JPH1184014A - Two-dimensional array type radiation detector - Google Patents

Two-dimensional array type radiation detector

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JPH1184014A
JPH1184014A JP24011997A JP24011997A JPH1184014A JP H1184014 A JPH1184014 A JP H1184014A JP 24011997 A JP24011997 A JP 24011997A JP 24011997 A JP24011997 A JP 24011997A JP H1184014 A JPH1184014 A JP H1184014A
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JP
Japan
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dimensional array
radiation
radiation detector
dimensional
photodiode
Prior art date
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Pending
Application number
JP24011997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Tonami
寛道 戸波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Publication of JPH1184014A publication Critical patent/JPH1184014A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a two-dimensional array type radiation detector wherein precision of radiation shield is improved without decreasing radiation dose penetrating a subject, error of the radiation aperture area is eliminated, and artifact is not generated. SOLUTION: On a glass substrate 7, a photodiode 4 is formed on which a scintillater 1 is optically bonded. A two-dimensional scintillater 1 is subjected to dicing cut conformably to the picture element pitch of the photodiode 4. The dicing cut is performed in such a manner that the photodiode 4 layer is not damaged. The width of a trench 2 is determined by the size of a dead band of a two-dimensional photo detection element. Wires 3 are stretched along the trenches 2, to the two-dimensional scintillater array constituted in the above manner.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線テレビジョン
システムやX線CT装置等に使用される2次元アレイ型
放射線検出器に関する。
The present invention relates to a two-dimensional array type radiation detector used for an X-ray television system, an X-ray CT apparatus and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、X線テレビジョンシステムで
は、X線管からX線を放射し、被写体を透過したX線
は、イメージ管の前面にあるグリッドを通り、散乱線が
除去された後、イメージ管の投影面に可視影像を形成す
る。テレビカメラは光学系を介してこの影像を撮影し、
ビデオ信号を生成するようにしている。
2. Description of the Related Art For example, in an X-ray television system, X-rays are radiated from an X-ray tube, and X-rays transmitted through a subject pass through a grid in front of an image tube, and after scattered radiation is removed, A visible image is formed on the projection surface of the image tube. The TV camera shoots this image via an optical system,
A video signal is generated.

【0003】また、X線CT装置では、一度に多くのス
ライスデータを得るために、X線検出素子をチャンネル
方向だけでなくそれに直交するスライス方向にも配列し
た2次元アレイ型放射線検出器が考えられており、コー
ンビームX線管と併用されて微小なスライスピッチのマ
ルチスライスデータを短時間のうちに収集するものと早
期実用化が期待されている。
Further, in the X-ray CT apparatus, in order to obtain a large amount of slice data at one time, a two-dimensional array type radiation detector in which X-ray detection elements are arranged not only in a channel direction but also in a slice direction orthogonal thereto is considered. It is expected to be used in combination with a cone beam X-ray tube to collect multi-slice data with a minute slice pitch in a short time, and to be quickly put into practical use.

【0004】この検出器は従来、図5のように構成され
ている。枠組み31の外枠32内には、チャンネル方向
及びそれに直交するスライス方向それぞれに所定のピッ
チで複数の枠34がX線及び光を透過しないWやMo等
の仕切り板33で仕切られており、コリメータ部分を形
成している。
This detector is conventionally configured as shown in FIG. In the outer frame 32 of the frame 31, a plurality of frames 34 are separated by a partition plate 33 such as W or Mo which does not transmit X-rays and light at a predetermined pitch in a channel direction and a slice direction orthogonal thereto, respectively. A collimator portion is formed.

【0005】全ての枠34は、少なくともX線検出素子
が挿入可能なサイズに設定される。複数の枠34はチャ
ンネル方向に、チャンネル方向のX線検出素子と同じ数
だけ、X線検出素子のチャンネル方向のピッチと同じピ
ッチで設けられる。
[0005] All the frames 34 are set to a size at which an X-ray detecting element can be inserted at least. The plurality of frames 34 are provided in the channel direction in the same number as the X-ray detecting elements in the channel direction at the same pitch as the pitch of the X-ray detecting elements in the channel direction.

【0006】また、複数の枠34はスライス方向に、ス
ライス方向のX線検出素子の数と同じ数だけ、X線検出
素子のスライス方向のピッチと同じピッチで設けられ
る。
The plurality of frames 34 are provided in the slice direction by the same number as the number of X-ray detection elements in the slice direction and at the same pitch as the pitch in the slice direction of the X-ray detection elements.

【0007】このような、枠34を形成するには、図6
(a)、(b)に示すように、チャンネル方向のX線検
出素子のピッチに対応したスリット35が設けられた仕
切り板33と、スライス方向のX線検出素子のピッチに
対応したスリット35が設けられた仕切り板33とを互
いにスリット35で嵌合して井げた状に組み合わせてい
る。
To form such a frame 34, FIG.
As shown in (a) and (b), a partition plate 33 provided with a slit 35 corresponding to the pitch of the X-ray detecting elements in the channel direction and a slit 35 corresponding to the pitch of the X-ray detecting elements in the slice direction. The provided partition plate 33 is fitted to each other by slits 35 and combined in a well-shaped manner.

【0008】この枠34の中にシンチレータブロックや
フォトダイオードからなるX線検出素子が嵌め込まれて
2次元アレイ型放射線検出器が構成される。
An X-ray detecting element comprising a scintillator block and a photodiode is fitted into the frame 34 to form a two-dimensional array type radiation detector.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、X線テレビ
ジョンシステムでは、グリッドをイメージ管の前面に配
置する必要があるため、被写体を透過したX線量を低減
してしまうので、画質の良い画像が得られないという問
題等があった。
Incidentally, in the X-ray television system, since it is necessary to arrange the grid in front of the image tube, the amount of X-ray transmitted through the subject is reduced, so that an image with good image quality can be obtained. There was a problem that it could not be obtained.

【0010】また、コーンビームCT装置ではX線遮蔽
のための仕切り板33は細長いものであるとともに、井
げた状に組み合わせるためにスリット35が設けられて
いるので、仕切り板33の長手方向のたわみに対する強
度が弱く、特に、仕切り板を製作したときに反りや歪み
が発生し、放射線検出器として組み立てると枠34の面
積すなわちX線開口面積に誤差やばらつきが生じ、画像
を構成したときにアーティファクトが発生するという問
題があった。
Further, in the cone beam CT apparatus, the partition plate 33 for shielding X-rays is elongated, and the slit 35 is provided for combining in a well-shaped manner. The strength is weak, especially warpage and distortion occur when the partition plate is manufactured, and when assembled as a radiation detector, errors and variations occur in the area of the frame 34, that is, the X-ray opening area, and artifacts occur when an image is formed. There was a problem that occurred.

【0011】本発明は、上記課題を解決するために創案
されたもので、被写体を透過した放射線量を低減させず
に、放射線遮蔽を精度の良いものにし、放射線開口面積
の誤差をなくし、アーティファクトが発生しないような
2次元アレイ型放射線検出器を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and has an object to reduce radiation dose transmitted through a subject, reduce radiation dose, reduce errors in radiation aperture area, and reduce radiation aperture. The present invention provides a two-dimensional array type radiation detector in which no radiation is generated.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の2次元アレイ型放射線検出器は、複数の放
射線検出素子が、所定の間隔で2次元状に配置された2
次元アレイ型放射線検出器において、隣接する放射線検
出素子間に放射線及び光を透過させないワイヤ線を挿入
したことを特徴としている。
In order to achieve the above object, a two-dimensional array type radiation detector according to the present invention comprises a plurality of radiation detection elements arranged two-dimensionally at predetermined intervals.
In a two-dimensional array type radiation detector, a wire that does not transmit radiation and light is inserted between adjacent radiation detection elements.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の一実施例を、以下、図面
に基づいて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明による2次元アレイ型放射線
検出器の構成を、図2は図1におけるA−A´断面を示
す。
FIG. 1 shows the configuration of a two-dimensional array radiation detector according to the present invention, and FIG. 2 shows a cross section taken along line AA 'in FIG.

【0015】1は2次元状に形成されたシンチレータ、
2はシンチレータ1の縦横に形成された溝、3は溝2に
張られたワイヤ線、4は光検出素子としてa−Si等を
用いたフォトダイオード、5はフォトダイオード4から
の電気信号を順次読み取るための水平走査回路、6もフ
ォトダイオード4からの電気信号を順次読み取るための
垂直読取回路、7はガラス基板である。
1 is a scintillator formed two-dimensionally,
Reference numeral 2 denotes grooves formed in the vertical and horizontal directions of the scintillator 1, reference numeral 3 denotes a wire wire stretched in the groove 2, reference numeral 4 denotes a photodiode using a-Si or the like as a light detecting element, and reference numeral 5 denotes an electric signal from the photodiode 4 sequentially. A horizontal scanning circuit for reading, a vertical reading circuit for sequentially reading electrical signals from the photodiode 4, and a glass substrate 7 are also provided.

【0016】ガラス基板7の上にはフォトダイオード4
が形成されており、その上にはシンチレータ1が光学接
着されている。
On the glass substrate 7, a photodiode 4 is provided.
Is formed, and the scintillator 1 is optically bonded thereon.

【0017】2次元シンチレータ1には、放射線の吸収
能が高く、強固でダイシングカットが可能なCdWO4
単結晶、Gd2 2 Sセラミックシンチレータ等が使用
され、フォトダイオード4の画素ピッチに合わせて、ダ
イシングカットされる。
The two-dimensional scintillator 1 has CdWO 4 which has a high radiation absorbing ability, is strong and can be cut by dicing.
A single crystal, Gd 2 O 2 S ceramic scintillator or the like is used, and dicing is cut in accordance with the pixel pitch of the photodiode 4.

【0018】ダイシングカットはフォトダイオード4の
層を傷つけないように行われ、溝2の幅は、2次元光検
出素子の不感帯のサイズによって決定される。
The dicing cut is performed so as not to damage the layer of the photodiode 4, and the width of the groove 2 is determined by the size of the dead zone of the two-dimensional photodetector.

【0019】このように構成された2次元シンチレータ
アレイに対し、溝2に沿って、WやMoからなるワイヤ
3を張って図3のように張っていく。
A wire 3 made of W or Mo is stretched along the groove 2 with respect to the two-dimensional scintillator array thus configured as shown in FIG.

【0020】図3に示すように、例えばワイヤ3をaか
ら溝に挿入していくと、a地点からこれに対向する位置
のb地点までワイヤ3をそのまま溝に渡しこみ、次にb
からcまでシンチレータ1の外側を巻くようにして、c
に至り、cからこの地点に対向するdまでワイヤ3を溝
に挿入する。
As shown in FIG. 3, for example, when the wire 3 is inserted into the groove from the point a, the wire 3 is passed from the point a to the point b opposite to the point a as it is,
So that the outside of the scintillator 1 is wound from c to c.
Then, the wire 3 is inserted into the groove from c to d facing this point.

【0021】このようにして、aからjまで溝にワイヤ
を各列方向に張り、適宜エポキシ等の接着剤により硬化
させた後、jからkまでワイヤをシンチレータ1の外側
を巻くようにして回し、今度は各行方向に沿って上記と
同様な方法で、kからtまで溝にワイヤを挿入し、接着
させていく。
In this manner, the wires are stretched in the grooves from a to j in the respective rows, and are appropriately cured with an adhesive such as epoxy, and then the wires are wound around j to k from j to k. Then, wires are inserted into the grooves from k to t along the respective row directions in the same manner as described above, and are bonded.

【0022】以上で各溝にワイヤが張られたわけである
が、再びaからtまで上記と同様な方法でワイヤを張っ
てゆき、シンチレータ1の高さになるまでこの操作を繰
り返す。
The wire has been stretched in each groove as described above. The wire is stretched again from a to t in the same manner as described above, and this operation is repeated until the height of the scintillator 1 is reached.

【0023】そして、ワイヤがシンチレータ1の高さま
で挿入されて完成した2次元アレイ型放射線検出器の溝
における断面は図2のようになっている。溝2に挿入さ
れたワイヤ3は縦横にクロスして交互に張られており、
このワイヤにより、散乱線の除去が行われる。
The cross section of the groove of the two-dimensional array type radiation detector completed by inserting the wire to the height of the scintillator 1 is as shown in FIG. The wires 3 inserted in the grooves 2 are stretched alternately crosswise and crosswise,
The scattered radiation is removed by this wire.

【0024】以上の実施例ではワイヤを張っていくよう
にしているが、ワイヤを溝の長さに切断して、これをシ
ンチレータの高さまで束ねて溝に挿入するようにしても
良い。
In the above embodiment, the wire is stretched. However, the wire may be cut to the length of the groove, and the wire may be bundled to the height of the scintillator and inserted into the groove.

【0025】図4は別製作例であり、放射線透過性の良
いセラミック等の基台8上にシンチレータを接着し、ダ
イシングカット後、図3と同様にワイヤを巻き、接着剤
で硬化させ、接着面9にフォトダイオード基板を光学接
着して、2次元アレイ型放射線検出器を構成する。
FIG. 4 shows another example of production, in which a scintillator is adhered on a base 8 made of ceramic or the like having good radiation permeability, and after dicing and cutting, a wire is wound in the same manner as in FIG. A photodiode substrate is optically bonded to the surface 9 to form a two-dimensional array radiation detector.

【0026】なお、図4において、基台8とシンチレー
タとの接着にワックスを用いた場合、ワイヤを巻き、接
着剤で硬化させた後、加熱して基台8を取り外すことが
でき、シンチレータの基台8を取り外した面にフォトダ
イオード基板を光学接着するようにしても良い。
In FIG. 4, when wax is used for bonding the base 8 and the scintillator, the base 8 can be removed by winding a wire, curing with an adhesive, and then heating the scintillator. A photodiode substrate may be optically bonded to the surface from which the base 8 has been removed.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の2次元ア
レイ型放射線検出器を用いれば、グリッドやイメージ管
を用いずにX線テレビジョンシステムを構成でき、被写
体を透過した放射線量を低減させることがないので、画
質の良い画像が得られるとともに、仕切り板を用いたコ
リメータを使用しないので、X線開口面積に誤差やばら
つきが生じることなく、画像を構成したときにアーティ
ファクトが発生するのを防止することができる。
As described above, if the two-dimensional array type radiation detector of the present invention is used, an X-ray television system can be configured without using a grid or an image tube, and the amount of radiation transmitted through a subject can be reduced. As a result, a good image quality can be obtained, and since no collimator using a partition plate is used, there is no error or variation in the X-ray aperture area, and artifacts are generated when an image is formed. Can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の2次元アレイ型放射線検出
器の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a two-dimensional array radiation detector according to one embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A´断面を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a cross section taken along line AA ′ of FIG. 1;

【図3】本発明の2次元アレイ型放射線検出器のワイヤ
を巻く方法を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a method of winding a wire of the two-dimensional array radiation detector of the present invention.

【図4】本発明の2次元アレイ型放射線検出器の他の製
造工程を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing another manufacturing process of the two-dimensional array radiation detector of the present invention.

【図5】従来の2次元アレイ型放射線検出器の構成を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a conventional two-dimensional array radiation detector.

【図6】図5の2次元アレイ型放射線検出器の仕切り板
の構成を示す図である。
6 is a diagram showing a configuration of a partition plate of the two-dimensional array radiation detector of FIG.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の放射線検出素子が、所定の間隔で
2次元状に配置された2次元アレイ型放射線検出器にお
いて、隣接する放射線検出素子間に放射線及び光を透過
させないワイヤ線が挿入されていることを特徴とする2
次元アレイ型放射線検出器。
In a two-dimensional array type radiation detector in which a plurality of radiation detection elements are arranged two-dimensionally at predetermined intervals, a wire line that does not transmit radiation and light is inserted between adjacent radiation detection elements. Characterized by 2
Dimensional array radiation detector.
JP24011997A 1997-09-05 1997-09-05 Two-dimensional array type radiation detector Pending JPH1184014A (en)

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JP24011997A JPH1184014A (en) 1997-09-05 1997-09-05 Two-dimensional array type radiation detector

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JPH1184014A true JPH1184014A (en) 1999-03-26

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001137234A (en) * 1999-10-02 2001-05-22 Koninkl Philips Electronics Nv Grid for absorbing x-ray
JP2002022836A (en) * 2000-07-11 2002-01-23 Shimadzu Corp Multi-slice radiation detector

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