JPH1190138A - 気体用濾材及びこれから作成したフィルター - Google Patents
気体用濾材及びこれから作成したフィルターInfo
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- JPH1190138A JPH1190138A JP21317898A JP21317898A JPH1190138A JP H1190138 A JPH1190138 A JP H1190138A JP 21317898 A JP21317898 A JP 21317898A JP 21317898 A JP21317898 A JP 21317898A JP H1190138 A JPH1190138 A JP H1190138A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非常に微小な粒子が捕集でき且つ濾材自体か
ら硼素やリンがほとんど発生しない気体用濾材及びこれ
から作成したフィルターを提供すること。 【解決手段】 基礎材料として、純水中への硼素溶出量
が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であ
り且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs 以下である、繊維径が０．２μｍ〜２．６５μ
ｍのガラス繊維を使用し、前記ガラス繊維を純水を使っ
て抄造して形成してある。
ら硼素やリンがほとんど発生しない気体用濾材及びこれ
から作成したフィルターを提供すること。 【解決手段】 基礎材料として、純水中への硼素溶出量
が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であ
り且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs 以下である、繊維径が０．２μｍ〜２．６５μ
ｍのガラス繊維を使用し、前記ガラス繊維を純水を使っ
て抄造して形成してある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、気体中の不純物を濾
過するための気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーに関するものである。
過するための気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体用濾材には、水を分散剤にした湿式
抄造法によって作成されたものがあり、この種の濾材
は、低アルカリガラス系繊維や硼珪酸ガラス系繊維等を
抄造用の水（一般に川水の濾過水がよく使用される）で
スラリー状混合物にしてこれをメッシュですくい、メッ
シュ上に残留したシート状や紙状の混合物体を乾燥させ
るようにして作成されている。そして、前記濾材は、例
えば、半導体製造工程に必要なクリーンルームをつくる
ための気体用フィルターとして使用されている。
抄造法によって作成されたものがあり、この種の濾材
は、低アルカリガラス系繊維や硼珪酸ガラス系繊維等を
抄造用の水（一般に川水の濾過水がよく使用される）で
スラリー状混合物にしてこれをメッシュですくい、メッ
シュ上に残留したシート状や紙状の混合物体を乾燥させ
るようにして作成されている。そして、前記濾材は、例
えば、半導体製造工程に必要なクリーンルームをつくる
ための気体用フィルターとして使用されている。
【０００３】しかしながら、上記フィルターによって得
られるクリーンルームでは、２５６Ｋ半導体の製造レベ
ルより集積度の高いＬＳＩ，ＶＬＳＩ等の半導体に関し
て良好な性能を有したものが製造できないという問題が
ある。このような問題は、バイオ系製品に関しても同様
である。
られるクリーンルームでは、２５６Ｋ半導体の製造レベ
ルより集積度の高いＬＳＩ，ＶＬＳＩ等の半導体に関し
て良好な性能を有したものが製造できないという問題が
ある。このような問題は、バイオ系製品に関しても同様
である。
【０００４】これは、フィルターとして使用される濾材
中を空気や窒素等の気体が通過するときに、濾材により
空気が汚染される（濾材中の硼素やリンが空気中に離脱
する、即ち二次汚染する）ためと考えられ、現在、この
ような問題のない濾材の開発が求められている。
中を空気や窒素等の気体が通過するときに、濾材により
空気が汚染される（濾材中の硼素やリンが空気中に離脱
する、即ち二次汚染する）ためと考えられ、現在、この
ような問題のない濾材の開発が求められている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、非常に微小な粒子が捕集でき且つ濾材自体から硼素
やリンがほとんど発生しない気体用濾材及びこれから作
成したフィルターを提供することを課題とする。
は、非常に微小な粒子が捕集でき且つ濾材自体から硼素
やリンがほとんど発生しない気体用濾材及びこれから作
成したフィルターを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の気体用濾材
は、基礎材料として、純水中への硼素溶出量が１×１０
-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であり且つリン
溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下である、繊維径が０．２μｍ〜２．６５μｍのガラス
繊維を使用し、前記ガラス繊維を純水を使って抄造して
形成してある。
は、基礎材料として、純水中への硼素溶出量が１×１０
-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であり且つリン
溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下である、繊維径が０．２μｍ〜２．６５μｍのガラス
繊維を使用し、前記ガラス繊維を純水を使って抄造して
形成してある。
【０００７】上記気体用濾材に関して、純水中への硼素
溶出量が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下であり且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs 以下である、繊維径が５μｍ〜２１μｍ
の太径ガラス繊維を具備させ、前記太径ガラス繊維によ
り基礎材料のガラス繊維相互の結合を補強するようにし
てあることが好ましい。
溶出量が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下であり且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs 以下である、繊維径が５μｍ〜２１μｍ
の太径ガラス繊維を具備させ、前記太径ガラス繊維によ
り基礎材料のガラス繊維相互の結合を補強するようにし
てあることが好ましい。
【０００８】そして、他の発明のフィルターは、上記し
た気体用濾材により作成されている。
た気体用濾材により作成されている。
【０００９】
【作用】この出願の発明は次の作用を有する。
【００１０】この発明の気体用濾材は、純水中への硼素
溶出量が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下であり且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs 以下であるガラス繊維により構成されて
いるから、空気が濾材を通過するときに濾材そのものか
ら発生するガス状の硼素やリンを非常に低く抑えること
が可能となり、他方、その繊維径が０．２μｍ〜２．６
５μｍに設定されているから非常に微小な空気通過路を
有する濾材を構成させることができ、その結果、非常に
微小な粒子をも捕集できることとなる。
溶出量が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以
下であり且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs 以下であるガラス繊維により構成されて
いるから、空気が濾材を通過するときに濾材そのものか
ら発生するガス状の硼素やリンを非常に低く抑えること
が可能となり、他方、その繊維径が０．２μｍ〜２．６
５μｍに設定されているから非常に微小な空気通過路を
有する濾材を構成させることができ、その結果、非常に
微小な粒子をも捕集できることとなる。
【００１１】ここで、この発明の濾材では、繊維径の上
記設定により単位重量当たりの繊維の表面積が非常に大
きくなり、繊維製造プロセス等で硼素やリン等の汚染物
が残留したり付着してしまうこととなるが、前記ガラス
繊維は純水により抄造して形成されているから、濾材を
通過した空気中のガス状の硼素やリンを０ｐｐｂまたは
それに近い値まで抑えることができる。
記設定により単位重量当たりの繊維の表面積が非常に大
きくなり、繊維製造プロセス等で硼素やリン等の汚染物
が残留したり付着してしまうこととなるが、前記ガラス
繊維は純水により抄造して形成されているから、濾材を
通過した空気中のガス状の硼素やリンを０ｐｐｂまたは
それに近い値まで抑えることができる。
【００１２】この発明のフィルターについても同様であ
る。
る。
【００１３】
【実施例】以下、この出願の発明の構成を実施例として
示した図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のフィルターは、基礎材料とし
て石英ガラス繊維から成る細径繊維のみを使用してあ
り、抄造用の水として純水（イオン交換水：電導度１０
μｓ／cm）を使用している。
示した図面に従って説明する。 （実施例１）この実施例のフィルターは、基礎材料とし
て石英ガラス繊維から成る細径繊維のみを使用してあ
り、抄造用の水として純水（イオン交換水：電導度１０
μｓ／cm）を使用している。
【００１４】上記した基礎材料となる細径繊維は濾過媒
体をなすものであり、その平均直径は0.85μm （分布0.
2 〜2.65μm ）程度に設定してある。
体をなすものであり、その平均直径は0.85μm （分布0.
2 〜2.65μm ）程度に設定してある。
【００１５】前記フィルターを構成する濾材は、前記細
径繊維を純水に分散させ、次にアクリル酸エステル樹脂
エマルジョンをバインダーとして５重量％（対繊維）を
加えて抄き漉し、乾燥してシート状に形成している。
径繊維を純水に分散させ、次にアクリル酸エステル樹脂
エマルジョンをバインダーとして５重量％（対繊維）を
加えて抄き漉し、乾燥してシート状に形成している。
【００１６】ここで、この実施例の濾材が実際にこの発
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた結果等を
以下の表１に示す。 〔濾材の溶出試験及び測定用液の分析〕 先ず、２〜３％の硝酸を未使用のポリプロピレン製容
器に入れて２４時間以上放置した後、超純水で５回以上
洗浄する。
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた結果等を
以下の表１に示す。 〔濾材の溶出試験及び測定用液の分析〕 先ず、２〜３％の硝酸を未使用のポリプロピレン製容
器に入れて２４時間以上放置した後、超純水で５回以上
洗浄する。
【００１７】試料は、プラスチック手袋をはめて調整
し、試料５ｇを１８μs ／cmの超純水100ml に入れ、６
５℃、１２０時間放置する。この際、試料は常に水中に
浸るようにしておく。 同時に試料なしを作り同一条件下で放置してブランク
する。 一定時間経過後、超純水で２回以上濾過用フィルター
を洗浄し、その上で試料を濾過し、濾液を測定用液とす
る。尚、一度使用した濾過用フィルタは使用しない。濾
過用フィルターはセルロースアセテート製の型式ＤＩＳ
ＭＩＣ−１３ＣＰを使用する。 得られた測定用液は高周波プラズマ発光分析装置ＩＣ
Ｐ（日本シャーレル・アッシュ社 ＩＣＡＰ−５７７）
で元素定量分析を行う。 〔試験結果〕
し、試料５ｇを１８μs ／cmの超純水100ml に入れ、６
５℃、１２０時間放置する。この際、試料は常に水中に
浸るようにしておく。 同時に試料なしを作り同一条件下で放置してブランク
する。 一定時間経過後、超純水で２回以上濾過用フィルター
を洗浄し、その上で試料を濾過し、濾液を測定用液とす
る。尚、一度使用した濾過用フィルタは使用しない。濾
過用フィルターはセルロースアセテート製の型式ＤＩＳ
ＭＩＣ−１３ＣＰを使用する。 得られた測定用液は高周波プラズマ発光分析装置ＩＣ
Ｐ（日本シャーレル・アッシュ社 ＩＣＡＰ−５７７）
で元素定量分析を行う。 〔試験結果〕
【００１８】
【表１】
【００１９】上記した表１から、この実施例の濾材と、
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄造用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。 （実施例２〜８）この実施例の気体用濾材は、石英ガラ
ス繊維から成る細径繊維と前記細径繊維相互の結合を補
強するための少量の太径繊維とから構成されており、抄
造用の水として純水（イオン交換水、蒸留水）を使って
作成している。
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄造用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。 （実施例２〜８）この実施例の気体用濾材は、石英ガラ
ス繊維から成る細径繊維と前記細径繊維相互の結合を補
強するための少量の太径繊維とから構成されており、抄
造用の水として純水（イオン交換水、蒸留水）を使って
作成している。
【００２０】細径繊維は上記実施例１とほぼ同様に構成
されており、異種混使用できる。又、太径繊維は８〜２
４μm 程度（５μm 〜７０μm 程度の範囲のものが使用
できる）に設定してある。
されており、異種混使用できる。又、太径繊維は８〜２
４μm 程度（５μm 〜７０μm 程度の範囲のものが使用
できる）に設定してある。
【００２１】尚、上記した太径繊維は濾材に実用上の機
械的強度（特に腰の強さ：スティフネス）を付与するも
のであり、目的に応じて異種混使用できる。これに使用
できる繊維としては、石英ガラス繊維、アラミッド樹脂
系繊維、Ｐ繊維（ＳｉＯ2 ：５５％，Ａｌ2 Ｏ3 ：３０
％，ＣａＯ：１０％・・・セントラルガラス社）や実質
的に純水中に硼素，リンを限度以上に溶出しないもの等
が使用でき、他方、バインダーとしては、アクリル酸エ
チルエステルエマルジョン、ポリテトラフルオロエチレ
ンエマルジョン、ポリエステルエマルジョン等が使用さ
れる（表記せず）。
械的強度（特に腰の強さ：スティフネス）を付与するも
のであり、目的に応じて異種混使用できる。これに使用
できる繊維としては、石英ガラス繊維、アラミッド樹脂
系繊維、Ｐ繊維（ＳｉＯ2 ：５５％，Ａｌ2 Ｏ3 ：３０
％，ＣａＯ：１０％・・・セントラルガラス社）や実質
的に純水中に硼素，リンを限度以上に溶出しないもの等
が使用でき、他方、バインダーとしては、アクリル酸エ
チルエステルエマルジョン、ポリテトラフルオロエチレ
ンエマルジョン、ポリエステルエマルジョン等が使用さ
れる（表記せず）。
【００２２】ここで、この実施例の濾材が実際にこの発
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた試験結果
等を以下の表２に示す。
明の効果を有しているか否かを明らかにするため、濾材
の溶出試験及び測定用液の分析により得られた試験結果
等を以下の表２に示す。
【００２３】尚、この試験の一部のものは、抄造に使用
する前に、繊維を純水又は稀硝酸（５％，１０％）で２
５℃，６５℃の温度下で前処理後、抄造処理を行った。
この前処理は石英繊維を２４時間、それぞれの処理液に
浸漬後、純水で３回水洗いしてから行った。 〔試験結果〕
する前に、繊維を純水又は稀硝酸（５％，１０％）で２
５℃，６５℃の温度下で前処理後、抄造処理を行った。
この前処理は石英繊維を２４時間、それぞれの処理液に
浸漬後、純水で３回水洗いしてから行った。 〔試験結果〕
【００２４】
【表２】
【００２５】上記した表２から、この実施例の濾材と、
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄紙用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。そして、この実施例２の濾材を上記した実施例
１の濾材と比較すると、前者が後者に対して引張強度が
ＭＤ方向及びＣＤ方向について優れていることも判る。 （実施例９）この実施例のものは、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）のフィルムを一軸延伸しすると共
にこれにポリエステル不織布で裏打ち補強したものであ
り、通気性を有する（風速５．３cm／sec 、圧損５０mm
H2O ）ものであった。
細径繊維に硼珪酸ガラス系繊維を使用し、抄紙用の川水
濾過水を使用した比較例の濾材とを比べると、前者は後
者に対してナトリウム、リン、硼素が極めて少ないこと
が判る。そして、この実施例２の濾材を上記した実施例
１の濾材と比較すると、前者が後者に対して引張強度が
ＭＤ方向及びＣＤ方向について優れていることも判る。 （実施例９）この実施例のものは、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）のフィルムを一軸延伸しすると共
にこれにポリエステル不織布で裏打ち補強したものであ
り、通気性を有する（風速５．３cm／sec 、圧損５０mm
H2O ）ものであった。
【００２６】このものについて上記実施例１〜８と同様
に試験を行うと、溶出量は硼素０×１０-6ｇ／繊維ｇ，
６５℃×１２０hrs ，リン１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs であった。
に試験を行うと、溶出量は硼素０×１０-6ｇ／繊維ｇ，
６５℃×１２０hrs ，リン１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５
℃×１２０hrs であった。
【００２７】尚、本発明においては、使用する濾材の濾
過体を純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs （リン２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０
hrs）を超えて溶出しないような構成とすれば、ほぼ同
様の作用効果を有する。
過体を純水中に硼素１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs （リン２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０
hrs）を超えて溶出しないような構成とすれば、ほぼ同
様の作用効果を有する。
【００２８】又、本発明で使用するフッ素樹脂フィルム
としては、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアル
キル基含有フッ素樹脂コポリマーでＴＦＥ−ＨＦＰ（ヘ
キサフルオロプロペン）等の高分子のフィルムを延伸
（一軸、二軸）したもののうち、上記通気性を有するも
のとすることもできる。
としては、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアル
キル基含有フッ素樹脂コポリマーでＴＦＥ−ＨＦＰ（ヘ
キサフルオロプロペン）等の高分子のフィルムを延伸
（一軸、二軸）したもののうち、上記通気性を有するも
のとすることもできる。
【００２９】
【発明の効果】この出願の発明は、上述の如くの構成を
有するものであるから、次の効果を有する。
有するものであるから、次の効果を有する。
【００３０】作用の欄に記載した内容から、非常に微小
な粒子が捕集でき且つ濾材自体から硼素やリンがほとん
ど発生しない気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーを提供できる。
な粒子が捕集でき且つ濾材自体から硼素やリンがほとん
ど発生しない気体用濾材及びこれから作成したフィルタ
ーを提供できる。
Claims (3)
- 【請求項１】 基礎材料として、純水中への硼素溶出量
が１×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であ
り且つリン溶出量が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１
２０hrs 以下である、繊維径が０．２μｍ〜２．６５μ
ｍのガラス繊維を使用し、前記ガラス繊維を純水を使っ
て抄造して形成してあることを特徴とする気体用濾材。 - 【請求項２】 純水中への硼素溶出量が１×１０-6ｇ／
繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であり且つリン溶出量
が２×１０-6ｇ／繊維ｇ，６５℃×１２０hrs 以下であ
る、繊維径が５μｍ〜２１μｍの太径ガラス繊維を具備
させ、前記太径ガラス繊維により基礎材料のガラス繊維
相互の結合を補強するようにしてあることを特徴とする
請求項１記載の気体用濾材。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の気体用濾材により
作成されたことを特徴とするフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21317898A JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4211773A JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
| JP21317898A JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4211773A Division JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1190138A true JPH1190138A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=16611357
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4211773A Expired - Fee Related JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
| JP21317898A Pending JPH1190138A (ja) | 1992-08-07 | 1998-07-28 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4211773A Expired - Fee Related JPH0763575B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 気体用濾材及びこれから作成したフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPH0763575B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008049333A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 複合濾材及び複合濾材の製造方法 |
| JP2010221177A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Duskin Co Ltd | ガラス繊維フィルタ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001043850A1 (en) * | 1999-12-15 | 2001-06-21 | Hollingsworth & Vose Company | Low boron containing microfiberglass filtration media |
| PT105900A (pt) | 2011-09-23 | 2013-03-25 | Active Space Technologies Actividades Aeroespaciais S A | Sistema passivo de seguimento solar |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS596231A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-13 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フッ素樹脂多孔質膜の製造方法 |
| JPS59190799A (ja) * | 1983-04-14 | 1984-10-29 | Onkyo Corp | 振動板エツジの取付法 |
| DE3319849C1 (de) * | 1983-06-01 | 1984-11-22 | Degussa Ag, 6000 Frankfurt | Beschichtungsmassen aus Plastisolen oder Organosolen und Verfahren zur Verbesserung der Haftung dieser Massen auf metallischen Untergruenden |
| JP2585244B2 (ja) * | 1987-02-25 | 1997-02-26 | 株式会社日立製作所 | 薬品処理装置 |
| JP2521998B2 (ja) * | 1987-12-22 | 1996-08-07 | 株式会社島津製作所 | 空気濾過材 |
| JPH07102293B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1995-11-08 | 北越製紙株式会社 | 高性能エアーフィルター用ガラス繊維濾紙及びその製造方法 |
| JPH03202117A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-03 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリカガラスフィルター及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP4211773A patent/JPH0763575B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-28 JP JP21317898A patent/JPH1190138A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008049333A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 複合濾材及び複合濾材の製造方法 |
| JP2010221177A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Duskin Co Ltd | ガラス繊維フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0655019A (ja) | 1994-03-01 |
| JPH0763575B2 (ja) | 1995-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030722 |