JPH1184112A - Color synthesis prism and its production as well as projection type display device - Google Patents
Color synthesis prism and its production as well as projection type display deviceInfo
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- JPH1184112A JPH1184112A JP9248366A JP24836697A JPH1184112A JP H1184112 A JPH1184112 A JP H1184112A JP 9248366 A JP9248366 A JP 9248366A JP 24836697 A JP24836697 A JP 24836697A JP H1184112 A JPH1184112 A JP H1184112A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は赤、緑、青の3つの
原色光を1つの光に合成する色合成プリズム及びその製
造方法と、この色合成プリズムとライトバルブを用いて
カラー映像を投写する投写型表示装置とに関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color synthesizing prism for synthesizing three primary colors of red, green and blue into one light, a method of manufacturing the same, and a color image projected using the color synthesizing prism and a light valve. And a projection display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】大画面の映像を得るために、映像信号に
応じた光学像をライトバルブに形成し、そのライトバル
ブに光を照射し、投写レンズにより映像光をスクリ−ン
上に拡大投写する表示装置がある。最近では、ライトバ
ルブとして液晶パネルを用いる投写型表示装置が注目さ
れている。特に、ツイストネマティック(TN)液晶の
旋光性が電界により変化する現象を利用した投写型表示
装置が商品化されている。2. Description of the Related Art In order to obtain a large-screen image, an optical image corresponding to an image signal is formed on a light valve, the light valve is irradiated with light, and the image light is enlarged and projected on a screen by a projection lens. Display device. Recently, a projection type display device using a liquid crystal panel as a light valve has attracted attention. In particular, a projection type display device utilizing a phenomenon in which the optical rotation of a twisted nematic (TN) liquid crystal is changed by an electric field has been commercialized.
【0003】この種の投写型表示装置では、光出力と解
像度を上げるために赤用、緑用、青用の液晶パネルを用
い、操作を簡単にするために投写レンズを1本にした方
式が主流となっている。この方式では、3色の原色光を
1つの光に合成するために、色合成プリズムが使用され
ている。In this type of projection display device, a liquid crystal panel for red, green, and blue is used to increase the light output and resolution, and a single projection lens is used to simplify the operation. It has become mainstream. In this method, a color combining prism is used to combine three primary color lights into one light.
【0004】この色合成プリズムの構造を図16に示
す。色合成プリズム80は第1〜第4の直角プリズム8
3,84,85,86で構成される。直角プリズム83
の直角を挟む1面と直角プリズム84の直角を挟む1面
には、赤反射ダイクロイック多層膜81が形成されてい
る。直角プリズム83の直角を挟む他の1面と直角プリ
ズム86の直角を挟む1面には、青反射ダイクロイック
多層膜82が形成されている。このように赤反射ダイク
ロイック多層膜81と青反射ダイクロイック多層膜82
とをここでは光学多層膜と呼ぶ。これらの光学多層膜が
X字状となるように4個の直角プリズム83〜86を接
合し、直方体状の色合成プリズムを作る。FIG. 16 shows the structure of this color combining prism. The color combining prism 80 includes the first to fourth right-angle prisms 8.
3, 84, 85, 86. Right angle prism 83
A red reflection dichroic multilayer film 81 is formed on one surface of the right angle prism 84 and one surface of the right angle prism 84. A blue reflection dichroic multilayer film 82 is formed on one surface of the right-angle prism 83 and the other surface of the right-angle prism 86 that sandwiches the right angle. Thus, the red reflection dichroic multilayer film 81 and the blue reflection dichroic multilayer film 82
Are referred to herein as optical multilayer films. The four rectangular prisms 83 to 86 are joined so that these optical multilayer films have an X-shape to form a rectangular parallelepiped color synthesis prism.
【0005】赤反射ダイクロイック多層膜81、青反射
ダイクロイック多層膜82はいずれも高屈折率膜と低屈
折率膜とを交互に積層したものであり、赤反射ダイクロ
イック多層膜81は赤色光を反射して、緑色光と青色光
とを透過させる。青反射ダイクロイック多層膜82は青
色光を反射して、赤色光と緑色光とを透過させる。Each of the red-reflective dichroic multilayer film 81 and the blue-reflective dichroic multilayer film 82 is formed by alternately laminating high-refractive-index films and low-refractive-index films. The red-reflective dichroic multilayer film 81 reflects red light. To transmit green light and blue light. The blue reflection dichroic multilayer film 82 reflects blue light and transmits red light and green light.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】図16に示した色合成
プリズムにおいて、2つの赤反射ダイクロイック多層膜
81、2つの青反射ダイクロイック多層膜82は、それ
ぞれ完全に同一平面となるように接合する必要がある。
そうでない場合には、投写画像に二重像が現れたり、3
色の画素が重ならないという問題を生じる。In the color combining prism shown in FIG. 16, the two red-reflective dichroic multilayer films 81 and the two blue-reflective dichroic multilayer films 82 need to be joined so as to be completely on the same plane. There is.
If not, double images may appear in the projected image or 3
This causes a problem that color pixels do not overlap.
【0007】各プリズムを正確に貼り合わせるための方
法として、第1の直角プリズム83の高さ(W軸方向の
長さ)を第2の直角プリズム84より長くし、第4の直
角プリズム86の長さを第3の直角プリズム85より長
くする。そして両側(+W、−W方向)に矩形の露出平
面が形成されるように、第1の直角プリズム83と第2
の直角プリズム84とを接合し、第3の直角プリズム8
5と第4の直角プリズム86とを接合する。そして両側
の露出平面が同一平面となるように2つの貼り合わせプ
リズムを接着する方法が提案されている(例えば、特開
平3−138603号公報、特開平8−184798号
公報を参照)。しかし、この方法は、4個の直角プリズ
ムの直角部の直角度を厳密に確保する必要があるため、
直角プリズムの加工方法が複雑となり、それだけコスト
高になるという問題があった。As a method for accurately bonding the prisms, the height (length in the W-axis direction) of the first right-angle prism 83 is made longer than that of the second right-angle prism 84, and the height of the fourth right-angle prism 86 is reduced. The length is made longer than the third right-angle prism 85. Then, the first right-angle prism 83 and the second right-angle prism 83 are formed so that rectangular exposed planes are formed on both sides (+ W and -W directions).
And the third right-angle prism 8
5 and the fourth right-angle prism 86 are joined. Then, a method of bonding two bonded prisms so that the exposed planes on both sides are the same plane has been proposed (see, for example, JP-A-3-138603 and JP-A-8-184798). However, in this method, it is necessary to strictly secure the right angles of the right angles of the four right angle prisms.
There is a problem in that the processing method of the right-angle prism becomes complicated, and the cost increases accordingly.
【0008】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、2種類のダイクロイック多層
膜をX字状に交差させた色合成プリズムにおいて、これ
らのダイクロイック多層膜の平面度を良好にできる色合
成プリズムを実現すること、及びこのような特性の色合
成プリズムを安価に製造する製造方法を実現することを
第1の目的とする。更には、この色合成プリズムを用い
てカラー映像を投写する投写型表示装置を提供すること
を第2の目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems. In a color synthesizing prism in which two types of dichroic multilayer films are crossed in an X-shape, the planes of these dichroic multilayer films are provided. It is a first object of the present invention to realize a color synthesizing prism capable of improving the degree and to realize a manufacturing method for manufacturing a color synthesizing prism having such characteristics at low cost. It is a second object of the present invention to provide a projection display device that projects a color image using the color combining prism.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本願の請求項1記載の発明は、屈折率nの透明
基板の厚み方向をz方向とし、 前記z方向と直角な
(x,y)平面に平行な面を前記透明基板の平板面とす
るとき、対向する2つの前記平板面を平行且つ所定厚み
tとなるよう研磨し、複数の透明平板を得る第1の工程
と、前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面
に、第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を
形成する第2の工程と、前記第2の工程で得られた複数
の透明平板を用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれる
ようにz方向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直
方体状の第1の結合体を作成する第3の工程と、前記第
3の工程の接合面と直角な切断面で前記第1の結合体を
複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向の厚みが
tとなる第2の結合体を作成する第4の工程と、前記第
2の結合体の(y,z)面と平行な研磨面の一方に、第
2の分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を形成
し、第3の結合体を作成する第5の工程と、前記第2の
光学多層膜が挟まれるように複数の前記第3の結合体を
x方向に沿って積層し、かつ前記第1の光学多層膜が
(x,y)平面と平行な同一平面を形成するよう前記第
3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて接合して
直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程と、前記
第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線を通
り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して45°とな
るよう、y軸と平行な切断面で前記第4の結合体を切断
し、端面形状が台形となる多角柱状の第5の結合体を作
成する第7の工程と、前記第7の工程の切断面と直交す
る切断面で前記第5の結合体を切断するとき、端面にお
いて前記第1及び第2の光学多層膜が直交対角線となる
ように前記切断位置を決定し、前記切断加工によって端
面が正方形となる4角柱状の第6の結合体を作成する第
8の工程と、前記第6の結合体のy軸と平行な各切断面
を研磨することにより色合成プリズムを得る第9の工程
と、を有することを特徴とするものである。In order to solve such a problem, the invention according to claim 1 of the present application is directed to a case in which the thickness direction of the transparent substrate having the refractive index n is set to the z direction, and (x) perpendicular to the z direction. , Y) a first step of polishing two opposing flat surfaces parallel and having a predetermined thickness t when a plane parallel to the plane is defined as a flat surface of the transparent substrate, to obtain a plurality of transparent flat plates; A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces of the transparent flat plate obtained in the first step; Using a plurality of transparent flat plates, the first optical multilayer film is laminated in the z-direction so as to be sandwiched therebetween, and bonded using a transparent adhesive to form a first rectangular parallelepiped combined body. And cutting the first bonded body into a plurality of pieces at a cut surface perpendicular to the bonding surface of the third step. A fourth step of polishing the cut surface to form a second combined body having a thickness in the x-direction of t, and one of the polished surfaces parallel to the (y, z) plane of the second combined body, A fifth step of forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic and forming a third combined body; and forming a plurality of the third optical multilayer films so as to sandwich the second optical multilayer film. Are laminated along the x direction, and the end faces of the third composite are aligned so that the first optical multilayer film forms the same plane parallel to the (x, y) plane. A sixth step of forming a rectangular parallelepiped fourth bonded body by joining the first optical multilayer film and the second optical multilayer film through an intersection line between the first optical multilayer film and the second optical multilayer film. The fourth combined body is cut along a cutting plane parallel to the y-axis so as to be at 45 ° with respect to the optical multilayer film of No. 2, and a fifth polygonal prism-shaped end face having a trapezoidal shape is obtained. A seventh step of forming a united body, and when the fifth combined body is cut at a cutting plane orthogonal to the cutting plane of the seventh step, the first and second optical multilayer films are orthogonal diagonal lines at end faces. An eighth step in which the cutting position is determined so as to form a square prism-shaped sixth combined body having a square end surface by the cutting process, and a step parallel to the y-axis of the sixth combined body. A ninth step of obtaining a color combining prism by polishing each cut surface.
【0010】また請求項2記載の発明は、屈折率nの透
明基板の厚み方向をz方向とし、 前記z方向と直角な
(x,y)平面に平行な面を前記透明基板の平板面とす
るとき、対向する2つの前記平板面を平行且つ所定厚み
tとなるよう研磨し、複数の透明平板を得る第1の工程
と、前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面
に、第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を
形成する第2の工程と、前記第2の工程で得られた複数
の透明平板を用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれる
ようにz方向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直
方体状の第1の結合体を作成する第3の工程と、前記第
3の工程の接合面と直角な切断面で前記第1の結合体を
複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向の厚みが
tとなる第2の結合体を作成する第4の工程と、前記第
2の結合体の(y,z)面と平行な研磨面の一方に、第
2の分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を形成
し、第3の結合体を作成する第5の工程と、前記第2の
光学多層膜が挟まれるように複数の前記第3の結合体を
x方向に沿って積層し、かつ前記第1の光学多層膜が
(x,y)平面と平行な同一平面を形成するよう前記第
3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて接合して
直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程と、前記
第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線の近
傍を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して45
°となるよう、y軸と平行な切断面で前記第4の結合体
を切断し、端面形状が台形となる多角柱状の第5の結合
体を作成する第7の工程と、前記第7の工程の切断面と
直交する切断面で前記第5の結合体を切断し、前記切断
加工によって端面が正方形又は長方形となる4角柱状の
第6の結合体を作成する第8の工程と、前記第6の結合
体のy軸と平行な各切断面を研磨することにより色合成
プリズムを得る第9の工程と、を有することを特徴とす
るものである。According to a second aspect of the present invention, the thickness direction of the transparent substrate having the refractive index n is defined as the z direction, and a plane parallel to a (x, y) plane perpendicular to the z direction is defined as a flat surface of the transparent substrate. A first step of polishing two opposing flat plate surfaces so as to be parallel and have a predetermined thickness t to obtain a plurality of transparent flat plates, and one polishing surface of the transparent flat plate obtained in the first step A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic, and using the plurality of transparent flat plates obtained in the second step, the first optical multilayer film Are laminated in the z-direction so as to be sandwiched therebetween, and joined using a transparent adhesive to form a first rectangular parallelepiped combined body; and a cut surface perpendicular to the joint surface in the third step. The first joint is cut into a plurality of pieces, and the cut surface is polished to obtain a second joint having a thickness in the x direction of t. Forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces parallel to the (y, z) plane of the second combined body. A fifth step of forming a third combined body; and laminating a plurality of the third combined bodies along the x-direction so that the second optical multilayer film is sandwiched therebetween; The end faces of the third combined body are aligned so that the multilayer film forms the same plane parallel to the (x, y) plane, and the third combined body is joined using a transparent adhesive to form a fourth rectangular parallelepiped combined body. Step 6, passing through the vicinity of the line of intersection between the first optical multilayer film and the second optical multilayer film, and applying 45% to the first and second optical multilayer films.
A seventh step of cutting the fourth combined body along a cutting plane parallel to the y-axis so as to form a fifth combined body having a polygonal prism shape having a trapezoidal end surface; An eighth step of cutting the fifth joint body at a cutting plane orthogonal to the cutting plane of the step, and forming a square prism-shaped sixth joint body whose end face is square or rectangular by the cutting process; A ninth step of obtaining a color combining prism by polishing each cut surface parallel to the y-axis of the sixth combined body.
【0011】また請求項3記載の発明は、請求項1又は
2の色合成プリズムの製造方法において、前記第9の工
程にて作成された第6の結合体を、前記第1及び第2の
光学多層膜に直角な切断面で所定長さ単位に切断するこ
とを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the first or second aspect, the sixth combined body formed in the ninth step is replaced with the first and second combined bodies. It is characterized in that the optical multilayer film is cut into predetermined length units on a cut surface perpendicular to the optical multilayer film.
【0012】また請求項4記載の発明は、請求項1又は
2の色合成プリズムの製造方法において、前記第1の工
程で製作される夫々の透明平板のz方向の厚みの公差
は、前記第1又は第2の光学多層膜の膜厚の100倍以
下であることを特徴とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the first or second aspect, the thickness tolerance in the z direction of each of the transparent flat plates manufactured in the first step is equal to or less than the first thickness. The thickness is not more than 100 times the thickness of the first or second optical multilayer film.
【0013】また請求項5記載の発明は、請求項1又は
2の色合成プリズムの製造方法において、前記第4の工
程で製作された夫々の第2の結合体のx方向の厚みの公
差は、前記第1又は第2の光学多層膜の膜厚の100倍
以下であることを特徴とするものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the first or second aspect, the tolerance of the thickness in the x direction of each of the second combined bodies manufactured in the fourth step is as follows. The thickness is not more than 100 times the thickness of the first or second optical multilayer film.
【0014】また請求項6記載の発明は、請求項1又は
2の色合成プリズムの製造方法において、前記第6の工
程において、前記第3の結合体の(x,y)平面に平行
な一方の端面が同一平面となるよう、前記第3の結合体
が接着されることを特徴とするものである。According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a color combining prism according to the first or second aspect, in the sixth step, one of the third combined bodies parallel to the (x, y) plane is formed. Are bonded to each other so that the end faces thereof are flush with each other.
【0015】また請求項7記載の発明は、請求項1又は
2の色合成プリズムの製造方法において、前記第4の工
程で製作された複数の第2の結合体に対して、配列順序
と方向を示す識別符号を付け、前記第6の工程において
前記識別符号を用いて前記第2の結合体の切断順序と同
一になるよう前記第3の結合体を配列させて接合するこ
とを特徴とするものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the first or second aspect, the arrangement order and the direction of the plurality of second combined bodies manufactured in the fourth step are arranged. In the sixth step, the third conjugate is arranged and joined using the identification code in the sixth step so as to have the same cutting order as the second conjugate. Things.
【0016】また請求項8記載の発明は、請求項1の色
合成プリズムの製造方法において、第1の工程におい
て、y方向の長さが異なる第1及び第2の透明基板の2
種類を用い、y方向の長さがwの第1の透明平板とy方
向の長さがwより短い第2の透明平板とを作成し、第3
の工程において、(y,z)平面と平行な両端面が夫々
同一平面となるよう前記第1の透明平板と第2の透明平
板を交互に積層し、前記積層面の接着により(x,z)
面と平行な端面に段差が形成された第1の結合体を作成
することを特徴とするものである。According to an eighth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the first aspect, the first and second transparent substrates having different lengths in the y direction in the first step.
Using the types, a first transparent flat plate whose length in the y direction is w and a second transparent flat plate whose length in the y direction is shorter than w are created,
In the step of (1), the first transparent flat plate and the second transparent flat plate are alternately laminated such that both end surfaces parallel to the (y, z) plane are respectively the same plane, and (x, z) is bonded by bonding the laminated surfaces. )
A first combined body having a step formed on an end surface parallel to the surface is formed.
【0017】また請求項9記載の発明は、屈折率nの透
明基板の厚み方向をzとし、その平板面を(x,y)平
面とするとき、対向する2つの(x,y)平面を平行且
つ所定厚みtとなるよう前記透明基板を研磨し、複数の
透明平板を得る第1の工程と、前記第1の工程で得られ
た透明平板の一方の研磨面に、第1の分光透過率特性を
有する第1の光学多層膜を形成する第2の工程と、前記
第2の工程で得られた光学多層膜付きの透明平板を複数
枚用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれるようにz方
向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直方体状の第
1の結合体を作成する第3の工程と、前記第3の工程の
接合面と直角な切断面で、前記第1の結合体を複数個に
切断し、その切断面を研磨してx方向の厚みtの第2の
結合体を作成する第4の工程と、前記第2の結合体の一
方の研磨面(y,z)に、第2の分光透過率特性を有す
る第2の光学多層膜を形成し、第3の結合体を作成する
第5の工程と、前記第2の光学多層膜が挟まれるように
複数枚の前記第3の結合体をx方向に積層し、かつ前記
第1の光学多層膜が同一平面(x,y)を形成するよう
前記第3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて接
合して直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程
と、前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との
交線を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して4
5°となるよう、y方向に沿った切断面で前記第4の結
合体を切断し、前記切断面を研削及び研磨し、端面形状
が台形となる多角柱状の第5の結合体を作成する第7の
工程と、前記第7の工程の切断面と直交するy方向に沿
った切断面で前記第5の結合体を切断し、(x,z)端
面において前記第1及び第2の光学多層膜が直交対角線
となり、その端面形状が正方形となる4角柱状の第6の
結合体を作成する第8の工程と、前記第6の結合体のy
方向に沿った各切断面のうち未研磨面を研磨することに
より色合成プリズムを得る第9の工程と、を有すること
を特徴とするものである。According to a ninth aspect of the present invention, when the thickness direction of the transparent substrate having the refractive index n is z, and the flat surface thereof is the (x, y) plane, the two opposing (x, y) planes are A first step of polishing the transparent substrate so as to be parallel and having a predetermined thickness t to obtain a plurality of transparent flat plates, and a first spectral transmission on one of the polished surfaces of the transparent flat plates obtained in the first step. A second step of forming a first optical multilayer film having a ratio characteristic, and a plurality of transparent flat plates with the optical multilayer film obtained in the second step, wherein the first optical multilayer film is sandwiched. A third step of laminating in the z-direction and joining using a transparent adhesive to form a first rectangular parallelepiped combined body, and a cut surface perpendicular to the joint surface of the third step, The first combined body is cut into a plurality of pieces, and the cut surface is polished to form a second combined body having a thickness t in the x direction. Step 4 and forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces (y, z) of the second combined body to form a third combined body. Fifth step, a plurality of the third combined bodies are stacked in the x direction so that the second optical multilayer film is sandwiched, and the first optical multilayer film is on the same plane (x, y). A sixth step of aligning the end faces of the third combined body to form a fourth combined body using a transparent adhesive to form a fourth combined body having a rectangular parallelepiped shape; Passing through the line of intersection with the second optical multilayer,
The fourth bonded body is cut at a cut surface along the y direction so as to be 5 °, and the cut surface is ground and polished to form a polygonal column-shaped fifth bonded body having a trapezoidal end surface shape. A seventh step, and cutting the fifth combined body at a cutting plane along the y-direction orthogonal to the cutting plane in the seventh step, and forming the first and second optics at an (x, z) end face. An eighth step of forming a quadrangular prism-shaped sixth combined body in which the multilayer film has an orthogonal diagonal line and a square end face shape, and y of the sixth combined body
And a ninth step of obtaining a color combining prism by polishing an unpolished surface among the cut surfaces along the direction.
【0018】また請求項10記載の発明は、屈折率nの
透明基板の厚み方向をzとし、その平板面を(x,y)
平面とするとき、対向する2つの(x,y)平面を平行
且つ所定厚みtとなるよう前記透明基板を研磨し、複数
の透明平板を得る第1の工程と、前記第1の工程で得ら
れた透明平板の一方の研磨面に、第1の分光透過率特性
を有する第1の光学多層膜を形成する第2の工程と、前
記第2の工程で得られた光学多層膜付きの透明平板を複
数枚用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれるようにz
方向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直方体状の
第1の結合体を作成する第3の工程と、前記第3の工程
の接合面と直角な切断面で、前記第1の結合体を複数個
に切断し、その切断面を研磨してx方向の厚みtの第2
の結合体を作成する第4の工程と、前記第2の結合体の
一方の研磨面(y,z)に、第2の分光透過率特性を有
する第2の光学多層膜を形成し、第3の結合体を作成す
る第5の工程と、前記第2の光学多層膜が挟まれるよう
に複数枚の前記第3の結合体をx方向に積層し、かつ前
記第1の光学多層膜が同一平面(x,y)を形成するよ
う前記第3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて
接合して直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程
と、前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との
交線の近傍を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対
して45°となるよう、y方向に沿った切断面で前記第
4の結合体を切断し、前記切断面を研削及び研磨し、端
面形状が台形となる多角柱状の第5の結合体を作成する
第7の工程と、前記第7の工程の切断面と直交するy方
向に沿った切断面で前記第5の結合体を切断し、その端
面形状が正方形又は長方形となる4角柱状の第6の結合
体を作成する第8の工程と、前記第6の結合体のy方向
に沿った各切断面のうち未研磨面を研磨することにより
色合成プリズムを得る第9の工程と、を有することを特
徴とするものである。According to a tenth aspect of the present invention, the thickness direction of the transparent substrate having the refractive index n is z, and the plane of the transparent substrate is (x, y).
When a flat surface is used, the transparent substrate is polished so that two opposing (x, y) planes are parallel and have a predetermined thickness t to obtain a plurality of transparent flat plates. A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces of the obtained transparent flat plate, and a transparent film with the optical multilayer film obtained in the second step. Using a plurality of flat plates, z is set so that the first optical multilayer film is interposed therebetween.
A third step of forming a first rectangular parallelepiped joined body by laminating in the direction and joining the first combined body using a transparent adhesive, and a cutting surface perpendicular to a joining surface of the third step, The combined body is cut into a plurality of pieces, and the cut surface is polished to obtain a second piece having a thickness t in the x direction.
Forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces (y, z) of the second composite body; A fifth step of forming the combined body of No. 3; and laminating a plurality of the third combined bodies in the x-direction so that the second optical multilayer film is interposed therebetween. A sixth step of aligning the end faces of the third combined body so as to form the same plane (x, y) and joining them with a transparent adhesive to form a fourth rectangular parallelepiped combined body; The cross section along the y direction passes through the vicinity of the line of intersection between the first optical multilayer film and the second optical multilayer film and is at 45 ° with respect to the first and second optical multilayer films. A seventh step of cutting the fourth combined body, grinding and polishing the cut surface to form a polygonal column-shaped fifth combined body having a trapezoidal end face; The fifth connecting body is cut along a cutting plane along the y-direction orthogonal to the cutting plane in the seventh step, and a sixth connecting body in the form of a quadrangular prism whose end surface shape is square or rectangular is formed. 8; and a ninth step of obtaining a color combining prism by polishing an unpolished surface among the respective cut surfaces along the y direction of the sixth combined body. is there.
【0019】また請求項11記載の発明は、請求項9又
は10の色合成プリズムの製造方法において、前記第9
の工程にて作成された第6の結合体を、y方向に所定長
さ単位に切断することを特徴とするものである。According to a twelfth aspect of the present invention, in the method of the ninth or tenth aspect, the ninth aspect is provided.
Is characterized in that the sixth combined body prepared in the step is cut in units of a predetermined length in the y-direction.
【0020】また請求項12記載の発明は、請求項9又
は10の色合成プリズムの製造方法において、前記第1
の工程で製作される夫々の透明平板のz方向の厚みの公
差は、前記第1又は第2の光学多層膜の膜厚の100倍
以下であることを特徴とするものである。According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a color synthesizing prism according to the ninth or tenth aspect, the first method is provided.
The tolerance of the thickness in the z-direction of each transparent flat plate manufactured in the step is 100 times or less the thickness of the first or second optical multilayer film.
【0021】また請求項13記載の発明は、請求項9又
は10の色合成プリズムの製造方法において、前記第4
の工程で製作された夫々の第2の結合体のx方向の厚み
の公差は、前記第1又は第2の光学多層膜の膜厚の10
0倍以下であることを特徴とするものである。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a color synthesizing prism according to the ninth or tenth aspect, the fourth aspect is provided.
The tolerance of the thickness in the x direction of each of the second combined bodies manufactured in the step is 10% of the thickness of the first or second optical multilayer film.
It is characterized by being less than 0 times.
【0022】また請求項14記載の発明は、請求項9又
は10の色合成プリズムの製造方法において、前記第6
の工程において、前記第3の結合体の(x,y)平面に
平行な一方の端面が、同一平面となるよう前記第3の結
合体が接着されることを特徴とするものである。According to a fourteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the ninth or tenth aspect, the sixth aspect is provided.
In the step, the third joint is bonded so that one end face of the third joint parallel to the (x, y) plane is on the same plane.
【0023】また請求項15記載の発明は、請求項9又
は10の色合成プリズムの製造方法において、前記第4
の工程で製作された複数の第2の結合体に対して、配列
順序と方向を示す識別符号を付け、前記第6の工程にお
いて前記識別符号を用いて前記第2の結合体の切断順序
と同一になるよう前記第3の結合体を配列させ、接合す
ることを特徴とするものである。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the ninth or tenth aspect, there is provided a method of manufacturing a color synthesizing prism, comprising
Attaching identification codes indicating the arrangement order and direction to the plurality of second combined bodies manufactured in the step, and using the identification codes in the sixth step, the cutting order of the second combined bodies and The third conjugates are arranged and joined so as to be identical.
【0024】また請求項16記載の発明は、請求項9の
色合成プリズムの製造方法において、第1の工程におい
て、y方向の長さが異なる第1及び第2の透明基板の2
種類を用い、y方向の長さが長い第1の透明平板とy方
向の長さが短い第2の透明平板を作成し、第3の工程に
おいて、(y,z)の両端面が同一平面となるよう前記
第1の透明平板と第2の透明平板を交互に積層し、前記
積層面の接着により(x,z)面に段差が形成された第
1の結合体を作成することを特徴とするものである。According to a sixteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a color synthesizing prism according to the ninth aspect, in the first step, the first and second transparent substrates having different lengths in the y direction are provided.
Using a type, a first transparent flat plate having a long length in the y direction and a second transparent flat plate having a short length in the y direction are formed. In a third step, both end faces of (y, z) are in the same plane. The first transparent flat plate and the second transparent flat plate are alternately laminated so as to obtain a first combined body having a step formed on the (x, z) plane by bonding the laminated surfaces. It is assumed that.
【0025】また請求項17記載の発明は、請求項1〜
請求項16のいずれか記載の製造方法により作成された
ことを特徴とするものである。[0025] The invention according to claim 17 is the invention according to claims 1 to
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device.
【0026】また請求項18記載の発明は、赤、緑、青
の3原色を含む光を放射する光源と、前記光源から放射
された光を赤、緑、青の3つの原色光に分解する色分解
手段と、前記色分解手段から出射する各原色光を夫々入
射して、入力映像信号に応じて3原色の光学像を形成す
るR,G,Bライトバルブと、前記R,G,Bライトバ
ルブからの出射光を、1つの光軸を有する映像光に合成
する色合成手段と、前記色合成手段からの出射光を入射
し、前記映像光をスクリ−ン上に投写する投写レンズ
と、を具備し、前記色合成手段は、請求項1〜請求項1
6のいずれかの製造方法により作成された色合成プリズ
ムであることを特徴とするものである。[0026] The invention according to claim 18 is a light source which emits light including three primary colors of red, green and blue, and decomposes the light emitted from the light source into three primary colors of red, green and blue. A color separation unit; R, G, and B light valves, each of which receives primary color light emitted from the color separation unit and forms an optical image of three primary colors according to an input video signal; A color combining means for combining light emitted from the light valve with image light having one optical axis, and a projection lens for entering the light emitted from the color combining means and projecting the image light on a screen. , Wherein the color synthesizing means is configured to output a color image.
6 is a color combining prism produced by any one of the manufacturing methods described above.
【0027】また請求項19記載の発明は、請求項18
の投写型表示装置において、前記R,G,Bライトバル
ブは、透過型液晶パネルであることを特徴とするもので
ある。The invention according to claim 19 is the invention according to claim 18.
Wherein the R, G, and B light valves are transmissive liquid crystal panels.
【0028】[0028]
(実施の形態1)本発明の実施の形態1における色合成
プリズムの製造方法について図1〜図4を用いて説明す
る。図1〜図4は本実施の形態1における色合成プリズ
ムの製造方法における各工程を示す斜視図である。Embodiment 1 A method for manufacturing a color combining prism according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4 are perspective views showing steps in a method for manufacturing a color combining prism according to the first embodiment.
【0029】ここで原基材である透明平板111と色合
成プリズムの組み立て関係を分かり易くするため、座標
を定義する。図1(a)に示すように、透明平板111
の各平板面は(x,y)平面と平行な面とし、透明平板
111の厚み方向をz方向とする。またx,y方向は明
確に定義する必要はないが、以下の説明では、図1の左
右の幅方向をx方向とし、奥行き方向をyとする。Here, coordinates are defined to make it easy to understand the assembling relationship between the transparent base plate 111 as the base material and the color combining prism. As shown in FIG.
Are flat surfaces parallel to the (x, y) plane, and the thickness direction of the transparent flat plate 111 is the z direction. Although it is not necessary to clearly define the x and y directions, in the following description, the left and right width directions in FIG. 1 are assumed to be x directions, and the depth direction is assumed to be y.
【0030】色合成プリズムの製造方法について以下に
番号を付けて説明する。 (1)第1の工程;屈折率の等しい複数の透明基板を用
意する。そして(x,y)と平行な上面と下面とが平行
となるよう、且つその厚みがtになるように透明基板を
研磨する。透明平板のz方向の厚みの公差は、後述する
第1又は第2の光学多層膜の膜厚の100倍以下であれ
ばよい。こうして多数の透明平板111を作成する。The method of manufacturing the color combining prism will be described with reference to the following numbers. (1) First step: preparing a plurality of transparent substrates having the same refractive index. Then, the transparent substrate is polished so that the upper surface and the lower surface parallel to (x, y) are parallel and the thickness is t. The tolerance of the thickness of the transparent flat plate in the z direction may be 100 times or less the thickness of the first or second optical multilayer film described later. Thus, many transparent flat plates 111 are created.
【0031】(2)第2の工程;図1(a)に示すよう
に、透明平板111の一方の研磨面に、第1の光学多層
膜である青反射ダイクロイック多層膜112を蒸着す
る。(2) Second step: As shown in FIG. 1A, a blue reflective dichroic multilayer film 112 as a first optical multilayer film is deposited on one polished surface of the transparent flat plate 111.
【0032】(3)第3の工程;図1(b)に示すよう
に、青反射ダイクロイック多層膜112が挟まれるよう
に、複数の透明平板111をz方向に沿って積層し、透
明接着剤により接着し、直方体状の第1の結合体110
を作成する。なお、最上部に位置する透明平板111に
は、青反射ダイクロイック多層膜112が形成されてい
なくてもよい。(3) Third step: As shown in FIG. 1B, a plurality of transparent flat plates 111 are laminated along the z direction so as to sandwich the blue reflective dichroic multilayer film 112, and a transparent adhesive is formed. Bonding, and a rectangular parallelepiped first coupling body 110
Create In addition, the blue reflective dichroic multilayer film 112 may not be formed on the uppermost transparent flat plate 111.
【0033】(4)第4の工程;図2(a)に示すよう
に第1の結合体110を、その接合面に対して直角をな
す平面で複数個に切断する。このときの切断面のピッチ
は、切断しろを考慮してt+Δtとする。そして透明平
板111と等しい厚さtで平行となるように左右の面を
研磨し、第2の結合体120を作成する。(4) Fourth step: As shown in FIG. 2A, the first combined body 110 is cut into a plurality of planes at a right angle to the joint surface. The pitch of the cut surface at this time is set to t + Δt in consideration of the cutting margin. Then, the left and right surfaces are polished so as to be parallel with the thickness t equal to that of the transparent flat plate 111, thereby forming the second combined body 120.
【0034】(5)第5の工程;図2(b)に示すよう
に、各第2の結合体120の研磨された(y,z)平面
と平行な一方の面に、第2の光学多層膜である赤反射ダ
イクロイック多層膜122を蒸着して、第3の結合体1
30を作成する。(5) Fifth Step: As shown in FIG. 2B, a second optical member is provided on one surface parallel to the polished (y, z) plane of each second coupling member 120. A red reflective dichroic multilayer film 122 as a multilayer film is deposited, and
Create 30.
【0035】(6)第6の工程;図3(a)に示すよう
に、赤反射ダイクロイック多層膜122に対して直角な
上又下側端面を、図示しない基準平面に当接させて複数
の第3の結合体130を位置決めする。そして透明接着
剤により各第3の結合体130を接着し、直方体状の第
4の結合体140を作成する。第4の結合体140は、
互いに直交する接合面で区切られた正方形端面を有する
4角柱141の集合体となる。なお、左端部に位置する
第3の結合体130には、赤反射ダイクロイック多層膜
122が形成されていなくてもよい。(6) Sixth step: As shown in FIG. 3A, the upper and lower end faces perpendicular to the red reflection dichroic multilayer film 122 are brought into contact with a reference plane (not shown) to form a plurality of steps. Position the third combination 130. Then, the third joints 130 are adhered to each other with a transparent adhesive to form a fourth joint 140 having a rectangular parallelepiped shape. The fourth conjugate 140 is
It becomes an aggregate of quadrangular prisms 141 having square end faces separated by joining surfaces orthogonal to each other. Note that the red reflecting dichroic multilayer film 122 may not be formed on the third combined body 130 located at the left end.
【0036】(7)第7の工程;図3(b)に示すよう
に、青反射ダイクロイック多層膜112と赤反射ダイク
ロイック多層膜122とに対して45゜となるように、
またこれらの光学多層膜の交差部を通るように第4の結
合体140を、y方向に沿った切断面で切断する。こう
して図4(a)に示すように、端面形状が台形となる第
5の結合体150を作成する。得られた第5の結合体1
50の外形形状は切断毎に異なる。例えば4角柱141
の端面の対角線長をdとすると、第5の結合体150−
1、150−4では、上底がdで下底が3dの台形端面
となり、第5の結合体150−2、150−3では、上
底が3dで下底が5dの台形端面となる。(7) Seventh step: As shown in FIG. 3B, the angle between the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122 is set to 45 °.
Further, the fourth combined body 140 is cut along a cutting plane along the y direction so as to pass through the intersection of these optical multilayer films. In this manner, as shown in FIG. 4A, a fifth combined body 150 having a trapezoidal end face is formed. Fifth conjugate 1 obtained
The outer shape of 50 differs for each cut. For example, a quadrangular prism 141
Assuming that the diagonal length of the end face of the fifth joint is d, the fifth joint 150-
1, 150-4, the upper base is a trapezoidal end face with d and the lower base is 3d, and the fifth combination 150-2, 150-3 is a trapezoidal end face with an upper base of 3d and a lower base of 5d.
【0037】(8)第8の工程;次に図4(a)に示す
ように、第5の結合体150−1、150−4を、青反
射ダイクロイック多層膜112、赤反射ダイクロイック
多層膜122に対していずれも45゜となるように、且
つこれらの光学多層膜の交差部を通るように切断し、1
つの第6の結合体160を得る。(8) Eighth process: Next, as shown in FIG. 4A, the fifth coupling bodies 150-1 and 150-4 are formed by combining the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122. To 45 ° and through the intersection of these optical multilayer films,
Six sixth combinations 160 are obtained.
【0038】また図4(b)に示すように、第5の結合
体150−2、150−3を、青反射ダイクロイック多
層膜112、赤反射ダイクロイック多層膜122に対し
て45゜となるように、且つこれらの光学多層膜の交差
部を通るように切断し、3つの第6の結合体160を得
る。Further, as shown in FIG. 4B, the fifth coupling bodies 150-2 and 150-3 are set at 45 ° with respect to the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122. Then, cutting is performed so as to pass through the intersections of these optical multilayer films to obtain three sixth combined bodies 160.
【0039】図5に示すように、端面形状が5t×5t
の第4の結合体140から、断面形状が(√2t×√2
t)の第6の結合体160が8個切り出されることにな
る。第6の結合体160は4個の三角柱状の直角プリズ
ム201,202,203,204で構成されることに
なり、そのうちの1つの直角プリズム201において、
その直角部を挟む各面に青反射ダイクロイック多層膜1
12及び赤反射ダイクロイック多層膜122が形成され
る。また第6の結合体160は略正方形端面を有する4
角柱であり、光学多層膜に対する光ビームの入射方向
は、4角柱の側面と直角な方向である。As shown in FIG. 5, the end face shape is 5t × 5t.
From the fourth combined body 140, the sectional shape is (√2t × √2
Eight sixth combined bodies 160 in t) are cut out. The sixth combined body 160 is composed of four triangular prism-shaped right-angle prisms 201, 202, 203, and 204. In one of the right-angle prisms 201,
Blue reflective dichroic multilayer film 1 on each surface sandwiching the right angle part
12 and a red reflective dichroic multilayer film 122 are formed. The sixth combined body 160 has a substantially square end face.
The incident direction of the light beam to the optical multilayer film is a direction perpendicular to the side surface of the quadrangular prism.
【0040】(9)第9の工程;次に図4(a),
(b)に示すように、第6の結合体160の側面である
4つの切断面151,152,161,162を研削及
び研磨して、所定の外形寸法を有する直方体にする。(9) Ninth Step; Next, FIG.
As shown in (b), the four cut surfaces 151, 152, 161, and 162, which are the side surfaces of the sixth combined body 160, are ground and polished to form a rectangular parallelepiped having predetermined external dimensions.
【0041】(10)第10の工程;そして第6の結合
体160の4つの研磨面に、反射防止膜を蒸着する。(10) Tenth step: An antireflection film is deposited on the four polished surfaces of the sixth assembly 160.
【0042】青反射ダイクロイック多層膜112、赤反
射ダイクロイック多層膜122の交差部を通るようにし
て作成した第5の結合体150からは、4個の三角柱状
の直角プリズムで構成される色合成プリズムが作成でき
る。また青反射ダイクロイック多層膜112、赤反射ダ
イクロイック多層膜122の交差部の近傍を通るように
して作成された第5の結合体からは、図6に示すように
3個の三角柱と1個の五角柱とで構成される色合成プリ
ズム360を作成することもできる。このように切断位
置を意図的に変えると、光の出射側が判別し易い色合成
プリズムを作成することもできる。From the fifth combination 150 formed so as to pass through the intersection of the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122, a color combining prism composed of four triangular prism-shaped right angle prisms Can be created. In addition, as shown in FIG. 6, three triangular prisms and one five prism are formed from the fifth combined body formed so as to pass near the intersection of the blue reflective dichroic multilayer film 112 and the red reflective dichroic multilayer film 122. A color combining prism 360 composed of prisms can also be created. By intentionally changing the cutting position in this way, it is possible to create a color synthesizing prism that makes it easy to determine the light emission side.
【0043】以上のような製造方法によれば、2つの青
反射ダイクロイック多層膜112が形成される前に、透
明平板111が平面研磨されるため、光学多層膜の平面
度が非常に良好なものとなる。また第2の結合体120
の切断面が研磨されてから、赤反射ダイクロイック多層
膜122が形成されるので、光学多層膜の平面度と平行
度が良好に確保できる。また4個の三角プリズムは、い
ずれも直角部の直角度を厳しい精度で仕上げる必要がな
いため、色合成プリズムを安価に製造することができ
る。According to the manufacturing method as described above, since the transparent flat plate 111 is polished before the two blue reflection dichroic multilayer films 112 are formed, the flatness of the optical multilayer film is very good. Becomes Also, the second combined body 120
After the cut surface is polished, the red reflection dichroic multilayer film 122 is formed, so that the flatness and parallelism of the optical multilayer film can be ensured well. In addition, since none of the four triangular prisms needs to finish the right angle of the right angle portion with strict accuracy, the color combining prism can be manufactured at low cost.
【0044】さらに、4個の直角プリズムの直角部は、
隣接する2個の部材が結合された状態で研磨されるの
で、エッジの欠けが生じない。そのため、青反射ダイク
ロイック多層膜112、赤反射ダイクロイック多層膜1
22の交差部の曲率半径を非常に小さくできる。Further, the right-angle portions of the four right-angle prisms are:
Since the two adjacent members are polished in a joined state, the chipping of the edge does not occur. Therefore, the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 1
The radius of curvature at the intersection of 22 can be made very small.
【0045】なお、青反射ダイクロイック多層膜112
と赤反射ダイクロイック多層膜122との交差角が90
゜から多少ずれたとしても、これらの光学多層膜の平面
度は確保される。従って3枚の液晶パネルを用いた投写
型表示装置にこの色合成プリズムを設けた場合、色合成
プリズムに対する各液晶パネルの位置関係を調整するこ
とにより、投写画像のコンバージェンスを補正すること
ができる。この意味で、色合成プリズムにおける各光学
多層膜の交差角の直角度が厳密に確保されなくても、実
用上全く問題は生じない。The blue reflection dichroic multilayer film 112
The angle of intersection between the red reflective dichroic multilayer film 122 and
Even if it slightly deviates from 確保, the flatness of these optical multilayer films is ensured. Therefore, when this color combining prism is provided in a projection type display device using three liquid crystal panels, the convergence of the projected image can be corrected by adjusting the positional relationship of each liquid crystal panel with respect to the color combining prism. In this sense, practically no problem arises even if the perpendicularity of the crossing angles of the optical multilayer films in the color combining prism is not strictly secured.
【0046】(実施の形態2)次に本発明の実施の形態
2における色合成プリズムの製造方法について、実施の
形態1と同様に図1〜図4を用いて説明する。(Embodiment 2) Next, a method of manufacturing a color combining prism according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIGS.
【0047】(1)実施の形態1と全く同一の手順によ
り第5の結合体150を作成する。 (2)実施の形態1と異なり、図3(b)に示すよう
に、第5の結合体150の切断面151と、切断面15
2とを研削及び研磨する。 (3)図4(a)に示すように、青反射ダイクロイック
多層膜112と赤反射ダイクロイック多層膜122に対
していずれも45゜となるように、またこれらの光学多
層膜の交差部と交差するよう第5の結合体150を切断
して第6の結合体160を作成する。 (4)第6の結合体160の右側面である切断面161
と、左側面である切断面162は未研磨面であるので、
この時点で個別に研削及び研磨して、所定の外形寸法に
仕上げる。(1) The fifth combined body 150 is prepared by the same procedure as in the first embodiment. (2) Unlike the first embodiment, as shown in FIG. 3B, the cut surface 151 of the fifth combined body 150 and the cut surface 15
2 is ground and polished. (3) As shown in FIG. 4A, both the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122 intersect with each other at an angle of 45 ° and the intersection of these optical multilayer films. Then, the fifth combined body 150 is cut to form the sixth combined body 160. (4) The cut surface 161 which is the right side surface of the sixth combined body 160
Since the cut surface 162 on the left side is an unpolished surface,
At this point, they are individually ground and polished to finish to predetermined dimensions.
【0048】(5)第6の結合体160の4つの研磨さ
れた面151,152,161,162に対して反射防
止膜を蒸着する。(5) An anti-reflection film is deposited on the four polished surfaces 151, 152, 161, and 162 of the sixth combined body 160.
【0049】こうして、4個の三角柱状の直角プリズム
で構成される色合成プリズムを作成することができる。
また必要に応じて実施の形態1と同様に、図6に示すよ
うな3個の三角柱と1個の5角柱で構成される色合成プ
リズムも作成することができる。In this way, a color combining prism composed of four triangular prism-shaped right angle prisms can be produced.
If necessary, similarly to the first embodiment, a color combining prism composed of three triangular prisms and one pentagonal prism as shown in FIG. 6 can also be created.
【0050】以上の方法によれば、実施の形態1と同様
に、2種類の光学多層膜の平面度が非常に良好な色合成
プリズムを安価に作成することがでる。また、青反射ダ
イクロイック多層膜112と赤反射ダイクロイック多層
膜122の交差部の曲率半径を小さくすることができ
る。According to the above method, as in the first embodiment, it is possible to inexpensively produce a color synthesizing prism in which two kinds of optical multilayer films have very good flatness. Further, the radius of curvature at the intersection of the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122 can be reduced.
【0051】(実施の形態3)次に本発明の実施の形態
3における色合成プリズムの製造方法について、図7を
用いて説明する。図7は色合成プリズムの最後の製造工
程を示した説明図である。図7(a)は実施の形態1又
は2で得られた第6の結合体160の斜視図である。第
6の結合体160は4角柱状をしたプリズムであり、上
下の切断面151,152と、左右の切断面161,1
62を有している。また図7(b)は、第6の結合体1
60を3つに分割し、3つの色合成プリズム400を得
る状態を示している。Embodiment 3 Next, a method for manufacturing a color combining prism according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an explanatory view showing the last manufacturing process of the color combining prism. FIG. 7A is a perspective view of the sixth combined body 160 obtained in the first or second embodiment. The sixth combined body 160 is a prism having a quadrangular prism shape, and includes upper and lower cut surfaces 151 and 152 and left and right cut surfaces 161 and 1.
62. FIG. 7B shows the sixth conjugate 1
A state in which 60 is divided into three to obtain three color combining prisms 400 is shown.
【0052】(1)まず、実施の形態1又は2と全く同
一の手順により第6の結合体160を作成する。 (2)図7(a)に示すように、第6の結合体160を
切断面152,161と直交するよう切断位置402に
て切断する。 (3)次に図7(b)に示すように、切断面403,4
04を所定の長さhになるように研削及び研磨する。こ
うして所定の外形寸法を有する色合成プリズム400を
作成する。このとき、手前側の切断面403と向側の切
断面404の加工は研削のみでもよい。(1) First, a sixth combined body 160 is prepared in exactly the same procedure as in the first or second embodiment. (2) As shown in FIG. 7A, the sixth combined body 160 is cut at the cutting position 402 so as to be orthogonal to the cut surfaces 152 and 161. (3) Next, as shown in FIG.
04 is ground and polished to a predetermined length h. In this way, a color combining prism 400 having a predetermined outer dimension is created. At this time, the processing of the cut surface 403 on the near side and the cut surface 404 on the opposite side may be performed only by grinding.
【0053】この方法によれば、青反射ダイクロイック
多層膜112と赤反射ダイクロイック多層膜122の平
面度が非常に良好な色合成プリズムを多量に製造するこ
とができ、より安価なものとなる。According to this method, a large number of color synthesizing prisms having very good flatness of the blue reflection dichroic multilayer film 112 and the red reflection dichroic multilayer film 122 can be manufactured in large quantities, and the cost can be reduced.
【0054】(実施の形態4)次に本発明の実施の形態
4における色合成プリズムの製造方法について、図8を
用いて説明する。図8は本実施の形態の色合成プリズム
の一部の製造工程を示した説明図である。第3の結合体
130が貼合基台501に取り付けられている。第3の
結合体130には、実施の形態1の場合と同様に青反射
ダイクロイック多層膜112と赤反射ダイクロイック多
層膜122とが形成されているものとする。(Embodiment 4) Next, a method of manufacturing a color combining prism according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory view showing a part of the manufacturing process of the color synthesizing prism of the present embodiment. Third coupling body 130 is attached to bonding base 501. It is assumed that a blue reflection dichroic multilayer film 112 and a red reflection dichroic multilayer film 122 are formed in the third coupling body 130 as in the first embodiment.
【0055】(1)先ず、実施の形態1又は2と全く同
一の手順により、第3の結合体130を作成する。 (2)図8に示すように、第3の結合体130の一方の
端面、即ち青反射ダイクロイック多層膜112が形成さ
れた面を、貼合基台501の垂直平面部502に当接さ
せる。そして、上下に位置する複数の第3の結合体13
0を透明接着剤により接着する。こうして接着面503
で接合された第4の結合体140を作成する。 (3)次に、実施の形態1又は2と全く同一の手順によ
り、第5の結合体を作成する。更に第6の結合体を作成
して、所定の外形寸法に仕上げて、反射防止膜を蒸着す
る。こうして色合成プリズムを仕上げる。(1) First, a third combined body 130 is prepared by the same procedure as in the first or second embodiment. (2) As shown in FIG. 8, one end surface of the third combined body 130, that is, the surface on which the blue reflective dichroic multilayer film 112 is formed, is brought into contact with the vertical plane portion 502 of the bonding base 501. Then, a plurality of third combined bodies 13 located above and below
0 is adhered by a transparent adhesive. Thus, the bonding surface 503
A fourth combined body 140 joined by the above is created. (3) Next, a fifth conjugate is prepared by exactly the same procedure as in the first or second embodiment. Further, a sixth combined body is formed, finished to a predetermined outer size, and an antireflection film is deposited. Thus, the color combining prism is finished.
【0056】この方法によれば、第3の結合体130の
端面が一平面になるようにして接着すれば、第1の結合
体と略同じ状態の形にすることができる。即ち、青反射
ダイクロイック多層膜112は第3の結合体130の接
着後も一つの平面を形成することになるため、2種類の
光学多層膜の平面度は非常に良好なものとなる。According to this method, if the third combined body 130 is adhered so that the end face thereof is flush, the shape can be substantially the same as that of the first combined body. That is, the blue reflection dichroic multilayer film 112 forms one plane even after the third coupling body 130 is bonded, so that the two types of optical multilayer films have very good flatness.
【0057】(実施の形態5)次に本発明の実施の形態
5における色合成プリズムの製造方法について、前述し
た図1〜図4を用いて説明する。(Fifth Embodiment) Next, a method of manufacturing a color combining prism according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【0058】(1)先ず、実施の形態1又は2と全く同
一の手順により、第2の結合体120を作成する。この
とき、切断した順序と方向を識別するために、図2
(a)に示すように第2の結合体の端面に識別符号して
マ−クa,b,c,d,eを施す。 (2)図2(a)に示すように、第2の結合体120の
平行研磨された一方の面に赤反射ダイクロイック多層膜
122を蒸着して、第3の結合体130を作成する。(1) First, the second combined body 120 is prepared by the same procedure as in the first or second embodiment. At this time, in order to identify the cutting order and direction, FIG.
As shown in (a), marks a, b, c, d, and e are applied to the end faces of the second combined body by identification codes. (2) As shown in FIG. 2A, a red reflective dichroic multilayer film 122 is deposited on one parallel-polished surface of the second combined body 120 to form a third combined body 130.
【0059】(3)図3(a)に示すように、第2の結
合体120が作成されたときに付与されたマ−クa〜e
を利用して、第1の結合体110と同じ状態になるよう
に第3の結合体130を配置する。第3の結合体130
の赤反射ダイクロイック多層膜122に直角な端面を、
一つの基準平面に当接させて位置決めする。そして透明
接着剤により接着し、第4の結合体140を作成する。(3) As shown in FIG. 3A, marks a to e provided when the second combined body 120 is formed.
Is used to arrange the third combined body 130 so as to be in the same state as the first combined body 110. Third combination 130
The end face perpendicular to the red reflection dichroic multilayer film 122 of
It is positioned in contact with one reference plane. Then, they are bonded with a transparent adhesive to form a fourth combined body 140.
【0060】第4の結合体140は互いに直交する接合
面で区切られた4角柱141の集合体である。夫々の4
角柱141の隣合う2つの面には青反射ダイクロイック
多層膜112と赤反射ダイクロイック多層膜122とが
蒸着されており、これらの光学多層膜が隣接する4角柱
の間に挟まれる状態となっいる。The fourth combined body 140 is an aggregate of quadrangular prisms 141 separated by joining surfaces orthogonal to each other. 4 for each
A blue reflective dichroic multilayer film 112 and a red reflective dichroic multilayer film 122 are deposited on two adjacent surfaces of the prism 141, and these optical multilayer films are sandwiched between adjacent quadrangular prisms.
【0061】(4)第4の結合体140の作成以降の手
順は、実施の形態1又は2と同一の手順である。(4) The procedure after the creation of the fourth combined body 140 is the same procedure as in the first or second embodiment.
【0062】このような製造方法によれば、透明平板1
11において、平行研磨された加工精度が通常の精密加
工精度(例えば、平行度0.03/100程度の精度)
の範囲内であれば、2種類の光学多層膜の交差部におけ
る青反射ダイクロイック多層膜112のずれは無視でき
る程度のものとなる。但し、第2の結合体120を作成
する際の両面研磨の加工しろΔtは1〜3mm程度と極
端に大きくないとする。こうして平面度の良好な色合成
プリズムを得ることができる。According to such a manufacturing method, the transparent flat plate 1
In step 11, the parallel-polished processing accuracy is the normal precision processing accuracy (for example, an accuracy of about 0.03 / 100 parallelism).
, The deviation of the blue reflective dichroic multilayer film 112 at the intersection of the two types of optical multilayer films is negligible. However, it is assumed that the processing margin Δt for double-side polishing when the second combined body 120 is formed is not extremely large, about 1 to 3 mm. Thus, a color synthesizing prism having good flatness can be obtained.
【0063】(実施の形態6)次に本発明の実施の形態
6における色合成プリズムの製造方法について、図9〜
図12を用いて説明する。本実施の形態では、図9
(a)に示すように奥行き(y方向)の短い透明平板6
01と、奥行きの長い透明平板602が交互に重なるよ
う用いる。透明平板601と透明平板602の上面に青
反射ダイクロイック多層膜612を形成する。Embodiment 6 Next, a method of manufacturing a color combining prism according to Embodiment 6 of the present invention will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In the present embodiment, FIG.
(A) As shown in FIG.
01 and a transparent flat plate 602 having a long depth are used so as to alternately overlap each other. A blue reflection dichroic multilayer film 612 is formed on the upper surfaces of the transparent flat plate 601 and the transparent flat plate 602.
【0064】(1)2種類の奥行き寸法で、屈折率が等
しい複数の透明平板601,602を所定の厚さになる
ように加工し、両面を平行研磨する。 (2)図9(a)に示すように、透明平板601,60
2の一方の研磨面に青反射ダイクロイック多層膜612
を蒸着する。 (3)次に図9(b)に示すように、青反射ダイクロイ
ック多層膜612が挟まれるように、透明平板601と
透明平板602とを交互に積み重ねる。そして、y方向
の両端部で略同一の段差が形成されるように透明接着剤
により夫々の透明平板を接着する。こうして第1の結合
体610を作成する。このとき、上端に位置する透明平
板601又は602には、光学多層膜が蒸着されていな
くてもよい。(1) A plurality of transparent flat plates 601 and 602 having two different depth dimensions and the same refractive index are processed to have a predetermined thickness, and both surfaces are polished in parallel. (2) As shown in FIG.
Blue reflective dichroic multilayer film 612 on one of the polishing surfaces
Is deposited. (3) Next, as shown in FIG. 9B, the transparent flat plates 601 and the transparent flat plates 602 are alternately stacked so as to sandwich the blue reflection dichroic multilayer film 612 therebetween. Then, the respective transparent flat plates are bonded with a transparent adhesive so that substantially the same step is formed at both ends in the y direction. Thus, a first combined body 610 is formed. At this time, the optical flat film may not be deposited on the transparent flat plate 601 or 602 located at the upper end.
【0065】(4)図10に示すように、第1の結合体
610をその接合面に対して直角をなす平面で切断す
る。そして透明平板601,602と等しい厚さに両面
を研磨し、複数個の第2の結合体620を作成する。こ
のとき、切断した順序と方向とを後で識別できるように
するために、第2の結合体620の上端面にマークa、
b、c、d,eを施すとよい。(4) As shown in FIG. 10, the first joint body 610 is cut along a plane perpendicular to the joint surface. Then, both surfaces are polished to the same thickness as the transparent flat plates 601 and 602 to form a plurality of second combined bodies 620. At this time, in order to be able to identify the order and direction of cutting later, marks a,
It is preferable to apply b, c, d, and e.
【0066】(5)図11に示すように、第2の結合体
620の平行研磨された一方の面に、赤反射ダイクロイ
ック多層膜622を蒸着して、第3の結合体630を作
成する。(5) As shown in FIG. 11, a red reflective dichroic multilayer film 622 is deposited on one of the parallel polished surfaces of the second combined body 620 to form a third combined body 630.
【0067】(6)図12に示すように、第2の結合体
620に付与されたマークを利用して、切断したときと
同じ順序と方向になるように第3の結合体630を並べ
る。そして、第1の結合体610の作成時に形成された
段差の一つを、貼合基台642の垂直基準面に当接させ
て位置決めする。次に、透明接着剤により接着して第4
の結合体640を作成する。このとき、左端に位置する
第3の結合体630には、光学多層膜が蒸着されていな
くてもよい。こうすると第4の結合体640は、互いに
直交する接合面で区切られた4角柱641の集合体とな
る。そして隣接する4角柱の間には赤反射ダイクロイッ
ク多層膜622と青反射ダイクロイック多層膜612が
挟まったものとなる。(6) As shown in FIG. 12, the third combination 630 is arranged using the mark provided on the second combination 620 so as to be in the same order and direction as when cut. Then, one of the steps formed when the first combined body 610 is formed is brought into contact with the vertical reference plane of the bonding base 642 and positioned. Next, a fourth adhesive is applied by using a transparent adhesive.
Is created. At this time, the optical multilayer film may not be deposited on the third combined body 630 located at the left end. In this way, the fourth combined body 640 becomes an aggregate of quadrangular prisms 641 separated by joining surfaces orthogonal to each other. The red reflective dichroic multilayer 622 and the blue reflective dichroic multilayer 612 are sandwiched between adjacent quadrangular prisms.
【0068】(7)図13に示すように、青反射ダイク
ロイック多層膜612と赤反射ダイクロイック多層膜6
22に対して45゜となるように、且つこれらの光学多
層膜の交差部を通るように、第4の結合体640を切断
して第5の結合体650を作成する。このとき、切断面
は赤反射ダイクロイック多層膜622と青反射ダイクロ
イック多層膜612の交差部を含むか、又は交差部近傍
を通るものとなる。(7) As shown in FIG. 13, the blue reflective dichroic multilayer 612 and the red reflective dichroic multilayer 6
The fourth combined body 640 is cut to make a fifth combined body 650 so as to be 45 ° with respect to 22 and to pass through the intersection of these optical multilayer films. At this time, the cut surface includes an intersection of the red reflection dichroic multilayer film 622 and the blue reflection dichroic multilayer film 612 or passes near the intersection.
【0069】(8)図14に示すように、青反射ダイク
ロイック多層膜612と赤反射ダイクロイック多層膜6
22に対して45゜となるように、且つこれらの光学多
層膜の交差部を通るように、第5の結合体650を切断
する。こうして両端面に凹凸が形成された第6の結合体
660を作成する。(8) As shown in FIG. 14, the blue reflective dichroic multilayer 612 and the red reflective dichroic multilayer 6
The fifth combined body 650 is cut so as to form an angle of 45 ° with respect to 22 and to pass through the intersection of these optical multilayer films. In this way, a sixth combined body 660 having unevenness formed on both end surfaces is formed.
【0070】(9)第6の結合体660の4つの切断面
651,652,661,662を研削及び研磨し、所
定の外形寸法に仕上げる。(9) The four cut surfaces 651, 652, 661, 662 of the sixth combined body 660 are ground and polished to finish them to predetermined external dimensions.
【0071】(10)第6の結合体660の4つの研磨
面に、反射防止膜を蒸着する。(10) An antireflection film is deposited on the four polished surfaces of the sixth combined body 660.
【0072】前記の手順において、第5の結合体650
を作成するときに、その切断面651,652を研削及
び研磨しておいてもよい。このときは第6の結合体66
0の研削及び研磨は2つの切断面661,662のみで
よい。In the above procedure, the fifth conjugate 650
May be ground and polished before cutting. At this time, the sixth coupling body 66
Grinding and polishing of 0 may be performed only on the two cut surfaces 661 and 662.
【0073】また、第6の結合体660で形成された段
差は、投写型表示装置に組み込むときの位置決めに利用
することができる。また、図14(c)に示すような第
6の結合体660を、所定の奥行きhになるように切断
し、切断面665を適当な仕上げ加工をする。こうする
と1つの第6の結合体660から複数個の色合成プリズ
ムを作成できる。Further, the step formed by the sixth coupling body 660 can be used for positioning when incorporated in a projection display device. Further, the sixth combined body 660 as shown in FIG. 14C is cut so as to have a predetermined depth h, and the cut surface 665 is appropriately finished. In this way, a plurality of color combining prisms can be created from one sixth combined body 660.
【0074】本実施の形態の製造方法によれば、第1の
結合体610を作成したときに形成された段差が一平面
となるように第4の結合体640が作成される。このた
め、第4の結合体640における青反射ダイクロイック
多層膜612と赤反射ダイクロイック多層膜622は非
常に良好な平面を形成することができる。このような手
順で作成された色合成プリズムは、光学多層膜の平面度
が非常に良好で、その交差部の曲率半径を小さくでき
る。According to the manufacturing method of the present embodiment, fourth joint 640 is formed such that the step formed when first joint 610 is formed is one plane. Therefore, the blue reflection dichroic multilayer film 612 and the red reflection dichroic multilayer film 622 in the fourth coupler 640 can form a very good plane. The color synthesizing prism created by such a procedure has a very good flatness of the optical multilayer film, and can reduce the radius of curvature at the intersection.
【0075】(実施の形態7)以上の実施の形態で得ら
れた色合成プリズムを用いた投写型表示装置を、本発明
の実施の形態7として以下に説明する。図15は本実施
の形態における投写型表示装置の概略構成を示す光路図
である。この投写型表示装置は、光源1、平面ミラ−
2,5、ダイクロイックミラー3,4、リレーレンズ
6,7、平面ミラー8,9、フィールドレンズ10,1
1,12、液晶パネル16,17,18、色合成プリズ
ム22、投写レンズ23を含んで構成される。(Embodiment 7) A projection display device using the color combining prism obtained in the above embodiment will be described below as Embodiment 7 of the present invention. FIG. 15 is an optical path diagram illustrating a schematic configuration of the projection display apparatus according to the present embodiment. The projection type display device includes a light source 1, a plane mirror,
2,5, dichroic mirrors 3,4, relay lenses 6,7, plane mirrors 8,9, field lenses 10,1
1, 12, liquid crystal panels 16, 17, 18, a color combining prism 22, and a projection lens 23.
【0076】光源1は、ランプ31、凹面鏡32、フィ
ルタ33で構成されている。凹面鏡32は回転楕円の反
射面を有し、可視光を前方に反射して赤外光を後方に透
過させる。ランプ31は発光体の中心が凹面鏡32の焦
点35に位置するように配置されたものである。フィル
タ33はガラス基板で構成され、可視光を透過させ、赤
外光と紫外光とを反射させる。このため、ガラス基板の
一方の面に光学多層膜が蒸着され、他方の面に反射防止
膜が蒸着される。ランプ31から放射される白色光は、
凹面鏡32により平行に近い光に変換され、フィルタ3
3により可視光だけが平面ミラー2に向かう。The light source 1 comprises a lamp 31, a concave mirror 32, and a filter 33. The concave mirror 32 has a spheroidal reflecting surface, reflects visible light forward and transmits infrared light backward. The lamp 31 is arranged such that the center of the light emitter is located at the focal point 35 of the concave mirror 32. The filter 33 is made of a glass substrate, transmits visible light, and reflects infrared light and ultraviolet light. Therefore, an optical multilayer film is deposited on one surface of the glass substrate, and an antireflection film is deposited on the other surface. The white light emitted from the lamp 31 is
The light is converted into near parallel light by the concave mirror 32,
3 directs only visible light to the plane mirror 2.
【0077】光源1を出射した光は、平面ミラー2で反
射された後、一部の光は赤透過のダイクロイックミラー
3を通過し、平面ミラー5で反射されて、フィールドレ
ンズ10、入射側偏光板13を介して液晶パネル16に
赤光として入射される。またダイクロイックミラー3で
反射された一部の光は、緑反射のダイクロイックミラー
4で反射され、フィールドレンズ11、入射側偏光板1
4を介して液晶パネル17に緑光として入射される。更
に、ダイクロイックミラー3で反射された一部の光は緑
反射のダイクロイックミラー4を通過し、平面ミラー
8、リレーレンズ7、平面ミラー9、フィールドレンズ
12、入射側偏光板15を介して液晶パネル18に青光
として入射される。The light emitted from the light source 1 is reflected by the plane mirror 2, and a part of the light passes through the red transmitting dichroic mirror 3, is reflected by the plane mirror 5, and is reflected by the field lens 10 and the incident side polarized light. The light is incident on the liquid crystal panel 16 via the plate 13 as red light. A part of the light reflected by the dichroic mirror 3 is reflected by the dichroic mirror 4 which reflects green light, and the field lens 11 and the incident side polarizing plate 1 are reflected.
4 and is incident on the liquid crystal panel 17 as green light. Further, a part of the light reflected by the dichroic mirror 3 passes through the dichroic mirror 4 which reflects green, and passes through the plane mirror 8, the relay lens 7, the plane mirror 9, the field lens 12, and the incident side polarizing plate 15 to the liquid crystal panel. 18 is incident as blue light.
【0078】3つの液晶パネル16,17,18は、い
ずれもTN液晶パネルであり、偏光状態に応じて光学像
を形成するライトバルブである。各液晶パネル16,1
7,18からの出射光は、それぞれ出射側偏光板19,
20,21を透過し、色合成プリズム22に入射する。
色合成プリズム22は、実施の形態1〜6で説明したよ
うに、赤反射ダイクロイック多層膜および青反射ダイク
ロイック多層膜がX字状に配列されるように4個の三角
プリズムが接合されたものである。Each of the three liquid crystal panels 16, 17, and 18 is a TN liquid crystal panel, and is a light valve that forms an optical image according to the polarization state. Each liquid crystal panel 16,1
The outgoing lights from 7 and 18 are respectively output from the outgoing side polarizing plates 19 and
The light passes through 20 and 21 and enters the color combining prism 22.
As described in the first to sixth embodiments, the color combining prism 22 is formed by joining four triangular prisms such that the red reflection dichroic multilayer film and the blue reflection dichroic multilayer film are arranged in an X shape. is there.
【0079】色合成プリズム22の入射面に入射した各
原色光は、各光学多層膜によって1つの光に合成された
後、投写レンズ23に入射する。そして液晶パネル1
6,17,18に形成された光学像は投写レンズ23に
より拡大され、スクリーン上に投写される。Each primary color light incident on the incident surface of the color combining prism 22 is combined into one light by each optical multilayer film, and then enters the projection lens 23. And the liquid crystal panel 1
The optical images formed on 6, 17, and 18 are enlarged by the projection lens 23 and projected on a screen.
【0080】図15に示した構成では、光源1から各液
晶パネル16,17,18までの光路長において、青の
光路だけ他の光路より長くなる。このためリレーレンズ
を用いて青の等価光路長が赤および緑の光路長と等しく
なるようにしている。この点について、以下に説明す
る。In the configuration shown in FIG. 15, in the optical path length from the light source 1 to each of the liquid crystal panels 16, 17, 18, only the blue optical path is longer than the other optical paths. For this reason, the equivalent optical path length of blue is made equal to the optical path lengths of red and green using a relay lens. This will be described below.
【0081】第1のリレーレンズ6は、凹面鏡に対応す
る実像を第2のリレーレンズ7の位置に形成する。また
第2のリレーレンズ7は第1のリレーレンズ6の近傍の
物体に対応するほぼ等倍の実像を、フィールドレンズ1
2に形成する。またフィールドレンズ12は第2のリレ
ーレンズ7の近傍の物体に対応する実像を、投写レンズ
23の瞳の近傍に形成する。こうして、凹面鏡に対応す
る実像を投写レンズ23の瞳の近傍に形成することがで
きる。フィールドレンズ10,11も凹面鏡に対応する
実像を投写レンズ23の瞳の近傍に形成する。こうし
て、青の光路において、光源からの出射光を投写レンズ
23まで効率良く導くことができる。The first relay lens 6 forms a real image corresponding to the concave mirror at the position of the second relay lens 7. The second relay lens 7 converts a real image of approximately the same size corresponding to an object near the first relay lens 6 into a field lens 1.
2 is formed. The field lens 12 forms a real image corresponding to an object near the second relay lens 7 near the pupil of the projection lens 23. Thus, a real image corresponding to the concave mirror can be formed near the pupil of the projection lens 23. The field lenses 10 and 11 also form a real image corresponding to the concave mirror near the pupil of the projection lens 23. Thus, the light emitted from the light source can be efficiently guided to the projection lens 23 in the blue optical path.
【0082】図15に示した投写型表示装置では、色合
成プリズムにおける2種類のダイクロイック多層膜の平
面度が良好であるため、投写画像に二重像が現れず、3
色の投写画像の対応する各画素のずれを非常に小さくす
ることができる。In the projection display device shown in FIG. 15, since the two types of dichroic multilayer films in the color combining prism have good flatness, no double image appears in the projected image, and
The displacement of each corresponding pixel of the color projection image can be made very small.
【0083】[0083]
【発明の効果】以上のように本願の請求項1〜17記載
の発明によれば、2種類の光学多層膜の平面度が非常に
良好な色合成プリズムを安価に製造することができる。As described above, according to the first to seventeenth aspects of the present invention, a color synthesizing prism having two kinds of optical multilayer films having very good flatness can be manufactured at low cost.
【0084】また請求項18記載の発明によれば、上記
の発明の色合成プリズムを色合成手段として用いること
により、投写画像に二重像が現れず、3色の投写画像の
対応する各画素のズレが非常に少ない投写型表示装置を
実現することができる。According to the eighteenth aspect of the present invention, by using the color synthesizing prism of the above invention as a color synthesizing means, a double image does not appear in the projected image, and each corresponding pixel of the three-color projected image is displayed. Of the projection type display device with very small deviation can be realized.
【図1】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの製造方法(その1)の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a method (1) for manufacturing a color combining prism according to Embodiments 1 to 5 of the present invention.
【図2】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの製造方法(その2)の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a method (part 2) for manufacturing a color combining prism according to the first to fifth embodiments of the present invention.
【図3】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの製造方法(その3)の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a method (part 3) for manufacturing a color combining prism according to the first to fifth embodiments of the present invention.
【図4】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの製造方法(その4)の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a method (No. 4) for manufacturing a color combining prism according to Embodiments 1 to 5 of the present invention.
【図5】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの製造方法(その5)の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a method (part 5) for manufacturing a color combining prism according to the first to fifth embodiments of the present invention.
【図6】本発明の実施の形態1〜5における色合成プリ
ズムの切出例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of cutting out a color combining prism according to Embodiments 1 to 5 of the present invention.
【図7】本発明の実施の形態3における色合成プリズム
の製造方法の一部を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory view showing a part of a method of manufacturing a color combining prism according to Embodiment 3 of the present invention.
【図8】本発明の実施の形態4における色合成プリズム
の製造方法の一部を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory view showing a part of a method of manufacturing a color combining prism in Embodiment 4 of the present invention.
【図9】本発明の実施の形態6における色合成プリズム
の製造方法(その1)を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a method (part 1) for manufacturing a color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図10】本発明の実施の形態6における色合成プリズ
ムの製造方法(その2)を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a method (No. 2) for manufacturing a color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図11】本発明の実施の形態6における色合成プリズ
ムの製造方法(その3)を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating a method (part 3) for manufacturing a color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図12】本発明の実施の形態6における色合成プリズ
ムの製造方法(その4)を示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating a method (part 4) for manufacturing the color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図13】本発明の実施の形態6における色合成プリズ
ムの製造方法(その5)を示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating a method (part 5) for manufacturing the color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図14】本発明の実施の形態6における色合成プリズ
ムの製造方法(その6)を示す説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram illustrating a method (part 6) for manufacturing the color combining prism according to the sixth embodiment of the present invention.
【図15】本発明の実施の形態7における投写型表示装
置の概略構成を示す光路図である。FIG. 15 is an optical path diagram illustrating a schematic configuration of a projection display apparatus according to Embodiment 7 of the present invention.
【図16】従来の色合成プリズムの構成例を示す斜視図
である。FIG. 16 is a perspective view showing a configuration example of a conventional color combining prism.
1 光源 2,5,8,9 平面ミラー 3,4 ダイクロイックミラー 6,7 リレーレンズ 10,11,12 フィールドレンズ 13,14,15 入射側偏光板 16,17,18 液晶パネル 19,20,21 出射側偏光板 22,360,400 色合成プリズム 23 投写レンズ 31 ランプ 32 凹面鏡 33 フィルタ 81,122,622 赤反射ダイクロイック多層膜 82,112,612 青反射ダイクロイック多層膜 83,84,85,86 直角プリズム 110,610 第1の結合体 111,601,602 透明平板 120,620 第2の結合体 130,630 第3の結合体 140,640 第4の結合体 141,641 4角柱 150,150−1〜150−4,650,650−1
〜650−4 第5の結合体 151,152,161,162,665 切断面 160,660 第6の結合体 201〜204 直角プリズム 501,542 貼合基台DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 2,5,8,9 Planar mirror 3,4 Dichroic mirror 6,7 Relay lens 10,11,12 Field lens 13,14,15 Incident side polarizing plate 16,17,18 Liquid crystal panel 19,20,21 Emission Side polarizing plate 22, 360, 400 Color combining prism 23 Projection lens 31 Lamp 32 Concave mirror 33 Filter 81, 122, 622 Red reflection dichroic multilayer film 82, 112, 612 Blue reflection dichroic multilayer film 83, 84, 85, 86 Right angle prism 110 , 610 First combined body 111, 601, 602 Transparent flat plate 120, 620 Second combined body 130, 630 Third combined body 140, 640 Fourth combined body 141, 641 Quadrangular prism 150, 150-1 to 150 -4,650,650-1
650-4 Fifth combined body 151, 152, 161, 162, 665 Cut plane 160, 660 Sixth combined body 201-204 Right angle prism 501, 542 Lamination base
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03B 33/12 G03B 33/12 H04N 9/31 H04N 9/31 C ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G03B 33/12 G03B 33/12 H04N 9/31 H04N 9/31 C
Claims (19)
とし、 前記z方向と直角な(x,y)平面に平行な面を
前記透明基板の平板面とするとき、対向する2つの前記
平板面を平行且つ所定厚みtとなるよう研磨し、複数の
透明平板を得る第1の工程と、 前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面に、
第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を形成
する第2の工程と、 前記第2の工程で得られた複数の透明平板を用いて、前
記第1の光学多層膜が挟まれるようにz方向に積層し、
透明接着剤を用いて接合して直方体状の第1の結合体を
作成する第3の工程と、 前記第3の工程の接合面と直角な切断面で前記第1の結
合体を複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向の
厚みがtとなる第2の結合体を作成する第4の工程と、 前記第2の結合体の(y,z)面と平行な研磨面の一方
に、第2の分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を
形成し、第3の結合体を作成する第5の工程と、 前記第2の光学多層膜が挟まれるように複数の前記第3
の結合体をx方向に沿って積層し、かつ前記第1の光学
多層膜が(x,y)平面と平行な同一平面を形成するよ
う前記第3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて
接合して直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程
と、 前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線
を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して45°
となるよう、y軸と平行な切断面で前記第4の結合体を
切断し、端面形状が台形となる多角柱状の第5の結合体
を作成する第7の工程と、 前記第7の工程の切断面と直交する切断面で前記第5の
結合体を切断するとき、端面において前記第1及び第2
の光学多層膜が直交対角線となるように前記切断位置を
決定し、前記切断加工によって端面が正方形となる4角
柱状の第6の結合体を作成する第8の工程と、 前記第6の結合体のy軸と平行な各切断面を研磨するこ
とにより色合成プリズムを得る第9の工程と、を有する
ことを特徴とする色合成プリズムの製造方法。When the thickness direction of a transparent substrate having a refractive index n is defined as az direction, and a plane parallel to a (x, y) plane perpendicular to the z direction is defined as a flat surface of the transparent substrate, two opposing surfaces are provided. A first step of polishing the flat plate surfaces so as to be parallel and have a predetermined thickness t to obtain a plurality of transparent flat plates, and a polishing surface of one of the transparent flat plates obtained in the first step,
A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic, and using the plurality of transparent flat plates obtained in the second step, the first optical multilayer film is sandwiched. Stacked in the z direction so that
A third step of forming a rectangular parallelepiped first bonded body by bonding using a transparent adhesive; and forming the first bonded body into a plurality of pieces at a cut surface perpendicular to the bonding surface of the third step. A fourth step of cutting and polishing the cut surface to form a second combined body having a thickness in the x direction of t; a polished surface parallel to the (y, z) plane of the second combined body A fifth step of forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one side and forming a third combined body; and forming a plurality of second optical multilayer films so as to sandwich the second optical multilayer film. The third of
Are laminated along the x direction, and the end faces of the third composite are aligned so that the first optical multilayer film forms the same plane parallel to the (x, y) plane. A sixth step of forming a fourth rectangular parallelepiped by joining the first and second optical multilayer films through an intersection of the first optical multilayer film and the second optical multilayer film. 45 ° for 2 optical multilayers
A seventh step of cutting the fourth joint body along a cutting plane parallel to the y-axis to form a polygonal prism-shaped fifth joint body having a trapezoidal end face shape; and the seventh step When cutting the fifth joined body along a cutting plane orthogonal to the cutting plane, the first and second joints are cut at the end face.
An eighth step of determining the cutting position so that the optical multilayer film becomes an orthogonal diagonal line, and forming a quadrangular prism-shaped sixth coupling body having a square end face by the cutting processing; and the sixth coupling A ninth step of obtaining a color combining prism by polishing each cut surface parallel to the y-axis of the body, a method of manufacturing a color combining prism.
とし、 前記z方向と直角な(x,y)平面に平行な面を
前記透明基板の平板面とするとき、対向する2つの前記
平板面を平行且つ所定厚みtとなるよう研磨し、複数の
透明平板を得る第1の工程と、 前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面に、
第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を形成
する第2の工程と、 前記第2の工程で得られた複数の透明平板を用いて、前
記第1の光学多層膜が挟まれるようにz方向に積層し、
透明接着剤を用いて接合して直方体状の第1の結合体を
作成する第3の工程と、 前記第3の工程の接合面と直角な切断面で前記第1の結
合体を複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向の
厚みがtとなる第2の結合体を作成する第4の工程と、 前記第2の結合体の(y,z)面と平行な研磨面の一方
に、第2の分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を
形成し、第3の結合体を作成する第5の工程と、 前記第2の光学多層膜が挟まれるように複数の前記第3
の結合体をx方向に沿って積層し、かつ前記第1の光学
多層膜が(x,y)平面と平行な同一平面を形成するよ
う前記第3の結合体の端面を揃え、透明接着剤を用いて
接合して直方体状の第4の結合体を作成する第6の工程
と、 前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線
の近傍を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して
45°となるよう、y軸と平行な切断面で前記第4の結
合体を切断し、端面形状が台形となる多角柱状の第5の
結合体を作成する第7の工程と、 前記第7の工程の切断面と直交する切断面で前記第5の
結合体を切断し、前記切断加工によって端面が正方形又
は長方形となる4角柱状の第6の結合体を作成する第8
の工程と、 前記第6の結合体のy軸と平行な各切断面を研磨するこ
とにより色合成プリズムを得る第9の工程と、を有する
ことを特徴とする色合成プリズムの製造方法。2. When a thickness direction of a transparent substrate having a refractive index n is defined as az direction and a plane parallel to a (x, y) plane perpendicular to the z direction is defined as a flat surface of the transparent substrate, two opposing surfaces are provided. A first step of polishing the flat plate surfaces so as to be parallel and have a predetermined thickness t to obtain a plurality of transparent flat plates, and a polishing surface of one of the transparent flat plates obtained in the first step,
A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic, and using the plurality of transparent flat plates obtained in the second step, the first optical multilayer film is sandwiched. Stacked in the z direction so that
A third step of forming a rectangular parallelepiped first bonded body by bonding using a transparent adhesive; and forming the first bonded body into a plurality of pieces at a cut surface perpendicular to the bonding surface of the third step. A fourth step of cutting and polishing the cut surface to form a second combined body having a thickness in the x direction of t; a polished surface parallel to the (y, z) plane of the second combined body A fifth step of forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one side and forming a third combined body; and forming a plurality of second optical multilayer films so as to sandwich the second optical multilayer film. The third of
Are laminated along the x direction, and the end faces of the third composite are aligned so that the first optical multilayer film forms the same plane parallel to the (x, y) plane. A sixth step of forming a fourth rectangular parallelepiped joint by joining the first optical multilayer film and the first optical multilayer film through a vicinity of a line of intersection between the first optical multilayer film and the second optical multilayer film. And cutting the fourth combined body at a cutting plane parallel to the y-axis so as to be at 45 ° with respect to the second optical multilayer film to form a polygonal column-shaped fifth combined body having a trapezoidal end surface. A seventh step of cutting, the fifth joint body being cut by a cutting plane orthogonal to the cutting plane of the seventh step, and a sixth step of forming a quadrangular prism having a square or rectangular end surface by the cutting process. Eighth Create Body
And a ninth step of obtaining a color combining prism by polishing each cut surface of the sixth combined body parallel to the y-axis.
合体を、前記第1及び第2の光学多層膜に直角な切断面
で所定長さ単位に切断することを特徴とする請求項1又
は2記載の色合成プリズムの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the sixth combined body produced in the ninth step is cut into predetermined length units at a cutting plane perpendicular to the first and second optical multilayer films. A method for manufacturing a color combining prism according to claim 1.
平板のz方向の厚みの公差は、前記第1又は第2の光学
多層膜の膜厚の100倍以下であることを特徴とする請
求項1又は2記載の色合成プリズムの製造方法。4. The method according to claim 1, wherein the tolerance of the thickness in the z direction of each transparent flat plate manufactured in the first step is 100 times or less of the thickness of the first or second optical multilayer film. The method for manufacturing a color combining prism according to claim 1 or 2.
の結合体のx方向の厚みの公差は、前記第1又は第2の
光学多層膜の膜厚の100倍以下であることを特徴とす
る請求項1又は2記載の色合成プリズムの製造方法。5. The second semiconductor device manufactured in the fourth step
3. The method according to claim 1, wherein a thickness tolerance of the combined body in the x direction is 100 times or less of a thickness of the first or second optical multilayer film.
合体の(x,y)平面に平行な一方の端面が同一平面と
なるよう、前記第3の結合体が接着されることを特徴と
する請求項1又は2記載の色合成プリズムの製造方法。6. The method according to claim 6, wherein in the sixth step, the third combined body is bonded so that one end face of the third combined body parallel to the (x, y) plane is on the same plane. The method for manufacturing a color combining prism according to claim 1 or 2, wherein:
の結合体に対して、配列順序と方向を示す識別符号を付
け、前記第6の工程において前記識別符号を用いて前記
第2の結合体の切断順序と同一になるよう前記第3の結
合体を配列させて接合することを特徴とする請求項1又
は2記載の色合成プリズムの製造方法。7. The plurality of second semiconductor devices manufactured in the fourth step.
An identification code indicating an arrangement order and a direction is given to the conjugate of the third conjugate, and the third conjugate is used in the sixth step so as to be the same as the cutting order of the second conjugate using the identification code. 3. The method for manufacturing a color synthesizing prism according to claim 1, wherein the color combining prisms are arranged and joined.
なる第1及び第2の透明基板の2種類を用い、y方向の
長さがwの第1の透明平板とy方向の長さがwより短い
第2の透明平板とを作成し、 第3の工程において、(y,z)平面と平行な両端面が
夫々同一平面となるよう前記第1の透明平板と第2の透
明平板を交互に積層し、前記積層面の接着により(x,
z)面と平行な端面に段差が形成された第1の結合体を
作成することを特徴とする請求項1又は2記載の色合成
プリズムの製造方法。8. In a first step, two types of first and second transparent substrates having different lengths in the y direction are used, and a first transparent flat plate having a length w in the y direction and a length in the y direction are used. A second transparent flat plate having a length shorter than w is formed. In the third step, the first transparent flat plate and the second transparent flat plate are so arranged that both end faces parallel to the (y, z) plane are respectively coplanar. The flat plates are alternately laminated, and (x,
3. The method for manufacturing a color combining prism according to claim 1, wherein a first combination having a step formed on an end surface parallel to the z) plane is formed.
し、その平板面を(x,y)平面とするとき、対向する
2つの(x,y)平面を平行且つ所定厚みtとなるよう
前記透明基板を研磨し、複数の透明平板を得る第1の工
程と、 前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面に、
第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を形成
する第2の工程と、 前記第2の工程で得られた光学多層膜付きの透明平板を
複数枚用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれるように
z方向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直方体状
の第1の結合体を作成する第3の工程と、 前記第3の工程の接合面と直角な切断面で、前記第1の
結合体を複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向
の厚みtの第2の結合体を作成する第4の工程と、 前記第2の結合体の一方の研磨面(y,z)に、第2の
分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を形成し、第
3の結合体を作成する第5の工程と、 前記第2の光学多層膜が挟まれるように複数枚の前記第
3の結合体をx方向に積層し、かつ前記第1の光学多層
膜が同一平面(x,y)を形成するよう前記第3の結合
体の端面を揃え、透明接着剤を用いて接合して直方体状
の第4の結合体を作成する第6の工程と、 前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線
を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して45°
となるよう、y方向に沿った切断面で前記第4の結合体
を切断し、前記切断面を研削及び研磨し、端面形状が台
形となる多角柱状の第5の結合体を作成する第7の工程
と、 前記第7の工程の切断面と直交するy方向に沿った切断
面で前記第5の結合体を切断し、(x,z)端面におい
て前記第1及び第2の光学多層膜が直交対角線となり、
その端面形状が正方形となる4角柱状の第6の結合体を
作成する第8の工程と、 前記第6の結合体のy方向に沿った各切断面のうち未研
磨面を研磨することにより色合成プリズムを得る第9の
工程と、を有することを特徴とする色合成プリズムの製
造方法。9. When the thickness direction of a transparent substrate having a refractive index n is z and its plane is an (x, y) plane, two opposing (x, y) planes are parallel and have a predetermined thickness t. A first step of polishing the transparent substrate to obtain a plurality of transparent flat plates, on one of the polished surfaces of the transparent flat plates obtained in the first step,
A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic, and the first step using a plurality of transparent flat plates with the optical multilayer film obtained in the second step. A third step in which the optical multilayer films are laminated in the z direction so as to be sandwiched therebetween and joined using a transparent adhesive to form a first rectangular parallelepiped combined body; and a right angle to the joint surface in the third step A fourth step of cutting the first bonded body into a plurality of pieces at a suitable cut surface and polishing the cut surface to form a second bonded body having a thickness t in the x direction; A fifth step of forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces (y, z) of the body to form a third combined body; A plurality of the third combined bodies are stacked in the x direction so that the optical multilayer film is interposed therebetween, and the first optical multilayer film forms the same plane (x, y). A sixth step of aligning the end faces of the third combined body to form a fourth combined body having a rectangular parallelepiped shape by using a transparent adhesive, and forming the fourth combined body with the first optical multilayer film and the second combined body. Passing through the line of intersection with the first optical multilayer film and 45 ° with respect to the first and second optical multilayer films.
The fourth joint body is cut along a cutting surface along the y direction, and the cut surface is ground and polished to form a polygonal prism-shaped fifth joint body having a trapezoidal end surface. Cutting the fifth combined body at a cutting plane along the y direction orthogonal to the cutting plane of the seventh step, and cutting the first and second optical multilayer films at (x, z) end faces. Becomes an orthogonal diagonal,
An eighth step of forming a quadrangular prism-shaped sixth combined body whose end face shape is a square, and polishing an unpolished surface among the cut surfaces of the sixth combined body along the y direction. 9. A method of manufacturing a color combining prism, comprising: a ninth step of obtaining a color combining prism.
し、その平板面を(x,y)平面とするとき、対向する
2つの(x,y)平面を平行且つ所定厚みtとなるよう
前記透明基板を研磨し、複数の透明平板を得る第1の工
程と、 前記第1の工程で得られた透明平板の一方の研磨面に、
第1の分光透過率特性を有する第1の光学多層膜を形成
する第2の工程と、 前記第2の工程で得られた光学多層膜付きの透明平板を
複数枚用いて、前記第1の光学多層膜が挟まれるように
z方向に積層し、透明接着剤を用いて接合して直方体状
の第1の結合体を作成する第3の工程と、 前記第3の工程の接合面と直角な切断面で、前記第1の
結合体を複数個に切断し、その切断面を研磨してx方向
の厚みtの第2の結合体を作成する第4の工程と、 前記第2の結合体の一方の研磨面(y,z)に、第2の
分光透過率特性を有する第2の光学多層膜を形成し、第
3の結合体を作成する第5の工程と、 前記第2の光学多層膜が挟まれるように複数枚の前記第
3の結合体をx方向に積層し、かつ前記第1の光学多層
膜が同一平面(x,y)を形成するよう前記第3の結合
体の端面を揃え、透明接着剤を用いて接合して直方体状
の第4の結合体を作成する第6の工程と、 前記第1の光学多層膜と前記第2の光学多層膜との交線
の近傍を通り、前記第1及び第2の光学多層膜に対して
45°となるよう、y方向に沿った切断面で前記第4の
結合体を切断し、前記切断面を研削及び研磨し、端面形
状が台形となる多角柱状の第5の結合体を作成する第7
の工程と、 前記第7の工程の切断面と直交するy方向に沿った切断
面で前記第5の結合体を切断し、その端面形状が正方形
又は長方形となる4角柱状の第6の結合体を作成する第
8の工程と、 前記第6の結合体のy方向に沿った各切断面のうち未研
磨面を研磨することにより色合成プリズムを得る第9の
工程と、を有することを特徴とする色合成プリズムの製
造方法。10. When the thickness direction of a transparent substrate having a refractive index n is z and its flat surface is an (x, y) plane, two opposing (x, y) planes are parallel and have a predetermined thickness t. A first step of polishing the transparent substrate to obtain a plurality of transparent flat plates, on one of the polished surfaces of the transparent flat plates obtained in the first step,
A second step of forming a first optical multilayer film having a first spectral transmittance characteristic, and the first step using a plurality of transparent flat plates with the optical multilayer film obtained in the second step. A third step in which the optical multilayer films are stacked in the z direction so as to be sandwiched therebetween and joined using a transparent adhesive to form a first rectangular parallelepiped combined body; and a right angle to the joint surface in the third step A fourth step of cutting the first bonded body into a plurality of pieces at a suitable cut surface and polishing the cut surface to form a second bonded body having a thickness t in the x direction; A fifth step of forming a second optical multilayer film having a second spectral transmittance characteristic on one of the polished surfaces (y, z) of the body to form a third combined body; A plurality of the third combined bodies are stacked in the x direction so that the optical multilayer film is interposed therebetween, and the first optical multilayer film forms the same plane (x, y). A sixth step of aligning the end faces of the third combined body to form a fourth combined body having a rectangular parallelepiped shape by using a transparent adhesive, and forming the first optical multilayer film and the second combined body. Passing the vicinity of the line of intersection with the optical multilayer film of the above, cutting the fourth combined body at a cutting plane along the y direction so as to be at 45 ° to the first and second optical multilayer films, Grinding and polishing the cut surface to form a polygonal prism-shaped fifth combined body having a trapezoidal end surface shape.
And cutting the fifth joint body along a cutting plane along the y-direction orthogonal to the cutting plane in the seventh step, and forming a sixth connection in the form of a quadrangular prism whose end surface shape is square or rectangular. An eighth step of forming a body, and a ninth step of obtaining a color combining prism by polishing an unpolished surface among the cut surfaces along the y direction of the sixth combined body. A method of manufacturing a color synthesis prism, which is a feature.
結合体を、y方向に所定長さ単位に切断することを特徴
とする請求項9又は10記載の色合成プリズムの製造方
法。11. The method according to claim 9, wherein the sixth combined body formed in the ninth step is cut into predetermined length units in the y direction. .
明平板のz方向の厚みの公差は、前記第1又は第2の光
学多層膜の膜厚の100倍以下であることを特徴とする
請求項9又は10記載の色合成プリズムの製造方法。12. The method according to claim 1, wherein a tolerance of a thickness in a z direction of each transparent flat plate manufactured in the first step is 100 times or less of a thickness of the first or second optical multilayer film. The method for manufacturing a color combining prism according to claim 9 or 10.
2の結合体のx方向の厚みの公差は、前記第1又は第2
の光学多層膜の膜厚の100倍以下であることを特徴と
する請求項9又は10記載の色合成プリズムの製造方
法。13. The tolerance of the thickness in the x direction of each of the second combined bodies manufactured in the fourth step is the first or the second.
11. The method according to claim 9, wherein the thickness of the optical multilayer film is 100 times or less.
結合体の(x,y)平面に平行な一方の端面が、同一平
面となるよう前記第3の結合体が接着されることを特徴
とする請求項9又は10記載の色合成プリズムの製造方
法。14. The method according to claim 6, wherein in the sixth step, the third joint is bonded so that one end face of the third joint parallel to the (x, y) plane is flush with the other end. The method of manufacturing a color combining prism according to claim 9, wherein:
2の結合体に対して、配列順序と方向を示す識別符号を
付け、前記第6の工程において前記識別符号を用いて前
記第2の結合体の切断順序と同一になるよう前記第3の
結合体を配列させ、接合することを特徴とする請求項9
又は10記載の色合成プリズムの製造方法。15. An identification code indicating an arrangement order and a direction is attached to the plurality of second combined bodies manufactured in the fourth step, and the sixth code is used by using the identification code in the sixth step. 10. The method according to claim 9, wherein the third conjugate is arranged and joined so that the cutting order of the second conjugate is the same.
Or a method for producing a color combining prism according to item 10.
異なる第1及び第2の透明基板の2種類を用い、y方向
の長さが長い第1の透明平板とy方向の長さが短い第2
の透明平板を作成し、 第3の工程において、(y,z)の両端面が同一平面と
なるよう前記第1の透明平板と第2の透明平板を交互に
積層し、前記積層面の接着により(x,z)面に段差が
形成された第1の結合体を作成することを特徴とする請
求項9又は10記載の色合成プリズムの製造方法。16. In a first step, a first transparent flat plate having a long length in the y direction and a first transparent plate having a long length in the y direction are used, using two types of first and second transparent substrates having different lengths in the y direction. Is short second
In the third step, the first transparent flat plate and the second transparent flat plate are alternately laminated so that both end faces of (y, z) are flush with each other, and the bonding of the laminated surfaces is performed. The method according to claim 9 or 10, wherein a first combined body having a step formed on the (x, z) plane is formed by the method.
の製造方法により作成されたことを特徴とする色合成プ
リズム。17. A color synthesizing prism produced by the manufacturing method according to claim 1. Description:
る光源と、 前記光源から放射された光を赤、緑、青の3つの原色光
に分解する色分解手段と、 前記色分解手段から出射する各原色光を夫々入射して、
入力映像信号に応じて3原色の光学像を形成するR,
G,Bライトバルブと、 前記R,G,Bライトバルブからの出射光を、1つの光
軸を有する映像光に合成する色合成手段と、 前記色合成手段からの出射光を入射し、前記映像光をス
クリ−ン上に投写する投写レンズと、を具備し、 前記色合成手段は、請求項1〜請求項16のいずれかの
製造方法により作成された色合成プリズムであることを
特徴とする投写型表示装置。18. A light source that emits light including three primary colors of red, green, and blue; a color separation unit that separates light emitted from the light source into three primary colors of red, green, and blue; Each primary color light emitted from the decomposition means is incident on each,
R, which forms an optical image of three primary colors according to an input video signal,
G, B light valves; color combining means for combining light emitted from the R, G, B light valves with image light having one optical axis; A projection lens for projecting image light onto a screen, wherein the color synthesizing means is a color synthesizing prism created by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 16. Projection display device.
載の投写型表示装置。19. The projection display device according to claim 18, wherein said R, G, and B light valves are transmissive liquid crystal panels.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9248366A JPH1184112A (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Color synthesis prism and its production as well as projection type display device |
Applications Claiming Priority (1)
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JP9248366A JPH1184112A (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Color synthesis prism and its production as well as projection type display device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1184112A true JPH1184112A (en) | 1999-03-26 |
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ID=17177039
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP9248366A Pending JPH1184112A (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Color synthesis prism and its production as well as projection type display device |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH1184112A (en) |
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