JPH1177562A - 移動ロボット - Google Patents
移動ロボットInfo
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- JPH1177562A JPH1177562A JP9245793A JP24579397A JPH1177562A JP H1177562 A JPH1177562 A JP H1177562A JP 9245793 A JP9245793 A JP 9245793A JP 24579397 A JP24579397 A JP 24579397A JP H1177562 A JPH1177562 A JP H1177562A
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 視覚マーク上に部分的な影がでていても視覚
マーク上の照度差に左右されず、データを正確に読み取
ることができ、精度の高いハンドリング位置決めを行う
ことができ、ハンドリングテスト手段を有する移動ロボ
ットを提供する。 【解決手段】 視覚補正を行う移動ロボット1におい
て、視覚マークの照明に影があり輝度差があるときで
も、回転式偏光フィルタ6を使うことによりカメラ5に
よるパターンデータ読みとり時の輝度差を小さくし、デ
ータ読み取りエラーが小さく、正確な視覚補正を行う。
また、視覚マークを移動ロボット1に貼り付け、アーム
との相対位置のズレをなくしたハンドリングテスト手段
を持つ。
マーク上の照度差に左右されず、データを正確に読み取
ることができ、精度の高いハンドリング位置決めを行う
ことができ、ハンドリングテスト手段を有する移動ロボ
ットを提供する。 【解決手段】 視覚補正を行う移動ロボット1におい
て、視覚マークの照明に影があり輝度差があるときで
も、回転式偏光フィルタ6を使うことによりカメラ5に
よるパターンデータ読みとり時の輝度差を小さくし、デ
ータ読み取りエラーが小さく、正確な視覚補正を行う。
また、視覚マークを移動ロボット1に貼り付け、アーム
との相対位置のズレをなくしたハンドリングテスト手段
を持つ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内の半導体のウエーハプロセスで使われる移動ロボット
に関する。
内の半導体のウエーハプロセスで使われる移動ロボット
に関する。
【0002】
【従来の技術】クリーンルーム内で行われる半導体のウ
エーハプロセスは、数百工程にもおよぶバッチ処理であ
る。この処理のために、当初は人がウエーハカセットを
装置から装置へと運んでいた。ところが作業者が最大の
汚染源であるため生産の歩留まり管理を人手で行うこと
にも限界があり、また省力化のためにもクリーンルーム
内搬送の完全自動化が望まれ、自動搬送車が使用される
ようになった。
エーハプロセスは、数百工程にもおよぶバッチ処理であ
る。この処理のために、当初は人がウエーハカセットを
装置から装置へと運んでいた。ところが作業者が最大の
汚染源であるため生産の歩留まり管理を人手で行うこと
にも限界があり、また省力化のためにもクリーンルーム
内搬送の完全自動化が望まれ、自動搬送車が使用される
ようになった。
【0003】その後、搬送効率の向上、完全無軌道化、
搬送中のウエーハカセットへの振動の低減、フレキシブ
ルなハンドリングなどの要望が大きくなり、超音波セン
サにより走行路周囲の物体状況を測定し、それにより得
た情報から自分の位置を認識し、自立走行する誘導方式
の移動ロボットの使用が一般的となっている。この移動
ロボットは、搭載した6軸垂直多関節ロボットアームに
より、地上装置との間で搬送物の移載を行う。
搬送中のウエーハカセットへの振動の低減、フレキシブ
ルなハンドリングなどの要望が大きくなり、超音波セン
サにより走行路周囲の物体状況を測定し、それにより得
た情報から自分の位置を認識し、自立走行する誘導方式
の移動ロボットの使用が一般的となっている。この移動
ロボットは、搭載した6軸垂直多関節ロボットアームに
より、地上装置との間で搬送物の移載を行う。
【0004】また、この移動ロボットは、停止誤差によ
る位置ズレ、走行路面の凹凸や搬送物の偏荷重による車
体の傾きなどによる姿勢ズレを補正するため、搭載アー
ムにCCDカメラによる3次元視覚補正機能を搭載して
いる。この3次元視覚補正機能は、ティーチング時に移
動ロボットを所定の位置に正確に停止させ、このときの
地上設備に貼り付けた視覚マークの状態を教えておき、
次に自動運行によって停止したとき、再度この視覚マー
クをチェックすることにより、ティーチング時とのズレ
を高速に検出して、停止位置やアーム動作を補正する機
能である。
る位置ズレ、走行路面の凹凸や搬送物の偏荷重による車
体の傾きなどによる姿勢ズレを補正するため、搭載アー
ムにCCDカメラによる3次元視覚補正機能を搭載して
いる。この3次元視覚補正機能は、ティーチング時に移
動ロボットを所定の位置に正確に停止させ、このときの
地上設備に貼り付けた視覚マークの状態を教えておき、
次に自動運行によって停止したとき、再度この視覚マー
クをチェックすることにより、ティーチング時とのズレ
を高速に検出して、停止位置やアーム動作を補正する機
能である。
【0005】この補正機能によって、どのような状態で
あってもハンドリング位置決め精度の高いハンドリング
が可能となる。視覚マークは、床面や半導体製造装置
(以下、装置と略称する)などの地上設備の水平面、垂
直面等のどちらにも貼ることができ、ステーション毎に
水平、垂直を混在させることも可能である。
あってもハンドリング位置決め精度の高いハンドリング
が可能となる。視覚マークは、床面や半導体製造装置
(以下、装置と略称する)などの地上設備の水平面、垂
直面等のどちらにも貼ることができ、ステーション毎に
水平、垂直を混在させることも可能である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述の方法に
は、照明の変化などによりハンドリング位置補正用の視
覚マーク上に非定常的に部分的な影がでるようなとき、
視覚補正精度に悪影響を与え、ハンドリング異常の原因
となるという課題がある。
は、照明の変化などによりハンドリング位置補正用の視
覚マーク上に非定常的に部分的な影がでるようなとき、
視覚補正精度に悪影響を与え、ハンドリング異常の原因
となるという課題がある。
【0007】また、視覚マークを正しく認識できずハン
ドリング異常が発生したとき、その原因を特定すること
が困難であるという課題もある。
ドリング異常が発生したとき、その原因を特定すること
が困難であるという課題もある。
【0008】本発明はこのような背景の下になされたも
ので、視覚マーク上に部分的な影がでていても視覚マー
ク上の照度差に左右されずデータを正確に読み取ること
ができ、精度の高いハンドリング位置決めを行うことが
できる移動ロボットを提供することを第1の目的とす
る。
ので、視覚マーク上に部分的な影がでていても視覚マー
ク上の照度差に左右されずデータを正確に読み取ること
ができ、精度の高いハンドリング位置決めを行うことが
できる移動ロボットを提供することを第1の目的とす
る。
【0009】また、視覚マークを正しく認識することが
できなかったとき、その原因調査を行う機能を持つ移動
ロボットを提供することを第2の目的とする。
できなかったとき、その原因調査を行う機能を持つ移動
ロボットを提供することを第2の目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、予め視覚マークのパターンデータをティーチング
し、実ハンドリング時の視覚マークのパターンデータと
の誤差データによってハンドリング位置の視覚補正を行
う移動ロボットにおいて、前記視覚マークの各部の輝度
を測定する輝度計と、前記各部の輝度データの差を計算
し、この輝度データの差が許容範囲内かどうかを判断す
る輝度差演算部と、前記視覚マークのパターンデータを
読み取るカメラと、該カメラに入射する偏光量を調節す
る回転式の偏光フィルタと、該偏光フィルタの回転量を
規定する回転量演算部と、該回転量演算部により制御さ
れ偏光フィルタを回転させる駆動部とを具備してなる移
動ロボットを提供する。
は、予め視覚マークのパターンデータをティーチング
し、実ハンドリング時の視覚マークのパターンデータと
の誤差データによってハンドリング位置の視覚補正を行
う移動ロボットにおいて、前記視覚マークの各部の輝度
を測定する輝度計と、前記各部の輝度データの差を計算
し、この輝度データの差が許容範囲内かどうかを判断す
る輝度差演算部と、前記視覚マークのパターンデータを
読み取るカメラと、該カメラに入射する偏光量を調節す
る回転式の偏光フィルタと、該偏光フィルタの回転量を
規定する回転量演算部と、該回転量演算部により制御さ
れ偏光フィルタを回転させる駆動部とを具備してなる移
動ロボットを提供する。
【0011】請求項2に記載の発明は、前記カメラがC
CDカメラであることを特徴とする請求項1に記載の移
動ロボットを提供する。
CDカメラであることを特徴とする請求項1に記載の移
動ロボットを提供する。
【0012】請求項3に記載の発明は、移動ロボットの
本体に視覚マークを貼り付け、該視覚マークを使ってハ
ンドリングテストを行うことを特徴とする請求項1また
は2に記載の移動ロボットを提供する。
本体に視覚マークを貼り付け、該視覚マークを使ってハ
ンドリングテストを行うことを特徴とする請求項1また
は2に記載の移動ロボットを提供する。
【0013】請求項4に記載の発明は、前記ハンドリン
グテストが、実稼働状態のハンドリング異常に対して行
うテストであることを特徴とする請求項3に記載の移動
ロボットを提供する。
グテストが、実稼働状態のハンドリング異常に対して行
うテストであることを特徴とする請求項3に記載の移動
ロボットを提供する。
【0014】請求項5に記載の発明は、前記ハンドリン
グテストが、日常点検時に行うテストであることを特徴
とする請求項3に記載の移動ロボットを提供する。
グテストが、日常点検時に行うテストであることを特徴
とする請求項3に記載の移動ロボットを提供する。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の第1の実施形態
について図1から図3を参照しながら説明する。図1は
この発明の第1の実施形態による移動ロボットの概略図
である。この図において、符号1は移動ロボット本体で
あり、複数の関節を持つアーム2が取り付けられてお
り、このアーム2の先端のフィンガ3により対象物とし
てウエーハカセット4のハンドリングを行う。さらに前
記アーム2の先端部にはCCDカメラ5と回転式偏光フ
ィルタ6とこの偏光フィルタ6を回転させる偏光フィル
タ回転モータ7が配設され、前記CCDカメラの出力信
号は輝度データおよび偏光フィルタ回転量演算部8によ
って演算処理される。
について図1から図3を参照しながら説明する。図1は
この発明の第1の実施形態による移動ロボットの概略図
である。この図において、符号1は移動ロボット本体で
あり、複数の関節を持つアーム2が取り付けられてお
り、このアーム2の先端のフィンガ3により対象物とし
てウエーハカセット4のハンドリングを行う。さらに前
記アーム2の先端部にはCCDカメラ5と回転式偏光フ
ィルタ6とこの偏光フィルタ6を回転させる偏光フィル
タ回転モータ7が配設され、前記CCDカメラの出力信
号は輝度データおよび偏光フィルタ回転量演算部8によ
って演算処理される。
【0016】このような構成の移動ロボットの停止位置
決めに使う視覚マークの例を図2(a)に示す。この図
において符号11は視覚マークであり、領域A,Bおよ
びCにそれぞれ図に示すような2つづつの円形のマーク
によって構成されており、この視覚マーク11を装置ま
たは床面などの地上設備に貼り付け、前記移動ロボット
1のCCDカメラ5によってこの視覚マーク11の図形
を読み取ることにより、前記移動ロボットのアーム2の
視覚マーク11に対する相対位置を常に所定位置とする
ことができる。
決めに使う視覚マークの例を図2(a)に示す。この図
において符号11は視覚マークであり、領域A,Bおよ
びCにそれぞれ図に示すような2つづつの円形のマーク
によって構成されており、この視覚マーク11を装置ま
たは床面などの地上設備に貼り付け、前記移動ロボット
1のCCDカメラ5によってこの視覚マーク11の図形
を読み取ることにより、前記移動ロボットのアーム2の
視覚マーク11に対する相対位置を常に所定位置とする
ことができる。
【0017】ところが図2(b)に示すように、視覚マ
ーク11に照明光源との間に侵入した障害物等によっ
て、例えば、符号12に示すような影の領域が生じるこ
とがある。この領域12に示す影によって、前記視覚マ
ーク11の領域Cの2つの円形マークおよび領域Bのマ
ークの一部がCCDカメラによる視覚マーク11の読み
とりに際し照度の低下を来たし、視覚マーク11の各領
域間で照度差が発生する。
ーク11に照明光源との間に侵入した障害物等によっ
て、例えば、符号12に示すような影の領域が生じるこ
とがある。この領域12に示す影によって、前記視覚マ
ーク11の領域Cの2つの円形マークおよび領域Bのマ
ークの一部がCCDカメラによる視覚マーク11の読み
とりに際し照度の低下を来たし、視覚マーク11の各領
域間で照度差が発生する。
【0018】この現象により、ロボット1にハンドリン
グ動作をティーチングした時と、実際にロボット1がハ
ンドリング動作を行った時との間で、CCDカメラ5が
取り込んだデータを回帰演算して求めた視覚マーク11
の重心位置が変化して視覚補正誤差が大きくなり、ロボ
ット1のハンドリングミスにつながる。
グ動作をティーチングした時と、実際にロボット1がハ
ンドリング動作を行った時との間で、CCDカメラ5が
取り込んだデータを回帰演算して求めた視覚マーク11
の重心位置が変化して視覚補正誤差が大きくなり、ロボ
ット1のハンドリングミスにつながる。
【0019】このような状態の時の本発明による第1の
実施形態の動作を図3に示すフロー図を参照して説明す
る。ロボット1が移動指令により移動して停止すると、
まず、ステップs11においてCCDカメラによりA、
B、C各領域の画像マークデータが取り込まれ、ステッ
プs12において標本点があるか否かを判定する。も
し、標本点がなければステップs11に戻って画像入力
をやり直し、標本点があればステップs13においてロ
ボット1のアーム2の先端に取り付けられているCCD
カメラ5に内蔵(あるいは外付け)されている輝度計に
よって視覚マーク11の領域A,BおよびCの各マーク
の輝度が計測される。
実施形態の動作を図3に示すフロー図を参照して説明す
る。ロボット1が移動指令により移動して停止すると、
まず、ステップs11においてCCDカメラによりA、
B、C各領域の画像マークデータが取り込まれ、ステッ
プs12において標本点があるか否かを判定する。も
し、標本点がなければステップs11に戻って画像入力
をやり直し、標本点があればステップs13においてロ
ボット1のアーム2の先端に取り付けられているCCD
カメラ5に内蔵(あるいは外付け)されている輝度計に
よって視覚マーク11の領域A,BおよびCの各マーク
の輝度が計測される。
【0020】このとき、図2(b)に示すような影の領
域12があった場合、A,B,C各領域間で輝度差を生
じているので、輝度データおよび偏光フィルタ回転量演
算部8によって各領域間の輝度差が計算され、ステップ
s14において、各領域間の輝度差が規定値以内である
かどうかが判定される。この輝度差の判定結果がロボッ
トのティーチング時と比較して規定値以内であれば、視
覚補正精度に悪影響を与えることはないので、ステップ
s16において、前記標本点の重心の計算を行う。この
ステップs11からs16の動作はステップs17によ
って指定回数だけ繰り返される。
域12があった場合、A,B,C各領域間で輝度差を生
じているので、輝度データおよび偏光フィルタ回転量演
算部8によって各領域間の輝度差が計算され、ステップ
s14において、各領域間の輝度差が規定値以内である
かどうかが判定される。この輝度差の判定結果がロボッ
トのティーチング時と比較して規定値以内であれば、視
覚補正精度に悪影響を与えることはないので、ステップ
s16において、前記標本点の重心の計算を行う。この
ステップs11からs16の動作はステップs17によ
って指定回数だけ繰り返される。
【0021】もし、前記前記輝度差の判定結果が規定値
以上であれば、ステップs15において、偏光フィルタ
回転モータ7によって回転式偏光フィルタ6が所定角度
だけ回転され、再度ステップs11の画像入力、ステッ
プs12の標本点の有無の判定、ステップs13の輝度
測定が行われ、この輝度差が規定値内になるまで、ステ
ップs11〜ステップs15の動作が繰り返される。
以上であれば、ステップs15において、偏光フィルタ
回転モータ7によって回転式偏光フィルタ6が所定角度
だけ回転され、再度ステップs11の画像入力、ステッ
プs12の標本点の有無の判定、ステップs13の輝度
測定が行われ、この輝度差が規定値内になるまで、ステ
ップs11〜ステップs15の動作が繰り返される。
【0022】このように偏光フィルタの角度を変えるこ
とにより、CCDカメラ5に入射される偏光量を変える
ことができるため、視覚マーク11上に部分的な影がで
きて、視覚マーク11の各部にロボットのティーチング
時より大きな輝度差が発生しても、CCDカメラ5に達
するデータの輝度差を小さくすることができ、ロボット
ハンドリング位置の視覚補正精度を維持することができ
る。
とにより、CCDカメラ5に入射される偏光量を変える
ことができるため、視覚マーク11上に部分的な影がで
きて、視覚マーク11の各部にロボットのティーチング
時より大きな輝度差が発生しても、CCDカメラ5に達
するデータの輝度差を小さくすることができ、ロボット
ハンドリング位置の視覚補正精度を維持することができ
る。
【0023】次に、ステップs18において前記指定回
数だけ繰り返した重心計算の結果の平均値を計算し、ス
テップs19において、3次元位置の姿勢計算を行っ
て、一連の動作を終了する。
数だけ繰り返した重心計算の結果の平均値を計算し、ス
テップs19において、3次元位置の姿勢計算を行っ
て、一連の動作を終了する。
【0024】次に、この発明の第2の実施形態につい
て、図4から図6を参照して説明する。この実施形態に
よれば、上述の第1の実施形態によるデータ補正によっ
てもハンドリング異常が起こる場合の原因が、外部環境
の変化によるものか、内部構成品の劣化による誤動作な
のかを究明することができる。
て、図4から図6を参照して説明する。この実施形態に
よれば、上述の第1の実施形態によるデータ補正によっ
てもハンドリング異常が起こる場合の原因が、外部環境
の変化によるものか、内部構成品の劣化による誤動作な
のかを究明することができる。
【0025】図4において、符号1は移動ロボットの上
面図であり、図示のようにこの移動ロボット1の任意の
位置に視覚マーク11を貼り付ける。但し、貼り付け場
所はアーム2の位置、姿勢との相対関係が変化しない場
所でなければならない。また、この移動ロボット1には
「補正異常調査」画面を持つ図示していないコンソール
を有しているものとする。
面図であり、図示のようにこの移動ロボット1の任意の
位置に視覚マーク11を貼り付ける。但し、貼り付け場
所はアーム2の位置、姿勢との相対関係が変化しない場
所でなければならない。また、この移動ロボット1には
「補正異常調査」画面を持つ図示していないコンソール
を有しているものとする。
【0026】このような構成による移動ロボット1にお
いて、ハンドリング異常が発生した場合、異常が発生し
た位置において、この移動ロボット1の持っているコン
ソールにより「補正異常調査」画面に入り、図5に示す
異常発生時のフロー図のステップs21で、ロボット本
体上の視覚マーク11による補正によって荷台上のハン
ドリングを行い、その結果をステップs22において判
定し、ハンドリング結果が正常であればステップs23
において、ハンドリング異常発生場所特有の原因調査を
行う。
いて、ハンドリング異常が発生した場合、異常が発生し
た位置において、この移動ロボット1の持っているコン
ソールにより「補正異常調査」画面に入り、図5に示す
異常発生時のフロー図のステップs21で、ロボット本
体上の視覚マーク11による補正によって荷台上のハン
ドリングを行い、その結果をステップs22において判
定し、ハンドリング結果が正常であればステップs23
において、ハンドリング異常発生場所特有の原因調査を
行う。
【0027】前記ステップs22においてハンドリング
結果の判定が異常であれば、ステップs24において、
ロボット本体上の視覚マークによる視覚補正無しで荷台
上のハンドリングを行い、その結果によって原因個所の
特定を行う。即ち、ステップs25においてハンドリン
グ結果が正常であれば、ステップs26において視覚マ
ークに対する照度や影が前記第1の実施形態によって対
応できる範囲を超えていないかどうかを検討し、もし範
囲外であれば照明等を改善する。また、ステップs25
においてハンドリング結果が正常でなければ、内部構成
品の異常の可能性ありとして、ステップs27において
アーム2の軸ズレ、CCDカメラ5関係の異常および制
御部の異常をチェックする。
結果の判定が異常であれば、ステップs24において、
ロボット本体上の視覚マークによる視覚補正無しで荷台
上のハンドリングを行い、その結果によって原因個所の
特定を行う。即ち、ステップs25においてハンドリン
グ結果が正常であれば、ステップs26において視覚マ
ークに対する照度や影が前記第1の実施形態によって対
応できる範囲を超えていないかどうかを検討し、もし範
囲外であれば照明等を改善する。また、ステップs25
においてハンドリング結果が正常でなければ、内部構成
品の異常の可能性ありとして、ステップs27において
アーム2の軸ズレ、CCDカメラ5関係の異常および制
御部の異常をチェックする。
【0028】次に、図4および図6により、日常点検時
の動作フロー図について説明する。この図において、ス
テップs31でロボット本体上の視覚マーク11による
補正によって荷台上のハンドリングを行い、ステップs
32における判定結果が正常であれば、その時点で日常
点検を終了する。ステップs32の判定結果が正常でな
い場合は、ステップs33において視覚補正無しで荷台
上のハンドリングを行い、その結果によって異常個所の
限定を行う。
の動作フロー図について説明する。この図において、ス
テップs31でロボット本体上の視覚マーク11による
補正によって荷台上のハンドリングを行い、ステップs
32における判定結果が正常であれば、その時点で日常
点検を終了する。ステップs32の判定結果が正常でな
い場合は、ステップs33において視覚補正無しで荷台
上のハンドリングを行い、その結果によって異常個所の
限定を行う。
【0029】即ち、ステップs34において、ステップ
s33のハンドリング結果が正常であれば、ステップs
35において視覚マークに対する照度や影が前記第1の
実施形態によって対応できる範囲を超えていないかどう
かを検討し、もし範囲外であれば照明等を改善する。ま
た、ステップs34において、ステップs33のハンド
リング結果が正常でなければ内部構成品の異常の可能性
があるので、ステップs36においてアーム2の軸ズ
レ、CCDカメラ5系統の異常および制御回路の異常等
を調査する。
s33のハンドリング結果が正常であれば、ステップs
35において視覚マークに対する照度や影が前記第1の
実施形態によって対応できる範囲を超えていないかどう
かを検討し、もし範囲外であれば照明等を改善する。ま
た、ステップs34において、ステップs33のハンド
リング結果が正常でなければ内部構成品の異常の可能性
があるので、ステップs36においてアーム2の軸ズ
レ、CCDカメラ5系統の異常および制御回路の異常等
を調査する。
【0030】以上、本発明の一実施形態の動作を図面を
参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、視覚マ
ークのパターンデータを読み取るカメラは、CCDカメ
ラに限定されるものではなく、どんな種類のカメラであ
っても良い。
参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、視覚マ
ークのパターンデータを読み取るカメラは、CCDカメ
ラに限定されるものではなく、どんな種類のカメラであ
っても良い。
【0031】
【発明の効果】これまでに説明したように、この発明に
よれば視覚補正を行う移動ロボットにおいて、視覚マー
クの照明に影があり輝度差があるときでも、偏光フィル
タを使うことによりカメラによるパターンデータ読みと
り時の輝度差を小さくするようにしたので、データ読み
取りエラーが小さく、正確な視覚補正を行うことができ
るという効果が得られる。また、移動ロボット本体にテ
スト用視覚マークを貼り付け、この視覚マークとの間で
視覚補正テストを行うことにより、ハンドリング異常時
および日常点検時の容易ならしめるという効果が得られ
る。
よれば視覚補正を行う移動ロボットにおいて、視覚マー
クの照明に影があり輝度差があるときでも、偏光フィル
タを使うことによりカメラによるパターンデータ読みと
り時の輝度差を小さくするようにしたので、データ読み
取りエラーが小さく、正確な視覚補正を行うことができ
るという効果が得られる。また、移動ロボット本体にテ
スト用視覚マークを貼り付け、この視覚マークとの間で
視覚補正テストを行うことにより、ハンドリング異常時
および日常点検時の容易ならしめるという効果が得られ
る。
【図1】 本発明の第1の実施形態による移動ロボット
の概略図である。
の概略図である。
【図2】 視覚補正移動ロボットに使われる視覚マーク
を示す図である。
を示す図である。
【図3】 本発明の第1の実施形態による移動ロボット
の動作を説明するフロー図である。
の動作を説明するフロー図である。
【図4】 本発明の第2の実施形態の視覚マークの貼り
付けを説明する図である。
付けを説明する図である。
【図5】 本発明の第2の実施形態による、ハンドリン
グ異常時のテストフロー図である。
グ異常時のテストフロー図である。
【図6】 本発明の第2の実施形態による、日常点検時
のテストフロー図である。
のテストフロー図である。
1 移動ロボット 2 アーム 3 フィンガ 4 ウエーハカセット 5 CCDカメラ 6 回転式偏光フィルタ 7 偏光フィルタ回転モータ 8 輝度データおよび偏光フィルタ回転量演算部 11 視覚マーク 12 影の領域
Claims (5)
- 【請求項1】 予め視覚マークのパターンデータをティ
ーチングし、実ハンドリング時の視覚マークのパターン
データとの誤差データによってハンドリング位置の視覚
補正を行う移動ロボットにおいて、 前記視覚マークの各部の輝度を測定する輝度計と、 前記各部の輝度データの差を計算し、この輝度データの
差が許容範囲内かどうかを判断する輝度差演算部と、 前記視覚マークのパターンデータを読み取るカメラと、 該カメラに入射する偏光量を調節する回転式の偏光フィ
ルタと、 該偏光フィルタの回転量を規定する回転量演算部と、 該回転量演算部により制御され前記偏光フィルタを回転
させる駆動部とを具備してなる移動ロボット。 - 【請求項2】 前記カメラはCCDカメラであることを
特徴とする請求項1に記載の移動ロボット。 - 【請求項3】 移動ロボットの本体に視覚マークを貼り
付け、該視覚マークを使ってハンドリングテストを行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載の移動ロボッ
ト。 - 【請求項4】 前記ハンドリングテストは、実稼働状態
のハンドリング異常に対して行うテストであることを特
徴とする請求項3に記載の移動ロボット。 - 【請求項5】 前記ハンドリングテストは、日常点検時
に行うテストであることを特徴とする請求項3に記載の
移動ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9245793A JPH1177562A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | 移動ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9245793A JPH1177562A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | 移動ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1177562A true JPH1177562A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17138923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9245793A Withdrawn JPH1177562A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | 移動ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1177562A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010284781A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Fanuc Ltd | ロボットの異常監視機能を備えたロボットシステム |
CN104708301A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-06-17 | 杭州自动化技术研究院有限公司 | 一种基于机器视觉的发热丝自动装配装置 |
JP2020163518A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | ファナック株式会社 | 搬送装置及び受渡システム |
JP2021030371A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | ロボットシステムおよび制御方法 |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP9245793A patent/JPH1177562A/ja not_active Withdrawn
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---|---|---|---|---|
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041207 |