JPH1196908A - Manufacture of color cathode ray tube - Google Patents
Manufacture of color cathode ray tubeInfo
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- JPH1196908A JPH1196908A JP25951997A JP25951997A JPH1196908A JP H1196908 A JPH1196908 A JP H1196908A JP 25951997 A JP25951997 A JP 25951997A JP 25951997 A JP25951997 A JP 25951997A JP H1196908 A JPH1196908 A JP H1196908A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、カラー陰極線管
の製造方法に係わり、詳しくは、トリニトロン方式、シ
ャドウマスク方式に限らず、カラー陰極線管のアパチャ
ーグリル（マスク：色選別電極）の熱膨張による電子ビ
ームランディングのズレを軽減させるために、パネル内
面のメタルバックの内側に熱吸収膜を形成する方法を改
良したカラー陰極線管の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color cathode ray tube, and more particularly to a method for manufacturing a color cathode ray tube by thermal expansion of an aperture grill (mask: color selection electrode) of a color cathode ray tube, not limited to a trinitron system and a shadow mask system. The present invention relates to a method for manufacturing a color cathode ray tube in which a method for forming a heat absorbing film inside a metal back on the inner surface of a panel is improved in order to reduce a deviation in electron beam landing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のカラー陰極線管の製造方法、特に
パネルの製造においては、パネル内面に蛍光体層を形成
させた後、アルミニウムの真空蒸着を行ってメタルバッ
ク膜を形成する方法が、従来から広く採用されている。
また、アパチャーグリルが加熱され、温度ドリフトによ
る電子ビームランディングズレが生じることによって、
色ズレが発生するのを防止するために、メタルバック膜
の内側、すなわち、アルミニウム蒸着膜上に黒色膜を形
成し、電子ビームの衝突によって加熱されるアパチャー
グリルからの熱反射を吸収する対策も行われている。2. Description of the Related Art In a conventional method of manufacturing a color cathode ray tube, particularly, in a method of manufacturing a panel, a method of forming a metal back film by forming a phosphor layer on an inner surface of the panel and then performing vacuum deposition of aluminum is known. Widely adopted from.
In addition, the aperture grill is heated, causing electron beam landing deviation due to temperature drift,
In order to prevent color shift, a black film is formed inside the metal back film, that is, on the aluminum deposition film, and measures to absorb the heat reflection from the aperture grill heated by the electron beam collision are also taken. Is being done.
【０００３】図５は、従来のカラー陰極線管について、
その要部構成の一例を示す略断面図である。図の符号に
おいて、１はパネル、２は蛍光体層、３はメタルバック
層、４は熱吸収膜、５はアパチャーグリル（シャドウマ
スク）、６は電子銃、ＢＭは電子ビームを示す。FIG. 5 shows a conventional color cathode ray tube.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of the main part. In the figure, 1 is a panel, 2 is a phosphor layer, 3 is a metal back layer, 4 is a heat absorbing film, 5 is an aperture grill (shadow mask), 6 is an electron gun, and BM is an electron beam.
【０００４】この図５に略断面図で示すように、カラー
陰極線管では、パネル１の内面（電子銃６側）に蛍光体
層２を形成し、この蛍光体層２の内側を覆うように、ア
ルミニウムの真空蒸着で形成されたメタルバック層３が
設けられている。さらに、このメタルバック層３の内側
を覆うように、熱吸収膜４が形成されている。なお、こ
の図５では、理解を容易にするために、単に蛍光体層２
として図示したが、実際の製造工程では、パネル１の内
面のカーボン膜の所定の位置に、赤・緑・青色を表現す
る各色の蛍光体ストライプあるいは蛍光体ドットを形成
させた後、その蛍光体ストライプあるいは蛍光体ドット
の表面を平滑化させるための中間膜も設けられている。
この熱吸収膜４は、メタルバック層３に近接して配置さ
れるアパチャーグリル（シャドウマスク）５が、電子ビ
ームＢＭで加熱されることによって生じる熱放射を吸収
し、メタルバック層３内面からアパチャーグリル５への
輻射・反射を抑えるよう作用するので、アパチャーグリ
ル５の熱膨張が軽減される。As shown in a schematic sectional view of FIG. 5, in a color cathode ray tube, a phosphor layer 2 is formed on an inner surface of a panel 1 (on the side of an electron gun 6), and the inside of the phosphor layer 2 is covered. And a metal back layer 3 formed by vacuum deposition of aluminum. Further, a heat absorbing film 4 is formed so as to cover the inside of the metal back layer 3. Note that, in FIG. 5, in order to facilitate understanding, simply the phosphor layer 2 is used.
In the actual manufacturing process, phosphor stripes or phosphor dots of each color expressing red, green, and blue are formed at predetermined positions of the carbon film on the inner surface of the panel 1, and then the phosphor is formed. An intermediate film for smoothing the surface of the stripe or the phosphor dot is also provided.
The heat absorbing film 4 absorbs heat radiation generated when an aperture grill (shadow mask) 5 arranged in close proximity to the metal back layer 3 is heated by the electron beam BM, and the apertures from the inner surface of the metal back layer 3. Since it acts to suppress radiation and reflection to the grill 5, thermal expansion of the aperture grill 5 is reduced.
【０００５】この熱吸収膜４、すなわち、熱反射を吸収
するための黒色膜を形成する方法としては、パネルのア
ルミニウム蒸着膜形成後に、黒鉛を有機溶剤に溶かし、
スプレー塗布して黒鉛膜を付着させる方法が知られてい
る（例えば特開昭５１−５３４５４号公報）。この黒鉛
を有機溶剤に溶かしてスプレーする方法の場合、黒鉛の
蒸気圧が低いので、蒸着による膜形成に不向きであり、
黒鉛膜が剥離し易いため、良質な膜を得ることは難し
い。その上、黒鉛膜はガス吸着性が大きく、真空中でガ
スを放出し易い、という性質があるので、高真空度を維
持する必要のあるカラー陰極線管には、必ずしも適当で
ない。なお、黒鉛をスプレーする方法の代りに、スパッ
ターすることによって膜を形成する方法も知られている
が、成膜レートが非常に遅い、という問題がある。As a method of forming the heat absorbing film 4, that is, a black film for absorbing heat reflection, graphite is dissolved in an organic solvent after forming an aluminum vapor-deposited film on a panel.
A method of attaching a graphite film by spray coating is known (for example, JP-A-51-53454). In the case of a method in which this graphite is dissolved in an organic solvent and sprayed, the graphite has a low vapor pressure, and is not suitable for film formation by vapor deposition.
Since the graphite film is easily exfoliated, it is difficult to obtain a good quality film. In addition, the graphite film has such a property that it has a high gas-adsorbing property and easily releases a gas in a vacuum, so that it is not necessarily suitable for a color cathode ray tube which needs to maintain a high degree of vacuum. Although a method of forming a film by sputtering instead of a method of spraying graphite is also known, there is a problem that a film formation rate is extremely slow.
【０００６】また、アルミニウム蒸着膜の形成後、蒸着
時より高い圧力（０．１〜０．０１Ｔｏｒｒ程度）で再
度、アルミニウムを蒸着して酸化アルミニウムの黒化膜
を形成する方法も知られている（例えば特公昭６１−５
３８１６号公報）。この黒化膜の形成方法の場合には、
メタルバック膜と熱吸収のための黒化膜の形成工程を、
同一装置において圧力を変えるだけで実施可能であるか
ら、簡便である、という利点がある。しかし、この方法
では、低真空下における蒸着であるため、装置内の残留
気体の影響や、複数の加熱蒸発源からの蒸着物質分子の
相互干渉によって、パネル内面で黒色膜の濃淡が生じる
ので、カラー陰極線管の輝度ムラを引き起こす要因とな
る、という新たな問題が生じる。It is also known to form a blackened aluminum oxide film by depositing aluminum again at a higher pressure (about 0.1 to 0.01 Torr) after the formation of the aluminum deposited film. (For example, Japanese Patent Publication No. 61-5
No. 3816). In the case of this blackening film forming method,
The formation process of the metal back film and the blackening film for heat absorption
Since the present invention can be carried out only by changing the pressure in the same apparatus, there is an advantage that it is simple. However, in this method, since the deposition is performed under a low vacuum, the density of the black film is generated on the inner surface of the panel due to the influence of residual gas in the apparatus and the mutual interference of deposition substance molecules from a plurality of heating evaporation sources. A new problem arises, which causes unevenness in luminance of the color cathode ray tube.
【０００７】さらに、アルミニウム蒸着膜の形成後、ア
ルミニウムより融点の高い無機物あるいは金属の蒸着膜
を形成する方法も提案されている（例えば特公昭６２−
１４０３３５号公報）。マグネシウムやバリウムの膜を
形成する場合は、パネル内の圧力、残留ガス濃度を十分
管理しないと、安定した成膜が困難である。シリコン膜
を形成する場合は、蒸気圧が低いので蒸着には不向きで
ある。Further, there has been proposed a method of forming a deposited film of an inorganic substance or a metal having a melting point higher than that of aluminum after forming the deposited film of aluminum (for example, Japanese Patent Publication No. Sho 62-62).
No. 140335). When forming a film of magnesium or barium, stable film formation is difficult unless the pressure in the panel and the concentration of residual gas are sufficiently controlled. When a silicon film is formed, it is not suitable for vapor deposition because the vapor pressure is low.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】先の図５に関連して述
べたように、カラー陰極線管においては、パネル１内面
に形成されたメタルバック層（導電膜）３と、アパチャ
ーグリル（シャドウマスク：色選別電極）５とが対向し
て配置されているので、電子ビームＢＭによる熱放射が
パネル１内面のメタルバック層３によりアパチャーグリ
ル５に反射され、アパチャーグリル５が熱膨張すること
によってランディングにズレが生じる、という現象があ
る。このズレは色ズレの一因になるので、このズレを軽
減するために、従来からメタルバック層３の内面に熱吸
収膜４が設けられている。一方、カラー陰極線管の高精
細度化になるに伴って、トリニトロン方式、シャドウマ
スク方式に限らず、アパチャーグリル（マスク）の温度
ドリフト対策が強く要望されている。As described above with reference to FIG. 5, in a color cathode ray tube, a metal back layer (conductive film) 3 formed on the inner surface of a panel 1 and an aperture grill (shadow mask) are formed. : The color selection electrode) 5 is disposed so as to face, so that the heat radiation by the electron beam BM is reflected by the metal back layer 3 on the inner surface of the panel 1 to the aperture grill 5, and the aperture grill 5 thermally expands to land. There is a phenomenon that deviation occurs. Since this shift contributes to color shift, a heat absorbing film 4 is conventionally provided on the inner surface of the metal back layer 3 in order to reduce the shift. On the other hand, as the definition of the color cathode ray tube becomes higher, not only the trinitron system and the shadow mask system but also a countermeasure against the temperature drift of the aperture grill (mask) is strongly demanded.
【０００９】このような対策の一つとして、この出願人
は、先に蛍光体を覆う導電反射膜を有するパネル内面
に、導電反射膜を覆う熱吸収用の被膜を形成するパネル
の製造工程において、真空蒸着槽内部に窒素を注入する
手段と、アルミニウムを加熱する手段とを設け、導電反
射膜が形成されたパネルの内面をセットした状態で、真
空蒸着槽内部を排気した後、窒素を注入して窒素を含む
ガスによる全圧を０．１〜数Ｔｏｒｒ（１０〜数１００
Ｐａ）の一定圧に保持し、真空蒸着槽内でグロー放電を
行うと同時に、放電中にアルミニウムを加熱蒸着するこ
とにより、アルミニウム蒸気と窒素とを反応させて熱吸
収膜を形成するカラー陰極線管の製造方法を提案した
（特願平９−１５１４５２号）。この製造方法では、グ
ロー放電を利用して、アルミニウムと窒素とのイオン化
を促進している。この発明では、グロー放電の代りのプ
ラズマ化方式によって、高精細度化に対応したアパチャ
ーグリル（マスク）の温度ドリフトの対策、すなわち、
パネル内面の熱反射率が低く、しかも、緻密な熱吸収膜
の形成が可能なカラー陰極線管の製造方法を、従来から
採用されているカラー陰極線管の生産システムの大幅な
改造なしで実施可能とする製造方法を提供することを課
題とする。As one of the countermeasures, the applicant of the present application has proposed a method of manufacturing a panel in which a heat absorbing coating covering the conductive reflection film is formed on the inner surface of the panel having the conductive reflection film covering the phosphor. A means for injecting nitrogen into the vacuum deposition tank and a means for heating aluminum are provided, and the inside of the panel on which the conductive reflective film is formed is set, and after evacuation of the inside of the vacuum deposition tank, nitrogen is injected. To a total pressure of 0.1 to several Torr (10 to several 100
A color cathode ray tube that forms a heat absorbing film by reacting aluminum vapor with nitrogen by simultaneously performing glow discharge in a vacuum vapor deposition tank while maintaining a constant pressure of Pa) and heating and depositing aluminum during the discharge. (Japanese Patent Application No. 9-151452). In this manufacturing method, ionization of aluminum and nitrogen is promoted using glow discharge. According to the present invention, a countermeasure against a temperature drift of an aperture grill (mask) corresponding to high definition, that is, a method of forming a plasma instead of a glow discharge, that is,
The method of manufacturing a color cathode ray tube, which has a low heat reflection coefficient on the inner surface of the panel and can form a dense heat absorbing film, can be performed without significant modification of the conventional color cathode ray tube production system. It is an object to provide a manufacturing method that performs
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１のカラー陰極線
管の製造方法では、パネル内側に蛍光体層を形成する工
程と、形成された蛍光体層上にメタルバック膜を形成す
る工程とを行う製造方法において、メタルバック膜を形
成する工程として、アルミニウムを加熱して形成したメ
タルバック膜上に、窒素を導入しアルミニウムを加熱
し、反応性蒸着して熱吸収膜を形成する。また、請求項
２のカラー陰極線管の製造方法では、メタルバック膜と
熱吸収膜を形成する工程を、真空を解除することなく、
形成されたメタルバック膜上に続けて行う。請求項３の
カラー陰極線管の製造方法では、真空蒸着チャンバーに
蛍光体層が形成されたパネルの内面を載置した状態で、
真空蒸着チャンバー内部を排気した後、アルミニウムの
真空蒸着を行ってメタルバック膜を形成し、真空状態を
解除することなく窒素を導入しアルミニウムを加熱して
反応性蒸着することにより、先に形成されたメタルバッ
ク膜上に熱吸収膜を形成する。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a color cathode ray tube, comprising the steps of: forming a phosphor layer inside a panel; and forming a metal back film on the formed phosphor layer. In the manufacturing method to be performed, as a step of forming a metal back film, nitrogen is introduced, aluminum is heated, and reactive evaporation is performed on the metal back film formed by heating aluminum to form a heat absorbing film. In the method for manufacturing a color cathode ray tube according to claim 2, the step of forming the metal back film and the heat absorbing film is performed without releasing the vacuum.
The process is performed continuously on the formed metal back film. In the method for manufacturing a color cathode ray tube according to claim 3, in a state where the inner surface of the panel on which the phosphor layer is formed is placed in a vacuum evaporation chamber,
After evacuating the inside of the vacuum deposition chamber, vacuum deposition of aluminum is performed to form a metal back film, nitrogen is introduced without releasing the vacuum state, and aluminum is heated and reactive deposition is performed, thereby forming the metal back film first. A heat absorbing film is formed on the metal back film.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】この出願の発明者らは、熱吸収膜
の形成工程において、プラズマ化を促進するために、ア
ルミニウム蒸気源のすぐ上方にＲＦコイルを設置すれ
ば、アルミニウムと窒素とがイオン化し、粒子の飛散ス
ピードが加速される、という点に着目して、真空チャン
バー内に、プラズマ化を促進するＲＦコイルと、アルミ
ニウムを加熱・蒸発させるフィラメントヒーターとを配
置している。このように、アルミニウム蒸気源のすぐ上
方にＲＦコイルを設置することにより、アルミニウムと
窒素とが高速で対象物である真空蒸着されたメタルバッ
ク膜の表面へ衝突させることができ、アルミニウムの窒
化反応が促進されて、熱吸収特性の優れた被膜（熱吸収
膜）が成膜される、ということを確認した。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the process of forming a heat absorbing film, the inventors of the present application have found that if an RF coil is installed immediately above an aluminum vapor source in order to promote plasma, aluminum and nitrogen can be separated. Focusing on the fact that ionization accelerates the scattering speed of particles, an RF coil for promoting plasmaization and a filament heater for heating and evaporating aluminum are arranged in a vacuum chamber. As described above, by disposing the RF coil immediately above the aluminum vapor source, aluminum and nitrogen can collide with the surface of the target vacuum-deposited metal back film at a high speed, and the aluminum nitridation reaction can be prevented. Was promoted, and a film having excellent heat absorption characteristics (heat absorption film) was formed.
【００１２】図１は、この発明のカラー陰極線管の製造
方法を実施するために使用する真空蒸着装置について、
その真空チャンバー部とパネルとの一例を示す略断面図
である。図の符号において、１１は真空チャンバー、１
１ａは窒素ガス導入口、１１ｂはディフュージョンポン
プ接続口、１１ｃはロータリーポンプ接続口、１２はＲ
Ｆコイル、１３はフィラメントヒーター（または蒸着ボ
ート）、１４はパネルを示す。FIG. 1 shows a vacuum deposition apparatus used for carrying out the method of manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the vacuum chamber and a panel. In the reference numerals in the figure, 11 is a vacuum chamber, 1
1a is a nitrogen gas inlet, 11b is a diffusion pump connection, 11c is a rotary pump connection, and 12 is R
F coil, 13 denotes a filament heater (or vapor deposition boat), and 14 denotes a panel.
【００１３】この図１に示した真空蒸着装置は、次のよ
うな構成である。真空チャンバー１１内には、複数組の
ＲＦコイル１２とフィラメントヒーター１３とが配置さ
れている。これら各組のＲＦコイル１２とフィラメント
ヒーター１３は、その両端がそれぞれ図示しない電源に
接続されており、各組には任意の電圧が印加される。ま
た、この真空チャンバー１１には、窒素ガス導入口１１
ａ、ディフュージョンポンプ接続口１１ｂ、ロータリー
ポンプ接続口１１ｃが設けられている。次に、この発明
のカラー陰極線管の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の全体構造について、次の図２から図４に
よって、簡単に説明する。The vacuum deposition apparatus shown in FIG. 1 has the following configuration. In the vacuum chamber 11, a plurality of sets of RF coils 12 and a filament heater 13 are arranged. Both ends of each of the RF coil 12 and the filament heater 13 are connected to a power source (not shown), and an arbitrary voltage is applied to each set. The vacuum chamber 11 has a nitrogen gas inlet 11.
a, a diffusion pump connection port 11b and a rotary pump connection port 11c are provided. Next, the overall structure of a vacuum deposition apparatus used to carry out the method for manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention will be briefly described with reference to FIGS.
【００１４】図２は、真空蒸着装置の全体構造につい
て、その一例を示す正面図である。図における符号は図
１と同様であり、２１は真空蒸着装置の本体部、２２は
操作盤カバー、２３は操作盤、２４と２５は装置の前ド
アを示す。FIG. 2 is a front view showing an example of the entire structure of the vacuum evaporation apparatus. Reference numerals in the figure are the same as those in FIG. 1, 21 is a main body of the vacuum evaporation apparatus, 22 is an operation panel cover, 23 is an operation panel, and 24 and 25 are front doors of the apparatus.
【００１５】図３は、図２に示した真空蒸着装置の上面
と側面の一例を示す図で、(1) は真空蒸着装置の上面
図、(2) は右側面図である。図における符号は図２と同
様である。FIGS. 3A and 3B show an example of the top and side surfaces of the vacuum deposition apparatus shown in FIG. 2, wherein FIG. 3A is a top view of the vacuum deposition apparatus and FIG. 3B is a right side view. The reference numerals in the figure are the same as those in FIG.
【００１６】図４は、図２に示した真空蒸着装置につい
て、その内部構造の一例を示す略透視図で、(1) は上方
から見た図、(2) は正面から見た図を示す。図における
符号は図２と同様であり、３１はディフュージョンポン
プ、３２はロータリーポンプ、３３はメカニカルブース
ターポンプを示す。FIG. 4 is a schematic perspective view showing an example of the internal structure of the vacuum deposition apparatus shown in FIG. 2, wherein (1) is a view from above and (2) is a view from the front. . The reference numerals in the drawing are the same as those in FIG. 2, 31 is a diffusion pump, 32 is a rotary pump, and 33 is a mechanical booster pump.
【００１７】真空蒸着装置の全体構造は、図２から図４
に示したとおりであり、先の図１に示した真空チャンバ
ー１１は、例えば図２のように、真空蒸着装置の本体部
２１の右上方に設置されている。また、この真空蒸着装
置の本体部２１の左上方には、操作盤カバー２２によっ
て覆われた操作盤２３が設けられている。真空チャンバ
ー１１のディフュージョンポンプ接続口１１ｂと、ロー
タリーポンプ接続口１１ｃとは、例えば図４(1) に示し
たディフュージョンポンプ３１およびロータリーポンプ
３２とそれぞれ連結されている。また、メカニカルブー
スターポンプ３３とも、同様に連結される。なお、真空
チャンバー１１に設けられた窒素ガス導入口１１ａも、
図示しないガスタンク等と連結されて窒素ガスが供給さ
れる。この操作盤２３の操作によって、図１に示したＲ
Ｆコイル１２やフィラメントヒーター１３の通電等の制
御が行われるが、実際上はコンピュータで制御されるの
で、一般的にはオン・オフの指示のみが行われる。FIGS. 2 to 4 show the overall structure of the vacuum evaporation apparatus.
The vacuum chamber 11 shown in FIG. 1 is installed at the upper right of the main body 21 of the vacuum evaporation apparatus, for example, as shown in FIG. An operation panel 23 covered by an operation panel cover 22 is provided at the upper left of the main body 21 of the vacuum evaporation apparatus. The diffusion pump connection port 11b and the rotary pump connection port 11c of the vacuum chamber 11 are connected to, for example, the diffusion pump 31 and the rotary pump 32 shown in FIG. Further, it is similarly connected to the mechanical booster pump 33. The nitrogen gas inlet 11a provided in the vacuum chamber 11 also
A nitrogen gas is supplied in connection with a gas tank (not shown) or the like. By operating the operation panel 23, the R shown in FIG.
Control such as energization of the F coil 12 and the filament heater 13 is performed, but since it is actually controlled by a computer, generally only ON / OFF instructions are performed.
【００１８】次に、これらの図１から図４、特に図１を
参照しながら、パネルの製造工程について、その作業手
順を述べる。まず、図１の真空チャンバー１１内に、メ
タルバック膜の原料となるアルミニウムを、図示しない
パーツフィーダーによってフィラメントヒーター１３の
内部に入れた後、蛍光体層（先の図５の２）が形成され
た（蛍光体層の形成工程まで終了した）パネル１４を、
真空チャンバー１１の上方に載置する。パネル１４を載
せた後、ディフュージョンポンプ（図４の３１）やロー
タリーポンプ（図４の３２）などによって真空チャンバ
ー１１内の排気を行う。この排気工程において、真空チ
ャンバー１１内の圧力が、１０~4〜１０~5Ｔｏｒｒ程度
になったとき、フィラメントヒーター１３に通電して、
メタルバック膜となるアルミニウムの蒸着を行う。Next, with reference to FIGS. 1 to 4, particularly FIG. 1, an operation procedure of a panel manufacturing process will be described. First, in the vacuum chamber 11 of FIG. 1, aluminum as a material of the metal back film is put into the filament heater 13 by a parts feeder (not shown), and then a phosphor layer (2 in FIG. 5) is formed. Panel 14 (completed up to the phosphor layer forming step)
It is placed above the vacuum chamber 11. After the panel 14 is mounted, the inside of the vacuum chamber 11 is evacuated by a diffusion pump (31 in FIG. 4) or a rotary pump (32 in FIG. 4). In the exhaust step, when the pressure in the vacuum chamber 11, becomes about 10 ~ 4 ~10 ~ 5 Torr, by energizing the filament heater 13,
Aluminum is deposited as a metal back film.
【００１９】その後、プラズマを形成するために、ＲＦ
コイル１２に１〜２ｋＷ程度になる電流を供給すると共
に、フィラメントヒーター１３の電流を減少させ、真空
チャンバー１１内に窒素ガス導入口１１ａから窒素ガス
を導入する。真空チャンバー１１内の全圧力を１×１０
~3Ｔｏｒｒ程度の一定の値に保ちながら、黒化した窒化
アルミの熱吸収膜を形成する。この発明のカラー陰極線
管の製造方法は、以上のように、メタルバック膜を形成
する工程において、アルミニウムを加熱して形成したメ
タルバック膜上に、真空中で連続して窒素を導入しアル
ミニウムを加熱し、反応性蒸着して熱吸収膜を形成して
いる。Thereafter, to form a plasma, RF
A current of about 1 to 2 kW is supplied to the coil 12, the current of the filament heater 13 is reduced, and nitrogen gas is introduced into the vacuum chamber 11 from the nitrogen gas inlet 11 a. The total pressure in the vacuum chamber 11 is 1 × 10
While maintaining a constant value of about 3 Torr, a heat absorbing film of blackened aluminum nitride is formed. As described above, in the method of manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention, in the step of forming a metal back film, nitrogen is continuously introduced in a vacuum on a metal back film formed by heating aluminum to form aluminum. Heating and reactive deposition form a heat absorbing film.
【００２０】以上のように、この発明では、メタルバッ
ク膜を形成する工程と、熱吸収膜を形成する工程とを連
続して行うが、フィラメントヒーター１３の電流を減少
させて蒸着の成膜レートを低下させる理由は、アルミニ
ウムの窒化反応が十分速くないからである。この場合
に、ＲＦコイル１２によってプラズマを形成し、アルミ
ニウムの窒化を促進させることにより、熱吸収特性の優
れた成膜が可能になる。すなわち、プラズマを形成して
アルミニウムと窒素とをイオン化し、粒子の飛散スピー
ドを加速させるイオンプレーティング法を適用した点に
一つの特徴がある。As described above, in the present invention, the step of forming the metal back film and the step of forming the heat absorbing film are continuously performed. The reason is that the nitriding reaction of aluminum is not fast enough. In this case, the plasma is formed by the RF coil 12 to promote the nitridation of aluminum, whereby a film having excellent heat absorption characteristics can be formed. That is, one feature is that an ion plating method is applied in which plasma is formed to ionize aluminum and nitrogen to accelerate the scattering speed of particles.
【００２１】なお、反応性蒸着による成膜時の圧力は、
一般的には１０~4Ｔｏｒｒ台の後半の値であるが、この
出願の発明者らは、１０~3〜１０~4Ｔｏｒｒ台の値で実
験を行った結果、熱吸収特性が極めて良好な成膜が得ら
れた。また、プラズマを形成させるために、ＲＦコイル
１２を使用する利点は、次のとおりである。蒸着レート
は、真空度が高いほど早くなるが、蒸着レートが早くな
ると、アルミニウムの窒化が十分には進まない。そこ
で、蒸着レートをあまり犠牲にすることなく、十分な窒
化反応をさせるために、ＲＦコイル１２を使用するのが
効果的である。The pressure at the time of film formation by reactive evaporation is as follows:
Generally, the value is in the latter half of the order of 10 to 4 Torr, but the inventors of the present application have conducted experiments at the values of the order of 10 to 3 to 10 to 4 Torr, and as a result, the heat absorption characteristics were extremely good. A film was obtained. The advantages of using the RF coil 12 to form the plasma are as follows. The deposition rate increases as the degree of vacuum increases, but when the deposition rate increases, nitriding of aluminum does not proceed sufficiently. Therefore, it is effective to use the RF coil 12 in order to cause a sufficient nitridation reaction without sacrificing the deposition rate much.
【００２２】ところで、一般に、アルミニウムの反射率
は、例えば波長が５５０ｎｍで約９２％、熱吸収に重要
な影響を与えると考えられる波長領域、例えば２〜１０
μｍでは約９８％である。これに対して、先の図１から
図４に関連して説明したこの発明のカラー陰極線管によ
って形成された熱吸収膜によれば、波長が５５０ｎｍが
可視光領域で、例えば約４５％、２〜１０μｍの波長領
域では、例えば約６８〜８６％である。したがって、パ
ネル１４のメタルバック膜であるアルミニウムの蒸着膜
上に連続した窒化アルミが蒸着され、熱吸収膜として機
能する黒色膜が形成される。この場合に、窒化アルミ膜
は、膜厚を大きくするとＣＲＴパネルの輝度が低下す
る、という問題があるので、膜厚は２００〜８，０００
Å、好ましくは３００〜２，０００Åの範囲となるよう
に形成すればよい。By the way, in general, the reflectance of aluminum is, for example, about 92% at a wavelength of 550 nm, in a wavelength region considered to have a significant influence on heat absorption, for example, 2 to 10%.
In μm, it is about 98%. On the other hand, according to the heat absorbing film formed by the color cathode ray tube of the present invention described with reference to FIGS. 1 to 4, the wavelength of 550 nm is in the visible light region, for example, about 45%, In the wavelength region of 10 to 10 μm, for example, it is about 68 to 86%. Therefore, continuous aluminum nitride is vapor-deposited on the aluminum vapor-deposited film serving as the metal back film of panel 14, and a black film functioning as a heat absorbing film is formed. In this case, since the aluminum nitride film has a problem that the luminance of the CRT panel decreases as the film thickness increases, the film thickness is 200 to 8,000.
Å, preferably in the range of 300 to 2,000Å.
【００２３】以上の実施の形態では、ＲＦコイル１２に
よってプラズマを形成し、アルミニウムの窒化を促進さ
せる製造方法について説明した。しかし、プラズマを形
成する他の実施の形態としては、イオンガンをパネル内
面に向けて設置して、アルゴンガスを導入し、パネル内
面に近い部分にプラズマを形成する方法も可能である。
さらに、アルミニウムの窒化を促進させる他の実施の形
態として、パネル外面あるいは内面から加熱することに
より、パネル内面表層部でのアルミニウムの窒化を促進
させる方法も有効である。In the above-described embodiment, the manufacturing method has been described in which plasma is formed by the RF coil 12 to promote nitriding of aluminum. However, as another embodiment for forming plasma, a method in which an ion gun is installed toward the inner surface of the panel, argon gas is introduced, and plasma is formed in a portion near the inner surface of the panel is also possible.
Further, as another embodiment for promoting the nitridation of aluminum, a method of promoting the nitridation of aluminum at the surface layer portion on the inner surface of the panel by heating from the outer surface or the inner surface of the panel is also effective.
【００２４】[0024]
【発明の効果】請求項１のカラー陰極線管の製造方法で
は、パネルのメタルバック膜であるアルミニウムの蒸着
膜上に連続して窒化アルミを蒸着することにより、黒色
膜を形成させ、パネルに相対するアパチャーグリルから
放射される熱をパネル側に吸収させるようにしている。
したがって、アパチャーグリルの温度ドリフトによる電
子ビームのランディングズレが減少され、このズレに起
因する色ズレを低く抑えることができる。According to the method for manufacturing a color cathode ray tube of the present invention, a black film is formed by continuously depositing aluminum nitride on an aluminum deposited film which is a metal back film of the panel. The panel radiates the heat radiated from the aperture grill.
Therefore, the landing deviation of the electron beam due to the temperature drift of the aperture grill is reduced, and the color deviation due to this deviation can be suppressed.
【００２５】請求項２のカラー陰極線管の製造方法で
は、請求項１のカラー陰極線管の製造方法において、メ
タルバック膜上に真空を解除することなく続けて熱吸収
膜を形成するようにしている。したがって、請求項１の
製造方法による効果に加えて、熱吸収膜が窒化アルミで
あるため、輝度の低下も少ない上に、真空度の低下や、
材料供給に伴う作業効率の低下なども生じない、という
効果も得られる。According to a second aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color cathode ray tube according to the first aspect, a heat absorbing film is continuously formed on the metal back film without releasing the vacuum. . Therefore, in addition to the effect of the manufacturing method of claim 1, since the heat absorbing film is made of aluminum nitride, the reduction in luminance is small, the degree of vacuum is reduced,
There is also obtained an effect that the work efficiency does not decrease due to the material supply.
【００２６】請求項３のカラー陰極線管の製造方法で
は、請求項１のカラー陰極線管の製造方法において、真
空蒸着チャンバーに蛍光体層が形成されたパネルの内面
を載置した状態で、真空蒸着チャンバー内部を排気した
後、アルミニウムの真空蒸着を行ってメタルバック膜を
形成し、真空状態を解除することなく、窒素を導入しア
ルミニウムを加熱して反応性蒸着することにより、先に
形成されたメタルバック膜上に熱吸収膜を形成してい
る。したがって、請求項２の製造方法と同様の効果が得
られる。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a color cathode ray tube according to the first aspect of the invention, wherein the panel on which the phosphor layer is formed is placed in a vacuum evaporation chamber. After the inside of the chamber was evacuated, aluminum was vacuum-deposited to form a metal back film, and nitrogen was introduced and the aluminum was heated and reactively vapor-deposited without releasing the vacuum state. A heat absorption film is formed on the metal back film. Therefore, the same effect as the manufacturing method according to claim 2 can be obtained.
【図１】この発明のカラー陰極線管の製造方法を実施す
るために使用する真空蒸着装置について、その真空チャ
ンバー部とパネルとの一例を示す略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a vacuum chamber section and a panel of a vacuum deposition apparatus used for carrying out a method of manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention.
【図２】真空蒸着装置の全体構造について、その一例を
示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing an example of the entire structure of the vacuum evaporation apparatus.
【図３】図２に示した真空蒸着装置の上面と側面の一例
を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a top surface and a side surface of the vacuum evaporation apparatus illustrated in FIG. 2;
【図４】図２に示した真空蒸着装置について、その内部
構造の一例を示す略透視図である。FIG. 4 is a schematic perspective view showing an example of an internal structure of the vacuum evaporation apparatus shown in FIG.
【図５】従来のカラー陰極線管について、要部構成の一
例を示す略断面図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing an example of a configuration of a main part of a conventional color cathode ray tube.
１１……真空チャンバー、１１ａ……窒素ガス導入口、
１１ｂ……ディフュージョンポンプ接続口、１１ｃ……
ロータリーポンプ接続口、１２……ＲＦコイル、１３…
…フィラメントヒーター、１４……パネル11: vacuum chamber, 11a: nitrogen gas inlet,
11b ... Diffusion pump connection port, 11c ...
Rotary pump connection port, 12 RF coil, 13
... filament heater, 14 ... panel
Claims (3)
と、形成された蛍光体層上にメタルバック膜を形成する
工程とを行うカラー陰極線管の製造方法において、 メタルバック膜を形成する工程として、アルミニウムを
加熱して形成したメタルバック膜上に、窒素を導入しア
ルミニウムを加熱し、反応性蒸着して熱吸収膜を形成す
ることを特徴とするカラー陰極線管の製造方法。1. A method of manufacturing a color cathode ray tube, comprising the steps of: forming a phosphor layer inside a panel; and forming a metal back film on the formed phosphor layer. A method for manufacturing a color cathode ray tube, comprising: introducing nitrogen onto a metal back film formed by heating aluminum, heating the aluminum, and reactively depositing the aluminum to form a heat absorbing film.
程は、真空を解除することなく、形成されたメタルバッ
ク膜上に続けて行うことを特徴とする請求項１記載のカ
ラー陰極線管の製造方法。2. The color cathode ray tube according to claim 1, wherein the step of forming the metal back film and the heat absorbing film is performed continuously on the formed metal back film without releasing the vacuum. Production method.
タルバック膜と熱吸収膜とを形成するカラー陰極線管の
製造方法において、 真空蒸着チャンバーに蛍光体層が形成されたパネルの内
面を載置した状態で、真空蒸着チャンバー内部を排気し
た後、アルミニウムの真空蒸着を行ってメタルバック膜
を形成し、真空状態を解除することなく、窒素を導入し
アルミニウムを加熱して反応性蒸着することにより、先
に形成されたメタルバック膜上に熱吸収膜を形成するこ
とを特徴とする請求項１記載のカラー陰極線管の製造方
法。3. A method of manufacturing a color cathode ray tube, wherein a metal back film and a heat absorbing film are formed on a phosphor layer formed inside a panel, wherein the inner surface of the panel having the phosphor layer formed in a vacuum deposition chamber is formed. After the inside of the vacuum deposition chamber is evacuated while the substrate is placed, vacuum deposition of aluminum is performed to form a metal back film, and nitrogen is introduced and the aluminum is heated and reactively deposited without releasing the vacuum state. 2. The method according to claim 1, wherein the heat absorbing film is formed on the metal back film formed earlier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25951997A JPH1196908A (en) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | Manufacture of color cathode ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25951997A JPH1196908A (en) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | Manufacture of color cathode ray tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1196908A true JPH1196908A (en) | 1999-04-09 |
Family
ID=17335231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25951997A Pending JPH1196908A (en) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | Manufacture of color cathode ray tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1196908A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1170771A1 (en) * | 2000-07-05 | 2002-01-09 | Sony Corporation | Cathode ray tube and method for manufacturing thereof |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP25951997A patent/JPH1196908A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1170771A1 (en) * | 2000-07-05 | 2002-01-09 | Sony Corporation | Cathode ray tube and method for manufacturing thereof |
| US6713121B2 (en) | 2000-07-05 | 2004-03-30 | Sony Corporation | Cathode ray tube and method for manufacturing thereof |
| KR100842336B1 (en) * | 2000-07-05 | 2008-06-30 | 소니 가부시끼 가이샤 | Cathode ray tube and method for manufacturing thereof |
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