JPH1190147A - 粉塵除去装置 - Google Patents
粉塵除去装置Info
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- JPH1190147A JPH1190147A JP9253760A JP25376097A JPH1190147A JP H1190147 A JPH1190147 A JP H1190147A JP 9253760 A JP9253760 A JP 9253760A JP 25376097 A JP25376097 A JP 25376097A JP H1190147 A JPH1190147 A JP H1190147A
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- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 210000004209 hair Anatomy 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/12—Brushes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
- B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粉塵ろ過時の圧力損失の発生を極力抑制し、
フィルタを長期に亘って使用することができる粉塵の除
去装置を提供する。 【解決手段】 筒状に形成されたフィルタと、該筒状フ
ィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの
内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを
備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外
側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記
フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取
り除く粉塵の除去装置において、上記回転ブラシに、そ
の回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を形成す
る。例えば、前記回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸
の外周側の１５０〜２１０°の領域とし、前記回転ブラ
シの植毛部がその回転中心軸を中心にして螺旋状に形成
することが推奨される。
フィルタを長期に亘って使用することができる粉塵の除
去装置を提供する。 【解決手段】 筒状に形成されたフィルタと、該筒状フ
ィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの
内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを
備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外
側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記
フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取
り除く粉塵の除去装置において、上記回転ブラシに、そ
の回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を形成す
る。例えば、前記回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸
の外周側の１５０〜２１０°の領域とし、前記回転ブラ
シの植毛部がその回転中心軸を中心にして螺旋状に形成
することが推奨される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程や
廃棄物処理工程等において発生する有害な粉塵を分離し
て除去する粉塵の除去装置に関するものである。
廃棄物処理工程等において発生する有害な粉塵を分離し
て除去する粉塵の除去装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子製造工程等に用いられる粉塵
除去装置としては、特開平６−１１４２２５号公報に記
載の装置が知られており、粉塵を含有する気体を内側か
ら外側に通過させることにより粉塵を分離するフィルタ
Ｉと、ろ過により上記フィルタ表面の内周側表面に付着
した粉塵を取り除く機能を有すると共に、自らも前処理
用のフィルタの機能を有する回転ブラシからなるフィル
タIIを備えた粉塵除去装置（図３参照）が開示されてい
る。尚、図３（ａ）において、１０はケーシング，１１
は導入口，１２は排出口，２１はフィルタＩ，２２はモ
ータ，２３はフィルタII（回転ブラシ）を夫々示す。
除去装置としては、特開平６−１１４２２５号公報に記
載の装置が知られており、粉塵を含有する気体を内側か
ら外側に通過させることにより粉塵を分離するフィルタ
Ｉと、ろ過により上記フィルタ表面の内周側表面に付着
した粉塵を取り除く機能を有すると共に、自らも前処理
用のフィルタの機能を有する回転ブラシからなるフィル
タIIを備えた粉塵除去装置（図３参照）が開示されてい
る。尚、図３（ａ）において、１０はケーシング，１１
は導入口，１２は排出口，２１はフィルタＩ，２２はモ
ータ，２３はフィルタII（回転ブラシ）を夫々示す。
【０００３】上記装置は、フィルタIIの回転ブラシ２３
にも粉塵除去のフィルタ機能を期待するものであること
から、図３（ｂ）に示す様に、上記回転ブラシには回転
軸の全周に密に植毛されたものが用いられている。ま
た、粉塵を含有する気体を導入する導入口１１と、ろ過
済みの気体を排出する排出口１２が共に上方に形成され
ていることから、導入口１１からフィルタＩの内部に導
入された気体は、フィルタＩ内部の下方に行くまでにフ
ィルタＩを通過して、気体の流れが上方に偏り易い。従
ってフィルタＩの上部は短期間で目詰まりを起こし、圧
力損失が大きくなることから、フィルタを頻繁に交換す
ることが必要であり、フィルタの寿命が短いことが指摘
されていた。
にも粉塵除去のフィルタ機能を期待するものであること
から、図３（ｂ）に示す様に、上記回転ブラシには回転
軸の全周に密に植毛されたものが用いられている。ま
た、粉塵を含有する気体を導入する導入口１１と、ろ過
済みの気体を排出する排出口１２が共に上方に形成され
ていることから、導入口１１からフィルタＩの内部に導
入された気体は、フィルタＩ内部の下方に行くまでにフ
ィルタＩを通過して、気体の流れが上方に偏り易い。従
ってフィルタＩの上部は短期間で目詰まりを起こし、圧
力損失が大きくなることから、フィルタを頻繁に交換す
ることが必要であり、フィルタの寿命が短いことが指摘
されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に着
目してなされたものであって、粉塵ろ過時の圧力損失の
発生を極力抑制し、フィルタを長期に亘って使用するこ
とができる粉塵の除去装置を提供しようとするものであ
る。
目してなされたものであって、粉塵ろ過時の圧力損失の
発生を極力抑制し、フィルタを長期に亘って使用するこ
とができる粉塵の除去装置を提供しようとするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成した本発
明装置とは、筒状に形成されたフィルタと、該筒状フィ
ルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの内
周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを備
え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外側
に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記フ
ィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取り
除く粉塵の除去装置であって、上記回転ブラシは、その
回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有している
ことを要旨とするものであり、例えば、前記回転ブラシ
の非植毛領域が回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°
の領域であり、前記回転ブラシの植毛部がその回転中心
軸を中心にして螺旋状に設けられているものを採用する
ことが推奨される。
明装置とは、筒状に形成されたフィルタと、該筒状フィ
ルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの内
周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを備
え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外側
に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記フ
ィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取り
除く粉塵の除去装置であって、上記回転ブラシは、その
回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有している
ことを要旨とするものであり、例えば、前記回転ブラシ
の非植毛領域が回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°
の領域であり、前記回転ブラシの植毛部がその回転中心
軸を中心にして螺旋状に設けられているものを採用する
ことが推奨される。
【０００６】尚、上記回転ブラシが、その回転中心軸の
軸心方向に見て、非植毛領域を有しているという構成を
採用することは、前記フィルタを円筒型ケーシングに内
装する粉塵除去装置であって、粉塵を含有する気体の導
入口と、粉塵が分離された気体の排出口が、上記円筒型
ケーシングの上面に形成されてなる粉塵除去装置におい
て特に有効である。
軸心方向に見て、非植毛領域を有しているという構成を
採用することは、前記フィルタを円筒型ケーシングに内
装する粉塵除去装置であって、粉塵を含有する気体の導
入口と、粉塵が分離された気体の排出口が、上記円筒型
ケーシングの上面に形成されてなる粉塵除去装置におい
て特に有効である。
【０００７】
【発明の実施の形態】従来の粉塵除去装置では、回転ブ
ラシに粉塵除去のフィルタ機能も期待するものであるこ
とから、ブラシの毛は回転中心軸の全周に亘って密に植
毛されていた。本発明者らが鋭意研究したところ、粉塵
のろ過はブラシによる前処理がなくてもフィルタだけで
十分であり、ブラシの毛はむしろできるだけ粗にして、
フィルタの再生処理に必要最低限の範囲にし、粉塵を含
有する気体がフィルタ内部の空間を全体的に拡がりやす
く構成し、フィルタの一部の領域ではなく、できるだけ
フィルタの全域で粉塵のろ過を行うことが望ましいこと
を見出した。即ち、回転ブラシの回転中心軸の軸心方向
に見て、上記非植毛領域を有する回転ブラシを採用する
ことにより、粉塵含有気体の導入口と、粉塵除去後気体
の排出口を、ケーシングの上面に形成した場合であって
も、フィルタの上方部分だけを短絡して通過するのでは
なく、フィルタ全域で通過できる様になり、フィルタ寿
命を延ばすことができ、フィルタの交換頻度を大幅に低
減することを可能にしたものである。
ラシに粉塵除去のフィルタ機能も期待するものであるこ
とから、ブラシの毛は回転中心軸の全周に亘って密に植
毛されていた。本発明者らが鋭意研究したところ、粉塵
のろ過はブラシによる前処理がなくてもフィルタだけで
十分であり、ブラシの毛はむしろできるだけ粗にして、
フィルタの再生処理に必要最低限の範囲にし、粉塵を含
有する気体がフィルタ内部の空間を全体的に拡がりやす
く構成し、フィルタの一部の領域ではなく、できるだけ
フィルタの全域で粉塵のろ過を行うことが望ましいこと
を見出した。即ち、回転ブラシの回転中心軸の軸心方向
に見て、上記非植毛領域を有する回転ブラシを採用する
ことにより、粉塵含有気体の導入口と、粉塵除去後気体
の排出口を、ケーシングの上面に形成した場合であって
も、フィルタの上方部分だけを短絡して通過するのでは
なく、フィルタ全域で通過できる様になり、フィルタ寿
命を延ばすことができ、フィルタの交換頻度を大幅に低
減することを可能にしたものである。
【０００８】図１は本発明に係る粉塵除去装置の代表例
を示す概略説明図である。本発明の粉塵除去装置の基本
的構成は、従来の装置と同様でよく、円筒型のケーシン
グ１０内にろ過ユニット２０を内装して、粉塵を含有す
る気体をケーシング１０の上面に設けられた導入口１１
からろ過ユニットの内部に送給し、フィルタ２１を通過
させることにより粉塵をろ過して気体だけをケーシング
上面の排出口１２から装置外へ排出すればよい。
を示す概略説明図である。本発明の粉塵除去装置の基本
的構成は、従来の装置と同様でよく、円筒型のケーシン
グ１０内にろ過ユニット２０を内装して、粉塵を含有す
る気体をケーシング１０の上面に設けられた導入口１１
からろ過ユニットの内部に送給し、フィルタ２１を通過
させることにより粉塵をろ過して気体だけをケーシング
上面の排出口１２から装置外へ排出すればよい。
【０００９】尚、上記フィルタ２１は、ケーシング１０
の内周面に固設されたフィルタ支持部材２５により保持
され円筒形に形成されている。このフィルタ２１の内部
には回転ブラシ２３が配設されており、その回転中心軸
はモータ２２に連設され、ブラシ先端が上記フィルタ２
１の内周面に内接して回転する様に構成されている。従
って、上記回転ブラシを回転させることにより上記フィ
ルタ２１の内周面に付着した粉塵を払い落すことがで
き、フィルタ２１は再生される。
の内周面に固設されたフィルタ支持部材２５により保持
され円筒形に形成されている。このフィルタ２１の内部
には回転ブラシ２３が配設されており、その回転中心軸
はモータ２２に連設され、ブラシ先端が上記フィルタ２
１の内周面に内接して回転する様に構成されている。従
って、上記回転ブラシを回転させることにより上記フィ
ルタ２１の内周面に付着した粉塵を払い落すことがで
き、フィルタ２１は再生される。
【００１０】本発明において特徴的な構成は、回転ブラ
シの形状（ブラシの毛の配設方法）にあり、上記回転ブ
ラシはその回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を
有している。図１の装置においては、回転ブラシの半周
に亘って螺旋状に植毛がなされ、回転中心軸の軸心方向
に見て、回転中心軸の外周側の１８０°の領域が非植毛
領域となっている。この様に回転中心軸を中心にして螺
旋状に植毛がなされたブラシを採用する場合には、上記
回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸の外周側の１５０
〜２１０°の領域とすることが望ましい。
シの形状（ブラシの毛の配設方法）にあり、上記回転ブ
ラシはその回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を
有している。図１の装置においては、回転ブラシの半周
に亘って螺旋状に植毛がなされ、回転中心軸の軸心方向
に見て、回転中心軸の外周側の１８０°の領域が非植毛
領域となっている。この様に回転中心軸を中心にして螺
旋状に植毛がなされたブラシを採用する場合には、上記
回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸の外周側の１５０
〜２１０°の領域とすることが望ましい。
【００１１】この回転ブラシの形状以外にも、図２の
（Ａ）〜（Ｃ）の様に、一部の領域において回転中心軸
の上端から下端まで軸心と平行に植毛部が形成された回
転ブラシを採用してもよい。尚、図２の（Ｃ）は、軸心
と平行に形成された植毛部を回転中心軸の正反対方向の
２方向に有してなる例である。
（Ａ）〜（Ｃ）の様に、一部の領域において回転中心軸
の上端から下端まで軸心と平行に植毛部が形成された回
転ブラシを採用してもよい。尚、図２の（Ｃ）は、軸心
と平行に形成された植毛部を回転中心軸の正反対方向の
２方向に有してなる例である。
【００１２】尚、ケーシング１０の下側をケース本体と
は別体の下部ボックス１３とし、周囲からの気密性を保
持することを目的として、図示しないＯリングやクラン
プを接続部に配設してもよい。この場合は、フィルタ２
１の内周面から払い落とされた粉塵は、落下して下部ボ
ックス１３内に貯留されることになる。上記下部ボック
ス１３内に貯留している粉塵は、定期的に又は必要に応
じて下部ボックス１３をケーシング１０の本体から取り
はずすことにより、下部ボックス１３に溜った粉塵を廃
棄することができる。また図１に示す様に、ケーシング
１０の一部にキャップ又は栓を有する清掃窓１４を設け
れば、粉塵を取り除きたいときにキャップ又は栓を外し
清掃窓１４から真空引き等をすることによりケーシング
内部の粉塵を排出することができる。
は別体の下部ボックス１３とし、周囲からの気密性を保
持することを目的として、図示しないＯリングやクラン
プを接続部に配設してもよい。この場合は、フィルタ２
１の内周面から払い落とされた粉塵は、落下して下部ボ
ックス１３内に貯留されることになる。上記下部ボック
ス１３内に貯留している粉塵は、定期的に又は必要に応
じて下部ボックス１３をケーシング１０の本体から取り
はずすことにより、下部ボックス１３に溜った粉塵を廃
棄することができる。また図１に示す様に、ケーシング
１０の一部にキャップ又は栓を有する清掃窓１４を設け
れば、粉塵を取り除きたいときにキャップ又は栓を外し
清掃窓１４から真空引き等をすることによりケーシング
内部の粉塵を排出することができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、粉塵ろ過時の圧力損失の発生を抑制でき、フィルタ
を長期に亘って使用することが可能となり、フィルタの
交換頻度の少ない粉塵除去装置が提供できることとなっ
た。
で、粉塵ろ過時の圧力損失の発生を抑制でき、フィルタ
を長期に亘って使用することが可能となり、フィルタの
交換頻度の少ない粉塵除去装置が提供できることとなっ
た。
【図１】本発明に係る粉塵除去装置の代表例を示す概略
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明に係る回転ブラシの代表的な植毛パター
ンを示す概略説明図である。
ンを示す概略説明図である。
【図３】従来の粉塵除去装置を示す概略説明図である。
１０ ケーシング １１ 導入口 １２ 排出口 １３ 下部ボックス １４ 清掃窓 ２０ ろ過ユニット ２１ フィルタ ２２ モータ ２３ ブラシ ２４ 回転中心軸 ２５ フィルタ支持部材
Claims (4)
- 【請求項１】 筒状に形成されたフィルタと、該筒状フ
ィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの
内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを
備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外
側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記
フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取
り除く粉塵の除去装置であって、 上記回転ブラシは、その回転中心軸の軸心方向に見て、
非植毛領域を有していることを特徴とする粉塵除去装
置。 - 【請求項２】 前記回転ブラシの非植毛領域が、回転中
心軸の外周側の１５０〜２１０°の領域である請求項１
に記載の粉塵除去装置。 - 【請求項３】 前記回転ブラシへの植毛部が、その回転
中心軸を中心にして螺旋状に設けられている請求項２に
記載の粉塵除去装置。 - 【請求項４】 前記フィルタを円筒型ケーシングに内装
する請求項１〜３のいずれかに記載の粉塵除去装置であ
って、 粉塵を含有する気体の導入口と、粉塵が分離された気体
の排出口が、上記円筒型ケーシングの上面に形成されて
なる粉塵除去装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9253760A JPH1190147A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 粉塵除去装置 |
| KR1019980028406A KR100269952B1 (ko) | 1997-09-18 | 1998-07-14 | 분진제거장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9253760A JPH1190147A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 粉塵除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1190147A true JPH1190147A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17255769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9253760A Withdrawn JPH1190147A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 粉塵除去装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1190147A (ja) |
| KR (1) | KR100269952B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2360471A (en) * | 2000-02-14 | 2001-09-26 | Allen Charles Peter Cox | A self cleaning filter for a vacuum cleaner |
| JP2008029912A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Tsuchiya Tsco Co Ltd | フィルタ用清掃装置 |
| JP2008057886A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Daikin Ind Ltd | 空気調和機 |
| CN117180873A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 湖南省康普通信技术有限责任公司 | 一种具有高精密过滤和净化功能的空调过滤装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010088510A (ko) * | 2001-07-30 | 2001-09-28 | 김행웅 | 배수용 오물제거장치 |
| KR101042566B1 (ko) * | 2011-04-27 | 2011-06-20 | 이텍산업 주식회사 | 백필터장치가 설치된 도로 분진 흡입청소차 |
-
1997
- 1997-09-18 JP JP9253760A patent/JPH1190147A/ja not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-07-14 KR KR1019980028406A patent/KR100269952B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2360471A (en) * | 2000-02-14 | 2001-09-26 | Allen Charles Peter Cox | A self cleaning filter for a vacuum cleaner |
| GB2360471B (en) * | 2000-02-14 | 2002-02-13 | Allen Charles Peter Cox | Self cleaning vacuum cleaner filter |
| JP2008029912A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Tsuchiya Tsco Co Ltd | フィルタ用清掃装置 |
| JP2008057886A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Daikin Ind Ltd | 空気調和機 |
| CN117180873A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-08 | 湖南省康普通信技术有限责任公司 | 一种具有高精密过滤和净化功能的空调过滤装置 |
| CN117180873B (zh) * | 2023-11-07 | 2024-02-06 | 湖南省康普通信技术有限责任公司 | 一种具有高精密过滤和净化功能的空调过滤装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990029253A (ko) | 1999-04-26 |
| KR100269952B1 (ko) | 2000-10-16 |
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