JPH1177495A - Grinding method and surface grinder - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the surface roughness, the flatness and the parallelism of a work for highly accurate grinding by holding the work by a restraining means contacted with the outer circumferential side of the work and restraining movement accompanying rotation of the work and a grinding wheel, in grinding. SOLUTION: In a chuck mechanism 300, a plurality of chuck parts 330 are arranged on the circumference at uniform intervals. This chuck part 330 is constituted of a claw 304 as a clamp part, a fulcrum pin 305, a spring 306, a clamp shoe 309. For executing grinding, a work is insertedly arranged between the upper and lower rotating grinding wheels of an upper/lower both grinding wheels rotating and elevatably moving mechanism under the condition in which a work is held with the clamp shoes 309 of the chuck parts 330 of the chuck mechanism 300. In this condition, the upper/lower both grinding wheels rotating and elevatably moving mechanism is rotated at high speed, in addition a motor for rotationally driving the chuck mechanism is rotated at low speed, and the work is rotated in the condition of being held with chuck mechanism 300. The upper rotating grinding wheel is downward approached to the work, and both faces are simultaneously ground by both rotating grinding wheels.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄板状のワーク、
例えば半導体で使用されるウエハの片面又は両面を安定
して高精度に研削する加工方法及び平面研削盤に関す
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a thin plate-shaped work,
For example, the present invention relates to a processing method and a surface grinding machine for stably grinding one or both surfaces of a wafer used for a semiconductor with high accuracy.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、シリコンウエハなどのウエハは、
インゴットからインナソー又はワイヤソーで切断された
後、ラップ盤で研磨仕上げされる。2. Description of the Related Art Conventionally, wafers such as silicon wafers have been
After being cut from an ingot with an inner saw or a wire saw, it is polished with a lapping machine.

【０００３】他方、ウエハを研削により仕上げることが
特公平６−４３０２０号公報、特公平７−１２５８７号
公報などに開示されている。同公報によると、外周付近
に円周方向に沿って複数のポケットを有するキャリヤの
該ポケットに、工作物たるウエハを収容し、このキャリ
ヤを対向状に配置されたー対の砥石の間に通し、砥石と
キャリヤとを互いに反対方向に連続回転させる研削方法
が開示されている。On the other hand, finishing a wafer by grinding is disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-43020 and Japanese Patent Publication No. 7-12587. According to the publication, a wafer having a workpiece is accommodated in a pocket having a plurality of pockets in the vicinity of the outer periphery along the circumferential direction, and the carrier is passed between a pair of grindstones arranged opposite to each other. A grinding method for continuously rotating a grindstone and a carrier in mutually opposite directions is disclosed.

【０００４】また、上下にラップ定盤を備えた両面ラッ
ピングマシンにおける加工方法が特公平６−６１６９８
号公報に、ウエハを加工面で揺動させてラッピングしな
がら、上、下定盤の各加工面を修正する両面ラップ盤が
特公平６−９５５０６号公報に、それぞれ開示されてい
る。[0004] A processing method in a double-sided lapping machine having lapping plates on the upper and lower sides is disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-61698.
Japanese Patent Publication No. 6-95506 discloses a double-sided lapping machine which corrects each processing surface of the upper and lower platens while lapping the wafer while swinging the processing surface.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記特公平
６−４３０２０号公報等による方法は、工作物をポケツ
トに収容してキャリヤを回転させるので、前記工作物は
自転せずに研削作用を受けることになる。However, in the method disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-43020, the workpiece is accommodated in a pocket and the carrier is rotated, so that the workpiece is subjected to a grinding action without rotating. Will be.

【０００６】したがって、工作物は砥石の特定範囲で研
削されるので、ウエハの加工面の平坦さが一様にならな
い。また、複数のポケットに工作物を収容して回転させ
るため、大きな直径の工作物を加工することが出来な
い。[0006] Therefore, since the workpiece is ground in a specific range of the grindstone, the flatness of the processed surface of the wafer is not uniform. Further, since a workpiece is accommodated in a plurality of pockets and rotated, a workpiece having a large diameter cannot be machined.

【０００７】又、特公平６−６１６９８号公報による方
法は、内歯歯車の中に太陽歯車を設け、この太陽歯車に
遊星歯車をかみ合わせて回転させ、この遊星歯車の上に
ウエハ（ワーク）をのせて上下定盤の間でラッピングす
るので、自ずと加工されるワークの大きさは制限され
る。In the method disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-61698, a sun gear is provided in an internal gear, a planetary gear is engaged with the sun gear and rotated, and a wafer (work) is placed on the planetary gear. Since it is placed and wrapped between the upper and lower platens, the size of the work to be processed is naturally limited.

【０００８】そのため、本出願人は、位置合せの手段と
してのオリエンテーションフラット（通称オリフラ）や
ノッチと呼ばれるウエハの外周に設けられた切欠部を積
極的に利用し、キャリヤプレートと呼ばれる治具プレー
トにウエハを遊嵌して前記切欠部を前記治具プレートに
設けた突起部に係合してキャリヤプレートを回転させ、
前記ウエハを自転させて砥石作用面を一様に前記ウエハ
に作用させることによりウエハに高精度な研削を行なう
方法を提案した。For this reason, the present applicant actively utilizes an orientation flat (commonly known as an orientation flat) as a means for positioning or a notch provided on the outer periphery of a wafer called a notch, to a jig plate called a carrier plate. The wafer is loosely fitted, the notch is engaged with the projection provided on the jig plate, and the carrier plate is rotated,
A method has been proposed for performing high-precision grinding on a wafer by rotating the wafer and causing the working surface of the grindstone to uniformly act on the wafer.

【０００９】しかし、ウエハの大口径化に伴いウエハに
位置合せの基準となるノッチを加工せずに例えばレーザ
でマーキングするなどの方法が採られる場合、上記方法
では加工できない。従って、ノッチ等の切欠きのないウ
エハを安定して自転させて研削する方法も望まれてい
る。However, if a method such as marking with a laser is used without processing a notch serving as a reference for alignment with the wafer as the diameter of the wafer increases, the above method cannot be used. Therefore, there is also a demand for a method of stably rotating a wafer without a notch such as a notch and grinding the wafer.

【００１０】そこで、本発明は、従来の技術の欠点を解
消し、小口径のワークは勿論のこと、大口径のワークで
あってもノッチ等がなくても研削面を傷つけることなく
安定して高精度に研削可能な、またワークのサイズに対
応した薄板状ワークの研削加工方法及び平面研削盤を提
供することを課題とするものである。Therefore, the present invention solves the drawbacks of the prior art and stably without damaging the ground surface, not only for small-diameter workpieces but also for large-diameter workpieces without notches or the like. An object of the present invention is to provide a grinding method and a surface grinder for a thin plate-like work that can be ground with high precision and that corresponds to the size of the work.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、次の手段を採るものである。すなわち本
出願に係る第１の発明の研削加工方法は、薄板状ワーク
の表面と裏面の少なくとも一方の平面に、回転している
砥石を接触させて研削加工を行う際に、前記ワークの外
周側面に接し前記ワーク砥石の回転に伴う移動を拘束す
る拘束手段により前記ワークを保持することを特徴とす
る。ワークがその外周側面に接触する拘束手段に拘束さ
れているので、ワークの表面及び裏面全体を研削するこ
とができうる。また、ワークが砥石の回転に伴う移動を
拘束されており、ワークは拘束手段に対して移動を生じ
ることがないのでワークを高精度に仕上げることができ
る。薄板状ワークの表面及び裏面の少なくとも一方の平
面に砥石が接触するので、砥石はワークの片面にのみ接
触する場合と、ワークの両面に接触する場合がある。The present invention adopts the following means in order to solve the above-mentioned problems. That is, the grinding method of the first invention according to the present application is characterized in that, when grinding is performed by bringing a rotating grindstone into contact with at least one of the front surface and the back surface of the thin plate-like work, the outer peripheral side surface of the work The work is held by a restraining means that contacts with the work wheel and restrains the movement accompanying the rotation of the work grindstone. Since the work is constrained by the constraining means that contacts the outer peripheral side surface, the entire front and back surfaces of the work can be ground. Further, since the work is restricted from moving along with the rotation of the grindstone, and the work does not move with respect to the restricting means, the work can be finished with high precision. Since the grindstone comes into contact with at least one of the front surface and the back surface of the thin plate-like work, the grindstone may contact only one surface of the work or may contact both surfaces of the work.

【００１２】本出願に係る第２の発明の研削加工方法
は、第１の発明において、前記ワークを前記拘束手段を
介して同一平面内で周期運動させる。ワークが周期運動
を行うので、研削作用面はワーク上を相対的に周期運動
し、ワークが研削作用を受ける面積を砥石の研削面積よ
り大きくすることができる。また、研削作用面をワーク
上で徐々に移動させることができるので、ワークの研削
面の研削痕を減少させることができる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to the first aspect, wherein the work is periodically moved in the same plane via the restraining means. Since the workpiece performs the periodic motion, the grinding action surface relatively periodically moves on the workpiece, and the area where the workpiece is subjected to the grinding action can be made larger than the grinding area of the grindstone. Further, since the grinding surface can be gradually moved on the work, grinding marks on the ground surface of the work can be reduced.

【００１３】本出願に係る第３の発明の研削加工方法
は、第２の発明において、前記周期運動が回転運動、ま
たは往復運動、または回転しながら行う往復運動であ
る。円形状ワークの他、多角形状や楕円形状のワーク或
いは他の形状のワークにおいても、ワーク形状に応じた
周期運動を行わせることでワークの平面研削加工が行え
る。[0013] In a grinding method according to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the periodic motion is a rotary motion, a reciprocating motion, or a reciprocating motion performed while rotating. In addition to a circular work, a polygonal or elliptical work or a work having another shape can perform a surface grinding process by performing a periodic motion according to the work shape.

【００１４】本出願に係る第４の発明の研削加工方法
は、第１の発明から第３の発明のいずれか１の発明の研
削方法において、前記拘束手段が前記ワークの外周側面
を把持するチャック機構である。チャック機構によりワ
ークの外周側面を確実に把持することができる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to any one of the first to third aspects, wherein the restraining means grips an outer peripheral side surface of the work. Mechanism. The outer peripheral side surface of the work can be reliably held by the chuck mechanism.

【００１５】本出願に係る第５の発明の研削加工方法
は、第１の発明から第４の発明のいずれか１の発明にお
いて、前記ワークの砥石と接触する平面の砥石外周から
はみ出た部分にワークレストを接触させ、前記ワークを
周期運動可能に支持する。ワークの砥石外周からはみ出
した平面の部分をワークレストで流体を介して支持する
のでワークのたわみ、膜振動及び姿勢変化を防止するこ
とができる。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to any one of the first to fourth aspects, wherein a portion of the work which is in contact with the grindstone protrudes from the outer periphery of the grindstone. A work rest is brought into contact with the work rest to support the work so that the work can be moved periodically. Since the flat portion of the work that protrudes from the outer periphery of the grindstone is supported by the work rest via the fluid, it is possible to prevent the work from bending, film vibration and posture change.

【００１６】本出願に係る第６の発明の研削加工方法
は、第５の発明において、前記ワークレストは流体を介
して前記ワークを非接触に支持する。ワークレストが流
体を介して非接触に支持するので、ワークをこすらずワ
ークの回転がスムーズであり、かつ傷がつかない。According to a sixth aspect of the present invention, in the grinding method according to the fifth aspect, the work rest supports the work in a non-contact manner through a fluid. Since the work rest is supported in a non-contact manner through the fluid, the work is smoothly rotated without rubbing the work and is not damaged.

【００１７】本出願に係る第７の発明の研削加工方法
は、第４の発明から第６の発明のいずれか１の発明にお
いて、前記周期運動が回転運動であり、研削加工中に、
常に、前記ワークの中心及び外周線のいずれかの部分が
砥石研削作用面の内部に含まれる。砥石はワークの研削
されるべき平面全体を研削することができ、ワークの研
削面において研削されない部分をなくすことができる。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the periodic motion is a rotational motion, and
At any time, any part of the center line and the outer peripheral line of the work is included inside the grinding wheel working surface. The grindstone can grind the entire surface of the workpiece to be ground, and can eliminate non-ground portions of the ground surface of the workpiece.

【００１８】本出願に係る第８の発明の研削加工方法
は、第４の発明から第７の発明のいずれか１の発明にお
いて、前記砥石を前記ワークの表面と裏面の対応する同
じ位置に接触するように対向させてそれぞれ配置して研
削加工を行う。砥石が対向して、対応する同じ位置でワ
ークに接触するので、両砥石の回転軸は一直線上にあ
り、砥石はワークを挟んでワークに対して面対称の位置
にあり両面を研削する。The grinding method according to an eighth aspect of the present invention is the grinding method according to any one of the fourth to seventh aspects, wherein the grinding wheel is brought into contact with a corresponding same position on the front and back surfaces of the work. Grinding is performed by arranging them so as to face each other. Since the grindstones face each other and contact the work at the same corresponding positions, the rotation axes of both grindstones are in a straight line, and the grindstones are located at positions symmetrical with respect to the work with the work interposed therebetween, and grind both surfaces.

【００１９】本出願に係る第９の発明の研削加工方法
は、第５の発明から第８の発明のいずれか１の発明にお
いて、前記ワークレストを前記ワークの表面と裏面の対
応する同じ位置に接触するように対向させてそれぞれ配
置して研削加工を行う。ワークレストは対向して、対応
する同じ位置でワークに接触するので、ワークレストは
ワークを両面から接触して挟み、ワークレストはワーク
に対して面対称に配置されている。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to any one of the fifth to eighth aspects, wherein the work rest is placed at the same position corresponding to the front and back surfaces of the work. Grinding is performed by disposing them so as to be in contact with each other. Since the work rests face each other and come into contact with the work at the same corresponding position, the work rest sandwiches the work in contact from both sides and the work rest is arranged symmetrically with respect to the work.

【００２０】本出願に係る第の発明１０の研削加工方法
は、第８の発明または第９の発明において、一方の砥石
の研削作用が他方の砥石の研削作用より小さいものであ
る。A grinding method according to a tenth invention according to the present application is the grinding method according to the eighth or ninth invention, wherein the grinding action of one grindstone is smaller than the grinding action of the other grindstone.

【００２１】本出願に係る第１１の発明の研削加工方法
は、第１０の発明において、一方の砥石が押さえ用砥石
である。[0021] In a grinding method according to an eleventh aspect of the present invention, in the tenth aspect, one of the grindstones is a holding grindstone.

【００２２】本出願に係る第の発明１２の研削加工方法
は、第１の発明から第１１の発明のいずれか１の発明に
おいて、研削作用のある砥石としてカップ砥石を用い
る。In a grinding method according to a twelfth aspect of the present invention, in any one of the first to eleventh aspects, a cup grinding wheel is used as a grinding wheel having a grinding action.

【００２３】本出願に係る第１３の発明の研削加工方法
は、第１の発明から第１２の発明のいずれか１の発明に
おいて、前記ワークが非円形形状を有するものである。
ここで非円形形状とは楕円、多角形、多角形の頂点の角
を円弧で置き換えた形状、及び前記の形状の周囲、円の
周囲を鋸の歯状に加工したもの等をいう。これによりワ
ークの把持が確実となる。According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a grinding method according to any one of the first to twelfth aspects, wherein the workpiece has a non-circular shape.
Here, the non-circular shape refers to an ellipse, a polygon, a shape in which the corners of the vertices of a polygon are replaced with an arc, and a shape in which the periphery of the shape and the periphery of the circle are processed into a saw-tooth shape. Thereby, the grip of the work is ensured.

【００２４】本出願に係る第１４の発明の平面研削盤
は、ワークが薄板状であり；回転しながら前記ワークの
表面と裏面の少なくとも一方の平面を研削加工する砥石
と；ワークを支持するワーク支持台と；このワーク支持
台に設けられ研削加工時ワークの外周側面に接触しワー
クの砥石の回転に伴う移動を拘束してワークを保持する
拘束手段とを有する。ワークがその外周側面に接触する
拘束手段に拘束されているので、ワークの表面及び裏面
全体を研削することができうる。また、ワークが砥石の
回転に伴う移動を拘束されているため、ワークは拘束手
段にたいして移動を生じることがないのでワークを高精
度に仕上げることができる。本研削盤はワークの表面と
裏面の少なくとも一方の平面を研削加工する砥石を有す
るので、両頭研削盤の場合と単頭研削盤の場合がある。A fourteenth aspect of the present invention relates to a surface grinding machine, wherein the work is a thin plate; a grindstone for grinding at least one of the front and back surfaces of the work while rotating; and a work supporting the work. And a restraining means provided on the work supporting table to hold the work by contacting the outer peripheral side surface of the work during grinding and restraining the movement of the work with the rotation of the grindstone. Since the work is constrained by the constraining means that contacts the outer peripheral side surface, the entire front and back surfaces of the work can be ground. Further, since the work is restricted from moving with the rotation of the grindstone, the work does not move with respect to the restricting means, so that the work can be finished with high precision. Since the present grinder has a grindstone for grinding at least one of the front and back surfaces of the work, it may be a double-head grinder or a single-head grinder.

【００２５】本出願に係る第１５の発明の平面研削盤
は、第１４の発明の平面研削盤において、前記拘束手段
がワーク支持台によって回転可能に支持され、この拘束
手段を介して前記ワークを同一平面内で回転させる駆動
機構を有する。ワークが回転を行うので、研削作用面は
ワーク上を相対的に回転し、ワークが研削作用を受ける
面積を砥石の研削面積より大きくすることができる。研
削作用面はワーク上で徐々に移動するので、ワークの研
削面の研削痕を減少させることができる。According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided the surface grinding machine according to the fourteenth aspect, wherein the restraining means is rotatably supported by a work support, and the work is supported via the restraining means. It has a drive mechanism to rotate in the same plane. Since the work rotates, the grinding action surface relatively rotates on the work, and the area where the work is subjected to the grinding action can be made larger than the grinding area of the grindstone. Since the grinding surface gradually moves on the work, grinding marks on the grinding surface of the work can be reduced.

【００２６】本出願に係る第１６の発明の平面研削盤
は、第１４の発明または第１５の発明の平面研削盤にお
いて、前記拘束手段が前記ワークの外周側面を把持する
クランプ部を備えたチャック機構である。チャック機構
によりワーク外周側面を確実に把持することができる。According to a sixteenth aspect of the present invention, there is provided the surface grinder according to the fourteenth or fifteenth aspect, wherein the restraining means has a clamp portion for gripping an outer peripheral side surface of the work. Mechanism. The outer peripheral side surface of the work can be reliably held by the chuck mechanism.

【００２７】本出願に係る第１７の発明の平面研削盤
は、第１４の発明から第１６の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記ワークの砥石と接触する平
面の砥石外周からはみ出た部分に、前記ワークを回転可
能に支持するワークレストを有する。ワークの砥石外周
からはみ出した平面の部分をワークレストで支持するの
でワークのたわみ、膜振動、姿勢の変化を防止すること
ができる。[0027] A surface grinding machine according to a seventeenth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the fourteenth aspect to the sixteenth aspect, wherein: The protruding portion has a work rest that rotatably supports the work. Since the work rest rests on a flat portion of the work that protrudes from the outer periphery of the grindstone, it is possible to prevent the work from bending, film vibration, and change in posture.

【００２８】本出願に係る第１８の発明の平面研削盤
は、第１７の発明の平面研削盤において、前記ワークレ
ストは流体を介して前記ワークを非接触に支持する。ワ
ークレストが流体を介して非接触に支持するので、ワー
クをこすらずワークの回転がスムーズであり、かつ傷が
つかない。According to an eighteenth aspect of the present invention, there is provided the surface grinder according to the seventeenth aspect, wherein the work rest supports the work in a non-contact manner through a fluid. Since the work rest is supported in a non-contact manner through the fluid, the work is smoothly rotated without rubbing the work and is not damaged.

【００２９】本出願に係る第１９の発明の平面研削盤
は、第１４の発明から第１８の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記砥石が、前記ワークの表面
と裏面の対応する同じ位置で前記ワークに接触するよう
に対向してそれぞれ配置されたものである。[0029] A surface grinding machine according to a nineteenth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the fourteenth aspect to the eighteenth aspect, wherein the grindstone corresponds to a front surface and a back surface of the work. Are arranged opposite to each other so as to contact the work at the same position.

【００３０】本出願に係る第２０の発明の平面研削盤
は、第１７の発明から第１９の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記ワークレストが、前記ワー
クの表面と裏面の対応する同じ位置で前記ワークに接触
するように対向してそれぞれ配置されたものである。[0030] A surface grinding machine according to a twentieth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the seventeenth aspect to the nineteenth aspect, wherein the work rest is provided on a front surface and a back surface of the work. They are arranged facing each other so as to come into contact with the work at the same corresponding position.

【００３１】本出願に係る第２１の発明の平面研削盤
は、第１４の発明から第２０の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、研削加工中に、常に、前記ワー
クの中心、及びワークのいずれかの外周線が砥石研削作
用面の内部に含まれる。砥石はワークの研削面全体を研
削することができ、ワークの研削面において研削されな
い部分をなくすことができる。The surface grinding machine according to the twenty-first invention according to the present application is the surface grinding machine according to any one of the fourteenth invention to the twentieth invention, wherein the center of the work is always maintained during grinding. In addition, any one of the outer peripheral lines of the workpiece is included inside the grinding wheel working surface. The grindstone can grind the entire grinding surface of the work, and can eliminate a non-ground portion on the grinding surface of the work.

【００３２】本出願に係る第２２の発明の平面研削盤
は、第１４の発明から第２１の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記チャック機構が円環状部材
と、複数のクランプ部と、クランプ部をクランプ、アン
クランプ動作させる作動手段とからなり、円環状部材は
前記駆動機構に駆動連結されて中心点廻りに回転可能と
され、クランプ部は円環状部材の円環に沿って配置さ
れ、クランプ部と前記ワークとの接触部に設けられたク
ランプ部材を備え、作動手段は各クランプ部に対応して
設けられ、クランプ部のクランプ部材側を円環状部材半
径方向内側または外側に移動させてクランプ、アンクラ
ンプ動作させる。[0032] A surface grinding machine according to a twenty-second invention according to the present application is the surface grinding machine according to any one of the fourteenth invention to the twenty-first invention, wherein the chuck mechanism comprises an annular member and a plurality of clamps. And an actuating means for clamping and unclamping the clamp portion, wherein the annular member is drivingly connected to the driving mechanism so as to be rotatable around a center point, and the clamp portion is formed along the annular shape of the annular member. And a clamp member provided at a contact portion between the clamp portion and the work. The actuating means is provided corresponding to each clamp portion, and the clamp member side of the clamp portion is radially inward or outward of the annular member. To perform the clamp and unclamping operations.

【００３３】作動手段がクランプ部を作動させ、クラン
プ部のクランプ部材側を円環状部材半径方向内側に移動
させクランプ部材がワークの外周側面に接するようにし
てワークをクランプし、またはクランプ部材側を同外側
に移動させクランプ部材がワークの外周側面から離れる
ようにしてワークをアンクランプする。ワークの表面と
裏面の両面が同時に研削される場合はクランプ部材のワ
ークと接する部分、及び砥石のワークからはみ出した部
分が近づく同部分はワークより薄くなければならない。The actuating means operates the clamp portion, and moves the clamp member side of the clamp portion radially inward in the annular member to clamp the work so that the clamp member contacts the outer peripheral side surface of the work, or clamps the work toward the clamp member. The workpiece is unclamped by moving the clamp member outward from the outer peripheral side surface of the work. When both the front and back surfaces of the work are ground at the same time, the portion of the clamp member in contact with the work and the portion of the grinding stone protruding from the work must be thinner than the work.

【００３４】本出願に係る第２３の発明の平面研削盤
は、第２２の発明の平面研削盤において、円環状部材に
設けられ、クランプ部のクランプ部材の円環状部材半径
方向内側への移動位置を規制する。前記移動を規制する
ことによりクランプ部がワークをクランプする力を所定
の値以下に制限し、その値を超えないようにすることが
できる。A surface grinding machine according to a twenty-third aspect of the present invention is the surface grinding machine according to the twenty-second aspect, wherein the surface grinding machine is provided on the annular member, and a position where the clamp member moves the clamp member radially inward of the annular member. Regulate. By restricting the movement, the force by which the clamp unit clamps the work can be limited to a predetermined value or less, and can be prevented from exceeding the value.

【００３５】本出願に係る第２４の発明の平面研削盤
は、第２３の発明の平面研削盤において、前記規制手段
は規制位置を調整自在である。前記規制位置を調整自在
にすることにより、クランプ力の制限値を変えることが
できる。これにより、ワークの大きさや材質に応じた適
切なクランプ力でワークを把持することができる。The surface grinding machine according to a twenty-fourth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to the twenty-third aspect, wherein the regulating means is capable of adjusting a regulating position. By making the regulation position adjustable, the limit value of the clamping force can be changed. Thus, the work can be gripped with an appropriate clamping force according to the size and material of the work.

【００３６】本出願に係る第２５の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第２４の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記作動手段が、円環状部材の
所定の回転動作に連動して作動する。駆動機構が円環状
部材をある方向に回転すると、研削加工前及び研削加工
後であれば、この回転が作動手段によりワークを包囲し
て配置されたクランプ部を作動させ、クランプ部材がワ
ークの外周側面に接しワークをクランプする。ワークを
アンクランプするためには、駆動機構により前記とは反
対の方向に円環状部材を回転する。According to a twenty-fifth aspect of the present invention, in the surface grinder according to any one of the twenty-fourth to twenty-fourth aspects, the operating means includes a predetermined rotation of the annular member. It works in conjunction with the action. When the driving mechanism rotates the annular member in a certain direction, before and after the grinding process, this rotation activates the clamp portion surrounding the work by the operating means, and the clamp member moves the outer periphery of the work. Clamp the workpiece against the side. In order to unclamp the work, the annular member is rotated by the driving mechanism in the opposite direction.

【００３７】研削加工中は円環状部材が回転しても、前
記作動手段がクランプ部を作動しないので、クランプ部
がクランプ、アンクランプ動作することはない。研削加
工前にクランプされたワークは研削加工中にその状態を
保持し、研削加工中にワークがアンクランプされること
ない。研削加工中に円環状部材を回転させる駆動機構
と、ワークをクランプするために円環状部材を回転する
駆動機構とは互いに別機構としてもよい。しかし、この
場合は一方が作動しているときには他方は作動しないよ
うにしなければならない。During the grinding process, even if the annular member rotates, the operating means does not operate the clamp part, so that the clamp part does not perform the clamping and unclamping operations. The work clamped before the grinding process keeps its state during the grinding process, and the work is not unclamped during the grinding process. A drive mechanism for rotating the annular member during the grinding process and a drive mechanism for rotating the annular member to clamp the work may be separate mechanisms. However, in this case, one must be inactive while the other is active.

【００３８】本出願に係る第２６の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第２５の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記円環状部材は、互いに所定
角度範囲の相対回転を許容して係合され、かつワークの
研削加工時に一体回転される第１及び第２の円環状部材
でなり、第１の円環状部材が前記駆動機構に駆動連結さ
れ、第２の円環状部材に前記複数のクランプ部が支持さ
れている。ワークの研削加工時には第１と第２の円環状
部材は一体回転させられるので、両円環状部材に相対回
転は生じない。According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the surface grinder according to any one of the twenty-second to twenty-fifth aspects, the annular members are positioned relative to each other within a predetermined angle range. A first annular member which is engaged to allow rotation and is integrally rotated during grinding of the workpiece, wherein the first annular member is drivingly connected to the driving mechanism, and a second circular member is provided. The plurality of clamp portions are supported by an annular member. During the grinding of the work, the first and second annular members are rotated integrally, so that no relative rotation occurs between both annular members.

【００３９】本出願に係る第２７の発明の平面研削盤
は、第２６の発明の平面研削盤において、前記クランプ
部が第２の円環部材に支点ピンを介して支点ピンの廻り
に回転可能に支持され、前記作動手段が、第１の円環状
部材に形成されたカム溝とクランプ部の各々に固定され
前記カム溝に各々係合せしめられた従動ピンである。研
削加工前及び研削加工後に駆動機構が所定の方向に第１
の円環状部材を回転させると、第１の円環状部材に形成
されたカム溝が回転し、カム溝が回転するとこれに係合
せしめられた従動ピンがカム溝内部を摺動する。従動ピ
ンが摺動すると、従動ピンはクランプ部に固定されてい
るので、クランプ部は支点ピンの廻りの回転を生じ、ク
ランプ動作を行う。また、カム溝の回転（即ち、第１の
円環状部材の回転）により、従動ピン（第２の円環状部
材に支持されたクランプ部材に固定）がカム溝内部を摺
動するのは第１の円環状部材と第２の円環状部材が相対
回転運動を行う状態のときであり、一体回転を行う研削
加工時は摺動しない。一方、第１の円環状部材を前記と
反対の方向に回転させると、クランプはアンクランプ動
作を行う。A surface grinding machine according to a twenty-seventh aspect of the present invention is the surface grinding machine according to the twenty-sixth aspect, wherein the clamp portion is rotatable around the fulcrum pin via the fulcrum pin on the second annular member. , And the operating means is a driven pin fixed to each of the cam groove and the clamp formed in the first annular member and engaged with the cam groove. Before and after the grinding process, the drive mechanism
When the annular member is rotated, the cam groove formed in the first annular member rotates, and when the cam groove rotates, the driven pin engaged with the cam groove slides inside the cam groove. When the driven pin slides, the driven pin is fixed to the clamp part, so that the clamp part rotates around the fulcrum pin and performs a clamping operation. The rotation of the cam groove (that is, the rotation of the first annular member) causes the driven pin (fixed to the clamp member supported by the second annular member) to slide inside the cam groove. This is a state in which the annular member and the second annular member perform a relative rotational movement, and do not slide during the grinding process of integrally rotating. On the other hand, when the first annular member is rotated in the opposite direction, the clamp performs an unclamping operation.

【００４０】本出願に係る第２８の発明の平面研削盤
は、第２７の発明の平面研削盤において、第１の円環状
部材と第２の円環状部材の相対回転により、前記カム機
構が、前記従動ピンがカム溝の支点ピンに近い一端から
支点ピンより遠い一端へ摺動した場合、従動ピンと第２
の円環状部材の中心点との距離が増加するように、また
は減少するように形成されたものである。カム溝がこの
ように形成されているので、従動ピンがカム溝内を摺動
したとき、従動ピンの円環状部材の中心からの距離は増
加または減少し、従動ピンはクランプ部に固定されてい
るので、クランプ部は支点ピンを中心として回転し、ク
ランプ部材の、円環状部材の円環の中心から離れる動
き、または円環の中心へ向かう動きを生じさせ、ワーク
はそれぞれアンクランプされ、またはクランプされる。A surface grinding machine according to a twenty-eighth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to the twenty-seventh aspect, wherein the cam mechanism is formed by relative rotation of the first annular member and the second annular member. When the driven pin slides from one end of the cam groove near the fulcrum pin to one end farther from the fulcrum pin, the driven pin and the second
Is formed so that the distance from the center point of the annular member increases or decreases. Since the cam groove is formed in this manner, when the driven pin slides in the cam groove, the distance of the driven pin from the center of the annular member increases or decreases, and the driven pin is fixed to the clamp portion. Therefore, the clamp portion rotates about the fulcrum pin, causing the clamp member to move away from the center of the ring of the annular member or toward the center of the ring, and the workpiece is unclamped, or Clamped.

【００４１】本出願に係る第２９の発明の平面研削盤
は、第２６の発明から第２８の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記クランプ部のクランプ動作
時またはアンクランプ動作時に、第２の円環状部材に係
合し第２の円環状部材の回転を制止するストッパを有す
る。ストッパにより、第２の円環状部材の回転を制止し
て、第１の円環状部材を駆動機構により回転することに
より、第１と第２の円環状部材の相対運動が生じる。第
１と第２の円環状部材の相対運動により、従動ピンがカ
ム溝内を摺動し、クランプ部がクランプ、アンクランプ
動作を行う。The surface grinding machine according to the twenty-ninth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the twenty-sixth to twenty-eighth aspects of the present invention, which is used when the clamp portion is operated for clamping or unclamping. And a stopper that engages with the second annular member and stops rotation of the second annular member. By stopping the rotation of the second annular member by the stopper and rotating the first annular member by the drive mechanism, the relative movement of the first and second annular members occurs. Due to the relative movement of the first and second annular members, the driven pin slides in the cam groove, and the clamp performs the clamping and unclamping operations.

【００４２】本出願に係る第３０の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第２９の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記作動手段が支点ピンに対し
クランプ部材とは反対側の所定の位置にさらに重りを有
する。チャック機構を研削加工のために回転した場合、
回転運動により円環状部材の半径方向外側に向かう力で
ある遠心力が重りに働き、この力は支点に対して重りと
は反対側に位置するクランプ部材では円環状部材の半径
方向内側へ向かう力となり、クランプ部材がワーク外周
側面を押し付ける力となる。According to a thirtieth aspect of the present invention, in the surface grinding machine of any one of the twenty-second to twenty-ninth aspects of the present invention, the operating means comprises a fulcrum pin and a clamp member. It has a further weight at the opposite predetermined position. When the chuck mechanism is rotated for grinding,
The centrifugal force, which is a force directed outward in the radial direction of the annular member, acts on the weight due to the rotational movement, and this force is a force directed radially inward of the annular member in the clamp member located on the opposite side of the weight to the fulcrum. This is the force by which the clamp member presses the outer peripheral side surface of the work.

【００４３】本出願に係る第３１の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第３０の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記作動手段がさらにばねを備
え、このばねがクランプ部を付勢し、この付勢力によ
り、クランプ部材をクランプ方向に動作させる。A surface grinding machine according to a thirty-first invention according to the present application is the surface grinding machine according to any one of the twenty-second invention to the thirty-third invention, wherein the operating means further comprises a spring, and the spring is The clamp portion is biased, and the biasing force causes the clamp member to move in the clamp direction.

【００４４】クランプ部を付勢するばね力によりクラン
プ部材の円環状部材の半径方向内側の移動が生じる場合
は、ワークを平面研削盤にセットするときは、円環状部
材を、駆動機構により所定の方向にばね力に抗してトル
クを与え回転させ、クランプ部材を最も外側に位置させ
ておく。ワークをセットした後、駆動機構により与えら
れていたトルクを解除する。これによりクランプ部には
ばね力のみ働くので、クランプ部材は円環状部材の半径
方向内側へ移動しワークの外周側面に接し、ワークをク
ランプする。ワークをアンクランプするときは、駆動機
構により所定の方向にばね力に抗してトルクを与え回動
させ、クランプ部材を円環状部材の半径方向外側へ移動
させる。When the clamp member moves radially inward of the annular member of the clamp member due to the spring force, when the workpiece is set on the surface grinding machine, the annular member is moved to a predetermined position by the drive mechanism. The clamp member is positioned at the outermost position by applying a torque against the spring force in the direction and rotating the clamp member. After setting the work, the torque applied by the drive mechanism is released. As a result, only the spring force acts on the clamp portion, so that the clamp member moves radially inward of the annular member and contacts the outer peripheral side surface of the work to clamp the work. When the workpiece is unclamped, the driving mechanism applies a torque against the spring force in a predetermined direction to rotate the workpiece, and moves the clamp member radially outward of the annular member.

【００４５】本出願に係る第３２の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第２４の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記作動手段が、各クランプ部
を常時クランプ方向に付勢するばねと、ワーク支持台上
において円環状部材の所定の停止位置で各クランプ部に
対応する位置に設けられ、アンクランプ時にクランプ部
と係合して前記ばねに抗して各クランプ部をアンクラン
プ方向へ移動させる駆動手段とでなる。駆動手段は、研
削加工前でワークのセット前、または研削加工の終了後
にチャック機構の回転が停止してから、作動させる。A surface grinding machine according to a thirty-second invention according to the present application is the surface grinding machine according to any one of the twenty-second invention to the twenty-fourth invention, wherein the actuating means causes each of the clamp portions to be in a constant clamping direction. And a spring which is provided at a predetermined stop position of the annular member on the work support table at a position corresponding to each clamp portion, and engages with the clamp portion at the time of unclamping to clamp each clamp against the spring. It is a driving means for moving the section in the unclamping direction. The driving unit is operated before the grinding process, before setting the work, or after the rotation of the chuck mechanism is stopped after the finishing of the grinding process.

【００４６】本出願に係る第３３の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第３２の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記ワークが周囲部にノッチを
有するものであり、前記チャック機構がノッチに係合す
る突起部を有する。ワークが把持されているとき、ワー
クのノッチに突起部が係合しているので、研削力による
ワーク回転トルクに起因するワーク側面部のクランプ部
材に対する回転方向のずれを防止することができる。A surface grinding machine according to a thirty-third invention according to the present application is the surface grinding machine according to any one of the twenty-second invention to the thirty-second invention, wherein the work has a notch in a peripheral portion. , The chuck mechanism has a projection that engages with the notch. Since the projection is engaged with the notch of the work when the work is gripped, it is possible to prevent the work side surface from being displaced from the clamp member in the rotation direction due to the work rotation torque due to the grinding force.

【００４７】本出願に係る第３４の発明の平面研削盤
は、第３３の発明の平面研削盤において、ノッチに係合
する突起部がクランプ部材に設けられている。ワークが
把持されているとき、ワークのノッチに突起部が係合し
ているので、研削力によるワーク回転トルクに起因する
ワーク側面部のクランプ部材に対する回転方向のずれを
より確実に防止することができる。A surface grinding machine according to a thirty-fourth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to the thirty-third aspect, wherein a projection engaging with the notch is provided on the clamp member. When the workpiece is gripped, the protrusion is engaged with the notch of the workpiece, so that it is possible to more reliably prevent the rotation of the workpiece from rotating in the direction of rotation with respect to the clamp member due to the workpiece rotating torque due to the grinding force. it can.

【００４８】本出願に係る第３５の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第３４の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記ワークが周囲部にオリエン
テーションフラットを有するものであり、前記チャック
機構がオリエンテーションフラットに接触する平面部を
有する。ワークが把持されているとき、ワークのオリエ
ンテーションフラットにクランプ部材の平面部が接して
いるので、研削力によるワーク回転トルクに起因するワ
ーク側面部のクランプ部材に対する回転方向のずれを防
止することができる。A surface grinding machine according to a thirty-fifth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the twenty-second aspect to the thirty-fourth aspect, wherein the workpiece has an orientation flat at a peripheral portion. The chuck mechanism has a flat portion that contacts the orientation flat. When the workpiece is being gripped, the plane portion of the clamp member is in contact with the orientation flat of the workpiece, so that it is possible to prevent the rotation of the workpiece side portion from being shifted from the clamp member due to the workpiece rotational torque due to the grinding force. .

【００４９】本出願に係る第３６の発明の平面研削盤
は、第３５の発明の平面研削盤において、オリエンテー
ションフラットに接触する平面部がクランプ部材に設け
られている。ワークが把持されているとき、ワークのオ
リエンテーションフラットにクランプ部材の平面部が接
しているので、研削力によるワーク回転トルクに起因す
るワーク側面部のクランプ部材に対する回転方向のずれ
をより確実に防止することができる。A surface grinding machine according to a thirty-sixth invention according to the present application is the surface grinding machine according to the thirty-fifth invention, wherein a flat portion that contacts the orientation flat is provided on the clamp member. When the workpiece is gripped, the flat portion of the clamp member is in contact with the orientation flat of the workpiece, so that the rotation of the workpiece side portion with respect to the clamp member caused by the rotational torque of the workpiece due to the grinding force is more reliably prevented from shifting. be able to.

【００５０】本出願に係る第３７の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第３６の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、クランプ部材がワークよりも軟
らかい材料から形成される。[0050] A surface grinder according to a thirty-seventh aspect of the present invention is the surface grinder according to any one of the twenty-second to thirty-sixth aspects, wherein the clamp member is formed of a material softer than the workpiece. .

【００５１】本出願に係る第３８の発明の平面研削盤
は、第２２の発明から第３７の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、クランプ部材が前記ワークとの
接触部にすべり止め用の凹凸部を有する。このため、静
止摩擦抵抗が高く、ワークを確実に把持できる。A surface grinding machine according to a thirty-eighth aspect of the present invention is the surface grinding machine according to any one of the twenty-second aspect to the thirty-seventh aspect, wherein the clamp member is non-slip at a contact portion with the workpiece. Having an uneven portion for use. For this reason, the static friction resistance is high, and the work can be reliably gripped.

【００５２】本出願に係る第３９の発明の平面研削盤
は、第１４の発明から第３８の発明のいずれか１の発明
の平面研削盤において、前記ワークが非円形形状を有す
るものである。ここで非円形形状の意味は前述と同様で
ある。[0052] A surface grinder according to a thirty-ninth aspect of the present invention is the surface grinder according to any one of the fourteenth to thirty-eighth aspects, wherein the work has a non-circular shape. Here, the meaning of the non-circular shape is the same as described above.

【００５３】[0053]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１〜図１２に基づいて詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.

【００５４】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１である両頭平面研削盤を示す正面図であり、図２
は、上部フレーム部分の要部縦断面図であり、図３は、
下部フレーム部分の要部縦断面図であり、図４は、ワー
ク支持部材の平面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a front view showing a double-sided surface grinder according to Embodiment 1 of the present invention.
Is a vertical cross-sectional view of a main part of an upper frame portion, and FIG.
FIG. 4 is a vertical sectional view of a main part of a lower frame portion, and FIG. 4 is a plan view of a work supporting member.

【００５５】図１及び図２に示すように、この実施の形
態１の両頭平面研削盤は、下部フレーム１１を備え、そ
の下部フレーム１１上には上部フレーム１１１が固定さ
れている。下部フレーム１１には下部砥石回転昇降機構
１２及びワーク支持部材１４が装設され、上部フレーム
１１１には上部砥石回転昇降機構１３が装設されてい
る。両砥石回転昇降機構１２、１３には夫々下部、上部
回転砥石１５、１６が配設され、それらの回転砥石１
５、１６はその上部端面またはその下部端面の研削作用
面１５ａ、１６ａが互いに平行となり、それぞれの回転
砥石の回転軸が一直線上にくるように、すなわち対向し
て配置されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the double-sided surface grinder according to the first embodiment includes a lower frame 11, on which an upper frame 111 is fixed. The lower frame 11 is provided with a lower grindstone rotating / elevating mechanism 12 and a work supporting member 14, and the upper frame 111 is equipped with an upper grindstone rotating / elevating mechanism 13. Lower and upper rotating wheels 15 and 16 are disposed on the two wheel rotating mechanisms 12 and 13, respectively.
The grinding wheels 5 and 16 are arranged such that the grinding action surfaces 15a and 16a of the upper end surface or the lower end surface thereof are parallel to each other, and the rotation axes of the respective rotary grindstones are aligned, that is, opposed to each other.

【００５６】そして、例えばインゴットから切断された
薄板状で円形状のワーク１７（例えばウエハ）がワーク
支持部材１４に支持された状態で、両砥石回転昇降機構
１２、１３の回転砥石１５、１６間に挿入配置され、そ
れらの回転砥石１５、１６の研削作用面１５ａ、１６ａ
により、ワーク１７の両面が同時に研削されるようにな
っている。ここに薄板状とは、例えば厚さが０．５ｍｍ
から１ｍｍ、直径または長辺が３００ｍｍ程度のものを
いうが、これに限定されるものではない。すなわち、薄
板とは厚さと幅または長さの比の値が小さく一般的に薄
板といわれるものをいう。Then, in the state where a thin plate-shaped and circular work 17 (for example, a wafer) cut from an ingot is supported by the work supporting member 14, the rotating grindstones 15 and 16 of the two grindstone rotating / lifting mechanisms 12 and 13 are moved. And the grinding working surfaces 15a, 16a of the rotating grindstones 15, 16
Thereby, both surfaces of the work 17 are simultaneously ground. Here, the thin plate means, for example, that the thickness is 0.5 mm.
From about 1 mm and a diameter or a long side of about 300 mm, but is not limited thereto. That is, a thin plate refers to a thin plate having a small ratio of thickness to width or length.

【００５７】下部砥石回転昇降機構１２の砥石台２０は
下部フレーム１１上にいわゆるＶ平のガイド２１を介し
て、下部回転砥石１５の回転軸線と直交する方向へ移動
可能に支持されている。下部砥石台移動用モータ２２は
下部フレーム１１の側部に配設され、このモータ２２の
回転により、砥石台２０に固定したボールナット２３ａ
にねじ込まれたボールねじ２３を介して砥石台２０がガ
イド２１に案内されて水平横方向に移動する。The grindstone table 20 of the lower grindstone rotation elevating mechanism 12 is supported on the lower frame 11 via a so-called V-shaped guide 21 so as to be movable in a direction orthogonal to the rotation axis of the lower grindstone 15. The lower wheel head moving motor 22 is disposed on the side of the lower frame 11, and the rotation of the motor 22 causes the ball nut 23a fixed to the wheel head 20 to rotate.
The grindstone table 20 is guided by a guide 21 via a ball screw 23 screwed into the shaft and moves in a horizontal and horizontal direction.

【００５８】図２及び図３に示す様に、下部軸支筒２４
は砥石台２０と一体に設けられた上下方向のガイド２４
ａを介して下部回転砥石１５の回転軸線方向へ昇降可能
に支持されている。下部砥石台昇降用モータ２５は砥石
台２０の下部においてガイド部２４ａの側部に配設さ
れ、このモータ２５の回転により、ウォームとウォーム
ホイールで構成される回転伝達機構２６及び下部軸支筒
２４に固定されたブラケット２４ｂに固定された図示さ
れないボールナットにねじ込まれたボールねじ２７を介
してガイド部２４ａに案内されて下部軸支筒２４が昇降
される。なお、この昇降ストロークはわずかである。As shown in FIGS. 2 and 3, the lower shaft support 24
Is a vertical guide 24 provided integrally with the grindstone table 20.
The lower grinding wheel 15 is supported so as to be able to move up and down in the direction of the rotation axis of the lower grinding wheel 15 via a. The lower grindstone head raising / lowering motor 25 is disposed below the grindstone head 20 on the side of the guide portion 24a. The rotation of the motor 25 causes a rotation transmission mechanism 26 composed of a worm and a worm wheel, and a lower shaft support 24. The lower shaft support 24 is moved up and down by being guided by the guide portion 24a via a ball screw 27 screwed into a ball nut (not shown) fixed to a bracket 24b fixed to the bracket 24b. This elevating stroke is slight.

【００５９】下部砥石軸２８は下部軸支筒２４内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ２９を介して下部回転砥石１５が装着されている。
砥石駆動モータ３４は下部軸支筒２４の内部に配設さ
れ、そのステータは下部軸支筒２４に嵌入固定され、そ
のロータは下部砥石軸２８に嵌入固定され研削加工に際
しては、このモータ３４の回転により下部砥石軸２８を
介して下部回転砥石１５が高速回転する。The lower grindstone shaft 28 is rotatably supported in the lower shaft support 24, and the lower rotating grindstone 15 is mounted via a grindstone holder 29 integrally formed on the upper end thereof.
The grindstone drive motor 34 is disposed inside the lower shaft support 24, and its stator is fitted and fixed to the lower shaft support 24, and its rotor is fitted and fixed to the lower grindstone shaft 28. The rotation causes the lower rotary grindstone 15 to rotate at a high speed via the lower grindstone shaft 28.

【００６０】図２に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構１３の上部軸支筒３８は上部フレーム１１１と一体
のガイド３９を介して、下部回転砥石１６の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ４０は上
部フレーム１１１の側部に配設され、このモータ４０の
回転により、上部軸支筒３８に固定されたブラケット３
８ａに嵌入固定されたボールナット４１ａにねじ込まれ
たボールねじ４１を介して上部軸支筒３８が昇降され
る。As shown in FIG. 2, the upper shaft support cylinder 38 of the upper grindstone rotating / elevating mechanism 13 is supported via a guide 39 integrated with the upper frame 111 so as to be able to move up and down in the rotational axis direction of the lower grindstone 16. ing. The elevating motor 40 is disposed on the side of the upper frame 111, and the rotation of the motor 40 causes the bracket 3 fixed to the upper shaft support 38.
The upper shaft support cylinder 38 is moved up and down via a ball screw 41 screwed into a ball nut 41a fitted and fixed to 8a.

【００６１】上部砥石軸４２は前記上部軸支筒３８内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ４３を介して上部回転砥石１６が装着されて
いる。砥石駆動モータ４８は上部軸支筒３８の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒３８に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸４２に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ４８の回転により、上部砥石軸
４２を介して上部回転砥石１６が高速回転する。The upper grindstone shaft 42 is rotatably supported in the upper shaft support cylinder 38, and the upper rotating grindstone 16 is mounted on the lower end thereof via a grindstone holder 43 integrally formed. A grindstone drive motor 48 is disposed inside the upper shaft support 38, and its stator is fitted and fixed to the upper shaft support 38, and its rotor is fitted and fixed to the upper grindstone shaft 42 and rotates the motor 48 during grinding. Thereby, the upper rotating grindstone 16 rotates at a high speed via the upper grindstone shaft 42.

【００６２】図３及び図４に示す様に、前記ワーク支持
部材１４の支持台５２は上下部の両砥石回転昇降機構１
２、１３間において、下部フレーム１１上に配設されて
いる。ワーク支持台としての移動枠５３は支持台５２上
の下部回転砥石１５の両側に配設された一対のガイドレ
ール５４を介して、下部砥石回転昇降機構１２の砥石台
２０の水平移動方向と同方向へ移動可能に支持されてい
る。As shown in FIGS. 3 and 4, the support table 52 of the work supporting member 14 has upper and lower grinding wheels rotating mechanism 1
It is arranged on the lower frame 11 between 2 and 13. The moving frame 53 serving as a work support is in the same direction as the horizontal movement direction of the grindstone table 20 of the lower grindstone rotating / elevating mechanism 12 via a pair of guide rails 54 provided on both sides of the lower grindstone 15 on the support table 52. It is movably supported in the direction.

【００６３】図４に示すように移動枠移動用モータ５５
は支持台５２上に配設され、このモータ５５の回転によ
り、このモータ５５のモータ軸に連結されたボールねじ
５６が移動枠５３に固定されたボールナット５６ａにね
じ込まれていて移動枠５３が移動可能となっている。As shown in FIG. 4, the moving frame moving motor 55
Is disposed on a support 52, and by rotation of the motor 55, a ball screw 56 connected to a motor shaft of the motor 55 is screwed into a ball nut 56a fixed to the moving frame 53, so that the moving frame 53 It is movable.

【００６４】次にチャック機構３００について説明す
る。図５はチャック機構の全体を示す平面図、図６、図
７はチャック機構の断面図、図８は要部拡大部である。
図４、図６に示す様に円環状のチャック機構３００は、
移動枠５３の３個のガイドローラ５８と、図６のチャッ
ク機構３００の下板３０１の外周端部３０１ａと係合す
ることにより回転可能に支持されている。図５に示すよ
うにチャック機構３００には複数個（図５では５個とし
て表示）のチャック部３３０が円周上に均等間隔で配置
されている。尚、図５の左半分は全体の平面図、右半分
は上板３０２を取外した場合の平面図を示している。チ
ャック部３３０は後述のように、クランプ部である爪３
０４、支点ピン３０５、ばね３０６、クランプシュー３
０９等からなる。Next, the chuck mechanism 300 will be described. 5 is a plan view showing the entire chuck mechanism, FIGS. 6 and 7 are cross-sectional views of the chuck mechanism, and FIG. 8 is an enlarged view of a main part.
As shown in FIGS. 4 and 6, the annular chuck mechanism 300
The three guide rollers 58 of the moving frame 53 are rotatably supported by engaging with the outer peripheral end portion 301a of the lower plate 301 of the chuck mechanism 300 in FIG. As shown in FIG. 5, the chuck mechanism 300 is provided with a plurality of (in FIG. 5, indicated as five) chuck portions 330 arranged at equal intervals on the circumference. The left half of FIG. 5 is a plan view of the whole, and the right half is a plan view of the case where the upper plate 302 is removed. As will be described later, the chuck portion 330 is provided with a claw 3 serving as a clamp portion.
04, fulcrum pin 305, spring 306, clamp shoe 3
09 etc.

【００６５】図６、図７に示すにように、チャック機構
３００には第２の円環状部材としての円環状の下板３０
１、第１の円環状部材としての円環状の上板３０２、リ
ング３０３が中心軸を一致させて配設され、リング３０
３は上板３０２と同一平面上に配設されており、リング
３０３の外周部フランジに対し上板３０２の内周部フラ
ンジが摺動可能に嵌合されている。下板３０１と、上板
３０２及びリング３０３の間には、ストッパ３０７、及
び爪３０４がはさみこまれている。ワークが円形の部材
の場合は、爪３０４は円環の円周に沿って等間隔に配置
されることが望ましい。As shown in FIGS. 6 and 7, the chuck mechanism 300 has an annular lower plate 30 as a second annular member.
1. An annular upper plate 302 as a first annular member and a ring 303 are disposed so that their central axes coincide with each other.
Numeral 3 is arranged on the same plane as the upper plate 302, and the inner peripheral flange of the upper plate 302 is slidably fitted to the outer peripheral flange of the ring 303. A stopper 307 and a claw 304 are sandwiched between the lower plate 301, the upper plate 302, and the ring 303. When the work is a circular member, it is desirable that the claws 304 are arranged at equal intervals along the circumference of the ring.

【００６６】図５、図６、図８に示す様に各々の爪３０
４は支点ピン３０５を中心として回転可能な状態にあ
り、ばね３０６により爪３０４は常に上板３０２の円環
の中心へ向かう様に付勢されている。爪３０４の回転
は、各々のチャック部３３０の間に配置されたストッパ
３０７のストッパボルト３０８の先端３０８ａにより規
制されている。つまり各々の爪３０４の円環の中心方向
の最大回転角度はストッパボルト３０８を調節すること
により調節が可能である。As shown in FIG. 5, FIG. 6, and FIG.
4 is rotatable about a fulcrum pin 305, and the claw 304 is constantly biased by a spring 306 so as to be directed toward the center of the ring of the upper plate 302. The rotation of the claw 304 is restricted by the tip 308a of the stopper bolt 308 of the stopper 307 disposed between the chucks 330. That is, the maximum rotation angle of each of the claws 304 in the center direction of the ring can be adjusted by adjusting the stopper bolt 308.

【００６７】また、図１９に示すように、支点ピン３０
５を爪３０４の中心付近に取り付け、支点ピン３０５に
対してばね３０６とは反対の位置に重り３３３を取り付
けてもよい。研削加工中にチャック機構の回転により、
重り３３３に外周方向の遠心力が働き、チャック機構の
回転数の増加により、ばね３０６の力と加えてワークの
把持力をさらに増加するようにすることができる。Further, as shown in FIG.
5 may be attached near the center of the claw 304, and the weight 333 may be attached to the fulcrum pin 305 at a position opposite to the spring 306. During the grinding process, the rotation of the chuck mechanism
The centrifugal force acts on the weight 333 in the outer peripheral direction, and the gripping force of the work can be further increased in addition to the force of the spring 306 by increasing the rotation speed of the chuck mechanism.

【００６８】爪３０４の先端部にはワーク１７より軟質
な例えば、樹脂でできたクランプシュー３０９がボルト
３１０により固定されており、チャック時のワークへの
損傷を防止している。このクランプシュー３０９はワー
ク１７の厚みより薄く、ワーク１７の上下両面より露出
しない位置で、ワーク１７の外周側面を把持している。
また、クランプシュー３０９のワーク１７との接触面は
凹凸面を形成し、静止摩擦抵抗を高くして確実にワーク
を把持できるようになっている。A clamp shoe 309 made of, for example, resin, which is softer than the work 17 and is fixed to the tip of the claw 304 by a bolt 310, prevents damage to the work during chucking. The clamp shoe 309 is thinner than the thickness of the work 17 and grips the outer peripheral side surface of the work 17 at a position not exposed from both upper and lower surfaces of the work 17.
Further, the contact surface of the clamp shoe 309 with the work 17 has an uneven surface, so that the static friction resistance is increased so that the work can be reliably gripped.

【００６９】図６及び図７に示す様に、下板３０１とス
トッパ３０７はボルト３１１で固定されており、支点ピ
ン３０５は下板３０１に固定されている。さらにリング
３０３とストッパ３０７はボルト３１１ｂで固定されて
いるが、上板３０２はどの部品ともボルト等で固定され
ておらずリング３０３をガイドとして円周方向に回転可
能な様に配設されている。また、ストッパ３０７には連
結ピン３０７ａが固定されており、図５、図６に示す様
にその先端部は上板３０２に形成された円弧溝３０２ａ
に係合している。したがって、上板３０２と下板３０１
はストッパ３０７の連結ピン３０７ａを介して円弧溝３
０２ａの長さ範囲だけ所定角度の相対回転を許容して回
転方向に係合されている。上板３０２の外周部にはギヤ
３１２が形成されている。As shown in FIGS. 6 and 7, the lower plate 301 and the stopper 307 are fixed by bolts 311, and the fulcrum pin 305 is fixed to the lower plate 301. Further, the ring 303 and the stopper 307 are fixed by bolts 311b, but the upper plate 302 is not fixed to any parts by bolts or the like, and is arranged so as to be rotatable in the circumferential direction using the ring 303 as a guide. . A connecting pin 307a is fixed to the stopper 307, and its distal end is formed in an arc groove 302a formed in the upper plate 302 as shown in FIGS.
Is engaged. Therefore, the upper plate 302 and the lower plate 301
Are the circular grooves 3 through the connecting pins 307a of the stopper 307.
It is engaged in the rotational direction while allowing relative rotation of a predetermined angle within the length range of 02a. A gear 312 is formed on the outer periphery of the upper plate 302.

【００７０】図６に示す様に移動枠５３上にはチャック
機構回転駆動モータ６１が配設され、そのモータ軸には
上板３０２のギヤ３１２に噛合するギヤ６２が固定され
ている。そしてこのチャック機構回転駆動モータ６１の
回転によりギヤ６２、３１２を介して上板３０２が移動
枠５３に対して回転される。これにより円弧溝３０２ａ
の一端と連結ピン３０７ａの係合を介して下板３０１も
一体回転される。チャック機構３００全体は移動枠５３
に対して回転されることになる。As shown in FIG. 6, a chuck mechanism rotation drive motor 61 is provided on the moving frame 53, and a gear 62 meshing with the gear 312 of the upper plate 302 is fixed to the motor shaft. The rotation of the chuck mechanism rotation drive motor 61 causes the upper plate 302 to rotate with respect to the moving frame 53 via the gears 62 and 312. Thereby, the arc groove 302a
The lower plate 301 is also integrally rotated via one end of the lower plate 301 and the connection pin 307a. The entire chuck mechanism 300 is a moving frame 53.
Will be rotated with respect to.

【００７１】次に各々の爪３０４には従動ピン３１３が
固定されており、図６、図８に示す様にその先端部３１
３ａは上板３０２に形成されたカム溝３１４に係合して
いる。従動ピン３１３とカム溝３１４が連動部材を構成
する。カム溝３１４は従動ピン３１３の外径より僅かに
大きい幅を有し、一定の深さを有する。さらにカム溝３
１４は、従動ピン３１３の先端部３１３ａがカム溝３１
４の支点ピン３０５に近い一端から支点ピン３０５より
遠い他の一端に摺動した場合に、従動ピン３１３と上板
３０２の中心との距離が徐々に増加するように、形成さ
れている。カム溝３１４はこのように形成されているた
め、下板３０１を停止させた状態で上板３０２が下板３
０１に対して相対的に、図５、図８で示す矢印Ａの反時
計方向に回転させられると、カム溝３１４は同様に回転
させられる。Next, a driven pin 313 is fixed to each of the claws 304, and as shown in FIGS.
3a is engaged with a cam groove 314 formed in the upper plate 302. The driven pin 313 and the cam groove 314 constitute an interlocking member. The cam groove 314 has a width slightly larger than the outer diameter of the driven pin 313, and has a certain depth. Further cam groove 3
14 is that the tip 313a of the driven pin 313 is
4 is formed such that the distance between the driven pin 313 and the center of the upper plate 302 is gradually increased when sliding from one end near the fulcrum pin 305 to the other end farther from the fulcrum pin 305. Since the cam groove 314 is formed in this manner, the upper plate 302 is moved downward while the lower plate 301 is stopped.
When rotated in the counterclockwise direction of arrow A shown in FIGS. 5 and 8 relative to 01, the cam groove 314 is similarly rotated.

【００７２】カム溝３１４が前記のように回転させられ
ると、従動ピン３１３の先端部３１３ａはカム溝内を摺
動するので、各々の爪３０４は支点ピン３０５を中心と
して従動ピン３１３を介してばね３０６の付勢力に打ち
勝ちながら外周方向へ回転されると、ワーク１７はアン
クランプされる。距離が、徐々に減少するようにカム溝
を形成してもよく、この場合アンクランプ時は上板３０
２を下板３０１に対して相対的に矢印Ｂの時計方向に回
転させる。When the cam groove 314 is rotated as described above, the tip 313a of the driven pin 313 slides in the cam groove, so that each of the claws 304 moves about the fulcrum pin 305 via the driven pin 313. When the workpiece 17 is rotated in the outer peripheral direction while overcoming the urging force of the spring 306, the workpiece 17 is unclamped. The cam groove may be formed so that the distance gradually decreases. In this case, the upper plate 30 is unclamped.
2 is rotated clockwise as indicated by an arrow B relative to the lower plate 301.

【００７３】さらに上板３０２が下板３０１に対して矢
印Ｂで示す様に相対的に時計方向へ回転させられると、
従動ピン３１３とカム溝３１４の作用及びばね３０６の
付勢力の作用により、各々の爪３０４は支点ピン３０５
を中心に円環の中心方向へ回転される。爪３０４の前記
回転により、クランプ部材である５個のクランプシュー
３０９は円環の中心方向に移動する。つまりワーク１７
はクランプシュー３０９によりクランプされる。When the upper plate 302 is further rotated clockwise relative to the lower plate 301 as shown by arrow B,
Due to the action of the driven pin 313 and the cam groove 314 and the action of the urging force of the spring 306, each of the claws 304 becomes a fulcrum pin 305.
Is rotated toward the center of the ring. By the rotation of the claw 304, the five clamp shoes 309 serving as the clamp members move toward the center of the ring. That is, the work 17
Is clamped by the clamp shoe 309.

【００７４】この時ばね３０６の付勢力により爪３０４
の従動ピン３１３は上板３０２のカム溝３１４に係止さ
れた状態にあり、さらに上板３０２は半径方向に移動で
きないこととあいまって、ワーク加工中にチャック機構
３００が回転しても爪が外周方向へ移動することがない
為、ワーク１７を確実に保持することが出来る。なお、
爪３０４が支点ピン３０５を中心に円環の中心方向に回
転するときは、クランプシュー３０９は円環の中心方向
に移動する。At this time, the pawl 304 is
The driven pin 313 is locked in the cam groove 314 of the upper plate 302, and furthermore, the upper plate 302 cannot move in the radial direction. Since the workpiece 17 does not move in the outer peripheral direction, the work 17 can be reliably held. In addition,
When the pawl 304 rotates around the fulcrum pin 305 toward the center of the ring, the clamp shoe 309 moves toward the center of the ring.

【００７５】尚、図６に示す様にワーク１７がアンクラ
ンプ及びクランプされる際、上板３０２がチャック機構
回転駆動モータ６１によりそれぞれ反時計方向Ａ、時計
方向Ｂに回転されるが、この時下板３０１が一緒に回転
しない様にチャック機構３００の定位割り出し位置で下
板３０１に設けたピン穴３２８にピン３２９を係合させ
る。ピン３２９は移動枠５３に設けられたブラケット３
２７に取付けられたシリンダ３２６により上下し、ワー
ク１７のクランプ時、及びアンクランプ時はピン３２９
はピン穴３２８に係合し、ワーク１７の加工時にはピン
３２９を後退させピン穴３２８に係合しない構造となっ
ている。これによりワーク１７はチャック機構により保
持され、チャック機構回転駆動モータ６１の回転により
チャック機構３００が回転してワーク１７は回転させら
れ、研削される。When the workpiece 17 is unclamped and clamped as shown in FIG. 6, the upper plate 302 is rotated in the counterclockwise direction A and the clockwise direction B by the chuck mechanism rotation drive motor 61, respectively. The pin 329 is engaged with the pin hole 328 provided in the lower plate 301 at the stereoscopic indexing position of the chuck mechanism 300 so that the lower plate 301 does not rotate together. The pin 329 is a bracket 3 provided on the moving frame 53.
When the workpiece 17 is clamped and unclamped, the pin 329 is moved up and down by the cylinder 326 attached to the
Are engaged with the pin holes 328, and the pins 329 are retracted during the processing of the work 17 so as not to engage with the pin holes 328. Thus, the work 17 is held by the chuck mechanism, and the chuck mechanism 300 is rotated by the rotation of the chuck mechanism rotation drive motor 61, whereby the work 17 is rotated and ground.

【００７６】また、図１８（図６の断面ＶＩ−ＶＩと同
じ断面を示す。）に示す様にシリンダ３２６に取付けた
ストッパ３２５で下板３０１を押し付け、下板３０１が
上板３０２と一緒に回転することを防止するようにして
もよい。この様にすればピンを係合させる為にチャック
機構３００を割り出し停止させる必要がなくなる。Also, as shown in FIG. 18 (showing the same cross section as the cross section VI-VI in FIG. 6), the lower plate 301 is pressed by the stopper 325 attached to the cylinder 326, and the lower plate 301 is put together with the upper plate 302. Rotation may be prevented. This eliminates the need to index and stop the chuck mechanism 300 to engage the pins.

【００７７】本チャック機構３００の場合、アンクラン
プの状態でワーク１７をチャック機構３００にセットす
る場合は、ワーク１７は大体の位置にセットすればよく
ワーク１７がチャック機構３００により保持される場
合、５つのクランプシュー３０９の求心作用によりワー
ク１７の中心は円環の中心位置に位置決めされる。また
図９に示す様にワーク１７にノッチ３２０を形成しても
よく、この場合には図１０に示す様に５つのクランプシ
ュー３０９の内の１個にノッチ３２０に係合する突出部
３２０ａを設ける。In the case of the present chuck mechanism 300, when the work 17 is set on the chuck mechanism 300 in an unclamped state, the work 17 may be set at an approximate position, and when the work 17 is held by the chuck mechanism 300, The center of the work 17 is positioned at the center of the ring by the centripetal action of the five clamp shoes 309. A notch 320 may be formed on the work 17 as shown in FIG. 9. In this case, as shown in FIG. 10, one of the five clamp shoes 309 has a projection 320 a that engages with the notch 320. Provide.

【００７８】この場合もアンクランプ状態でワーク１７
をチャック機構３００にセットする場合はワーク１７は
ノッチ３２０を突出部に合わせるようにしてセットし、
ワーク１７がチャック機構３００により保持された場合
は５つのクランプシュー３０９の求心作用とノッチ３２
０の突出部３２０ａの位置決め作用により、ワーク１７
の中心は円環の中心位置に位置決めされるとともに、円
周方向に関して位置決めされた状態となる。クランプ部
によるチャック作用の他、ノッチ係合によって回転方向
に結合されるためワークを確実に回転駆動させることが
できる。この場合チャック機構の把持力は小さくてもよ
い。In this case, the work 17 is also unclamped.
When the work 17 is set on the chuck mechanism 300, the work 17 is set so that the notch 320 is aligned with the protruding portion.
When the workpiece 17 is held by the chuck mechanism 300, the centripetal action of the five clamp shoes 309 and the notch 32
The work 17 is positioned by the positioning operation of the zero protruding portion 320a.
Is positioned at the center position of the ring and is positioned in the circumferential direction. In addition to the chucking action of the clamp portion, the work is rotationally coupled by the notch engagement, so that the work can be reliably driven to rotate. In this case, the gripping force of the chuck mechanism may be small.

【００７９】ここで前述の様に構成された両頭平面研削
盤の動作について説明する。さて、この両頭平面研削盤
において、研削加工を行うにはワーク１７がチャック機
構３００の５個のチャック部３３０のクランプシュー３
０９に保持された状態で上下両砥石回転昇降機構１３、
１２の上下部回転砥石１６、１５の間に挿入配置され
る。この状態で上下両砥石回転昇降機構１３、１２の上
下部回転砥石１６、１５が高速運転されるとともに、チ
ャック機構回転駆動モータ６１が低速で回転駆動され、
ワーク１７がチャック機構３００に保持された状態で回
転する。そして上部砥石回転昇降機構１３の上部回転砥
石１６がワーク１７に向かって下降接近されて、両回転
砥石１５、１６の研削作用面１５ａ、１６ａにより両面
が同時に研削される。Here, the operation of the double-sided surface grinder configured as described above will be described. Now, in this double-sided surface grinder, in order to perform the grinding process, the work 17 is formed by the clamp shoes 3 of the five chuck portions 330 of the chuck mechanism 300.
09, the upper and lower whetstone rotating and lifting mechanism 13
It is inserted and arranged between the upper and lower rotary grindstones 16 and 15. In this state, the upper and lower rotating grindstones 16 and 15 are driven at high speed while the upper and lower grindstone rotating / elevating mechanisms 13 and 12 are driven at high speed, and the chuck mechanism rotating drive motor 61 is rotationally driven at low speed.
The work 17 rotates while being held by the chuck mechanism 300. Then, the upper rotary grindstone 16 of the upper grindstone rotary elevating mechanism 13 descends and approaches the work 17, and both surfaces are simultaneously ground by the grinding action surfaces 15 a, 16 a of both rotary grindstones 15, 16.

【００８０】図１１は研削工具の研削作用面を見る平面
図、図１２は図１１の中心を含む研削工具であるカップ
砥石のＸ−Ｘ線に沿って矢印方向に見た断面図である。
前述した回転砥石（研削工具）１５、１６は本実施の形
態では同一部材が用いられる。ここではこの研削工具の
全体を符号１で表わす。FIG. 11 is a plan view showing a grinding operation surface of the grinding tool, and FIG. 12 is a cross-sectional view of a cup grindstone as a grinding tool including the center of FIG.
In the present embodiment, the same members are used for the above-described rotary grindstones (grinding tools) 15 and 16. Here, the whole of the grinding tool is represented by reference numeral 1.

【００８１】この研削工具１は鉄製円板の台板２の端面
に台板２の直径よりわずかに小さく砥石軸と同心の回転
砥石としてのダイヤモンド砥石３を備えている。このダ
イヤモンド砥石３は幅をもって円環状に配せられてい
る。このダイヤモンド砥石３はダイヤモンド砥粒を結合
剤で固めると共に台板２に固着したものである。This grinding tool 1 is provided with a diamond grindstone 3 as a rotary grindstone slightly smaller than the diameter of the baseplate 2 and concentric with the grindstone shaft on the end face of the baseplate 2 made of an iron disk. The diamond grindstone 3 is arranged in an annular shape with a width. The diamond grindstone 3 is obtained by solidifying diamond abrasive grains with a binder and fixing the diamond grindstone to the base plate 2.

【００８２】ダイヤモンド砥石３の研削作用面３ａは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板２の背面に
は円筒形の凹形嵌合部２ａでもって台板２と同径の砥石
ホルダ６（前述の符号２９、４３に代えて用いる）の凸
形嵌合部６ａに嵌合し、台板２の背面と砥石ホルダ６の
前面を密着させ台板２のボルト穴を挿通するボルト７を
砥石ホルダ６にねじ込み固定されている。なお、カップ
砥石を使用することにより、砥石の偏摩耗、片べりを防
ぎ、研削抵抗の低減更にはコストダウンを図ることが出
来る。The grinding surface 3a of the diamond grinding wheel 3 is on the same plane perpendicular to the grinding wheel axis. A cylindrical concave fitting portion 2a is fitted on the rear surface of the base plate 2 to a convex fitting portion 6a of a grindstone holder 6 having the same diameter as the base plate 2 (used in place of the reference numerals 29 and 43). Then, the back surface of the base plate 2 and the front surface of the grindstone holder 6 are brought into close contact with each other, and a bolt 7 inserted through a bolt hole of the base plate 2 is screwed into the grindstone holder 6 and fixed. The use of a cup grindstone can prevent uneven wear and side slip of the grindstone, reduce the grinding resistance, and reduce the cost.

【００８３】図１１にはダイヤモンド砥石３とワーク１
７の位置関係が示されている。ワーク１７がチャック機
構３００により保持されるとワーク１７の中心とチャッ
ク機構３００の中心は５個のクランプシュー３０９によ
りはさまれて一致する。このワーク中心０Ｗ上をダイヤ
モンド砥石３の研削作用面３ａが通るようにダイヤモン
ド砥石３の中心０Ｇはワーク中心０Ｗから距離ｅだけ離
れている。本例では砥石外径はワーク１７の直径の略二
分の一大となっている。ワーク１７の表面を全面研削で
きるように砥石外径はワーク１７の直径の二分の一より
大きくなければならない。この場合図１１に示すよう
に、砥石研削作用面内にワークのいずれかの外周線が含
まれる。FIG. 11 shows a diamond whetstone 3 and a work 1
7 is shown. When the work 17 is held by the chuck mechanism 300, the center of the work 17 and the center of the chuck mechanism 300 are sandwiched by the five clamp shoes 309 and coincide. The center 0G of the diamond grindstone 3 is separated from the work center 0W by a distance e such that the grinding action surface 3a of the diamond grindstone 3 passes on the work center 0W. In this example, the outer diameter of the grindstone is approximately half the diameter of the work 17. The outer diameter of the grindstone must be larger than half the diameter of the work 17 so that the entire surface of the work 17 can be ground. In this case, as shown in FIG. 11, one of the outer peripheral lines of the work is included in the grinding wheel working surface.

【００８４】図３、図１１に示すようにワーク１７と上
下部砥石１５、１６との接触面の砥石外周側からはみ出
たワーク１７の両面を保持する上下部のワークレスト７
１、７２が設けられている。下部ワークレスト７１は下
部フレーム１１上に固定（図３）されている。As shown in FIGS. 3 and 11, the upper and lower work rests 7 for holding both surfaces of the work 17 protruding from the outer peripheral side of the grindstone of the contact surface between the work 17 and the upper and lower grindstones 15 and 16.
1, 72 are provided. The lower work rest 71 is fixed on the lower frame 11 (FIG. 3).

【００８５】図３の一部拡大図である図１３に示すよう
に、下部ワークレスト７１は下部フレーム１１上に固定
されたベース７５上にデイスタンスピース７６を介して
下部流体静圧スライド７７を含んでいる。図１１に示す
ようにこの流体静圧スライド７７のスライド面７７ａは
ワーク中心０Ｗと砥石中心０Ｇを結ぶ直線を対称線とし
てこの直径の両側の研削工具１とワーク１７の接触部か
らはみ出たワーク１７の面内に対向するように小隙間を
おいて配設されている。As shown in FIG. 13 which is a partially enlarged view of FIG. 3, the lower work rest 71 is provided with a lower hydrostatic slide 77 via a distance piece 76 on a base 75 fixed on the lower frame 11. Contains. As shown in FIG. 11, the slide surface 77a of the hydrostatic slide 77 has a work 17 protruding from a contact portion between the grinding tool 1 and the work 17 on both sides of this diameter with a straight line connecting the work center 0W and the grinding wheel center 0G as a symmetrical line. Are arranged with a small gap therebetween so as to face each other.

【００８６】下部流体静圧スライド７７のスライド面７
７ａには図示されないポケットが設けられ、このポケッ
トに向って供給される圧力流体の通路が設けてある。た
だし、ポケットはなくても静圧流体膜は形成されるので
ポケットなしの場合も採用できる。即ち、ベース７５の
圧力流体入口７５ａ、流体通路７５ｂ、ベース７５にＯ
リング７８を介して嵌入している下部流体静圧スライド
７７の流体通路７７ｂ、流体通路７７ｂとスライド面７
７ａに設けた図示されないポケットとの間と流体通路７
７ｂとを連通しているオリフイス７７ｃが連設されてい
て、圧力流体入口７５ａから供給される圧力流体が下部
流体静圧スライド７７のスライド面７７ａとワーク１７
の下面の対向面間に流入する。スライド面７７ａとワー
ク１７の下面との間へ供給された圧力流体は上述のポケ
ット外のワーク１７の下面に対向するスライド面７７ａ
の環流口より環流する（図示されない）。Slide surface 7 of lower hydrostatic slide 77
The pocket 7a is provided with a pocket (not shown), and a passage for the pressure fluid supplied toward the pocket is provided. However, since a static pressure fluid film is formed even without a pocket, a case without a pocket can be adopted. That is, the pressure fluid inlet 75a of the base 75, the fluid passage 75b, and the base 75
The fluid passage 77b of the lower hydrostatic slide 77 fitted through the ring 78, the fluid passage 77b and the slide surface 7
7a and a fluid passage 7 between a pocket (not shown)
An orifice 77c communicating with the lower fluid static pressure slide 77 and the workpiece 17 are provided.
Flows between the opposing surfaces of the lower surface of. The pressure fluid supplied between the slide surface 77a and the lower surface of the work 17 is applied to the slide surface 77a facing the lower surface of the work 17 outside the pocket.
(Not shown).

【００８７】なお、この環流口をなくしてワーク１７と
スライド面７７ａ間に供給された圧力流体をワーク１７
とスライド面７７ａ間の隙間から外部空間へ流出させ静
圧、動圧を利用するハイブリッド流体圧スライドとして
もよい。It should be noted that the pressure fluid supplied between the work 17 and the slide surface 77a is removed by eliminating the recirculation port.
A hybrid fluid pressure slide that uses static pressure and dynamic pressure to flow out of the gap between the slide surface 77a and the external space is used.

【００８８】上部ワークレスト７２は上部流体静圧スラ
イド８１を有し、シリンダボデイ７９ａとシリンダブッ
シュ７９ｂとシリンダふた７９ｇとで流体圧シリンダ７
９を構成し、この中にピストン８１ｅと一体的にされて
いる上部流体静圧スライド８１が上下動可能に設けられ
ている。この上部流体静圧スライド８１への圧力流体の
供給はシリンダボデイ７９ａに設けた圧力流体入口７９
ｃ、シリンダブッシュ７９ｂの穴７９ｄ、上部流体静圧
スライド８１の外周溝８１ａ、上部流体静圧スライド８
１に設けた流体通路８１ｂ、この流体通路８１ｂとの間
を連通するオリフィス８１ｃ、ワーク１７と上部流体静
圧スライド８１の表面の静圧スライド面８１ｄに設けた
ポケットとの間を通じて行われ、このポケットに供給さ
れた圧力流体は下部流体静圧スライド７７同様に環流さ
れる。なお、ハイブリッド流体圧スライドとしてもよ
い。The upper work rest 72 has an upper hydrostatic slide 81, and the hydraulic cylinder 7 comprises a cylinder body 79a, a cylinder bush 79b, and a cylinder lid 79g.
The upper fluid static pressure slide 81 integrated with the piston 81e is provided therein so as to be vertically movable. The supply of the pressure fluid to the upper fluid static pressure slide 81 is performed by a pressure fluid inlet 79 provided in the cylinder body 79a.
c, hole 79d of cylinder bush 79b, outer peripheral groove 81a of upper hydrostatic slide 81, upper hydrostatic slide 8
1, a fluid passage 81b provided in the fluid passage 81b, an orifice 81c communicating with the fluid passage 81b, and a work 17 and a pocket provided on a static pressure slide surface 81d on the surface of the upper fluid static pressure slide 81. The pressure fluid supplied to the pocket is circulated as in the lower hydrostatic slide 77. Note that a hybrid fluid pressure slide may be used.

【００８９】この上部流体静圧スライド８１はピストン
８１ｅの両側へ圧力流体出入口７９ｅ、７９ｆから選択
的に流出入させたり、圧力流体を共に供給しないことに
より制御される。即ち、下部シリンダ室に圧力流体を流
入し、上部シリンダ室を無圧とすると上部流体静圧スラ
イド８１は上昇し、逆に上部シリンダ室に圧力流体を流
入し下部シリンダ室を無圧にすると上部流体静圧スライ
ド８１は下降する。速度制御は無圧側をブリードオフす
ることにより制御するのが適当である。また両シリンダ
室を無圧とすると上部流体静圧スライド８１は自重で下
降しようとする。The upper fluid static pressure slide 81 is controlled by selectively flowing into and out of the pressure fluid ports 79e and 79f to both sides of the piston 81e, or by not supplying pressure fluid together. That is, when the pressure fluid flows into the lower cylinder chamber and the upper cylinder chamber is made non-pressure, the upper fluid static pressure slide 81 rises. The hydrostatic slide 81 descends. It is appropriate to control the speed by bleeding off the non-pressure side. When both cylinder chambers are not pressurized, the upper hydrostatic slide 81 tends to descend by its own weight.

【００９０】このように構成された上部流体静圧スライ
ドを有する上部ワークレスト７２は上部フレーム１１１
に固定され又は、上部軸支筒３８に固定される。また、
独立した図示されない昇降装置で上下動可能とすること
もできる。上記圧力流体としては気体、液体のものが考
えられるが気体としては好ましくは圧縮空気、流体とし
ては好ましくは油、研削液等が用いられる。なお、流体
の圧力形式としては静圧状態で用いるのが浮揚力を大き
くする効果が有り好ましい。The upper work rest 72 having the upper hydrostatic slide constructed as described above is connected to the upper frame 111.
Or fixed to the upper shaft support cylinder 38. Also,
It is also possible to be able to move up and down by an independent lifting device (not shown). The pressure fluid may be a gas or a liquid. The gas is preferably compressed air, and the fluid is preferably oil or grinding fluid. Note that it is preferable to use the fluid in a static pressure state as the pressure type of the fluid because it has an effect of increasing the levitation force.

【００９１】上記構成における作用について述べる。下
部流体静圧スライド７７はワーク１７の下面を保持する
位置にスライド面７７ａが位置している。上部流体静圧
スライド８１はワーク１７の上面を保持する位置から退
避している。この退避位置はシリンダ７９に対して上部
流体静圧スライド８１が上昇した位置にあるのが少くと
も必要であるが、上述したように上部軸支筒３８と共に
上昇している場合には後述の上部軸支筒３８を下降して
上部砥石１６を下降後に上部流体静圧スライド８１をシ
リンダ７９に対して下降位置をとらせる。上部回転砥石
１６を上昇させた状態で移動枠５３を移動してチャック
機構３００の中心０Ｗを研削工具１の中心０Ｇから距離
ｅだけ離して位置させる。この距離ｅはダイヤモンド砥
石３の平均半径である。円形形状のワーク中心０Ｗは必
ず円環状のダイヤモンド砥石３に重なり、ダイヤモンド
砥石３の外周がワーク１７からはみでた部分が存在する
必要がある。The operation of the above configuration will be described. The slide surface 77a of the lower hydrostatic slide 77 is located at a position where the lower surface of the work 17 is held. The upper fluid static pressure slide 81 is retracted from a position for holding the upper surface of the work 17. It is necessary that the retracted position is at least the position where the upper hydrostatic slide 81 is raised with respect to the cylinder 79. However, if the retracted position is raised together with the upper shaft support cylinder 38 as described above, After the shaft support cylinder 38 is lowered and the upper grindstone 16 is lowered, the upper hydrostatic slide 81 is moved to the lower position with respect to the cylinder 79. With the upper rotating grindstone 16 raised, the moving frame 53 is moved to position the center 0W of the chuck mechanism 300 away from the center 0G of the grinding tool 1 by a distance e. This distance e is the average radius of the diamond grindstone 3. The center 0W of the circular workpiece must always overlap the annular diamond grindstone 3, and there must be a portion where the outer periphery of the diamond grindstone 3 protrudes from the workpiece 17.

【００９２】ここで下部回転砥石１５を上昇してチャッ
ク機構３００のクランプシュー３０９の下面に近接さ
せ、ワーク１７を、下部回転砥石１５上に載置しチャッ
ク機構３００をクランプにしワーク１７を保持する。こ
れによってワーク１７の上下面はチャック部３３０のク
ランプシュー３０９の上下面よりも夫々上下へ出てい
る。ここで上部回転砥石１６を下降してワーク１７に接
近する。そして、上部流体静圧スライド８１のスライド
面８１ｄをワーク１７の上面へ向って退避位置から移動
する。この際上部流体静圧スライド８１はシリンダ７９
に対して下降限度位置まで下降しない位置でスライド面
８１ｄがワーク１７上面にのるようにする。Here, the lower rotating grindstone 15 is raised to approach the lower surface of the clamp shoe 309 of the chuck mechanism 300, and the work 17 is placed on the lower rotating grindstone 15 and the chuck mechanism 300 is clamped to hold the work 17. . As a result, the upper and lower surfaces of the work 17 protrude upward and downward from the upper and lower surfaces of the clamp shoe 309 of the chuck section 330, respectively. Here, the upper rotating grindstone 16 descends and approaches the work 17. Then, the slide surface 81d of the upper hydrostatic slide 81 moves from the retracted position toward the upper surface of the work 17. At this time, the upper hydrostatic slide 81 is
The slide surface 81d is set on the upper surface of the work 17 at a position where the slide surface 81d does not descend to the lower limit position.

【００９３】ここで上下部ワークレスト７１、７２の上
下部流体静圧スライドに夫々圧力流体が供給され、ワー
ク１７の両面の砥石１５、１６との対向面からはみ出し
た部分１７ｂが上下部流体静圧スライドにより保持され
る。このワーク１７の保持は下部流体静圧スライド７７
のスライド面７７ａに対してワーク１７の下面が定ま
り、上部流体静圧スライド８１がワーク１７上面にのる
ことにより行われる。この場合上部流体静圧スライド８
１のスライド面８１ｄとワーク１７の表面との間に適当
な静圧流体膜が生成するように、上部流体静圧スライド
８１の自重のみによってワーク１７に向って加圧する
か、またはシリンダ７９でもって加圧を行う。なお、こ
のシリンダ７９の圧力媒体は気体、液体何れも採用でき
る。Here, the pressurized fluid is supplied to the upper and lower fluid static pressure slides of the upper and lower work rests 71 and 72, respectively, and the portions 17b protruding from the opposing surfaces of the work 17 with the grindstones 15 and 16 become the upper and lower fluid static slides. It is held by a pressure slide. This work 17 is held by the lower hydrostatic slide 77
The lower surface of the work 17 is determined with respect to the slide surface 77a, and the upper fluid static pressure slide 81 is mounted on the upper surface of the work 17. In this case, the upper hydrostatic slide 8
The upper hydrostatic slide 81 is pressurized toward the work 17 only by its own weight, or is pressed with the cylinder 79 so that an appropriate hydrostatic fluid film is formed between the slide surface 81d of the first work 1 and the surface of the work 17. Pressurize. The pressure medium of the cylinder 79 may be a gas or a liquid.

【００９４】砥石駆動モータ３４、４８、チャック機構
回転駆動モータ６１を付勢すると夫々上下部回転砥石１
６、１５は回転し、ワーク１７はチャック部３３０のク
ランプシュー３０９との摩擦力により一緒に回転する。
ここで上部回転砥石１６を下降してワーク１７に切り込
むと、ダイヤモンド砥石３はワーク１７の両面を夫々研
削する。この研削の際にワーク１７のダイヤモンド砥石
３の研削作用面３ａが作用している処（ワーク１７の中
心をとおる円弧帯）以外の砥石接触面からはみ出した部
分はワークレスト７１、７２で両面より保持する。When the grinding wheel drive motors 34 and 48 and the chuck mechanism rotation drive motor 61 are energized, the upper and lower rotating wheels 1
6 and 15 rotate, and the work 17 rotates together by the frictional force with the clamp shoe 309 of the chuck 330.
Here, when the upper rotating grindstone 16 is lowered and cut into the work 17, the diamond grindstone 3 grinds both surfaces of the work 17 respectively. At the time of this grinding, portions protruding from the grinding wheel contact surface other than where the grinding action surface 3a of the diamond grinding stone 3 of the work 17 is acting (an arc band passing through the center of the workpiece 17) are work rests 71 and 72 from both surfaces. Hold.

【００９５】ワーク１７の加工が終ると上部回転砥石１
６、上部流体静圧スライド８１を上昇し、チャック機構
３００をアンクランプにし下部回転砥石１５から外周側
にはみ出しているワーク１７の部分１７ｂを持ち上げて
ワーク１７を取り出す。このように上部流体静圧スライ
ド８１を自重又はシリンダ７９の加圧でもって、静圧ス
ライド面８１ｄとワーク１７間の静圧流体膜の負荷能力
と釣り合わせることによって、機体等の熱変形に対して
対応でき、ワーク１７を常に正確に保持できるものであ
る。When the work 17 is completed, the upper rotating grindstone 1
6. The upper fluid static pressure slide 81 is raised, the chuck mechanism 300 is unclamped, and the portion 17b of the work 17 protruding from the lower rotating grindstone 15 to the outer peripheral side is lifted to take out the work 17. As described above, the upper fluid static pressure slide 81 is weighed by its own weight or the pressure of the cylinder 79, and is balanced with the load capacity of the static pressure fluid film between the static pressure slide surface 81d and the work 17 to prevent thermal deformation of the machine body or the like. The work 17 can always be held accurately.

【００９６】なお、上述では上下部ワークレスト７１、
７２でワーク１７両面を保持したがワーク１７の何れか
一面のみをワークレストの１つで保持するようにしても
よい。従って、このようにワーク１７の一面側のみワー
クレストで保持する場合の両頭研削盤は上下部ワークレ
スト７１、７２の何れか一つを設けることでよい。In the above description, the upper and lower work rests 71,
Although both surfaces of the work 17 are held at 72, only one surface of the work 17 may be held by one of the work rests. Therefore, in the case of holding the work 17 only on one surface side by the work rest, the double-headed grinding machine may be provided with one of the upper and lower work rests 71 and 72.

【００９７】（実施の形態２）図１４に示す様にワーク
１７の片面の研削仕上を主眼とすると、上述の両頭研削
盤を用いて、下部回転砥石１５を回転しないか、ゆるく
回転して加工するか、下部回転砥石１５をワーク１７に
対して研削作用のゆるい、又は研削作用のない部材すな
わち押さえ用砥石に代えてもよい。この場合のワークの
回転方法も前記と同様である。(Embodiment 2) As shown in FIG. 14, if the main purpose is to grind one side of the work 17, the above-mentioned double-headed grinding machine is used to rotate the lower rotating grindstone 15 without rotation or to rotate it slowly. Alternatively, the lower rotary grindstone 15 may be replaced with a member having a small or no grinding effect on the workpiece 17, that is, a holding grindstone. The method of rotating the work in this case is the same as described above.

【００９８】（実施の形態３）ワーク１７の片面の研削
仕上を行う場合には端面を研削作用面１６ａとする回転
砥石１６を１個有する単頭平面研削盤によることもでき
る。図１５はかかる単頭平面研削盤であって下部フレー
ム１１には下部砥石関係部材はなく、下部フレーム１１
上には支持台５２とワーク支持部材１４のみが設けられ
る。この場合のワークの回転方法も前記と同様である。(Embodiment 3) In the case where one side of the work 17 is to be ground, a single-headed surface grinder having one rotating grindstone 16 having an end surface serving as a grinding surface 16a may be used. FIG. 15 shows such a single-headed surface grinder, in which the lower frame 11 has no lower grinding wheel-related members.
Only the support table 52 and the work support member 14 are provided on the upper side. The method of rotating the work in this case is the same as described above.

【００９９】図１６に示す様に上記流体静圧スライド８
３はワーク１７と同心に設けられている。従ってワーク
１７の裏面の全面が一定位置に支持され、しかもワーク
１７は固体との接触がないのでワーク１７の研削面が傷
つくことがない。しかも流体静圧スライド８３のワーク
１７を支持する平面は全面にわたり平面度がよく、ワー
ク１７を単に支えるだけであるから、真空チャックで吸
着する場合のような加工後における復元による精度低下
が生じない。As shown in FIG. 16, the hydrostatic slide 8
3 is provided concentrically with the work 17. Therefore, the entire back surface of the work 17 is supported at a fixed position, and the ground surface of the work 17 is not damaged because the work 17 does not come into contact with a solid. In addition, the flat surface of the hydrostatic slide 83 supporting the work 17 has good flatness over the entire surface and only supports the work 17, so that there is no decrease in accuracy due to restoration after processing such as suction by a vacuum chuck. .

【００１００】上記において流体静圧スライド８３はワ
ーク１７を間にして上部回転砥石１６と対向している部
分以外は上部ワークレスト７２と対向している。従っ
て、ワーク１７はほぼ全面にわたって上部流体静圧スラ
イド８１と上部回転砥石１６とで加圧されるのでワーク
１７は反ることがない。In the above, the fluid static pressure slide 83 faces the upper work rest 72 except for the portion facing the upper rotary grindstone 16 with the work 17 therebetween. Therefore, the work 17 is pressurized over almost the entire surface by the upper hydrostatic slide 81 and the upper rotary grindstone 16, so that the work 17 does not warp.

【０１０１】図１７にチャック機構３００の他の実施の
形態を示す。爪３０４は下板（図示せず）側の側面近く
中央付近に支点ピン３０５を有する。爪３０４上に支点
ピン３０５に対してばね３０６と反対側にブラケット３
３１が固定して取り付けられている。ばね３０６の付勢
力により爪３０４はクランプシュ３０９が上板（図示せ
ず）の円環中心方向の動きを生じる方向に回転力を受け
ている。クランプシューの円環方向内側の動きによりワ
ーク（図示せず）はクランプされている。爪３０４のこ
の方向の回転はストッパ３０７のストッパボルト３０８
によって規制されている。FIG. 17 shows another embodiment of the chuck mechanism 300. The claw 304 has a fulcrum pin 305 near the center near the side surface on the lower plate (not shown) side. Bracket 3 on the opposite side of spring 306 with respect to fulcrum pin 305 on claw 304
31 is fixedly attached. Due to the urging force of the spring 306, the pawl 304 receives a rotational force in the direction in which the clamp plate 309 moves toward the center of the ring of the upper plate (not shown). The work (not shown) is clamped by the inner movement of the clamp shoe in the annular direction. The rotation of the claw 304 in this direction is performed by the stopper bolt 308 of the stopper 307.
Regulated by

【０１０２】移動枠（図示せず）の上に各爪３０４に対
応して複数の駆動手段としての空気シリンダ３３２（図
１７に点線で表示）が取り付けられている。空気シリン
ダ３３２には空気シリンダピストン３３２ａ（図１７で
点線で表示）が取り付けられており、定位停止状態で空
気シリンダ３３２に駆動空気が送られると空気シリンダ
ピストン３３２ａは空気シリンダ３３２から上板の円環
の中心に向かって飛び出し、ブラケット３３１にぶつか
る。空気シリンダピストン３３２ａがブラケット３３１
にぶつかると爪３０４はばね３０６の付勢力に対向して
支点ピン３０５を中心に回転し、クランプシュー３０９
は上板の円環中心とは反対側の方向に動き、ワークはア
ンクランプされる。このような構造とすると、上板と下
板の円環中心を中心とする相対回転を生じさせる必要が
なくなり、さらに上板にカム溝を加工し、爪３０４に従
動ピンを固定して取り付けて、従動ピンがカム溝内部を
摺動するようにする必要もない。また、シリンダの代わ
りにモータ或いはマグネットを用いることもできる。さ
らにリンク機構を介在させることもできる。また、上記
において駆動空気の代わりに駆動油等を使用してもよ
い。A plurality of air cylinders 332 (indicated by dotted lines in FIG. 17) as a plurality of driving means are mounted on a moving frame (not shown) corresponding to the respective claws 304. An air cylinder piston 332a (indicated by a dotted line in FIG. 17) is attached to the air cylinder 332. When driving air is sent to the air cylinder 332 in the stationary state, the air cylinder piston 332a is moved from the air cylinder 332 to the upper plate circle. It jumps out toward the center of the ring and hits the bracket 331. The air cylinder piston 332a is the bracket 331
The claws 304 rotate about the fulcrum pin 305 in opposition to the biasing force of the spring 306 when
Moves in the direction opposite to the center of the ring of the upper plate, and the workpiece is unclamped. With such a structure, there is no need to cause relative rotation of the upper plate and the lower plate around the center of the ring, and further, a cam groove is machined in the upper plate, and a driven pin is fixedly attached to the pawl 304 and attached. Also, there is no need for the driven pin to slide inside the cam groove. Further, a motor or a magnet may be used instead of the cylinder. Further, a link mechanism can be interposed. In the above description, drive oil or the like may be used instead of drive air.

【０１０３】図２０にチャック機構３００のさらに他の
実施の形態を示す。図２０は下記に示す上板、リングを
省略して作成してある。また、図２１（ａ）は図２０の
Ｙ−Ｙ断面を示している。爪３０４は上板３０２／リン
グ３０３と下板３０１との間に挟まれている。第１円環
状部材としての上板３０２、リング３０３、第２円環状
部材としての下板３０２１は中心軸を一致させて配設さ
れ、さらに上板３０２とリング３０３は同一平面上に配
設され、リング３０３の外周部フランジに対し上板３０
２の内周部フランジが嵌合されている。FIG. 20 shows still another embodiment of the chuck mechanism 300. FIG. 20 is prepared by omitting the upper plate and ring shown below. FIG. 21A shows a YY cross section of FIG. The claw 304 is sandwiched between the upper plate 302 / ring 303 and the lower plate 301. The upper plate 302 and the ring 303 as the first annular member, and the lower plate 3021 as the second annular member are arranged so that their central axes coincide, and the upper plate 302 and the ring 303 are arranged on the same plane. , The upper plate 30 against the outer peripheral flange of the ring 303.
2 inner peripheral flanges are fitted.

【０１０４】各爪３０４はさらに上板３０２に固定され
た一対のガイドプレート３３４に沿って上板３０２の円
環の半径方向に進退可能な構造となっている。爪３０４
には２本のばね３０６によって常時、円環の中心方向へ
向かう力が付勢されている。爪３０４の中央付近の円環
中心とは反対側の側面の近くに規制ピン３３５が固定さ
れ、その先端部３３５ａが下板３０１に加工された規制
溝３３６に係合されている。規制ピン３３５は２本のば
ね３０６の中間の位置に配置されている。規制溝３３６
は下板３０１の円環の半径方向に長い形状を有し、爪３
０４の同方向の進退を所定の範囲内に規制している。な
お、ガイドプレート３３４の摺動面は、図示しないが爪
３０４の側縁を嵌合するアリ溝等の案内溝が形成されて
いる。Each of the claws 304 has a structure capable of moving forward and backward in the radial direction of the ring of the upper plate 302 along a pair of guide plates 334 fixed to the upper plate 302. Nail 304
Are always urged by two springs 306 toward the center of the ring. A restricting pin 335 is fixed near the center of the claw 304 on the side opposite to the center of the ring, and its tip 335a is engaged with a restricting groove 336 formed in the lower plate 301. The restriction pin 335 is disposed at a position intermediate between the two springs 306. Control groove 336
Has a shape elongated in the radial direction of the ring of the lower plate 301,
04 is restricted within a predetermined range. Although not shown, a guide groove such as a dovetail groove for fitting the side edge of the claw 304 is formed on the sliding surface of the guide plate 334.

【０１０５】爪３０４の裏面（下板３０１側と接してい
る面）の円環中心側にはクランプシュー３０９が固定さ
れたブラケット３３１が配設され、２本の六角穴付きボ
ルトである調整ボルト３３７により爪３０４に係合され
ている。爪３０４に加工され、調整ボルト３３７の頭が
納められる調整溝３３８はその深さが下板の厚さより短
く、また円環の半径方向に平行な方向に長い形状を有す
るため、クランプシュー３０９の円環の半径方向の位置
を調整することができる。調整溝３３８の底に加工され
ているボルト穴は円形ではなく調整ボルト３３７の動き
に対応できる長穴となっている。A bracket 331 to which a clamp shoe 309 is fixed is provided at the center of the ring on the back surface (surface in contact with the lower plate 301 side) of the claw 304, and two hexagon socket bolts are used as adjustment bolts. 337 engages with the pawl 304. The adjusting groove 338, which is formed into the claw 304 and accommodates the head of the adjusting bolt 337, has a depth shorter than the thickness of the lower plate and has a shape that is longer in a direction parallel to the radial direction of the ring. The radial position of the ring can be adjusted. The bolt hole formed in the bottom of the adjustment groove 338 is not a circle but an elongated hole that can respond to the movement of the adjustment bolt 337.

【０１０６】移動枠（図示せず）の上に各爪３０４に対
応して爪３０４と同じ数の駆動手段としての空気シリン
ダ３３２が取り付けられている。空気シリンダ３３２に
は空気シリンダピストン３３２ａが取り付けられ、さら
にその先には空気シリンダフックアーム３３２ｂが取り
付けられている。シリンダ３３２には円環中心側の室に
駆動空気が送られる。これにより、シリンダ３３２はば
ね３０６の付勢力に抗して円環の半径方向外側に動き、
空気シリンダフックアーム３３２ｃがブラケット３３１
の爪３０４と接している面とは反対の面に取り付けられ
たブラケット突起部３３１ａにあたり、さらにブラケッ
ト突起部３３１ａを円環の半径方向外側に動かす。ブラ
ケット３３１には上述のようにクランプシュー３０９が
固定されているので、クランプシュー３０９は円環の半
径方向外側に動くことになる。The same number of pneumatic cylinders 332 as driving means are mounted on the moving frame (not shown) corresponding to each of the pawls 304. An air cylinder piston 332a is attached to the air cylinder 332, and an air cylinder hook arm 332b is attached further to the air cylinder piston 332a. Driving air is sent to the cylinder 332 to a chamber on the center side of the ring. As a result, the cylinder 332 moves radially outward of the ring against the urging force of the spring 306,
The air cylinder hook arm 332c is the bracket 331
The bracket projection 331a attached to the surface opposite to the surface in contact with the claw 304 is further moved radially outward of the ring. Since the clamp shoe 309 is fixed to the bracket 331 as described above, the clamp shoe 309 moves outward in the radial direction of the ring.

【０１０７】よって、空気シリンダ３３２に駆動空気を
送らない場合はばね３０６の付勢力により爪は３０４は
円環の半径方向内側に移動するのでクランプシュー３０
９はワークに接しさらにワークはクランプされる。ま
た、空気シリンダ３３２に駆動空気を送る場合には、爪
３０４は円環の半径方向外側に移動するのでクランプシ
ュー３０９はワークから離れワークはアンクランプされ
る。この場合も、シリンダの代わりにモータ或いはマグ
ネットを用いることができ、さらにリンク機構を介在さ
せることもできる。また、駆動空気の代わりに駆動油等
を使用してもよい。また、この実施の形態の場合、上板
３０２、リング３０３及び下板３０１を一体に結合させ
てもよい。Therefore, when the driving air is not sent to the air cylinder 332, the claws 304 move inward in the radial direction of the ring due to the urging force of the spring 306, so that the clamp shoe 30
Reference numeral 9 contacts the workpiece, and the workpiece is clamped. When the driving air is sent to the air cylinder 332, the claws 304 move outward in the radial direction of the ring, so that the clamp shoe 309 is separated from the work and the work is unclamped. Also in this case, a motor or a magnet can be used instead of the cylinder, and a link mechanism can be interposed. Further, driving oil or the like may be used instead of driving air. Further, in the case of this embodiment, the upper plate 302, the ring 303, and the lower plate 301 may be integrally connected.

【０１０８】図２１（ｂ）に示すような、フックレバー
３３９の動きを生じさせるようにシリンダピストン３３
２ａがフックレバー３０９に連結された空気シリンダ３
３２としてもよい。破線で示された状態のフックレバー
３０９は空気シリンダ３３２に駆動空気が送られていな
い状態を示し、ばね３０６の付勢力によりワークがクラ
ンプされている状態に相当する（この状態のブラケット
３３１は図示せず）。実線で示された状態のフックレバ
ー３０９は、空気シリンダ３３２に駆動空気が送られて
いる状態を示し、空気シリンダ３３２はばね３０６の付
勢力に打ち勝つ力を発生させて、フックレバー３３９が
ブラケット突起部３３１ａを上記の円環の半径方向外側
に押している状態であり、ワークがアンクランプされて
いる状態に相当する。この場合のフックレバー３３９
は、前述の空気シリンダフックアーム３３２ｂの代わり
の働きをする。前述の空気シリンダ３３２の代わりにフ
ックレバー３３９を同様に動作させる回転シリンダとし
てもよい。As shown in FIG. 21B, the cylinder piston 33 is moved so that the hook lever 339 moves.
2a is an air cylinder 3 connected to a hook lever 309
It may be 32. The hook lever 309 in the state shown by the broken line indicates a state in which the driving air is not sent to the air cylinder 332, and corresponds to a state in which the work is clamped by the urging force of the spring 306 (the bracket 331 in this state is shown in FIG. Not shown). The hook lever 309 in the state indicated by the solid line indicates a state in which the driving air is being sent to the air cylinder 332, and the air cylinder 332 generates a force that overcomes the urging force of the spring 306, and the hook lever 339 is This is a state in which the portion 331a is pushed outward in the radial direction of the ring, and corresponds to a state in which the work is unclamped. Hook lever 339 in this case
Serves as an alternative to the pneumatic cylinder hook arm 332b described above. Instead of the air cylinder 332, a rotary cylinder that operates the hook lever 339 in the same manner may be used.

【０１０９】今までに述べた本発明の実施の形態ではワ
ークにオリエンテーションフラットやノッチ等のない薄
板状ワークを如何にして回転させるかという課題を解決
することができる。本発明の実施の形態はワークの外周
側面をチャック機構で保持し、該チャック機構回転駆動
モータを回転させることによりワークを回転させる。こ
のとき該駆動系からの外乱によって振動または姿勢変化
を生じない様にワークレストの静圧スライドによりワー
クの砥石からのはみ出し部に上下から流体を介して接触
させ支持する。これにより研削面に駆動手段が接触せず
さらにワークレストの静圧スライドによる流体を介する
接触支持手段を組み合わせることにより、ワークにキズ
をつけることなく安定したワークの回転動作が得られ
る。The embodiments of the present invention described so far can solve the problem of how to rotate a thin plate-shaped work having no orientation flat, notch, etc. on the work. In the embodiment of the present invention, the outer peripheral side surface of the work is held by a chuck mechanism, and the work is rotated by rotating the chuck mechanism rotation drive motor. At this time, the work rest is brought into contact with the protruding portion of the work from the grindstone via a fluid from above and below and supported by a static pressure slide of the work rest so as not to cause vibration or change in posture due to disturbance from the drive system. Accordingly, the driving means does not come into contact with the grinding surface, and further, by combining the support means through the fluid by the static pressure slide of the work rest, a stable rotation operation of the work can be obtained without damaging the work.

【０１１０】また片面研削の場合も上述の両面研削の場
合と同様のワークの駆動方法に依る為良好な表面精度と
併せて高い形状精度が得られる。前述の実施の形態では
縦型両頭平面研削盤、縦型単頭平面研削盤について述べ
たが横型両頭平面研削盤、横型単頭平面研削盤を用いて
もよい。また、本発明は研削加工方法及び平面研削盤で
あるが、砥石をラッピング工具に変えてラッピング加工
方法及びラッピング盤としても応用できる。Also, in the case of single-side grinding, since a work driving method similar to that of the above-described double-side grinding is used, high shape accuracy can be obtained together with good surface accuracy. In the above embodiment, the vertical double-sided surface grinder and the vertical single-sided surface grinder have been described, but a horizontal double-sided surface grinder and a horizontal single-sided surface grinder may be used. Also, the present invention relates to a grinding method and a surface grinding machine, but can also be applied as a lapping method and a lapping machine by changing a grindstone to a lapping tool.

【０１１１】また、図９のようなノッチ３２０を形成し
たワーク１７に対し、クランプ部ではなく円環状部材に
突起部を設けた構成としてもよい。さらに、この場合、
図２０に示すクランプ部の進退機構と同様に突起部を進
退可能に支持させた構成とすることもできる。In addition, the work 17 having the notch 320 as shown in FIG. 9 may be provided with a projection on an annular member instead of a clamp. Furthermore, in this case,
A structure in which the protrusion is supported so as to be able to move forward and backward can be employed similarly to the mechanism for moving the clamp part shown in FIG.

【０１１２】[0112]

【発明の効果】第１から第１３の発明によれば、ワーク
の表面粗さ、平面度、平行度をよくし高精度な研削をす
ることができる。第４の発明によれば、さらに、小口径
のワークは勿論のこと、大口径のワークでも、さらにオ
リフラやノッチ等の切欠部の無いワークでも研削面に傷
をつけることなく確実に把持することができ安定して高
精度に研削することができる。また、チャック機構によ
り外径サイズの異なるワークを把持することができる。According to the first to thirteenth aspects, it is possible to improve the surface roughness, flatness, and parallelism of a work and perform high-precision grinding. According to the fourth aspect, it is possible to securely grip not only a small-diameter work, but also a large-diameter work and a work without a notch such as an orientation flat or a notch without damaging the ground surface. It is possible to stably and highly accurately grind. Further, works having different outer diameters can be gripped by the chuck mechanism.

【０１１３】第５の発明によれば、さらに、駆動系から
の外乱によってワークのたわみ、膜振動、姿勢変化を生
じないようにワークを流体を介してワークレストで保持
するので、安定して、より高精度に研削することができ
る。第６の発明によれば、さらに、ワークレストが流体
を介して非接触に支持するので、ワークをこすらずワー
クの回転がスムーズであり、かつ傷がつかないためより
高精度に研削することができる。第７の発明によれば、
さらに、砥石をその軸廻りに回転させれば、ワークを回
転させるだけでワークの表面、裏面の全面を研削でき
る。ワークより径の小さい砥石によって、ワーク全表面
または全裏面を研削加工することができる。According to the fifth aspect of the present invention, the work is held by the work rest via the fluid so that the work does not bend, the film vibrates, and the posture does not change due to disturbance from the driving system. Grinding can be performed with higher precision. According to the sixth invention, since the work rest is supported in a non-contact manner through the fluid, the work is smoothly rubbed without rubbing the work, and the work rest is not scratched, so that the grinding can be performed with higher precision. it can. According to the seventh invention,
Furthermore, if the grindstone is rotated around its axis, the entire front and back surfaces of the work can be ground only by rotating the work. With a grindstone smaller in diameter than the work, the whole surface or the whole back surface of the work can be ground.

【０１１４】第８の発明によれば、さらに、研削回転軸
方向の切り込みによる研削力を相殺できるのでより高精
度に研削をすることができる。第９の発明によれば、さ
らに、駆動系からの外乱によるワークのたわみ、膜振
動、姿勢変化を生じないようにワークの両面から流体を
介してワークレストで保持するので、より安定させて、
より高精度に研削することができる。According to the eighth aspect, the grinding force due to the cutting in the grinding rotation axis direction can be offset, so that the grinding can be performed with higher precision. According to the ninth aspect, the work is held by the work rest via the fluid from both sides of the work so as not to cause the bending, the film vibration, and the posture change of the work due to disturbance from the drive system.
Grinding can be performed with higher precision.

【０１１５】第１０及び第１１の発明によれば、さら
に、ワークのそれぞれの両面に異なった研削効果を与え
ることができる。第１２の発明によれば、さらに、砥石
の偏摩耗が少なくなり、研削抵抗が小さなるのでく、砥
石製作上のコストダウンを図ることができる。第１３の
発明によれば、さらに、ワークを把持したときに、ワー
クの形状が非円形であるため、研削加工中にワークのク
ランプ部材に対する回転方向のすべりが生じない。According to the tenth and eleventh aspects, different grinding effects can be given to both surfaces of the work. According to the twelfth aspect, the uneven wear of the grindstone is further reduced, and the grinding resistance is reduced. Therefore, it is possible to reduce the cost in producing the grindstone. According to the thirteenth aspect, when the workpiece is gripped, the workpiece has a non-circular shape, so that the workpiece does not slip in the rotational direction with respect to the clamp member during grinding.

【０１１６】第１４から第３９の発明によれば、小口径
のワークは勿論のこと、大口径のワークでも、さらにオ
リフラやノッチ等の切欠部の無いワークでもワークの研
削面を傷付けることなく、ワークの表面粗さ、平面度、
平行度のよい高精度の研削が可能となる平面研削盤を提
供することができる。第１６の発明によれば、さらに、
チャック機構によりワークの外周側面を把持するので外
径サイズの異なるワークを把持し研削することができ
る。チャック機構によりワークの外周側面を確実に把持
することができる。According to the fourteenth to thirty-ninth aspects, not only small-diameter workpieces, but also large-diameter workpieces and workpieces having notches such as orientation flats and notches do not damage the ground surface of the workpiece. Work surface roughness, flatness,
A surface grinder capable of performing high-precision grinding with good parallelism can be provided. According to the sixteenth aspect, further,
Since the outer peripheral side surface of the workpiece is gripped by the chuck mechanism, it is possible to grip and grind workpieces having different outer diameters. The outer peripheral side surface of the work can be reliably held by the chuck mechanism.

【０１１７】第１７の発明によれば、さらに、駆動系か
らの外乱によってワークのたわみ、膜振動、姿勢変化を
生じないようにワークをワークレストで保持するので、
安定して、より高精度に研削をすることができる平面研
削盤を提供することができる。第１８の発明によれば、
さらに、ワークレストが流体を介して非接触に支持する
ので、ワークをこすらずワークの回転がスムーズであ
り、かつ傷がつかないためより高精度に研削をすること
ができる。第１９の発明によれば、さらに、研削回転軸
方向の切り込みによる研削力を相殺できるのでより高精
度に研削をすることができる平面研削盤を提供すること
ができる。According to the seventeenth aspect, the work is held by the work rest so that the work does not bend, the film vibrates, and the posture changes due to disturbance from the drive system.
It is possible to provide a surface grinder that can stably grind with higher precision. According to the eighteenth aspect,
Further, since the work rest is supported in a non-contact manner through the fluid, the work can be smoothly rotated without rubbing the work, and can be ground with higher accuracy because it is not damaged. According to the nineteenth aspect, it is possible to provide a surface grinder that can perform grinding with higher precision because the grinding force due to the cutting in the grinding rotation axis direction can be offset.

【０１１８】第２０の発明によれば、さらに、駆動系か
らの外乱によるワークのたわみ、膜振動、姿勢変化を生
じないようにワークの両面からワークレストで保持する
ので、安定して、より高精度に研削できる平面研削盤を
提供することができる。第２１の発明によれば、さら
に、砥石をその軸廻りに回転させ、ワークを回転させる
だけでワークの表面、裏面の全面を研削できる平面研削
盤を提供することができる。また、ワークより径の小さ
い砥石によって、ワーク全表面または全裏面を研削加工
することができる。According to the twentieth aspect, the work is held by the work rest from both sides of the work so as not to cause the work deflection, film vibration, and posture change due to disturbance from the driving system. A surface grinder capable of grinding with high precision can be provided. According to the twenty-first aspect, it is possible to further provide a surface grinding machine capable of grinding the entire front and back surfaces of the work by simply rotating the grindstone about its axis and rotating the work. Further, the entire surface or the entire back surface of the work can be ground by a grindstone having a smaller diameter than the work.

【０１１９】第２２から第３９の発明によれば、薄板状
のワークを把持して回転させることができるチャック機
構を有するので、小口径のワークは勿論のこと、大口径
のワークでも、さらにオリフラやノッチ等の切欠部の無
いワークでも研削面に傷をつけることなく把持すること
ができ、高精度に研削することができる平面研削盤を提
供することができる。According to the twenty-second to thirty-ninth aspects, the chuck mechanism capable of gripping and rotating a thin plate-shaped work is provided, so that not only small-diameter work but also large-diameter work can be further rotated. It is possible to provide a surface grinder capable of gripping a work having no notch such as a notch or a notch without damaging a ground surface and grinding with high accuracy.

【０１２０】第２３の発明によれば、さらに、クランプ
部がワークをクランプする力を所定の値以下に制限し、
過大なクランプ力がワークにかかりワークが変形するこ
とを防止できる。第２４の発明によれば、さらに、クラ
ンプ部がワークをクランプする力の制限値をワークの寸
法、材質等に合わせて調整することができる。According to the twenty-third aspect, the force by which the clamping portion clamps the workpiece is limited to a predetermined value or less.
It is possible to prevent the work from being deformed due to excessive clamping force applied to the work. According to the twenty-fourth aspect, the limit value of the force with which the clamp portion clamps the work can be adjusted according to the size, material, and the like of the work.

【０１２１】第３０の発明によれば、さらに、チャック
機構の回転数が増加すれば増加するワークの締め付け力
を有し、ワークを確実にチャックすることができる。第
３１の発明によれば、さらに円環状部材にばねの力に抗
するトルクを与える、与えないによって、ワークをクラ
ンプするチャック機構とすることができる。第３２の発
明によれば、さらに、ワークを圧力流体を供給する、ま
たは供給しないことによって、ワークをアンクランプ
し、またはクランプするチャック機構とすることができ
る。According to the thirtieth aspect, the work has a clamping force that increases as the number of rotations of the chuck mechanism increases, and the work can be reliably chucked. According to the thirty-first aspect, it is possible to provide a chuck mechanism for clamping the work by further applying or not applying a torque against the force of the spring to the annular member. According to the thirty-second aspect, a chuck mechanism for unclamping or clamping the work by supplying or not supplying the work with the pressurized fluid can be provided.

【０１２２】第３３から第３６の発明によれば、さら
に、ワークが加工中にクランプ部材に対して回転方向の
すべりを生じることなく確実にクランプすることのでき
る平面研削盤を提供することができる。またワークの把
持に必要な力を低減でき、ワークの把持によるたわみが
生じることを防ぐことができる。第３７の発明によれ
ば、さらに、クランプ部材がクランプしたワークを傷つ
けることのない平面研削盤を提供することができる。第
３８の発明によれば、さらに、ワークが加工中にクラン
プ部材に対して回転方向のすべりを生じることなく確実
にクランプすることのできる平面研削盤を提供すること
ができる。According to the thirty-third to thirty-sixth aspects, it is further possible to provide a surface grinding machine capable of securely clamping a workpiece without rotationally slipping on a clamp member during machining. . Further, the force required for gripping the work can be reduced, and the occurrence of bending due to the gripping of the work can be prevented. According to the thirty-seventh aspect, it is possible to provide a surface grinder that does not damage the work clamped by the clamp member. According to the thirty-eighth aspect, it is further possible to provide a surface grinding machine capable of securely clamping the workpiece without causing slippage in the rotating direction with respect to the clamp member during processing.

【０１２３】第３９の発明によれば、さらに、ワークを
把持したときに、ワークの形状が非円形であるため、研
削加工中にワークのクランプ部材に対する回転方向のす
べりが生じないチャック機構を有する平面研削盤を提供
することができる。また、またワークの把持に必要な力
を低減でき、ワークの把持によるたわみが生じることを
防ぐことができるAccording to the thirty-ninth aspect, since the workpiece has a non-circular shape when the workpiece is gripped, there is provided a chuck mechanism in which the workpiece does not slip in the rotation direction with respect to the clamp member during grinding. A surface grinder can be provided. In addition, the force required for gripping the work can be reduced, and bending due to the gripping of the work can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本願発明の両頭平面研削盤の実施の形態１を示
す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a double-sided surface grinding machine according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１の上部フレーム部分の要部縦断面図であ
る。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a main part of an upper frame portion of FIG. 1;

【図３】図１の下部フレーム部分の要部縦断面図であ
る。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a main part of a lower frame portion of FIG. 1;

【図４】図３のワーク支持部材の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the work supporting member of FIG. 3;

【図５】図４のチャック機構を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the chuck mechanism of FIG. 4;

【図６】図５におけるチャック機構のＶＩ−ＶＩの断面
図である。6 is a sectional view of the chuck mechanism taken along line VI-VI in FIG. 5;

【図７】図５におけるチャック機構のＶＩＩ−ＶＩＩの
断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII of the chuck mechanism in FIG.

【図８】実施の形態１のチャック機構の要部拡大図であ
る。FIG. 8 is an enlarged view of a main part of the chuck mechanism according to the first embodiment.

【図９】ノッチのあるワークの場合のワークの平面図で
ある。FIG. 9 is a plan view of a work having a notch.

【図１０】図９のワークをクランプするためのクランプ
シューを備えたチャック機構の平面である。10 is a plan view of a chuck mechanism having a clamp shoe for clamping the work of FIG. 9;

【図１１】実施の形態１の研削工具、ワーク、ワークレ
ストの関係を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a relationship among a grinding tool, a work, and a work rest according to the first embodiment.

【図１２】図１１においてＸ−Ｘ線に沿って矢印に見た
断面図である。12 is a sectional view taken along the line XX in FIG.

【図１３】図２のワーク廻りの一部拡大図である。FIG. 13 is a partially enlarged view around the work of FIG. 2;

【図１４】実施の形態２のワーク支持部材の断面図であ
る。FIG. 14 is a sectional view of a work supporting member according to the second embodiment.

【図１５】本願発明の実施の形態３の単頭研削盤を示す
正面図である。FIG. 15 is a front view showing a single-head grinding machine according to a third embodiment of the present invention.

【図１６】実施の形態３の単頭研削盤におけるワーク支
持部材の断面図である。FIG. 16 is a sectional view of a work supporting member in the single-head grinding machine according to the third embodiment.

【図１７】チャック機構についてさらに他の実施の形態
を示す平面図の一部である。FIG. 17 is a part of a plan view showing still another embodiment of the chuck mechanism.

【図１８】図５に示したチャック機構についてさらに他
の実施の形態を示す断面図である。FIG. 18 is a sectional view showing still another embodiment of the chuck mechanism shown in FIG. 5;

【図１９】爪が重りを有する場合のチャック機構の平面
図の一部である。FIG. 19 is a part of a plan view of the chuck mechanism when the pawl has a weight.

【図２０】チャック機構についてさらに他の実施の形態
を示す平面図の一部である。FIG. 20 is a part of a plan view showing still another embodiment of the chuck mechanism.

【図２１】（ａ）は図２０のＹ−Ｙ断面を示す断面図で
ある。（ｂ）は図２０における空気シリンダフックアー
ムの代わりにフックレバーを用いた場合のフックレバー
の動きを説明する説明図である。FIG. 21A is a cross-sectional view showing a YY cross section of FIG. 20; FIG. 21B is an explanatory diagram illustrating the movement of the hook lever when a hook lever is used instead of the air cylinder hook arm in FIG. 20.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ …研削工具 ２ …台板 ２ａ…凹形嵌合部 ３ …ダイヤモンド砥石 ３ａ…研削作用面 ６ …砥石ホルダ ６ａ…凸形嵌合部 ７ …ボルト １１ …下部フレーム １２ …下部砥石回転昇降機構 １３ …上部砥石回転昇降機構 １４ …ワーク支持部材 １５ …下部回転砥石 １５ａ…研削作用
面 １６ …上部回転砥石 １６ａ…研削作用
面 １７ …ワーク １７ｂ…部分 ２０ …砥石台 ２１ …ガイド ２２ …下部砥石台移動用モータ ２３ …ボールねじ ２３ａ…ボールナ
ット ２４ …下部軸支筒 ２４ａ…ガイド部 ２４ｂ…ブラケット ２５ …下部砥石台昇降用モータ ２６ …回転伝達機構 ２７ …ボールねじ ２８ …下部砥石軸 ２９ …砥石ホルダ ３４ …砥石駆動モータ ３８ …上部軸支筒 ３８ａ…ブラケッ
ト ３９ …ガイド ４０ …昇降用モータ ４１ …ボールねじ ４１ａ…ボールナ
ット ４２ …上部砥石軸 ４３ …砥石ホルダ ４８ …砥石駆動モータ ５２ …支持台 ５３ …移動枠 ５４ …ガイドレール ５５ …移動枠移動用モータ ５６ …ボールねじ ５６ａ…ボールナ
ット ５８ …ガイドローラ ６１ …チャック機構回転駆動モータ ６２ …ギヤ ７１ …下部ワークレスト ７２ …上部ワークレスト ７５ …ベース ７５ａ…圧力流体
入口 ７５ｂ…流体通路 ７６ …デイスタンスピース ７７ …下部流体静圧スライド ７７ａ…スライド
面 ７７ｂ…流体通路 ７７ｃ…オリフイ
ス ７８ …Ｏリング ７９ …シリンダ ７９ａ…シリンダ
ボデイ ７９ｂ…シリンダブッシュ ７９ｃ…圧力流体
入口 ７９ｄ…穴 ７９ｅ、７９ｆ…
圧力流体出入口 ７９ｇ…シリンダふた ８１ …上部流体静圧スライド ８１ａ…外周溝 ８１ｂ…流体通路 ８１ｃ…オリフイ
ス ８１ｄ…静圧スライド面 ８１ｅ…ピストン ８３ …流体静圧スライド １１１ …上部フレーム ３００ …チャック機構 ３０１ …下板 ３０１ａ…外周端
部 ３０２ …上板 ３０２ａ…円弧溝 ３０３ …リング ３０４ …爪 ３０５ …支点ピン ３０６ …ばね ３０７ …ストッパ ３０７ａ…連結ピ
ン ３０８ …ストッパボルト ３０８ａ…先端 ３０９ …クランプシュー ３１０ …ボルト ３１１ …ボルト ３１１ｂ…ボルト ３１２ …ギヤ ３１３ …従動ピン ３１３ａ…先端部 ３１４ …カム溝 ３２０ …ノッチ ３２０ａ…突出部 ３２５ …ストッパ ３２６ …シリンダ ３２７ …ブラケット ３２８ …ピン穴 ３２９ …ピン ３３０ …チャック部 ３３１ …ブラケット ３３１ａ…ブラケ
ット突起部 ３３２ …空気シリンダ ３３２ａ…空気シ
リンダピストン ３３２ｂ…空気シリンダフックアーム ３３３ …重り ３３４ …ガイドプレート ３３５ …規制ピン ３３５ａ…先端部 ３３６ …規制溝 ３３７ …調整ボルト ３３８ …調整溝 ３３９ …フックレバーDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Grinding tool 2 ... Base plate 2a ... Concave fitting part 3 ... Diamond grindstone 3a ... Grinding working surface 6 ... Grindstone holder 6a ... Convex fitting part 7 ... Bolt 11 ... Lower frame 12 ... Lower grindstone rotation elevating mechanism 13 ... Upper grindstone rotating / elevating mechanism 14... Work support member 15... Lower rotating grindstone 15a... Grinding working surface 16... Upper rotating grindstone 16a. Grinding working surface 17... Work 17b ... Part 20... Grinding wheel base 21. Motor 23… Ball screw 23a… Ball nut 24… Lower shaft support 24a… Guide 24b… Bracket 25… Lower whetstone table elevating motor 26… Rotation transmission mechanism 27… Ball screw 28… Lower whetstone shaft 29… Whetstone holder 34 ... Wheel wheel drive motor 38 ... Upper shaft support 38a ... Bracket 39 ... Guide 40 ... Elevation motor 41 ... Baud Screw 41a Ball nut 42 Upper grindstone shaft 43 Grinding wheel holder 48 Grinding wheel drive motor 52 Support table 53 Moving frame 54 Guide rail 55 Motor for moving the moving frame 56 Ball screw 56a Ball nut 58 Guide roller 61 ... Chuck mechanism rotation drive motor 62 ... Gear 71 ... Lower work rest 72 ... Upper work rest 75 ... Base 75a ... Pressurized fluid inlet 75b ... Fluid passage 76 ... Distance piece 77 ... Lower fluid static pressure slide 77a ... Slide surface 77b ... Fluid passage 77c Orifice 78 O-ring 79 Cylinder 79a Cylinder body 79b Cylinder bush 79c Pressure fluid inlet 79d Hole 79e, 79f
Pressure fluid inlet / outlet 79g Cylinder lid 81 Upper fluid static pressure slide 81a Outer peripheral groove 81b Fluid passage 81c Orifice 81d Static pressure slide surface 81e Piston 83 Fluid static pressure slide 111 Upper frame 300 Chuck mechanism 301 Lower plate 301a ... outer peripheral end 302 ... upper plate 302a ... arc groove 303 ... ring 304 ... claw 305 ... fulcrum pin 306 ... spring 307 ... stopper 307a ... connecting pin 308 ... stopper bolt 308a ... tip 309 ... clamp shoe 310 ... bolt 311 ... bolt 311b ... bolt 312 ... gear 313 ... follower pin 313a ... tip 314 ... cam groove 320 ... notch 320a ... protruding part 325 ... stopper 326 ... cylinder 327 ... bracket 328 ... pin hole 329 ... pin 330 Chuck part 331 Bracket 331a Bracket protrusion 332 Air cylinder 332a Air cylinder piston 332b Air cylinder hook arm 333 Weight 334 Guide plate 335 Restriction pin 335a Tip 336 Restriction groove 337 Adjustment bolt 338 Adjustment groove 339… Hook lever

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村井 史朗 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Shiro Murai 100 Fukuno-cho, Higashi-Tonami-gun, Toyama Prefecture Inside the Hihei Toyama Toyama Plant (72) Inventor Toyohashi Wada 100 Fukuno-cho, Higashi Tonami-gun, Toyama Prefecture in the factory

Claims (39)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 薄板状ワークの表面と裏面の少なくとも
一方の平面に、回転している砥石を接触させて研削加工
を行う際に、前記ワークの外周側面に接し前記ワークの
砥石の回転に伴う移動を拘束する拘束手段により前記ワ
ークを保持することを特徴とする研削加工方法。1. A grinding work in which a rotating grindstone is brought into contact with at least one of a front surface and a back surface of a thin plate-like work to contact an outer peripheral side surface of the work and accompany rotation of the grindstone of the work. A grinding method, wherein the work is held by restraining means for restraining movement. 【請求項２】 前記ワークを前記拘束手段を介して同一
平面内で周期運動させる請求項１に記載の研削加工方
法。2. The grinding method according to claim 1, wherein the workpiece is periodically moved in the same plane via the restraining means. 【請求項３】 前記周期運動が回転運動、または往復運
動、または回転しながら行う往復運動である請求項２に
記載の研削加工方法。3. The grinding method according to claim 2, wherein the periodic motion is a rotary motion, a reciprocating motion, or a reciprocating motion performed while rotating. 【請求項４】 前記拘束手段が前記ワークの外周側面を
把持するチャック機構である請求項１から請求項３のい
ずれか１項に記載の研削加工方法。4. The grinding method according to claim 1, wherein said restraining means is a chuck mechanism for gripping an outer peripheral side surface of said work. 【請求項５】 前記ワークの砥石と接触する平面の砥石
外周からはみ出た部分にワークレストを接触させ、前記
ワークを周期運動可能に支持する請求項１から請求項４
のいずれか１項に記載の研削加工方法。5. The work rest is brought into contact with a portion of the plane of the work that comes into contact with the grindstone and protrudes from the outer periphery of the grindstone, and the work is supported so as to be capable of periodic movement.
The grinding method according to any one of the above. 【請求項６】 前記ワークレストは流体を介して前記ワ
ークを非接触に支持する請求項５に記載の研削加工方
法。6. The grinding method according to claim 5, wherein the work rest supports the work in a non-contact manner through a fluid. 【請求項７】 前記周期運動が回転運動であり、研削加
工中に、常に、前記ワークの中心、及び前記ワークのい
ずれかの外周線が砥石研削作用面の内部に含まれる請求
項４から請求項６いずれか１項に記載の研削加工方法。7. The grinding motion according to claim 4, wherein the periodic motion is a rotary motion, and the center of the work and any one of the outer circumferential lines of the work are always included in the grinding wheel working surface during the grinding process. Item 7. The grinding method according to any one of Items 6. 【請求項８】 前記砥石を前記ワークの表面と裏面の対
応する同じ位置に接触するように対向させてそれぞれ配
置して研削加工を行う請求項４から請求項７のいずれか
１項に記載の研削加工方法。8. The grinding method according to claim 4, wherein the grindstones are arranged so as to be opposed to each other so as to be in contact with the same corresponding positions on the front surface and the back surface of the work, and the grinding is performed. Grinding method. 【請求項９】 前記ワークレストを前記ワークの表面と
裏面の対応する同じ位置に接触するように対向させてそ
れぞれ配置して研削加工を行う請求項５から請求項８い
ずれか１項に記載の研削加工方法。9. The grinding method according to claim 5, wherein the work rests are arranged so as to be opposed to each other so as to come into contact with the same corresponding positions on the front surface and the back surface of the work, and grinding is performed. Grinding method. 【請求項１０】 一方の砥石の研削作用が他方の砥石の
研削作用より小さいものである請求項８または請求項９
に記載の研削加工方法。10. The grinding action of one of the grinding wheels is smaller than the grinding action of the other grinding wheel.
2. The grinding method according to 1. 【請求項１１】 一方の砥石が押さえ用砥石である請求
項１０に記載の研削加工方法。11. The grinding method according to claim 10, wherein one of the whetstones is a holding whetstone. 【請求項１２】 研削作用のある砥石としてカップ砥石
を用いる請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載
の研削加工方法。12. The grinding method according to claim 1, wherein a cup grindstone is used as a grindstone having a grinding action. 【請求項１３】 前記ワークが非円形形状を有するもの
である請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の
研削加工方法。13. The grinding method according to claim 1, wherein the work has a non-circular shape. 【請求項１４】 ワークが薄板状であり；回転しながら
前記ワークの表面と裏面の少なくとも一方の平面を研削
加工する砥石と；ワークを支持するワーク支持台と；こ
のワーク支持台に設けられ研削加工時ワークの外周側面
に接触し砥石の回転に伴うワークの移動を拘束してワー
クを保持する拘束手段とを有する平面研削盤。14. A work having a thin plate shape; a grindstone for grinding at least one of a front surface and a back surface of the work while rotating; a work support for supporting the work; and grinding provided on the work support. A surface grinding machine having a restraining means for holding the work by restricting the movement of the work caused by the rotation of the grindstone by contacting the outer peripheral side surface of the work during processing. 【請求項１５】 前記拘束手段がワーク支持台によって
回転可能に支持され、この拘束手段を介して前記ワーク
を同一平面内で回転させる駆動機構を有する請求項１４
に記載の平面研削盤。15. The apparatus according to claim 14, wherein said restraining means is rotatably supported by a work support table, and has a drive mechanism for rotating said work in the same plane via said restraining means.
Surface grinding machine according to 1. 【請求項１６】 前記拘束手段が前記ワークの外周側面
を把持するクランプ部を備えたチャック機構である請求
項１４または請求項１５に記載の平面研削盤。16. The surface grinding machine according to claim 14, wherein said restraining means is a chuck mechanism having a clamp portion for gripping an outer peripheral side surface of said work. 【請求項１７】 前記ワークの砥石と接触する平面の砥
石外周からはみ出た部分に、前記ワークを回転可能に支
持するワークレストを有する請求項１４から請求項１６
にいずれか１項に記載の平面研削盤。17. A work rest that rotatably supports the work at a portion of the work that is in contact with the grindstone and that protrudes from the outer periphery of the grindstone.
2. The surface grinding machine according to claim 1. 【請求項１８】 前記ワークレストは流体を介して前記
ワークを非接触に支持する請求項１７に記載の平面研削
盤。18. The surface grinding machine according to claim 17, wherein the work rest supports the work in a non-contact manner through a fluid. 【請求項１９】 前記砥石が、前記ワークの表面と裏面
の対応する同じ位置で前記ワークに接触するように対向
してそれぞれ配置されたものである請求項１４から請求
項１８のいずれか１項に記載の平面研削盤。19. The grinding wheel according to claim 14, wherein the grinding stones are arranged so as to be opposed to the work at the same corresponding positions on the front surface and the back surface of the work. Surface grinding machine according to 1. 【請求項２０】 前記ワークレストが、前記ワークの表
面と裏面の対応する同じ位置で前記ワークに接触するよ
うに対向してそれぞれ配置されたものである請求項１７
から請求項１９のいずれか１項に記載の平面研削盤。20. The work rest according to claim 17, wherein the work rests are arranged opposite to each other so as to come into contact with the work at the same corresponding positions on the front surface and the back surface of the work.
The surface grinder according to any one of claims 1 to 19. 【請求項２１】 研削加工中に、常に、前記ワークの中
心、及びワークのいずれかの外周線が砥石研削作用面の
内部に含まれる請求項１４から請求項２０のいずれか１
項に記載の平面研削盤。21. The grinding wheel according to any one of claims 14 to 20, wherein the center of the work and any one of the outer peripheral lines of the work are always included in the grinding wheel working surface during the grinding process.
Surface grinding machine according to the item. 【請求項２２】 前記チャック機構が円環状部材と、複
数のクランプ部と、クランプ部をクランプ、アンクラン
プ動作させる作動手段とからなり、円環状部材は前記駆
動機構に駆動連結されて中心点廻りに回転可能とされ、
クランプ部は円環状部材の円環に沿って配置され、クラ
ンプ部と前記ワークとの接触部に設けられたクランプ部
材を備え、作動手段は各クランプ部に対応して設けら
れ、クランプ部のクランプ部材側を円環状部材半径方向
内側または外側に移動させてクランプ、アンクランプ動
作させる請求項１４から請求項２１のいずれか１項に記
載の平面研削盤。22. The chuck mechanism comprises an annular member, a plurality of clamp portions, and an actuating means for performing clamping and unclamping operations of the clamp portion, wherein the annular member is drivingly connected to the drive mechanism to rotate around a center point. Can be rotated to
The clamp portion is disposed along the ring of the annular member, and includes a clamp member provided at a contact portion between the clamp portion and the work, and the actuating means is provided corresponding to each clamp portion. The surface grinding machine according to any one of claims 14 to 21, wherein the member side is moved inward or outward in the radial direction of the annular member to perform clamping and unclamping operations. 【請求項２３】 円環状部材に設けられ、クランプ部の
クランプ部材の円環状部材半径方向内側への移動位置を
規制する規制手段を有する請求項２２に記載の平面研削
盤。23. The surface grinding machine according to claim 22, further comprising regulating means provided on the annular member, for regulating a position of the clamp member moving inward in the radial direction of the annular member. 【請求項２４】 前記規制手段は規制位置を調整自在で
ある請求項２３に記載の平面研削盤。24. The surface grinding machine according to claim 23, wherein said regulating means is capable of adjusting a regulating position. 【請求項２５】 前記作動手段が、円環状部材の所定の
回転動作に連動して作動する請求項２２から請求項２４
のいずれか１項に記載の平面研削盤。25. The operation device according to claim 22, wherein the operation means operates in conjunction with a predetermined rotation operation of the annular member.
The surface grinder according to any one of the above items. 【請求項２６】 前記円環状部材は、互いに所定角度範
囲の相対回転を許容して係合され、かつワークの研削加
工時に一体回転される第１及び第２の円環状部材でな
り、第１の円環状部材が前記駆動機構に駆動連結され、
第２の円環状部材に前記複数のクランプ部が支持されて
いる請求項２２から請求項２５のいずれか１項に記載の
平面研削盤。26. The annular member comprises first and second annular members which are engaged with each other while permitting relative rotation within a predetermined angle range, and are integrally rotated during grinding of a workpiece. An annular member is drivingly connected to the driving mechanism,
The surface grinding machine according to any one of claims 22 to 25, wherein the plurality of clamp portions are supported by a second annular member. 【請求項２７】 前記クランプ部が第２の円環部材に支
点ピンを介して支点ピンの廻りに回転可能に支持され、
前記作動手段が、第１の円環状部材に形成されたカム溝
とクランプ部の各々に固定され前記カム溝に各々係合せ
しめられた従動ピンである請求項２６に記載の平面研削
盤。27. The clamp portion is rotatably supported by a second annular member around a fulcrum pin via a fulcrum pin,
27. The surface grinding machine according to claim 26, wherein the operating means is a driven pin fixed to each of a cam groove and a clamp formed in the first annular member and engaged with the cam groove. 【請求項２８】 第１の円環状部材と第２の円環状部材
の前記相対回転により、前記カム機構が、前記従動ピン
がカム溝の支点ピンに近い一端から支点ピンより遠い一
端へ摺動した場合、従動ピンと第２の円環状部材の中心
点との距離が増加するように、または減少するように形
成されたものである請求項２７に記載の平面研削盤。28. The cam mechanism slides the driven pin from one end closer to the fulcrum pin of the cam groove to one end farther from the fulcrum pin by the relative rotation of the first annular member and the second annular member. 28. The surface grinding machine according to claim 27, wherein when formed, the distance between the driven pin and the center point of the second annular member is increased or decreased. 【請求項２９】 前記クランプ部のクランプ動作時また
はアンクランプ動作時に、第２の円環状部材に係合し第
２の円環状部材の回転を制止するストッパを有する請求
項２６から請求項２８のいずれか１項に記載の平面研削
盤。29. The apparatus according to claim 26, further comprising a stopper which engages with the second annular member to stop rotation of the second annular member during the clamping operation or the unclamping operation of the clamp portion. A surface grinder according to any one of the preceding claims. 【請求項３０】 前記作動手段が支点ピンに対しクラン
プ部材とは反対側の所定の位置にさらに重りを有する請
求項２２から請求項２９のいずれか１項に記載の平面研
削。30. The surface grinding according to claim 22, wherein the operating means further has a weight at a predetermined position on the opposite side of the fulcrum pin from the clamp member. 【請求項３１】 前記作動手段がさらにばねを備え、
このばねがクランプ部を付勢し、この付勢力により、ク
ランプ部材をクランプ方向に動作させる請求項２２から
請求項３０のいずれか１項に記載の平面研削盤。31. The actuation means further comprises a spring,
31. The surface grinding machine according to claim 22, wherein the spring biases the clamp portion, and the biasing force causes the clamp member to operate in the clamp direction. 【請求項３２】 前記作動手段が、各クランプ部を常
時クランプ方向に付勢するばねと、ワーク支持台上にお
いて円環状部材の所定の停止位置で各クランプ部に対応
する位置に設けられ、アンクランプ時にクランプ部と係
合して前記ばねに抗して各クランプ部をアンクランプ方
向へ移動させる駆動手段とでなる請求項２２から請求項
２４いずれか１項に記載の平面研削盤。32. The operating means is provided at a position corresponding to each clamp portion at a predetermined stop position of the annular member on the work support table, and a spring for constantly biasing each clamp portion in the clamp direction. 25. The surface grinding machine according to any one of claims 22 to 24, wherein the surface grinding machine is a driving unit that engages with the clamp unit during clamping and moves each clamp unit in the unclamping direction against the spring. 【請求項３３】 前記ワークが周囲部にノッチを有する
ものであり、前記チャック機構がノッチに係合する突起
部を有する請求項２２から請求項３２のいずれか１項に
記載の平面研削盤。33. The surface grinding machine according to claim 22, wherein the work has a notch in a peripheral portion, and the chuck mechanism has a protrusion engaging with the notch. 【請求項３４】 前記突起部がクランプ部材に設けられ
ている請求項３３に記載の平面研削盤。34. The surface grinding machine according to claim 33, wherein the projection is provided on a clamp member. 【請求項３５】 前記ワークが周囲部にオリエンテーシ
ョンフラットを有するものであり、前記チャック機構が
オリエンテーションフラットに接触する平面部を有する
請求項２２から請求項３４のいずれか１項に記載の平面
研削盤。35. The surface grinding machine according to claim 22, wherein the workpiece has an orientation flat in a peripheral portion, and the chuck mechanism has a flat portion in contact with the orientation flat. . 【請求項３６】 前記平面部がクランプ部材に設けられ
ている請求項３５に記載の平面研削盤。36. The surface grinding machine according to claim 35, wherein the flat portion is provided on a clamp member. 【請求項３７】 クランプ部材がワークよりも軟らかい
材料から形成される請求項２２から請求項３６のいずれ
か１項に記載の平面研削盤。37. The surface grinding machine according to claim 22, wherein the clamp member is formed of a material softer than the work. 【請求項３８】 クランプ部材が前記ワークとの接触部
にすべり止め用の凹凸部を有する請求項２２から請求項
３７のいずれか１項に記載の平面研削盤。38. The surface grinding machine according to claim 22, wherein the clamp member has an uneven portion for preventing slip at a contact portion with the work. 【請求項３９】 前記ワークが非円形形状を有するもの
である請求項１４から請求項３８のいずれか１項に記載
の平面研削盤。39. The surface grinding machine according to claim 14, wherein the work has a non-circular shape.