，３３；４１，４２）はプッ
シュプル条痕として形成されている％特許請求の範囲第
３項記載の装置。 θ９）補正情報が補正トラック上に誘導的に記録されＣ
″′る・特許請求の範−第１ＪＪｊ記載０装′Ｔ 置Ｏ− （Ｑ）補正情報が補正トラック上に容量的に記録されて
いる、特許請求の範囲第１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823201005 DE3201005A1 (de) | 1982-01-15 | 1982-01-15 | Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen |
| DE32010052 | 1982-01-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123411A true JPS58123411A (ja) | 1983-07-22 |
| JPH049241B2 JPH049241B2 (ja) | 1992-02-19 |
Family
ID=6153085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58003602A Granted JPS58123411A (ja) | 1982-01-15 | 1983-01-14 | 位置測定系における誤差補正装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4490914A (ja) |
| EP (1) | EP0085148B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58123411A (ja) |
| AT (1) | ATE38431T1 (ja) |
| BR (1) | BR8300142A (ja) |
| DE (1) | DE3201005A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62500543A (ja) * | 1984-10-08 | 1987-03-05 | アクチエンゲゼルシャフト・フュ−ル・インヅストリエル・エレクトロニ−ク・アギ−・ロ−ソネ・バイ・ロカルノ | ２個の部材の位置又はそれらの移動を制御するためにそれらの間の相対的位置を決定するための装置及びこの装置の運転方法 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3208591C2 (de) * | 1982-03-10 | 1986-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3216616C2 (de) * | 1982-05-04 | 1985-06-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3334398C1 (de) * | 1983-09-23 | 1984-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
| US4631520A (en) * | 1984-06-08 | 1986-12-23 | Dynamics Research Corporation | Position encoder compensation system |
| WO1988006717A1 (en) * | 1987-02-24 | 1988-09-07 | Renishaw Plc | Scales for position determining apparatus |
| GB2218541B (en) * | 1988-05-11 | 1993-04-21 | Instance Ltd David J | Method of and apparatus for producing labels |
| DE4242145A1 (de) * | 1992-12-14 | 1994-06-16 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Ausgleich eines Fehlwinkels zwischen einem cosinus- und einem sinusförmigen, lageabhängigen Meßsignal bei einem Winkelgeber bzw. einem Linearmaßstab |
| EP0656138B1 (de) * | 1993-06-22 | 1999-08-25 | Prüftechnik Dieter Busch Ag | Verfahren und vorrichtung zum feststellen des zustandes von maschinen mit mehreren messstellen |
| EP0652419B1 (de) * | 1993-11-09 | 1996-03-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Korrektur des Phasenfehlers bei der Auswertung von Inkrementalgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen |
| DE19548385C2 (de) * | 1995-12-22 | 1998-11-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Ermittlung der Winkelposition einer Drehachse eines Gegenstandes durch einen Rechner |
| DE19641035C2 (de) * | 1996-10-04 | 1999-09-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung |
| DE19712622C5 (de) * | 1997-03-26 | 2010-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung und Verfahren zur automatischen Korrektur fehlerbehafteter Abtastsignale inkrementaler Positionsmeßeinrichtungen |
| EP1006342B1 (de) * | 1998-12-03 | 2003-09-03 | Schneeberger Holding AG | Markierungsverfahren von Messspuren |
| DE19950902A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-23 | Ds Technologie Werkzeugmaschb | System und Verfahren zur Steuerung einer Positioniereinrichtung, insbesondere von Stellantrieben bei Werkzeugmaschinen, sowie Phasenmischvorrichtung |
| DE10049502A1 (de) | 2000-10-06 | 2002-04-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Vorrichtung zur absoluten Positionsbestimmung |
| CN1293363C (zh) * | 2005-03-29 | 2007-01-03 | 中国科学院力学研究所 | 一种坡体表面位移测量方法和装置 |
| KR100955549B1 (ko) * | 2005-11-28 | 2010-04-30 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 위치 검출 오차 보정 방법 |
| JP5115610B2 (ja) * | 2010-09-23 | 2013-01-09 | 株式会社デンソー | 回転角検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49129557A (ja) * | 1973-04-12 | 1974-12-11 | ||
| JPS5017668A (ja) * | 1973-05-14 | 1975-02-25 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE866402C (de) * | 1944-02-29 | 1953-02-09 | Leitz Ernst Gmbh | Messeinrichtung mit einer Vorrichtung zur Berichtigung des Messstreckenfehlers |
| DE1138558B (de) * | 1957-09-27 | 1962-10-25 | Continental Elektro Ind Ag | Einrichtung zum Messen von Lageaenderungen durch objektives Abzaehlen der Teilungsmarken einer gegenueber mehreren Ablesestellen bewegten Teilung |
| CH407569A (de) * | 1963-12-04 | 1966-02-15 | Contraves Ag | Digitale Auswerteeinrichtung für stetig veränderliche Messgrössensignale |
| DE1552273B2 (de) * | 1965-01-28 | 1973-02-15 | Fujitsu Ltd, Kawasaki, Kanagawa (Japan) | Vorrichtung zum ausgleich der steigungsfehler einer vorschubspindel |
| US3555254A (en) * | 1967-04-17 | 1971-01-12 | Gerber Scientific Instr Co | Error correcting system and method for use with plotters, machine tools and the like |
| CA925183A (en) * | 1967-09-05 | 1973-04-24 | The Warner And Swasey Company | Error-compensated position determining system |
| DE1623905A1 (de) * | 1967-11-25 | 1971-04-01 | Wenczler & Heidenhain | Einrichtung zum Bestimmen der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Teile |
| DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
| DE2729697A1 (de) * | 1977-07-01 | 1979-01-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur interpolation |
| DE2732909C3 (de) * | 1977-07-21 | 1979-11-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales Lagemeflsystem |
| US4143267A (en) * | 1977-12-23 | 1979-03-06 | Johnson Lonnie G | Digital distance measuring instrument |
| CH612500A5 (en) * | 1978-01-20 | 1979-07-31 | Hans Litscher | Length- and angle-measuring instrument having secondary stepped scales |
| DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
| GB2022843B (en) * | 1978-06-06 | 1982-09-02 | Smiths Industries Ltd | Determining carriage position |
| JPS5559314A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Sony Corp | Magnetic scale signal detector |
| DE2948854A1 (de) * | 1979-12-05 | 1981-06-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales messsystem |
| DE2952106C2 (de) * | 1979-12-22 | 1982-11-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE3007311C2 (de) * | 1980-02-27 | 1985-11-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| JPS56153212A (en) * | 1980-04-30 | 1981-11-27 | Toshiba Corp | Encoder |
| US4400890A (en) * | 1981-10-26 | 1983-08-30 | Sony Corporation | Length measuring device |
-
1982
- 1982-01-15 DE DE19823201005 patent/DE3201005A1/de active Granted
- 1982-11-19 AT AT82110706T patent/ATE38431T1/de not_active IP Right Cessation
- 1982-11-19 EP EP82110706A patent/EP0085148B1/de not_active Expired
-
1983
- 1983-01-04 US US06/455,604 patent/US4490914A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-01-13 BR BR8300142A patent/BR8300142A/pt not_active IP Right Cessation
- 1983-01-14 JP JP58003602A patent/JPS58123411A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49129557A (ja) * | 1973-04-12 | 1974-12-11 | ||
| JPS5017668A (ja) * | 1973-05-14 | 1975-02-25 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62500543A (ja) * | 1984-10-08 | 1987-03-05 | アクチエンゲゼルシャフト・フュ−ル・インヅストリエル・エレクトロニ−ク・アギ−・ロ−ソネ・バイ・ロカルノ | ２個の部材の位置又はそれらの移動を制御するためにそれらの間の相対的位置を決定するための装置及びこの装置の運転方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0085148A3 (en) | 1986-09-17 |
| JPH049241B2 (ja) | 1992-02-19 |
| ATE38431T1 (de) | 1988-11-15 |
| DE3201005A1 (de) | 1983-07-28 |
| DE3201005C2 (ja) | 1987-11-12 |
| BR8300142A (pt) | 1983-10-04 |
| EP0085148A2 (de) | 1983-08-10 |
| EP0085148B1 (de) | 1988-11-02 |
| US4490914A (en) | 1985-01-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58123411A (ja) | 位置測定系における誤差補正装置 | |
| US4318617A (en) | DC Shift error correction for electro-optical measuring system | |
| CN104913792B (zh) | 位置检测装置 | |
| US5412317A (en) | Position detector utilizing absolute and incremental position sensors in combination | |
| JP2846814B2 (ja) | 位置測定装置 | |
| JP2008532039A (ja) | 磁気マーキングによって包装材料の位置を検出する位置検出器および方法 | |
| KR20080012823A (ko) | 인코더 신호의 위상 보정 회로 | |
| US20130204574A1 (en) | Method for Estimating Positions Using Absolute Encoders | |
| JPH0611358A (ja) | 位置測定装置 | |
| CN103718056A (zh) | 磁场测量装置 | |
| US9915551B2 (en) | Method for dynamic linearisation of sensor signals from a magnetic strip length measuring system | |
| US7251575B2 (en) | Position measuring method and position measuring system used in the multiplication of signal periods | |
| JP2572026B2 (ja) | 速度信号発生装置 | |
| US8274274B2 (en) | Position/displacement measuring system | |
| DE59206004D1 (de) | Geber zur induktiven Erzeugung eines Messsignals | |
| US6556509B1 (en) | Demodulator and method for interferometric outputs of increased accuracy | |
| Ye et al. | Precise and robust position estimation for optical incremental encoders using a linearization technique | |
| DE3208591C2 (de) | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem | |
| US7748251B2 (en) | Circuit configuration and method for ascertaining tilt errors in connection with a position-measuring device | |
| US5841275A (en) | Magnetic measuring system having a particularly oriented auxiliary field | |
| JP2839340B2 (ja) | 位置信号の校正装置 | |
| CN101101213A (zh) | 一种补偿数字闭环光纤陀螺标度因数非线性度的方法 | |
| US6501262B1 (en) | Method for applying and correcting measuring marks on a carrier | |
| JP2004309366A (ja) | 位置検出装置 | |
| EP1116331A1 (en) | Precision position encoder using coarse position indicator |