JPH1195078A - Optical member and optical device - Google Patents

Optical member and optical device

Info

Publication number
JPH1195078A
JPH1195078A JP9255573A JP25557397A JPH1195078A JP H1195078 A JPH1195078 A JP H1195078A JP 9255573 A JP9255573 A JP 9255573A JP 25557397 A JP25557397 A JP 25557397A JP H1195078 A JPH1195078 A JP H1195078A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
adhesive
solidified
less
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9255573A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Nakamura
徹 中村
Sumuto Shimizu
澄人 清水
Kajiro Ushio
嘉次郎 潮
Tetsuya Oshino
哲也 押野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP9255573A priority Critical patent/JPH1195078A/en
Publication of JPH1195078A publication Critical patent/JPH1195078A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
    • G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical member, which can prevent environmental pollution in a periphery (in a clean room or a medical institution, especially) or deterioration in optical performance in spite of long-term use in an optical system for an optical device requiring highly precise optical performance over a long term or an optical system such as a laser optical system using high output or short, wavelength light, as an optical member in which optical glass is fixed to a metallic holding member by means of an adhesive and to provide an optical device using this optical member as an optical system. SOLUTION: In an optical member provided with an optical glass 11, a metallic holding member 12 holding the optical glass 11, and a solidificated/hardened adhesive 13 fixing the optical glass 11 to the holding member 12, hardness (JIS A) of the solidificated/hardened adhesive 13 is set to be 90 or less, and a ratio (a degassing constituent content ratio) of a degassing constituent contained in the solidificated/hardened adhesive is set to be 0.1% or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、接着剤により光学
ガラスを金属製の保持部材に固定してなる光学部材と、
該光学部材を光学系に用いた光学装置に関するものであ
る。The present invention relates to an optical member comprising an optical glass fixed to a metal holding member by an adhesive,
The present invention relates to an optical device using the optical member for an optical system.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光学ガラスを金属部品（金属製の保持部
材）に保持する方法として、接着剤により光学ガラスを
金属部品に固定する方法が広く用いられている。例え
ば、光学ガラスが光学レンズである場合には、図１に示
す様に光学レンズ（１１）を金属部品（１２）に挿入し
た後、光学レンズと金属部品の間にできた隙間に接着剤
（１３）を充填して、硬化（または固化）させる方法が
とられる。2. Description of the Related Art As a method of holding an optical glass on a metal component (a metal holding member), a method of fixing the optical glass to the metal component with an adhesive has been widely used. For example, when the optical glass is an optical lens, as shown in FIG. 1, after inserting the optical lens (11) into the metal part (12), an adhesive ( 13) is filled and cured (or solidified).

【０００３】また、前記光学ガラスが光学ミラーである
場合には、図２に示す様に光学ミラー（２１）を金属部
品（２２）の所定場所にバネ等で仮止めした後、ミラー
の周囲に接着剤（２３）を塗布して、硬化（または固
化）させた後に仮止めをはずす方法が良く用いられる。
この様な光学レンズと金属部品の接着に用いられる接着
剤は、ガラス及び金属の両方への接着性に優れ、同時に
これらを腐食させないものであれば良いが、特に高精度
の光学特性が要求される場合には、接着剤の硬化（また
は固化）収縮による光学ガラスの応力発生が問題とな
る。When the optical glass is an optical mirror, the optical mirror (21) is temporarily fixed to a predetermined position of a metal part (22) with a spring or the like as shown in FIG. A method of applying an adhesive (23), curing (or solidifying), and then removing the temporary fixing is often used.
The adhesive used for bonding such an optical lens and a metal component is not particularly limited as long as it has excellent adhesiveness to both glass and metal and does not corrode them at the same time. In such a case, there is a problem in that the stress of the optical glass is generated due to the curing (or solidification) contraction of the adhesive.

【０００４】そして、この問題を解決するためには、硬
化（または固化）収縮が全く無い接着剤を用いるか、或
いは硬化（または固化）収縮時に発生する応力を接着剤
の硬化（または固化）物自身により緩和させればよい。
ところが、現在の技術では、硬化（または固化）収縮が
全く無い接着剤を作製することができないので、高精度
の光学特性が要求される光学ガラスの接着においては、
硬化（または固化）後も弾性を有し、硬化（または固
化）物自身が応力を緩和する性質を有する接着剤が使用
されている。In order to solve this problem, an adhesive having no curing (or solidifying) shrinkage is used, or a stress generated at the time of curing (or solidifying) shrinkage is caused by a cured (or solidified) material of the adhesive. You can relax yourself.
However, with the current technology, it is not possible to produce an adhesive having no curing (or solidification) shrinkage, and therefore, in bonding optical glass that requires high-precision optical characteristics,
Adhesives that have elasticity after curing (or solidification) and have a property that the cured (or solidified) material itself relieves stress are used.

【０００５】このような接着剤としては、シリコン系接
着剤が一般的であり、また最近ではエポキシ系の弾性接
着剤も実用化されている。前述した硬化（または固化）
に伴う応力発生の問題に加えて、硬化（または固化）温
度が問題になる場合もある。即ち、接着剤により光学ガ
ラスを金属製の保持部材に固定してなる光学部材が特に
高精度の光学特性が要求される光学装置に使用される場
合には、硬化（または固化）時の加熱温度をあまり高く
することができない。As such an adhesive, a silicone-based adhesive is generally used, and recently, an epoxy-based elastic adhesive has been put to practical use. Hardening (or solidification) as described above
The curing (or solidification) temperature may be a problem in addition to the problem of stress generation accompanying the above. That is, when an optical member obtained by fixing an optical glass to a metal holding member with an adhesive is used for an optical device that requires particularly high-precision optical characteristics, the heating temperature during curing (or solidification) is set. Can not be too high.

【０００６】これは、硬化（または固化）時の加熱温度
が高すぎると、光学ガラスに発生する歪みが許容限界を
越えるからである。そこで、このような場合には、室温
（またはそれに近い比較的低い温度）で硬化または固化
するタイプの接着剤が用いられている。This is because, if the heating temperature at the time of curing (or solidification) is too high, the distortion generated in the optical glass exceeds the allowable limit. Therefore, in such a case, an adhesive that cures or solidifies at room temperature (or a relatively low temperature close thereto) is used.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シリコ
ン系をはじめとするこれらの接着剤により、光学ガラス
と金属部品とを接着した光学部材や、該光学部材を用い
た光学装置を長期間使用する場合には、接着剤の硬化
（または固化）物から微量づつ、長期間に亘って放出さ
れるガスにより、周囲環境が汚染されるという問題が発
生する。However, when an optical member in which an optical glass and a metal component are bonded to each other with these adhesives such as a silicon-based material or an optical device using the optical member is used for a long period of time. In this case, there is a problem in that the surrounding environment is polluted by a small amount of gas released over a long period of time from a cured (or solidified) material of the adhesive.

【０００８】接着剤の硬化（または固化）物から放出さ
れるガスは微量であり、一般の室内環境では問題視され
ることがこれまで殆ど無かったが、前記光学部材または
光学装置がクリーンルーム内で使用される場合には、室
内環境汚染物質として問題となる。また、前記光学部材
または光学装置が病院等の医療機関で用いられる場合に
も接着剤の硬化（または固化）物から放出されるガスが
汚染物質として問題となり、環境中の微量ガス成分を通
常よりも低いレベルに抑える必要がある。[0008] The amount of gas released from the cured (or solidified) material of the adhesive is very small, and it has hardly been regarded as a problem in a general indoor environment. When used, it poses a problem as an indoor environmental pollutant. Also, when the optical member or the optical device is used in a medical institution such as a hospital, a gas released from a cured (or solidified) material of the adhesive becomes a problem as a pollutant, and a trace gas component in the environment can be reduced more than usual. Need to be kept low.

【０００９】また、前記光学部材または光学装置が高出
力光源または短波長光源と一緒に用いられる場合には、
接着剤の硬化（または固化）物からの脱ガス成分がごく
微量光学ガラスに付着した後、光または熱により化学変
化を起こして、長期間の使用後に光学性能の劣化を引き
起こすことがあり、問題となっていた。通常、これらの
劣化はごく僅かなものであり、一般の光学装置では問題
にならないことが多いが、高精度の光学性能が長期に亘
って要求される光学装置の光学系や、レーザ光学系など
高出力または短波長の光を用いる光学系では、前記劣化
が無視できない場合があり、問題となっていた。When the optical member or the optical device is used together with a high-output light source or a short-wavelength light source,
After a very small amount of degassed components from the cured (or solidified) material of the adhesive adhere to the optical glass, chemical changes occur due to light or heat, which may cause deterioration of optical performance after long-term use. Had become. Normally, these deteriorations are very slight and do not often cause a problem in general optical devices.However, optical systems of optical devices that require high-precision optical performance for a long time, laser optical systems, etc. In an optical system using high-output or short-wavelength light, the deterioration may not be negligible, which has been a problem.

【００１０】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、接着剤により光学ガラスを金属製の保持部
材に固定してなる光学部材であり、高精度の光学性能が
長期に亘って要求される光学装置の光学系や、レーザ光
学系など高出力または短波長の光を用いる光学系におい
て長期間使用されても、周囲（特に、クリーンルーム内
や医療機関内など）環境の汚染や光学性能の劣化を引き
起こすことがない光学部材と、該光学部材を光学系に用
いた光学装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and is an optical member in which an optical glass is fixed to a metal holding member with an adhesive, and high-precision optical performance is maintained for a long time. Even if used for a long time in the optical system of the required optical device or the optical system using high-output or short-wavelength light such as a laser optical system, the surrounding environment (especially in a clean room or a medical institution) will not be affected by environmental contamination or optics. It is an object of the present invention to provide an optical member that does not cause deterioration in performance and an optical device using the optical member in an optical system.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は第一
に「少なくとも、光学ガラスと、該光学ガラスを保持す
る金属製の保持部材と、前記光学ガラスを前記保持部材
に固定する接着剤の固化物または硬化物と、を有する光
学部材において、前記接着剤の固化物または硬化物の硬
さ（ＪＩＳ Ａ）を９０以下とし、かつ前記固化物また
は硬化物が含有する脱ガス成分の割合（脱ガス成分含有
率）を0.1 ％以下としたことを特徴とする光学部材（請
求項１）」を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention firstly provides at least an optical glass, a metal holding member for holding the optical glass, and an adhesive for fixing the optical glass to the holding member. In the optical member having the solidified product or the cured product, the hardness (JIS A) of the solidified product or the cured product of the adhesive is set to 90 or less, and the ratio of the degassing component contained in the solidified product or the cured product ( (A degassing component content) of 0.1% or less.

【００１２】また、本発明は第二に「前記接着剤の固化
物または硬化物はケイ素を含有し、前記脱ガス成分は、
１分子中のケイ素原子数が２０以下である低分子のケイ
素含有化合物であることを特徴とする請求項１記載の光
学部材（請求項２）」を提供する。また、本発明は第三
に「前記接着剤の固化物または硬化物の固化温度もしく
は硬化温度が８０°Ｃ以下であることを特徴とする請求
項１または２記載の光学部材（請求項３）」を提供す
る。The present invention also relates to a second aspect, wherein "the solidified or cured product of the adhesive contains silicon, and the degassing component is
An optical member according to claim 1 (claim 2), which is a low-molecular-weight silicon-containing compound in which the number of silicon atoms in one molecule is 20 or less. The third aspect of the present invention is an optical member according to claim 1 or 2, wherein the solidified or cured product of the adhesive has a solidification temperature or a curing temperature of 80 ° C. or less. "I will provide a.

【００１３】また、本発明は第四に「前記光学ガラスが
光学レンズまたは光学ミラーであることを特徴とする請
求項１〜３記載の光学部材（請求項４）」を提供する。
また、本発明は第五に「請求項１〜４記載の光学部材を
光学系に用いたことを特徴とする光学装置（請求項
５）」を提供する。また、本発明は第六に「使用される
光の波長が４００ｎｍ以下であることを特徴とする請求
項５記載の光学装置（請求項６）」を提供する。Further, the present invention fourthly provides "the optical member according to any one of claims 1 to 3, wherein the optical glass is an optical lens or an optical mirror (claim 4)".
The present invention fifthly provides an "optical device characterized by using the optical member according to claims 1 to 4 for an optical system (claim 5)". A sixth aspect of the present invention provides “an optical device according to claim 5, wherein the wavelength of light used is 400 nm or less (claim 6)”.

【００１４】また、本発明は第七に「使用される光がレ
ーザ光であることを特徴とする請求項５または６記載の
光学装置（請求項７）」を提供する。The present invention seventhly provides an "optical device according to claim 5 or 6, wherein the light used is a laser beam (claim 7)."

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】接着剤により光学ガラスを金属製
の保持部材に固定してなる本発明（請求項１〜４）の光
学部材は、前記接着剤の固化物または硬化物の硬さ（Ｊ
ＩＳ Ａ）を９０以下とし、かつ前記固化物または硬化
物が含有する脱ガス成分の割合（脱ガス成分含有率）を
0.1 ％以下とした。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The optical member according to the present invention (claims 1 to 4) in which an optical glass is fixed to a metal holding member with an adhesive, the hardness of the solidified or cured product of the adhesive ( J
IS A) is 90 or less, and the ratio of the degassing component (the degassing component content) contained in the solidified or cured product is
0.1% or less.

【００１６】即ち、本発明（請求項１〜４）の光学部材
は、接着剤の固化物または硬化物の硬さ（ＪＩＳ Ａ）
を９０以下とすることにより、硬化（または固化）収縮
時に発生する応力を接着剤の硬化（または固化）物自身
により緩和させている。また、本発明（請求項１〜４）
の光学部材は、固化物または硬化物が含有する脱ガス成
分の割合（脱ガス成分含有率）を0.1 ％以下とすること
で、脱ガス成分がごく微量光学ガラスに付着した後、光
または熱により化学変化を起こして、長期間の使用後に
光学性能が劣化することや、脱ガス成分が周囲（特に、
クリーンルーム内や医療機関内などの）環境を汚染する
ことを防止している。That is, the optical member of the present invention (claims 1 to 4) has a hardness (JIS A) of a solidified or cured product of an adhesive.
Is set to 90 or less, the stress generated at the time of curing (or solidifying) shrinkage is alleviated by the cured (or solidified) material of the adhesive itself. The present invention (claims 1 to 4)
The optical member of (1) has a degassing component ratio (degassing component content) of 0.1% or less contained in the solidified or cured product. Causes a chemical change, resulting in deterioration of optical performance after long-term use,
It prevents pollution of the environment (such as in clean rooms and medical institutions).

【００１７】そのため、本発明（請求項１〜４）の光学
部材は、高精度の光学性能が長期に亘って要求される光
学装置の光学系や、レーザ光学系など高出力または短波
長の光を用いる光学装置の光学系において長期間使用さ
れても、周囲（特に、クリーンルーム内や医療機関内な
どの）環境の汚染や光学性能の劣化を引き起こすことが
ない。Therefore, the optical member of the present invention (claims 1 to 4) can be used for an optical system of an optical device which requires high-precision optical performance for a long period of time or a high-output or short-wavelength light such as a laser optical system. Even if used for a long time in the optical system of the optical device using the optical system, the environment (especially in a clean room or a medical institution) is not polluted and the optical performance is not deteriorated.

【００１８】本発明にかかる接着剤としては、例えば、
その固化物または硬化物がケイ素を含有し、脱ガス成分
が１分子中のケイ素原子数が２０以下である低分子のケ
イ素含有化合物である接着剤が挙げられる（請求項
２）。また、本発明にかかる接着剤の固化物または硬化
物の固化温度もしくは硬化温度は８０°Ｃ以下であるこ
とが好ましい（請求項３）。Examples of the adhesive according to the present invention include:
An adhesive is used in which the solidified or cured product contains silicon, and the degassing component is a low-molecular-weight silicon-containing compound in which the number of silicon atoms in one molecule is 20 or less (claim 2). The solidification temperature or the curing temperature of the solidified or cured product of the adhesive according to the present invention is preferably 80 ° C. or less (claim 3).

【００１９】かかる構成にすると、光学部材を高精度の
光学性能が長期に亘って要求される光学装置の光学系
や、レーザ光学系など高出力または短波長の光を用いる
光学装置の光学系に使用する場合でも、硬化（または固
化）時の加熱により発生する光学ガラスの歪を許容限界
以下に抑えるとともに、周囲（特に、クリーンルーム内
や医療機関内などの）環境の汚染や光学性能の劣化を引
き起こすことがない。With this configuration, the optical member can be used for an optical system of an optical device that requires high-precision optical performance for a long period of time or an optical system of an optical device using high-output or short-wavelength light such as a laser optical system. Even when used, the distortion of optical glass caused by heating during curing (or solidification) is kept below the allowable limit, and the surrounding environment (especially in a clean room or medical institution) is contaminated and the optical performance is deteriorated. No cause.

【００２０】本発明にかかる光学ガラスとしては、例え
ば光学レンズまたは光学ミラーが使用される（請求項
４）が、これに限定されるものではない。本発明（請求
項１〜４）にかかる光学部材を光学系に用いた光学装置
（請求項５〜７）は、高精度の光学性能が長期に亘って
要求される光学装置や、レーザ光学系など高出力または
短波長の光を用いる光学装置であっても、周囲（特に、
クリーンルーム内や医療機関内などの）環境の汚染や光
学性能の劣化を引き起こすことがない。As the optical glass according to the present invention, for example, an optical lens or an optical mirror is used (claim 4), but is not limited thereto. An optical device using the optical member according to the present invention (claims 1 to 4) in an optical system (claims 5 to 7) is an optical device that requires high-precision optical performance for a long time, or a laser optical system. Optical devices that use high-power or short-wavelength light,
It does not cause environmental pollution (such as in a clean room or a medical institution) or degradation of optical performance.

【００２１】本発明にかかる光学装置としては、例え
ば、使用される光の波長が４００ｎｍ以下である装置
（請求項６）や、使用される光がレーザ光である光学装
置（請求項７）が挙げられる。これらの装置は、本発明
（請求項１〜４）にかかる光学部材を光学系に用いてい
るので、同様に周囲（特に、クリーンルーム内や医療機
関内などの）環境の汚染や光学性能の劣化を引き起こす
ことがない。The optical device according to the present invention includes, for example, a device in which the wavelength of light used is 400 nm or less (claim 6) and an optical device in which the light used is laser light (claim 7). No. Since these devices use the optical member according to the present invention (claims 1 to 4) in an optical system, similarly, environmental pollution (particularly in a clean room or a medical institution) or deterioration of optical performance. Will not cause.

【００２２】以下、本発明について詳細に説明する。接
着剤の硬化（または固化）物から発生するガスは、大き
く二つに分けることができる。その第一のガスは、接着
剤の硬化（または固化）反応に伴って発生するガスであ
る。シリコン系接着剤を例にとると、かかる発生ガスと
してはアルコール、アセトン、酢酸、オキシムなどを挙
げることができる。Hereinafter, the present invention will be described in detail. Gas generated from a cured (or solidified) product of the adhesive can be roughly divided into two types. The first gas is a gas generated by a curing (or solidifying) reaction of the adhesive. Taking silicon-based adhesive as an example, examples of such a generated gas include alcohol, acetone, acetic acid, and oxime.

【００２３】しかし、これらのガスは硬化（または固
化）反応の進行と共にその発生量が減少し、前記反応が
終了すれば通常は発生しなくなる。また、付加反応によ
り硬化（または固化）する接着剤は、付加型接着剤と呼
ばれ、硬化（または固化）に伴うガス発生は無い。従っ
て、硬化（または固化）に伴う一時的なガス発生を無く
したい場合には、付加型接着剤を使用すればよい。However, the amount of these gases generated decreases with the progress of the curing (or solidification) reaction, and usually disappears when the reaction is completed. An adhesive that is cured (or solidified) by an addition reaction is called an addition-type adhesive, and does not generate gas accompanying curing (or solidification). Therefore, when it is desired to eliminate temporary gas generation due to curing (or solidification), an additional adhesive may be used.

【００２４】接着剤の硬化（または固化）物から発生す
る第二のガスは、硬化（または固化）反応の進行とは無
関係に、長期間に亘って微量づつ放出されるガスであ
り、本発明において問題となるのもこの種の脱ガスであ
る。このタイプの脱ガスとしてシリコン系接着剤の場合
を例にとると、一番顕著なのは、１分子中のケイ素原子
数が２０以下であるケイ素含有化合物である。通常の環
境下では、この長期に亘るガス発生はこれまであまり問
題視されていなかった。The second gas generated from the cured (or solidified) material of the adhesive is a gas which is released in small amounts over a long period of time regardless of the progress of the curing (or solidified) reaction. It is this type of degassing that is problematic in Taking silicon-based adhesive as an example of this type of degassing, the most prominent is a silicon-containing compound in which the number of silicon atoms in one molecule is 20 or less. Under normal circumstances, this long-term outgassing has not been much of a problem so far.

【００２５】しかし、近年、クリーンルームの内装に使
用されるシーリング剤や接着剤から長期に亘って放出さ
れるガスがクリーンルーム内の雰囲気を汚染し、電気回
路の接点障害や、半導体集積回路の歩留り低下の原因と
なっていると言われている。また、最近では、化学物質
過敏症の原因物質の一つとして、壁などの内装に使用さ
れる接着剤からの脱ガスが挙げられている。However, in recent years, a gas released from a sealing agent or an adhesive used for the interior of a clean room for a long period of time pollutes the atmosphere in the clean room, causing contact failure of an electric circuit and a decrease in the yield of a semiconductor integrated circuit. It is said to be the cause. Recently, degassing from an adhesive used for interior parts such as walls has been cited as one of the causative substances of chemical sensitivity.

【００２６】従って、化学物質過敏症患者が治療を受け
る医療機関などでは、内装材に注意を払う必要があるば
かりで無く、そこで使用される装置類からもガスを発生
させない様にする必要がある。本発明者らは、クリーン
ルームや医療機関等、雰囲気中の微量ガス濃度が問題に
なるところでは、建築物の内装材からのガス発生を抑え
るのに加えて、そこで使用される光学装置からの発生ガ
スも抑える必要があると判断した。Therefore, in a medical institution where a chemical sensitive patient is treated, it is necessary not only to pay attention to the interior material, but also to prevent generation of gas from the equipment used there. . The present inventors have found that in places where the concentration of trace gases in the atmosphere is a problem, such as in a clean room or a medical institution, in addition to suppressing the generation of gas from the interior materials of the building, the generation from the optical device used there is also considered. It was decided that the gas needed to be suppressed.

【００２７】そして、鋭意研究を重ねた結果、光学ガラ
スと金属部品との接着に用いる接着剤の硬化（または固
化）物からの発生ガス量を低減させると、効果的である
ことを見い出した。そして、光学ガラスと金属部品の接
着に用いる接着剤の硬化（または固化）物における脱ガ
ス成分の含有率を0.1 ％以下にしたところ、光学装置か
らの発生ガス量も実質的に問題ないレベルにまで低減で
きることを見い出した。As a result of intensive studies, it has been found that it is effective to reduce the amount of gas generated from a cured (or solidified) product of an adhesive used for bonding the optical glass and the metal component. When the content of the degassed component in the cured (or solidified) material of the adhesive used for bonding the optical glass and the metal component is reduced to 0.1% or less, the amount of gas generated from the optical device is reduced to a level that does not cause any problem. We found that it could be reduced to

【００２８】雰囲気中のガス濃度が問題になる場所で使
用される光学装置の例としては、工業用顕微鏡、半導体
集積回路製造用あるいは液晶パターン製造用等の露光装
置、集積回路の検査装置などクリーンルーム内で使用さ
れる装置、生物顕微鏡、内視鏡など医療機関で使用され
る装置、等を挙げることができる。本発明者らは、さら
に検討を加えた結果、波長４００ｎｍ以下の紫外線を発
する紫外線源や、大出力レーザなど大きなパワー密度の
光を発する光源を用いる光学装置の光学系にいられる光
学部材に於いては、接着剤の硬化（または固化）物の脱
ガス成分が光または熱により変質して光学ガラス表面に
付着し、光学部材の性能を僅かではあるが劣化させるこ
とを見い出した。Examples of the optical device used in a place where the gas concentration in the atmosphere is a problem include an industrial microscope, an exposure device for manufacturing a semiconductor integrated circuit or a liquid crystal pattern, and a clean room such as an inspection device for an integrated circuit. Devices used in medical institutions such as biological microscopes and endoscopes, and the like. As a result of further studies, the present inventors have found that an ultraviolet light source emitting ultraviolet light having a wavelength of 400 nm or less and an optical member used in an optical system of an optical device using a light source emitting light with a large power density such as a high-power laser. In addition, it has been found that a degassing component of a cured (or solidified) product of the adhesive is altered by light or heat and adheres to the surface of the optical glass, thereby slightly degrading the performance of the optical member.

【００２９】そこで、光学ガラスと金属部品の接着に用
いる接着剤の硬化（または固化）物の脱ガス成分含有率
を0.1 ％以下にしたところ、波長４００ｎｍ以下の紫外
線源や、大出力レーザなど大きなパワー密度の光を発す
る光源を用いる光学装置において光学部材を長期間使用
しても、光学部材の性能劣化は実質的に全く起こらない
ことを見い出した。Therefore, when the degassing component content of the cured (or solidified) material of the adhesive used for bonding the optical glass and the metal component is reduced to 0.1% or less, a large source such as an ultraviolet light source having a wavelength of 400 nm or less or a high output laser is used. It has been found that even when an optical member is used for a long period of time in an optical device using a light source that emits light having a power density, the performance of the optical member does not substantially deteriorate.

【００３０】波長４００ｎｍ以下の紫外線を発する紫外
線源や、大きなパワー密度の光を発する光源の例として
は、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライド
ランプ、アルゴンレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ、ＫｒＦエ
キシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザなどを挙げること
ができる。また、これらの光源を有する光学装置の例と
しては、紫外線硬化型樹脂の硬化や材料の表面改質など
に用いられる紫外線照射装置、医療器具などの滅菌・殺
菌装置、レーザ加工機、光干渉計、半導体集積回路製造
用あるいは液晶パターン製造用の露光装置、半導体集積
回路の検査装置、ウエハ，フォトマスクまたはレチクル
のゴミ検査装置などを挙げることができる。Examples of an ultraviolet light source that emits ultraviolet light having a wavelength of 400 nm or less and a light source that emits light having a large power density include a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, an argon laser, a He—Ne laser, a KrF excimer laser, and the like. An ArF excimer laser can be used. Examples of optical devices having these light sources include an ultraviolet irradiation device used for curing an ultraviolet-curable resin and modifying the surface of a material, a sterilization / sterilization device for medical instruments, a laser processing machine, an optical interferometer, and the like. And an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor integrated circuit or a liquid crystal pattern, an inspection apparatus for a semiconductor integrated circuit, a dust inspection apparatus for a wafer, a photomask, or a reticle.

【００３１】本発明において低減する脱ガス成分は既に
述べた様に、硬化後も長期間に亘って放出されるもので
あれば全てが対象となり得るが、接着剤がシリコン系接
着剤の場合には、低分子のケイ素含有化合物が例として
挙げられ、さらに詳しくは、１分子中のケイ素原子数が
２０以下の化合物である。接着剤の硬化（または固化）
物中の脱ガス成分の測定は、種々の方法により可能であ
るが、一例を挙げると、接着剤の硬化（または固化）物
をｎ−ヘキサンに２４時間浸せきして脱ガス成分を抽出
した後、ガスクロマトグラフィーで定量することにより
測定できる。As described above, all degassing components to be reduced in the present invention can be used as long as they are released over a long period of time after curing, but when the adhesive is a silicon-based adhesive, Is a compound having a low molecular weight silicon-containing compound as an example, and more specifically, a compound having 20 or less silicon atoms in one molecule. Curing (or solidifying) of the adhesive
The measurement of the degassed component in the material can be performed by various methods. For example, after the cured (or solidified) material of the adhesive is immersed in n-hexane for 24 hours to extract the degassed component, Can be measured by quantification by gas chromatography.

【００３２】光学レンズと金属部品の接着において、接
着剤の硬化（または固化）収縮に伴う光学ガラスの応力
発生は、光学性能を低下させる原因となるので、特に重
要である。本発明者らは、接着剤硬化（または固化）物
の物性と光学ガラスに発生する応力との関係を詳細に検
討した結果、ＪＩＳ Ａによる接着剤硬化（または固
化）物の硬さが９０以下である場合には、さらに望まし
くは８０以下である場合には、光学ガラスの応力発生を
実用上問題ない程度にまで低減できることを見い出し
た。In the bonding between the optical lens and the metal component, the generation of stress of the optical glass accompanying the curing (or solidification) contraction of the adhesive is particularly important because it causes a decrease in optical performance. The present inventors have examined in detail the relationship between the physical properties of the cured adhesive (or solidified) material and the stress generated in the optical glass, and found that the hardness of the cured (or solidified) adhesive according to JIS A is 90 or less. In the case of, it has been found that the stress generation of the optical glass can be reduced to a practically negligible level when the value is more preferably 80 or less.

【００３３】従って、接着剤の硬化（または固化）収縮
による光学部材の光学性能低下を防ぎ、同時に接着剤硬
化（または固化）物からの脱ガス成分による環境汚染や
光学性能の低下を防止する為には、接着剤硬化（または
固化）物のＪＩＳ Ａによる硬さが９０以下であり、か
つ接着剤硬化（または固化）物中の脱ガス成分含有率が
0.1 ％以下である接着剤を使用することが有効である。Therefore, to prevent the optical performance of the optical member from deteriorating due to the curing (or solidifying) shrinkage of the adhesive, and at the same time, to prevent environmental pollution and deterioration of the optical performance due to degassed components from the cured (or solidified) adhesive. Has a hardness of 90 or less according to JIS A of an adhesive cured (or solidified) material, and a degassing component content in the adhesive cured (or solidified) material.
It is effective to use an adhesive that is 0.1% or less.

【００３４】以下、本発明を実施例に基いて説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【００３５】[0035]

【実施例】【Example】

［実施例１］図３に示す様に、内径４２ｍｍの真鍮製金
属部品（３１）に、外径４０ｍｍのガラス製光学レンズ
（３２）を挿入し、前記金属部品（３１）と前記光学レ
ンズ（３２）のすき間に、シリコン系の一液型接着剤Ｋ
Ｅ４８９８（信越化学工業製、ＪＩＳ−Ａ硬さ４０、硬
化物または固化物の低分子シリコン含有量0.03％以下）
を充填し、７２時間×室温の条件にて硬化または固化さ
せることにより（硬化物または固化物３３の形成）、本
実施例の光学部材を作製した。Example 1 As shown in FIG. 3, a glass optical lens (32) having an outer diameter of 40 mm was inserted into a metal part (31) made of brass having an inner diameter of 42 mm, and the metal part (31) and the optical lens ( 32) Silicon one-part adhesive K
E4898 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., JIS-A hardness 40, low-molecular-weight silicon content of the cured product or solidified product of 0.03% or less)
Was filled and cured or solidified under the condition of 72 hours × room temperature (formation of a cured product or a solidified product 33) to produce an optical member of this example.

【００３６】次に、以下に示すように、作製した光学部
材から発生するガスを図４に示す脱ガス捕集系を用いて
捕集し、定量分析を行った。・まず、ポンプ１（４１）
により、毎分３ｌのチッ素ガスを前記光学部材（４３）
が収納されたチャンバー（４２）内に導入する。・次
に、チャンバー（４２）内の雰囲気をポンプ２（４４）
により、毎分0.5 ｌの割合で２分間吸引して、活性炭吸
着剤（４５）に捕集する。Next, as described below, gas generated from the produced optical member was collected by using a degas collecting system shown in FIG. 4 and quantitatively analyzed.・ First, pump 1 (41)
As a result, nitrogen gas at a rate of 3 l / min is supplied to the optical member
Is introduced into the chamber (42) in which is stored. Next, the atmosphere in the chamber (42) is pumped by the pump 2 (44).
Thus, the mixture is sucked at a rate of 0.5 l / min for 2 minutes and collected on the activated carbon adsorbent (45).

【００３７】・捕集したガスを二硫化炭素溶媒により抽
出し、ガスクロマトグラフ質量分析計（日本電子製 Ａ
ＵＴＯＭＡＳＳ１５０）を用いて定量分析を行う。定量
分析の結果を表１に示す。表１の結果から、本実施例の
光学部材からの脱ガス量は極めて少ないことが判る。な
お、表１において、Ｄ３は１分子中のケイ素原子数が３
の化合物を、Ｄ４は４の化合物を、Ｄ５は５の化合物
を、Ｄ６は６の化合物をそれぞれ示す。The collected gas is extracted with a carbon disulfide solvent, and the extracted gas is subjected to gas chromatography / mass spectrometry (JEOL A
Quantitative analysis is performed using UTOMASS 150). Table 1 shows the results of the quantitative analysis. From the results in Table 1, it can be seen that the outgassing amount from the optical member of this example is extremely small. In Table 1, D3 indicates that the number of silicon atoms in one molecule is 3
D4 represents the compound of 4, D5 represents the compound of 5, and D6 represents the compound of 6.

【００３８】このように、本実施例の光学部材は、接着
剤の固化物または硬化物が含有する脱ガス成分の割合
（脱ガス成分含有率）を0.1 ％以下とすることで、脱ガ
ス量を極めて低い値に抑えている。そのため、脱ガス成
分がごく微量、光学ガラスに付着した後、光または熱に
より化学変化を起こして、長期間の使用後に光学性能が
劣化することや、脱ガス成分が周囲（特に、クリーンル
ーム内や医療機関内などの）環境を汚染することを防止
することができる。As described above, in the optical member of this embodiment, the ratio of the degassing component (the degassing component content) contained in the solidified or cured product of the adhesive is set to 0.1% or less, so that the degassing amount is reduced. Is extremely low. Therefore, after a very small amount of degassed component adheres to the optical glass, it undergoes a chemical change due to light or heat, and the optical performance deteriorates after long-term use. Environmental pollution (such as in medical facilities) can be prevented.

【００３９】また、作製した本実施例の光学部材のレン
ズ面に、エネルギー密度５０ｍＪ／ｃｍ2 のＫｒＦエキ
シマレーザ光を照射したところ、５００Ｈｚ−１００時
間の連続照射を行った後でも、光学レンズの外観、透過
率、結像性能の変化は見られなかった。なお、本実施例
の光学部材は、接着剤の固化物または硬化物の硬さ（Ｊ
ＩＳＡ）を９０以下とすることにより、硬化（または固
化）収縮時に発生する応力を接着剤の硬化（または固
化）物自身により緩和させている。Further, when the KrF excimer laser light having an energy density of 50 mJ / cm 2 was irradiated on the lens surface of the optical member of this example, the optical lens was continuously irradiated for 500 hours to 100 hours. No change in appearance, transmittance, or imaging performance was observed. The optical member of the present embodiment has a hardness (J) of a solidified or cured product of an adhesive.
By setting the ISA) to 90 or less, the stress generated at the time of curing (or solidifying) shrinkage is reduced by the cured (or solidified) material of the adhesive itself.

【００４０】また、本実施例では、前記接着剤を８０°
Ｃ以下の室温にて硬化（または固化）させているので、
光学部材を高精度の光学性能が長期に亘って要求される
光学装置の光学系や、レーザ光学系など高出力または短
波長の光を用いる光学装置の光学系に使用する場合で
も、硬化（または固化）時の加熱により発生する光学ガ
ラスの歪を許容限界以下に抑えるとともに、周囲（特
に、クリーンルーム内や医療機関内などの）環境の汚染
や光学性能の劣化を引き起こすことがない。In this embodiment, the adhesive is set at 80 °
Since it is cured (or solidified) at room temperature below C,
Even when the optical member is used in an optical system of an optical device that requires high-precision optical performance for a long period of time or an optical system of an optical device using high-output or short-wavelength light such as a laser optical system, curing (or The distortion of the optical glass caused by the heating during the solidification) is suppressed to an allowable limit or less, and the environment (especially in a clean room or a medical institution) is not contaminated and the optical performance is not deteriorated.

【００４１】このように、本実施例の光学部材は、高精
度の光学性能が長期に亘って要求される光学装置の光学
系や、レーザ光学系など高出力または短波長の光を用い
る光学装置の光学系において長期間使用されても、周囲
（特に、クリーンルーム内や医療機関内などの）環境の
汚染や光学性能の劣化を引き起こすことがない。 ［実施例２］図５に示す様に、アルミ合金製の金属部品
（５１）に、縦４０ｍｍ、横３０ｍｍ、厚さ５ｍｍの光
学ミラー（５２）を仮止めした後に、周囲にシリコン系
の一液型接着剤トスシール８０−ＳＣ（東芝シリコーン
製、ＪＩＳ−Ａ硬さ３８、低分子シリコン含有率０．０
４％以下）を光学ミラーの全周に塗布した。As described above, the optical member of the present embodiment can be used for an optical system of an optical device requiring high-precision optical performance for a long period of time or an optical device such as a laser optical system using high-output or short-wavelength light. Even if the optical system is used for a long period of time, the environment (particularly, in a clean room or a medical institution) is not polluted and the optical performance is not deteriorated. Embodiment 2 As shown in FIG. 5, an optical mirror (52) having a length of 40 mm, a width of 30 mm and a thickness of 5 mm is temporarily fixed to a metal part (51) made of an aluminum alloy, and then a silicon-based metal part is placed around the metal part. Liquid adhesive Tosseal 80-SC (manufactured by Toshiba Silicone, JIS-A hardness 38, low molecular silicon content 0.0
(4% or less) was applied to the entire circumference of the optical mirror.

【００４２】そして、７２時間×室温の条件にて前記接
着剤を硬化または固化させた（硬化物または固化物５３
の形成）後に、仮止めを外して本実施例の光学部材を作
製した。ニコン製６Ｄ型オートコリメータを用いて、接
着した光学ミラー（５２）のスリット反射像を観察した
ところ、鮮明な像が観察され、反射面の精度変化は認め
られなかった。Then, the adhesive was cured or solidified under the conditions of 72 hours × room temperature (cured material or solidified material 53).
After that, the temporary fixing was removed to produce the optical member of this example. When a slit reflection image of the bonded optical mirror (52) was observed using a Nikon 6D type autocollimator, a clear image was observed and no change in the precision of the reflection surface was observed.

【００４３】次に、作製した光学部材から出るガスの捕
集とその定量分析を実施例１と同様に行った。定量分析
の結果を表１に示す。表１の結果から、本実施例の光学
部材からの脱ガス量は極めて少ないことが判る。本実施
例の光学部材も、接着剤の固化物または硬化物が含有す
る脱ガス成分の割合（脱ガス成分含有率）を0.1 ％以下
とすることで、脱ガス量を極めて低い値に抑えている。Next, collection and quantitative analysis of gas emitted from the produced optical member were performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results of the quantitative analysis. From the results in Table 1, it can be seen that the outgassing amount from the optical member of this example is extremely small. Also in the optical member of this embodiment, the degassing amount is suppressed to an extremely low value by setting the ratio of the degassing component (degassing component content) contained in the solidified or cured product of the adhesive to 0.1% or less. I have.

【００４４】そのため、脱ガス成分がごく微量、光学ガ
ラスに付着した後、光または熱により化学変化を起こし
て、長期間の使用後に光学性能が劣化することや、脱ガ
ス成分が周囲（特に、クリーンルーム内や医療機関内な
どの）環境を汚染することを防止することができる。ま
た、作製した本実施例の光学部材のレンズ面に、エネル
ギー密度５０ｍＪ／ｃｍ2 のＫｒＦエキシマレーザ光を
照射したところ、５００Ｈｚ−１００時間の連続照射を
行った後でも、光学レンズの外観、透過率、結像性能の
変化は見られなかった。Therefore, after a very small amount of the degassed component adheres to the optical glass, a chemical change is caused by light or heat, and the optical performance is deteriorated after long-term use. It is possible to prevent pollution of the environment (such as in a clean room or a medical institution). Further, when the KrF excimer laser light having an energy density of 50 mJ / cm 2 was irradiated on the lens surface of the manufactured optical member of this example, the appearance and transmission of the optical lens were obtained even after continuous irradiation at 500 Hz for 100 hours. No change in the rate or the imaging performance was observed.

【００４５】なお、本実施例の光学部材は、接着剤の固
化物または硬化物の硬さ（ＪＩＳＡ）を９０以下とする
ことにより、硬化（または固化）収縮時に発生する応力
を接着剤の硬化（または固化）物自身により緩和させて
いる。また、本実施例では、前記接着剤を８０°Ｃ以下
の室温にて硬化（または固化）させているので、光学部
材を高精度の光学性能が長期に亘って要求される光学装
置の光学系や、レーザ光学系など高出力または短波長の
光を用いる光学装置の光学系に使用する場合でも、硬化
（または固化）時の加熱により発生する光学ガラスの歪
を許容限界以下に抑えるとともに、周囲（特に、クリー
ンルーム内や医療機関内などの）環境の汚染や光学性能
の劣化を引き起こすことがない。In the optical member of this embodiment, by setting the hardness (JISA) of the solidified or cured product of the adhesive to 90 or less, the stress generated at the time of curing (or solidification) shrinkage is reduced by the curing of the adhesive. (Or solidified) by the material itself. Further, in this embodiment, the adhesive is cured (or solidified) at a room temperature of 80 ° C. or lower, so that the optical member is required to have high-precision optical performance for a long period of time. Also, even when used in optical systems such as laser optical systems that use high-power or short-wavelength light, the distortion of the optical glass caused by heating during curing (or solidification) is kept below the allowable limit, and It does not cause environmental pollution (especially in a clean room or a medical institution) or deterioration of optical performance.

【００４６】このように、本実施例の光学部材は、高精
度の光学性能が長期に亘って要求される光学装置の光学
系や、レーザ光学系など高出力または短波長の光を用い
る光学装置の光学系において長期間使用されても、周囲
（特に、クリーンルーム内や医療機関内などの）環境の
汚染や光学性能の劣化を引き起こすことがない。 ［比較例１］実施例２における光学ミラーと金属部品の
接着に、シリコン系の一液型接着剤トスシール３８１
（東芝シリコーン製、ＪＩＳ−Ａ硬さ２８、低分子シリ
コン含有率２％）を用いた以外は、全て実施例２と同様
に光学部材を作製した。As described above, the optical member according to the present embodiment can be used as an optical system of an optical device that requires high-precision optical performance for a long period of time or an optical device using a high-output or short-wavelength light such as a laser optical system. Even if the optical system is used for a long period of time, the environment (particularly, in a clean room or a medical institution) is not polluted and the optical performance is not deteriorated. [Comparative Example 1] A silicone one-component adhesive Tosseal 381 was used for bonding an optical mirror and a metal component in Example 2.
An optical member was manufactured in the same manner as in Example 2 except that (manufactured by Toshiba Silicone, JIS-A hardness 28, low molecular silicon content 2%) was used.

【００４７】ニコン製６Ｄ型オートコリメータを用い
て、接着した光学ミラーのスリット反射像を観察したと
ころ、鮮明な像が観察され、反射面の精度変化は認めら
れなかった。次に、作製した光学部材から出るガスの捕
集とその定量分析を実施例１と同様に行った。定量分析
の結果を表１に示す。表１の結果から、比較例１の光学
部材からの脱ガス量は、実施例１、２のそれと比較する
と非常に多いことが判る。When a slit reflection image of the bonded optical mirror was observed using a Nikon 6D type autocollimator, a clear image was observed, and no change in precision of the reflection surface was observed. Next, collection and quantitative analysis of gas emitted from the produced optical member were performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results of the quantitative analysis. From the results in Table 1, it can be seen that the outgas amount from the optical member of Comparative Example 1 is much larger than that of Examples 1 and 2.

【００４８】そのため、比較例１の光学部材の場合に
は、脱ガス成分が光学ガラスに付着した後、光または熱
により化学変化を起こして、長期間の使用後に光学性能
が劣化した。また、比較例１の光学部材を用いると、脱
ガス成分が周囲（特に、クリーンルーム内や医療機関内
などの）環境を汚染するおそれが強い。Therefore, in the case of the optical member of Comparative Example 1, after the degassing component adhered to the optical glass, a chemical change was caused by light or heat, and the optical performance was deteriorated after long-term use. Further, when the optical member of Comparative Example 1 is used, there is a strong possibility that the degassed components will contaminate the environment (especially in a clean room or a medical institution).

【００４９】[0049]

【表１】 [Table 1]

【００５０】［比較例２］実施例２における光学ミラー
と金属部品の接着に、エポキシ樹脂系の接着剤（セメダ
イン１５００）を用いた以外は、全て実施例２と同様に
光学部材を作製した。ニコン製６Ｄ型オートコリメータ
を用いて、接着した光学ミラーのスリット反射像を観察
したところ、スリット反射像が不鮮明になっており、接
着剤の硬化収縮により面精度が変化していることが明か
になった。Comparative Example 2 An optical member was produced in the same manner as in Example 2 except that an epoxy resin-based adhesive (Cemedine 1500) was used for bonding the optical mirror and the metal component in Example 2. Observation of the slit reflection image of the bonded optical mirror using a Nikon 6D type autocollimator revealed that the slit reflection image was unclear, and it was clear that the surface accuracy was changed due to the curing shrinkage of the adhesive. became.

【００５１】[0051]

【発明の効果】以上説明したように、本発明（請求項１
〜４）の光学部材と、該光学部材を光学系に用いた光学
装置（請求項５〜７）は、高精度の光学性能が長期に亘
って要求される場合や、レーザ光学系など高出力または
短波長の光を用いる場合において長期間使用されても、
周囲（特に、クリーンルーム内や医療機関内などの）環
境の汚染や光学性能の劣化を引き起こすことがない。As described above, the present invention (Claim 1)
The optical members (4) to (4) and an optical device using the optical member in an optical system (claims 5 to 7) are used when high-precision optical performance is required for a long period of time or when a high output power such as a laser optical system is used. Or even when used for a long time when using short wavelength light,
It does not cause pollution of the environment (especially in a clean room or a medical institution) or deterioration of optical performance.

【００５２】即ち、本発明によれば、光学ガラスと金属
部品を接着した光学部材と、該光学部材を備えた光学装
置において、光学特性を損なうことなく、しかも光学部
材及び光学装置からの脱ガスを実用上問題ないレベルに
まで低減することが可能になった。また、本発明によれ
ば、接着剤の硬化（または固化）温度を８０°Ｃ以下と
することにより、高精度が要求される多くの光学部材や
該光学部材を備えた光学装置においても、硬化（または
固化）時の加熱により光学ガラスに生じる歪を抑えると
ともに、脱ガスによる環境汚染や光学性能劣化の問題を
解決することができる。That is, according to the present invention, in an optical member obtained by bonding an optical glass and a metal part, and in an optical device provided with the optical member, degassing from the optical member and the optical device is performed without impairing optical characteristics. Has been reduced to a level that is practically acceptable. Further, according to the present invention, by setting the curing (or solidifying) temperature of the adhesive to 80 ° C. or lower, the curing can be performed even in many optical members requiring high precision and optical devices including the optical members. The distortion generated in the optical glass due to heating during (or solidification) can be suppressed, and the problems of environmental pollution and optical performance deterioration due to degassing can be solved.

【００５３】さらに、本発明によれば、光学部材や該光
学部材を備えた光学装置で使用される光が波長４００ｎ
ｍ以下の紫外光である場合や、レーザなどの光出力光源
から発せられる場合に、長期間の使用後にも光学性能の
劣化が起こらないようにすることが可能になった。Further, according to the present invention, the light used in the optical member and the optical device having the optical member has a wavelength of 400 nm.
When the light is ultraviolet light of m or less, or when emitted from an optical output light source such as a laser, it has become possible to prevent deterioration of optical performance even after long-term use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】は、光学レンズと金属部品との接着方法を示す
断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a method of bonding an optical lens and a metal component.

【図２】は、光学ミラーと金属部品との接着方法を示す
断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a method of bonding an optical mirror and a metal component.

【図３】は、実施例１における光学レンズと金属部品と
の接着方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a method of bonding an optical lens and a metal component in Example 1.

【図４】は、脱ガス捕集系の装置構成図である。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a degas collection system.

【図５】は、実施例２における光学ミラーと金属部品と
の接着方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a method of bonding an optical mirror and a metal component according to a second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１：光学レンズ １２：金属部品 １３：接着剤の硬化（または固化）物 ２１：光学ミラー ２２：金属部品 ２３：接着剤の硬化（または固化）物 ３１：金属部品 ３２：光学レンズ ３３：接着剤の硬化（または固化）物 ４１：ポンプ１ ４２：チャンバー ４３：光学部材 ４４：ポンプ２ ４５：活性炭吸着剤 ５１：金属部品 ５２：光学ミラー ５３：接着剤の硬
化（または固化）物 以上11: Optical lens 12: Metal part 13: Cured (or solidified) substance of adhesive 21: Optical mirror 22: Metal part 23: Cured (or solidified) substance of adhesive 31: Metal part 32: Optical lens 33: Adhesive Cured (or solidified) material 41: Pump 1 42: Chamber 43: Optical member 44: Pump 2 45: Activated carbon adsorbent 51: Metal part 52: Optical mirror 53: Cured (or solidified) material of adhesive

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 押野 哲也 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Tetsuya Oshino Nikon Corporation 3-2-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 少なくとも、光学ガラスと、該光学ガラ
スを保持する金属製の保持部材と、前記光学ガラスを前
記保持部材に固定する接着剤の固化物または硬化物と、
を有する光学部材において、 前記接着剤の固化物または硬化物の硬さ（ＪＩＳ Ａ）
を９０以下とし、かつ前記固化物または硬化物が含有す
る脱ガス成分の割合（脱ガス成分含有率）を0.1 ％以下
としたことを特徴とする光学部材。At least an optical glass, a metal holding member that holds the optical glass, a solidified or cured product of an adhesive that fixes the optical glass to the holding member,
The hardness of the solidified or cured product of the adhesive (JIS A)
Is 90% or less, and the ratio of the degassing component contained in the solidified or cured product (degassing component content) is 0.1% or less. 【請求項２】 前記接着剤の固化物または硬化物はケイ
素を含有し、前記脱ガス成分は、１分子中のケイ素原子
数が２０以下である低分子のケイ素含有化合物であるこ
とを特徴とする請求項１記載の光学部材。2. The solidified or cured product of the adhesive contains silicon, and the degassing component is a low-molecular silicon-containing compound having 20 or less silicon atoms in one molecule. The optical member according to claim 1. 【請求項３】 前記接着剤の固化物または硬化物の固化
温度もしくは硬化温度が８０°Ｃ以下であることを特徴
とする請求項１または２記載の光学部材。3. The optical member according to claim 1, wherein a solidification temperature or a curing temperature of the solidified or cured product of the adhesive is 80 ° C. or less. 【請求項４】 前記光学ガラスが光学レンズまたは光学
ミラーであることを特徴とする請求項１〜３記載の光学
部材。4. The optical member according to claim 1, wherein said optical glass is an optical lens or an optical mirror. 【請求項５】 請求項１〜４記載の光学部材を光学系に
用いたことを特徴とする光学装置。5. An optical device using the optical member according to claim 1 for an optical system. 【請求項６】 使用される光の波長が４００ｎｍ以下で
あることを特徴とする請求項５記載の光学装置。6. The optical device according to claim 5, wherein the wavelength of the light used is 400 nm or less. 【請求項７】 使用される光がレーザ光であることを特
徴とする請求項５または６記載の光学装置。7. The optical device according to claim 5, wherein the light used is a laser beam.
JP9255573A 1997-09-19 1997-09-19 Optical member and optical device Pending JPH1195078A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9255573A JPH1195078A (en) 1997-09-19 1997-09-19 Optical member and optical device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9255573A JPH1195078A (en) 1997-09-19 1997-09-19 Optical member and optical device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1195078A true JPH1195078A (en) 1999-04-09

Family

ID=17280601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9255573A Pending JPH1195078A (en) 1997-09-19 1997-09-19 Optical member and optical device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1195078A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005352037A (en) * 2004-06-09 2005-12-22 Nikon Corp Holding structure of optical member and exposure device
US7185992B2 (en) 2003-11-13 2007-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Lens holding technique
US8023209B2 (en) 2006-08-23 2011-09-20 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of manufacturing light source device and the light source device
US8059148B2 (en) * 2006-08-23 2011-11-15 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Light source device and manufacturing method thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7185992B2 (en) 2003-11-13 2007-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Lens holding technique
JP2005352037A (en) * 2004-06-09 2005-12-22 Nikon Corp Holding structure of optical member and exposure device
US8023209B2 (en) 2006-08-23 2011-09-20 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of manufacturing light source device and the light source device
US8059148B2 (en) * 2006-08-23 2011-11-15 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Light source device and manufacturing method thereof
US8493426B2 (en) 2006-08-23 2013-07-23 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Light source device and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5189614B2 (en) Pellicle, method of attaching the pellicle, mask with pellicle and mask
EP1892570B1 (en) Method for cleaning photo mask
CN101681009B (en) Optical element holding device, lens barrel, exposure device, and device manufacturing method
JP5285185B2 (en) Photomask unit and manufacturing method thereof
JP4903829B2 (en) Pellicle for lithography
JP5304622B2 (en) Pellicle for lithography
US9176399B2 (en) Component of an EUV or UV lithography apparatus and method for producing it
CN111258179B (en) Dustproof film assembly
JP2005070120A (en) Pellicle for lithography
JPH1195078A (en) Optical member and optical device
US20110129767A1 (en) Pellicle for lithography
JP2000292908A (en) Pellicle for lithography
EP2120091B1 (en) Method for stripping pellicle and stripping apparatus used therein
JP2004303808A (en) Aligner, exposure method, and film structure
US7185992B2 (en) Lens holding technique
WO2003090265A1 (en) Support apparatus, optical apparatus, light exposure apparatus, and method for producing device
JPH08123013A (en) Pellicle and bonding method thereof
JP2004279634A (en) Optical part, its manufacturing method and aligner
JP2005524862A (en) Method for manufacturing an optical element comprising a quartz substrate
JP2004095654A (en) Aligner and device manufacturing method
JP3433658B2 (en) Method of preventing pellicle film deterioration in lithography
WO2022215609A1 (en) Pellicle frame, pellicle, photomask with pellicle, exposure method, method for manufacturing semiconductor device, and method for manufacturing liquid crystal display
JPH11233431A (en) Method for assembling optical device
KR20230017807A (en) Pellicle frame, pellicle, exposure original plate with pellicle, exposure method, semiconductor manufacturing method, and liquid crystal display panel manufacturing method
JP2011100016A (en) Pellicle for lithography