JPH1197485A - Shifting and mounting method and device for conductive ball - Google Patents
Shifting and mounting method and device for conductive ballInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for transferring conductive balls to a workpiece.
【０００２】[0002]
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。2. Description of the Related Art A flip chip or a BGA (Ball G
2. Description of the Related Art As a method for manufacturing an electronic component with a bump such as a lid array, a method using a conductive ball such as a solder ball is known. Further, as a method of transferring the conductive balls to a work such as a chip or a substrate, a method using a suction head has been implemented.
【０００３】この方法は、容器などに貯留された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。In this method, conductive balls stored in a container or the like are vacuum-sucked into suction holes formed in a large number on the lower surface of a suction head, picked up, and the suction head is moved above a workpiece to move these conductive balls. Since the conductive balls are transferred onto the electrodes of the work, a large number of conductive balls can be collectively transferred to the work, and thus there is an advantage that workability is good.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。However, in the method in which the conductive balls are transferred to the work by using the suction head, when the conductive balls are vacuum-sucked, a pickup error as described below is likely to occur. . That is, when vacuum suction of the conductive balls is performed by the suction head, the suction head is lowered into the supply section of the conductive balls in which a large number of conductive balls are stacked and stored. However, it is not always true that one conductive ball is vacuum-sucked.
【０００５】例えば、１つの吸着孔に複数の導電性ボー
ルが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多数個の導電性
ボールが連なって付着する場合や、吸着孔以外の位置に
導電性ボールが付着したままで吸着ヘッドが上昇するこ
ともある。このように吸着ヘッドを用いる方法では、吸
着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付着するピック
アップミスが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボ
ールが１個づつ正しく移載されないことがあるという問
題点があった。For example, when a plurality of conductive balls are vacuum-adsorbed to one suction hole and a large number of conductive balls are continuously attached to the lower surface of the suction head, or when the conductive balls are attached to positions other than the suction holes. In some cases, the suction head may move up while keeping the position. In the method using the suction head as described above, a pickup error in which extra conductive balls adhere to the lower surface of the suction head is likely to occur, and the conductive balls may not be correctly transferred one by one on the electrode of the work. There was a problem.
【０００６】そこで本発明は、ピックアップミスにより
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。Accordingly, the present invention is directed to a conductive ball transfer apparatus capable of removing a conductive ball excessively attached to the lower surface of a suction head due to a pick-up error and correctly transferring the conductive ball onto an electrode of a work. And a transfer method.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドを水平移動させる移動手段と、前記吸着ヘ
ッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去する除
去部とを備え、この除去部に前記吸着ヘッドの下面の導
電性ボールに摺接して吸着ヘッドの吸着孔に正しく吸着
された導電性ボール以外の導電性ボールのみを選択的に
払い落とすブラシがＸ方向およびＹ方向に配設されてい
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for transferring a conductive ball, comprising: a suction head having a plurality of suction holes formed on a lower surface thereof for sucking the conductive ball; and a ball for supplying the conductive ball. A supply unit, a positioning unit for positioning the work, a vertical moving unit for vertically moving the suction head, a moving unit for horizontally moving the suction head, and removing conductive balls excessively attached to a lower surface of the suction head. A brush for selectively removing only conductive balls other than the conductive balls correctly sucked into the suction holes of the suction head by slidingly contacting the conductive balls on the lower surface of the suction head. Are arranged in the X and Y directions.
【０００８】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを、前記吸
着ヘッドの吸着孔に正しく吸着された導電性ボール以外
の導電性ボールのみを選択的に払い落とすブラシがＸ方
向およびＹ方向に配設された除去部に対して所定間隔を
保って位置させ、前記吸着ヘッドの下面の導電性ボール
に前記ブラシを摺接させながら前記吸着ヘッドをブラシ
に対して相対的にＸ方向およびＹ方向に水平移動させる
ことにより、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導
電性ボールを除去する。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for transferring a conductive ball from a ball supply unit to a workpiece by a suction head having a plurality of suction holes formed on a lower surface thereof for suctioning the conductive ball. A method for transferring conductive balls, wherein said suction head having conductive balls adsorbed on a lower surface thereof is selectively brushed off only conductive balls other than the conductive balls correctly sucked into suction holes of said suction head. Are positioned at predetermined intervals with respect to the removing portions disposed in the X direction and the Y direction, and the suction head is moved relative to the brush while sliding the brush against conductive balls on the lower surface of the suction head. The conductive balls excessively attached to the lower surface of the suction head are removed by horizontally moving in the X and Y directions.
【０００９】上記構成の本発明によれば、下面に導電性
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを、吸着ヘッドの吸着
孔以外の位置に付着した導電性ボールのみを選択的に払
い落とすブラシがＸ方向およびＹ方向に配設された除去
部に対して下降させ、吸着ヘッドをブラシに対して相対
的にＸ方向およびＹ方向に水平移動させてブラシを導電
性ボールに摺接させることにより、吸着孔以外に余分に
付着した導電性ボールを除去することができる。According to the present invention having the above structure, the brush for selectively removing only the conductive ball adhered to a position other than the suction hole of the suction head from the suction head having the conductive ball vacuum-adsorbed on the lower surface is selectively moved in the X direction. The suction hole is lowered by lowering the suction head relative to the brush in the X direction and the Y direction relative to the brush, so that the brush slides on the conductive ball. In addition to the above, it is possible to remove the conductive balls that are excessively attached.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導
電性ボールの移載装置の正面図、図２（ａ）は同導電性
ボールの移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面
図、図２（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分平面図、図３、図４は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図５
（ａ），（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分断面図、図６は同導電性ボールの移
載装置の位置決めテーブルの部分正面図である。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2A is a partial cross-sectional view of a conductive ball removing portion of the conductive ball transfer device. (B) is a partial plan view of a conductive ball removing unit of the conductive ball transfer device, FIGS. 3 and 4 are partial cross-sectional views of a ball supply unit of the conductive ball transfer device, and FIG.
(A), (b) is a partial cross-sectional view of a conductive ball removing portion of the conductive ball transfer device, and FIG. 6 is a partial front view of a positioning table of the conductive ball transfer device.
【００１１】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。First, the overall structure of the conductive ball transfer device will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a positioning table 2 is provided on a base 1. The positioning table 2 includes a Y table 3 and an X table 4.
A holder 5 is provided on the X table 4, and the holder 5 holds a work 6. Therefore, by driving the positioning table 2, the work 6 is positioned at a predetermined position.
【００１２】また基台１上で位置決めテーブル２の反対
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。At the end of the base 1 opposite to the positioning table 2, a supply section 10 for the conductive balls 7 is provided. The ball supply unit 10 includes a ball tank 11, and a plurality of layers of mesh plates 12 are horizontally spread inside the ball tank 11. The mesh plate 12 is provided with a myriad of openings having a size that the conductive balls 7 cannot pass through. The conductive balls 7 are stored on the uppermost mesh plate 12. A nozzle 14 is provided at the bottom of the ball tank 11, and the nozzle 14 is connected to a gas supply source (not shown). By supplying the gas to the nozzle 14, the gas blown upward from the nozzle 14 passes through the openings of the mesh plate 12 and is blown into the layer of the conductive balls 7 to fluidize the conductive balls 7.
【００１３】次に導電性ボール１を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、Ｘ方向（図
１では左右方向）の移動手段であり、Ｙテーブル３０を
ボール供給部１０と位置決めテープル２との間を移動さ
せる。Ｙテーブル３０はＹ軸モータ３２を備えており、
Ｙテーブル３０に保持された吸着ヘッド３１をＹ方向
（図１において図面の垂直方向）に水平移動させる。Next, the suction head 31 for transferring the conductive balls 1 will be described. Reference numeral 20 shown in FIG. 1 denotes a moving unit in the X direction (the left and right direction in FIG. 1), which moves the Y table 30 between the ball supply unit 10 and the positioning table 2. The Y table 30 includes a Y-axis motor 32,
The suction head 31 held on the Y table 30 is horizontally moved in the Y direction (the vertical direction in the drawing in FIG. 1).
【００１４】吸着ヘッド３１の下面には複数の吸着孔３
１ａが設けられている。Ｙテーブル３０はブラケット２
４の前面に設けられた垂直なガイドレール２５に上下動
自在に装着されている。Ｙテーブル３０には、ナット２
８が一体的に設けられており、ナット２８には垂直の送
りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モータ２７
が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転すると、吸着ヘ
ッド３１はガイドレール２５に案内されて上下動する。
したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ２６は吸着
ヘッド３１を上下させる上下動手段となっている。A plurality of suction holes 3 are provided on the lower surface of the suction head 31.
1a is provided. Y table 30 is bracket 2
4 is vertically movably mounted on a vertical guide rail 25 provided on the front surface. The Y table 30 has a nut 2
8 is integrally provided, and a vertical feed screw 26 is screwed into the nut 28. Therefore, the Z-axis motor 27
When the feed screw 26 is driven forward and reverse to rotate the feed screw 26 forward and backward, the suction head 31 is guided by the guide rail 25 and moves up and down.
Therefore, the Z-axis motor 27 and the feed screw 26 serve as a vertical moving means for moving the suction head 31 up and down.
【００１５】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。したがって、Ｘ方向の移動手段２０およびＹテー
ブル３０は、吸着ヘッド３１を水平方向に移動させる移
動手段となっている。A nut (not shown) provided on the back of the bracket 24 is screwed to the horizontal feed screw 22.
Reference numeral 21 denotes a holding table for the feed screw 22. Therefore, when the X-axis motor 23 rotates forward and backward, the feed screw 22 rotates forward and backward, and the suction head 31 held by the bracket 24 moves horizontally between the positioning table 2 and the ball supply unit 10. Therefore, the moving means 20 in the X direction and the Y table 30 are moving means for moving the suction head 31 in the horizontal direction.
【００１６】図１において、基台１上のボール供給部１
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１および図２に
示すように、ボックス４１上にはボール受け４５が載置
されており、ボール受け４５内には基部４２が固着され
ている。基部４２上にはプレート４３が装着されてい
る。プレート４３には、図２（ｂ）に示すように、Ｘ方
向およびＹ方向にブラシ列４４Ｘおよびブラシ列４４Ｙ
が逆Ｌ字状に配設されている。In FIG. 1, a ball supply unit 1 on a base 1
On the side of 0, a removing portion 40 of the conductive ball 7 is provided. The removing unit 40 removes the conductive balls 7 that are excessively attached to the lower surface of the suction head 31. As shown in FIGS. 1 and 2, a ball receiver 45 is placed on the box 41, and a base 42 is fixed in the ball receiver 45. A plate 43 is mounted on the base 42. As shown in FIG. 2B, the plate 43 includes a brush row 44X and a brush row 44Y in the X direction and the Y direction.
Are arranged in an inverted L-shape.
【００１７】これらのブラシ列４４Ｘおよびブラシ列４
４Ｙのブラシ４４は、吸着ヘッド３１の下面に付着した
導電性ボール７に摺接することにより、余分に付着した
導電性ボール７を払い落とすものである。これらのブラ
シ４４の強度（ブラシを構成する個々の毛の剛性、長
さ、本数などで決定される）を適切に設定することによ
り、ブラシ４４を導電性ボール７に摺接させながら吸着
ヘッド３１を除去部４０に対してＸ方向およびＹ方向に
吸着ヘッド３１の下面の幅および奥行き長さに相当する
距離だけ水平移動させたときに、吸着ヘッド３１の吸着
孔３１ａに正しく真空吸着された導電性ボール７に対し
ては、吸着状態から脱落させるに至る力を及ぼさず、ま
た吸着孔３１ａ以外に付着した導電性ボール７に対して
は、不安定な付着状態から脱落させるに十分な力を及ぼ
すようにすることができる。したがって、吸着孔３１ａ
以外に余分に付着した導電性ボール７を選択的に払い落
とすことができる。These brush row 44X and brush row 4
The 4Y brush 44 slides off the conductive ball 7 attached to the lower surface of the suction head 31 to remove excess conductive ball 7 attached thereto. By appropriately setting the strength of these brushes 44 (determined by the stiffness, length, number, and the like of the individual hairs constituting the brushes), the suction heads 31 are slidably contacted with the conductive balls 7. Is horizontally moved by a distance corresponding to the width and depth of the lower surface of the suction head 31 in the X direction and the Y direction with respect to the removing unit 40, and the conductive material correctly vacuum-sucked in the suction hole 31a of the suction head 31 is obtained. No force is exerted on the conductive ball 7 to cause it to fall off from the suction state, and a sufficient force is exerted on the conductive ball 7 attached to the portion other than the suction hole 31a from the unstable adhesion state. Can be exerted. Therefore, the suction holes 31a
In addition, the conductive balls 7 attached extra can be selectively removed.
【００１８】なお、本実施の形態では、Ｘ方向のブラシ
列４４Ｘ、Ｙ方向のブラシ列４４Ｙをそれぞれ１列設け
るようにしているが、ブラシ列４４Ｘ、４４Ｙを複数列
設けるようにしてもよい。この場合には、ブラシ列４４
Ｘ、４４Ｙの列数が多くなればなるほど吸着ヘッド３１
を除去部４０に対して水平移動させる距離が短くてよい
ことになり、除去動作に要する時間を短縮することがで
きる。In the present embodiment, one brush row 44X in the X direction and one brush row 44Y in the Y direction are provided, but a plurality of brush rows 44X and 44Y may be provided. In this case, the brush row 44
As the number of rows of X and 44Y increases, the suction head 31
The horizontal movement distance with respect to the removing unit 40 may be short, and the time required for the removing operation can be shortened.
【００１９】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。This device for transferring conductive balls has the above-described configuration, and the operation will be described next. First, in FIG. 1, the suction head 31 is moved above the ball supply unit 10 by driving the X-axis motor 23. Then, the suction head 31 is lowered by driving the Z-axis motor 27, and the lower surface of the suction head 31 is slightly sunk into the layer of the conductive balls 7 as shown in FIG. At this time, the nozzle 14 of the ball tank 11
The gas is blown upward (see arrow a), and the conductive balls 7 are fluidized by the flow of the gas. Therefore, the conductive ball 7 is blown up, abuts against the lower surface of the suction head 31, and is vacuum-sucked in the suction hole 31a.
【００２０】このとき、図４に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。At this time, as shown in FIG. 4, the suction head 31 may rise with the extra conductive balls 7 attached to positions other than the suction holes 31a on the lower surface of the suction head 31. FIG. 4 shows an example in which one extra conductive ball 7 adheres. However, in addition to this example, an extra conductive ball 7
There are various modes for the adhesion of sapphire.
【００２１】このような余分に付着した導電性ボール７
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１をプレート４３に対して下降
させる。そしてブラシ４４の先端部と吸着ヘッド３１の
下面が所定の位置関係となったならば、すなわち、ブラ
シ４４が吸着ヘッド３１の下面の導電性ボール７に摺接
する高さ位置まで下降したならば、吸着ヘッド３１をプ
レート４３に対してＸ方向およびＹ方向に所定距離だけ
相対的に水平移動させる（矢印ｃ参照）。これにより、
ブラシ４４は吸着ヘッド３１の下面の導電性ボール７に
摺接するが、ブラシ４４は、図５（ａ）に示すように吸
着孔３１ａに正しく吸着された導電性ボール７に対して
は、吸着状態から脱落に至るだけの力を及ぼさないた
め、吸着孔３１ａに正しく吸着された導電性ボール７
は、ブラシ４４が摺接した後も吸着孔３１ａに吸着され
たままとなっている。[0021] Such extraly attached conductive balls 7
Is removed by the removing unit 40. First, the suction head 31 that has sucked the conductive ball 7 is moved above the removing unit 40, and then the suction head 31 is lowered with respect to the plate 43. If the tip of the brush 44 and the lower surface of the suction head 31 have a predetermined positional relationship, that is, if the brush 44 has descended to the height position where the lower surface of the suction head 31 slides on the conductive ball 7, The suction head 31 is moved horizontally relative to the plate 43 by a predetermined distance in the X and Y directions (see arrow c). This allows
The brush 44 is in sliding contact with the conductive ball 7 on the lower surface of the suction head 31, but the brush 44 is in a suction state with respect to the conductive ball 7 correctly sucked in the suction hole 31a as shown in FIG. The conductive ball 7 that has been correctly sucked into the suction hole 31a does not exert a force enough to cause the ball to fall off.
Remains in the suction hole 31a even after the brush 44 slides.
【００２２】これに対し、吸着孔３１ａ以外に付着して
いる導電性ボール７は不安定な付着状態であるため、図
５（ｂ）に示すように、ブラシ４４が摺接することによ
り容易に吸着ヘッド３１の下面に付着した状態（図５
（ｂ）において破線で示す導電性ボール７参照）から脱
落し（矢印ｄ参照）、ボール受け４５内に落下して回収
される。On the other hand, since the conductive balls 7 adhering to portions other than the suction holes 31a are in an unstable adhering state, as shown in FIG. FIG. 5 shows a state in which the head 31 is attached to the lower surface of the head 31 (FIG.
In (b), it falls off from the conductive ball 7 shown by the broken line (see arrow d) and falls into the ball receiver 45 to be collected.
【００２３】また、余分に付着した導電性ボール７が、
正しく真空吸着された導電性ボール７とブラシの摺接方
向に対して直列状態で並んでおり、余分に付着した導電
性ボール７が吸着孔３１ａに正しく真空吸着された導電
性ボール７の後ろにあって、ブラシ４４に対していわゆ
る死角の位置にある場合（図５（ａ）に示すハッチング
を施した導電性ボール７参照）には、余分に付着した導
電性ボール７に対してブラシ４４の作用が及びにくい。
このような場合でも、吸着ヘッド３１をプレート４３に
対してＸ方向、Ｙ方向に相対移動させることにより、す
べての導電性ボール７に対してブラシ列４４Ｘ、４４Ｙ
のいずれかの部分のブラシ４４が摺接し、ブラシ４４の
作用には死角が生じない。Also, the conductive balls 7 attached extra are
The conductive ball 7 that has been correctly vacuum-sucked and the brush are arranged in series in the sliding direction of the brush, and the conductive ball 7 that has extraly adhered is placed behind the conductive ball 7 that has been correctly vacuum-sucked into the suction hole 31a. When the brush 44 is located at a so-called blind spot position with respect to the brush 44 (see the hatched conductive ball 7 shown in FIG. 5A), the brush 44 is Difficult to work.
Even in such a case, by moving the suction head 31 relative to the plate 43 in the X and Y directions, the brush rows 44X, 44Y
The brushes 44 of any of the above-mentioned portions are in slidable contact with each other, and no blind spot occurs in the operation of the brushes 44.
【００２４】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、図６
に示すように真空吸着を解除して電極６ａ上に導電性ボ
ール７を移載した後上昇し、導電性ボール７の移載を完
了する。As described above, the suction head 31 picked up by correctly suctioning the conductive balls 7 into all the suction holes 31a one by one rises from the removing section 40 and then moves horizontally above the positioning table 2. Next, the suction head 31 descends onto the work 6 held by the holder 5, and
As shown in (5), the vacuum suction is released and the conductive ball 7 is transferred onto the electrode 6a and then moved up to complete the transfer of the conductive ball 7.
【００２５】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド３
１を下降させるようにしているが、除去部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して除去部４０を移動させて余分に付着した導電
性ボール７を除去するようにしてもよいものである。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the conductive ball removing section 40 is fixed and the suction head 3 is attached to the removing section 40.
1 is lowered, but the removing unit 40 is made movable, and the suction head 3 stopped on the ball supply unit 10.
Alternatively, the removing portion 40 may be moved with respect to 1 to remove the conductive balls 7 attached extra.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部の導電性
ボールを吸着した吸着ヘッドを、吸着ヘッドの吸着孔以
外の位置に付着した導電性ボールのみを選択的に払い落
とすブラシをＸ方向およびＹ方向に配設した除去部に対
してＸ方向およびＹ方向に相対的に水平移動させるよう
にしているので、吸着孔以外に余分に付着した導電性ボ
ールを迅速かつ確実に除去することができ、したがって
ワークの電極上に確実に１個づつ導電性ボールを移載す
ることができる。According to the present invention, the brush which selectively removes only the conductive ball adhering to a position other than the suction hole of the suction head from the suction head that has suctioned the conductive ball of the ball supply unit is moved in the X direction. And the removing portion arranged in the Y direction is horizontally moved relatively in the X direction and the Y direction, so that the conductive balls extraly attached other than the suction holes can be quickly and reliably removed. Therefore, the conductive balls can be reliably transferred one by one onto the electrodes of the work.
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図FIG. 1 is a front view of a conductive ball transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置
の導電性ボールの除去部の部分平面図FIG. 2 (a) is a partial cross-sectional view of a conductive ball removing portion of the conductive ball transfer device according to one embodiment of the present invention; and (b) transfer of a conductive ball according to one embodiment of the present invention. Partial plan view of the conductive ball removal part of the device
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図FIG. 3 is a partial sectional view of a ball supply unit of the conductive ball transfer device according to one embodiment of the present invention;
【図４】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図FIG. 4 is a partial sectional view of a ball supply unit of the conductive ball transfer device according to one embodiment of the present invention;
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置
の導電性ボールの除去部の部分断面図FIG. 5 (a) is a partial cross-sectional view of a conductive ball removing portion of the conductive ball transfer device according to one embodiment of the present invention. (B) Transfer of a conductive ball according to one embodiment of the present invention. Partial sectional view of the conductive ball removal part of the device
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図FIG. 6 is a partial front view of a positioning table of the conductive ball transfer device according to one embodiment of the present invention;
１ 基台 ２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ ボール供給部 １１ ボール槽 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔 ３２ Ｙ軸モータ ４０ 除去部 ４４ ブラシ ４４Ｘ、４４Ｙ ブラシ列 Reference Signs List 1 base 2 positioning table 6 work 7 conductive ball 10 ball supply unit 11 ball tank 23 X-axis motor 27 Z-axis motor 31 suction head 31a suction hole 32 Y-axis motor 40 removal unit 44 brush 44X, 44Y brush row
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 23/12 Ｌ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01L 23/12 L
Claims (2)
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドを水平移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの
下面に余分に付着した導電性ボールを除去する除去部と
を備え、この除去部に前記吸着ヘッドの下面の導電性ボ
ールに摺接して吸着ヘッドの吸着孔に正しく吸着された
導電性ボール以外の導電性ボールのみを選択的に払い落
とすブラシがＸ方向およびＹ方向に配設されていること
を特徴とする導電性ボールの移載装置。A suction head having a plurality of suction holes formed on a lower surface thereof for sucking conductive balls; a ball supply unit for feeding conductive balls; a positioning unit for positioning a work;
Up and down movement means for vertically moving the suction head, moving means for horizontally moving the suction head, and a removing unit for removing conductive balls excessively attached to the lower surface of the suction head, the removing unit comprising: Brushes are provided in the X direction and the Y direction that selectively slide off only the conductive balls other than the conductive balls that have been properly sucked into the suction holes of the suction head by slidingly contacting the conductive balls on the lower surface of the suction head. An apparatus for transferring a conductive ball.
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、下面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッド
を、前記吸着ヘッドの吸着孔に正しく吸着された導電性
ボール以外の導電性ボールのみを選択的に払い落とすブ
ラシがＸ方向およびＹ方向に配設された除去部に対して
所定間隔を保って位置させ、前記吸着ヘッドの下面の導
電性ボールに前記ブラシを摺接させながら前記吸着ヘッ
ドをブラシに対して相対的にＸ方向およびＹ方向に水平
移動させることにより、前記吸着ヘッドの下面に余分に
付着した導電性ボールを除去することを特徴とする導電
性ボールの移載方法。2. A method for transferring a conductive ball from a ball supply unit to a work by a suction head having a plurality of suction holes for sucking the conductive ball on a lower surface, the method comprising: Removal of the suction head that has sucked the conductive ball by removing brushes that selectively remove only the conductive ball other than the conductive ball correctly sucked into the suction hole of the suction head is disposed in the X and Y directions. And moving the suction head horizontally in the X direction and the Y direction relative to the brush while sliding the brush on conductive balls on the lower surface of the suction head. A conductive ball that is excessively attached to the lower surface of the suction head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25960797A JP3376879B2 (en) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | Apparatus and method for transferring conductive balls |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP25960797A JP3376879B2 (en) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | Apparatus and method for transferring conductive balls |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197485A true JPH1197485A (en) | 1999-04-09 |
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| JP (1) | JP3376879B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007311414A (en) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Nippon Steel Materials Co Ltd | Device and method for removing minute ball |
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1997
- 1997-09-25 JP JP25960797A patent/JP3376879B2/en not_active Expired - Fee Related
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