JPH1175298A - Ultrasonic wave vibrator - Google Patents
Ultrasonic wave vibratorInfo
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- JPH1175298A JPH1175298A JP9234112A JP23411297A JPH1175298A JP H1175298 A JPH1175298 A JP H1175298A JP 9234112 A JP9234112 A JP 9234112A JP 23411297 A JP23411297 A JP 23411297A JP H1175298 A JPH1175298 A JP H1175298A
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波振動子に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic transducer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の超音波振動子の側面断面図を図３
に示す。従来の超音波振動子は、保護用ネット１と、収
納ケース２と、筒状ケース３と、支持台４と、圧電素子
５と、振動板６と、コーン形状を有する共振子７と、リ
ード線８と、外部端子９とを含んで構成される。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a side sectional view of a conventional ultrasonic transducer.
Shown in A conventional ultrasonic vibrator includes a protective net 1, a storage case 2, a cylindrical case 3, a support 4, a piezoelectric element 5, a vibration plate 6, a resonator 7 having a cone shape, and a lead. It is configured to include the wire 8 and the external terminal 9.
【０００３】収納ケース２は、有天円筒状のものであ
り、天部中央に円形の開口部１０を有している。[0005] The storage case 2 has a cylindrical shape with a ceiling, and has a circular opening 10 at the center of the ceiling.
【０００４】保護用ネット1は、塵埃は通さないものの
超音波はほとんど減衰することなく通過する薄い不織布
等で形成された円形状の防塵ネットであり、収納ケース
２の天部と筒状ケース３との間に挟持され、収納ケース
２の開口部１０を塞いでいる。The protective net 1 is a circular dust-proof net made of a thin nonwoven fabric or the like that does not allow dust to pass through but transmits ultrasonic waves with almost no attenuation. And closes the opening 10 of the storage case 2.
【０００５】筒状ケース３は、収納ケース２の円筒状部
内に収まる程度の径を有した円筒状のものであり、高さ
は収納ケース２よりもやや短く加工されている。The cylindrical case 3 has a diameter such that it can be accommodated in the cylindrical portion of the storage case 2, and has a height slightly shorter than that of the storage case 2.
【０００６】支持台4は、円柱状のものであり、底面外
周には全周にわたって鍔状部４ａを有している。鍔状部
４ａの外径は収納ケース２の円筒状内にちょうどおさま
る程度の径を有している。また、支持台４の中央円柱部
４ｂは筒状ケース３に嵌入可能な径を有している。この
支持台４は、支持台４の鍔状部４ａを筒状ケース３の底
面基端に当接させた後、収納ケース２の底面基端をかし
めることにより固定されている。[0006] The support 4 has a columnar shape, and has a flange-like portion 4a all around the bottom surface. The outer diameter of the flange portion 4a has such a diameter that it can just fit in the cylindrical shape of the storage case 2. The center column portion 4b of the support 4 has a diameter that can be fitted into the cylindrical case 3. The support 4 is fixed by bringing the flange 4 a of the support 4 into contact with the bottom end of the bottom of the cylindrical case 3 and then crimping the bottom end of the storage case 2.
【０００７】圧電素子５は、電圧が印加されるとそれに
応じて振動を生じる素子であり、支持台４の中央円柱部
４ｂ上に載置固定されている。[0007] The piezoelectric element 5 is an element that vibrates in response to the application of a voltage, and is mounted and fixed on the central column 4 b of the support 4.
【０００８】振動板６は、金属製の円板状のものであ
り、圧電素子５の上面に接着固定されている。また、共
振子７は、コーン形状のものであり、共振子７の頂部が
振動板６の略中央に接着固定されている。なお、振動板
６及び共振子７は弾性を有する接着剤にて接着するのが
望ましく、ゴム系接着剤等が用いられる。The vibrating plate 6 is in the form of a metal disk, and is adhered and fixed to the upper surface of the piezoelectric element 5. The resonator 7 has a cone shape, and the top of the resonator 7 is bonded and fixed to substantially the center of the diaphragm 6. It is desirable that the diaphragm 6 and the resonator 7 are bonded with an adhesive having elasticity, and a rubber-based adhesive or the like is used.
【０００９】圧電素子５に接続されているリード線８
は、支持台４に挿通し固定された外部端子９に接続され
ている。Lead wire 8 connected to piezoelectric element 5
Are connected to an external terminal 9 fixedly inserted through the support base 4.
【００１０】この超音波振動子では、リード線８より図
４（ａ）に示すようなバースト信号を圧電素子５に入力
することで圧電素子５を駆動し、振動板６及び共振子７
を振動させることにより超音波を発生させる。In this ultrasonic vibrator, a piezoelectric element 5 is driven by inputting a burst signal as shown in FIG. 4A from a lead wire 8 to the piezoelectric element 5, and the vibration plate 6 and the resonator 7
To generate ultrasonic waves.
【００１１】この構成の超音波振動子では、図４（ａ）
に示すようなバースト信号をＴａ時間にわたり超音波振
動子の外部端子９から入力して超音波を発生させると、
図４（ｂ）に示すようにＴａ時間が経過しても超音波振
動子の振動が残響振動として減衰しながら発生すること
になる。（図４（ｂ）では閾値Ｖｔｈ以下に減衰するま
でにＴｂ時間かかっている。） 図５に示すように超音波振動子と障害物の距離をＬメー
トルとし、音速を毎秒ｃメートルとすると、放射した超
音波が障害物に反射して２Ｌ／ｃ秒後に反射波が戻って
くることになる。この時、超音波振動子と障害物との距
離が短くなればなるほど、障害物からの反射波と前述し
た残響振動とが時間的に近接することになり、場合によ
っては残響信号の中に反射波が隠れてしまうことがあ
る。このため、従来の超音波振動子では、障害物と超音
波振動子との距離が近くなりすぎると障害物を検出でき
ないという問題を有している。FIG. 4A shows an ultrasonic transducer having this configuration.
Is input from the external terminal 9 of the ultrasonic transducer over the Ta time to generate ultrasonic waves,
As shown in FIG. 4B, the vibration of the ultrasonic transducer is generated while attenuating as reverberation vibration even after the elapse of the Ta time. (In FIG. 4B, it takes Tb time to decay below the threshold value Vth.) As shown in FIG. 5, if the distance between the ultrasonic transducer and the obstacle is L meters and the sound speed is c meters per second, The reflected ultrasonic wave returns 2 L / c seconds after the emitted ultrasonic wave is reflected on the obstacle. At this time, as the distance between the ultrasonic transducer and the obstacle becomes shorter, the reflected wave from the obstacle and the above-mentioned reverberation vibration become closer in time, and in some cases, the reflected wave is reflected in the reverberation signal. The waves may be hidden. For this reason, the conventional ultrasonic transducer has a problem that the obstacle cannot be detected if the distance between the obstacle and the ultrasonic transducer is too short.
【００１２】この問題を解決するために、図６（ａ）及
び図６（ｂ）に示すように、共振子７の内壁の一部又は
全部にゴム膜や合成樹脂膜等からなる可撓性膜１１を貼
着するなどの処理が行われている。これにより、可撓性
膜１１の撓みにより残響振動を速やかに減衰させること
が可能となる。To solve this problem, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), a part or all of the inner wall of the resonator 7 is made of a flexible material such as a rubber film or a synthetic resin film. Processing such as attaching the film 11 is performed. This makes it possible to quickly attenuate the reverberation vibration due to the bending of the flexible film 11.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した構
成の超音波振動子では、超音波振動子の駆動時の振動が
支持台４、筒状ケース３及び収納ケース２を介して保護
用ネット１に伝播し、保護用ネット１や収納ケース等が
振動するため、圧電素子５、振動板６及び共振子７以外
の振動の影響を受けて残響振動の減衰が安定しなくな
る。これにより図４（ｃ）に示すように残響信号の発生
時間Ｔｂが延びてしまい、残響信号を障害物からの反射
波と誤認したり、また近距離にある障害物からの反射波
を認識できないという問題点を有している。However, in the ultrasonic vibrator having the above-described structure, the vibration at the time of driving the ultrasonic vibrator causes the protection net 1 to pass through the support 4, the cylindrical case 3 and the storage case 2. , And the protection net 1 and the storage case vibrate, so that the reverberation vibration becomes unstable due to the influence of vibrations other than the piezoelectric element 5, the vibration plate 6, and the resonator 7. As a result, the reverberation signal generation time Tb is extended as shown in FIG. 4C, and the reverberation signal is erroneously recognized as a reflected wave from an obstacle, and a reflected wave from an obstacle at a short distance cannot be recognized. There is a problem that.
【００１４】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであり、その目的とするところは、超音波の送波駆
動により保護用ネットや収納ケース等に生じる残響振動
を抑え、安定して近距離の障害物からの反射波を認識す
ることができる超音波振動子を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to suppress reverberation vibration generated in a protective net or a storage case due to transmission of ultrasonic waves, thereby stabilizing the vibration. It is another object of the present invention to provide an ultrasonic transducer capable of recognizing a reflected wave from an obstacle at a short distance.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
共振子と、該共振子が固着される振動板と、該振動板が
固着される圧電素子と、該圧電素子を固定する支持台
と、該支持台に固着されて前記支持台のはめ込み方向の
位置決めをする筒状ケースと、該筒状ケースと前記圧電
素子や前記支持台等を収納する筒状の収納ケースとを有
する超音波振動子において、前記収納ケース内で、振動
の伝播を低減する緩衝材を介して前記筒状ケースと前記
支持台とを固定するようにしたことを特徴とするもので
ある。According to the first aspect of the present invention,
A resonator, a vibrating plate to which the resonator is fixed, a piezoelectric element to which the vibrating plate is fixed, a support for fixing the piezoelectric element, and a support fixed to the support for inserting the support. In an ultrasonic vibrator having a cylindrical case for positioning, and a cylindrical storage case for storing the cylindrical case, the piezoelectric element, the support base, and the like, the propagation of vibration is reduced in the storage case. The present invention is characterized in that the cylindrical case and the support stand are fixed via a buffer material.
【００１６】請求項２記載の発明は、共振子と、該共振
子が固着される振動板と、該振動板が固着される圧電素
子と、該圧電素子を固定する支持台と、該支持台に固着
されて前記支持台のはめ込み方向の位置決めをするとと
もに、前記圧電素子や前記支持台等を収納する筒状の収
納ケースとを有する超音波振動子において、振動の伝播
を低減する緩衝材を介して前記収納ケースと前記支持台
とを固定するようにしたことを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a resonator, a vibration plate to which the resonator is fixed, a piezoelectric element to which the vibration plate is fixed, a support for fixing the piezoelectric element, and the support. In the ultrasonic vibrator having a cylindrical storage case for accommodating the piezoelectric element and the support table and the like, while positioning the support table in the fitting direction of the support table, a cushioning material for reducing the propagation of vibration is provided. The storage case and the support table are fixed to each other through the support.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波振動子
の第１の実施の形態を図１に基づき、第２の実施の形態
を図２に基づきそれぞれ詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of an ultrasonic transducer according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 and a second embodiment with reference to FIG.
【００１８】［第１の実施の形態］図１は本発明に係る
超音波振動子の側面断面図である。[First Embodiment] FIG. 1 is a side sectional view of an ultrasonic transducer according to the present invention.
【００１９】この超音波振動子は、保護用ネット１と、
収納ケース２と、筒状ケース３と、支持台４と、圧電素
子５と、円板状の振動板６と、コーン形状を有する共振
子７と、リード線８と、外部端子９と、緩衝材１２とを
含んで構成される。なお、図１においては、従来の技術
にて説明した図３に示す超音波振動子と同等の箇所に同
じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。支持台4
は、底面外周に全周にわたって鍔状部４ａを有してい
る。そして、鍔状部４ａの上面先端には全周又はその一
部に凸状突起４ｃが形成されている。この支持台４の凸
状突起４ｃを筒状ケース３の底面基端に当接させた後、
収納ケース２の底面基端をかしめることにより、収納ケ
ース２の底面基端と筒状ケース３の底面基端との間で凸
状突起４ｃを挟圧し、収納ケース２と支持台４とを固定
している。This ultrasonic vibrator includes a protection net 1 and
The storage case 2, the cylindrical case 3, the support 4, the piezoelectric element 5, the disk-shaped diaphragm 6, the resonator 7 having a cone shape, the lead wire 8, the external terminal 9, Material 12. In FIG. 1, the same parts as those of the ultrasonic transducer shown in FIG. 3 described in the related art are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Support 4
Has a flange-shaped portion 4a over the entire outer periphery of the bottom surface. At the top end of the upper surface of the flange portion 4a, a convex protrusion 4c is formed on the entire circumference or a part thereof. After the convex protrusion 4 c of the support base 4 is brought into contact with the base end of the bottom surface of the cylindrical case 3,
By caulking the bottom end of the storage case 2, the convex protrusion 4 c is pressed between the bottom end of the storage case 2 and the bottom end of the cylindrical case 3, and the storage case 2 and the support table 4 are held together. It is fixed.
【００２０】その際、保護用ネット１は、筒状ケース３
の上面基端により収納ケース２の天部底面に押圧され、
その結果、収納ケース２の天部底面と筒状ケース３の上
面基端との間に挟圧固定されることになる。At this time, the protection net 1 is made up of the cylindrical case 3
Is pressed against the top bottom surface of the storage case 2 by the top end of the
As a result, the pressure is fixed between the bottom surface of the top of the storage case 2 and the base end of the upper surface of the cylindrical case 3.
【００２１】支持台４の底面近傍側面及び鍔状部４ａと
筒状ケース３とは、ゴムやスポンジ、繊維をからめてな
るフェルト材等の緩衝材１２を介して固定されている。
これにより、従来、支持台４の底面近傍側面及び鍔状部
４ａから筒状ケース３に伝播していた振動は、緩衝材１
２を介した後に筒状ケース３に伝播することになる。The side surface near the bottom surface of the support 4 and the flange portion 4a and the cylindrical case 3 are fixed via a cushioning material 12 such as rubber, sponge, or a felt material made of fibers.
As a result, the vibration that has conventionally been transmitted from the side surface near the bottom surface of the support base 4 and the flange portion 4a to the cylindrical case 3 is reduced by the cushioning material 1
After that, it propagates to the cylindrical case 3.
【００２２】この超音波振動子では、リード線８より図
４（ａ）に示すようなバースト信号を圧電素子５に入力
することで圧電素子５を駆動し、振動板６及び共振子７
を振動させることにより超音波を発生させる。In this ultrasonic transducer, the piezoelectric element 5 is driven by inputting a burst signal as shown in FIG. 4A from the lead wire 8 to the piezoelectric element 5, and the vibration plate 6 and the resonator 7
To generate ultrasonic waves.
【００２３】この時、圧電素子５、振動板６及び共振子
７の振動は支持台４に伝播することになるが、緩衝材１
２が振動を吸収するため、筒状ケース３や収納ケース２
への振動の伝播は抑えられる。これにより、圧電素子
５、振動板６及び共振子７の振動にともなって保護用ネ
ット１や収納ケース２が振動するのを防止することが可
能となり、保護用ネット１や収納ケース２が振動するこ
とにより発生する不要な残響振動の発生を低減すること
が可能となる。At this time, the vibration of the piezoelectric element 5, the vibration plate 6, and the resonator 7 propagates to the support table 4,
2 absorbs vibration, so that the cylindrical case 3 or the storage case 2
The propagation of vibrations to is suppressed. Accordingly, it is possible to prevent the protection net 1 and the storage case 2 from vibrating due to the vibration of the piezoelectric element 5, the vibration plate 6, and the resonator 7, and the protection net 1 and the storage case 2 vibrate. As a result, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary reverberation vibration.
【００２４】また、本実施の形態のように、収納ケース
２をかしめて支持台４を直接固定するようにすれば、収
納ケース２と支持台４とを確実に固着することができ
る。Further, if the supporting case 4 is directly fixed by caulking the storage case 2 as in the present embodiment, the storage case 2 and the support table 4 can be securely fixed.
【００２５】［第２の実施の形態］図２は本発明に係る
超音波振動子の側面断面図である。[Second Embodiment] FIG. 2 is a side sectional view of an ultrasonic transducer according to the present invention.
【００２６】この超音波振動子は、保護用ネット１と、
収納ケース２と、支持台４と、圧電素子５と、円板状の
振動板６と、コーン形状を有する共振子７と、リード線
８と、外部端子９とを含んで構成される。This ultrasonic vibrator comprises a protective net 1 and
The storage case 2, the support 4, the piezoelectric element 5, the disk-shaped vibration plate 6, the resonator 7 having a cone shape, the lead wires 8, and the external terminals 9 are configured.
【００２７】この第２の実施の形態の超音波振動子が前
述の第１の実施の形態のものと異なり特徴となるのは以
下の構成である。The ultrasonic transducer of the second embodiment is different from that of the first embodiment in the following features.
【００２８】収納ケース２は、有天円筒状のものであ
り、天部中央に円形の開口部１０を有するとともに、天
部近傍の筒内壁の全周又はその一部にネット取付け用凸
部２ａを有している。また、収納ケース２の底面基端近
傍の筒内壁の全周又はその一部には支持台４のはめ込み
方向の位置決めをする位置決め凸部２ｂが設けられてい
る。The storage case 2 is a hollow cylindrical shape, has a circular opening 10 at the center of the top, and has a net mounting projection 2a on the entire circumference or a part of the inner wall of the cylinder near the top. have. A positioning protrusion 2b for positioning the support 4 in the fitting direction is provided on the entire circumference or a part of the inner wall of the cylinder near the base end of the bottom surface of the storage case 2.
【００２９】保護用ネット１は、収納ケース２の天部と
ネット取付け用凸部２ａとの間に挟持されることにより
固定されている。The protection net 1 is fixed by being sandwiched between the top of the storage case 2 and the net mounting projection 2a.
【００３０】支持台4は、円柱状のものであり、底面外
周には全周にわたって緩衝材１２が取付けられている。
この支持台4の緩衝材１２が取付けられる部分には、緩
衝材取付け用凸部４ｄが設けられている。これにより、
支持台４と緩衝材１２との接着面積を増加させることが
できるとともに、支持台４と緩衝材１２との間に上下方
向の外力が加わった際に緩衝材取付け用凸部４ｄがスト
ッパーとして働き、支持台４から緩衝材１２が容易に外
れることを防止している。The support 4 has a columnar shape, and a cushioning material 12 is attached to the entire outer periphery of the bottom surface.
On the portion of the support base 4 to which the cushioning material 12 is attached, a projection 4d for attaching the cushioning material is provided. This allows
The area of adhesion between the support 4 and the cushioning material 12 can be increased, and when a vertical external force is applied between the support 4 and the cushioning material 12, the cushioning material mounting projection 4d functions as a stopper. This prevents the cushioning material 12 from easily coming off the support table 4.
【００３１】支持台４は、支持台４に取付けられた緩衝
材１２を位置決め凸部２ｂに当接させた後、収納ケース
２の底面基端をかしめることにより固定されている。こ
れにより、従来、支持台４の底面近傍側面及び鍔状部４
ａから筒状ケース３に伝播していた振動は、全て緩衝材
１２を介することになる。The support 4 is fixed by caulking the bottom end of the bottom of the storage case 2 after the cushioning material 12 attached to the support 4 is brought into contact with the positioning projection 2b. Thereby, the side surface near the bottom surface of the support 4 and the flange 4
All the vibrations that have propagated from a to the cylindrical case 3 pass through the cushioning material 12.
【００３２】この超音波振動子では、リード線８より図
４（ａ）に示すようなバースト信号を圧電素子５に入力
することで圧電素子５を駆動し、振動板６及び共振子７
を振動させることにより超音波を発生させる。In this ultrasonic vibrator, the piezoelectric element 5 is driven by inputting a burst signal as shown in FIG. 4A from the lead wire 8 to the piezoelectric element 5, and the vibration plate 6 and the resonator 7
To generate ultrasonic waves.
【００３３】この時、圧電素子５、振動板６及び共振子
７の振動は支持台４に伝播することになるが、緩衝材１
２が振動を吸収するため、緩衝材１２により筒状ケース
３や収納ケース２への振動の伝播は抑えられる。これに
より、圧電素子５、振動板６及び共振子７の振動にとも
なって保護用ネット１や収納ケース２が振動するのを防
止することが可能となり、保護用ネット１や収納ケース
２が振動することにより発生する不要な残響振動の発生
を低減することが可能となる。At this time, the vibration of the piezoelectric element 5, the vibration plate 6, and the resonator 7 propagates to the support table 4, but the cushioning material 1
Since the vibration absorber 2 absorbs the vibration, the propagation of the vibration to the cylindrical case 3 and the storage case 2 is suppressed by the cushioning material 12. Accordingly, it is possible to prevent the protection net 1 and the storage case 2 from vibrating due to the vibration of the piezoelectric element 5, the vibration plate 6, and the resonator 7, and the protection net 1 and the storage case 2 vibrate. As a result, it is possible to reduce the occurrence of unnecessary reverberation vibration.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上のように、請求項１及び請求項２記
載の発明にあっては、超音波振動子の外部端子にバース
ト信号を入力することで圧電素子を駆動し、これにより
振動板及び共振子を振動させることで超音波を発生させ
る超音波振動子において、超音波を発生させた際に生じ
る振動を支持台等を介して保護用ネットや収納ケース等
に伝播することを緩衝材により防止することができるの
で、保護用ネットや収納ケース等により生じる残響振動
を低減することが可能となり、安定して近距離の障害物
からの反射波を認識することができる超音波振動子を提
供することができるという効果を奏する。As described above, according to the first and second aspects of the present invention, the piezoelectric element is driven by inputting a burst signal to the external terminal of the ultrasonic vibrator, whereby the vibration plate is driven. And an ultrasonic vibrator that generates ultrasonic waves by vibrating a resonator, a cushioning material that transmits vibrations generated when generating ultrasonic waves to a protective net or a storage case via a support base or the like. Therefore, it is possible to reduce the reverberation vibration generated by the protective net or the storage case, and to realize an ultrasonic vibrator capable of stably recognizing a reflected wave from an obstacle at a short distance. This has the effect that it can be provided.
【図１】本発明に係る一実施の形態の超音波振動子の側
面断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of an ultrasonic transducer according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明に係る他の実施の形態の超音波振動子の
側面断面図である。FIG. 2 is a side sectional view of an ultrasonic transducer according to another embodiment of the present invention.
【図３】従来の超音波振動子の側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of a conventional ultrasonic transducer.
【図４】超音波振動子に入力されるバースト信号と超音
波振動子が出力する超音波との関係を示すタイミングチ
ャートであり、（ａ）は超音波振動子に入力されるバー
スト信号の波形図、（ｂ）及び（ｃ）はバースト信号の
入力により発生される超音波の波形図である。FIG. 4 is a timing chart showing a relationship between a burst signal input to the ultrasonic vibrator and an ultrasonic wave output from the ultrasonic vibrator, wherein (a) is a waveform of a burst signal input to the ultrasonic vibrator; FIGS. 3B and 3C are waveform diagrams of the ultrasonic waves generated by the input of the burst signal.
【図５】超音波振動子と障害物の位置関係を表す概略図
である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between an ultrasonic transducer and an obstacle.
【図６】従来の超音波振動子を表す図であり、（ａ）は
側面断面図、（ｂ）は振動板及び共振子の拡大斜視図で
ある。6A and 6B are views showing a conventional ultrasonic vibrator, in which FIG. 6A is a side sectional view, and FIG. 6B is an enlarged perspective view of a diaphragm and a resonator.
２ 収納ケース ３ 筒状ケース ４ 支持台 ５ 圧電素子 ６ 振動板 ７ 共振子 １２ 緩衝材 2 Storage case 3 Cylindrical case 4 Support base 5 Piezoelectric element 6 Vibration plate 7 Resonator 12 Buffer material
Claims (2)
と、該振動板が固着される圧電素子と、該圧電素子を固
定する支持台と、該支持台に固着されて前記支持台のは
め込み方向の位置決めをする筒状ケースと、該筒状ケー
スと前記圧電素子や前記支持台等を収納する筒状の収納
ケースとを有する超音波振動子において、前記収納ケー
ス内で、振動の伝播を低減する緩衝材を介して前記筒状
ケースと前記支持台とを固定するようにしたことを特徴
とする超音波振動子。1. A resonator, a vibrating plate to which the resonator is fixed, a piezoelectric element to which the vibrating plate is fixed, a support for fixing the piezoelectric element, and the support fixed to the support. In an ultrasonic vibrator having a cylindrical case for positioning the table in the fitting direction, and a cylindrical storage case for storing the cylindrical element and the piezoelectric element, the support table, and the like, vibration is generated in the storage case. An ultrasonic vibrator characterized in that the cylindrical case and the support table are fixed to each other via a buffer material for reducing propagation of the vibration.
と、該振動板が固着される圧電素子と、該圧電素子を固
定する支持台と、該支持台に固着されて前記支持台のは
め込み方向の位置決めをするとともに、前記圧電素子や
前記支持台等を収納する筒状の収納ケースとを有する超
音波振動子において、振動の伝播を低減する緩衝材を介
して前記収納ケースと前記支持台とを固定するようにし
たことを特徴とする超音波振動子。2. A resonator, a vibration plate to which the resonator is fixed, a piezoelectric element to which the vibration plate is fixed, a support for fixing the piezoelectric element, and the support fixed to the support. Along with positioning the table in the fitting direction, in the ultrasonic vibrator having a cylindrical storage case for storing the piezoelectric element, the support table, and the like, the storage case and the storage case via a cushioning material that reduces vibration propagation. An ultrasonic vibrator, wherein the ultrasonic vibrator is fixed to the support table.
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1997
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