JPS5812280U - 石英ガラス製フランジ部の構造 - Google Patents

石英ガラス製フランジ部の構造

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JPS5812280U
JPS5812280U JP10499281U JP10499281U JPS5812280U JP S5812280 U JPS5812280 U JP S5812280U JP 10499281 U JP10499281 U JP 10499281U JP 10499281 U JP10499281 U JP 10499281U JP S5812280 U JPS5812280 U JP S5812280U
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JP
Japan
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quartz glass
glass flange
flange
welding
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JP10499281U
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宏 鈴木
優 青木
今　民夫
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東芝セラミツクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す概略断面図、第２図〜
第５図は本考案のフランジ部と従来の不透明石英ガラス
製フランジ部の表面荒さを計測した図である。 １・・・不透明石英ガラス、２・・・フランジ部、３・
・・透明石英ガラス製フランジ部、４・・・シール面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 不透明ガラス製容器本体のシール部に透明石英ガラス製
    フランジを溶着してなる石英ガラス製フランジ部の構造
    。
JP10499281U 1981-07-15 1981-07-15 石英ガラス製フランジ部の構造 Granted JPS5812280U (ja)

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JPS5812280U true JPS5812280U (ja) 1983-01-26
JPH0143164Y2 JPH0143164Y2 (ja) 1989-12-14

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1053498A (ja) * 1996-08-07 1998-02-24 Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk 半導体ウェーハの反応容器と該容器を用いた熱処理装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6078407B2 (ja) * 2013-04-05 2017-02-08 古河機械金属株式会社 ベルジャ

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JPS5623741A (en) * 1979-08-06 1981-03-06 Toshiba Ceramics Co Ltd Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor

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