JPH1184015A - X線回折装置における測定プロファイルのピーク位置表示方法 - Google Patents
X線回折装置における測定プロファイルのピーク位置表示方法Info
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Abstract
プロファイルに対し、測定終了を待たずリアルタイムに
そのピーク位置をディスプレイ上に表示できるようにす
る。 【解決手段】 測定プロファイルの表示処理と並行し
て、既にディスプレイに表示された測定プロファイルの
測定データを読み出し、該測定データをピーク位置の算
出プログラムに転送し、所要のピーク位置を算出してデ
ィスプレイに表示する。
Description
得られた回折X線の測定データをコンピュータにより処
理して、その回折X線の測定プロファイルをディスプレ
イに表示するX線回折装置において、その測定プロファ
イルに対するピーク位置を表示するための方法に関す
る。
がら試料にX線を照射するとともに、2θの回折角度で
試料から反射してくる回折X線の強度を測定データとし
て収集する。この収集された測定データは逐次コンピュ
ータ処理されて、回折角度2θに対する回折X線強度I
の測定プロファイルが、ディスプレイ上に表示される。
ータにコンピュータによる演算処理を加えて、測定プロ
ファイルのピーク位置を求めるとともに、そのピーク位
置をディスプレイ上に表示できる機能も備えている。従
来、回折X線の測定プロファイルに対するピーク位置の
表示は、X線回折測定による全ての測定データを収集し
てから(すなわち、ディスプレイ上に全測定範囲にわた
り測定プロファイルの表示が終了してから)、その後工
程として実行するようにプログラムされていた。
折測定と並行して、収集した回折X線の測定プロファイ
ルはディスプレイに表示されるのであるから、ユーザと
しては、ディスプレイ上に逐次表示される測定プロファ
イルを観察し、目的とするピークプロファイルが現れた
時点で、そのピークプロファイルに対するピーク位置を
リアルタイムに知ることができれば、測定データを迅速
に分析できるため都合がよい。
も、既に表示された測定プロファイルに対するピーク位
置によって、必要とする分析結果が得られれば、その時
点で測定を切上げて測定時間の短縮を図ることもでき
る。
なされたもので、X線回折測定により得られた回折X線
の測定プロファイルに対し、測定終了を待たずリアルタ
イムにそのピーク位置をディスプレイ上に表示できるよ
うにすることを目的とする。
に、この発明は、X線回折測定で得られた回折X線の測
定データをコンピュータにより処理して、その回折X線
の測定プロファイルをディスプレイに表示するX線回折
装置において、測定プロファイルの表示処理と並行し
て、既にディスプレイに表示された測定プロファイルに
対して、そのピーク位置をコンピュータで算出し、該ピ
ーク位置をディスプレイに表示する方法としてある。
並行して、ピーク位置の算出乃至ディスプレイへの表示
を可能とすることで、測定終了を待たずリアルタイムに
そのピーク位置を分析できるようになり、迅速な測定デ
ータの分析を実現することができる。さらに、X線回折
測定が係属中であっても、既に表示された測定プロファ
イルに対するピーク位置によって、必要とする分析結果
が得られれば、その時点で測定を切上げてもよく、測定
時間の短縮を図ることができる。
定プロファイルのうち、ユーザにより指定された角度範
囲に存在するピーク位置をコンピュータで算出し、その
ピーク位置をディスプレイに表示する方法としてもよ
い。すなわち、ユーザがディスプレイに表示された測定
プロファイルを観察しながら、マニュアル操作によっ
て、ピークプロファイルの現れた角度範囲を指定するよ
うにすれば、その指定された範囲のみの測定データに対
してピーク位置の算出処理を実行すればよくなるので、
処理時間が迅速化する。
に比べ、ユーザの視覚的な判断により、ピークプロファ
イルの現れた角度範囲を厳密に指定することで、高精度
なピーク位置の算出が可能となる。
と並行して、X線回折測定で得られた回折X線の測定デ
ータを逐次演算処理することにより、ディスプレイに表
示された測定プロファイルに対し、そのピーク位置をコ
ンピュータで算出し、該ピーク位置を逐次ディスプレイ
に自動的に表示していく方法とすることもできる。すな
わち、この方法は、ディスプレイに表示された測定プロ
ファイルに対し、ピーク位置の自動演算処理をリアルタ
イムに実行させるものである。このように、ピーク位置
の自動演算処理をしてディスプレイ上にリアルタイムに
表示することで、ユーザによる操作の負担を軽減するこ
とができる。
いて図面を参照して詳細に説明する。図1は、この発明
の実施形態に係る測定プロファイルのピーク位置表示方
法が適用されるX線回折装置の概要を示すブロック構成
図である。
回折装置本体10およびコンピュータ20を備えてい
る。X線回折装置本体10は、装着したサンプルにX線
を照射して、同サンプルの表面から回折してくる回折X
線をX線検出器により検出するとともに、回折X線の回
折角度を測角する機能を備えている。このX線回折装置
本体10により、所要のサンプルに対する測定データと
して、回折角度2θに対する回折X線の強度Iを収集す
ることができる。
CPUという)21、RAM,ROMからなるメモリ2
2、ハードディスク等の記憶装置23、キーボード,マ
ウス等の入力装置24、CRTディスプレイ等の表示装
置25を備えており、X線回折装置本体10を制御して
のX線回折測定を実行するとともに、同測定により収集
した回折X線の測定データの分析処理を実行する。
測定プロファイル表示データ領域22b、計算データ領
域22cがそれぞれ設けてある。X線回折測定に伴い、
X線回折装置本体10から送られてくる回折X線の測定
データは、メモリ22の測定データ領域22aに取り込
まれる。
り込まれた測定データを逐次読み出し、測定プロファイ
ルの表示プログラムに転送して、測定プロファイル表示
データを作成する。このようにして作成された測定プロ
ファイル表示データは、メモリ22の測定プロファイル
表示データ領域22bに書き込まれるとともに、表示装
置(ディスプレイ)25の画面上に逐次表示されてい
く。
ファイルの表示例を示している。回折X線の測定プロフ
ァイルPは、回折X線の強度Iを縦軸に、回折角2θを
横軸にとり、X線回折測定と並行してリアルタイムに画
面25a上に表示されていく。例えば、図2の表示例で
は、2θ=50°付近まで測定プロファイルが表示され
ているが、その後、X線回折装置本体10からの測定デ
ータが、メモリ22へ書き込まれる毎に、逐次測定プロ
ファイル表示データは更新され、画面25a上の表示範
囲も延長されていく。
応じて、ピーク位置の算出プログラムを起動し、上記測
定プロファイル表示データの作成と並行して、測定プロ
ファイルのピーク位置の算出を実行する。すなわち、C
PU21は、メモリ22の測定データ領域22aに取り
込まれた測定データの全て、またはユーザにより指定さ
れた角度範囲のデータを読み出して、ピーク位置の算出
プログラムに転送する。
の範囲指定例を示している。例えば、画面25aに表示
された測定プロファイルPに、回折X線強度Iの急増す
るピークプロファイルAが現れたとき、このピークプロ
ファイルAの現れた領域を、回折角度2θをもって範囲
指定する。例えば、図3においては、ピークプロファイ
ルAの立上りを、低角側の回折角度2θ1と高角側の回
折角度2θ2とで指定している。
てきた測定データに基づき、所定の演算処理を実行し、
測定プロファイルのピーク位置を算出する。このように
して算出されたピーク位置は、メモリ22の計算データ
領域22cに書き込まれるとともに、表示装置(ディス
プレイ)25の画面25a上に表示される。
表示例を示している。ピークプロファイルAのピーク位
置2θ0は、例えば、図4に示すような直線aで表示す
ることができる。また、回折角2θを示す横軸におけ
る、ピーク位置2θ0の点に、その具体的角度を数値を
もって表示してもよい。なお、測定プロファイルの表示
プログラムおよびピーク位置の算出プログラムは、あら
かじめ記憶装置23に格納してあり、CPU21からの
同プログラムの実行指令に基づき、メモリ22に書き込
まれる。
ルのピーク位置表示方法を、図5〜図8のフローチャー
トを参照して更に具体的に説明する。CPU21は、X
線回折測定に伴いX線回折装置本体10から送られてく
る回折X線の測定データを、メモリ22の測定データ領
域22aに取り込む(S1)。
2aに取り込んだ測定データを逐次読み出し、測定プロ
ファイルの表示プログラムに転送して、測定プロファイ
ル表示データを作成するとともに、作成した測定プロフ
ァイル表示データに基づき、表示装置25の画面25a
上に測定プロファイルを逐次表示していく(S2)。
入力装置24からユーザによるピークプロファイルの範
囲指定が入力されたときは(S3)、この指定範囲をい
ったんメモリ22に仮保存し、続くユーザによるピーク
位置表示の指示を待って(S4)、ピーク位置の算出プ
ログラムを起動する。
プロファイルの低角位置2θ1(図3参照)をメモリ2
2から読み出し(S6)、この低角位置2θ1がX線回
折測定済みの領域にあるか否か確認する(S7)。ユー
ザの操作ミス等により、未だX線回折測定されていない
領域が範囲指定されていた場合、ピーク位置の算出に必
要な測定データがメモリ22に存在しないため、同範囲
に対するピーク位置を算出することができない。
されていない領域に低角位置2θ1が指定されていた場
合に、X線回折測定済みの領域における最も低い角度
を、指定された低角位置2θ1として自動設定するよう
にしてある(S8)。一方、ユーザによって指定された
低角位置2θ1が、X線回折測定済みの領域にある場合
は、その低角位置2θ1をそのまま使用する。
ロファイルの高角位置2θ2(図3参照)をメモリ22
から読み出し(S9)、この低角位置2θ2がX線回折
測定済みの領域にあるか否か確認する(S10)。そし
て、X線回折測定されていない領域に高角位置2θ2が
指定されていた場合は、X線回折測定済みの領域におけ
る最も高い角度を、指定された高角位置2θ2として自
動設定する(S11)。一方、ユーザによって指定された
低角位置2θ2が、X線回折測定済みの領域にある場合
は、その高角位置2θ2をそのまま使用する。
測定データをメモリ22の測定データ領域22aから読
み出し、ピーク位置の算出プログラムに転送する(S1
2)。ピーク位置の算出プログラムは、転送されてきた
測定データに基づき、所定の演算処理を実行し、測定プ
ロファイルのピーク位置を算出する(S13)。
半価幅法、2/3価幅法、放物線近似法(ピークトップ
法ともいう)、重心法が知られている。半価幅法では、
図9に示すように、ピークプロファイルのバックグラウ
ンドに接線Lを引き、これに平行で最大強度の1/2の
点を通る直線の中点Oに対応する2θ値をもってピーク
位置を算出する。2/3価幅法では、半価幅法における
上記接線Lに平行で最大強度の2/3の点を通る直線の
中点に対応する2θ値をもってピーク位置を算出する。
ルの頂点近傍で数点を選び、これらの点を通る放物線を
最小二乗法によって求め、その頂点をピーク位置とす
る。さらに、重心法では、ピークプロファイルの重心位
置を求め、これに対応する2θ値をもってピーク位置を
求める。
プロファイルのピーク位置を算出し、それら算出した各
ピーク位置をメモリ22の計算データ領域22cに書き
込んでおく。そして、ユーザの選択に応じ、いずれか方
法で算出したピーク位置を表示装置(ディスプレイ)2
5の画面25a上に表示する(S14)。なお、ピーク
位置の算出方法をあらかじめユーザが選択するようにし
て、演算処理を簡略化してもよい。
よりピークプロファイルの範囲が指定されなかったとき
は(S3,S5)、既に表示装置25の画面25aに表
示されている全範囲の測定プロファイルPに対応した測
定データを、メモリ22の測定データ領域22aから読
み出し、ピーク位置の算出プログラムに転送する(S1
5)。このとき、ピーク位置の算出プログラムは、転送
されてきた測定データの二次微分をとり、その極小値を
ピーク位置として算出する(S16)。そして、算出し
た各ピーク位置を表示装置(ディスプレイ)25の画面
25a上に表示する(S17)。
ば、X線回折測定により得られた回折X線の測定プロフ
ァイルに対し、測定終了を待たずリアルタイムにそのピ
ーク位置をディスプレイ上に表示できる。
ピーク位置表示方法が適用されるX線回折装置の概要を
示すブロック構成図である。
示例を示す図である。
を示す図である。
図である。
を具体的に説明するためのフローチャートである。
る。
る。
る。
るための図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 X線回折測定で得られた回折X線の測定
データをコンピュータにより処理して、その回折X線の
測定プロファイルをディスプレイに表示するX線回折装
置において、 前記測定プロファイルの表示処理と並行して、 既にディスプレイに表示された測定プロファイルに対
し、そのピーク位置をコンピュータで算出し、該ピーク
位置を前記ディスプレイに表示することを特徴とする測
定プロファイルのピーク位置表示方法。 - 【請求項2】 請求項1記載のX線回折装置における測
定プロファイルのピーク位置表示方法において、 前記ディスプレイに表示された測定プロファイルのう
ち、ユーザにより指定された角度範囲に存在するピーク
位置をコンピュータで算出し、そのピーク位置を前記デ
ィスプレイに表示することを特徴とする測定プロファイ
ルのピーク位置表示方法。 - 【請求項3】 請求項1記載のX線回折装置における測
定プロファイルのピーク位置表示方法において、 前記測定プロファイルの表示処理と並行して、 X線回折測定で得られた回折X線の測定データを逐次演
算処理することにより、前記ディスプレイに表示された
測定プロファイルに対し、そのピーク位置をコンピュー
タで算出し、該ピーク位置を逐次ディスプレイに表示し
ていくことを特徴とする測定プロファイルのピーク位置
表示方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23597897A JP4039715B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | X線回折装置における測定プロファイルのピーク位置表示方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP (1) | JP4039715B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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US7456626B2 (en) | 2002-10-10 | 2008-11-25 | Yokogawa Electric Corporation | Measurement device and method for displaying measurement result |
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JP2021110691A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社リガク | X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム |
-
1997
- 1997-09-01 JP JP23597897A patent/JP4039715B2/ja not_active Expired - Fee Related
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DE102012217419B4 (de) * | 2011-09-26 | 2016-04-28 | Rigaku Corp. | Analyseverfahren für Röntgenstrahlbeugungsmessdaten |
JP2021110691A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社リガク | X線分析装置、x線分析方法、及びx線分析プログラム |
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