JPH1164143A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH1164143A JPH1164143A JP21884897A JP21884897A JPH1164143A JP H1164143 A JPH1164143 A JP H1164143A JP 21884897 A JP21884897 A JP 21884897A JP 21884897 A JP21884897 A JP 21884897A JP H1164143 A JPH1164143 A JP H1164143A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】信頼性の高い圧力センサを提供する。
【解決手段】ケース２０には、圧力センサエレメントＡ
と、圧力センサエレメントＡに接続され信号処理を行う
回路が形成されたプリント基板４０とが収納される。圧
力センサエレメントＡは、半導体基板１０に凹所１２を
設けることによって形成された受圧ダイアフラムを有す
るセンサチップ１がボディ３０に収納され、圧力導入孔
３０ｂが形成された圧力導入管３０ａを備えている。圧
力導入管３０ａは、ケース２０の圧力導入孔２０ｂに挿
入され接着剤１５１により接着固定される。圧力導入孔
２０ｂには、フッ素系のオイル１５１が充填されて脱泡
が行われた後に樹脂であるシリコンゲル１５３が充填さ
れる。ケース２０において、オイル１５２が充填される
オイル充填部の内径よりもシリコンゲル１５３が充填さ
れる樹脂充填部の内径を大きくしてある。
と、圧力センサエレメントＡに接続され信号処理を行う
回路が形成されたプリント基板４０とが収納される。圧
力センサエレメントＡは、半導体基板１０に凹所１２を
設けることによって形成された受圧ダイアフラムを有す
るセンサチップ１がボディ３０に収納され、圧力導入孔
３０ｂが形成された圧力導入管３０ａを備えている。圧
力導入管３０ａは、ケース２０の圧力導入孔２０ｂに挿
入され接着剤１５１により接着固定される。圧力導入孔
２０ｂには、フッ素系のオイル１５１が充填されて脱泡
が行われた後に樹脂であるシリコンゲル１５３が充填さ
れる。ケース２０において、オイル１５２が充填される
オイル充填部の内径よりもシリコンゲル１５３が充填さ
れる樹脂充填部の内径を大きくしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ゲージ圧式の圧力
センサに関するものである。
センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のゲージ圧式の圧力センサは、図９
（ｂ）に示すように、金属製のケース２０内に圧力セン
サエレメントＡが納装されている。圧力センサエレメン
トＡを構成するセンサチップ１は、単結晶半導体基板１
０（シリコン基板）に凹所１２を設けることにより形成
された受圧ダイアフラムの一面側にピエゾ抵抗により構
成されるブリッジ回路が形成されており、受圧ダイアフ
ラムの両面から受ける圧力の差に応じて受圧ダイアフラ
ムが撓むと、ピエゾ抵抗の抵抗値が変化し、ブリッジ回
路の出力電圧が変化する。ブリッジ回路の出力は、セン
サチップ１の電極パッド（図示せず）にボンディングワ
イヤＷを介して接続されたリード端子１７により圧力セ
ンサエレメントＡの外部へ取り出される。なお、リード
端子１７は、ボディ３０に植設されており、先端部はセ
ラミック基板よりなるプリント基板４０に半田付けされ
る。また、センサチップ１とセンサチップ１を収納する
ボディ３０の底面との間にはガラス台座１４が介装され
ており、ガラス台座１４には、センサチップ１の凹所１
２と連通する孔１４ａが穿孔されている。
（ｂ）に示すように、金属製のケース２０内に圧力セン
サエレメントＡが納装されている。圧力センサエレメン
トＡを構成するセンサチップ１は、単結晶半導体基板１
０（シリコン基板）に凹所１２を設けることにより形成
された受圧ダイアフラムの一面側にピエゾ抵抗により構
成されるブリッジ回路が形成されており、受圧ダイアフ
ラムの両面から受ける圧力の差に応じて受圧ダイアフラ
ムが撓むと、ピエゾ抵抗の抵抗値が変化し、ブリッジ回
路の出力電圧が変化する。ブリッジ回路の出力は、セン
サチップ１の電極パッド（図示せず）にボンディングワ
イヤＷを介して接続されたリード端子１７により圧力セ
ンサエレメントＡの外部へ取り出される。なお、リード
端子１７は、ボディ３０に植設されており、先端部はセ
ラミック基板よりなるプリント基板４０に半田付けされ
る。また、センサチップ１とセンサチップ１を収納する
ボディ３０の底面との間にはガラス台座１４が介装され
ており、ガラス台座１４には、センサチップ１の凹所１
２と連通する孔１４ａが穿孔されている。
【０００３】ボディ３０は、一面開口した箱状に形成さ
れており、カバー３３が取着されるようになっている。
また、ボディ３０の底面からはボディ３０の内外を連通
する圧力導入孔３０ｂが穿孔された圧力導入管３０ａが
突出しており、圧力導入孔３０ｂを通して上記受圧ダイ
アフラムに圧力が伝わるようになっている。圧力センサ
エレメントＡと、圧力センサエレメントＡに電気的に接
続され圧力センサエレメントＡからの電気信号を信号処
理する回路などが形成されたプリント基板４０は、上述
のケース２０内に納装される。
れており、カバー３３が取着されるようになっている。
また、ボディ３０の底面からはボディ３０の内外を連通
する圧力導入孔３０ｂが穿孔された圧力導入管３０ａが
突出しており、圧力導入孔３０ｂを通して上記受圧ダイ
アフラムに圧力が伝わるようになっている。圧力センサ
エレメントＡと、圧力センサエレメントＡに電気的に接
続され圧力センサエレメントＡからの電気信号を信号処
理する回路などが形成されたプリント基板４０は、上述
のケース２０内に納装される。
【０００４】圧力センサエレメントＡの圧力導入管３０
ａにはＯリング２７が嵌挿されており、Ｏリング２７が
嵌挿された圧力導入管３０ａをケース２０の圧力導入孔
２０ｂに挿入してある。ここに、圧力導入管３０ａは、
被検知圧力媒体の圧力によって圧力センサエレメントＡ
が抜けないように、接着剤１５１（例えば、エポキシ系
の接着剤）によってケース２０へ接着固定してある。な
お、図９（ｂ）中の２６はＯリングである。
ａにはＯリング２７が嵌挿されており、Ｏリング２７が
嵌挿された圧力導入管３０ａをケース２０の圧力導入孔
２０ｂに挿入してある。ここに、圧力導入管３０ａは、
被検知圧力媒体の圧力によって圧力センサエレメントＡ
が抜けないように、接着剤１５１（例えば、エポキシ系
の接着剤）によってケース２０へ接着固定してある。な
お、図９（ｂ）中の２６はＯリングである。
【０００５】ところで、圧力導入孔３０ｂ及び圧力導入
孔２０ｂには、フッ素系のオイル１５２が注入され、さ
らにその蓋をするように圧力導入孔２０ｂにシリコンゲ
ル１５３を注入して硬化させてあるので、被検知圧力を
シリコンゲル１５３→オイル１５２→センサチップ１の
順で伝達することができる。ケース２０は、ケース２０
の後端部（図９（ｂ）の左側）の周壁２０ｃの内側にコ
ネクタハウジング６０の基部６０ａを嵌入し、周壁２０
ｃの端縁部２０ｅをかしめることでケース２０にコネク
タハウジング６０が嵌着される。また、図９（ａ）に示
すように周壁２０ｃの端縁部２０ｅには回り止め２０ｄ
が複数箇所に設けてある。
孔２０ｂには、フッ素系のオイル１５２が注入され、さ
らにその蓋をするように圧力導入孔２０ｂにシリコンゲ
ル１５３を注入して硬化させてあるので、被検知圧力を
シリコンゲル１５３→オイル１５２→センサチップ１の
順で伝達することができる。ケース２０は、ケース２０
の後端部（図９（ｂ）の左側）の周壁２０ｃの内側にコ
ネクタハウジング６０の基部６０ａを嵌入し、周壁２０
ｃの端縁部２０ｅをかしめることでケース２０にコネク
タハウジング６０が嵌着される。また、図９（ａ）に示
すように周壁２０ｃの端縁部２０ｅには回り止め２０ｄ
が複数箇所に設けてある。
【０００６】コネクタハウジング６０は、略有底円筒形
の基部６０ａと、基部６０ａの後端側に突設されたコネ
クタ部６０ｂとを有し、基部６０ａ内に端子ブロック６
２が収納されている。端子ブロック６２は、合成樹脂の
成形品からなる固定部６２ａに３本のコネクタピン６３
が同時成形されている。端子ブロック６２の固定部６２
ａから突出している各コネクタピン６３は、コネクタ部
６０ｂの底部に設けられた貫通孔６０ｃに挿通されてコ
ネクタ部６０ｂの内側に突出させてある。
の基部６０ａと、基部６０ａの後端側に突設されたコネ
クタ部６０ｂとを有し、基部６０ａ内に端子ブロック６
２が収納されている。端子ブロック６２は、合成樹脂の
成形品からなる固定部６２ａに３本のコネクタピン６３
が同時成形されている。端子ブロック６２の固定部６２
ａから突出している各コネクタピン６３は、コネクタ部
６０ｂの底部に設けられた貫通孔６０ｃに挿通されてコ
ネクタ部６０ｂの内側に突出させてある。
【０００７】ケース２０とコネクタハウジング６０との
間には、金属製のシールド板５０が挟持される。シール
ド板５０と端子ブロック６２との間には、ノイズ対策用
の部品（例えば、チップコンデンサなど）が実装された
ガラスエポキシ基板よりなるプリント基板７０が挟持さ
れる。ここで、端子ブロック６２の固定部６２ａから突
設されたボス６２ｅ’をプリント基板７０に形成された
挿通孔及びシールド板５０に形成された挿通孔に挿通し
て、ボス６２ｅ’の先端部を熱かしめすることで端子ブ
ロック６２とプリント基板７０とシールド板５０とを一
体化している。ここに、プリント基板７０のシールド板
５０と対向する側の面は、広範囲にわたって導体パター
ンが剥き出しの状態になっており、該導体パターンがシ
ールド板５０と接触するようになっている。なお、コネ
クタピン６３は半田付けによりプリント基板７０に電気
的に接続され、プリント基板４０とプリント基板７０と
は、ＨＩＣ用のクリップ端子よりなる接続端子８０（図
１０参照）によって電気的に接続されている。
間には、金属製のシールド板５０が挟持される。シール
ド板５０と端子ブロック６２との間には、ノイズ対策用
の部品（例えば、チップコンデンサなど）が実装された
ガラスエポキシ基板よりなるプリント基板７０が挟持さ
れる。ここで、端子ブロック６２の固定部６２ａから突
設されたボス６２ｅ’をプリント基板７０に形成された
挿通孔及びシールド板５０に形成された挿通孔に挿通し
て、ボス６２ｅ’の先端部を熱かしめすることで端子ブ
ロック６２とプリント基板７０とシールド板５０とを一
体化している。ここに、プリント基板７０のシールド板
５０と対向する側の面は、広範囲にわたって導体パター
ンが剥き出しの状態になっており、該導体パターンがシ
ールド板５０と接触するようになっている。なお、コネ
クタピン６３は半田付けによりプリント基板７０に電気
的に接続され、プリント基板４０とプリント基板７０と
は、ＨＩＣ用のクリップ端子よりなる接続端子８０（図
１０参照）によって電気的に接続されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来構
成では、ケース２０の圧力導入孔２０ｂに圧力センサエ
レメントＡの圧力導入管３０ａを挿入し、図１１（ａ）
に示すように圧力導入管３０ａを接着剤１５１によって
ケース２０へ接着固定した後、図１１（ａ）の矢印Ｂ1
の向きにフッ素系のオイル１５２を注入し、真空中にて
オイル１５２の脱泡を行い、その後、シリコンゲル１５
３を注入し、真空中にてシリコンゲル１５３の脱泡を行
ってシリコンゲル１５３を硬化させている。ここに、上
記従来構成では、ケース２０の圧力導入孔２０ｂの内径
が軸方向において略同じ寸法に形成されているので、オ
イル１５２の脱泡時に図１１（ｂ）に示すように圧力導
入孔２０ｂの内周面にオイル１５２が付着してしまい、
シリコンゲル１５３と圧力導入孔２０ｂの内周面との密
着性が低下し、オイル１５２が漏れたり、圧力導入孔２
０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との間から圧力媒体
が浸入してオイル１５２とシリコンゲル１５３との間に
気泡が発生してしまうなどの不具合が起こる可能性があ
り、信頼性に問題があった。
成では、ケース２０の圧力導入孔２０ｂに圧力センサエ
レメントＡの圧力導入管３０ａを挿入し、図１１（ａ）
に示すように圧力導入管３０ａを接着剤１５１によって
ケース２０へ接着固定した後、図１１（ａ）の矢印Ｂ1
の向きにフッ素系のオイル１５２を注入し、真空中にて
オイル１５２の脱泡を行い、その後、シリコンゲル１５
３を注入し、真空中にてシリコンゲル１５３の脱泡を行
ってシリコンゲル１５３を硬化させている。ここに、上
記従来構成では、ケース２０の圧力導入孔２０ｂの内径
が軸方向において略同じ寸法に形成されているので、オ
イル１５２の脱泡時に図１１（ｂ）に示すように圧力導
入孔２０ｂの内周面にオイル１５２が付着してしまい、
シリコンゲル１５３と圧力導入孔２０ｂの内周面との密
着性が低下し、オイル１５２が漏れたり、圧力導入孔２
０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との間から圧力媒体
が浸入してオイル１５２とシリコンゲル１５３との間に
気泡が発生してしまうなどの不具合が起こる可能性があ
り、信頼性に問題があった。
【０００９】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、信頼性の高い圧力センサを提供する
ことにある。
あり、その目的は、信頼性の高い圧力センサを提供する
ことにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、半導体基板に凹所を設けること
によって形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大
きさを電気信号に変換する圧力センサエレメントと、少
なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフ
ラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成されたケ
ースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力
を伝達するオイルと、該オイルを封止するように圧力導
入孔に充填される樹脂とを備え、圧力導入孔は、オイル
が充填されるオイル充填部の内径よりも樹脂が充填され
る樹脂充填部の内径を大きく形成して成ることを特徴と
するものであり、オイルの脱泡時において圧力導入孔の
樹脂充填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐことが
でき、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充
分な密着力及び粘着力が得られるので、オイルが漏れた
り、圧力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が
侵入するなどの不具合の発生を防止できるから、センサ
の信頼性を高めることができる。
目的を達成するために、半導体基板に凹所を設けること
によって形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大
きさを電気信号に変換する圧力センサエレメントと、少
なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフ
ラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成されたケ
ースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力
を伝達するオイルと、該オイルを封止するように圧力導
入孔に充填される樹脂とを備え、圧力導入孔は、オイル
が充填されるオイル充填部の内径よりも樹脂が充填され
る樹脂充填部の内径を大きく形成して成ることを特徴と
するものであり、オイルの脱泡時において圧力導入孔の
樹脂充填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐことが
でき、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充
分な密着力及び粘着力が得られるので、オイルが漏れた
り、圧力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が
侵入するなどの不具合の発生を防止できるから、センサ
の信頼性を高めることができる。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、ケースは、圧力導入孔のオイル充填部の外側と圧力
導入孔の樹脂充填部の内周面との間に溝が形成されてい
るので、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受
圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力
媒体が侵入しにくくなる。請求項３の発明は、請求項１
の発明において、ケースは、圧力導入孔の樹脂充填部の
内周面に微小の凹凸が形成されているので、樹脂と樹脂
充填部の内周面との密着力を高めることができるから、
センサの信頼性をより一層高めることができる。
て、ケースは、圧力導入孔のオイル充填部の外側と圧力
導入孔の樹脂充填部の内周面との間に溝が形成されてい
るので、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受
圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力
媒体が侵入しにくくなる。請求項３の発明は、請求項１
の発明において、ケースは、圧力導入孔の樹脂充填部の
内周面に微小の凹凸が形成されているので、樹脂と樹脂
充填部の内周面との密着力を高めることができるから、
センサの信頼性をより一層高めることができる。
【００１２】請求項４の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面に樹脂を抜け止めする抜
け止め溝が形成されて成ることを特徴とするものであ
り、オイルの脱泡時に発生する泡が抜け止め溝の部位で
つぶれるから、圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイ
ルが付着するのを防ぐことができ、その結果、樹脂と樹
脂充填部の内周面との間に充分な密着力及び粘着力が得
られるので、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と
樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発
生を防止でき、しかも、抜け止め溝により樹脂の抜け止
めをできるから、センサの信頼性を高めることができ
る。また、抜け止め溝を形成したことにより、ケース外
部から圧力導入孔の内周面に沿った受圧ダイアフラムま
での距離が長くなり、外部からの圧力媒体が侵入しにく
くなる。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面に樹脂を抜け止めする抜
け止め溝が形成されて成ることを特徴とするものであ
り、オイルの脱泡時に発生する泡が抜け止め溝の部位で
つぶれるから、圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイ
ルが付着するのを防ぐことができ、その結果、樹脂と樹
脂充填部の内周面との間に充分な密着力及び粘着力が得
られるので、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と
樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発
生を防止でき、しかも、抜け止め溝により樹脂の抜け止
めをできるから、センサの信頼性を高めることができ
る。また、抜け止め溝を形成したことにより、ケース外
部から圧力導入孔の内周面に沿った受圧ダイアフラムま
での距離が長くなり、外部からの圧力媒体が侵入しにく
くなる。
【００１３】請求項５の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面にオリフィス状の突起が
突設されて成ることを特徴とするものであり、オイルの
脱泡時に発生する泡が上記突起の部位でつぶれるから、
圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイルが付着するの
を防ぐことができ、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周
面との間に充分な密着力及び粘着力が得られるので、オ
イルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と樹脂との界面か
ら圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止でき、
しかも、上記突起により樹脂の抜け止めをできるから、
センサの信頼性を高めることができる。また、上記突起
を形成したことにより、ケース外部から圧力導入孔の内
周面に沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、
外部からの圧力媒体が侵入しにくくなる。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面にオリフィス状の突起が
突設されて成ることを特徴とするものであり、オイルの
脱泡時に発生する泡が上記突起の部位でつぶれるから、
圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイルが付着するの
を防ぐことができ、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周
面との間に充分な密着力及び粘着力が得られるので、オ
イルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と樹脂との界面か
ら圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止でき、
しかも、上記突起により樹脂の抜け止めをできるから、
センサの信頼性を高めることができる。また、上記突起
を形成したことにより、ケース外部から圧力導入孔の内
周面に沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、
外部からの圧力媒体が侵入しにくくなる。
【００１４】請求項６の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂が充填される樹脂充填部の内周面に径方
向の段部が形成され、該段部には中央部が開口され樹脂
を抜け止めする抜け止め部材が固着されて成ることを特
徴とするものであり、オイルの脱泡時に発生する泡が抜
け止め部材の部位でつぶれるから、圧力導入孔の樹脂充
填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、
その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密
着力及び粘着力が得られるので、オイルが漏れたり、圧
力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入す
るなどの不具合の発生を防止でき、しかも、抜け止め部
材により樹脂の抜け止めをできるから、センサの信頼性
を高めることができる。また、抜け止め部材を設けたこ
とにより、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った
受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧
力媒体が侵入しにくくなる。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂が充填される樹脂充填部の内周面に径方
向の段部が形成され、該段部には中央部が開口され樹脂
を抜け止めする抜け止め部材が固着されて成ることを特
徴とするものであり、オイルの脱泡時に発生する泡が抜
け止め部材の部位でつぶれるから、圧力導入孔の樹脂充
填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、
その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密
着力及び粘着力が得られるので、オイルが漏れたり、圧
力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入す
るなどの不具合の発生を防止でき、しかも、抜け止め部
材により樹脂の抜け止めをできるから、センサの信頼性
を高めることができる。また、抜け止め部材を設けたこ
とにより、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った
受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧
力媒体が侵入しにくくなる。
【００１５】
（実施形態１）本実施形態の圧力センサの基本構成は図
１１及び図１２に示した従来構成と略同じであって、図
１に示すようにケース２０の圧力導入孔２０ｂの形状に
特徴がある。なお、従来構成と共通する部分には同一の
符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部
分についてのみ説明する。
１１及び図１２に示した従来構成と略同じであって、図
１に示すようにケース２０の圧力導入孔２０ｂの形状に
特徴がある。なお、従来構成と共通する部分には同一の
符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部
分についてのみ説明する。
【００１６】本実施形態では、ケース２０の圧力導入孔
２０ｂが、図２に示すように、フッ素系のオイル１５２
が充填されるオイル充填部の内径Ｈ1 よりも樹脂である
シリコンゲル１５３が充填される樹脂充填部の内径Ｈ2
を大きくしてある。しかして、本実施形態では、オイル
１５２の脱泡時において圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部
の内周面にオイル１５２が付着するのを防ぐことがで
き、その結果、シリコンゲル１５３と樹脂充填部の内周
面との間に充分な密着力及び粘着力が得られるので、オ
イル１５２が漏れたり、圧力導入孔２０ｂの内周面とシ
リコンゲル１５３との界面から圧力媒体が侵入するなど
の不具合の発生を防止できるから、センサの信頼性を高
めることができる。
２０ｂが、図２に示すように、フッ素系のオイル１５２
が充填されるオイル充填部の内径Ｈ1 よりも樹脂である
シリコンゲル１５３が充填される樹脂充填部の内径Ｈ2
を大きくしてある。しかして、本実施形態では、オイル
１５２の脱泡時において圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部
の内周面にオイル１５２が付着するのを防ぐことがで
き、その結果、シリコンゲル１５３と樹脂充填部の内周
面との間に充分な密着力及び粘着力が得られるので、オ
イル１５２が漏れたり、圧力導入孔２０ｂの内周面とシ
リコンゲル１５３との界面から圧力媒体が侵入するなど
の不具合の発生を防止できるから、センサの信頼性を高
めることができる。
【００１７】（実施形態２）本実施形態の基本構成は実
施形態１と略同じであって、図３に示すように、ケース
２０の圧力導入孔２０ｂのオイル充填部の外側と、圧力
導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面との間にリング状の
溝２０ｈが形成されている点が相違する。本実施形態で
は、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に沿
った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部から
の圧力媒体が侵入しにくくなる。
施形態１と略同じであって、図３に示すように、ケース
２０の圧力導入孔２０ｂのオイル充填部の外側と、圧力
導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面との間にリング状の
溝２０ｈが形成されている点が相違する。本実施形態で
は、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に沿
った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部から
の圧力媒体が侵入しにくくなる。
【００１８】（実施形態３）本実施形態の基本構成は実
施形態１と略同じであって、図４に示すように、圧力導
入孔２０ｂのオイル充填部の内周面に微小の凹凸が形成
した点に特徴がある。本実施形態では、上記凹凸を形成
したことにより、シリコンゲル１５３と樹脂充填部の内
周面との密着力を高めることができるから、センサの信
頼性をより一層高めることができる。
施形態１と略同じであって、図４に示すように、圧力導
入孔２０ｂのオイル充填部の内周面に微小の凹凸が形成
した点に特徴がある。本実施形態では、上記凹凸を形成
したことにより、シリコンゲル１５３と樹脂充填部の内
周面との密着力を高めることができるから、センサの信
頼性をより一層高めることができる。
【００１９】（実施形態４）本実施形態の基本構成は図
１１に示した従来構成と略同じであって、図５及び図６
に示すように、ケース２０において、圧力導入孔２０ｂ
の樹脂充填部の内周面に樹脂であるシリコンゲル１５３
を抜け止めする抜け止め溝２０ｉが形成されている点に
特徴がある。
１１に示した従来構成と略同じであって、図５及び図６
に示すように、ケース２０において、圧力導入孔２０ｂ
の樹脂充填部の内周面に樹脂であるシリコンゲル１５３
を抜け止めする抜け止め溝２０ｉが形成されている点に
特徴がある。
【００２０】本実施形態では、オイル１５２の脱泡時に
発生する泡が抜け止め溝２０ｉの部位でつぶれるから、
圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル１５２
が付着するのを防ぐことができ、その結果、シリコンゲ
ル１５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及
び粘着力が得られるので、オイル１５２が漏れたり、圧
力導入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との界面
から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止で
き、しかも、抜け止め溝２０ｉによりシリコンゲル１５
３の抜け止めをできるから、センサの信頼性を高めるこ
とができる。また、抜け止め溝２０ｉを形成したことに
より、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に
沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部か
らの圧力媒体が侵入しにくくなる。
発生する泡が抜け止め溝２０ｉの部位でつぶれるから、
圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル１５２
が付着するのを防ぐことができ、その結果、シリコンゲ
ル１５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及
び粘着力が得られるので、オイル１５２が漏れたり、圧
力導入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との界面
から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止で
き、しかも、抜け止め溝２０ｉによりシリコンゲル１５
３の抜け止めをできるから、センサの信頼性を高めるこ
とができる。また、抜け止め溝２０ｉを形成したことに
より、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に
沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部か
らの圧力媒体が侵入しにくくなる。
【００２１】（実施形態５）本実施形態の基本構成は図
１１に示した従来構成と略同じであって、図７に示すよ
うに、ケース２０において、圧力導入孔２０ｂの樹脂充
填部の内周面にオリフィス状の突起２０ｊが突設されて
いる点に特徴がある。本実施形態では、オイル１５２の
脱泡時に発生する泡が上記突起２０ｊの部位でつぶれる
から、圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル
１５２が付着するのを防ぐことができ、その結果、シリ
コンゲル１５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密
着力及び粘着力が得られるので、オイル１５２が漏れた
り、圧力導入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３と
の界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防
止でき、しかも、上記突起２０ｊによりシリコンゲル１
５３の抜け止めをできるから、センサの信頼性を高める
ことができる。また、上記突起２０ｊを形成したことに
より、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に
沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部か
らの圧力媒体が侵入しにくくなる。
１１に示した従来構成と略同じであって、図７に示すよ
うに、ケース２０において、圧力導入孔２０ｂの樹脂充
填部の内周面にオリフィス状の突起２０ｊが突設されて
いる点に特徴がある。本実施形態では、オイル１５２の
脱泡時に発生する泡が上記突起２０ｊの部位でつぶれる
から、圧力導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル
１５２が付着するのを防ぐことができ、その結果、シリ
コンゲル１５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密
着力及び粘着力が得られるので、オイル１５２が漏れた
り、圧力導入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３と
の界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防
止でき、しかも、上記突起２０ｊによりシリコンゲル１
５３の抜け止めをできるから、センサの信頼性を高める
ことができる。また、上記突起２０ｊを形成したことに
より、ケース２０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に
沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部か
らの圧力媒体が侵入しにくくなる。
【００２２】（実施形態６）本実施形態の基本構成は実
施形態１と略同じであって、ケース２０において、圧力
導入孔２０ｂのシリコンゲル１５３が充填される樹脂充
填部の内周面に径方向の段部が形成され、該段部には中
央部が開口されシリコンゲル１５３を抜け止めする抜け
止め部材たる金属製のワッシャ２９が固着されている点
に特徴がある。
施形態１と略同じであって、ケース２０において、圧力
導入孔２０ｂのシリコンゲル１５３が充填される樹脂充
填部の内周面に径方向の段部が形成され、該段部には中
央部が開口されシリコンゲル１５３を抜け止めする抜け
止め部材たる金属製のワッシャ２９が固着されている点
に特徴がある。
【００２３】本実施形態では、オイル１５２の脱泡時に
発生する泡がワッシャ２９の部位でつぶれるから、圧力
導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル１５２が付
着するのを防ぐことができ、その結果、シリコンゲル１
５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及び粘
着力が得られるので、オイル１５２が漏れたり、圧力導
入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との界面から
圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止でき、し
かも、ワッシャ２９によりシリコンゲル１５３の抜け止
めをできるから、センサの信頼性を高めることができ
る。また、ワッシャ２９を設けたことにより、ケース２
０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に沿った受圧ダイ
アフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力媒体が
侵入しにくくなる。
発生する泡がワッシャ２９の部位でつぶれるから、圧力
導入孔２０ｂの樹脂充填部の内周面にオイル１５２が付
着するのを防ぐことができ、その結果、シリコンゲル１
５３と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及び粘
着力が得られるので、オイル１５２が漏れたり、圧力導
入孔２０ｂの内周面とシリコンゲル１５３との界面から
圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止でき、し
かも、ワッシャ２９によりシリコンゲル１５３の抜け止
めをできるから、センサの信頼性を高めることができ
る。また、ワッシャ２９を設けたことにより、ケース２
０外部から圧力導入孔２０ｂの内周面に沿った受圧ダイ
アフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力媒体が
侵入しにくくなる。
【００２４】
【発明の効果】請求項１の発明は、半導体基板に凹所を
設けることによって形成された受圧ダイアフラムに受け
る圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメ
ントと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受
圧ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形
成されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフ
ラムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよ
うに圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、圧力導入孔
は、オイルが充填されるオイル充填部の内径よりも樹脂
が充填される樹脂充填部の内径を大きく形成してあるの
で、オイルの脱泡時において圧力導入孔の樹脂充填部の
内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、その結
果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及
び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内
周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不具
合の発生を防止できるから、センサの信頼性を高めるこ
とができるという効果がある。
設けることによって形成された受圧ダイアフラムに受け
る圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメ
ントと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受
圧ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形
成されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフ
ラムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよ
うに圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、圧力導入孔
は、オイルが充填されるオイル充填部の内径よりも樹脂
が充填される樹脂充填部の内径を大きく形成してあるの
で、オイルの脱泡時において圧力導入孔の樹脂充填部の
内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、その結
果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力及
び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内
周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不具
合の発生を防止できるから、センサの信頼性を高めるこ
とができるという効果がある。
【００２５】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、ケースは、圧力導入孔のオイル充填部の外側と圧力
導入孔の樹脂充填部の内周面との間に溝が形成されてい
るので、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受
圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力
媒体が侵入しにくくなるという効果がある。請求項３の
発明は、請求項１の発明において、ケースは、圧力導入
孔の樹脂充填部の内周面に微小の凹凸が形成されている
ので、樹脂と樹脂充填部の内周面との密着力を高めるこ
とができるから、センサの信頼性をより一層高めること
ができるという効果がある。
て、ケースは、圧力導入孔のオイル充填部の外側と圧力
導入孔の樹脂充填部の内周面との間に溝が形成されてい
るので、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受
圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力
媒体が侵入しにくくなるという効果がある。請求項３の
発明は、請求項１の発明において、ケースは、圧力導入
孔の樹脂充填部の内周面に微小の凹凸が形成されている
ので、樹脂と樹脂充填部の内周面との密着力を高めるこ
とができるから、センサの信頼性をより一層高めること
ができるという効果がある。
【００２６】請求項４の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面に樹脂を抜け止めする抜
け止め溝が形成されているので、オイルの脱泡時に発生
する泡が抜け止め溝の部位でつぶれるから、圧力導入孔
の樹脂充填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐこと
ができ、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に
充分な密着力及び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、
圧力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入
するなどの不具合の発生を防止でき、しかも、抜け止め
溝により樹脂の抜け止めをできるから、センサの信頼性
を高めることができるという効果がある。また、抜け止
め溝を形成したことにより、ケース外部から圧力導入孔
の内周面に沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くな
り、外部からの圧力媒体が侵入しにくくなるという効果
がある。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面に樹脂を抜け止めする抜
け止め溝が形成されているので、オイルの脱泡時に発生
する泡が抜け止め溝の部位でつぶれるから、圧力導入孔
の樹脂充填部の内周面にオイルが付着するのを防ぐこと
ができ、その結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に
充分な密着力及び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、
圧力導入孔の内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入
するなどの不具合の発生を防止でき、しかも、抜け止め
溝により樹脂の抜け止めをできるから、センサの信頼性
を高めることができるという効果がある。また、抜け止
め溝を形成したことにより、ケース外部から圧力導入孔
の内周面に沿った受圧ダイアフラムまでの距離が長くな
り、外部からの圧力媒体が侵入しにくくなるという効果
がある。
【００２７】請求項５の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面にオリフィス状の突起が
突設されているので、オイルの脱泡時に発生する泡が上
記突起の部位でつぶれるから、圧力導入孔の樹脂充填部
の内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、その
結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力
及び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の
内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不
具合の発生を防止でき、しかも、上記突起により樹脂の
抜け止めをできるから、センサの信頼性を高めることが
できるという効果がある。また、上記突起を形成したこ
とにより、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った
受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧
力媒体が侵入しにくくなるという効果がある。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂充填部の内周面にオリフィス状の突起が
突設されているので、オイルの脱泡時に発生する泡が上
記突起の部位でつぶれるから、圧力導入孔の樹脂充填部
の内周面にオイルが付着するのを防ぐことができ、その
結果、樹脂と樹脂充填部の内周面との間に充分な密着力
及び粘着力が得られ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の
内周面と樹脂との界面から圧力媒体が侵入するなどの不
具合の発生を防止でき、しかも、上記突起により樹脂の
抜け止めをできるから、センサの信頼性を高めることが
できるという効果がある。また、上記突起を形成したこ
とにより、ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った
受圧ダイアフラムまでの距離が長くなり、外部からの圧
力媒体が侵入しにくくなるという効果がある。
【００２８】請求項６の発明は、半導体基板に凹所を設
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂が充填される樹脂充填部の内周面に径方
向の段部が形成され、該段部には中央部が開口され樹脂
を抜け止めする抜け止め部材が固着されているので、オ
イルの脱泡時に発生する泡が抜け止め部材の部位でつぶ
れるから、圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイルが
付着するのを防ぐことができ、その結果、樹脂と樹脂充
填部の内周面との間に充分な密着力及び粘着力が得ら
れ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と樹脂との
界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止
でき、しかも、抜け止め部材により樹脂の抜け止めをで
きるから、センサの信頼性を高めることができるという
効果がある。また、抜け止め部材を設けたことにより、
ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受圧ダイア
フラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力媒体が侵
入しにくくなるという効果がある。
けることによって形成された受圧ダイアフラムに受ける
圧力の大きさを電気信号に変換する圧力センサエレメン
トと、少なくとも圧力センサエレメントが収納され受圧
ダイアフラムへ圧力を導入するための圧力導入孔が形成
されたケースと、圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラ
ムへ圧力を伝達するオイルと、該オイルを封止するよう
に圧力導入孔に充填される樹脂とを備え、ケースは、圧
力導入孔の樹脂が充填される樹脂充填部の内周面に径方
向の段部が形成され、該段部には中央部が開口され樹脂
を抜け止めする抜け止め部材が固着されているので、オ
イルの脱泡時に発生する泡が抜け止め部材の部位でつぶ
れるから、圧力導入孔の樹脂充填部の内周面にオイルが
付着するのを防ぐことができ、その結果、樹脂と樹脂充
填部の内周面との間に充分な密着力及び粘着力が得ら
れ、オイルが漏れたり、圧力導入孔の内周面と樹脂との
界面から圧力媒体が侵入するなどの不具合の発生を防止
でき、しかも、抜け止め部材により樹脂の抜け止めをで
きるから、センサの信頼性を高めることができるという
効果がある。また、抜け止め部材を設けたことにより、
ケース外部から圧力導入孔の内周面に沿った受圧ダイア
フラムまでの距離が長くなり、外部からの圧力媒体が侵
入しにくくなるという効果がある。
【図１】実施形態１を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は
側断面図、（ｃ）は背面図である。
側断面図、（ｃ）は背面図である。
【図２】同上の要部説明図である。
【図３】実施形態２の要部説明図である。
【図４】実施形態３の要部説明図である。
【図５】実施形態４を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は
側断面図、（ｃ）は背面図である。
側断面図、（ｃ）は背面図である。
【図６】同上の要部断面図である。
【図７】実施形態５の要部断面図である。
【図８】実施形態６の要部断面図である。
【図９】従来例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側断
面図、（ｃ）は背面図である。
面図、（ｃ）は背面図である。
【図１０】同上の要部断面図である。
【図１１】同上の要部説明図である。
２０ ケース ２０ａ 先端部 ２０ｂ 圧力導入孔 ３０ ボディ ３０ａ 圧力導入管 ３０ｂ 圧力導入孔 ４０ プリント基板 ６０ コネクタハウジング １５１ 接着剤 １５２ オイル １５３ シリコンゲル Ａ 圧力センサエレメント
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体基板に凹所を設けることによって
形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大きさを電
気信号に変換する圧力センサエレメントと、少なくとも
圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフラムへ圧
力を導入するための圧力導入孔が形成されたケースと、
圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力を伝達す
るオイルと、該オイルを封止するように圧力導入孔に充
填される樹脂とを備え、圧力導入孔は、オイルが充填さ
れるオイル充填部の内径よりも樹脂が充填される樹脂充
填部の内径を大きく形成して成ることを特徴とする圧力
センサ。 - 【請求項２】 ケースは、圧力導入孔のオイル充填部の
外側と圧力導入孔の樹脂充填部の内周面との間に溝が形
成されて成ることを特徴とする請求項１記載の圧力セン
サ。 - 【請求項３】 ケースは、圧力導入孔の樹脂充填部の内
周面に微小の凹凸が形成されて成ることを特徴とする請
求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 半導体基板に凹所を設けることによって
形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大きさを電
気信号に変換する圧力センサエレメントと、少なくとも
圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフラムへ圧
力を導入するための圧力導入孔が形成されたケースと、
圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力を伝達す
るオイルと、該オイルを封止するように圧力導入孔に充
填される樹脂とを備え、ケースは、圧力導入孔の樹脂充
填部の内周面に樹脂を抜け止めする抜け止め溝が形成さ
れて成ることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項５】 半導体基板に凹所を設けることによって
形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大きさを電
気信号に変換する圧力センサエレメントと、少なくとも
圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフラムへ圧
力を導入するための圧力導入孔が形成されたケースと、
圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力を伝達す
るオイルと、該オイルを封止するように圧力導入孔に充
填される樹脂とを備え、ケースは、圧力導入孔の樹脂充
填部の内周面にオリフィス状の突起が突設されて成るこ
とを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項６】 半導体基板に凹所を設けることによって
形成された受圧ダイアフラムに受ける圧力の大きさを電
気信号に変換する圧力センサエレメントと、少なくとも
圧力センサエレメントが収納され受圧ダイアフラムへ圧
力を導入するための圧力導入孔が形成されたケースと、
圧力導入孔に充填され受圧ダイアフラムへ圧力を伝達す
るオイルと、該オイルを封止するように圧力導入孔に充
填される樹脂とを備え、ケースは、圧力導入孔の樹脂が
充填される樹脂充填部の内周面に径方向の段部が形成さ
れ、該段部には中央部が開口され樹脂を抜け止めする抜
け止め部材が固着されて成ることを特徴とする圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21884897A JPH1164143A (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21884897A JPH1164143A (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164143A true JPH1164143A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16726295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21884897A Pending JPH1164143A (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164143A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7600432B2 (en) | 2006-10-12 | 2009-10-13 | Denso Corporation | Pressure sensor with sensing chip protected by protective material |
| JP2010008417A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Soc De Technol Michelin | 圧力測定装置及びタイヤ用ゴムを加硫する金型 |
-
1997
- 1997-08-13 JP JP21884897A patent/JPH1164143A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7600432B2 (en) | 2006-10-12 | 2009-10-13 | Denso Corporation | Pressure sensor with sensing chip protected by protective material |
| JP2010008417A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Soc De Technol Michelin | 圧力測定装置及びタイヤ用ゴムを加硫する金型 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041217 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050614 |