JPS58116771A - 薄膜トランジスタアクテイブマトリクス基板の製造方法 - Google Patents
薄膜トランジスタアクテイブマトリクス基板の製造方法Info
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- JPS58116771A JPS58116771A JP21295681A JP21295681A JPS58116771A JP S58116771 A JPS58116771 A JP S58116771A JP 21295681 A JP21295681 A JP 21295681A JP 21295681 A JP21295681 A JP 21295681A JP S58116771 A JPS58116771 A JP S58116771A
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は4躾トランジスタで構成されるアクティブマ)
IJクス基板の製造方法に閣するものである。さらに
は前記基板上に形成する透明導電膜を用いた液晶1に他
の製造方法に関するものである。
IJクス基板の製造方法に閣するものである。さらに
は前記基板上に形成する透明導電膜を用いた液晶1に他
の製造方法に関するものである。
近年平&型液晶ディスル−FiN時計電卓玩其を始めと
して、自動単針1111J器情報機器端末へと応用分野
か拡大されつつあり、特に蛾近においては。
して、自動単針1111J器情報機器端末へと応用分野
か拡大されつつあり、特に蛾近においては。
半導体集積回路技術によってシリコン基板上へ。
スイッチング用トランジスタ回*をマトリクス状に形成
しこのシリコン基板と透明ガラス板間に液晶會封入した
テレビ画像表示用の液晶ディスプレーバネルか開発され
ている。
しこのシリコン基板と透明ガラス板間に液晶會封入した
テレビ画像表示用の液晶ディスプレーバネルか開発され
ている。
アクティブマトリクス方式で液晶パネルtS成した例で
は前記単結晶シリコン基板を用いたもの中ガラス基板上
に薄膜トランジスタを形成したものなどが既に報告され
てい為。
は前記単結晶シリコン基板を用いたもの中ガラス基板上
に薄膜トランジスタを形成したものなどが既に報告され
てい為。
中でも大型パネル化ならびに製造コスト面あるいは表示
特性から前記ガラス等の透明基板上に薄膜トランジスタ
を形成してなるアクティブマトリクス基板は将来有望な
方式と考えられている。
特性から前記ガラス等の透明基板上に薄膜トランジスタ
を形成してなるアクティブマトリクス基板は将来有望な
方式と考えられている。
#膜トランジスタで構成されたアクティブマトリクス基
板は薬1図の平rkJ図の如くであり薄膜トランジスタ
のソース部はビデオラインIK*続されドレインsFi
g晶111c極2に接続されている。
板は薬1図の平rkJ図の如くであり薄膜トランジスタ
のソース部はビデオラインIK*続されドレインsFi
g晶111c極2に接続されている。
促米挺晶IIL極の透明導電Sは一般的に工τO膜とい
われている酸化インジウムスズか用いられている(以下
ITO躾と称すンか約350℃以上の熱処理では低抗厘
か大巾に高くなることから液晶電極の形成は薄膜トラン
ジスタのソースドレイン部の形成後層関絶娯堆積以降の
工程にて行なう。
われている酸化インジウムスズか用いられている(以下
ITO躾と称すンか約350℃以上の熱処理では低抗厘
か大巾に高くなることから液晶電極の形成は薄膜トラン
ジスタのソースドレイン部の形成後層関絶娯堆積以降の
工程にて行なう。
しかし工τ0瞑形成後にビデオラインのアルミ配−會形
成するとアルミ配線のエツチング液であるリン1系の混
合液にて工τ0膜も同時にエツチングされてしまうため
一般的にはgz゛Igの如くビデオラインのアルミ配m
5t−先に形成しITO展4にてアルミ配I@を完全に
カバーした状態にてIT。
成するとアルミ配線のエツチング液であるリン1系の混
合液にて工τ0膜も同時にエツチングされてしまうため
一般的にはgz゛Igの如くビデオラインのアルミ配m
5t−先に形成しITO展4にてアルミ配I@を完全に
カバーした状態にてIT。
膜管エツチングする方式が採用さnている。
しかし前記方式では以下に記す欠点か生じる。
先ず41の欠点はアルミ配mtxTo膜にてカバーしレ
ジストをマスクにITOBst−エツチングしてもIT
O展が非常に薄い(約5ooltために段差部における
ステップカバレージか愚〈エツチング液のしみ込みKよ
るアルミ配−の断線が生じやすく又パターニング時のパ
ターンずれにより貴圓からのエツチングの進行も欠点の
1つである。
ジストをマスクにITOBst−エツチングしてもIT
O展が非常に薄い(約5ooltために段差部における
ステップカバレージか愚〈エツチング液のしみ込みKよ
るアルミ配−の断線が生じやすく又パターニング時のパ
ターンずれにより貴圓からのエツチングの進行も欠点の
1つである。
又部2の欠点としては第3図の如くビデオラインのアル
ミ配#3’に前記理由にてlTO展4′を2〜3μオー
バーラツプさせて形成するためその分液晶電極5の面積
は配線とのショートをさけるため制限管受ける。そのた
め1iii素中における駆動面積比率か105#6以上
低下しコントラスト低下によって表示特性か着しく影響
を受ける給米となる。
ミ配#3’に前記理由にてlTO展4′を2〜3μオー
バーラツプさせて形成するためその分液晶電極5の面積
は配線とのショートをさけるため制限管受ける。そのた
め1iii素中における駆動面積比率か105#6以上
低下しコントラスト低下によって表示特性か着しく影響
を受ける給米となる。
不党明は@1方式の欠点?:#去するものであり、すな
わち躯#面積比を可能な限り大きく収るためビデオライ
ンの配麹前に液晶電極管形成し、しかもアルミ配線形成
のために用いら扛るリン酸系のエツチング液からITo
膜t−保−するため1τ0膜上にスパッタにて酸化シ
リコン膜を薄く形成するものである。
わち躯#面積比を可能な限り大きく収るためビデオライ
ンの配麹前に液晶電極管形成し、しかもアルミ配線形成
のために用いら扛るリン酸系のエツチング液からITo
膜t−保−するため1τ0膜上にスパッタにて酸化シ
リコン膜を薄く形成するものである。
以下本発明の実施例について詳細に貌明する。
先ず第4図の如く透明i!+板上に絶縁線6を形成後多
結昂シリコン換7を3000X推槓する。次にホトリソ
グラフィーにてトランジスタ部のみkfiして不用の多
結晶シリコンを除し、しかる後多結晶シリコン展表IN
!1it−約tsooX熱−化しゲート族を形成する。
結昂シリコン換7を3000X推槓する。次にホトリソ
グラフィーにてトランジスタ部のみkfiして不用の多
結晶シリコンを除し、しかる後多結晶シリコン展表IN
!1it−約tsooX熱−化しゲート族を形成する。
次に基板主向上に多結晶シリコン膜會推檀しリンの高#
度拡散を行なった後ホトリソクラフィー加工にてゲート
電極s8及びゲートラインを形成する。
度拡散を行なった後ホトリソクラフィー加工にてゲート
電極s8及びゲートラインを形成する。
次に前にゲート電惚部及びゲートライン部をマスクとし
てソース、ドレイン部に高一度リンのイオン打込みを行
ないつづいて層關杷媛1%119全気相生兼法にて堆積
する。
てソース、ドレイン部に高一度リンのイオン打込みを行
ないつづいて層關杷媛1%119全気相生兼法にて堆積
する。
次にホトリソグラフィーによる加工にてコンタクトホー
ルを開孔した機工TOJI110ケ300Xスパツタ形
成する。
ルを開孔した機工TOJI110ケ300Xスパツタ形
成する。
次に同一チャンパーにてシリコン酸化膜11を5001
形成する。
形成する。
前記シリコン酸化膜はフッ酸系のエツチング液にて液晶
電極部金銭してホトリソグラフィー加工を行なったのち
つづけて下層のITO腰1r塩酸硝酸混合准にてエツチ
ング除去する。
電極部金銭してホトリソグラフィー加工を行なったのち
つづけて下層のITO腰1r塩酸硝酸混合准にてエツチ
ング除去する。
次に歇晶g極sk含む1叡主面全体に配線用アルミシリ
コン合金膜ヲ約1μスパッターLビデオライン12→の
配−を形成する。
コン合金膜ヲ約1μスパッターLビデオライン12→の
配−を形成する。
以上の如く本発明はビデオラインのアルミシリコン腺の
エツチングの際すでに形成渦みの工To膜を保護膜とし
て用いたシリコン酸化膜によってリンー系エツチング准
から完全に保護さnているため工TO躾はなんら変質な
く安定な電極として形成が可能でありしかも保護膜形成
に際しては殆んど熱の加わらないスパッター法を採用し
たため、電極形成後の電極抵抗は先んどスパッタ時と変
化ない。
エツチングの際すでに形成渦みの工To膜を保護膜とし
て用いたシリコン酸化膜によってリンー系エツチング准
から完全に保護さnているため工TO躾はなんら変質な
く安定な電極として形成が可能でありしかも保護膜形成
に際しては殆んど熱の加わらないスパッター法を採用し
たため、電極形成後の電極抵抗は先んどスパッタ時と変
化ない。
又第5図の9口(I’rO電慣5′はビデオライン5′
にホ) IJツクラフイー加工に於ける砿細技俯の軛囲
内にて9舵な限り近接形成が出来るため1幽系中におけ
る駆動面積比率も従来に比べて10%以上回上しコント
ラストの良い表示品實の良好な1&昂パネル提供出来る
ものである。
にホ) IJツクラフイー加工に於ける砿細技俯の軛囲
内にて9舵な限り近接形成が出来るため1幽系中におけ
る駆動面積比率も従来に比べて10%以上回上しコント
ラストの良い表示品實の良好な1&昂パネル提供出来る
ものである。
4、 回向の藺率な祝明
爾1凶は梃米のアクティブマトリクス1値の平面図であ
る。
る。
M2Li!Jij従来のアクティブマトリクス基板の断
面−である。
面−である。
第3図は従来のアクティブマトリクス基板の11111
1gの拡大平面図である。
1gの拡大平面図である。
4.4図は本発明によるアクティブマトリクス基板のm
’を面図である。
’を面図である。
第5凶は本発明によるアクティブマトリクス基板の1画
票の拡大平面図である。
票の拡大平面図である。
1・・・ビデオライン 7・・・多MJ&シリコン膜
2・・・液晶電1fJ8・・・ゲート電極部3.5′・
・・アルミ配Iw 9・・・層間絶縁暎4.4′・・
・ITO膜 10・・・工τ0膜5.5′・・・液
晶電極 11・・・シリコン酸化膜6・・・絶縁膜
12・・・ビデオライン。
2・・・液晶電1fJ8・・・ゲート電極部3.5′・
・・アルミ配Iw 9・・・層間絶縁暎4.4′・・
・ITO膜 10・・・工τ0膜5.5′・・・液
晶電極 11・・・シリコン酸化膜6・・・絶縁膜
12・・・ビデオライン。
以上
出願人 株式会社諏訪精工舎
代理人 弁理士蝋 上 務
第1図
第2図
一°530
第4図
第5V7I
Claims (1)
- 透明基板上に4換トランジスタで構成さnたアクティブ
マトリクス基板において、絶錐膜上に透明尋電−と絶#
膜會鵬次形成する工程とホ) IJソゲラフイーにて所
定の形状に前記絶縁膜と透明導電膜をエツチングした後
残存するレジストIsを除去する工程と基板主面上に配
線用金属@を形成する工根會具備することを特徴とする
薄膜トランジスタアクティブマトリクス基板の製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21295681A JPS58116771A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 薄膜トランジスタアクテイブマトリクス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21295681A JPS58116771A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 薄膜トランジスタアクテイブマトリクス基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58116771A true JPS58116771A (ja) | 1983-07-12 |
Family
ID=16631070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21295681A Pending JPS58116771A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 薄膜トランジスタアクテイブマトリクス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58116771A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60120322A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置 |
JPH03135525A (ja) * | 1983-09-20 | 1991-06-10 | Seiko Epson Corp | 固体イメージセンサーの製造方法 |
US5929958A (en) * | 1995-03-17 | 1999-07-27 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with wide viewing angle characteristics |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21295681A patent/JPS58116771A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03135525A (ja) * | 1983-09-20 | 1991-06-10 | Seiko Epson Corp | 固体イメージセンサーの製造方法 |
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US5929958A (en) * | 1995-03-17 | 1999-07-27 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with wide viewing angle characteristics |
US5956111A (en) * | 1995-03-17 | 1999-09-21 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with parallel field having particular spacing and width |
US5978059A (en) * | 1995-03-17 | 1999-11-02 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with wide viewing angle characteristics |
US6064460A (en) * | 1995-03-17 | 2000-05-16 | Hitachi, Ltd. | LCD with parallel field having counter electrode(s) at least equal to 1/2 width of video signal line |
US6201590B1 (en) | 1995-03-17 | 2001-03-13 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with double-layered structure for gate line and/or data line |
US6417906B2 (en) | 1995-03-17 | 2002-07-09 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with wide viewing angle characteristics |
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