JPH115627A - Substrate conveying system - Google Patents
Substrate conveying systemInfo
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- JPH115627A JPH115627A JP17109297A JP17109297A JPH115627A JP H115627 A JPH115627 A JP H115627A JP 17109297 A JP17109297 A JP 17109297A JP 17109297 A JP17109297 A JP 17109297A JP H115627 A JPH115627 A JP H115627A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送システム
に係り、特に複数枚の基板をわずかな間隔で収納してい
る搬送ケースから基板を１枚づつ確実に取り出し、ま
た、搬送ケース内にわずかな間隔で基板を１枚づつ確実
に収納するための基板搬送システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer system and, more particularly, to a substrate transfer system in which a plurality of substrates are stored at a small interval from a transfer case. The present invention relates to a substrate transfer system for securely storing substrates one by one at an appropriate interval.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして液晶
表示装置、プラズマ表示装置等の実用化が進んでおり、
これらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を
行うことにより作製される。フラットディスプレイを構
成する基板は、例えば、ガラス基板等のように良好な光
透過性を備えるものであるが、材質の面から衝撃に弱い
という欠点がある。このため、フラットディスプレイの
製造ラインに供給されるガラス基板は、専用の搬送ケー
ス内に１枚づつ所定の間隔を設けて収納した状態で搬送
される。2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display devices, plasma display devices, and the like have been put into practical use as flat displays.
These flat displays are manufactured by performing various processes on a substrate. A substrate constituting a flat display has good light transmittance like a glass substrate, for example, but has a drawback that it is vulnerable to impacts due to its material. For this reason, the glass substrates supplied to the production line of the flat display are transported in a dedicated transport case one by one at a predetermined interval and stored.
【０００３】上記の搬送ケースは、搬送効率を高めるた
めに、複数枚のガラス基板を収納して搬送するものであ
り、例えば、ケースの内壁面に複数の板、ピンあるいは
溝が所定の間隔で設けられ配置された搬送ケースでは、
ガラス基板が所定の段にその周辺部を係止するようにし
て収納される。ガラス基板を収納した搬送ケースは、通
常、ガラス基板面が垂直となるような状態でフラットデ
ィスプレイの製造ラインに搬送される。そして、フラッ
トディスプレイの製造ラインでは、ガラス基板面が水平
となるように搬送ケースを載置し、各ガラス基板の間に
基板取り出し用部材を挿入してガラス基板を吸引保持
し、その後、基板取り出し用部材を引き出すことによっ
て、搬送ケースから１枚づつガラス基板が取り出され、
所望の加工が行われる。このような基板の取り出しで
は、対象となるガラス基板の下方に基板取り出し用部材
を挿入し、ガラス基板の下面中央部を吸引保持した状態
で取り出しが行われる。The above-mentioned transfer case is for storing and transferring a plurality of glass substrates in order to enhance the transfer efficiency. For example, a plurality of plates, pins or grooves are formed at predetermined intervals on the inner wall surface of the case. In the provided and arranged transport case,
A glass substrate is housed in a predetermined step so as to lock its peripheral portion. The transfer case containing the glass substrate is usually transferred to a flat display production line in a state where the glass substrate surface is vertical. In the flat display manufacturing line, the transport case is placed so that the glass substrate surface is horizontal, and a substrate removing member is inserted between the glass substrates to suck and hold the glass substrate. By pulling out the member for use, the glass substrates are taken out one by one from the transport case,
The desired processing is performed. In taking out such a substrate, a substrate taking-out member is inserted below a target glass substrate, and the substrate is taken out while a central portion of the lower surface of the glass substrate is suction-held.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送ケ
ース内では、ガラス基板の自重により下方へたわみを生
じており、一方、搬送ケース内で上記のように基板取り
出し用部材により下面中央を吸引保持されたガラス基板
は、自重により周辺部が下方へたわんだ状態となる。し
たがって、ガラス基板どうしの接触を生じることなく確
実に取り出しを行うためには、搬送ケース内のガラス基
板の収納間隔を、上記のたわみ量の２倍に安全のための
スペースを加えた間隔とする必要があり、この収納間隔
は、ガラス基板が大型化する程、あるいは、基板のたわ
み量が大きい程、大きくなる。このため、同一収納枚数
の場合には搬送ケースの大型化という問題、同一寸法の
搬送ケースの場合には収納枚数の減少という問題が生じ
ている。However, in the transfer case, the glass substrate is bent downward due to its own weight. On the other hand, in the transfer case, the center of the lower surface is sucked and held by the substrate removing member as described above. The peripheral portion of the warped glass substrate is bent downward by its own weight. Therefore, in order to reliably take out the glass substrate without causing contact between the glass substrates, the storage interval of the glass substrate in the transfer case is set to an interval obtained by adding a space for safety to twice the amount of deflection described above. It is necessary to increase the storage interval as the size of the glass substrate increases or as the amount of deflection of the substrate increases. For this reason, there is a problem that the transport case becomes large in the case of the same storage number, and a problem that the storage number decreases in the case of the transport case of the same size.
【０００５】本発明は、上述のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、基板の収納間隔を小さく設定しても、
基板を１枚づつ確実に搬送ケースから取り出し、あるい
は、収納することができる基板搬送システムを提供する
ことを目的とする。[0005] The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and even if the storage interval of the substrates is set small,
It is an object of the present invention to provide a substrate transfer system that can reliably take out or store substrates one by one from a transfer case.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明の基板搬送システムは、開口部をもつ
直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画
形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複数の基板
係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する１組の
前記基板係止部間に１枚の基板を収納するようにして複
数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を
１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を１枚づつ
収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部の基板並
列方向が水平面に対して５〜２０°の範囲内の角度θを
なすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基
板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直
方向に対して前記角度θに近い角度で保持した状態で前
記姿勢の搬送ケース内に開口部からほぼ水平方向に出入
自在なアームを有する基板出入部と、を備えるような構
成とした。In order to solve such a problem, a substrate transport system according to the present invention has a rectangular parallelepiped storage space having an opening and opposing ones defining the storage space. A transfer case provided with a plurality of substrate locking portions on the inner surface of a pair of locking wall portions, wherein one substrate is stored between a pair of opposed substrate locking portions. In a substrate transfer system in which substrates are taken out one by one from a transfer case storing the substrates in parallel, or the substrates are stored one by one in the transfer case, the substrate parallel direction of the locking wall portion is 5 to the horizontal plane. An arm provided with a case attitude control unit for tilting the transfer case so as to form an angle θ within a range of 20 °, and an arm including a holding member for holding the substrate, and holding the substrate at an angle close to the angle θ with respect to the vertical direction. Transport case with the above posture And a substrate and out portion having a free arm and out in a substantially horizontal direction, a configuration provided with the openings.
【０００７】上記のような本発明では、ケース姿勢制御
部により傾けられた搬送ケース内の基板は、搬送ケース
の傾き方向に対応して同方向に傾斜するので、各基板の
間隔は一定であり、かつ、傾き角度θが５〜２０°の範
囲内であるため、自重による基板のたわみは極めて少な
く、アームにより基板が保持された状態でも自重による
基板のたわみは極めて少ないものとなる。In the present invention as described above, the substrates in the transfer case tilted by the case attitude control unit are tilted in the same direction corresponding to the tilt direction of the transfer case, so that the distance between the substrates is constant. In addition, since the inclination angle θ is in the range of 5 to 20 °, the deflection of the substrate due to its own weight is extremely small, and even when the substrate is held by the arm, the deflection of the substrate due to its own weight is extremely small.
【０００８】また、本発明の基板搬送システムは、開口
部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空
間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複
数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向す
る１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するよう
にして複数の基板を並列に収納している搬送ケースか
ら、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板
を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、開口部
が上面に位置するように搬送ケースを載置するケース姿
勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであ
って基板をほぼ垂直に保持した状態で前記姿勢の搬送ケ
ース内に開口部からほぼ垂直方向に出入自在なアームを
有する基板出入部と、を有するような構成とした。Further, the substrate transport system of the present invention has a rectangular parallelepiped storage space having an opening, and a plurality of substrate locks are provided on an inner surface of a pair of opposed locking walls defining the storage space. A transfer case including a plurality of substrates arranged in parallel so as to store one substrate between a pair of opposed substrate locking portions. In a substrate transfer system that takes out sheets one by one or stores substrates one by one in the transfer case, a case attitude control unit that mounts the transfer case so that the opening is positioned on the upper surface, and a holding member for holding the substrate And a substrate access portion having an arm which is capable of entering and exiting from the opening in a substantially vertical direction in the transfer case in the above-described posture while holding the substrate substantially vertically.
【０００９】このような本発明では、ケース姿勢制御部
により開口部が上面に位置するようにされた搬送ケース
内の基板は、その間隔が一定であり、かつ、自重による
基板のたわみはなく、アームにより基板が保持された状
態でも自重による基板のたわみはないものとなる。According to the present invention, the substrates in the transfer case, the openings of which are positioned on the upper surface by the case attitude control unit, have a constant interval, and the substrate does not bend due to its own weight. Even when the substrate is held by the arm, the substrate does not bend due to its own weight.
【００１０】さらに、本発明の基板搬送システムは、開
口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納
空間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に
複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向
する１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するよ
うにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースか
ら、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板
を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁
部がほぼ垂直となるように搬送ケースを載置するケース
姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームで
あって基板をほぼ水平に保持した状態で前記姿勢の搬送
ケース内に開口部からほぼ水平方向に出入自在なアーム
を有する基板出入部と、を有し、前記アームは固定アー
ムと、該固定アームの両側に軸方向を平行にして配設さ
れ軸方向を中心に回転可能な複数の可動アームとからな
り、固定アームの軸位置は可動アームの軸位置よりも下
方に位置するような構成とした。Further, the substrate transfer system of the present invention has a rectangular parallelepiped storage space having an opening, and a plurality of substrate locks are provided on an inner surface of a pair of opposed locking walls defining the storage space. A transfer case including a plurality of substrates arranged in parallel so as to store one substrate between a pair of opposed substrate locking portions. In a substrate transport system that takes out one by one or stores substrates one by one in the transport case, a case attitude control unit that places the transport case so that a locking wall portion is substantially vertical, and a holding member for holding the substrate A substrate access portion having an arm that can freely enter and exit from the opening in a substantially horizontal direction in the transfer case in a state in which the substrate is held substantially horizontally, and the arm is a fixed arm. And the fixed arm It is composed of a plurality of movable arms which are arranged on both sides of the arm in parallel in the axial direction and are rotatable around the axial direction, and the axial position of the fixed arm is located below the axial position of the movable arm. .
【００１１】そして、上記の基板搬送システムにおい
て、前記アームが備える保持部材は、上方向に付勢され
た出入自在な保持部材であるような構成とした。In the above-described substrate transfer system, the holding member provided in the arm is configured to be a holding member urged upward and capable of moving in and out.
【００１２】このような本発明では、ケース姿勢制御部
により係止壁部がほぼ垂直となるようにされた搬送ケー
ス内の基板は、自重によるたわみを生じて、その間隔が
一定であり、アームにより基板が保持された状態では、
固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下方に
あるので、自重による基板のたわみがほぼ維持され、収
納時の基板間隔が変化することがほとんどない。According to the present invention, the board in the transfer case in which the locking wall portion is made substantially vertical by the case attitude control section is bent by its own weight, the interval between the boards is constant, and the arm is bent. In the state where the substrate is held by
Since the axis position of the fixed arm is lower than the axis position of the movable arm, the deflection of the substrate due to its own weight is substantially maintained, and the distance between the substrates during storage is hardly changed.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面を参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１４】図１は、本発明の基板搬送システムの一実
施形態を示す概略構成図である。図１において、基板搬
送システム１は、ケース姿勢制御部２と、このケース姿
勢制御部２の近傍に配設されている基板出入部３とを備
えている。FIG. 1 is a schematic diagram showing one embodiment of a substrate transfer system according to the present invention. In FIG. 1, a substrate transport system 1 includes a case posture control unit 2 and a substrate entrance / exit unit 3 disposed near the case posture control unit 2.
【００１５】この基板搬送システム１では、複数の基板
を収納した搬送ケースが搬送経路４上を矢印ａ方向に搬
送されてケース姿勢制御部２に到達し、このケース姿勢
制御部２において基板出入部３により基板が１枚づつ搬
送ケースから取り出され、基板搬送経路５上を矢印ｃ方
向に搬送される。このようにしてケース姿勢制御部２に
おける基板の取り出しが完了した空の搬送ケースは、そ
の後、搬送経路４上を矢印ｂ方向に搬送される。In the substrate transport system 1, a transport case containing a plurality of substrates is transported on the transport path 4 in the direction of arrow a and reaches the case attitude control unit 2. 3, the substrates are taken out one by one from the transport case and transported on the substrate transport path 5 in the direction of arrow c. The empty transport case from which the substrate has been removed by the case attitude control unit 2 in this manner is then transported on the transport path 4 in the direction of the arrow b.
【００１６】また、基板搬送システム１では、空の搬送
ケースが搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース
姿勢制御部２に到達し、基板収納姿勢で待機し、基板搬
送経路６上を矢印ｄ方向に搬送された基板が基板出入部
３により１枚づつケース姿勢制御部２にある搬送ケース
に収納される。このようにしてケース姿勢制御部２にお
ける基板の収納が完了した搬送ケースは、その後、搬送
経路４上を矢印ｂ方向に搬送される。In the substrate transport system 1, an empty transport case is transported on the transport path 4 in the direction of arrow a, reaches the case attitude control unit 2, waits in the substrate storage attitude, and travels on the substrate transport path 6. The substrates conveyed in the direction of the arrow d are stored one by one in the transfer case in the case attitude control unit 2 by the substrate entrance / exit unit 3. The transfer case in which the storage of the substrate in the case attitude control unit 2 is completed in this way is thereafter transferred on the transfer path 4 in the direction of the arrow b.
【００１７】ここで、本発明の基板搬送システム１に使
用できる搬送ケースについて説明する。Here, a transfer case that can be used in the substrate transfer system 1 of the present invention will be described.
【００１８】図２は、搬送ケースの一例を示す斜視図で
あり、図３は図２に示される搬送ケースの平面図であ
る。図２および図３において、搬送ケース１１は、収納
本体１１Ａと蓋部１１Ｂ（２点鎖線で示してある）とか
らなる。収納本体１１Ａは、相対向した係止壁部１２，
１２、相対向した側壁部１３，１３、および、底部１４
で区画形成され開口部１６をもつ直方体状の収納空間１
５を有している。収納本体１１Ａを構成する係止壁部１
２，１２の内壁面１２ａ，１２ａには、基板係止部とし
ての溝部１２ｂ，１２ｂ・・・が開口部１６から底部１
４方向に平行に所定の間隔Ｐで複数形成されている。そ
して、収納空間１５を介して相対向する一対の溝部１２
ｂ，１２ｂ間に１枚の基板Ｓを係止するようにして、複
数の基板Ｓが並列に収納本体１１Ａに収納される（図示
例では、図３に１枚の基板Ｓが収納された状態が示され
ている）。このように収納本体１１Ａに複数の基板Ｓを
収納した搬送ケース１１は、蓋部１１Ｂで収納本体１１
Ａを閉塞し、通常、基板Ｓを垂直にした状態で基板搬送
に供される。このような搬送ケース１１は、発泡スチロ
ール、プラスチック樹脂、金属、木材等の材料を用いて
作製することができる。また、基板係止部は上述の溝部
に限定されるものではなく、係止壁部１２の内壁面１２
ａから突出するように設けられたピン部材や、係止壁部
１２の内壁面１２ａに開口部１６から底部１４方向に平
行に形成された隔壁板等の他の構成のものであってもよ
い。第１の実施形態 次に、本発明の第１の実施形態を図４乃至図８を参照し
て説明する。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the transport case, and FIG. 3 is a plan view of the transport case shown in FIG. 2 and 3, the transport case 11 includes a storage body 11A and a lid 11B (shown by a two-dot chain line). The storage main body 11A is provided with a pair of opposed locking walls 12,
12, opposing side walls 13, 13 and bottom 14
Rectangular storage space 1 having an opening 16 defined by
Five. Engagement wall 1 constituting storage main body 11A
Grooves 12b, 12b... Serving as board locking portions are formed on the inner wall surfaces 12a
A plurality of them are formed at predetermined intervals P in parallel with four directions. A pair of grooves 12 opposed to each other via the storage space 15
The plurality of substrates S are stored in parallel in the storage main body 11A so that one substrate S is locked between the storage substrates 11b and 12b (in the illustrated example, the state where one substrate S is stored in FIG. 3). It is shown). The transport case 11 in which the plurality of substrates S are stored in the storage main body 11A as described above is attached to the storage main body 11 by the lid 11B.
A is closed, and the substrate S is usually transported in a vertical state. Such a transport case 11 can be manufactured using materials such as styrene foam, plastic resin, metal, and wood. Further, the substrate locking portion is not limited to the above-mentioned groove portion, and the inner wall surface 12 of the locking wall portion 12 is not limited thereto.
A different configuration may be used, such as a pin member provided to protrude from a, or a partition plate formed on the inner wall surface 12a of the locking wall portion 12 from the opening 16 to the bottom portion 14 in parallel. . First Embodiment Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１９】図４は基板搬送システム１のケース姿勢制
御部２における搬送ケース１１の姿勢制御を説明するた
めの図面である。搬送ケース１１は蓋部１１Ｂを取りは
ずした状態で、図１に示されるように搬送経路４上を矢
印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達する
（図４（Ａ））。このケース姿勢制御部２では、支持ア
ーム２ａ（２点鎖線で示してある）により搬送ケース１
１が支持され、この支持アーム２ａにより係止壁部１
２，１２が水平となり収納されている基板Ｓが垂直とな
るように搬送ケース１１の姿勢が制御される（図４
（Ｂ））。この状態で、開口部１６は基板出入部３方向
を向いている。次いで、支持アーム２ａが傾けられるこ
とにより、係止壁部１２の基板並列方向（図４（Ｃ）に
示される矢印方向）が水平面に対して角度θをなすよう
に搬送ケース１１の姿勢が制御される（図４（Ｃ））。
このような姿勢に制御された搬送ケース１１内の基板Ｓ
は、図５に示されるように、搬送ケース１１の傾き方向
に対応して溝部１２ｂ内で同方向に傾斜（図５では右側
に倒れるように傾斜）する。これにより、各基板は、一
定の間隔Ｐ（溝部１２ｂの形成間隔Ｐと同一）をなすよ
うに平行な状態となり、かつ、自重による基板Ｓのたわ
みは極めて少ないものとなる。上記の角度θは５〜２０
°の範囲内で設定することができ、角度θが５°未満で
あると、搬送ケース１１内での基板Ｓの同方向への傾斜
が不揃いとなり、一方、角度θが２０°を超えると、溝
部１２ｂに係止された基板に自重によるたわみが発生し
て、後述する基板出入部３による基板の取り出しに支障
を来すことになる。FIG. 4 is a view for explaining the attitude control of the transfer case 11 in the case attitude control unit 2 of the substrate transfer system 1. With the cover 11B removed, the transport case 11 is transported on the transport path 4 in the direction of arrow a as shown in FIG. 1 and reaches the case attitude control unit 2 (FIG. 4A). In the case attitude control unit 2, the transfer case 1 is controlled by a support arm 2a (shown by a two-dot chain line).
1 are supported by the support arm 2a.
The posture of the transfer case 11 is controlled so that the substrates 2 and 12 are horizontal and the stored substrate S is vertical (FIG. 4).
(B)). In this state, the opening 16 faces the direction of the substrate entrance 3. Then, by tilting the support arm 2a, the posture of the transfer case 11 is controlled such that the substrate parallel direction of the locking wall portion 12 (the direction of the arrow shown in FIG. 4C) forms an angle θ with respect to the horizontal plane. (FIG. 4C).
The substrate S in the transfer case 11 controlled to such an attitude.
5, as shown in FIG. 5, is inclined in the same direction in the groove portion 12b (in FIG. 5, inclined to the right side) corresponding to the inclination direction of the transport case 11. Thereby, the respective substrates are in a parallel state so as to form a constant interval P (the same as the formation interval P of the groove 12b), and the deflection of the substrate S due to its own weight is extremely small. The above angle θ is 5 to 20
When the angle θ is less than 5 °, the inclination of the substrate S in the same direction in the transfer case 11 becomes uneven, while when the angle θ exceeds 20 °, The substrate locked in the groove 12b bends due to its own weight, which hinders the removal of the substrate by the substrate entrance / exit unit 3 described later.
【００２０】図６は、基板出入部３の一例を示す斜視図
である。図６において基板出入部３は、平行軌道２１，
２１上を矢印ａ方向に往復移動可能で、かつ、矢印ｂ方
向に旋回可能な駆動部２２と、この駆動部２２に接続さ
れ、矢印ｃ方向に回転可能であるとともに矢印ｄ方向に
出入可能な支持軸２３と、この支持軸２３に支持部材２
４を介して互いに平行に配設されたアーム２５，２５と
を備えている。アーム２５，２５上には、それぞれ吸引
孔２６ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）２
６が複数設けられており、吸引孔２６ａは図示しない吸
引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。
尚、アーム２５，２５の形成間隔は、基板Ｓの寸法、強
度等を考慮して適宜設定することができる。また、図示
例では、アーム２５は２本であるが、３本以上であって
もよい。FIG. 6 is a perspective view showing an example of the substrate entrance 3. In FIG. 6, the substrate entrance 3 includes parallel orbits 21,
A drive unit 22 that can reciprocate in the direction of arrow a and can turn in the direction of arrow b, and is connected to the drive unit 22 so that it can rotate in the direction of arrow c and can enter and exit in the direction of arrow d A support shaft 23 and a support member 2
4 and arms 25, 25 arranged in parallel with each other. On the arms 25, 25, a holding member (suction pad) 2 having a suction hole 26a formed at the center thereof.
The suction holes 26a are connected to a suction device (not shown) via a suction path (not shown).
The interval between the formation of the arms 25 can be appropriately set in consideration of the dimensions, strength, and the like of the substrate S. Further, in the illustrated example, the number of the arms 25 is two, but may be three or more.
【００２１】このような基板出入部３は、駆動部２２が
旋回してアーム２５をケース姿勢制御部２方向に向ける
とともに、支持軸２３が回転して１組のアーム２５，２
５の基板保持面で形成される面が、図５に示される状態
の基板Ｓとほぼ平行となるようにされる。そして、支持
軸２３が駆動部２２からケース姿勢制御部２方向に押し
出されることにより、図７に示されるように、搬送ケー
ス１１内に収納されている基板Ｓのうち、取り出し対象
とする基板Ｓの横側近傍にアーム２５，２５が挿入され
る。次いで、吸引孔２６ａから吸引しながらアーム２
５，２５が図７の矢印方向に移動して基板Ｓに保持部材
２６を当接させることにより、アーム２５，２５により
基板Ｓを吸引保持する。このとき、アーム２５，２５の
作動の影響で、図７に２点鎖線で示されるように、基板
Ｓに多少のそりが生じても、上述のように隣接する基板
Ｓには自重によるたわみがほとんど発生していないの
で、基板Ｓどうしが接触することはない。このように基
板Ｓを垂直方向に対して上記角度θに近い角度θ´で吸
引保持したアーム２５，２５は、支持軸２３が駆動部２
２内に引き込まれることにより搬送ケース１１から引き
出される（（図８（Ａ））。次いで、支持軸２３の回転
により基板Ｓを上向に保持した状態とされ（図８
（Ｂ））、駆動部２２の旋回によりアーム２５，２５は
基板搬送経路５方向に向いた状態とされる。次いで、軌
道２１上を駆動部２２が移動して、基板搬送経路５上に
基板Ｓを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道２
１上を移動して戻り、次の基板Ｓの取り出しに移行す
る。When the drive unit 22 turns to turn the arm 25 in the direction of the case attitude control unit 2 and the support shaft 23 rotates, the substrate access unit 3 is turned into a set of arms 25 and 2.
The surface formed by the substrate holding surface 5 is substantially parallel to the substrate S in the state shown in FIG. Then, the support shaft 23 is pushed out of the drive unit 22 in the direction of the case attitude control unit 2, and as shown in FIG. 7, of the substrates S stored in the transport case 11, Arms 25, 25 are inserted in the vicinity of the lateral side of. Next, the arm 2 is sucked through the suction hole 26a.
When the holding members 26 are brought into contact with the substrate S by moving in the direction of the arrow in FIG. 7, the substrates S are suction-held by the arms 25, 25. At this time, as shown by a two-dot chain line in FIG. 7, even if the substrate S slightly warps due to the operation of the arms 25, 25, the adjacent substrate S is bent by its own weight as described above. Since almost no occurrence occurs, the substrates S do not come into contact with each other. As described above, the arms 25, 25 holding the substrate S by suction at an angle θ ′ close to the above angle θ with respect to the vertical direction,
2 is drawn out of the transport case 11 by being drawn into the inside ((FIG. 8 (A)). Then, the substrate S is held upward by the rotation of the support shaft 23 (FIG. 8).
(B)), the arms 25 are turned in the direction of the substrate transfer path 5 by the turning of the drive unit 22. Next, the drive unit 22 moves on the track 21, places the substrate S on the substrate transfer path 5, releases the suction holding, and returns the track 2 to the original position.
1 and return to the next substrate S.
【００２２】尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行
うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送
されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納する
ことができる。By carrying out the above-described operation of taking out the substrates S in reverse, the substrates S transported to the substrate entrance 3 on the substrate transport path 6 can be stored one by one in the transport case 11.
【００２３】上述のように、本発明では、ケース姿勢制
御部２において搬送ケース１１を傾き角度θが５〜２０
°の範囲内の角度となるように傾けるので、自重による
基板Ｓのたわみは極めて少ないものとなり、これにより
基板出入部３のアーム２５が基板Ｓを垂直方向に対して
上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重による
基板Ｓのたわみは極めて少ないものとなる。したがっ
て、搬送ケース１１内の基板Ｓの収納間隔Ｐを小さく、
例えば、１０ｍｍ程度としても、基板Ｓどうしを接触さ
せることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出した
り、あるいは、収納することができる。第２の実施形態 次に、本発明の第２の実施形態を図９乃至図１２を参照
して説明する。As described above, in the present invention, the case attitude controller 2 tilts the transfer case 11 so that the inclination angle θ is 5 to 20.
°, the deflection of the substrate S due to its own weight is extremely small, so that the arm 25 of the substrate entrance 3 moves the substrate S at an angle close to the angle θ with respect to the vertical direction. Even in the held state, the deflection of the substrate S due to its own weight is extremely small. Therefore, the storage interval P of the substrate S in the transfer case 11 is reduced,
For example, even if it is about 10 mm, the substrates S can be reliably taken out of the transport case one by one or stored without contacting each other. Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００２４】蓋部１１Ｂを取りはずした状態で、図１に
示されるように搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されて
ケース姿勢制御部２に到達した搬送ケース１１は、図９
に示されるように、開口部１６が上面となるような姿勢
とされる。この状態では、搬送ケース１１内の各基板Ｓ
は垂直に保持されて一定の間隔Ｐ（溝部１２ｂの形成間
隔Ｐと同一）をなすようにほぼ平行な状態となり、自重
による基板Ｓのたわみは発生していない。With the lid 11B removed, the transport case 11 transported along the transport path 4 in the direction of arrow a as shown in FIG.
As shown in (2), the posture is such that the opening 16 is the upper surface. In this state, each substrate S in the transfer case 11 is
Are kept substantially perpendicular to each other so as to form a constant interval P (same as the interval P of forming the groove 12b), and the substrate S does not bend due to its own weight.
【００２５】図１０は、基板出入部３の一例を示す斜視
図である。図１０において基板出入部３は、平行軌道３
１，３１上を矢印ａ方向に往復移動可能な駆動部３２Ａ
と、駆動部３２Ａに対して矢印ｂ方向に上下動可能で、
かつ、矢印ｃ方向に旋回可能な駆動部３２Ｂと、この駆
動部３２Ｂに接続され、矢印ｄ方向に回転可能であると
ともに矢印ｅ方向に出入可能な支持軸３３と、この支持
軸３３に支持部材３４を介して互いに平行に配設された
アーム３５，３５とを備えている。支持部材３４は、上
記の支持軸３３に接続された支持部材３４ａと、この支
持部材３４ａに対して矢印ｆ方向に回転可能であり、ア
ーム３５，３５が接続されている支持部材３４ｂとから
なる。また、アーム３５，３５上には、それぞれ吸引孔
３６ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）３６
が複数設けられており、吸引孔３６ａは図示しない吸引
経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。FIG. 10 is a perspective view showing an example of the substrate entrance 3. In FIG. 10, the substrate entrance 3 is a parallel track 3
Drive unit 32A that can reciprocate on arrows 1 and 31 in the direction of arrow a.
And can be moved up and down in the direction of arrow b with respect to the drive unit 32A,
A drive unit 32B that can be turned in the direction of arrow c, a support shaft 33 that is connected to the drive unit 32B, is rotatable in the direction of arrow d, and can enter and exit in the direction of arrow e; And arms 35, 35 arranged in parallel with each other via a. The support member 34 includes a support member 34a connected to the support shaft 33, and a support member 34b rotatable with respect to the support member 34a in a direction indicated by an arrow f and connected to the arms 35 and 35. . On the arms 35, 35, a holding member (suction pad) 36 having a suction hole 36a formed at the center is provided.
Are provided, and the suction hole 36a is connected to a suction device (not shown) via a suction path (not shown).
【００２６】このような基板出入部３は、図１１に示さ
れるように、駆動部３２Ｂが上昇するとともに旋回して
アーム３５，３５をケース姿勢制御部２方向に向けると
ともに、支持軸３３が回転してアーム３５，３５の基板
保持面で形成される面が垂直とされ、さらに、支持部材
３４ｂが回転してアーム３５，３５の先端を垂直下方向
に向ける。その後、支持軸３３が駆動部３２Ｂからケー
ス姿勢制御部２方向に押し出されることにより、ケース
姿勢制御部２に載置されている搬送ケース１１の上方に
アーム３５，３５が位置することになる。次いで、駆動
部３２Ｂが降下することにより、搬送ケース１１内に収
納されている基板Ｓのうち、取り出し対象とする基板Ｓ
の近傍にアーム３５，３５が挿入される。次いで、吸引
孔３６ａから吸引しながらアーム３５，３５を図１２の
矢印ａ方向に移動し、基板Ｓに保持部材３６を当接させ
て基板Ｓを吸引保持する。このとき、アーム３５，３５
の作動の影響で基板Ｓにそりが生じても、上述のように
隣接する基板Ｓには自重によるたわみが発生しておら
ず、したがって基板Ｓどうしが接触することはない。As shown in FIG. 11, the substrate access section 3 is rotated as the drive section 32B is raised to turn the arms 35, 35 toward the case attitude control section 2, and the support shaft 33 is rotated. Then, the surfaces formed by the substrate holding surfaces of the arms 35, 35 are made vertical, and the support member 34b rotates to turn the tips of the arms 35, 35 vertically downward. Thereafter, when the support shaft 33 is pushed out from the driving unit 32B in the direction of the case attitude control unit 2, the arms 35, 35 are positioned above the transport case 11 placed on the case attitude control unit 2. Next, as the drive unit 32B descends, of the substrates S stored in the transport case 11, the substrates S to be taken out are selected.
Are inserted in the vicinity of. Next, the arms 35, 35 are moved in the direction of arrow a in FIG. 12 while sucking from the suction hole 36a, and the holding member 36 is brought into contact with the substrate S to suck and hold the substrate S. At this time, the arms 35, 35
Even if the substrates S are warped under the influence of the operation described above, the adjacent substrates S do not bend due to their own weight as described above, and therefore the substrates S do not come into contact with each other.
【００２７】このように基板Ｓを垂直状態で吸引保持し
たアーム３５，３５は、駆動部３２Ｂが上昇することに
より搬送ケース１１から引き出され、その後、上述の動
作と逆の動作をなすことにより、アーム３５，３５は基
板Ｓを水平に吸引保持して基板搬送経路５方向に向いた
状態とされる。次いで、軌道３１上を駆動部３２Ａが移
動して、基板搬送経路５上に基板Ｓを載置して吸引保持
を解除し、元の位置に軌道３１上を移動して戻り、次の
基板Ｓの取り出しに移行する。The arms 35, 35 holding the substrate S by suction in the vertical state are pulled out of the transport case 11 by the elevation of the drive unit 32B, and thereafter, by performing an operation reverse to the above-described operation, The arms 35, 35 hold the substrate S horizontally and face the substrate transfer path 5. Next, the drive unit 32A moves on the track 31, the substrate S is placed on the substrate transfer path 5, the suction holding is released, and the drive unit 32A moves on the track 31 to the original position and returns to the original position. Move on to take out.
【００２８】尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行
うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送
されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納する
ことができる。By performing the above-described operation of taking out the substrates S in reverse, the substrates S transported to the substrate entrance 3 on the substrate transport path 6 can be stored one by one in the transport case 11.
【００２９】上述のように、本発明では、ケース姿勢制
御部２において開口部１６が上面に位置するように搬送
ケース１１を載置することにより、搬送ケース１１内の
基板Ｓは自重によるたわみがなく、基板間隔もほぼ一定
となり、これにより、搬送ケース１１内の基板の収納間
隔を小さく、例えば、１０ｍｍ程度としても、基板出入
部３のアーム３５が基板Ｓをほぼ垂直に保持して、基板
Ｓどうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケー
スから取り出したり、あるいは、収納することができ
る。As described above, according to the present invention, the substrate S in the transfer case 11 is bent by its own weight by placing the transfer case 11 so that the opening 16 is positioned on the upper surface in the case attitude control unit 2. In addition, the distance between the substrates is substantially constant, and thus, even when the distance between the substrates stored in the transfer case 11 is small, for example, about 10 mm, the arm 35 of the substrate entrance 3 holds the substrate S almost vertically, The sheets S can be taken out of the transport case one by one or stored without being brought into contact with each other.
【００３０】尚、アーム３５，３５に設ける保持部材と
して、基板Ｓの下端辺に係合するような引っかけ部材を
アーム３５，３５の先端部に設けてもよい。第３の実施形態 次に、本発明の第３の実施形態を図１３乃至図１５を参
照して説明する。Incidentally, as a holding member provided on the arms 35, 35, a hooking member which engages with the lower end side of the substrate S may be provided at the tip of the arms 35, 35. Third Embodiment Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００３１】蓋部１１Ｂを取りはずした状態で、図１に
示されるように搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されて
ケース姿勢制御部２に到達した搬送ケース１１（図１３
（Ａ））は、図示しない支持アームにより係止壁部１
２，１２が垂直となるような姿勢とされる（図１３
（Ｂ））。この状態では、開口部１６が基板出入部３の
方向を向き、搬送ケース１１内の各基板Ｓは両端を溝部
１２ｂに係止され、自重によるたわみが生じた状態で収
納されている。With the lid 11B removed, as shown in FIG. 1, the transport case 11 (FIG. 13) which is transported on the transport path 4 in the direction of arrow a and arrives at the case attitude controller 2
(A)) shows the locking wall 1 by a support arm (not shown).
The posture is such that 2, 2 are vertical (FIG. 13
(B)). In this state, the opening 16 faces the direction of the substrate entrance 3, and each substrate S in the transport case 11 is locked at both ends in the groove 12 b, and is stored in a state where the substrate S is bent by its own weight.
【００３２】図１４は、基板出入部３の一例を示す斜視
図である。図１４において基板出入部３は、平行軌道４
１，４１上を矢印ａ方向に往復移動可能な駆動部４２Ａ
と、駆動部４２Ａに対して矢印ｂ方向に上下動可能で、
かつ、矢印ｃ方向に旋回可能な駆動部４２Ｂと、この駆
動部４２Ｂに接続され矢印ｄ方向に出入可能な支持軸４
３と、この支持軸４３に支持部材４４を介して水平に配
設された固定アーム４５と、この固定アーム４５の両側
に矢印ｅ方向に回転可能な軸部材４７を介して支持部材
４４に配設された可動アーム４８，４８とを備えてい
る。アーム４５上には、吸引孔４６ａが中心に形成され
た保持部材（吸引パッド）４６が複数設けられており、
また、可動アーム４８，４８上には、それぞれ吸引孔４
９ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）４９が
複数設けられており、吸引孔４６ａ，４９ａは図示しな
い吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されてい
る。そして、上記の固定アーム４５の軸位置は、可動ア
ーム４８の軸位置よりも下方に設定されている。この固
定アーム４５の軸位置と可動アーム４８の軸位置、およ
び、固定アーム４５と可動アーム４８との間隔は、搬送
ケース１１内に収納されている基板Ｓのたわみの程度等
に応じて設定することができる。また、保持部材４６お
よび保持部材４９を上方向に付勢された出入自在な吸引
パッドとすることにより、たわみ量の異なる基板Ｓに対
しても対応可能となる。FIG. 14 is a perspective view showing an example of the substrate entrance 3. In FIG. 14, the substrate entrance 3 is a parallel orbit 4
Drive unit 42A capable of reciprocating on arrows 1 and 41 in the direction of arrow a
And can move up and down in the direction of arrow b with respect to the drive unit 42A,
And a drive unit 42B that can turn in the direction of arrow c, and a support shaft 4 that is connected to the drive unit 42B and that can move in and out in the direction of arrow d.
3, a fixed arm 45 horizontally disposed on the support shaft 43 via a support member 44, and a fixed arm 45 disposed on both sides of the fixed arm 45 via a shaft member 47 rotatable in the direction of arrow e. And movable arms 48, 48 provided. On the arm 45, a plurality of holding members (suction pads) 46 having suction holes 46a formed at the center are provided.
The suction holes 4 are provided on the movable arms 48 and 48, respectively.
A plurality of holding members (suction pads) 49 having a center 9a are provided, and the suction holes 46a, 49a are connected to a suction device (not shown) via a suction path (not shown). The axis position of the fixed arm 45 is set lower than the axis position of the movable arm 48. The axis position of the fixed arm 45 and the axis position of the movable arm 48, and the distance between the fixed arm 45 and the movable arm 48 are set according to the degree of deflection of the substrate S stored in the transfer case 11, and the like. be able to. In addition, since the holding members 46 and the holding members 49 are suction pads that are urged upward and that can be moved in and out, it is possible to cope with substrates S having different flexure amounts.
【００３３】上記の支持部材４４内部には軸部材４７を
軸支するための図示しない軸部材支持具が装着されてお
り、この軸部材支持具は、吸引孔４９ａにおける真空度
を検出するセンサに接続されており、可動アーム４８の
吸引部材４９による基板Ｓの吸引保持が行われて吸引孔
４９ａにおける真空度が上昇したことを上記センサが検
出すると、軸部材４７を固定するように構成されてい
る。A shaft member support (not shown) for supporting the shaft member 47 is mounted inside the support member 44. The shaft member support serves as a sensor for detecting the degree of vacuum in the suction hole 49a. When the sensor detects that the substrate S is suction-held by the suction member 49 of the movable arm 48 and the degree of vacuum in the suction hole 49a is increased, the shaft member 47 is fixed. I have.
【００３４】このような基板出入部３は、駆動部４２Ｂ
が上昇あるいは降下して所定の高さに停止するとともに
旋回して固定アーム４５、可動アーム４８，４８をケー
ス姿勢制御部２方向に向け、その後、支持軸４３が駆動
部４２Ｂからケース姿勢制御部２方向に押し出されるこ
とにより、図１５（Ａ）に示されるように、搬送ケース
１１内に収納されている基板Ｓのうち、取り出し対象と
する基板Ｓの下方近傍に固定アーム４５と可動アーム４
８，４８が挿入される。この状態では、固定アーム４５
および可動アーム４８，４８とも基板Ｓに接触しておら
ず、次いで、吸引孔４６ａ，４９ａからの吸引を行いな
がら駆動部４２Ｂを上昇させると、可動アーム４８，４
８が基板Ｓに当接し、軸部材４７を中心に基板Ｓのたわ
みに適合した角度に回転して保持部材４９による吸引保
持が行われる（図１５（Ｂ））。このような吸引部材４
９による吸引が行われて吸引孔４９ａにおける真空度の
上昇を上記センサが検出すると軸部材４７が固定され、
可動アーム４８，４８はその状態で維持される。上記の
可動アーム４８，４８による基板の吸引保持と同時に、
固定アーム４５の保持部材４６が基板Ｓに当接して吸引
保持が行われ、これにより、基板Ｓは自重によるたわみ
が生じた状態で固定アーム４５、可動アーム４８，４８
により吸引保持される。Such a board entrance / exit unit 3 is provided with a drive unit 42B
Rises or descends, stops at a predetermined height, and turns to turn the fixed arm 45 and the movable arms 48, 48 in the direction of the case attitude control unit 2; By being extruded in two directions, as shown in FIG. 15A, the fixed arm 45 and the movable arm 4 are located near the lower part of the substrate S to be taken out of the substrates S stored in the transfer case 11.
8, 48 are inserted. In this state, the fixed arm 45
Neither the movable arms 48, 48 are in contact with the substrate S. Then, when the drive unit 42B is raised while performing suction from the suction holes 46a, 49a, the movable arms 48, 4
8 comes into contact with the substrate S, and is rotated about the shaft member 47 at an angle adapted to the deflection of the substrate S, whereby the holding member 49 performs suction holding (FIG. 15B). Such a suction member 4
9, the shaft member 47 is fixed when the sensor detects an increase in the degree of vacuum in the suction hole 49a.
The movable arms 48, 48 are maintained in that state. At the same time as the suction holding of the substrate by the movable arms 48, 48,
The holding member 46 of the fixed arm 45 abuts on the substrate S to perform suction holding, whereby the substrate S is bent by its own weight, and the fixed arm 45 and the movable arms 48, 48
Is held by suction.
【００３５】次に、駆動部４２Ｂを若干上昇させた後、
支持軸４３を駆動部４２Ｂに引き込むことにより、基板
Ｓを自重によるたわみが生じた状態で吸引保持した固定
アーム４５、可動アーム４８，４８は搬送ケース１１か
ら引き出される。次いで、駆動部４２Ｂの旋回により固
定アーム４５、可動アーム４８，４８は基板搬送経路５
方向に向いた状態とされ、軌道４１上を駆動部４２Ａが
移動して、基板搬送経路５上に基板Ｓを載置して吸引保
持を解除し、元の位置に軌道４１上を移動して戻り、次
の基板Ｓの取り出しに移行する。Next, after slightly raising the drive section 42B,
By pulling the support shaft 43 into the driving section 42B, the fixed arm 45 and the movable arms 48, 48, which have suction-held the substrate S while being bent by its own weight, are pulled out of the transport case 11. Next, the fixed arm 45 and the movable arms 48 are moved by the rotation of the driving section 42B.
The driving unit 42A moves on the track 41, places the substrate S on the substrate transfer path 5, releases the suction holding, and moves on the track 41 to the original position. The process returns to take out the next substrate S.
【００３６】尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行
うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送
されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納する
ことができる。By carrying out the above-described operation of taking out the substrates S in reverse, the substrates S transported to the substrate entrance 3 on the substrate transport path 6 can be stored one by one in the transport case 11.
【００３７】上述のように、本発明では、ケース姿勢制
御部２において係止壁部１２がほぼ垂直で開口部１６が
横方向を向くように搬送ケース１１の姿勢を制御し、搬
送ケース１１内の基板Ｓを自重によるたわみで間隔が一
定となるようにした後、固定アーム４５と可動アーム４
８，４８により自重によるたわみがほぼ維持され状態で
基板Ｓを保持するので、搬送ケース１１内の基板Ｓの収
納間隔を小さく、例えば、１０ｍｍ程度としても、基板
出入部３が基板Ｓどうしを接触させることなく１枚づつ
確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納す
ることができる。As described above, in the present invention, the attitude of the transport case 11 is controlled by the case attitude control unit 2 so that the locking wall 12 is substantially vertical and the opening 16 is oriented in the horizontal direction. After the substrate S of the fixed arm 45 and the movable arm 4
Since the substrate S is held in a state in which the deflection due to its own weight is substantially maintained by 8, 48, even if the storage interval of the substrate S in the transfer case 11 is small, for example, about 10 mm, the substrate entrance / reception unit 3 makes contact between the substrates S. The sheets can be taken out of the transport case one by one or stored without fail.
【００３８】本発明で搬送の対象となる基板は、特に制
限はなく、ガラス基板、金属基板、樹脂基板等の平板状
の全ての基板が対象となる。The substrate to be conveyed in the present invention is not particularly limited, and includes all flat substrates such as a glass substrate, a metal substrate, and a resin substrate.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ケース姿勢制御部により傾き角度θが５〜２０°の範囲
内となるように搬送ケースを傾けることにより、搬送ケ
ース内の基板を搬送ケースの傾き方向に対応して同方向
に傾斜させることになり、各基板の間隔は一定となると
ともに、傾き角度θが５〜２０°の範囲内の角度である
ので、自重による基板のたわみは極めて少ないものとな
り、これにより基板出入部のアームが基板を垂直方向に
対して上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重
による基板のたわみは極めて少ないものとなり、したが
って、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、
基板どうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケ
ースから取り出したり、あるいは、収納することができ
る。As described in detail above, according to the present invention,
By tilting the transfer case so that the tilt angle θ is within the range of 5 to 20 ° by the case attitude control unit, the substrate in the transfer case is tilted in the same direction corresponding to the tilt direction of the transfer case. Since the distance between the substrates is constant and the inclination angle θ is an angle within the range of 5 to 20 °, the deflection of the substrate due to its own weight is extremely small. Even in a state where the substrate is held at an angle close to the angle θ with respect to the direction, the deflection of the substrate due to its own weight is extremely small, and therefore, even if the storage interval of the substrate in the transfer case is reduced,
The substrates can be reliably taken out of the transport case one by one or stored without contacting the substrates.
【００４０】また、本発明によれば、ケース姿勢制御部
により開口部が上面に位置するように搬送ケースを載置
することにより、搬送ケース内の基板は自重によるたわ
みがなく、基板間隔もほぼ一定となり、これにより、搬
送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板出入
部のアームが基板をほぼ垂直に保持して、基板どうしを
接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り
出したり、あるいは、収納することができる。According to the present invention, the transfer case is placed by the case attitude control unit such that the opening is positioned on the upper surface, so that the substrate in the transfer case does not bend due to its own weight, and the distance between the substrates is almost equal. Therefore, even if the storage interval of the substrates in the transport case is reduced, the arm at the substrate entrance / exit portion holds the substrates almost vertically, and the substrates can be securely transferred one by one without bringing the substrates into contact with each other. Can be taken out or stored.
【００４１】さらに、本発明によれば、ケース姿勢制御
部により搬送ケースをその係止壁部がほぼ垂直で開口部
が横方向を向く姿勢とすることにより、搬送ケース内の
基板は自重によるたわみを生じて、その間隔が一定とな
り、固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下
方にあるアームにより吸引保持された基板は、自重によ
る基板のたわみがほぼ維持され状態となり、これによ
り、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基
板どうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケー
スから取り出したり、あるいは、収納することができ
る。Further, according to the present invention, the board in the transfer case is flexed by its own weight by the case posture control unit by setting the transfer case to a position in which the locking wall is substantially vertical and the opening is oriented in the horizontal direction. Occurs, the interval becomes constant, the substrate held by the arm whose axis position of the fixed arm is lower than the axis position of the movable arm is in a state in which the deflection of the substrate due to its own weight is almost maintained, and Even if the storage interval of the substrates in the transfer case is reduced, the substrates can be reliably removed from the transfer case one by one or stored without contacting the substrates.
【００４２】上述のように、本発明では基板の間隔を小
さくても、基板どうしの接触を生じることなく搬送ケー
スからの基板取り出しや搬送ケースへの基板収納を確実
に行うことができ、基板の大型化やたわみ量の大きな基
板に対しても搬送ケース内の基板の収納間隔を小さく設
定することができ、これにより、同一収納枚数の場合に
は搬送ケースの小型化が可能となり、また、同一寸法の
搬送ケースの場合には搬送効率の向上が可能となる。As described above, according to the present invention, even when the distance between the substrates is small, the substrates can be taken out of the transfer case and stored in the transfer case without causing contact between the substrates. Even if the substrate is large or has a large amount of deflection, the storage interval of the substrates in the transfer case can be set to be small, thereby making it possible to reduce the size of the transfer case when the number of stored sheets is the same. In the case of a transport case having dimensions, the transport efficiency can be improved.
【図１】本発明の基板搬送システムの一実施形態を示す
概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of a substrate transfer system of the present invention.
【図２】本発明において使用できる搬送ケースの一例を
示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a transport case that can be used in the present invention.
【図３】図２に示される搬送ケースの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the transport case shown in FIG. 2;
【図４】第１の実施形態における搬送ケースの姿勢制御
を説明するための図面である。FIG. 4 is a drawing for explaining attitude control of a transport case in the first embodiment.
【図５】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケー
ス内の基板の状態を示す部分拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view showing a state of a substrate in a transfer case whose posture is controlled by a case posture control unit.
【図６】基板出入部の一例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a substrate access portion.
【図７】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケー
ス内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。FIG. 7 is a partially enlarged view showing a state of holding a substrate in a transfer case whose posture is controlled by a case posture control unit.
【図８】基板出入部のアームに保持された基板の状態を
説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a state of a substrate held by an arm at a substrate entrance.
【図９】第２の実施形態においてケース姿勢制御部で姿
勢を制御された搬送ケースの状態を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a state of a transport case in which a posture is controlled by a case posture controller in a second embodiment.
【図１０】基板出入部の一例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an example of a board entrance / exit portion.
【図１１】基板出入部のアームの動作を説明するための
図である。FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of the arm of the board entrance / exit section.
【図１２】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケ
ース内における基板保持の状態を示す部分拡大図であ
る。FIG. 12 is a partially enlarged view showing a state of holding a substrate in a transfer case whose posture is controlled by a case posture control unit.
【図１３】第３の実施形態においてケース姿勢制御部で
姿勢を制御された搬送ケースの状態を示す部分拡大図で
ある。FIG. 13 is a partially enlarged view showing a state of the transport case in which the posture is controlled by the case posture controller in the third embodiment.
【図１４】基板出入部の一例を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view illustrating an example of a substrate access portion.
【図１５】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケ
ース内における基板保持の状態を示す部分拡大図であ
る。FIG. 15 is a partially enlarged view showing a state of holding a substrate in a transfer case whose posture is controlled by a case posture control unit.
１…基板搬送システム ２…ケース姿勢制御部 ３…基板出入部 １１…搬送ケース １２…係止壁部 １２ｂ…溝部（基板係止部） ２５，３５…アーム ４５…固定アーム ４８…可動アーム ２６，３６，４６，４９…保持部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate conveyance system 2 ... Case attitude control part 3 ... Substrate in / out part 11 ... Transport case 12 ... Locking wall part 12b ... Groove part (substrate locking part) 25, 35 ... Arm 45 ... Fixed arm 48 ... Movable arm 26, 36, 46, 49 ... holding member
Claims (4)
るとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の
係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケース
であって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の
基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納して
いる搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該
搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システム
において、 係止壁部の基板並列方向が水平面に対して５〜２０°の
範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース
姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームで
あって基板を垂直方向に対して前記角度θに近い角度で
保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部からほ
ぼ水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、
を備えることを特徴とする基板搬送システム。1. A transfer case having a rectangular parallelepiped storage space having an opening and having a plurality of substrate locking portions on the inner surface of a pair of opposite locking walls that define the storage space. And removing one substrate at a time from a transfer case in which a plurality of substrates are stored in parallel such that one substrate is stored between a pair of opposed substrate locking portions. A substrate transport system that stores substrates one by one, a case attitude control unit that tilts the transport case so that the substrate parallel direction of the locking wall forms an angle θ within a range of 5 to 20 ° with respect to a horizontal plane, An arm provided with a holding member for holding the substrate, the arm being capable of entering and exiting from the opening substantially horizontally in the transfer case in the posture in a state where the substrate is held at an angle close to the angle θ with respect to the vertical direction. A substrate access portion having
A substrate transport system comprising:
るとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の
係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケース
であって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の
基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納して
いる搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該
搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システム
において、 開口部が上面に位置するように搬送ケースを載置するケ
ースケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備え
たアームであって基板をほぼ垂直に保持した状態で前記
姿勢の搬送ケース内に開口部からほぼ垂直方向に出入自
在なアームを有する基板出入部と、を有することを特徴
とする基板搬送システム。2. A transfer case having a rectangular parallelepiped storage space having an opening and having a plurality of substrate locking portions on the inner surface of a pair of opposite locking walls defining the storage space. And removing one substrate at a time from a transfer case in which a plurality of substrates are stored in parallel such that one substrate is stored between a pair of opposed substrate locking portions. A substrate transport system that stores substrates one by one, comprising: a case case attitude control unit that places a transport case such that an opening is positioned on an upper surface; and an arm that includes a holding member for holding a substrate. A substrate transfer system, comprising: a substrate access port having an arm that can enter and exit from the opening in a substantially vertical direction in the transfer case in the attitude while being held substantially vertically.
るとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の
係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケース
であって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の
基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納して
いる搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該
搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システム
において、 係止壁部がほぼ垂直で開口部が横方向を向くように搬送
ケースを載置するケースケース姿勢制御部と、基板保持
用の保持部材を備えたアームであって基板をほぼ水平に
保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部からほ
ぼ水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、
を有し、前記アームは、固定アームと、該固定アームの
両側に軸方向を平行にして配設され軸方向を中心に回転
可能な複数の可動アームとからなり、固定アームの軸位
置は可動アームの軸位置よりも下方に位置することを特
徴とする基板搬送システム。3. A transfer case having a rectangular parallelepiped storage space having an opening and having a plurality of substrate locking portions on the inner surface of a pair of opposed locking walls defining the storage space. And removing one substrate at a time from a transfer case in which a plurality of substrates are stored in parallel such that one substrate is stored between a pair of opposed substrate locking portions. In a substrate transfer system for storing substrates one by one, a case case attitude control unit that mounts a transfer case so that a locking wall is substantially vertical and an opening is oriented in a horizontal direction, and a holding member for holding a substrate. A substrate access port having an arm that is provided and has an arm that can enter and exit in a substantially horizontal direction from an opening in the transfer case in the posture while holding the substrate substantially horizontally;
The arm comprises a fixed arm, and a plurality of movable arms disposed on both sides of the fixed arm with their axial directions parallel to each other and rotatable around the axial direction, and the fixed arm has a movable axial position. A substrate transport system, wherein the substrate transport system is located below an axial position of an arm.
に付勢された出入自在な保持部材であることを特徴とす
る請求項３に記載の基板搬送システム。4. The substrate transport system according to claim 3, wherein the holding member provided in the arm is an upwardly urged holding member that can move in and out.
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|---|---|---|---|
| JP17109297A JP4087925B2 (en) | 1997-06-12 | 1997-06-12 | Substrate transfer system |
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| JPH115627A true JPH115627A (en) | 1999-01-12 |
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1997
- 1997-06-12 JP JP17109297A patent/JP4087925B2/en not_active Expired - Fee Related
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