JPH1183566A - Flowmeter - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a flowmeter by which a warning signal can be issued quickly by a method wherein a flow-rate detection part is provided, a pressure detection part is provided and the generation of an abnormality in a fluid is detected quickly. SOLUTION: A signal which corresponds to a preset reference flow-rate value Qref and a corrected actual flow-rate detection signal from an F/V converter 32 are input to a comparator 40, both are compared regarding their magnitude, and a first judgment signal is output. In addition, a pressure switch 35 compares an actual pressure vlue P obtained by detecting the pressure of cooling water with a preset reference pressure value Pref regarding their magnitude. When P<Pref a second judgment signal is output to the side of a circuit board. An OR circuit 41 as a warning-signal output part is provided on the circuit board. The first judgment signal is input to the terminal on one side of the OR circuit 41, and the second judgment signal is input to the terminal on the other side. Then, when either the first judgment signal or the second judgment signal is input, the OR circuit 41 immediately outputs a warning signal to a control means 59 which is installed at the outside.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は流量計に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、溶接ガンをプログラムに従って三
次元的に駆動させることにより、複数の箇所に対して抵
抗溶接を自動的に行う溶接機が知られている。この種の
自動抵抗溶接機では、通電によって溶接ガン（特にチッ
プの部分）の温度が高くなる。ゆえに、何らかの冷却シ
ステムによって溶接ガンを冷却する必要がある。図１３
にその一例を示す。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a welding machine for automatically performing resistance welding on a plurality of locations by driving a welding gun three-dimensionally according to a program. In this type of automatic resistance welding machine, the temperature of the welding gun (particularly, the tip portion) is increased by energization. Therefore, it is necessary to cool the welding gun by some cooling system. FIG.
An example is shown below.

【０００３】この冷却システム１００は、一次側配管１
０１、二次側配管１０２、それらをつなぐ流路１０３等
を備えている。流路１０３の途上には、冷却を必要とす
る機器である溶接ガン１０４が設けられている。溶接ガ
ン１０４は通電部分である一対のチップ１０５を備えて
いる。一方のチップ１０５は、シャンク１０６によって
固定側であるガン本体１０７側に取り付けられている。
他方のチップ１０５は、同じくシャンク１０６によって
可動側であるガンアーム１０８側に取り付けられてい
る。両チップ１０５は互いに対向する位置関係にある。
ガン本体１０７内には、冷却水を流通させるための図示
しない流路が形成されている。前記流路はシャンク１０
６の部分を迂回しているため、そこに取り付けられたチ
ップ１０５の底面には冷却水が直接接触するようになっ
ている。[0003] The cooling system 100 comprises a primary pipe 1
01, a secondary side pipe 102, a flow path 103 connecting them, and the like. A welding gun 104, which is a device requiring cooling, is provided in the middle of the flow path 103. The welding gun 104 is provided with a pair of tips 105 that are current-carrying parts. One tip 105 is attached to the fixed side of the gun body 107 by a shank 106.
The other tip 105 is attached to the movable side of the gun arm 108 by the shank 106. The two chips 105 are in a positional relationship facing each other.
A flow path (not shown) for flowing cooling water is formed in the gun body 107. The channel is a shank 10
6, the cooling water is in direct contact with the bottom surface of the chip 105 attached thereto.

【０００４】自動抵抗溶接機を構成する制御手段１０９
は、ガンアーム開閉駆動手段１１０を介してガンアーム
１０８を開閉制御するようになっている。また、前記制
御手段１０９は溶接ガン駆動手段１１１によって溶接ガ
ン１０４全体を三次元的に駆動するようになっている。Control means 109 constituting an automatic resistance welding machine
The opening / closing control of the gun arm 108 is performed via the gun arm opening / closing drive unit 110. The control means 109 drives the entire welding gun 104 three-dimensionally by the welding gun driving means 111.

【０００５】前記流路１０３において溶接ガン１０４の
下流側には、図１１に示すような流量計１２１が設けら
れている。この流量計１２１はいわゆるタービン式であ
る。このタービン式流量計１２１は、流量検出手段１２
２と電気回路部１２３とを有する。流量検出手段１２２
は円筒状であって、固定翼１２４、回転翼１２５及びス
トッパ１２６を備えている。固定翼１２４の下流側に位
置する回転翼１２５は、固定翼１２４の分割流路１２７
を通過することで回転運動を与えられた冷却水の作用に
よって回転する。回転翼１２５には略同形状の磁石が一
体回転可能に取り付けられている。ＭＲセンサ１２９
は、単位時間あたりの磁力変化の回数をもって前記回転
翼１２５の回転数を検出し、それをパルス信号として電
気回路部１２３に出力する。電気回路部１２３は、前記
パルス信号をＦ／Ｖ変換するためのＦ／Ｖ変換器１３１
を備えている。そして、電気回路部１２３は、Ｆ／Ｖ変
換によって得られた信号を検出信号として制御手段１０
９に出力する。そして、前記制御手段１０９は、このよ
うな検出信号を常時監視することで、流路１０３内を流
れる冷却水の異常（例えば流量の不足等）を感知する。
なお、冷却水の流量の不足は、１）流路１０３が目詰ま
りしたときや、２）チップ抜けによってシャンク１０６
から冷却水が漏出したとき等に発生することが知られて
いる。A flow meter 121 as shown in FIG. 11 is provided downstream of the welding gun 104 in the flow path 103. This flow meter 121 is a so-called turbine type. The turbine type flow meter 121 is provided with a flow detecting means 12.
2 and an electric circuit unit 123. Flow rate detecting means 122
Has a fixed blade 124, a rotary blade 125, and a stopper 126. The rotary wing 125 located downstream of the fixed wing 124 has a divided flow path 127 of the fixed wing 124.
, It is rotated by the action of the cooling water given a rotational motion. A magnet having substantially the same shape is attached to the rotary wing 125 so as to be integrally rotatable. MR sensor 129
Detects the number of rotations of the rotary wing 125 based on the number of magnetic force changes per unit time, and outputs the detected number to the electric circuit unit 123 as a pulse signal. The electric circuit unit 123 includes an F / V converter 131 for F / V converting the pulse signal.
It has. Then, the electric circuit unit 123 uses the signal obtained by the F / V conversion as a detection signal as a detection signal.
9 is output. The control unit 109 constantly monitors such a detection signal to detect an abnormality (for example, a shortage of the flow rate) of the cooling water flowing in the flow path 103.
In addition, the shortage of the flow rate of the cooling water can be caused by 1) when the flow path 103 is clogged, or
It is known that it occurs when the cooling water leaks from the engine.

【０００６】ここで、電気回路部１２３においてＦ／Ｖ
変換器１３１の後段には、通常、積分器１３２が介在さ
れることが多い。このような積分器１３２は、Ｆ／Ｖ変
換器１３１からの電圧信号を積分処理して、その波形を
なだらかになるように整形する。その結果、ノイズ等か
ら受ける影響が軽減され、出力信号の安定化が図られる
ようになっている。Here, in the electric circuit section 123, F / V
In general, an integrator 132 is often provided after the converter 131. Such an integrator 132 integrates the voltage signal from the F / V converter 131 and shapes the waveform so as to be smooth. As a result, the influence of noise and the like is reduced, and the output signal is stabilized.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年この種
の自動抵抗溶接機には、溶接ポイントから溶接ポイント
への溶接ガン１０４の移動を極力高速で行うことが要求
されている。つまり、１つのポイントを溶接する際のタ
クトを短縮することは、生産性の向上につながるからで
ある。In recent years, this type of automatic resistance welding machine has been required to move the welding gun 104 from a welding point to a welding point as quickly as possible. That is, shortening the tact time when welding one point leads to improvement in productivity.

【０００８】しかし、抵抗溶接機の高速化は下記のよう
な不具合をもたらす。図１２のグラフには、実際の冷却
水の流量の時間的変化と、流量計１２１が外部に出力す
る検出信号の時間的変化とがそれぞれ示されている。こ
れによると、両者とも、ある時点ｔ1 を境目として減少
傾向に転ずることがわかる。ところが、実際の冷却水の
流量の減少の仕方は、検出信号の減少の仕方に比べてか
なり急激である。このような差異が生じるのは、検出信
号について積分処理が行なわれているからである。従っ
て、あらかじめ定められた設定値（ここでは下限値）Ｑ
ref を下回るまでの時間について、両者にはおのずと差
異が生じる。即ち、実際の冷却水の流量が設定値Ｑref
を下回ったとしても、検出信号がその設定値Ｑref を下
回るのはその時点よりも２〜３秒ほど遅い時点となる。
このように従来装置では異常発生に対して迅速に応答す
ることができず、溶接ガン１０４が次の溶接ポイントに
移動する前に装置を停止させる等の対策を速やかに打つ
ことができなかった。However, the speeding up of the resistance welding machine causes the following problems. The graph in FIG. 12 shows a temporal change in the actual flow rate of the cooling water and a temporal change in the detection signal output from the flow meter 121 to the outside. According to this, it can be seen that both of them start to decrease at a certain time point t1. However, the manner in which the flow rate of the cooling water actually decreases is considerably sharper than the manner in which the detection signal decreases. Such a difference occurs because the detection signal is integrated. Therefore, a predetermined set value (here, a lower limit value) Q
There is a natural difference between the two before and after the ref. That is, the actual flow rate of the cooling water is equal to the set value Qref.
, The detection signal falls below the set value Qref at a time about 2-3 seconds later than that time.
As described above, the conventional apparatus cannot quickly respond to the occurrence of the abnormality, and cannot immediately take measures such as stopping the apparatus before the welding gun 104 moves to the next welding point.

【０００９】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、流体の異常発生に対して迅速に応
答し、速やかに警告信号を外部に出力することができる
流量計を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a flow meter capable of promptly responding to the occurrence of a fluid abnormality and promptly outputting a warning signal to the outside. Is to do.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、流体が供給される一
次側配管と前記流体が排出される二次側配管とをつなぐ
流路上に、冷却を必要とする機器とともに設けられる流
量計において、前記流体の流量を検出する流量検出部
と、前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、流量値及
び圧力値のうちの少なくともいずれかが各々の設定値の
範囲から逸脱したときに外部に警告信号を出力する警告
信号出力部とを備えたことを特徴とする流量計をその要
旨とする。In order to solve the above-mentioned problems, according to the first aspect of the present invention, a flow connecting a primary pipe to which a fluid is supplied and a secondary pipe to which the fluid is discharged is provided. On a road, in a flow meter provided together with equipment that requires cooling, a flow detection unit that detects a flow rate of the fluid, a pressure detection unit that detects a pressure of the fluid, and at least one of a flow value and a pressure value And a warning signal output unit that outputs a warning signal to the outside when the values deviate from the respective set value ranges.

【００１１】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記流量検出部は、複数の分割流路を持つ固定翼
と、前記固定翼の下流側に配置された回転翼とを有し、
前記分割流路を通過することで回転運動を与えられた前
記流体の作用により前記固定翼を回転させ、その回転数
に基づき前記流体の流量を検出するようにしたタービン
式流量検出部であるとしている。[0011] In the second aspect of the present invention, in the first aspect, the flow rate detection unit includes a fixed blade having a plurality of divided flow paths, and a rotary blade disposed downstream of the fixed blade. ,
Assuming that the turbine is a turbine type flow detecting unit configured to rotate the fixed blade by the action of the fluid given a rotational motion by passing through the divided flow path and detect the flow rate of the fluid based on the number of rotations. I have.

【００１２】請求項３に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記流量検出部は、カルマン渦を発生させるため
の渦発生体と、前記渦発生体の下流側において前記カル
マン渦を検出する渦検出体とを有し、前記カルマン渦の
発生状況に基づき前記流体の流量を検出するようにした
カルマン渦式流量検出部であるとしている。According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the flow rate detector includes a vortex generator for generating a Karman vortex, and a vortex for detecting the Karman vortex downstream of the vortex generator. A Karman vortex-type flow rate detector that has a detector and detects the flow rate of the fluid based on the state of occurrence of the Karman vortex.

【００１３】請求項４に記載の発明では、請求項１乃至
３のいずれか１項において、前記流体の逆流を防止する
ための逆流防止機構を内蔵している。請求項５に記載の
発明では、請求項４において、前記逆流防止機構は、前
記流体の慣性の作用のみによって開閉しうるチェック弁
であるとしている。According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, a backflow prevention mechanism for preventing a backflow of the fluid is incorporated. According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the backflow prevention mechanism is a check valve that can be opened and closed only by the inertia of the fluid.

【００１４】請求項６に記載の発明では、請求項１乃至
５のいずれか１項において、前記流体が流入する一次側
ポートに異物除去用の磁石を内蔵している。以下、本発
明の「作用」について説明する。According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, a magnet for removing foreign matter is incorporated in the primary port into which the fluid flows. Hereinafter, the “action” of the present invention will be described.

【００１５】請求項１に記載の発明によると、流量検出
部及び圧力検出部の両方を備えていることから、流体に
急激な変動が生じたときであっても、流量値の急激な減
少に先んじて圧力値の急激な減少が把握される。このた
め、流量を検出する機能しか持たない従来装置に比べ
て、流体の異常発生に迅速に応答し、速やかに警告信号
を外部に出力することができる。According to the first aspect of the present invention, since both the flow rate detecting section and the pressure detecting section are provided, even when a sudden change occurs in the fluid, the flow rate value can be rapidly reduced. A sharp decrease in the pressure value is detected ahead of time. For this reason, as compared with the conventional apparatus having only the function of detecting the flow rate, it is possible to promptly respond to the occurrence of the abnormality in the fluid and to quickly output the warning signal to the outside.

【００１６】請求項２に記載の発明によると、回転部分
を持つ形式の流量検出部であることから、比較的振動に
強いという特徴がある。従って、振動がある環境下での
使用に適したものとなる。そのほか、圧力損失が少なく
て測定可能エリアも広いという特徴がある。According to the second aspect of the present invention, since the flow rate detecting section has a rotating portion, it is characterized by being relatively resistant to vibration. Therefore, it becomes suitable for use in an environment with vibration. Another characteristic is that the pressure drop is small and the measurable area is wide.

【００１７】請求項３に記載の発明によると、回転部分
を持たない形式の流量検出部であることから、鉄錆等の
異物の混入に強いという特徴がある。従って、流体に異
物が混入しやすい環境下での使用に適したものとなる。According to the third aspect of the present invention, since the flow rate detecting portion has no rotating portion, it has a feature that it is resistant to foreign matter such as iron rust. Therefore, it is suitable for use in an environment where foreign matter is likely to be mixed into the fluid.

【００１８】請求項４に記載の発明によると、二次側配
管から背圧が作用するようなときでも、逆流防止機構が
作動して流体の逆流を防止する。従って、チップ抜け等
が発生したときでも、流体の漏出がただちに食い止めら
れる。According to the fourth aspect of the present invention, the backflow prevention mechanism operates to prevent the backflow of the fluid even when the back pressure acts from the secondary side piping. Therefore, leakage of the fluid can be immediately stopped even when the chip comes off.

【００１９】請求項５に記載の発明によると、流体の慣
性の作用のみによって開閉しうるチェック弁であれば、
ばね等の付勢手段を使用することなく構成することがで
きる。従って、付勢手段を利用して逆流防止機構を構成
した場合に比べて故障が起こりにくくなり、信頼性にも
優れたものとなる。また、ばね等の付勢手段を利用した
ものに比べて圧力損失が小さくなる。即ち、ばね等の付
勢手段を利用したものであると、流体が正常に流れてい
る場合でも常にばねの押圧力が流体の流れと反対方向に
作用し、これが圧力損失の増大をもたらすからである。According to the fifth aspect of the invention, if the check valve can be opened and closed only by the action of the inertia of the fluid,
It can be configured without using a biasing means such as a spring. Therefore, a failure is less likely to occur than in the case where the backflow prevention mechanism is configured using the urging means, and the reliability is excellent. Further, the pressure loss is smaller than that using a biasing means such as a spring. That is, if the urging means such as a spring is used, even when the fluid is flowing normally, the pressing force of the spring always acts in the opposite direction to the flow of the fluid, which causes an increase in pressure loss. is there.

【００２０】請求項６に記載の発明によると、流体が一
次側ポートを通過する際、その中に異物として含まれる
鉄錆が磁石によって吸着・除去される。このため、流量
検出部に鉄錆が詰まるようなことも未然に回避され、装
置の信頼性が向上する。According to the sixth aspect of the present invention, when the fluid passes through the primary port, iron rust contained as foreign matter therein is adsorbed and removed by the magnet. Therefore, it is possible to prevent the iron rust from being clogged in the flow detection unit, and the reliability of the apparatus is improved.

【００２１】[0021]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

［第１の実施形態］以下、本発明を具体化した実施形態
１の流量計１及びそれを使用した抵抗溶接機冷却システ
ム５０を図１〜図４に基づき詳細に説明する。[First Embodiment] A flow meter 1 according to a first embodiment of the present invention and a cooling system 50 for a resistance welding machine using the same will be described below in detail with reference to FIGS.

【００２２】図１には、本実施形態のタービン式流量計
１が示されている。このタービン式流量計１を構成する
タービンユニット収容体は、第１のブロック２、第２の
ブロック３、第３のブロック４及び第４のブロック５と
いう４つのブロックによって構成されている。第２のブ
ロック３は両端にフランジ部を有する筒状部材である。
第２のブロック３の左端には、第１のブロック２が環状
のパッキング６を介して嵌着されている。第２のブロッ
ク３の右端には、同じく環状のパッキング６を介して第
３のブロック４が嵌着されている。第３のブロック４の
右端には、環状のパッキング６を介して第４のブロック
５が嵌着されている。第１のブロック２には、図示しな
い配管を接続するための一次側ポート７が形成されてい
る。第４のブロック５には、図示しない配管を接続する
ための二次側ポート８が形成されている。流体としての
冷却水は、一次側ポート７から流入しかつ二次側ポート
８から流出する。各ブロック２，３，４，５を互いに接
続した場合、両ポート７，８と第２及び第３のブロック
３，４の内部空間９とが連通し、ひとつの流路を形成す
る。そして、第２のブロック３側における内部空間９に
は、タービンユニット１１が移動不能に収容されてい
る。FIG. 1 shows a turbine type flow meter 1 according to this embodiment. The turbine unit housing constituting the turbine type flowmeter 1 is constituted by four blocks of a first block 2, a second block 3, a third block 4, and a fourth block 5. The second block 3 is a cylindrical member having flange portions at both ends.
The first block 2 is fitted to the left end of the second block 3 via an annular packing 6. A third block 4 is fitted to the right end of the second block 3 via an annular packing 6. A fourth block 5 is fitted to the right end of the third block 4 via an annular packing 6. The first block 2 has a primary port 7 for connecting a pipe (not shown). In the fourth block 5, a secondary port 8 for connecting a pipe (not shown) is formed. Cooling water as a fluid flows in from the primary port 7 and flows out from the secondary port 8. When the blocks 2, 3, 4, 5 are connected to each other, the ports 7, 8 communicate with the internal spaces 9 of the second and third blocks 3, 4 to form one flow path. The turbine unit 11 is immovably accommodated in the internal space 9 on the second block 3 side.

【００２３】第２のブロック３の上面側には、電気回路
部分を収容するためのカバー１２が装着されている。第
２のブロック３の上面かつ略中央部には、ＭＲセンサ取
付部１３が突設されている。そのＭＲセンサ取付部１３
には、環状のパッキング１４を介して磁気感知手段とし
てのＭＲセンサ１５が取り付けられている。ＭＲセンサ
１５は、リード線１６を介して回路基板１７に電気的に
接続されている。前記回路基板１７には、各種電子部品
（発光ダイオード１８やトリマ１９等）がはんだ付け等
により実装されている。On the upper surface side of the second block 3, a cover 12 for accommodating an electric circuit portion is mounted. An MR sensor mounting portion 13 protrudes from an upper surface and substantially in the center of the second block 3. The MR sensor mounting part 13
Is provided with an MR sensor 15 as magnetic sensing means via an annular packing 14. The MR sensor 15 is electrically connected to a circuit board 17 via a lead 16. Various electronic components (light emitting diode 18, trimmer 19, etc.) are mounted on the circuit board 17 by soldering or the like.

【００２４】次に、流量検出部の構成について説明す
る。図２に示されるように、タービンユニット１１は円
筒状であって、固定翼２０、回転翼２１及びストッパ２
２等を備えている。固定翼２０は有底円筒状のケーシン
グ２３の一部（即ち底部）に形成されていて、タービン
ユニット１１の最も上流側（流入側）に位置している。
ストッパ２２は６枚羽構造であって、ケーシング２３の
開口部に取り付けられている。回転翼２１は、前記スト
ッパ２２とケーシング２３とがなす空間内に収容されて
いる。本実施形態の回転翼２１は、４枚の翼片２４を備
えた樹脂製部材である。前記回転翼２１にはそれと略同
じ形状の磁石が一体回転可能に取り付けられている。回
転翼２１の中心にある回転軸２５の先端側は、固定翼２
０の内端側中央部に設けられた軸受２６に支持されてい
る。回転軸２５の基端側は、ストッパ２２の内端側中央
部に設けられた軸受２７に硬球２８を介して支持されて
いる。従って、固定翼２０の下流側にある回転軸２１
は、自身の回転軸２５を中心として回転することができ
る。Next, the configuration of the flow rate detector will be described. As shown in FIG. 2, the turbine unit 11 is cylindrical, and includes a fixed blade 20, a rotating blade 21, and a stopper 2.
2 and so on. The fixed blade 20 is formed in a part (that is, the bottom) of a cylindrical casing 23 having a bottom, and is located on the most upstream side (inflow side) of the turbine unit 11.
The stopper 22 has a six-blade structure, and is attached to an opening of the casing 23. The rotary wing 21 is accommodated in a space defined by the stopper 22 and the casing 23. The rotor 21 of the present embodiment is a resin member provided with four blade pieces 24. A magnet having substantially the same shape as that of the rotor 21 is attached to the rotor 21 so as to be integrally rotatable. The tip of the rotating shaft 25 at the center of the rotating blade 21 is
0 is supported by a bearing 26 provided at the center of the inner end side. The base end of the rotating shaft 25 is supported by a bearing 27 provided at the center of the inner end side of the stopper 22 via a hard ball 28. Therefore, the rotating shaft 21 downstream of the fixed wing 20
Can rotate around its own rotation axis 25.

【００２５】図２に示されるように、固定翼２０は複数
の分割流路Ｒを備えている。各分割流路Ｒは曲面状をし
た翼片２９によって仕切られている。これらの翼片２９
は、分割流路Ｒを通過してくる冷却水の方向を変更する
ことで、冷却水に回転運動を与える役割を果たす。翼片
２９によって回転運動を与えられた冷却水は回転翼２１
に回転をもたらす。As shown in FIG. 2, the fixed wing 20 has a plurality of divided flow paths R. Each of the divided flow paths R is partitioned by curved blade pieces 29. These wings 29
Changes the direction of the cooling water passing through the divided flow path R, thereby giving a rotational motion to the cooling water. The cooling water given a rotational motion by the blade pieces 29
Bring rotation.

【００２６】また、上記タービン式流量検出部を構成す
る前記ＭＲセンサ１５は、単位時間あたりの磁力変化の
回数をもって回転翼２１の回転数を検出し、それをパル
ス信号（実圧力信号）としてＦ／Ｖ変換器３２に出力す
る。ＭＲセンサ１５からのパルス信号は、Ｆ／Ｖ変換器
３２において処理されることにより、補正実流量検出信
号に変換される。さらに、前記信号は積分器３１におけ
る積分処理により波形整形される。積分器３１及びＦ／
Ｖ変換器３２は回路基板１７上に設けられており、ター
ビンユニット１１及びＭＲセンサ１５とともに流量検出
部を構成している。The MR sensor 15 constituting the turbine type flow rate detector detects the number of rotations of the rotor blades 21 based on the number of magnetic force changes per unit time, and uses this as a pulse signal (actual pressure signal) to generate a signal F. / V converter 32. The pulse signal from the MR sensor 15 is converted by the F / V converter 32 into a corrected actual flow rate detection signal. Further, the waveform of the signal is shaped by the integration process in the integrator 31. Integrator 31 and F /
The V converter 32 is provided on the circuit board 17 and constitutes a flow rate detection unit together with the turbine unit 11 and the MR sensor 15.

【００２７】回路基板１７上には第１の比較手段として
のコンパレータ４０が設けられている。コンパレータ４
０の一方の入力端子からは、あらかじめ設定された基準
流量値（設定範囲の下限値）Ｑref に対応する信号が入
力される。同コンパレータ４０の他方の入力端子から
は、Ｆ／Ｖ変換器３２からの補正実流量検出信号が入力
される。コンパレータ４０は、これらの信号に基づいて
実流量値Ｑ及び基準流量値Ｑref の大小を比較し、第１
の判定信号を出力する。即ち、実流量値Ｑが基準流量値
Ｑref 以上である（即ち設定範囲内にあって下限値を下
回らない）とき、コンパレータ４０はＬｏｗレベルの信
号を出力する。一方、実流量値Ｑが基準流量値Ｑref 未
満である（即ち設定範囲を逸脱して下限値を下回る）と
き、コンパレータ４０はＨｉレベルの信号を出力する。A comparator 40 is provided on the circuit board 17 as first comparing means. Comparator 4
From one input terminal of 0, a signal corresponding to a preset reference flow rate value (lower limit value of the setting range) Qref is input. From the other input terminal of the comparator 40, a corrected actual flow rate detection signal from the F / V converter 32 is input. The comparator 40 compares the magnitudes of the actual flow rate value Q and the reference flow rate value Qref based on these signals.
Is output. That is, when the actual flow rate value Q is equal to or larger than the reference flow rate value Qref (that is, within the set range and does not fall below the lower limit value), the comparator 40 outputs a low level signal. On the other hand, when the actual flow rate value Q is less than the reference flow rate value Qref (ie, deviates from the set range and falls below the lower limit value), the comparator 40 outputs a Hi-level signal.

【００２８】次に、圧力検出部について説明する。図１
に示されるように、第３のブロック４の上面には、同ブ
ロック４の内外を連通する導圧孔３３が形成されてい
る。導圧孔３３の外側開口部分は圧力スイッチ取付部３
４になっていて、そこには圧力感知手段としての圧力ス
イッチ３５が取り付けられている。即ち、本実施形態で
は導圧孔３３と圧力スイッチ３５とにより圧力検出部が
構成されている。圧力スイッチ３５は、リード線３６を
介して回路基板１７に電気的に接続されている。この圧
力スイッチ３５は、冷却水の圧力を検出することで得ら
れた実圧力検出信号に基づいて、実圧力値Ｐ及びあらか
じめ設定された基準圧力値（設定範囲の下限値）Ｐref
の大小を比較する。そして、実圧力値Ｐが基準圧力値Ｐ
ref よりも小さくなる（即ち設定範囲を逸脱して下限値
を下回る）ときに、圧力スイッチ３５は第２の判定信号
を回路基板１７側に出力する。なお、両圧力値Ｐ，Ｐre
f の大小の比較は、圧力スイッチ３５の内部にある図示
しないコンパレータによって行なわれる。Next, the pressure detector will be described. FIG.
As shown in FIG. 2, a pressure guiding hole 33 communicating with the inside and outside of the third block 4 is formed on the upper surface of the third block 4. The outside opening of the pressure guiding hole 33 is the pressure switch mounting part 3
4, a pressure switch 35 as a pressure sensing means is attached thereto. That is, in the present embodiment, the pressure detection unit is configured by the pressure guiding hole 33 and the pressure switch 35. The pressure switch 35 is electrically connected to the circuit board 17 via the lead wire 36. The pressure switch 35 detects an actual pressure value P and a preset reference pressure value (lower limit value of the setting range) Pref based on an actual pressure detection signal obtained by detecting the pressure of the cooling water.
Compare large and small. The actual pressure value P is equal to the reference pressure value P.
When it becomes smaller than ref (that is, it falls outside the set range and falls below the lower limit), the pressure switch 35 outputs a second determination signal to the circuit board 17 side. In addition, both pressure values P and Pre
The comparison of f is made by a comparator (not shown) inside the pressure switch 35.

【００２９】もっとも、前記圧力スイッチ３５は上記の
ような電気的なものに限定されず、接点式等のように機
械的なものであってもよい。即ち、実圧力値Ｐが基準圧
力値Ｐref よりも小さくなったときに、第２の判定信号
として単なる接点信号を回路基板１７側に出力するもの
でも構わない。However, the pressure switch 35 is not limited to the electrical type described above, but may be a mechanical type such as a contact type. That is, when the actual pressure value P becomes smaller than the reference pressure value Pref, a simple contact signal may be output to the circuit board 17 as the second determination signal.

【００３０】このタービン式流量計１は、警告信号出力
部としてのオア回路４１を回路基板１７上に備えてい
る。前記オア回路４１の一方の入力端子には第１の判定
信号が入力され、他方の入力端子には第２の判定信号が
入力される。そして、これらの判定信号のうちの少なく
ともいずれかを入力したとき、オア回路４１は外部に設
けられた制御手段５９に警告信号を出力するようになっ
ている。The turbine type flowmeter 1 has an OR circuit 41 as a warning signal output unit on the circuit board 17. A first determination signal is input to one input terminal of the OR circuit 41, and a second determination signal is input to the other input terminal. When at least one of these determination signals is input, the OR circuit 41 outputs a warning signal to the control means 59 provided outside.

【００３１】続いて、このような流量計１を使用した抵
抗溶接機冷却システム５０の全体構成について説明す
る。この冷却システム５０は、一次側配管５１、二次側
配管５２、それらをつなぐ流路５３等を備えている。流
路５３の途上には、冷却を必要とする機器である自動抵
抗溶接機の溶接ガン５４が設けられ、その下流側には上
記のタービン式流量計１が設けられている。溶接ガン５
４は通電部分である一対のチップ５５を備えている。一
方のチップ５５は、シャンク５６によって固定側である
ガン本体５７側に取り付けられている。他方のチップ５
５は、同じくシャンク５６によって可動側であるガンア
ーム５８側に取り付けられている。両チップ５５は互い
に対向する位置関係にある。ガン本体５７内には、冷却
水を流通させるための図示しない流路が形成されてい
る。前記流路はシャンク５６の部分を迂回しているた
め、そこに取り付けられたチップ５５の底面には冷却水
が直接接触するようになっている。また、溶接ガン５４
と一次側配管５１との間には一次側ストップバルブ６２
が設けられ、溶接ガン５４と二次側配管５２との間には
二次側ストップバルブ６３が設けられている。一次側ス
トップバルブ６２と溶接ガン５４との間には、流路５３
を連通状態または遮断状態に切り換える電磁弁としての
二方弁６４が設けられている。Next, the overall configuration of the resistance welding machine cooling system 50 using such a flow meter 1 will be described. The cooling system 50 includes a primary pipe 51, a secondary pipe 52, a flow path 53 connecting them, and the like. A welding gun 54 of an automatic resistance welding machine, which is a device requiring cooling, is provided on the way of the flow path 53, and the turbine type flowmeter 1 is provided downstream thereof. Welding gun 5
Reference numeral 4 includes a pair of chips 55 which are current-carrying portions. One tip 55 is attached to the gun body 57 side, which is a fixed side, by a shank 56. The other chip 5
5 is attached to the movable side of the gun arm 58 by the shank 56. The two chips 55 are in a positional relationship facing each other. A flow path (not shown) for flowing cooling water is formed in the gun body 57. Since the flow path bypasses the shank 56, the cooling water comes into direct contact with the bottom surface of the chip 55 attached thereto. Also, the welding gun 54
And a primary side stop valve 62 between the
Is provided, and a secondary stop valve 63 is provided between the welding gun 54 and the secondary pipe 52. A flow path 53 is provided between the primary stop valve 62 and the welding gun 54.
A two-way valve 64 is provided as an electromagnetic valve for switching the state between the open state and the open state.

【００３２】この自動抵抗溶接機は、制御手段５９、ガ
ンアーム開閉駆動手段６０及び溶接ガン駆動手段６１を
備えている。コンピュータ等の制御手段５９は、ガンア
ーム開閉駆動手段６０を介してガンアーム５８を開閉制
御するようになっている。具体的にいうと、ガンアーム
開閉駆動手段６０は、溶接ガン５４内にある図示しない
エアシリンダへのエアの給排を切換制御する。また、前
記制御手段５９は溶接ガン駆動手段６１によって溶接ガ
ン５４全体を三次元的に駆動するようになっている。そ
の結果、溶接ガン５４は溶接ポイントから溶接ポイント
へと高速で移動する。さらに、制御手段５９は二方弁６
４を開閉制御する。具体的には、制御手段５９からの制
御信号によって、二方弁６４内の図示しないソレノイド
が励消磁される。This automatic resistance welding machine comprises a control means 59, a gun arm opening / closing drive means 60 and a welding gun drive means 61. The control means 59 such as a computer controls opening and closing of the gun arm 58 via the gun arm opening and closing driving means 60. More specifically, the gun arm opening / closing drive unit 60 controls the supply and exhaust of air to and from an air cylinder (not shown) in the welding gun 54. Further, the control means 59 drives the entire welding gun 54 three-dimensionally by the welding gun driving means 61. As a result, the welding gun 54 moves at a high speed from the welding point to the welding point. Further, the control means 59 controls the two-way valve 6
4 is controlled to open and close. Specifically, a solenoid (not shown) in the two-way valve 64 is demagnetized by a control signal from the control means 59.

【００３３】そして、タービン式流量計１のオア回路４
１から警告信号を入力した場合、前記制御手段５９は非
常停止を実行する。即ち、制御手段５９は、二方弁６４
に対して非常停止信号を出力することでソレノイドを消
磁する。その結果、流路５３をただちに遮断して、漏出
による冷却水のロスを最小限に止める。制御手段５９
は、これと同時にガンアーム開閉駆動手段６０及び溶接
ガン駆動手段６１に対しても非常停止信号を出力する。
その結果、ガンアーム５８及び溶接ガン５４をただちに
停止させる。The OR circuit 4 of the turbine type flow meter 1
When a warning signal is input from No. 1, the control means 59 executes an emergency stop. That is, the control means 59 controls the two-way valve 64
The solenoid is demagnetized by outputting an emergency stop signal. As a result, the flow path 53 is immediately shut off, and the loss of cooling water due to leakage is minimized. Control means 59
Outputs an emergency stop signal to the gun arm opening / closing drive means 60 and the welding gun drive means 61 at the same time.
As a result, the gun arm 58 and the welding gun 54 are immediately stopped.

【００３４】次に、上記冷却システム５０の動作を説明
する。流路５３に目詰まり等が生じたときには、通常、
冷却水の流量は緩やかに減少する。図４（ａ）には、そ
のときの冷却水の実流量値Ｑ（Ｆ／Ｖ変換及び積分処理
後のもの）の経時的変化の様子が示されている。この場
合、実流量値Ｑは比較的長時間をかけて基準流量値Ｑre
f に到達する。そして、実流量値Ｑが基準流量値Ｑref
に到達すると、オア回路４１は制御手段５９に警告信号
を出力する。その結果、制御手段５９がただちに非常停
止を実行する。Next, the operation of the cooling system 50 will be described. When clogging or the like occurs in the flow path 53, usually,
The flow rate of the cooling water gradually decreases. FIG. 4A shows how the actual flow rate Q of the cooling water (after the F / V conversion and the integration processing) at that time changes with time. In this case, the actual flow value Q takes a relatively long time to reach the reference flow value Qre.
reaches f. Then, the actual flow value Q is equal to the reference flow value Qref.
, The OR circuit 41 outputs a warning signal to the control means 59. As a result, the control means 59 immediately executes an emergency stop.

【００３５】一方、チップ抜け等が生じたときには、冷
却水の流量は目詰まりのときに比べて急激に減少する。
図４（ｂ）には、そのときの冷却水の実流量値Ｑ（Ｆ／
Ｖ変換及び積分処理後のもの）の経時的変化の様子が示
されている。この場合、実流量値Ｑは短時間のうちに基
準流量値Ｑref に到達する。図（ｃ）のグラフには、同
じくチップ抜け等が生じたときの冷却水の圧力の経時的
変化の様子が示されている。この場合、流量値Ｑが基準
流量値Ｑref に到達するよりもさらに短時間のうちに、
圧力値Ｐが基準圧力値Ｐref に到達する。つまり、冷却
水の急激な変動に対しては、流量よりもむしろ圧力のほ
うが応答性がよいことになる。つまり、この場合には流
量値Ｑの急激な減少に先んじて、圧力値Ｐの急激な減少
が把握されることになる。上記のように圧力値Ｐが基準
圧力値Ｐref に到達する結果、オア回路４１は制御手段
５９に警告信号を出力し、制御手段５９がただちに非常
停止を実行する。On the other hand, when a chip is missing, the flow rate of the cooling water decreases more rapidly than when the clogging occurs.
FIG. 4B shows the actual flow rate value Q (F / F /
(After V-conversion and integration) is shown over time. In this case, the actual flow value Q reaches the reference flow value Qref within a short time. The graph of FIG. 3C also shows how the pressure of the cooling water changes over time when a chip is missing or the like. In this case, within a shorter time than the flow value Q reaches the reference flow value Qref,
The pressure value P reaches the reference pressure value Pref. In other words, the response of the pressure to the rapid change of the cooling water is better than that of the flow rate. That is, in this case, a sharp decrease in the pressure value P is grasped prior to a sharp decrease in the flow value Q. As a result of the pressure value P reaching the reference pressure value Pref as described above, the OR circuit 41 outputs a warning signal to the control means 59, and the control means 59 immediately executes an emergency stop.

【００３６】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態のタービン式流量計１は、タービン式
流量検出部のみならず圧力検出部を備えている。また、
同タービン式流量計１は、流量値Ｑ及び圧力値Ｐのうち
の少なくともいずれかが各々の基準値Ｑref ，Ｐref を
下回ったときに外部に警告信号を出力するように構成さ
れている。そのため、流量を検出する機能しか持たない
従来装置に比べて、冷却水の異常発生（特にチップ抜
け）に迅速に応答することができる。よって、速やかに
警告信号を外部に出力することができ、速やかに溶接ガ
ン５４等の非常停止を実行することができる。ゆえに、
溶接ガン５４が次の溶接ポイントに移動する前に装置を
停止させることが可能となる。Now, the characteristic effects of this embodiment will be listed below. (A) The turbine type flow meter 1 according to the present embodiment includes not only the turbine type flow detection unit but also a pressure detection unit. Also,
The turbine type flow meter 1 is configured to output a warning signal to the outside when at least one of the flow value Q and the pressure value P falls below each of the reference values Qref and Pref. Therefore, as compared with the conventional device having only the function of detecting the flow rate, it is possible to quickly respond to the occurrence of the abnormality of the cooling water (particularly, the chip missing). Therefore, a warning signal can be output to the outside promptly, and the emergency stop of the welding gun 54 and the like can be executed quickly. therefore,
The apparatus can be stopped before the welding gun 54 moves to the next welding point.

【００３７】（ロ）本実施形態の流量計１は、回転部分
を持つ形式の流量検出部を有するタービン式流量計１で
あることから、流体の渦を利用して流量を検出するタイ
プのものに比べて振動に強いという特徴がある。従っ
て、振動がある環境下、例えば高速で駆動される溶接ガ
ン５４に取り付けた状態で使用したときでも、検出精度
が悪化するおそれもない。従って、かかる条件下での使
用に極めて適したものとなっている。そのほか、このタ
ービン式流量計１は、いわゆるストレートタービン式で
あるため圧力損失が極めて少ないという利点を有すると
ともに、測定可能エリアも広いという利点も有する。 ［第２の実施形態］次に、実施形態２の流量計７１及び
それを使用した抵抗溶接機冷却システム７０を図５〜図
７に基づき詳細に説明する。実施形態１と共通する構成
については、詳細な説明を省略する代わりに同一の部材
番号を付すものとする。(B) Since the flow meter 1 of the present embodiment is a turbine type flow meter 1 having a flow detecting portion of a type having a rotating portion, it is of a type which detects a flow rate using a vortex of a fluid. It has a feature that it is more resistant to vibration than. Therefore, even when used in an environment with vibration, for example, in a state of being attached to the welding gun 54 driven at a high speed, there is no possibility that the detection accuracy will be deteriorated. Therefore, it is very suitable for use under such conditions. In addition, since this turbine type flow meter 1 is a so-called straight turbine type, it has an advantage that pressure loss is extremely small and also has an advantage that a measurable area is wide. Second Embodiment Next, a flow meter 71 of a second embodiment and a resistance welding machine cooling system 70 using the same will be described in detail with reference to FIGS. The same components as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals instead of omitting the detailed description.

【００３８】図５には、本実施形態のタービン式流量計
７１が示されている。このタービン式流量計７１は、逆
流防止機構としてのチェック弁７２を内蔵している点で
実施形態１のタービン式流量計１と相違する。FIG. 5 shows a turbine type flow meter 71 of this embodiment. This turbine type flow meter 71 is different from the turbine type flow meter 1 of the first embodiment in that a check valve 72 as a backflow prevention mechanism is incorporated.

【００３９】図６に示されるように、このチェック弁７
２は、流路板７３、ゴムシート７４、逆流防止板７５及
び止め輪７７とからなる。流路板７３を構成する円盤状
の基部７３ｃには、複数の連通孔７３ａが形成されてい
る。これらの連通孔７３ａは基部７３ｃの両側面をそれ
ぞれ連通している。基部７３ｃの片側面中心部には筒状
部７３ｂが設けられている。逆流防止板７５を構成する
円盤状の基部７５ａの片側面中心部には、円柱状の軸部
７５ｂが垂直に突設されている。軸部７５ｂは筒状部７
３ｂよりもいくぶん長く形成されている。ゴムシート７
４は中央に透孔を有するドーナツ状の部材であって、基
部７５ａにおける軸部突設側面に接着されている。前記
軸部７５ｂは筒状部７３ｂの挿通孔に対して摺動可能に
挿通されている。筒状部７３ｂから突出する軸部７５ｂ
の先端には、Ｅ型の止め輪７７がある程度の長さの余裕
をもって装着されている。この止め輪７７があることに
よって、逆流防止板７５の摺動時に軸部７５ｂが筒状部
７３ｂから抜け出さないようになっている。As shown in FIG. 6, this check valve 7
Reference numeral 2 includes a flow path plate 73, a rubber sheet 74, a backflow prevention plate 75, and a retaining ring 77. A plurality of communication holes 73a are formed in a disc-shaped base 73c that forms the flow path plate 73. These communication holes 73a communicate with both side surfaces of the base 73c. A tubular portion 73b is provided at the center of one side surface of the base 73c. A columnar shaft portion 75b is vertically provided at the center of one side surface of the disk-shaped base portion 75a constituting the backflow prevention plate 75. The shaft portion 75b is a cylindrical portion 7
It is formed somewhat longer than 3b. Rubber sheet 7
Reference numeral 4 denotes a donut-shaped member having a through hole in the center, which is adhered to the side surface of the base 75a protruding from the shaft. The shaft portion 75b is slidably inserted into the insertion hole of the cylindrical portion 73b. Shaft portion 75b protruding from cylindrical portion 73b
An E-shaped retaining ring 77 is mounted at the end of the head with a margin of a certain length. The presence of the retaining ring 77 prevents the shaft portion 75b from coming out of the tubular portion 73b when the backflow prevention plate 75 slides.

【００４０】図５に示されるように、第３のブロック４
及び第４のブロック５の接合部分には、チェック弁７２
を設置するための弁設置部７６が設けられている。大径
に形成された弁設置部７６には、逆流防止板７５が二次
側ポート８側に位置しかつ流路板７３が一次側ポート７
側に位置するような状態でチェック弁７２が配置され
る。なお、流路板７３の基部７３ｃは、両ブロック４，
５に挟持されるようなかたちで弁設置部７６に固定され
ている。As shown in FIG. 5, the third block 4
The check valve 72 is provided at the joint of the fourth block 5 and the fourth block 5.
The valve installation part 76 for installing this is provided. In the valve installation portion 76 having a large diameter, the backflow prevention plate 75 is located on the secondary port 8 side, and the flow path plate 73 is connected to the primary port 7.
The check valve 72 is arranged so as to be located on the side. In addition, the base 73c of the flow path plate 73 is
5 is fixed to the valve installation portion 76 in such a manner as to be sandwiched between the valve installation portions 76.

【００４１】一次側ポート７における冷却水の圧力が二
次側ポート８における冷却水の圧力よりも相対的に高い
とき、冷却水は一次側ポート７から二次側ポート８に向
かって流れようとする。このとき、冷却水の慣性の作用
によって逆流防止板７５が二次側ポートの方向（図５の
右側方向）に移動する結果、ゴムシート７４が基部７３
ｃから離間する。従って、このときチェック弁７２は開
放状態となり、冷却水は各連通孔７３ａを介して流れる
ことができる。When the pressure of the cooling water at the primary port 7 is relatively higher than the pressure of the cooling water at the secondary port 8, the cooling water tends to flow from the primary port 7 to the secondary port 8. I do. At this time, the backflow prevention plate 75 is moved in the direction of the secondary port (to the right in FIG. 5) by the inertia of the cooling water, so that the rubber sheet 74 is
Separate from c. Therefore, at this time, the check valve 72 is opened, and the cooling water can flow through each communication hole 73a.

【００４２】逆に、一次側ポート７における冷却水の圧
力が二次側ポート８における冷却水の圧力よりも相対的
に低いとき、冷却水は一次側ポート８から二次側ポート
７に向かって流れようとする。このとき、冷却水の慣性
の作用によって逆流防止板７５が一次側ポートの方向
（図５の左側方向）に移動する結果、ゴムシート７４が
基部７３ｃに圧着して各連通孔７３ａを塞いでしまう。
従って、このときチェック弁７２は閉塞状態となり、冷
却水は各連通孔７３ａを介して流通不能となる。即ち、
逆流防止機構が作動して冷却水の逆流が防止されるよう
になっている。Conversely, when the pressure of the cooling water at the primary port 7 is relatively lower than the pressure of the cooling water at the secondary port 8, the cooling water flows from the primary port 8 to the secondary port 7. Try to flow. At this time, as a result of the inertia of the cooling water, the backflow prevention plate 75 moves in the direction of the primary port (the leftward direction in FIG. 5), so that the rubber sheet 74 is pressed against the base 73c and closes each communication hole 73a. .
Accordingly, at this time, the check valve 72 is closed, and the cooling water cannot flow through the respective communication holes 73a. That is,
The backflow prevention mechanism operates to prevent backflow of the cooling water.

【００４３】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態も実施形態１と基本的構成に差はない
ため、実施形態１において列挙した作用効果イ，ロを奏
することはいうまでもない。Now, the characteristic effects of the present embodiment will be enumerated below. (A) The present embodiment does not differ from the first embodiment in the basic configuration, and it is needless to say that the functions and effects a and b enumerated in the first embodiment are achieved.

【００４４】（ロ）逆流防止機構であるチェック弁７２
を内蔵した本実施形態のタービン式流量計７１である
と、二次側配管５２から背圧が作用する場合であって
も、前記チェック弁７２が作動して冷却水の逆流が防止
される。従って、チップ抜け等が発生したときでも、冷
却水の漏出をただちに食い止めることができる。(B) Check valve 72 as backflow prevention mechanism
In the turbine type flow meter 71 of the present embodiment, the check valve 72 operates to prevent the backflow of the cooling water even when the back pressure acts from the secondary pipe 52. Therefore, even when chips are missing, leakage of the cooling water can be immediately stopped.

【００４５】（ハ）本実施形態のチェック弁７２は、冷
却水の慣性の作用のみによって開閉しうるものであるた
め、ばね等の付勢手段を使用することなく構成すること
ができる。従って、付勢手段を利用して逆流防止機構を
構成した場合に比べて故障が起こりにくくなり、信頼性
にも優れたものとなる。ばねを構成要素として含むもの
であると、例えば装置の振動によりばねが位置ずれを起
こすおそれがあり、それが原因となって故障につながる
からである。このような点を鑑みると、本実施形態のタ
ービン式流量計７１は、高速で駆動される溶接ガン５４
に取り付けた状態での使用に極めて適したものとなって
いる。さらに、この実施形態のようにばね等の付勢手段
を利用しないで構成したものであると、圧力損失の低減
を図ることができる。 ［第３の実施形態］次に、実施形態３の流量計８１及び
それを使用した抵抗溶接機冷却システム８０を図８に基
づき詳細に説明する。実施形態１等と共通する構成につ
いては、詳細な説明を省略する代わりに同一の部材番号
を付すものとする。(C) Since the check valve 72 of this embodiment can be opened and closed only by the inertia of the cooling water, it can be constructed without using a biasing means such as a spring. Therefore, a failure is less likely to occur than in the case where the backflow prevention mechanism is configured using the urging means, and the reliability is excellent. If the spring is included as a component, the spring may be displaced due to, for example, vibration of the device, which may cause a failure. In view of such a point, the turbine type flow meter 71 of the present embodiment is provided with a welding gun 54 driven at high speed.
It is extremely suitable for use in a state in which it is attached to. Further, if the configuration is such that the urging means such as a spring is not used as in this embodiment, the pressure loss can be reduced. [Third Embodiment] Next, a flow meter 81 of a third embodiment and a resistance welding machine cooling system 80 using the same will be described in detail with reference to FIG. The components common to the first embodiment and the like are denoted by the same reference numerals instead of omitting the detailed description.

【００４６】このタービン式流量計８１の特徴は、実施
形態２と同一のチェック弁７２を備えている点と、圧力
検出部である圧力スイッチ８３の構成が若干異なってい
る点である。ここで使用される圧力スイッチ８３は、冷
却水の圧力を検出して実圧力検出信号をコンパレータ８
２に出力する。The features of this turbine type flow meter 81 are that the same check valve 72 as that of the second embodiment is provided, and that the configuration of a pressure switch 83 as a pressure detector is slightly different. The pressure switch 83 used here detects the pressure of the cooling water and outputs the actual pressure detection signal to the comparator 8.
Output to 2.

【００４７】第２の比較手段としてのコンパレータ８２
は、回路基板１７上に設けられている。コンパレータ８
２の一方の入力端子からは、あらかじめ設定された基準
圧力値（設定範囲の下限値）Ｐref に対応する信号が入
力される。同コンパレータ８２の他方の入力端子から
は、実圧力検出信号が入力される。コンパレータ８２
は、これらの信号に基づいて実圧力値Ｐ及び基準圧力値
Ｐref の大小を比較し、第２の判定信号を出力する。即
ち、実流量値Ｐが基準流量値Ｐref 以上である（即ち設
定範囲内にあって下限値を下回らない）とき、コンパレ
ータ８２はＬｏｗレベルの信号をオア回路４１に出力す
る。一方、実流量値Ｐが基準流量値Ｐref 未満である
（即ち設定範囲を逸脱して下限値を下回る）とき、コン
パレータ８２はＨｉレベルの信号をオア回路４１に出力
する。Comparator 82 as second comparing means
Is provided on the circuit board 17. Comparator 8
From one of the two input terminals, a signal corresponding to a preset reference pressure value (lower limit value of the setting range) Pref is input. An actual pressure detection signal is input from the other input terminal of the comparator 82. Comparator 82
Compares the magnitudes of the actual pressure value P and the reference pressure value Pref based on these signals, and outputs a second determination signal. That is, when the actual flow value P is equal to or larger than the reference flow value Pref (that is, within the set range and does not fall below the lower limit), the comparator 82 outputs a low-level signal to the OR circuit 41. On the other hand, when the actual flow value P is less than the reference flow value Pref (that is, the actual flow value P falls outside the set range and falls below the lower limit value), the comparator 82 outputs a Hi-level signal to the OR circuit 41.

【００４８】そして、これらの判定信号のうちの少なく
ともいずれかを入力したとき、オア回路４１が外部に設
けられた制御手段５９に警告信号を出力し、制御手段５
９が非常停止を実行するようになっている。When at least one of these judgment signals is input, the OR circuit 41 outputs a warning signal to the control means 59 provided outside, and the control circuit 5
9 executes an emergency stop.

【００４９】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態も実施形態１と基本的構成に差はない
ため、実施形態１において列挙した作用効果イ，ロを奏
する。同様にチェック弁７２を備える本実施形態は、実
施形態２において列挙した作用効果ロ，ハも奏する。 ［第４の実施形態］次に、実施形態４の流量計８６及び
それを使用した抵抗溶接機冷却システムを図９に基づき
詳細に説明する。実施形態１等と共通する構成について
は、詳細な説明を省略する代わりに同一の部材番号を付
すものとする。The operation and effects characteristic of the present embodiment will be listed below. (A) This embodiment also has the same basic effects as those of the first embodiment. Similarly, the present embodiment including the check valve 72 also has the operation and effect b and c listed in the second embodiment. Fourth Embodiment Next, a flow meter 86 of a fourth embodiment and a resistance welding machine cooling system using the same will be described in detail with reference to FIG. The components common to the first embodiment and the like are denoted by the same reference numerals instead of omitting the detailed description.

【００５０】このタービン式流量計８６の特徴は、実施
形態２と同一のチェック弁７２を備えている点と、異物
除去用の磁石８８を内蔵する点である。前記磁石８８は
環状をした永久磁石であって、一次側ポート７の内壁面
にある環状取付溝８７に対して固定されている。従っ
て、一次側ポート７から流入した冷却水は、この磁石８
８を通過してからタービンユニット１１に流入するよう
な構成となっている。The features of this turbine type flow meter 86 are that it has the same check valve 72 as in the second embodiment, and that it incorporates a magnet 88 for removing foreign matter. The magnet 88 is an annular permanent magnet, and is fixed to an annular mounting groove 87 on the inner wall surface of the primary port 7. Therefore, the cooling water flowing from the primary side port 7
8 and then flow into the turbine unit 11.

【００５１】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態も実施形態１と基本的構成に差はない
ため、実施形態１において列挙した作用効果イ，ロを奏
する。同様にチェック弁７２を備える本実施形態は、実
施形態２において列挙した作用効果ロ，ハも奏する。The operation and effects characteristic of the present embodiment will be listed below. (A) This embodiment also has the same basic effects as those of the first embodiment. Similarly, the present embodiment including the check valve 72 also has the operation and effect b and c listed in the second embodiment.

【００５２】（ロ）また、異物除去用の磁石８８を内蔵
した本実施形態によると、冷却水が一次側ポート７を通
過する際、その中に異物として含まれる鉄錆が磁石８８
によって吸着・除去されてしまう。このため、タービン
ユニット１１に鉄錆が詰まるようなことや、回転翼２１
に鉄錆が噛み込んで回転不能となること等も未然に回避
される。従って、故障が起こりにくくなり、装置の信頼
性も確実に向上する。 ［第５の実施形態］次に、実施形態５の流量計９１及び
それを使用した抵抗溶接機冷却システムを図１０に基づ
き詳細に説明する。実施形態１等と共通する構成につい
ては、詳細な説明を省略する代わりに同一の部材番号を
付すものとする。(B) Further, according to the present embodiment in which the magnet 88 for removing foreign matter is built in, when the cooling water passes through the primary port 7, iron rust contained as foreign matter therein is removed by the magnet 88.
Is adsorbed and removed. For this reason, iron rust may be clogged in the turbine unit 11,
It is also possible to prevent the rotation of the motor from becoming impossible due to the bitten iron rust. Therefore, a failure is less likely to occur, and the reliability of the device is surely improved. [Fifth Embodiment] Next, a flow meter 91 of a fifth embodiment and a resistance welding machine cooling system using the same will be described in detail with reference to FIG. The components common to the first embodiment and the like are denoted by the same reference numerals instead of omitting the detailed description.

【００５３】この流量計９１の特徴は、実施形態２と同
一のチェック弁７２を備えている点と、流量検出部がタ
ービン式ではなくカルマン渦式である点である。カルマ
ン渦式流量検出部を構成する検出ユニット９９は、円筒
状の全体形状をしている。検出ユニット９９は、渦発生
体９７と渦検出体９８とを備えている。渦発生体９７は
断面略台形状の棒体であって、検出ユニット９９内にお
ける流路の略中央に設けられている。渦発生体９７はカ
ルマン渦を発生させる役割を果たす。渦発生体９７の下
流側には渦検出体取付部９６が形成されていて、そこに
は渦検出体９８の一部が突出するように取り付けられて
いる。渦検出体９８としては例えば圧電素子などが使用
される。その場合、渦発生体９７によって生じたカルマ
ン渦のもたらす圧力変動の大きさ・周期等が圧電素子に
よって電気信号に変換される。The features of the flow meter 91 are that it has the same check valve 72 as that of the second embodiment, and that the flow rate detector is not a turbine type but a Karman vortex type. The detection unit 99 constituting the Karman vortex flow rate detection unit has a cylindrical overall shape. The detection unit 99 includes a vortex generator 97 and a vortex detector 98. The vortex generator 97 is a rod having a substantially trapezoidal cross section, and is provided substantially at the center of the flow path in the detection unit 99. The vortex generator 97 plays a role of generating Karman vortices. A vortex detector mounting portion 96 is formed downstream of the vortex generator 97, and a part of the vortex detector 98 is mounted so as to protrude therefrom. As the vortex detector 98, for example, a piezoelectric element or the like is used. In this case, the magnitude and period of the pressure fluctuation caused by the Karman vortex generated by the vortex generator 97 are converted into an electric signal by the piezoelectric element.

【００５４】渦検出体９８はリード線１６を介して回路
基板１７に電気的に接続されていて、パルス信号（実圧
力信号）をＦ／Ｖ変換器３２に出力する。同パルス信号
は、Ｆ／Ｖ変換器３２において処理されることにより、
補正実流量検出信号に変換される。さらに、前記信号は
積分器３１において積分処理されることにより波形整形
される。積分器３１及びＦ／Ｖ変換器３２は、前記検出
ユニット９９とともにカルマン渦式流量検出部を構成し
ている。即ち、本実施形態のカルマン式流量計９１で
は、カルマン渦の発生状況に基づき冷却水の流量が検出
されるようになっている。その他の点については実施形
態１と同様である。The vortex detector 98 is electrically connected to the circuit board 17 through the lead wire 16 and outputs a pulse signal (actual pressure signal) to the F / V converter 32. The pulse signal is processed by the F / V converter 32,
It is converted into a corrected actual flow rate detection signal. Further, the signal is subjected to integration processing in the integrator 31 to be shaped. The integrator 31 and the F / V converter 32 together with the detection unit 99 constitute a Karman vortex flow rate detection unit. That is, in the Kalman flow meter 91 of the present embodiment, the flow rate of the cooling water is detected based on the occurrence state of the Karman vortex. Other points are the same as in the first embodiment.

【００５５】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）このカルマン渦式流量計９１は、カルマン式流量
検出部のみならず圧力検出部を備えている。また、同流
量計９１は、流量値Ｑ及び圧力値Ｐのうちの少なくとも
いずれかが各々の基準値Ｑref ，Ｐref を下回ったとき
に外部に警告信号を出力するように構成されている。そ
のため、流量を検出する機能しか持たない従来装置に比
べて、冷却水の異常発生（特にチップ抜け）に迅速に応
答することができる。よって、速やかに警告信号を外部
に出力することができ、速やかに溶接ガン５４等の非常
停止を実行することができる。ゆえに、溶接ガン５４が
次の溶接ポイントに移動する前に装置を停止させること
が可能となる。The characteristic effects of the present embodiment will be listed below. (A) The Karman vortex flow meter 91 includes not only the Karman flow rate detection unit but also a pressure detection unit. The flow meter 91 is configured to output a warning signal to the outside when at least one of the flow value Q and the pressure value P falls below each of the reference values Qref and Pref. Therefore, as compared with the conventional device having only the function of detecting the flow rate, it is possible to quickly respond to the occurrence of the abnormality of the cooling water (particularly, the chip missing). Therefore, a warning signal can be output to the outside promptly, and the emergency stop of the welding gun 54 and the like can be executed quickly. Therefore, it is possible to stop the apparatus before the welding gun 54 moves to the next welding point.

【００５６】（ロ）チェック弁７２を備える本実施形態
は、実施形態２において列挙した作用効果ロ，ハも奏す
る。 （ハ）本実施形態の流量計９１は、回転部分を持たない
形式のカルマン渦式流量検出部を備えているため、そも
そも鉄錆等の異物の混入に強いという特徴がある。従っ
て、冷却水に異物が混入しやすい環境下での使用、例え
ば鉄系配管を接続した状態での使用に適したものとな
る。また、この流量計９１は異物除去用の磁石８８を内
蔵しているため、冷却水中に含まれる鉄錆は吸着・除去
されてしまう。そのため、検出ユニット９９に鉄錆が詰
まることも未然に回避され、これによる装置の信頼性向
上が図られる。(B) The present embodiment provided with the check valve 72 also provides the operation effects b and c listed in the second embodiment. (C) Since the flow meter 91 of the present embodiment is provided with the Karman vortex type flow rate detecting unit having no rotating part, it has a feature that it is originally resistant to foreign matter such as iron rust. Therefore, it is suitable for use in an environment in which foreign matter is likely to be mixed in the cooling water, for example, in a state where an iron-based pipe is connected. Further, since the flow meter 91 has a built-in magnet 88 for removing foreign substances, iron rust contained in the cooling water is adsorbed and removed. Therefore, the detection unit 99 can be prevented from being clogged with iron rust, thereby improving the reliability of the apparatus.

【００５７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ことはなく、例えば次のような別の形態に変更すること
が可能である。 ◎ チェック弁７２を持たない実施形態１において、タ
ービン式流量計１と二次側ストップバルブと６３の間に
も二方弁６４を設け、チップ抜け時等に制御手段５９に
よりその二方弁６４を閉成させてもよい。このような構
成であると、背圧がかかっている場合でも漏出による冷
却水のロスを最小限に止めることができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be changed to another form as follows, for example. In the first embodiment without the check valve 72, a two-way valve 64 is also provided between the turbine type flow meter 1 and the secondary stop valve 63, and the control means 59 controls the two-way valve 64 when the chip comes off. May be closed. With such a configuration, even when a back pressure is applied, the loss of cooling water due to leakage can be minimized.

【００５８】◎ 実施形態３等において例示したチェッ
ク弁７２とは異なるタイプのもの、例えば逆流防止板７
５の代わりにチェックボールを使用したタイプのものを
逆流防止機構として採用してもよい。また、冷却水の慣
性の作用ではなくばね力の作用等によって開閉しうるチ
ェック弁を、逆流防止機構として採用することも可能で
ある。A type different from the check valve 72 exemplified in the third embodiment, for example, the backflow prevention plate 7
Instead of 5, a type using a check ball may be adopted as the backflow prevention mechanism. Further, a check valve that can be opened and closed by the action of a spring force or the like instead of the action of the inertia of the cooling water can be employed as the backflow prevention mechanism.

【００５９】◎ 実施形態１において、チェック弁７２
のような逆流防止機構をタービン式流量計１と別体に
し、それを同流量計１に外付けすることも許容される。 ◎ タービン式流量検出部を構成する磁気感知手段は、
実施形態１〜４において例示したＭＲセンサ１５のみに
限定されることはなく、それ以外のタイプのものであっ
てもよい。また、磁力変化に頼らない手法により回転数
を検出する感知手段を用いてもよい。In the first embodiment, the check valve 72
It is also permissible to provide such a backflow prevention mechanism separately from the turbine type flow meter 1 and to attach it externally to the flow meter 1. ◎ The magnetic sensing means that constitutes the turbine type flow detector
The present invention is not limited to only the MR sensor 15 exemplified in the first to fourth embodiments, but may be another type. Further, a sensing means for detecting the number of rotations by a method not relying on a magnetic force change may be used.

【００６０】◎ チェック弁７２の設置箇所は二次側ポ
ート８の近傍に限定されることはない。従って、タービ
ンユニット１１や検出ユニット９９よりも上流側に設置
されてもよい。ただし、この場合であっても、チェック
弁７２は圧力スイッチ３５等の圧力検出部よりも下流側
に配置されている必要がある。二次側配管５２に背圧が
かかっている場合、圧力スイッチ３５の一次側が開放状
態になっても背圧によりスイッチ部分の圧力が下がりき
らず、チップ抜け等を確実に検出できなくなるおそれが
あるからである。The installation location of the check valve 72 is not limited to the vicinity of the secondary port 8. Therefore, it may be installed upstream of the turbine unit 11 and the detection unit 99. However, even in this case, the check valve 72 needs to be disposed downstream of the pressure detection unit such as the pressure switch 35. When a back pressure is applied to the secondary pipe 52, even if the primary side of the pressure switch 35 is opened, the pressure of the switch portion may not completely decrease due to the back pressure, and it may not be possible to reliably detect chip detachment or the like. It is.

【００６１】◎ 圧力感知手段として圧力スイッチ３５
以外のものを用いてもよい。 ◎ 警告信号出力部は、実施形態１〜５のように実流量
値Ｑ及び実圧力値Ｐのうちの少なくともいずれかが各々
の下限値Ｑref ，Ｐref を下回るときに外部に警告信号
を出力するものに限定されない。例えば、流量値Ｑ及び
圧力値Ｐのうちの少なくともいずれかが各々の上限値を
上回るときに外部に警告信号を出力するものとしてもよ
い。また、下限値及び上限値からなる設定値の範囲から
逸脱したときに外部に警告信号を出力するものとしても
勿論よい。◎ Pressure switch 35 as pressure sensing means
Other than these may be used. The warning signal output unit outputs a warning signal to the outside when at least one of the actual flow rate value Q and the actual pressure value P falls below the lower limit values Qref and Pref as in the first to fifth embodiments. It is not limited to. For example, a warning signal may be output to the outside when at least one of the flow rate value Q and the pressure value P exceeds each upper limit value. Alternatively, a warning signal may be output to the outside when the value deviates from the range of the set value including the lower limit and the upper limit.

【００６２】◎ 溶接ガン５４内の流路が各チップ５５
毎に個々にある場合、実施形態１〜５のような流量計
１，７１，８１，８６，９１を２つ用い、それらを各流
路毎に別系統にして接続してもよい。The flow path in the welding gun 54 is
In the case where each flow path is individually provided, two flow meters 1, 71, 81, 86, and 91 as in the first to fifth embodiments may be used, and these may be connected to each flow path in a separate system.

【００６３】◎ 本発明は抵抗溶接機冷却システムに具
体化されるばかりでなく、それ以外の冷却を必要とする
機器（例えば真空用ドライポンプなど）の冷却システム
に具体化されても勿論よい。The present invention may be embodied not only in a resistance welding machine cooling system but also in a cooling system for other equipment requiring cooling (such as a vacuum dry pump).

【００６４】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 流体の流量を検出して得た実流量検出信号をＦ
／Ｖ変換及び積分処理した後にその補正実流量検出信号
を出力する流量検出部と、流体の圧力を検出して実圧力
検出信号を出力する圧力検出部と、前記補正実流量検出
信号に基づいて実流量値及びあらかじめ設定された基準
流量値の大小を比較し、前記実流量値が前記基準流量値
を下回るときに第１の判定信号を出力する第１の比較手
段と、前記実圧力検出信号に基づいて実圧力値及びあら
かじめ設定された基準圧力値の大小を比較し、前記実圧
力値が前記基準圧力値を下回るときに第２の判定信号を
出力する第２の比較手段と、前記第１の判定信号及び前
記第２の判定信号のうちの少なくともいずれを入力した
ときに外部に警告信号を出力する警告信号出力部とを備
えたことを特徴とする流量計。この構成であると、流体
の異常発生に対して迅速に応答し、速やかに警告信号を
外部に出力することができる。Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments are listed below together with their effects. (1) The actual flow rate detection signal obtained by detecting the fluid flow rate is expressed as F
A flow detection unit that outputs a corrected actual flow detection signal after the / V conversion and integration processing, a pressure detection unit that detects the pressure of the fluid and outputs an actual pressure detection signal, and First comparing means for comparing the actual flow value with a preset reference flow value, and outputting a first determination signal when the actual flow value is lower than the reference flow value; Second comparing means for comparing the magnitude of the actual pressure value and a preset reference pressure value based on the second comparison signal, and outputting a second determination signal when the actual pressure value is lower than the reference pressure value; and And a warning signal output unit that outputs a warning signal to the outside when at least one of the first determination signal and the second determination signal is input. With this configuration, it is possible to promptly respond to the occurrence of an abnormality in the fluid and quickly output a warning signal to the outside.

【００６５】（２） 流体の流量を検出して得た実流量
検出信号をＦ／Ｖ変換及び積分処理した後にその補正実
流量検出信号を出力する流量検出部と、流体の圧力を検
出することで得られた実圧力検出信号に基づいて実圧力
値及びあらかじめ設定された基準圧力値の大小を比較
し、前記実圧力値が前記基準圧力値よりも下回るときに
第２の判定信号を出力する圧力検出部と、前記補正実流
量検出信号に基づいて実流量値及びあらかじめ設定され
た基準流量値の大小を比較し、前記実流量値が前記基準
流量値を下回るときに第１の判定信号を出力する第１の
比較手段と、前記第１の判定信号及び前記第２の判定信
号のうちの少なくともいずれを入力したときに外部に警
告信号を出力する警告信号出力部とを備えたことを特徴
とする流量計。この構成であると、流体の異常発生に対
して迅速に応答し、速やかに警告信号を外部に出力する
ことができる。(2) F / V conversion and integration processing of the actual flow detection signal obtained by detecting the flow rate of the fluid, and a flow detecting section for outputting a corrected actual flow detection signal, and detecting the pressure of the fluid. The actual pressure value is compared with a preset reference pressure value based on the actual pressure detection signal obtained in step 2, and a second determination signal is output when the actual pressure value is lower than the reference pressure value. A pressure detector, compares the magnitude of the actual flow value and a preset reference flow value based on the corrected actual flow detection signal, and generates a first determination signal when the actual flow value falls below the reference flow value. A first comparing unit that outputs a warning signal; and a warning signal output unit that outputs a warning signal to the outside when at least one of the first determination signal and the second determination signal is input. And flow meter. With this configuration, it is possible to promptly respond to the occurrence of an abnormality in the fluid and quickly output a warning signal to the outside.

【００６６】（３） 請求項４，５において、前記圧力
検出部は前記流量検出部の下流側にあり、前記逆流防止
機構は前記圧力検出部の下流側にあることを特徴とする
流量計。この構成であると、背圧作用時においても確実
に検出を実行することができる。 （４） 請求項５において、前記チェック弁は、連通孔
が形成された流路板と、軸部が前記流路板の筒状部に対
して挿通されることで同流路板に対して相対移動可能な
逆流防止板と、前記逆流防止板に取り付けられるととも
に前記連通孔を閉塞しうるゴムシートと、前記流路板の
軸部の先端に装着されるとともに前記流路板からの前記
逆流防止板の抜け出しを防止する止め輪とからなること
を特徴とする流量計。この構成であると、流体の慣性の
作用によって逆流防止板が所定方向に移動することでゴ
ムシートが流路板に対して離接する結果、チェック弁を
確実に開閉させることができる。(3) The flowmeter according to claims 4 or 5, wherein the pressure detector is located downstream of the flow detector, and the backflow prevention mechanism is located downstream of the pressure detector. With this configuration, the detection can be reliably performed even when the back pressure is applied. (4) The check valve according to claim 5, wherein the check valve is provided on the flow path plate in which the communication hole is formed, and the shaft portion is inserted into a cylindrical portion of the flow path plate. A backflow prevention plate that is relatively movable; a rubber sheet attached to the backflow prevention plate and capable of closing the communication hole; and a backflow from the flow passage plate, which is attached to a tip of a shaft portion of the flow passage plate. A flow meter comprising a retaining ring for preventing the prevention plate from coming off. With this configuration, the backflow prevention plate moves in a predetermined direction by the action of the inertia of the fluid, so that the rubber sheet separates from and comes into contact with the flow path plate, so that the check valve can be reliably opened and closed.

【００６７】（５） 冷却用流体が供給される一次側配
管と前記冷却用流体が排出される二次側配管とをつなぐ
流路上に冷却を必要とする機器を設けるとともに、その
機器の下流側に請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
流量計を配置し、前記一次側配管と前記機器との間に電
磁弁を設け、前記流量計からの警告信号に基づいて前記
電磁弁を閉成する制御手段を設けたことを特徴とする冷
却システム。この構成であると、電磁弁の閉成によって
流路がただちに遮断されるため、漏出による冷却用流体
のロスを最小限に止めることができる。(5) A device that requires cooling is provided on a flow path connecting a primary pipe to which a cooling fluid is supplied and a secondary pipe from which the cooling fluid is discharged, and a downstream side of the device is provided. The flowmeter according to any one of claims 1 to 6 is arranged, an electromagnetic valve is provided between the primary pipe and the device, and the electromagnetic valve is set based on a warning signal from the flowmeter. A cooling system comprising a closing control means. With this configuration, the flow path is immediately shut off by closing the solenoid valve, so that the loss of the cooling fluid due to leakage can be minimized.

【００６８】（６） 技術的思想５において、前記冷却
を必要とする機器は溶接ガンを有する自動抵抗溶接機で
あって、前記制御手段はガンアーム開閉駆動手段及び溶
接ガン駆動手段に対して非常停止信号を出力するように
構成されていることを特徴とする抵抗溶接機冷却システ
ム。この構成であると、チップ抜け等の発生時にガンア
ーム及び溶接ガンをただちに停止させることができる。(6) In the technical idea 5, the equipment requiring cooling is an automatic resistance welding machine having a welding gun, and the control means is an emergency stop for the gun arm opening / closing driving means and the welding gun driving means. A resistance welding machine cooling system configured to output a signal. With this configuration, the gun arm and the welding gun can be immediately stopped when a chip comes off or the like.

【００６９】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「流体： 冷却などに用いられる水、油等の液体をいう
ほか、窒素、酸素、二酸化炭素等の気体を含む。」The technical terms used in this specification are defined as follows. "Fluid: refers to liquids such as water and oil used for cooling, etc., and also includes gases such as nitrogen, oxygen and carbon dioxide."

【００７０】[0070]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜６に記
載の発明によれば、流体の異常発生に対して迅速に応答
し、速やかに警告信号を外部に出力することができる流
量計を提供することができる。As described above in detail, according to the first to sixth aspects of the present invention, the flow rate which can promptly respond to the occurrence of an abnormality in the fluid and promptly output a warning signal to the outside. Meter can be provided.

【００７１】請求項２に記載の発明によれば、振動があ
る環境下での使用に適し、低圧力損失かつ測定可能エリ
アが広い流量計とすることができる。請求項３に記載の
発明によれば、流体に異物が混入しやすい環境下での使
用に適した流量計とすることができる。According to the second aspect of the present invention, it is possible to provide a flow meter which is suitable for use in an environment having vibration, has a low pressure loss, and has a wide measurable area. According to the third aspect of the present invention, it is possible to provide a flow meter suitable for use in an environment in which foreign matter is likely to be mixed into a fluid.

【００７２】請求項４に記載の発明によれば、チップ抜
け等が発生したときでも流体の漏出をただちに食い止め
て、流体のロスを最小限に止めることができる。請求項
５，６に記載の発明によれば、信頼性の向上及び圧力損
失の低減を図ることができる。According to the fourth aspect of the present invention, even when a chip comes off, the leakage of the fluid can be immediately stopped, and the loss of the fluid can be minimized. According to the fifth and sixth aspects of the present invention, it is possible to improve reliability and reduce pressure loss.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明を具体化した実施形態１の流量計を示す
断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a flow meter according to a first embodiment of the invention.

【図２】図１の流量計のタービンユニットを示す部分破
断斜視図。FIG. 2 is a partially broken perspective view showing a turbine unit of the flow meter of FIG.

【図３】図１の流量計を使用した抵抗溶接機冷却システ
ムを示すブロック図。FIG. 3 is a block diagram showing a resistance welding machine cooling system using the flow meter of FIG. 1;

【図４】（ａ）は目詰まり等発生時における冷却水の実
流量値の経時的変化の様子、（ｂ）はチップ抜け等発生
時における冷却水の実流量値の経時的変化の様子、
（ｃ）はチップ抜け等発生時における冷却水の実圧力値
の経時的変化の様子をそれぞれ示すグラフである。FIG. 4 (a) shows a temporal change in the actual flow rate of the cooling water when clogging or the like occurs, and FIG. 4 (b) shows a temporal change in the actual flow rate of the cooling water when a chip comes off or the like;
(C) is a graph showing how the actual pressure value of the cooling water changes with time when a chip is missing or the like.

【図５】実施形態２の流量計を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a flow meter according to a second embodiment.

【図６】図５の流量計におけるチェック弁の分解斜視
図。6 is an exploded perspective view of a check valve in the flow meter of FIG.

【図７】図５の流量計を使用した抵抗溶接機冷却システ
ムを示すブロック図。FIG. 7 is a block diagram illustrating a resistance welding machine cooling system using the flow meter of FIG. 5;

【図８】実施形態３の流量計を使用した抵抗溶接機冷却
システムを示すブロック図。FIG. 8 is a block diagram showing a resistance welding machine cooling system using the flow meter according to the third embodiment.

【図９】実施形態４の流量計を示す断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a flow meter according to a fourth embodiment.

【図１０】実施形態５の流量計を示す断面図。FIG. 10 is a sectional view showing a flow meter according to a fifth embodiment.

【図１１】従来の流量計を示す断面図。FIG. 11 is a sectional view showing a conventional flow meter.

【図１２】実際の冷却水の流量の時間的変化と、流量計
が外部に出力する検出信号の時間的変化との関係を説明
するためのグラフ。FIG. 12 is a graph for explaining the relationship between the temporal change of the actual flow rate of the cooling water and the temporal change of the detection signal output from the flow meter to the outside.

【図１３】従来の流量計を使用した抵抗溶接機冷却シス
テムを示すブロック図。FIG. 13 is a block diagram showing a conventional resistance welding machine cooling system using a flow meter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，７１，８１，８６…タービン式流量計、７…一次側
ポート、１１…タービン式流量検出部の一部であるター
ビンユニット、１５…タービン式流量検出部の一部であ
るＭＲセンサ、２０…固定翼、２１…回転翼、３１…流
量検出部の一部である積分器、３２…流量検出部の一部
であるＦ／Ｖ変換器、３３…圧力検出部を構成する導圧
孔、３５，８３…圧力検出部を構成する圧力スイッチ、
４１…警告信号出力部としてのオア回路、５０，７０，
８０…（抵抗溶接機）冷却システム、５１…一次側配
管、５２…二次側配管、５３…流路、５４…冷却を必要
とする機器としての抵抗溶接機の溶接ガン、５９…制御
手段、７２…逆流防止機構としてのチェック弁、８８…
磁石、９１…カルマン渦式流量計、９７…渦発生体、９
８…渦検出体、９９…カルマン渦式流量検出部の一部で
ある検出ユニット、Ｒ…分割流路。1, 71, 81, 86: Turbine flow meter, 7: Primary port, 11: Turbine unit which is a part of turbine type flow detector, 15: MR sensor which is a part of turbine type flow detector, 20 ... fixed wing, 21 ... rotating wing, 31 ... integrator which is a part of the flow detecting unit, 32 ... F / V converter which is a part of the flow detecting unit, 33 ... pressure guiding hole which constitutes a pressure detecting unit, 35, 83 ... pressure switches constituting a pressure detection unit,
41: OR circuit as a warning signal output unit, 50, 70,
80 (resistance welding machine) cooling system, 51 ... primary side piping, 52 ... secondary side piping, 53 ... flow path, 54 ... welding gun of resistance welding machine as equipment requiring cooling, 59 ... control means, 72 ... check valve as backflow prevention mechanism, 88 ...
Magnet, 91: Karman vortex flow meter, 97: vortex generator, 9
Reference numeral 8 denotes a vortex detector, 99 denotes a detection unit which is a part of the Karman vortex flow rate detection unit, and R denotes a divided flow path.

フロントページの続き (72)発明者 佐藤 益矛 愛知県小牧市大字北外山字早崎3005番地 シーケーディ 株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Masatsugu Sato 3005 Hayasaki, Kokugaiyama, Komaki City, Aichi Prefecture Inside CK Corporation

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】流体が供給される一次側配管と前記流体が
排出される二次側配管とをつなぐ流路上に、冷却を必要
とする機器とともに設けられる流量計において、 前記流体の流量を検出する流量検出部と、前記流体の圧
力を検出する圧力検出部と、流量値及び圧力値のうちの
少なくともいずれかが各々の設定値の範囲から逸脱した
ときに外部に警告信号を出力する警告信号出力部とを備
えたことを特徴とする流量計。1. A flowmeter provided with a device requiring cooling on a flow path connecting a primary pipe to which a fluid is supplied and a secondary pipe from which the fluid is discharged, wherein a flow rate of the fluid is detected. A flow detection unit, a pressure detection unit that detects the pressure of the fluid, and a warning signal that outputs a warning signal to the outside when at least one of the flow rate value and the pressure value deviates from the range of each set value. A flow meter comprising an output unit. 【請求項２】前記流量検出部は、複数の分割流路を持つ
固定翼と、前記固定翼の下流側に配置された回転翼とを
有し、前記分割流路を通過することで回転運動を与えら
れた前記流体の作用により前記固定翼を回転させ、その
回転数に基づき前記流体の流量を検出するようにしたタ
ービン式流量検出部であることを特徴とする請求項１に
記載の流量計。2. The apparatus according to claim 1, wherein the flow rate detection unit includes a fixed blade having a plurality of divided flow paths and a rotating blade disposed downstream of the fixed blade. 2. The flow rate according to claim 1, wherein the flow rate of the fluid is a turbine type flow rate detection unit configured to rotate the fixed wing by the action of the fluid given the flow rate and detect the flow rate of the fluid based on the rotation speed. Total. 【請求項３】前記流量検出部は、カルマン渦を発生させ
るための渦発生体と、前記渦発生体の下流側において前
記カルマン渦を検出する渦検出体とを有し、前記カルマ
ン渦の発生状況に基づき前記流体の流量を検出するよう
にしたカルマン渦式流量検出部であることを特徴とする
請求項１に記載の流量計。3. The flow rate detecting section includes a vortex generator for generating a Karman vortex, and a vortex detector for detecting the Karman vortex downstream of the vortex generator, wherein the Karman vortex is generated. The flow meter according to claim 1, wherein the flow meter is a Karman vortex flow rate detection unit configured to detect a flow rate of the fluid based on a situation. 【請求項４】前記流体の逆流を防止するための逆流防止
機構を内蔵したことを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか１項に記載の流量計。4. The flowmeter according to claim 1, further comprising a backflow prevention mechanism for preventing a backflow of the fluid. 【請求項５】前記逆流防止機構は、前記流体の慣性の作
用のみによって開閉しうるチェック弁であることを特徴
とする請求項４に記載の流量計。5. The flowmeter according to claim 4, wherein the backflow prevention mechanism is a check valve that can be opened and closed only by the inertia of the fluid. 【請求項６】前記流体が流入する一次側ポートに異物除
去用の磁石を内蔵したことを特徴とする請求項１乃至５
のいずれか１項に記載の流量計。6. The apparatus according to claim 1, wherein a magnet for removing foreign matter is built in the primary port into which the fluid flows.
The flow meter according to any one of claims 1 to 4.