JPS5812280U - 石英ガラス製フランジ部の構造 - Google Patents
石英ガラス製フランジ部の構造Info
- Publication number
- JPS5812280U JPS5812280U JP10499281U JP10499281U JPS5812280U JP S5812280 U JPS5812280 U JP S5812280U JP 10499281 U JP10499281 U JP 10499281U JP 10499281 U JP10499281 U JP 10499281U JP S5812280 U JPS5812280 U JP S5812280U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- glass flange
- flange
- welding
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す概略断面図、第2図〜
第5図は本考案のフランジ部と従来の不透明石英ガラス
製フランジ部の表面荒さを計測した図である。 1・・・不透明石英ガラス、2・・・フランジ部、3・
・・透明石英ガラス製フランジ部、4・・・シール面。
第5図は本考案のフランジ部と従来の不透明石英ガラス
製フランジ部の表面荒さを計測した図である。 1・・・不透明石英ガラス、2・・・フランジ部、3・
・・透明石英ガラス製フランジ部、4・・・シール面。
Claims (1)
- 不透明ガラス製容器本体のシール部に透明石英ガラス製
フランジを溶着してなる石英ガラス製フランジ部の構造
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10499281U JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10499281U JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5812280U true JPS5812280U (ja) | 1983-01-26 |
JPH0143164Y2 JPH0143164Y2 (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=29899545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10499281U Granted JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5812280U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1053498A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | 半導体ウェーハの反応容器と該容器を用いた熱処理装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6078407B2 (ja) * | 2013-04-05 | 2017-02-08 | 古河機械金属株式会社 | ベルジャ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5037354A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-08 | ||
JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1264400B (de) * | 1961-01-26 | 1968-03-28 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Gewinnung reinen Halbleitermaterials aus der Gasphase |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP10499281U patent/JPS5812280U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5037354A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-08 | ||
JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1053498A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | 半導体ウェーハの反応容器と該容器を用いた熱処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0143164Y2 (ja) | 1989-12-14 |
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