JPH1151576A - トラップ装置 - Google Patents

トラップ装置

Info

Publication number
JPH1151576A
JPH1151576A JP21096297A JP21096297A JPH1151576A JP H1151576 A JPH1151576 A JP H1151576A JP 21096297 A JP21096297 A JP 21096297A JP 21096297 A JP21096297 A JP 21096297A JP H1151576 A JPH1151576 A JP H1151576A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
particles
cooling
main body
turning space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP21096297A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Nakamu
栄治 中務
Masao Takeda
正夫 武田
Ippei Yamauchi
一平 山内
Ryunosuke Yamada
龍之介 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Mectem Inc
Original Assignee
Shimadzu Mectem Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Mectem Inc filed Critical Shimadzu Mectem Inc
Priority to JP21096297A priority Critical patent/JPH1151576A/ja
Publication of JPH1151576A publication Critical patent/JPH1151576A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 トラップ効率を向上させガス中の粒子をより
確実に捕捉することができるトラップ装置を提供する。 【解決手段】 本体1内のガスの流路に臨んで旋回空間
Sを設け、ガスを順次冷却板3にて冷却するのに加え、
さらに粒子の一部を旋回空間Sに導入しガス中の粒子を
捕捉するようにしているので、トラップ効率を従来と比
べて確実に向上させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、純化炉を始め、焼
成炉、真空焼結炉など各種の炉から放出されるガス中の
凝縮、昇華物等の捕捉装置として好適に利用されるトラ
ップ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、金属及びセラミック等の各種焼
結材料は、周知のように、原料粉末を目的形状に成形し
た後高温で焼結して製造される。しかして、まず原料粉
末から粉末成形品を造る段階では、粉末粒子の成形性を
確保する必要等から種々のバインダが加えられる。反
面、焼結工程においてはこのバインダが焼結品に種々の
悪影響を及ぼす有害物質として作用することになるた
め、粉末成型品を焼結するに当たっては、その前処理と
して成型品中に含まれるバインダを除去しておかなけれ
ばならない。そこで、この種の焼結炉では、そのバイン
ダ除去工程時に成形品から発生するバインダの蒸気を含
むガスからバインダを回収する為にトラップ装置を付帯
している。
【0003】このトラップ装置は、排気ラインに介在さ
れて、バインダを含んだ流通ガスの中からバインダを凝
縮、昇華させて分離し、真空ポンプ側への排気ライン中
にバインダが混入するのを防止する役目を果たす。従
来、この種のトラップ装置は、バインダを含んだガスを
流通させる本体内に複数の冷却面を配設し、各冷却面に
バインダを捕捉させるように構成しているのが一般的で
ある。
【0004】具体的に説明すると、従来のトラップ装置
は、図10〜図11に示すように、本体1内にガス中の
バインダを凝縮又は昇華し得る温度に保つ冷却パイプ2
を配設し、前記冷却パイプ2にて冷却される冷却板30
3を複数枚配設し、前記冷却板303と本体1の内周1
cとの間にノズル部304を設けてなるものである。そ
して、トラップ装置内にガスを導入し本体1内のノズル
部304を順次通過させてガスを冷却しガス中のバイン
ダを捕捉するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のトラップ装置においても、凝縮しにくいバイ
ンダや、成型品から発生する不純物の蒸気が含まれる場
合には、昇華した細かなダストがガス中に残留したまま
下流の真空ポンプ側に流れ込むことが往々にしてあっ
た。そして、これらのガス中に残留したダストが配管内
のバルブの開閉を阻害したり、真空ポンプ内に吸引され
そのオイルに混入してポンプ性能を劣化あるいは作動不
能に至らしめる等の不具合を生じていた。さらに、ダス
トを含んだガスが大気に放出されることにより大気が汚
染されるなど、一層深刻な事態に発展する危険性も伴う
ものであった。
【0006】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、凝縮物や昇華物を含むガス中からよ
り効率良く粒子を捕捉し得るようにしたトラップ装置を
提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成のトラップ装置を採用
したものである。すなわち、本発明のトラップ装置は、
ガス中の成分を冷却により凝縮又は昇華し得る温度に保
たれる複数の冷却面を有する本体と、前記本体の冷却面
に設けられ粒子を含んだガスを順次通過させるノズル部
とを具備してなり、ガスを冷却しつつガス中の粒子を捕
捉するトラップ装置において、前記ノズル部の流れに並
向して開口する旋回空間を設け、ノズル部においてガス
の主流の方向を換えると共に前記旋回空間内に粒子の一
部を導入するようにしたことを特徴とする。
【0008】このような構成のものであると、ガス中の
成分は、本体内を流通する際、ノズル部を通過する時に
断熱膨脹によって自冷し、或いは冷却面に衝突すること
により冷却されて、凝縮又は昇華しミスト又はダスト状
の粒子になり、一部は冷却面に捕捉される。一方、ガス
中の粒子の一部は、ノズル部を通過する際に主流の方向
が換わるため慣性力を受けて主流から分流し、前記旋回
空間に導かれ、該空間内を旋回する。この旋回中に、ガ
ス中に含まれる粒子は、ガス中の他の気体分子に比べて
分子量が大きいため遠心力により外側に飛ばされ、かつ
旋回中に粒同士が集合することにより成長して、重力に
より下方に落下して捕捉される。
【0009】このように、ガスを順次冷却面にて冷却す
るのに加え、ノズル部においてガスの主流の方向を換
え、粒子の一部を旋回空間に引き込み粒子の効果的な捕
捉を行っているので、従来に比べてトラップ効率を確実
に向上させることが可能となる。
【実施例】以下、本発明の一実施例について図1〜図4
を参照して説明する。なお、従来例と同様の構造を有す
る部分には、図10〜図11と同様の符号を付すもので
ある。また、本実施例では、ガス中に含まれる不純物で
ある粒子が凝縮性のみでなく昇華性を有する場合につい
て説明する。
【0010】このトラップ装置は、焼結炉と外部の真空
ポンプを接続する排気ラインに介在され、ガスの中から
凝縮分や昇華分を分離し、真空ポンプへこれら粒子が流
入するのを防止するものである。すなわち、このトラッ
プ装置は、図1及び図2に示すように、一端1aを焼結
炉の排気口に接続され、他端1bを真空ポンプに接続さ
れる円筒状の本体1と、前記本体1内に長手方向に沿っ
て挿入された冷却パイプ2と、前記冷却パイプ2に支持
された冷却面である複数の冷却板3とを具備してなる。
【0011】冷却パイプ2は、内部に冷却水を流通する
ことにより冷却板3を冷却するものである。冷却板3
は、図2及び図3に示すように、本体1の軸方向に等間
隔で交互に配置された略円盤状の金属製の薄板からなる
もので、一端部に本体1内に取着した際に仕切板5との
間に略長方形の開口部を持つノズル部4を形成する。仕
切板5は、前記冷却板3の一端部と対向する他端部に本
体1の長手方向に沿って表裏両面から突設されているも
のである。この冷却板3は、図4に示すように、隣設す
る冷却板3のノズル部4同士が交互に左右対称に開口す
るように配設され、本体1内に導入されたガスを順次流
通させ、またその方向を換えるように構成されている。
また、前記ノズル部4に対向させて開口部6を配置して
前記本体1の内周1cと仕切板5に包囲される位置に旋
回空間Sを設け、この旋回空間S内に粒子の一部を導入
して旋回させるようにしている。
【0012】このような構成のものであると、図4に示
すように、ガスは、本体1内を順次通過し、ノズル部4
を通過する時に断熱膨脹により自冷するとともに、冷却
板3に衝突することにより冷却されて粒子の一部は凝固
して冷却板3に固着する。一方、ガス中の粒子は、ノズ
ル部4を通過する時にガスの主流の方向が換わるため慣
性力を受けて主流から分流し、旋回空間Sに導かれる。
そして、該旋回空間S内のガスは主流の影響を受けて旋
回する。この旋回中に、ガス中に含まれる粒子は、ガス
中の他の気体分子に比べて分子量が大きいため遠心力に
より外側に飛ばされて分離されるとともに、粒同士が集
合して成長することにより重力で落下し、旋回空間Sの
下方に捕捉される。
【0013】このように、ガスの主流を冷却板3により
冷却して捕捉するのに加え、さらに粒子を旋回空間Sに
引き込み旋回させることにより粒子の有効な捕捉を行っ
ているので、従来と比べてトラップ効率を確実に向上さ
せることが可能になる。例えば、各段のノズル部4にお
いて捕捉されず通過する粒子の割合が60%であるとし
ても、ノズル部4を本体1内に9ヶ所設置すれば、全て
のノズル部4を通過する粒子の割合は(0.6)の9
乗、すなわち高々1%程度にまで低減することができ
る。
【0014】そして、冷却板3及び仕切板5は、冷却パ
イプ2とともに本体1から容易に抜き取ることができる
ので、冷却板3や本体1の内周1cに固着した粒子も容
易に除去することが可能となる。なお、上述した実施例
では、凝縮性又は昇華性を有する粒子の捕捉について説
明をおこなったが、捕捉される粒子の3相状態が明確な
場合には、本体1を適切な温度に加熱することにより、
粒子を液相の状態でタンクに回収することもできる。こ
の場合には、図2及び図3に示すように、冷却板3の下
端に切り欠き7を設けておき、本体1をタンクに傾斜さ
せて配設することにより、前記切り欠き7を介して粒子
を液相状態でタンクに回収することができる。
【0015】一方、ガスの成分が主に昇華性を有するも
のである場合には、本体1を外部から冷却することによ
り昇華が進みトラップ効率を向上させることができる。
また、各部の具体的な構成は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、例えば、以下のような変形例が挙げ
られる。まず、第1変形例について図5及び図6を参照
して説明する。
【0016】このものは、図5に示すように、上記実施
例とほぼ同様の構造を有し、上記実施例と同様に、本体
1内に導入されたガスを順次流通させ得るように構成し
たものであるが、冷却板、仕切り板の構造を異にするも
のである。なお、上記実施例と同様の構造を有する部分
には、同様の符号を付し具体的な説明を省略するもので
ある。
【0017】この冷却板103は、図6に示すように、
上述した実施例の冷却板3においてノズル部104を略
半円環状とし、仕切板105に開口部106を設けると
ともに仕切板105を下方まで延長して旋回空間Sの下
方によどみ部107を設けたものである。このような構
成のものであると、よどみ部107においてはガスの旋
回速度が遅くなり、昇華物を多く含むガスに対してより
確実なトラップ効率の向上が計られる。
【0018】次に、第2変形例について図7〜図9を参
照して説明する。なお、上記実施例と同様の構造を有す
る部分には、同様の符号を付し具体的な説明を省略する
ものである。このトラップ装置は、図7に示すように、
円筒状の本体1内に冷却パイプ2を配設し、前記冷却パ
イプ2に2種類の冷却板203A、203Bを交互に配
置して、上記実施例と同様に、本体1内に導入されたガ
スを順次流通させ得るように構成したものであり、上記
実施例とは冷却板、仕切り板の構造を異にするものであ
る。
【0019】詳述すると、冷却板203Aは、図8に示
すように、円盤状の薄板の下端部に略半円環状の切り欠
きを設けて、その切り欠きに本体1の長手方向に伸びる
半円筒状の仕切り板205を添接しているものであり、
前記略半円環状の切り欠きの左右端部をさらに内方に切
り欠いてノズル部204Aを形成している。仕切板20
5は、前記ノズル部204Aの対向箇所に開口部206
を有し、本体1の内周1cと仕切板205に包囲され前
記開口部206を介してノズル部204Aに連通する旋
回空間Sを形成するとともに、その下方によどみ部20
7を形成している。
【0020】冷却板203Bは、図9に示すように、円
盤状の薄板の上端部に切り欠きを設けノズル部204B
を形成してなるものである。このような構成のものであ
ると、図7に示すように、粒子を含んだガスの主流は、
本体1内を並列な流れを作って流通する際に冷却板20
3A、203Bにより自冷して凝縮又は昇華し、或いは
それらの冷却板203A、203Bに衝突して捕捉され
る。一方、粒子の一部は、ノズル部204Aを通過する
時に慣性力を受けて主流から分流し、前記開口部206
から旋回空間Sに導かれ、該空間S内を旋回する。この
旋回中に、ガス中に含まれる粒子は、ガス中の他の気体
分子に比べて分子量が大きいため遠心力により飛ばされ
て分離され、かつ旋回中に凝集して、粒径が大きくなり
重力により下方のよどみ部207に落下し捕捉される。
【0021】なお、これら第1、第2変形例においても
上記実施例と同様の効果が得られるとともに、適用され
る粒子等にも種々の変形が可能であることは言うまでも
ない。例えば、このトラップ装置は、高温ガス中の粉塵
を除去するための集塵装置としても適用できる。また、
昇華性のガスに凝縮性のパラフィン蒸気やミストを混入
し、トラップ装置内で共に捕捉し、ダストをミストの液
相に載せてタンクに捕捉するようにしてもよい。
【0022】さらに、前記のようなノズル部4、10
4、204A、204Bは、ガスを笛の音波のように振
動させることにより粒子を凝集させる効果も期待でき、
また、前記のようなノズル部4、104、204A、2
04Bは、ガスを通過する際に粒子を帯電させて静電気
により粒子を凝集させる効果も期待できるものとなる。
また、冷却板3、103、203A、203Bと本体1
の対向面間に積極的に電圧を加え、粒子をそれらの対向
面の一方に静電吸着させるようにしてもよい。
【0023】その他、本体1や冷却板3を角形で構成す
る等、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能
である。
【0024】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され以下に記載されるような効果を奏する。すなわ
ち、本発明のトラップ装置は、ガスの主流をノズル部に
おいて自冷、或いは冷却面において冷却して粒子を捕捉
するのに加えて、粒子の一部を旋回空間に引き込み旋回
させることにより効果的な粒子の捕捉を行っているの
で、従来に比べてトラップ効率を確実に向上させること
が可能となり、粒子が混入したガスが真空ポンプや外部
に流出することを防止し、これにより真空ポンプを劣化
あるいは作動不能に至らしめる等の不具合や、大気汚染
等の問題を有効に解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す模式的な縦断面図。
【図2】同図1におけるA−A線拡大断面図。
【図3】同冷却板を示す図。
【図4】同作用説明図。
【図5】本発明の第1変形例を示す模式的な縦断面図。
【図6】同図5におけるB−B線拡大断面図。
【図7】本発明の第2変形例を示す模式的な縦断面図。
【図8】図7におけるC−C線拡大断面図。
【図9】同図7におけるD−D線拡大断面図。
【図10】従来例を示す模式的な縦断面図。
【図11】同図10におけるE−E線拡大断面図。
【符号の説明】
1…本体 3、103、203A、203B…冷却面(冷却板) 4、104、204A、204B…ノズル部 S…旋回空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 龍之介 滋賀県大津市月輪一丁目8番1号 島津メ クテム株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガス中の成分を冷却により凝縮又は昇華し
    得る温度に保たれる複数の冷却面を有する本体と、前記
    本体の冷却面に設けられ粒子を含んだガスを順次通過さ
    せるノズル部とを具備してなり、ガスを冷却しつつガス
    中の粒子を捕捉するトラップ装置において、 前記ノズル部の流れに並向して開口する旋回空間を設
    け、ノズル部においてガスの主流の方向を換えると共に
    前記旋回空間内に粒子の一部を導入するようにしたこと
    を特徴とするトラップ装置。
JP21096297A 1997-08-05 1997-08-05 トラップ装置 Withdrawn JPH1151576A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21096297A JPH1151576A (ja) 1997-08-05 1997-08-05 トラップ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21096297A JPH1151576A (ja) 1997-08-05 1997-08-05 トラップ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1151576A true JPH1151576A (ja) 1999-02-26

Family

ID=16598004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21096297A Withdrawn JPH1151576A (ja) 1997-08-05 1997-08-05 トラップ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1151576A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007318100A (ja) * 2006-04-24 2007-12-06 Mitsubishi Cable Ind Ltd 排気装置
CN103080840A (zh) * 2010-06-25 2013-05-01 Asml荷兰有限公司 光刻设备和方法
CN103550949A (zh) * 2013-11-21 2014-02-05 智慧城市***服务(中国)有限公司 除尘除雾装置
JP2021038893A (ja) * 2019-09-04 2021-03-11 島津産機システムズ株式会社 熱処理炉

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007318100A (ja) * 2006-04-24 2007-12-06 Mitsubishi Cable Ind Ltd 排気装置
US8915775B2 (en) 2006-04-24 2014-12-23 Mitsubishi Cable Industries, Ltd. Exhaust system
CN103080840A (zh) * 2010-06-25 2013-05-01 Asml荷兰有限公司 光刻设备和方法
JP2013534727A (ja) * 2010-06-25 2013-09-05 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. リソグラフィ装置およびリソグラフィ方法
US9395630B2 (en) 2010-06-25 2016-07-19 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and method
US9482960B2 (en) 2010-06-25 2016-11-01 Asml Netherlands B.V. Pellicle for reticle and multilayer mirror
US9989844B2 (en) 2010-06-25 2018-06-05 Asml Netherlands B.V. Pellicle for reticle and multilayer mirror
US10481510B2 (en) 2010-06-25 2019-11-19 Asml Netherlands B.V. Graphene spectral purity filter
CN103550949A (zh) * 2013-11-21 2014-02-05 智慧城市***服务(中国)有限公司 除尘除雾装置
JP2021038893A (ja) * 2019-09-04 2021-03-11 島津産機システムズ株式会社 熱処理炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3064411A (en) Separator
JP2995266B2 (ja) 蒸気状の重金属化合物を担持ガスから分離する方法およびこの方法を実施するための装置
US9375667B2 (en) Apparatus and method for treating exhaust gas
SU1103784A3 (ru) Способ селективной очистки гор чего газа
JPH0592115A (ja) 固形材料担持ガス流から固形材料粒子を分離する装置
US3692287A (en) Method and apparatus for removing alkali from cement system
JPH1151576A (ja) トラップ装置
JP2002282639A (ja) 煙霧流れからの揮発性成分、特に塩化物及び/又は硫酸塩の除去方法及び装置
CN108636044A (zh) 除尘设备及除尘***
JP3172131B2 (ja) セメント焼成装置からの有害物質の除去方法及び装置
JPS62193621A (ja) 汚損ガスを浄化する方法及びその装置
US3883324A (en) Method and apparatus for agglomerating dry dust particles in a gas stream and separation
CN208465514U (zh) 一种含尘气体的净化装置
EP0659462A1 (en) A system for hot dedusting flue gas from incinerators and thermal stations
KR200178881Y1 (ko) 폐가스 처리 장치
KR920702254A (ko) 폐가스의 청정방법 및 그 장치
JPH04506626A (ja) 湿式ブラスター/湿式洗浄機
RU2746617C2 (ru) Печная установка и способ обработки печного газа
JPH07194916A (ja) 重金属及び重金属含有化合物の除去方法及び装置
JPS6340567B2 (ja)
CA2791007C (en) Apparatus and method for treating exhaust gas
JP2003500631A (ja) 溶解炉内ガス流の冷却方法
CN108465330A (zh) 一种含尘气体的净化装置及方法
JP3768765B2 (ja) 排ガス処理装置
SU1611403A1 (ru) Способ обогащени графитосодержащей пыли

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20041005