JPH11515139A - ウエファ状の物品、特にシリコンウエファ用の支持体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ウエファ状の物品をエッチングする間の、ウエファ状の物品、特にシリコンウエファ用の支持体（１００）において、この支持体（１００）の、前記物品に向いた面（１０）に、圧縮ガスが供給される環状のノズル（８）が設けられている。また、物品と面する面（１０）にはリング（１０８）が設けられている。このリング（１０８）内には、負圧を発生しかつ支持体（１００）内に収容された手段（１１１）にライン（１１０）を介して導かれた少なくとも１つの開口部（１０７）が設けられている。リング（１０８）内に発生される負圧により、物品は、ベルヌーイの原理によりリング（１０８）の外に発生する負圧により負荷的に支持されて、支持体（１００）のリング（１０８）に支持され、カム等の横方向の支持体を必要としないで、面（１０）に平行な方向への変位が防止される。このような横方向の支持体が不要なために、ウエファ状の物品から処理液を吹き飛ばすことが妨げられない。

Description

【発明の詳細な説明】 ウエファ状の物品、特にシリコンウエファ用の支持体 本発明は、ウエファ状の物品をエッチングする間の、ウエファ状の物品、特に シリコンウエファ用の支持体であって、この支持体の、物品に向いた好ましくは 円形の面に、設けられかつ圧縮ガスが供給される環状のノズルと、物品用の支持 部として用いられかつ環状のノズルの内側に設けられている支持体の、物品に向 いた面に、設けられている少なくとも１つの環状の突起とを有する支持体に関す る。 ベルヌーイの原理により発生する負圧に基づいてのみ物品を動かないように保 つ、冒頭に挙げたタイプのウエファ状の物品用のこのようなタイプの支持体は、 EP 611 273 Aから公知である。 ベルヌーイの原理に基づくこうした公知の支持体における困難は、ウエファ状 の物品がガスクッション上に実際に浮遊しているので、必ずしも十分に動かない ように保たれないことにある。 EP 611 273 Aを前提とする公知の支持体を、以下のように、すなわち、ウエフ ァ状の物品の周縁部に当接される保持カムを必要とせずに、これらのウエファ状 の物品を処理液で処理する間、ウエファ状の物品を動かないように保たれること ができるように、かつ、ベルヌーイの原理による負圧が発生することがなくとも 、物品を所定の操作のために十分に動かないように保つように、改善するという 課題が本発明の基礎になっている。 本発明によれば、この課題は、環状の突起の内側の、物品に向いた面には、負 圧が供給される少なくとも１つの開口部が設けられていることによって解決され る。 本発明に基づく支持体の場合、ウエファ状の物品は、支持体の、ウエファ状の 物品に向いた面に設けられた環状の突起と接触するように引っ張られる。本発明 ではこの突起はウエファ状の物品の中心の外側でウエファ状の物品に係合するの で、処理中に物品が動かないように保たれる（傾動の可能性はない）。物品を支 持体の回転によって回転することができる。何故ならば、突起が偏心して物品に 係合するので、トルクを支持体からウエファ状の物品へ伝達することができるか らである。環状の突起の内側では、負圧が供給される開口部が、支持体の、ウエ ファ状の物品に向いた面に設けられていることによって、突起と物品との間に十 分な接触圧力が得られる。更に、ウエファ状の物品の破損の場合に、処理媒体が 支持体によって吸引されるので、下方に設けられた部品に達することがないとい う利点が生じる。 本発明の或る実施の形態では、環状の突起が、支持体の、ウエファ状の物品に 向いた面に設けられた環状のリブであることが規定されている。この実施の形態 では、少なくとも１つの環状の突起を形成する環状のリブが、支持体の、環状の ノズルの内側に位置している部分と、好ましくは一体成形されており、支持体の 、ウエファ状の物品に向いた面から突出している。 本発明は、互いに同軸の複数の環状の突起が設けられていることを規定する実 施の形態にも及ぶ。ウエファ状の物品を環状の突起へ動かす負圧が環状の突起同 士の間にも支配していることを保証するために、最も内側の環状の突起の内側で 及び複数の環状の突起同士の間には、負圧が供給される夫々少なくとも１つの開 口部が設けられていること規定されている。他の実施の形態では、最も外側の環 状の突起の内側には、負圧が供給される少なくとも１つの開口部が設けられてい ること、及び最も外側の突起を除いて、環状の突起の各々が少なくとも１箇所で 中断されていることを規定することができる。この実施の形態では、負圧が供給 される開口部を、最も外側の環状の突起の内側の、従ってまた最も内側の環状の 突起の内側の、又は互いに隣り合った環状の突起同士の間の、任意の箇所に設け ることができる。 環状の突起は支持体と一体形成される必要はなく、支持体の、物品に向いた面 に嵌め込まれたリングであってもよい。 環状の突起が、支持体の、ウエファ状の物品に向いた面に対し直角方向に弾性 をもって撓むことは好ましい。このことによって、突起は、支持体の、ウエファ 状の物品に向いた面に向かう方向に弾性をもって撓むので、平衡状態が生じる。 この平衡状態は、EP 48 995Aに記載の、物品の中央にのみ接触している剛性の突 起の場合に、この突起が精確な寸法でないときは、生じることがある、ウエファ 状の物品の変形を防止する。しかし乍ら、ウエファ状の物品は、これを処理液で 処理し、かつ処理液の遠心分離のために回転することができるように、支持体の 、物品に向いた面に対し平行な方向に動かないように保たれもする。 本発明の、空間的に好ましい実施の形態では、環状の突起は支持体の軸に対し 同軸に設けられていることを規定することができる。 本発明の或る実施の形態は、環状の突起が支持体に対し弾性要素によって支持 されていることを規定している。かくして、環状の突起を構成する材料に独立し て、弾性的な撓み性を達成することができる。この場合、簡単な実施の形態では 、弾性要素がコイルばねであることを規定することができる。 本発明では、環状の突起が、支持体の、物品に向いた面に形成された環状の溝 又は円形の窪みに嵌め込まれていることを規定することができる。この実施の形 態では、支持体における環状の突起のフィットが特に容易な方法で達成される。 本発明に基づく支持体の或る実施の形態では、環状の突起はテフロンで覆われ たシリコンからなる。この実施の形態でも、リングの材料は、処理媒体が酸であ っても、その処理媒体によってエッチングされない。 或る実施の形態は、環状の突起が中空であることを特徴とすることができる。 このことによって、環状の突起はその他の処置なしに弾性をもって撓む。 本発明の支持体の他の実施の形態は、開口部から、負圧発生手段へ通じている 管が出ていることにより抜きん出ている。この実施の形態では、環状の突起の内 側に設けられた開口部に負圧を特に容易な方法で供給することができる。 本発明の提案によれば、負圧発生手段が放射ノズルであることを規定する場合 に、負圧発生手段を、支持体の環状ノズルに供給される圧縮ガスによって駆動す ることができること、及び環状の突起の内側に設けられた開口部に負圧を供給す るための別個のポンプ等が不要であること、という利点が生じる。 本発明の他の実施の形態では、環状のノズルに供給される圧縮ガスが噴射ノズ ルを通って流れることを規定することができる。この実施の形態では、機械的な 可動部品が不要であるので、頑丈ではあるがフェイルセーフの構造が生じる。 負圧発生手段が支持体に設けられている場合には、空間的に特に好ましい装置 が生まれる。 本発明の他の詳細及び利点は、本発明の支持体の、図面に図示した実施の形態 の、以下の記述から生じる。 図１は支持体の部分断面図である。 図２は支持体の他の実施の形態の部分断面図である。 図２ａ乃至２ｄは、夫々支持体の他の実施の形態の部分図である。 図３は他の実施の形態の軸方向断面図である。 図４は図３の支持体の平面図である。 図１及び２に図示された実施の形態では、支持体１００は複数の回転対称的な 部分、すなわち、深鍋形の下方の部分１０１と、環状の部分１０２と、プレート 状の円形の部分１０３とからなっている。この円形の部分１０３は、ねじ１０４ によって深鍋形の部分１０１に取着されており、かくして、環状の部分１０２を 動かないようにしている。これら環状の部分１０２と、円形でプレート状の中央 の部分１０３との間には、ガス排出用の環状のノズル８が設けられている。ガス は、流路１４によって中空のシャフト７及び複数の半径方向の孔１０５を通って 、環状の部分１０２と、円形のプレート状の部分１０３との間の空間１０６へ供 給される。環状のノズルの内側の直径を、部分１０２と部分１０３との間に嵌め 込まれた間隔リング１３０（図３を参照）によって調節することができる。 図１に示すように、（流路１４によって）中空に形成されたシャフト７を介し て圧縮ガス、例えば空気又は窒素を供給することができる空間１０６が、２つの 部分１０２と１０３との間に形成されている。この空間１０６は環状のノズル８ へ連通しており、ノズル８の、部分１０２及び１０３によって形成される境界壁 は、支持体１００の上端面９及び１０に対して鋭角をなしている。 支持体１００の、保持される物品に向いた上端面は、部分１０２の環状面９と 、部分１０３の円形面１０とによって形成されている。支持体１００の端面に設 けられた環状のノズル８が環状面９と円形面１０との間に通じている。 円形のプレート状の部分１０３の、（図示しない）ウエファ状の物品と面する 面には、円形の窪みが設けられている。この窪みには、環状の突起を形成し、例 えばシリコンからなり、かつ弾性的をもって撓むことができるリング１０８が嵌 め込まれている。シリコンからなるリング１０８の外面はテフロンで被覆されて いても良い。リング１０８は、中実材料（例えばポリフッ化ビニリデン）からな っても良いが、（図２ｄに示すように）中空であって良く、いずれの場合でも、 リング１０８は、軸の方向に弾性をもって撓むことができる。 このリング１０８の、支持体１００に向いた側を、弾性手段、例えば複数のコ イルばね１２２によって弾性をもって支持することができることを指摘しなけれ ばならない。つまり、リングは支持体１００の部分１０３に形成された平坦な窪 みの底部に直接に載っている必要はないのである（図２ｃを参照）。 支持体１００の部分１０３には、窪みの代わりに、円形の溝を設けることもで きる。この溝の横断面はほぼ半円形であり、リング１０８が溝に嵌め込まれてい る。 リング１０８が弾性を有するか、弾性をもって支持されている限りでは、リン グ１０８は、ウエファ状の物品と、支持体１００の、この物品に向いた面１０と の間の負圧の作用下で、弾性をもって幾らか圧縮されるので、ウエファ状の物品 は支持体１００に動かないように支持され、横方向に移動することもできない。 リング１０８の内側の領域において負圧を発生させるために、本発明の支持体 １００の場合には、部分１０３の、ウエファ状の物品に向いた面１０には、開口 部１０７が設けられており、この開口部には負圧が供給される。 詳細には、実施の形態に示すように、管１１０が開口部１０７から出ており、 管１１０は、支持体１００の部分１０３に収容されている負圧発生手段１１１へ 通じている。この負圧発生手段１１１は、支持体１００の部分１０３に形成され たチャンバ１１３に設けられている噴射ノズル１１２を有する。この噴射ノズル １１２は、シャフト７に形成された流路１４を通って供給される圧縮ガスによっ て給気されるので、空間（即ち、チャンバ）１１３には負圧が発生されて、管１ １０を通って開口部１０７へと伝えられる。噴射ノズル１１２から出る圧縮ガス は、次に、（少なくとも）１本の半径方向孔１０５を通って空間１０６へ流出し 、この空間１０６から環状のノズル８を介して流れ出る。 本発明の支持体１００の場合に、圧縮ガス用の複数の半径方向孔１０５が設け られているときは、複数の負圧発生手段１１１と、従って、リング１０８の内側 には複数の開口部１０７とを設ける可能性がある。 リング１０８にウエファ状の物品が載っているときに、このリング１０８の内 側に負圧が存在し、噴射ノズル１１２に圧縮ガスが供給されることによって、リ ング１０８に、従って支持体１００におけるウエファ状の物品の保持が更に改善 される。 本発明に基づいて形成された支持体１００の場合には、図１及び図２に示した 実施の形態では、以下のこと、すなわち、支持体１００の、物品に向いた端面９ 及び１０と、物品との間に設けられた環状のノズル８からガスが流出する際に、 環状のノズル８の特別なデザインにより、ウエファ状の物品を環状の突起１０８ ，１２０と接触させておく負圧が発生することは、ウエファ状の物品を支持体１ ００に動かないように保つことにとって最早重要でない。ベルヌーイの原理に基 づいて発生することがあるこの負圧が、しかし乍ら、物品を動かないように保つ ことを支持することができるのは好ましい。本発明の場合には、環状のノズル８ から流出する圧縮ガスは、まず第一に、処理液がウエファ状の物品の下面に達し て、支持体１００にエッチングを引き起こすことがないようにする。更に、環状 のノズル８から流出する圧縮ガスが、ウエファ状の物品の周面から処理媒体の遠 心分離された滴を吹き飛ばすことによって、圧縮ガスが処理媒体の遠心分離を果 たすことは好ましい。 更に、ウエファ状の物品の破損の場合に、リング１０８又は環状の突起１２０ の内側で支持体１００の部分１０３に達する処理媒体が、開口部１０７を通って 吸引されるので、それ以上の破損が防止されること（これは酸性の処理媒体によ るシリコンウエファのエッチングの際に特に重要である）という利点が生じる。 ウエファ状の物品用の支持体１００の、図２に図示した実施の形態の場合には 、環状の突起１２０は、部分１０３と一体形成されかつ支持体１００の軸１４に 対し同軸に及び互いに同軸に設けられている２つの環状のリブによって形成され ている。しかし乍ら、これらの環状のリブを必ずしも支持体１００の部分１０３ と 同じ材料で一体形成する必要はなく、これらリブは支持体１００の部分１０３に 取り付けられた別個のリングであってもよい。このことによって、環状の突起１ ２０を弾性をもって撓むように形成する及び／又はリング１０８に関して上記し た如くに環状の突起１２０を弾性をもって撓むように支持する可能性も生まれる 。 図２に示した実施の形態の場合のように、１つ以上の環状の突起１２０が設け られているときは、最も内側の環状の突起１２０の内側で及び各々の環状の突起 １２０の間に開口部１０７が設けられている。その目的は、図２ａに示すように 、負圧が最も内側の環状の突起１２０の内側で及び複数の環状の突起１２０の間 で作用することができるようにするためである。 他に、図２ｂに示すように、最も外側の環状の突起１２０を除いて、環状の突 起１２０の各々には、半径方向に整列した中断部１２１が設けられていることが 規定されている。この半径方向に整列した中断部、最も簡単な場合には半径方向 の溝１２１は、最も外側の環状の突起１２０の内側の任意の箇所に設けられた開 口部１０７を介して供給される負圧が、最も外側の環状の突起１２０の内側の全 体の領域に亘って広がることができるようにする。 図３及び４に図示した実施の形態では、支持体１００は３つの回転対称的な部 分、すなわち、深鍋形の下方の部分１０１と、環状の部分１０２と、プレート状 の部分１０３とからなる。このプレート状の部分１０３は、ねじ１０４によって 深鍋形の部分１０１に取着されており、ノズル８の調節に用いられる間隔リング １３０を介して、環状の部分１０２を深鍋形の部分１０１へ押し下げる(nieders pannen)。 環状の部分１０２の、（図示しない）物品に、例えば、シリコンウエファに向 いた環状面９と、部分１０３の、物品に向いた面１０との間には、ガス排出用の 環状のノズル８が設けられている。ガスは、圧力下で、半径方向に延びる複数の 流路１０５を介して、環状のノズル８へと流れる。 図３から明らかなように、支持体１００の部分１０３の、物品に向いた面１０ は、環状の突起１２０の環状面１３１によって形成されている。これらの環状面 １３１は部分１０３の面１０に亘って均等に配設されている。環状の突起１２０ は、全て同一の幅に形成されており、同様に同一の幅に形成された溝１３５によ って互いに分離されている。 個々の流路１０５の拡径された部分１３６からは、軸に平行に整列されている 管１１０が開口部１０７へと延びている。圧縮ガスが、流路１４から環状のノズ ル８へと流れるときは、流路１０５の拡径された部分１３６の、噴射ノズルのよ うな作用により、これらの開口部１０７には負圧が発生されている。 図示した実施の形態（図４）では４つの開口部１０７が設けられている。これ らの開口部１０７は円上に等間隔に配置されている。この円の半径は、部分１０ ３の最大半径の、つまり（部分１０３の）周縁の半径の半分よりも小さくて、こ の半径は環状のノズル８を内側に対し区画している。 開口部１０７を介して供給される負圧を、環状の突起１２０同士の間の開口部 １０７の外側に設けられたすべての溝１３５へ分配するために、環状の突起１２ ０は夫々２箇所で中断部１２１を有しており、これらの中断部１２１は半径線上 にある。従って、開口部１０７の内側に位置している環状の突起１２０は中断部 １２１によって２箇所で中断されているので、中断部１２１同士の間に位置して いる溝１３５にも負圧が供給される。 流路１０５の、噴射ノズルのように作用する部分１３６によって発生され、か つ開口部１０７を通してすべての溝１３５へ導かれる負圧によって、ウエファ状 の物品は、支持体１００の部分１０３の面１０の全領域に亘って均等に、複数の 環状の突起１２０の環状面１３１に沿って吸引されるので、動かないように保た れる。 放射ノズルとして作用する拡径された部分１３６なしに形成されている半径方 向に延びる流路１０５が、追加的に設けられることができ、好ましくは、拡径さ れた部分１３６を有する流路１０５に対しずれて延びており、例えば、その時々 にこのような２つの流路１０５の間の中央に設けられている。このことによって 、環状のノズル８に、特に均等に、流路１４を介して供給される圧縮ガスが給気 される。 本発明に基づいて形成された支持体１００の、図３及び４に図示した実施の形 態でも、以下のこと、すなわち、支持体１００の、物品に向いた面９と、物品と の間に設けられた環状のノズル８からガスが流出する際に、環状のノズル８の特 別なデザインにより、ウエファ状の物品を保持する負圧が発生することは、ウエ ファ状の物品を支持体１００に動かないように保つことにとって最早重要でない 。ベルヌーイの原理に基づいて発生することがあるこの負圧は、しかし乍ら、本 発明の支持体に物品を動かないように保つこと支持することができるのは好まし い。 要約して本発明を例えば以下のように記述する。 ウエファ状の物品、特にシリコンウエファ用の支持体１００では、支持体１０ ０の、ウエファ状の物品に向いた面１０に、環状のノズル８が設けられている。 物品に向いた面１０にはリング１０８が設けられている。リング１０８の内側に は少なくとも１つの開口部１０７が設けられており、そこからは管１１０が支持 体１００内に収容された負圧発生手段１１１へと通じている。リング１０８の内 側に発生された負圧によって、物品は、場合によっては、ベルヌーイの原理に基 づいてリング１０８の外側に存在する負圧によって支持されて、支持体１００の リング１０８に接触されたままであって、カム等のような側方支持部を設ける必 要なしに、面１０に平行な方向にずれることはない。側方支持部が不要であるの で、側方支持部は処理液がウエファ状の物品から流出することを妨げない。

【手続補正書】 【提出日】１９９９年１月２６日 【補正内容】 請求の範囲 １．ウエファ状の物品をエッチングする間の、ウエファ状の物品、特にシリコ ンウエファ用の支持体（１００）であって、この支持体（１００）の、前記物品 に向いた好ましくは円形の面（１０）に設けられかつ圧縮ガスが供給される環状 のノズル（８）と、前記支持体（１００）の、前記物品に向いた面（１０）に、 設けられている負圧が供給される複数の開口部（１０７）とを有する支持体にお いて、 同心的に配置された複数の環状の突起（１２０）が、前記物品に向いた支持体 （１００）の面（１０）から突設されて物品の支持部として使用され、また、こ れら環状の突起（１２０）は、環状のノズル（８）の内側に設けられ、また、前 記開口部（１０７）は、径方向で最も外側の環状の突起と最も内側の環状の突起 （１２０）との間に配置され、また、前記各開口部（１０７）から、支持体（１ ００）内に設けられ、噴射ノズル（１１２）を有した負圧発生手段（１１１）へ と管（１１０）が通じており、そして、環状のノズル（８）に供給される圧縮ガ スは前記噴射ノズル（１１２）を通ることを特徴とする支持体。 ２．最も外側の環状の突起（１２０）を除いて、環状の突起（１２０）の各々 は、少なくとも１つの中断部（１２１）を有することを特徴とする請求項１に記 載の支持体。 ３．前記開口部（１０７）は、前記支持体（１００）の軸に対し同軸の円上に 設けられており、また、前記環状の突起（１２０）の中断部（１２１）は、前記 支持体（１００）の軸に対して外側にそして、代わって径方向内側に延びた線上 に配置され、開口部（１０７）から延びていることを特徴とする請求項１もしく は２に記載の支持体。 ４．前記物品に向いた支持体（１００）の面（１０）、即ち、環状のノズル（ ８）内に位置する部分に環状の突起（１２０）が設けられていることを特徴とす る請求項１，２もしくは３に記載の支持体。 ５．前記最も外側の環状の突起（１２０）は、前記物品に向いた支持体（１０ ０）の面（１０）の周縁近く、即ち、前記環状のノズル（８）を径方向内側に広 げる縁の近くに直接位置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれ か１に記載の支持体。 ６．前記支持体（１００）の軸からの開口部（１０７）までの距離は、前記物 品に向いた支持体（１００）の面（１０）の半径の１／２よりも短いことを特徴 とする請求項１ないし５のいずれか１に記載の支持体。 ７．前記噴射ノズル（１１２）は、支持体（１００）の中心に位置する流路（ １４）から径方向外側に延びた流路（１０５）の拡径された部分（１３６）とし て形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１に記載の支持 体。 ８．前記流路（１０５）の拡径された部分（１３６）の径方向内端に前記開口 部（１０７）が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の支持体。 ９．噴射ノズル（１１２）が設けられている夫々の流路（１０５）間には、径 方向外側に延び、圧縮されたガスを通し、噴射ノズルが設けられていない少なく とも１つの流路（１０５）が設けられていることを特徴とする請求項７もしくは ８に記載の支持体。 １０．噴射ノズル（１１２）が設けられている流路（１０５）と、噴射ノズル が設けられていない流路とは、支持体（１００）の内部（１０３）内に配置され ていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１に記載の支持体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ，ＵＳ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ウエファ状の物品をエッチングする間の、ウエファ状の物品、特にシリコ ンウエファ用の支持体（１００）であって、この支持体（１００）の、前記物品 に向いた好ましくは円形の面（１０）に設けられかつ圧縮ガスが供給される環状 のノズル（８）と、前記物品用の支持部として用いられかつ前記環状のノズル（ ８）の内側に設けられている前記支持体（１００）の、前記物品に向いた面（１ ０）に、設けられている少なくとも１つの環状の突起（１０８，１２０）とを有 する支持体において、 前記環状の突起（１０８，１２０）の内側の、前記物品に向いた面（１０）に は、負圧が供給される少なくとも１つの開口部（１０７）が設けられていること 、を特徴とする支持体。 ２．前記環状の突起（１２０）は、前記支持体（１００）の、前記ウエファ状 の物品に向いた面（１０）に設けられた環状のリブであること、を特徴とする請 求項１に記載の支持体。 ３．互いに同軸の複数の環状の突起（１２０）が設けられていること、を特徴 とする請求項１又は２に記載の支持体。 ４．最も内側の環状の突起（１２０）の内側で及び複数の環状の突起（１２０ ）同士の間には、負圧が供給される夫々少なくとも１つの開口部（１０７）が設 けられていること、を特徴とする請求項３に記載の支持体。 ５．最も外側の環状の突起（１２０）の内側には、負圧が供給される少なくと も１つの開口部（１０７）が設けられていること、及び前記最も外側の突起（１ ２０）を除いて、環状の突起（１２０）の各々は少なくとも１つの中断部（１２ １）を有すること、を特徴とする請求項３に記載の支持体。 ６．前記環状の突起（１０８，１２０）は、前記支持体（１００）の、前記物 品に向いた面（１０）に嵌め込まれたリングであること、を特徴とする請求項１ に記載の支持体。 ７．前記環状の突起（１０８）は、前記支持体（１００）の、前記物品に向い た面（１０）に対し直角方向に弾性をもって撓むこと、を特徴とする請求項１乃 至６のいずれか１に記載の支持体。 ８．前記環状の突起（１０８）は前記支持体（１００）の軸（１４）に対し同 軸に設けられていること、を特徴とする請求項１乃至７のいずれか１に記載の支 持体。 ９．前記環状の突起（１０８）は前記支持体（１００）に対し弾性要素（１２ ２）によって支持されていること、を特徴とする請求項７に記載の支持体。 １０．前記弾性要素はコイルばね（１２２）であること、を特徴とする請求項 ９に記載の支持体。 １１．前記環状の突起（１０８）は弾性をもって撓む材料からなること、を特 徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載の支持体。 １２．前記環状の突起（１０８）は、前記支持体（１００）の、前記物品（１ １）に向いた面（１０）に形成された環状の溝又は円形の窪みに嵌め込まれてい ること、を特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１に記載の支持体。 １３．前記環状の突起（１０８）はテフロンで覆われたシリコンからなること 、を特徴とする請求項２乃至１２のいずれか１に記載の支持体。 １４．前記環状の突起（１０８）は中空であること、を特徴とする請求項２乃 至１３のいずれか１に記載の支持体。 １５．前記開口部（１０７）からは、負圧発生手段（１１１）へ通じている管 （１１０）が出ていること、を特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１に記載 の支持体。 １６．前記負圧発生手段（１１１）は噴射ノズル（１１２）であること、を特 徴とする請求項１５に記載の支持体。 １７．前記環状のノズル（８）に供給される圧縮ガスは前記噴射ノズル（１１ ２）を通って流れること、を特徴とする請求項１６に記載の支持体。 １８．前記負圧発生手段（１１１）は前記支持体（１００）に設けられている こと、を特徴とする請求項５乃至７のいずれか１に記載の支持体。 １９．負圧が供給される複数の前記開口部（１０７）は前記支持体（１００） の軸に対し同軸の円上に設けられていること、及び（前記）中断部（１２１）は 、（複数の）前記環状の突起（１２０）において、前記支持体（１００）の軸に 関 して交互に半径方向内側及び外側に延びる線上に設けられていること、を特徴と する請求項１乃至１８のいずれか１に記載の支持体。 ２０．前記支持体（１００）の、前記物品に向いた面の、前記環状のノズル（ ８）の内側に位置している部分（１０）全体が、前記複数の環状の突起（１２０ ）を有していること、を特徴とする請求項１９に記載の支持体。 ２１．前記最も外側の環状の突起（１２０）は、前記支持体（１００）の、前 記物品に向いた面（１０）の、前記環状のノズル（８）を半径方向内側に区画す る縁部の周囲に直接に隣り合って設けられていること、を特徴とする請求項１９ 又は２０に記載の支持体。 ２２．前記負圧が供給される開口部（１０７）と、前記支持体（１００）の軸 との間隔は、前記支持体（１００）の、前記物品に向いた面に設けられた、前記 環状のノズル（８）の内側に位置している部分（１０）の、半分の半径よりも小 さいこと、を特徴とする請求項１９乃至２１のいずれか１に記載の支持体。 ２３．各開口部（１０７）に関連して放射ノズル（１１１）が設けられている こと、を特徴とする請求項１乃至２２のいずれか１に記載の支持体。 ２４．前記放射ノズル（１１１）は流路（１０５）における拡張部（１３６） として形成されており、こうした拡張部（１３６）は前記支持体（１００）の中 央に設けられた流路（１４）から半径方向外側に延びていること、を特徴とする 請求項１乃至２３のいずれか１に記載の支持体。 ２５．前記開口部（１０７）は、前記流路（１０５）の拡張部（１３６）の、 半径方向内側に位置している端部に設けられていること、を特徴とする請求項２ ４に記載の支持体。 ２６．放射ノズル（１１１）を有する各流路（１０５）の間には、圧縮ガスが 供給されるときに通る前記流路（１４）から半径方向外側に延びる、放射ノズル のない少なくとも１つの流路（１０５）が、設けられていること、を特徴とする 請求項１乃至２５のいずれか１に記載の支持体。 ２７．前記放射ノズル（１１１）を整列した前記流路（１０５）と、前記放射 ノズルのない流路（１０５）とは、前記支持体（１００）の前記内側の部分（１ ０３）に設けられていること、を特徴とする請求項１乃至２６のいずれか１に記 載の支持体。