JPH1151569A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JPH1151569A JPH1151569A JP21807697A JP21807697A JPH1151569A JP H1151569 A JPH1151569 A JP H1151569A JP 21807697 A JP21807697 A JP 21807697A JP 21807697 A JP21807697 A JP 21807697A JP H1151569 A JPH1151569 A JP H1151569A
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Abstract
る。 【解決手段】 熱処理装置は、熱処理室1を形成する本
体部にワークWが入出する内部入口11及び出口12を
介して予熱ゾーン6及び徐冷ゾーン7を接続させ、熱処
理室に外気を導入する送風機8、ワークを搬入/搬出す
る外部入口/出口61/71、排気口62、72等を設
ける。ワークWは、横移動及び昇降動作によって搬送さ
れ、1タクト毎に出入りして熱処理される。 【効果】 送風機8によって供給され熱処理室1内を通
過して加熱された外気が予熱/徐冷ゾーン6/7に入れ
られ、この空気流れと対向するように送られるワークを
良好に予熱及び徐冷する。別の熱源や送風機等が不要に
なり、熱処理設備が簡単になり、全体的な熱処理費用が
低減する。
Description
を導入できる導入口を備え前記熱処理室内で加熱された
空気を循環させると共に一定の時間間隔で前記熱処理室
の入口から物品を入れて内部で複数の物品を熱処理しつ
つ前記一定の時間間隔で前記熱処理室の出口から物品を
出すように構成された熱処理装置に関し、特に液晶基板
等の熱処理を行う枚葉式熱処理装置に好都合に利用され
る。
のように1分間に100°C程度以上の急激な温度変化
があると割れるおそれのあるワークの場合には、熱処理
の前後に予熱や徐冷を行うのが通常である。ところが、
枚葉式熱処理装置は、通常、熱処理室を含む本体部分と
液晶基板等のワークを搬入/搬出する部分とで一体的に
形成されていて、ワークを予熱又は徐冷する部分を備え
ていない(例えば特開平6−317514号公報、8−
110166号公報参照)。そして、このような工程を
別の設備に依存している。しかしながら、予熱や徐冷を
別の装置で行うと、そのための熱源が別個に必要になる
と共に、熱処理設備が全体として複雑な構成になる。
処理室内に面状赤外線放射ヒータを設けると共に、搬入
路及び搬出路にそれぞれ遠赤外線面状ヒータ及び水冷さ
れる遠赤外線吸収材を設け、その部分に予熱及び徐冷効
果を持たせようにした装置が提案されている(特開平7
ー159768号公報参照)。
ける上記問題を解決し、熱処理設備の全体的構成を簡素
化できる加熱空気循環式の熱処理装置を提供することを
課題とする。
するために、請求項1の発明は、熱処理室内で加熱され
た空気を循環させると共に一定の時間間隔で前記熱処理
室の入口から物品を入れて内部で複数の物品を熱処理し
つつ前記一定の時間間隔で前記熱処理室の出口から物品
を出すように構成された熱処理装置において、前記入口
又は前記出口のうちの少なくとも何れかに導通する補助
処理室であって外部に導通した物品通過用の外側開口と
前記一定の時間間隔で前記物品を搬送できる搬送部と内
部の空気を排出できる排気口とを備えた補助処理室と、
前記内部の空気を前記排気口から排出可能にする排気手
段と、を有することを特徴とする。
助処理室は前記入口に導通する予熱室と前記出口に導通
する徐冷室とから成り、前記排気手段は前記熱処理室内
に外気を導入できる導入口と該導入口を介して前記熱処
理室内に外気を供給する外気導入用送風機とを有するこ
とを特徴とする。
に加えて、前記排気手段は前記熱処理室内に外気を導入
できる導入口と前記排気口の空気を排出する排気送風機
とを有し、該排気送風機の出口と前記導入口とを接続す
る接続部と、該接続部に設けられ該接続部を流れる空気
を前記熱処理室内部の温度に近い温度に加熱する加熱手
段と、を有することを特徴とする。
に加えて、前記補助処理室に設けられた給気口と、該給
気口に外気を送る給気送風機と該外気を加熱する加熱手
段と、を有することを特徴とする。
装置の構成例を模擬的に簡略化して示した図である。熱
処理装置は、通常の構成として、熱処理室1、その上部
に形成された空調室2、その中に配設された加熱器3、
送風機4及びその駆動モータ4a、空調室2及び送風機
4を介して熱処理室1内に外気を導入できる導入口とし
ての給気口5等を備えている。そして、後述するよう
に、加熱器3で加熱された空気を熱処理室1内に送って
循環させると共に、一定の時間間隔で熱処理室1の入口
である内部入口11から物品としてのガラス基板等のワ
ークWを入れて内部で複数のワークWを熱処理しつつ同
じ一定の時間間隔で熱処理室1の出口である内部出口1
2からワークWを出すように構成されている。
口11又は内部出口12のうちの少なくとも何れかに導
通する補助処理室として、本例では熱処理1の内部入口
11に導通する予熱ゾーン6及び内部出口12に導通す
る徐冷ゾーン7の両方を備えている。なお、熱処理装置
で処理するワークの種類等によっては、何れか一方のゾ
ーンのみを設けるようにしてもよい。
ク通過用の外側開口としての外部入口61及び外部出口
71、内部の空気を排出できる排気口62及び72、内
部の空気を排気口62及び72から排出可能にする排気
手段として本例では熱処理室上部に設けられた前記給気
口5及び外気導入ファン8、等を有する。排気口62、
72には、通常排気ダクト62a、72aが接続され
る。
ると、予熱及び徐冷のために必要な空気量を容易且つ正
確に供給することができるが、ファン8を省略し、給気
口5を適当な大きさにすると共に、送風機4を必要な循
環空気に加えて予熱及び徐冷のために必要な空気を送り
出せる容量として計画することも可能である。予熱ゾー
ン6及び徐冷ゾーン7の下部には、図1では示していな
いが後述するように、ワークを支持して一定の時間間隔
で搬送できる搬送部としての横移動装置60及び70
(図7(a))が設けられる。又、熱処理室1に対して
も、後述するようにワークの室内への搬入、上昇、移
載、下降及び搬出のための諸機構が設けられる。
示す。空気循環系は、空気流れの順に配設された前記送
風機4、入口ダクト13、高性能フィルタ14、多孔板
15で仕切られた戻りダクト16、前記加熱器3等で構
成され、ワークWに対して熱交換性能のよい水平層流と
して熱風を供給することができる。符号9は排気口で、
必要に応じて設けられる。
から熱処理室1に入れて熱処理した後徐冷ゾーン7に取
り出すまでのワーク搬送のための諸装置の構造例を示
す。このような装置としては、熱処理室1内でワークを
上昇させる上昇装置20、下降させる下降装置30、並
びにワークの搬入、搬出及び移載のための移動装置40
が設けられている。
進退及び矢印Zで示す上下方向への昇降をそれぞれ同時
に行う4本の軸21、ワークWを支持するためにこれら
に等間隔に設けられた基板受け21a、軸21とは異な
ったタイミングでそれぞれが同時に進退及び昇降する軸
22、これらの基板受け22a、ボールネジやエアシリ
ンダ等の組合せから成り所定のタイミングで軸21、2
2をX及びZの2方向に二次元動作を行わせる駆動部2
3等によって構成されている。図5では図示していない
が下降装置30も上昇装置20と同様の構成であり、そ
れぞれ4本の軸31、32、これらの基板受け31a、
32a、軸31、32の駆動部33等で構成されてい
る。又、昇降装置20及び30の底部には、固定基板受
け24及び34が設けられている。
板受け64a〜64c及び74a〜74cが設けられ
(図7(a))、移動装置40は、熱処理室1側の固定
基板受け64c上のワークW0 を上昇装置20の底部の
固定基板24上に移載すると同時に下降装置30の底部
の固定基板34上のワークWnを同じく熱処理室1側の
固定基板受け74a上に移載するための内側ビーム41
及びその上に形成された支持ピン41a、41b、上昇
装置20の最上段基板受け21a−n上のワークWnを
下昇装置30の最上段基板31a−n上に移載するため
の外側ビーム42及びその上に立設された軸43並びに
それからX方向に延設された基板受け43a、ビーム4
1、42を昇降させる昇降用エアシリンダ44、同ビー
ムをワーク搬送方向であるY方向に往復動させる移動用
エアシリンダ45、等によって構成されている。
の移動装置40と同様の装置が設けられる。即ち、図7
(a)に概略構成を示す如く、前記固定基板受け64a
〜64c及び74a〜74c、横移動装置40の内側ビ
ーム41に相当するビーム65、75及びその上に形成
された支持ピン65a、75a等を備えた前記横移動装
置60、70が設けられる。横移動装置60及び70は
移動装置40と同様の構造であり、これらにも上昇用及
び横移動用の駆動シリンダが設けられるが図では省略し
ている。なお、横移動装置60及び70は移動装置40
の内側ビーム41の延長されたものであってもよい。
又、ローラコンベア等の他の搬送装置も使用可能であ
る。
する。熱処理室1内では、加熱器3及び送風機4が運転
されると共に、外気導入ファン8が運転され、加熱器3
を通過した熱風と常温の外気とが送風機4で混合されて
吹き出される。なお、図示していないが熱処理室内には
適当な位置に温度センサが設けられ、内部を循環する空
気は例えば250°C程度の温度になるように加熱器3
の出力が制御されている。このように外気を導入しつつ
空気を循環させると、熱処理室1の内部では導入した空
気が余分となり、内圧によってワークの通路でもある内
部入口11及び内部出口12からそれぞれ予熱ゾーン6
及び徐冷ゾーン7内に流れ、それぞれのゾーンの排気口
62及び72から排出される。これらのゾーンでは、後
述するようにワークが予熱及び徐冷される。
運転されそれぞれの部分にワークが積載され、熱処理装
置が定常運転状態にあってワークを熱処理しているとき
の1段階を仮に初期状態として模擬的に示している。こ
の状態では、予熱ゾーン6内の基板受け64a乃至64
c、熱処理室1の上昇装置20内の全ての基板受け21
a−1〜n、下降装置30の基板受け31a−nを除く
全ての基板受け31a−1〜31a−m、固定基板受け
34、徐冷ゾーン7内の基板受け74a及び74b上に
それぞれワークが積載されている。
のワークは新たに搬入されたものであり、このワークが
これから予熱される状態にあると共に、徐冷ゾーン7の
基板受け74c上では、その上のワークが徐冷工程を終
了して外部に取り出されている。なお、予熱及び徐冷ゾ
ーンには、本例ではロボット等の適当な外部装置によ
り、外部入口61及び出口71を介してワークが搬入及
び搬出される。
一定の時間間隔である1タクト時間が経過すると、載置
されたワークがそれぞれのタイミングで移動される。ま
ず横移動装置40、60及び70が同時に作動し、エア
シリンダ44及び45等が所定のタイミングで動き、同
図(b)に示すように、ビーム41、42、65及び7
5がZ方向への上昇()−Y方向へ前進()−Z方
向への下降()の動作を行ない、(a)に示す固定基
板受け64、74及び34上の全てのワーク及び上昇側
最上段基板受け21a−n上のワークをY方向に1ピッ
チ移動させ、(e)の状態にする。
23が作動し、次のように軸21及び22がそれぞれ所
定のタイミングでZ方向へ昇降及びX方向へ進退し、こ
れらの基板受け及び固定基板受け24上に支持された全
てワークを1ピッチ上昇させる。
ッチ上昇させるときの動作例を示す。この図は任意の基
板受け21a−i上のワークWiを1段上の21a−j
上に1ピッチ上昇させる図である。他の基板受け及びワ
ークも同様に動くが、この図では省略している。この動
作では、順次、22a−iが21a−i上のWiを取り
上げて2/3ピッチ程度上昇し()、21a−iと同
様にワークを取り上げられて自由になった基板受け21
a−jが順次後退−下降−前進−上昇し(〜)、2
2a−i上の鎖線で示すWiを取り上げて元の位置に復
帰し、それによって太い実線で示すようにWiを1ピッ
チ上昇した位置で支持し、Wiを取り上げられた21a
−iが順次退避−下降−前進(〜)して元の位置に
復帰し、Wiを1ピッチ上昇させる。
4にはワークがなくなり、ワークが移載されてなくなっ
ている最上段基板受け21a−nにはワークが載せられ
る。これで上昇装置20側は(a)の初期状態に復帰し
ている。但し、移載用の基板受け43aは下降装置側に
あってまだ復帰していない。
び作動して、図7(b)の下のの矢印で示す如くY方
向に1ピッチ後退して元の位置に復帰する。このとき、
移動していたワーク移載用の基板受け43aも復帰移動
して(a)の状態になる。なお、基板受け21a及び3
1aの最上段のものが図3〜図5に示すような形状にな
っているので、43aの復帰時の通過を妨げない。
と、下降装置30の再上段基板受け31a−n上のワー
クを含めて下降側の全てのワークの下降動作が可能にな
る。そして、下降装置の駆動部33が作動し、軸31及
び32がそれぞれ所定のタイミングでZ方向へ昇降及び
X方向へ進退し、次のように全てワークを1ピッチ下降
させる。
ピッチ下降させるときの動作を示す。この図は任意の基
板受け31a−j上のワークWjを1ピッチ下降させる
図である。この動作では、32a−iが順次後退−2/
3ピッチ程度上昇−前進し(〜)してワークWjを
支持できる位置に行き、31a−jが順次2/3ピッチ
程度下降−後退−上昇−前進し(〜)、その上のW
jを32a−i上に載せて元の位置に復帰し、32a−
iがWjを載せて下降して元の位置に復帰し()、3
1a−jと同様に元の位置に復帰している31a−i上
にWjを載せ、Wjを1ピッチ下降させる。この動作に
より、下降側の最上段基板受け31a−n上にはワーク
がなくなり、固定基板受け34上にはワークが載せられ
る。これで下降装置30側も(a)の初期状態に復帰す
る。
昇降と平行して、予熱ゾーン6の固定基板受け64aに
は新たなワークが搬入され、徐冷ゾーン7の固定基板受
け74c上のワークは外部に搬出される。以上の動作に
より、1タクトの全ての動作が終了して初期状態に復帰
する。このような1タクト動作に要する時間は例えば1
分程度である。
例では、予熱ゾーン6及び徐冷ゾーン7のそれぞれにお
いてワークが3タクト分の時間である約3分間滞留する
ことになる。一方、それぞれのゾーンに導入される空気
は、熱処理室1内で循環される空気のうち温度の下がっ
た部分の空気であり、例えば220°C程度である。こ
の導入される空気は循環空気に較べれば十分少量であ
り、それぞれのゾーン内を遅い流速で通過して排気口6
2及び72から排出される。そして、予熱及び徐冷ゾー
ンには加熱源がないと共に、周囲や開口部分からの放
熱、ワークやロボットハンドによる常温低熱源の持込み
等あるため、それぞれのゾーンを通過する空気は、熱処
理室側で高く排気口側で低くなった温度勾配を形成して
いる。
されたワークが100°Cから200°C程度の温度範
囲の空気で順次加熱され、それ自体は例えば20°C程
度の外部室温の状態から150°C程度の温度まで昇温
する。徐冷ゾーン7では、その反対に、200°C程度
から100°C程度までワークが温度降下する。
が上記の約3分間で行われるので、1分間当たりの温度
変化率は約40〜50°C/分程度になり、通常のガラ
スの割れる危険性のある温度上昇率である100°C/
mim 程度よりも十分低くなる。従って、ワークを安全に
予熱もしくは徐冷処理することができる。
い温度又は低い温度になるので、ワークが予熱ゾーン6
から熱処理室1内に入れられた後及び徐冷ゾーン7から
外部に出された後においても、その温度上昇率及び温度
低下率を安全な範囲におさめることができる。なお、必
要によっては、本例の3タクト分の工程で計画されてい
る予熱ゾーン6又は徐冷ゾーン7を変更し、それらの工
程数を増減させることができる。
室1内の高温空気を利用してワークの予熱及び徐冷を行
うので、別の加熱源や冷却源を装備する必要がなくな
り、熱処理設備の構造が簡単になり、装置コスト及び運
転費用を低減させることができる。又、図2に鎖線で示
すような通常設けられる本体排気孔9を小径にするか若
しくは省略することができる。
タ14を介して熱処理室1内へ外気を導入するので、熱
処理室の入口、出口11、12からフィルタを通すこと
なく直接侵入する空気がなくなり、熱処理室1内の外気
による汚染を防止することができる。そして更に、熱処
理室の前記入口及び出口が予熱及び徐冷ゾーン6、7で
覆われていると共に、内部空気の排出部が排気口62、
72として特定されるので、排気対策が容易になり、熱
処理装置の設置されている部屋等の環境汚染を減少させ
ることができる。
0で予熱ゾーン6及び徐冷ゾーン7のワークを搬送する
ようにすれば、熱処理におけるワークの搬送と同じタイ
ミングでワークを搬送できると共に予熱及び徐冷工程を
得られるので、熱処理設備の全体的構成及び動きを簡素
化することができる。
ーン7に関連した他の構成例を示す。図8では、図1の
装置に較べて、外気導入ファン8を取り止めて、それぞ
れのゾーンの排気口62、72に各ゾーン内の空気を排
出する排気送風機としての予熱排気ファン66及び徐冷
排気ファン76を設けて、給気口5から導入される外気
をこれらのファンで吸引するようにしている。
ンを省略できると共に、それぞれの排気ファン66及び
76を予熱及び徐冷のために最も適合するように独立し
て計画することができる。例えば、予熱ゾーン6よりも
徐冷ゾーン7の長さを長くし、排気ファン76を66よ
り大きい容量のものにして、徐冷に時間をかけてワーク
の温度をゆっくり且つ十分低下させるような装置にする
こともできる。
させたような装置である。これにより、内部入口、出口
11、12からそれぞれのゾーン6、7に導入される空
気は、外気導入ファン8から送られて確実に試験室1内
を経由した空気になり、排気ファン66及び67を設け
る場合でも、外部入口、出口61、71を介して外部空
気がそれぞれのゾーンに入ってショートカットしてそれ
ぞれの排気ファンから排出されるのを防止することがで
きる。
熱排気ファン66及び徐冷排気ファン76を設けると共
に、これらのファンの出口と給気口5とを接続する接続
部としてのダクト67及び77を設け、更に、これらの
ダクトの共通部分にダクト内を流れる空気を熱処理室1
内の温度に近い温度に加熱する加熱手段としての排気ヒ
ータ80を設けている。又本例では、温度センサ81及
び温度調節器82を設け、再加熱器80の出力を制御
し、導入される空気が自動的に適温になるようにしてい
る。符号83は換気ファンである。このような装置によ
れば、熱処理室1内への外気の導入量が少なくなるの
で、内部空気の清浄度が向上すると共に、内部の温度分
布が良くなり、熱処理性能を向上させることができる。
7のそれぞれに、給気口68及び78、これらに外気を
送る給気送風機69及び79、温度センサ69a及び7
9a、温度調節器69b及び79b、並びに加熱手段と
しての送気ヒータ69c、79cを設けて、ヒータの出
力を制御してそれぞれのゾーン6、7に導入される外気
温度を調整するようにしている。
できるので、予熱ゾーン6から熱処理室1内に搬入され
るワークの温度を調整し、内部の温度分布を向上させる
ことができる。又、徐冷温度を制御できるので、徐冷ゾ
ーン7から搬出して次の工程に渡すワークを均一な温度
にすることができる。その結果、その後のワーク搬送機
への熱的影響を軽減し、その耐久性や位置決め精度を向
上させると共に、作業員への危険度をなくし、ワークの
割れ防止のための精度の良い温度管理を行うことができ
る。
たワーク支持替え昇降型の枚葉式熱処理装置である例を
示したが、本発明は、ゴンドラ昇降型又はカセット型の
枚葉式熱処理装置や、更にライン型の熱処理装置等にも
採用できるものである。ライン型熱処理装置では、ワー
クは一定の時間間隔で連続して搬送されていてもよい。
又、本例の枚葉式熱処理装置で示したワーク搬入/搬出
用の移動装置、昇降装置、ワークの移載装置等は一例を
示すものであり、他の種々の構造の装置に対して本発明
を適用することができる。
発明においては、熱処理室の入口又は出口のうちの少な
くとも何れかに導通する補助処理室を設け、この補助処
理室には、外部に導通した外側開口から入れられる物品
を一定の時間間隔で搬送できる搬送部と排気口と該排気
口から内部の空気を排出できる排気手段とを設けるの
で、補助処理室を、熱処理室の入口もしくは出口に接続
した物品の予熱室又は徐冷室或いはこれらの両方として
作用させることができる。
れた導入口から外気を導入し、この空気を内部の循環空
気に加えて内部の温度と同じ温度に加熱し、この加熱さ
れた空気を熱処理室の物品入口又は出口から補助処理室
に導入し、その排気口から排出すると共に、内部に設け
られた搬送部で物品を搬送し、前記内部に入れられた空
気で形成された温度環境下を通過させ、その環境になじ
んだ温度即ち物品の予熱温度又は徐冷温度で物品を熱処
理室に搬入するか又は熱処理室から搬出することができ
る。
空気の導入口及び導入側又は排気側に適当な送風機を設
けること等によって容易に構成することができる。又、
補助処理室には、始めは熱処理室内の加熱された内部の
物品と同じ温度の空気が入るが、放熱や外気の侵入等に
よって内部で適当に温度が下がり、入口と排気口との間
で物品の予熱又は徐冷に適当な温度になる。そして、搬
送部では、一定の時間間隔で物品が搬送されるため、予
熱室又は徐冷室における物品の滞留時間を適当に設ける
ことにより、室内の温度との関係を調整し、物品を良好
に予熱又は徐冷することができる。
では、熱処理内の高温空気を利用して物品を予熱もしく
は徐冷又はこれらの両方を行うことができるので、別の
加熱源や冷却源を装備する必要がない。その結果、全体
としての熱処理設備の構造を簡単にして、装置コスト及
び運転費用を低減することができる。
で覆われていると共に、その中の空気が排気口から排出
されるため、その位置を特定でき、排気対策が容易にな
り、熱処理装置の設置されている部屋等の環境汚染を低
減させることができる。
処理室の入口及び出口にそれぞれ導通する予熱室と徐冷
室とで構成し、排気手段として導入口を介して熱処理室
内に外気を供給する外気導入用送風機を設けるので、1
台の送風機で予熱室及び徐冷室の両方に空気を供給でき
る。その結果、装置の構成を簡単にしてコスト低減を図
ることができる。
る外部開口が設けられるので、この外部開口から少なく
とも物品の入出時に外気侵入の可能があるが、前記外部
導入用送風機によって積極的に外気を導入するため、内
部が正圧になって外部開口からの外気の導入が抑制さ
れ、外部開口と排気口との間の空気のショートカットが
防止される。その結果、予熱又は徐冷の条件を良好に維
持することができる。更に、外気導入口から熱処理室内
に外気を導入してこれを補助処理室の排気口から排出す
るので、熱処理室には通常設けられる高性能のフィルタ
を通した空気が導入され、このために他の開口部から入
る空気がなくなり、熱処理室内の外気による汚染を防止
することができる。
気手段として排気口の空気を排出する排気送風機を設
け、その出口と導入口とを接続する接続部とこの中を流
れる空気を熱処理室内部の温度に近い温度に加熱する加
熱手段とを設けるので、熱処理室と補助処理室との間で
空気を循環させ、外気の導入量を少なくすることができ
る。その結果、内部空気の清浄度を上げることができ
る。又、熱処理室内に導入される空気が室温に近い空気
になるから、内部の温度分布が良くなり、熱処理性能を
向上させることができる。
給気口を設けこれに外気を送る給気送風機と外気を加熱
する加熱手段とを設けるので、その加熱出力を調整する
ことにより、補助処理室内の空気の温度を適当な温度に
調整することができる。その結果、予熱室の場合には、
熱処理室内に搬入される物品の温度を調整し、内部の温
度分布を向上させることができる。又、徐冷室の場合に
は、これから搬出され次の工程に渡される物品を均一な
温度にすることができる。その結果、その後の物品搬送
機への熱的影響を軽減し、その耐久性や位置決め精度を
向上させると共に、作業員への危険度をなくし、物品の
割れ防止のための精度良い温度管理を行うことができ
る。
を示す説明図である。
明図で、図1の熱処理室を直角の方向から見た図であ
る。
造を示す正面図である。
斜視図である。
動部分の正面状態を示す説明図である。
動作を示す説明図である。
例を示す説明図である。
他の例を示す説明図である。
に他の例を示す説明図である。
に他の例を示す説明図である。
入用送風機) 11 内部入口(熱処理室の入口) 12 内部出口(熱処理室の出口) 60、70 横移動装置(搬送部) 61 外部入口(外側開口) 62、72 排気口 66 予熱排気ファン(排気送風機) 67、77 ダクト(接続部) 68、78 給気口 69、79 給気送風機 69c、79c 送気ヒータ(加熱手段) 71 外部出口(外側開口) 76 徐冷排気ファン(排気送風機) 80 排気ヒータ(加熱手段) W ワーク(物品)
Claims (4)
- 【請求項1】 熱処理室内で加熱された空気を循環させ
ると共に一定の時間間隔で前記熱処理室の入口から物品
を入れて内部で複数の物品を熱処理しつつ前記一定の時
間間隔で前記熱処理室の出口から物品を出すように構成
された熱処理装置において、 前記入口又は前記出口のうちの少なくとも何れかに導通
する補助処理室であって外部に導通した物品通過用の外
側開口と前記一定の時間間隔で前記物品を搬送できる搬
送部と内部の空気を排出できる排気口とを備えた補助処
理室と、前記内部の空気を前記排気口から排出可能にす
る排気手段と、を有することを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項2】 前記補助処理室は前記入口に導通する予
熱室と前記出口に導通する徐冷室とから成り、前記排気
手段は前記熱処理室内に外気を導入できる導入口と該導
入口を介して前記熱処理室内に外気を供給する外気導入
用送風機とを有することを特徴とする請求項1に記載の
熱処理装置。 - 【請求項3】 前記排気手段は前記熱処理室内に外気を
導入できる導入口と前記排気口の空気を排出する排気送
風機とを有し、該排気送風機の出口と前記導入口とを接
続する接続部と、該接続部に設けられ該接続部を流れる
空気を前記熱処理室内部の温度に近い温度に加熱する加
熱手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の
熱処理装置。 - 【請求項4】 前記補助処理室に設けられた給気口と、
該給気口に外気を送る給気送風機と該外気を加熱する加
熱手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の
熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21807697A JP3410000B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21807697A JP3410000B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1151569A true JPH1151569A (ja) | 1999-02-26 |
JP3410000B2 JP3410000B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=16714271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21807697A Expired - Lifetime JP3410000B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3410000B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003317627A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-07 | Noritake Co Ltd | 熱処理装置 |
KR101104201B1 (ko) * | 2010-07-13 | 2012-01-10 | (주)에스엠텍 | 기판 열처리 장치 |
JP2022019385A (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-27 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
-
1997
- 1997-07-28 JP JP21807697A patent/JP3410000B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003317627A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-07 | Noritake Co Ltd | 熱処理装置 |
KR101104201B1 (ko) * | 2010-07-13 | 2012-01-10 | (주)에스엠텍 | 기판 열처리 장치 |
JP2022019385A (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-27 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3410000B2 (ja) | 2003-05-26 |
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