JPH11514954A

JPH11514954A - Transport and transport cassettes with dynamic linkages

Info

Publication number: JPH11514954A
Application number: JP9-515004A
Authority: JP
Inventors: ピーターソン、ケリー; ワイズマン、ブライアン; ギャラガー、ガリー; グレガーソン、バリー
Original assignee: エムパックインコーポレイテッド
Filing date: 1995-10-13
Publication date: 1999-12-21
Anticipated expiration: 2015-10-13

Abstract

(57)【要約】複数の対象物を平行な設定において保存するカセット（１０）を開示する。このカセットは、軽量となるように特に設計されており、カセットの捻れ、曲げ、撓み、または破損を阻止するように強化されている（５０、５２、５４）。対象物の精密な挿入および取出しのために表面に対してカセットに指標を与えるための手段（６６、６８、７０）も併せて説明する。 (57) Abstract A cassette (10) for storing a plurality of objects in a parallel setting is disclosed. The cassette is specifically designed to be lightweight and reinforced to prevent twisting, bending, flexing or breakage of the cassette (50, 52, 54). Means (66, 68, 70) for indexing the cassette against the surface for precise insertion and removal of objects are also described.

Description

【発明の詳細な説明】動的連結体を有する搬送用および輸送用カセット発明の背景Ｉ．発明の分野本発明は、種々の対象物を搬送および輸送するためのカセットに関する。さらに詳しくは、本発明は、ウエハ、剛性の記憶ディスク、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ、またはフォトマスクを保持するために特に設計されたカセットに関する。本発明は、例えば、３００ｍｍ以上の直径を有するウエハのような比較的大きい対象物を保持するのに使用する場合に特に有用である。ただし、本発明に従って作製されたカセットは、より小さい対象物を保持するのに使用することもできる。Detailed Description of the Invention Background of the invention for transport and transport cassettes with dynamic linkages I. FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to cassettes for carrying and transporting various objects. More particularly, the present invention relates to cassettes specifically designed to hold wafers, rigid storage disks, flat panel displays, liquid crystal displays, or photomasks. The invention is particularly useful when used to hold relatively large objects, such as wafers having a diameter of 300 mm or greater. However, cassettes made according to the invention can also be used to hold smaller objects.

ＩＩ．従来技術の説明シリコンウエハ、剛性の記憶ディスク、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ等を保持するために、種々の容器が当業界において使用されてきた。II. Description of prior art Silicon wafers, rigid memory disks, flat panel displays, liquid crystal displays Various containers have been used in the industry to hold displays and the like.

この種の対象物は、極めて脆い傾向があるため、製造施設内である地点から他の地点へと輸送される際に保護されなければならない。この種の対象物を輸送のためにカセットに担持させることは、保護を与える有効な手段であることが示されている。Objects of this type tend to be extremely fragile and can be must be protected during transportation to the site. For transporting objects of this kind It has been shown to be an effective means of providing protection by carrying it on a cassette for ing.

初期のカセットは、重くて嵩張り、かつ高価であった。また、このような初期のカセットは、それが機能すべき環境において十分に適合してもいなかった。このような環境において使用される熱や強い化学物質により、この種の従来技術によるカセットは、しばしば劣化され、処理の際に曲がり、撓み、捻れ、または破損さえも生じていた。カセットに対するこのように損傷により、カセット内に保存された対象物が破壊されることがしばしばあったと考えられる。 Early cassettes were heavy, bulky, and expensive. Also, such an initial was also not a good fit in the environment in which it was supposed to work. child The heat and harsh chemicals used in such environments make this type of prior art Cassettes that are damaged often degrade, bending, flexing, twisting, or breaking during handling. Even losses were incurred. Such damage to the cassette will result in It is thought that there were often times when the stored objects were destroyed.

このような捻れを阻止するために、後期のカセットの設計においては、カセットを強化するための種々のガセット、支持体、またはＨバーを設けることにより、従来技術の欠点を克服することが試みられた。また、テフロン（商標名）のような材料も使用された。このような材料は、対象物が日常的に供せられる化学的エッチング処理に耐え得るように選択されたものである。この種の技術は、約１５０ｍｍ以下の長さまたは直径を有するような比較的小さい対象物を保持するように設計されたカセットについては適切であった。しかしながら、半導体および電子工業における現在の潮流からすれば、より大きい寸法の対象物を収容することのできる新しいカセットの設計が必要である。このようなカセットは、高温または強い化学物質に供せられた場合であっても、撓み、捻れ、曲げ、または破損を生じ得ないように設計されていなければならない。さらに、このような対象物の寸法および重量が与えられた場合、ロボットによる取扱いがますます重要となっており、これにより、カセットに関して、処理装置に対してカセットの指標を示して位置決めする助成を行うことのできる構造が必要とされている。 To prevent such twisting, in later cassette designs, the cassette By providing various gussets, supports, or H-bars to strengthen the , attempted to overcome the drawbacks of the prior art. In addition, Teflon (trade name) Uncooked materials were also used. Such materials are chemically sensitive to which objects are routinely exposed. It is selected so that it can withstand the etching process. This type of technology requires about 1 For holding relatively small objects such as those having a length or diameter of 50 mm or less. was adequate for cassettes designed to However, semiconductor and Given the current trend in the electronics industry, it is possible to accommodate objects of larger dimensions. A new cassette design capable of Such cassettes may be exposed to high temperatures or flex, twist, bend, or break even when exposed to harsh chemicals must be designed so as not to cause In addition, such objects Robotic handling becomes increasingly important given the dimensions and weight of , thereby indexing the cassette to the processor with respect to the cassette. What is needed is a structure that can provide pointing and positioning aids.

発明の要旨本発明は、大きな直径のウエハ（すなわち、３００ｍｍ以上の直径を有するもの）および同様の寸法の他の対象物を収容するために特に設計されたカセットに向けられたものである。この種のカセットは、同様に、より小さい対象物を保持することもできる。使用に際してカセットの捻れ、曲げ、撓み、または破損を阻止する独特の強化構造が設けられている。このような強化構造は、カセットを作製するのに使用される材料の量が低減されるように設計されており、これによりコストおよび重量が低減される。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a cassette specifically designed to accommodate large diameter wafers (i.e., those having a diameter of 300 mm or greater) and other objects of similar size. A cassette of this kind can also hold smaller objects as well. A unique stiffening structure is provided to prevent twisting, bending, flexing or breaking of the cassette during use. Such reinforced structures are designed to reduce the amount of material used to make the cassette, thereby reducing cost and weight.

また、本発明は、容易に浄化されるカセットも提供する。この種のカセットは、離間した平行な配向において対象物を保持することができるものであり、これにより、対象物は、損傷を生起する相互の接触に至ることはない。また、カセットは、カセットと対象物の処理または取扱いの際に使用される装置との動的連結を行う（kinematically couple）のに使用される一組の溝部を備える。これらの動的溝部（kinematice grooves）を使用して、例えば、微小環境ポッド（pod）内にカセットを設定し、搬送および輸送の際に対象物に対する保護を助成することができる。 The present invention also provides cassettes that are easily cleaned. This kind of cassette , capable of holding objects in spaced parallel orientations, which Thereby the objects do not come into contact with each other causing damage. Also, the cassette A dynamic link between the cassette and equipment used during processing or handling of objects. A set of grooves used to kinematically couple. these Using kinematic grooves, e.g. microenvironment pods set the cassette inside to help protect the object during transport and transport. can be

前記した点に照らして、本発明の１つの目的は、例えば、複数のウエハを保持することのできるカセットであって、それぞれのウエハが３００ｍｍ以上の直径を有するカセットを提供することにある。 In light of the foregoing, one object of the present invention is to provide, for example, a multi-wafer holding A cassette capable of handling each wafer with a diameter of 300 mm or more To provide a cassette having

本発明の他の目的は、与えられた寸法において適切な補強体を有するカセットであって、カセットが強い化学物質または高温に供せられた場合であっても、カセットの捻れ、曲げ、撓み、または破損を阻止するカセットを提供することにある。 Another object of the invention is a cassette having suitable reinforcements for given dimensions. and even if the cassette is subjected to strong chemicals or high temperatures, To provide a cassette that prevents set twisting, bending, flexing, or breakage. be.

本発明の更なる目的は、互いに離間した平行な配向で複数の対象物を保持することのできるカセットを提供することにある。 A further object of the present invention is to hold multiple objects in spaced parallel orientations To provide a cassette capable of

本発明のさらに他の目的は、動的連結体（kinematic coupling）を備えるようなカセットであって、これによりカセットが処理装置と整列配置されるか、または微小環境ポッド内で適切に位置決めされることのできるカセットを提供することにある。 Still another object of the present invention is to provide a kinematic coupling. a cassette that aligns the cassette with the processing equipment; provides a cassette that can be properly positioned within a microenvironment pod. It is in

本発明のさらに他の目的は、開放された頂部と開放された底部とを有するようなカセットを提供することにある。 Still another object of the present invention is to have an open top and an open bottom. It is to provide a good cassette.

本発明のさらに他の目的は、カセットの全ての表面が容易に浄化され、汚染されないようなカセットを提供することにある。 Yet another object of the present invention is to provide a cassette that allows all surfaces of the cassette to be easily cleaned and free of contamination. It is to provide a cassette that does not

本発明のこれらの目的および他の目的は、その全てがこの明細書の一部を形成する図面と併せて以下に記載する好適な態様の詳細な説明を読むことによって、より明らかとなろう。 These and other objects of the invention, all of which form a part of this specification. By reading the detailed description of the preferred embodiments set forth below in conjunction with the accompanying drawings, be more clear.

図面の簡単な説明図１は、本発明の特徴を組み込んだカセットの斜視図である。 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a cassette incorporating features of the present invention.

図２は、本発明のカセットの一方の端部の立面図である。 Figure 2 is an elevational view of one end of the cassette of the present invention;

図３は、図２に示すものとは反対側のカセットの端部の立面図である。 3 is an elevational view of the end of the cassette opposite that shown in FIG. 2; FIG.

図４は、カセットの一方の側部の立面図である。 FIG. 4 is an elevational view of one side of the cassette;

図５は、図４に示すものとは反対側のカセットの側部の立面である。 FIG. 5 is a side elevation of the cassette opposite that shown in FIG.

図６は、カセットの底部平面図である。 FIG. 6 is a bottom plan view of the cassette.

図７はカセットの頂部平面図である。 FIG. 7 is a top plan view of the cassette.

図８は、２つの対向する仕切り板およびウエハを示す断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing two opposing dividers and wafers.

好適な態様の説明前記したように、本発明により、シリコンウエハ、剛性の記憶ディスク、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ、フォトマスク、基板等のような対象物を保持することのできるカセットが提供される。この完全なリストを連続的に繰り返す必要がないように、以下に記載する図面および説明は、「ウエハ」カセットに関連するものとする。当業者であれば、この発明の利点は、この種の対象物の全てに等しく適用され、如何なる様式においてもこれに限定される発明ではないことを理解すべきである。カセットの種々の構成部品は、ガス放出性の特性が低く、耐久性であって、仮にあるとしても、殆ど微粒子生成を示さない材料により構成すべきである。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As noted above, the present invention provides a cassette capable of holding objects such as silicon wafers, rigid storage disks, flat panel displays, liquid crystal displays, photomasks, substrates, etc. . In order to avoid the need to continuously repeat this complete list, the drawings and descriptions set forth below will be referred to as "wafer" cassettes. It should be understood by those skilled in the art that the advantages of this invention apply equally to all such subjects and the invention is not limited thereto in any way. The various components of the cassette should be constructed of materials that have low outgassing properties, are durable, and exhibit little, if any, particulate generation.

好適な態様のウエハカセット１０は、第１の開放された側部２０と、第２の開放された側部２２と、第１の端部壁部１２と、一対の対向する側壁部１４、１６と、第２の端部壁部１８とを備える。第１の開放された側部２０は、カセット１０に対してウエハの挿入または取出しを可能とするのに十分に大きいものとされる。第２の開放された側部２２は、ウエハがカセット１０内で支持されるのに十分に小さいものとされるが、カセット内に保存されたあらゆるウエハの間においてカセット１０を介して液体の化学物質が容易に通過するのに十分に大きいものとされる。 The preferred embodiment wafer cassette 10 has a first open side 20 and a second open side 20. The released side 22, the first end wall 12 and the pair of opposing side walls 14,16 and a second end wall 18 . A first open side 20 opens the cassette 1 0 to be large enough to allow wafer insertion or removal. be. The second open side 22 is sufficient for the wafer to be supported within the cassette 10. Although it is assumed to be as small as possible, there are no odors between any wafers stored in the cassette. large enough to allow liquid chemicals to easily pass through the cassette 10. It is said that

２つの側壁部１４、１６は、互いに鏡像の関係にある。それぞれの側壁部は、内側表面２３と、外側表面２４と、底部部材２５と、中間部材２６と、上部部材２８とを有する。それぞれの側壁部の部材２５、２６、２８は、中間部材２６の頂部が、底部部材２５の頂部の上方外側の位置にあるように一体的に形成される。上部部材２８は、中間部材２６の頂部から上方に突出する。上部強化用レール３４および下部強化用レール３６が、上部部材２８の平面的な外側表面２４から外方に突出している。レール３４、３６は、カセット１０に対する支持を助成すると共に、ロボットアームがカセットを効果的に把持して保持する手段を提供するものである。 The two side walls 14, 16 are mirror images of each other. Each side wall is inner surface 23, outer surface 24, bottom member 25, intermediate member 26, and top member 28. Each side wall member 25, 26, 28 is The top is integrally formed to lie above and outside the top of the bottom member 25 . An upper member 28 projects upwardly from the top of the intermediate member 26 . Upper reinforcement rail 34 and a lower stiffening rail 36 extend from the planar outer surface 24 of the upper member 28. It protrudes outward. Rails 34, 36 help support the cassette 10. and provides a means for the robotic arm to effectively grip and hold the cassette. It is a thing.

また、カセット１０は、それぞれの側壁部１４、１６の内側表面２３上に複数の仕切り板４０を備える。仕切り板４０は、概して上部部材２８の頂部から中間部材２６の底部へと延在する。側壁部１４の仕切り板４０は、側壁部１６のものと対向している。仕切り板４０は、それぞれのウエハを、カセットに保存された他のウエハに対して平行で離間した非接触の関係で保持するように作用する。仕切り板４０は、長手方向において、ウエハの曲率半径を反映する曲率半径を有している。また、仕切り板４０は、横断方向にテーパーを有しており、カセット１０に対してウエハが載置され、またはこれから取り出される際に、ウエハに対する損傷が起こる可能性が低減される。さらに詳しくは、図８に示されるように、仕切り板４０は連続的に変化するスロープを有し、これを使用して、ウエハが水平方向に配向される際に、ウエハが運搬体の中央において中心に置かれるようにされる。スロープは、壁部における垂直方向から、仕切り板のまさしく縁部における完全な水平方向に至る範囲とすることができる。この構成の場合、ウエハは、限定されたスロープを有する仕切り板の部分上に常に載置され、これにより縁部による接触が保証される。ウエハ８０が水平方向に輸送されると、これらの仕切り板４０による構成において、重力によりウエハ８０が中心に置かれるように助成される。一旦中心に置かれたならば、ウエハの垂直方向の位置が精密に特定される。さらに、容器が１つの位置から次の位置へと移動される際に、低レベルの振動により、容器内においてウエハが中心に置かれるように助成が行われる。 Cassette 10 also has a plurality of recesses on inner surface 23 of each side wall 14,16. partition plate 40. Divider 40 extends generally from the top to the middle of upper member 28. Extends to the bottom of member 26 . The partition plate 40 of the side wall portion 14 is that of the side wall portion 16 facing. The partition plate 40 separates the wafers stored in the cassettes. It acts to hold the other wafer in parallel, spaced apart, non-contacting relationship. service The cutting plate 40 has a radius of curvature in the longitudinal direction that reflects the radius of curvature of the wafer. ing. Moreover, the partition plate 40 has a taper in the transverse direction, and the cassette 1 0 for the wafer as it is loaded or unloaded from it. less likely to cause injury. More specifically, as shown in FIG. The partition plate 40 has a continuously varying slope and is used to keep the wafer from water. so that the wafer is centered in the middle of the carrier when oriented horizontally be done. The slope is from the vertical at the wall to the very edge of the partition. up to the full horizontal range. For this configuration, the wafer , always rests on the part of the partition plate with a limited slope, whereby the edge contact is guaranteed. When wafer 80 is transported horizontally, these specifications In the configuration with the cutting plate 40, gravity causes the wafer 80 to be centered. subsidized. Precisely locates the vertical position of the wafer once centered be done. Furthermore, as the container is moved from one position to the next, low level Vibration assists in centering the wafer within the container.

これにより、ウエハの水平位置の正確性並びに垂直位置の正確性が改善されるように補助される。This improves the accuracy of the horizontal position of the wafer as well as the accuracy of the vertical position. subsidized as

この仕切り板の設計によって更なる利点が与えられる。例えば、これにより、与えられた強度について最も小さい可能な断面が与えられる。仕切り板４０は、運搬体に対して挿入および取出しが行われる際に、ウエハのための干渉領域を与えるものである。よって、ウエハ８０が仕切り板４０に当接して粒子を生成する機会が少ないことから、薄い支持体が好適である。また、仕切り板は、ウエハを支持すると共に、容器の寿命に渡って撓みを回避するために十分に強いものとする。 A further advantage is provided by this partition design. For example, this gives The smallest possible cross-section is given for a given strength. The partition plate 40 is Provides an interference area for wafers as they are inserted and removed from the carrier. It is something you can get. Therefore, the wafer 80 comes into contact with the partition plate 40 and generates particles. Thin supports are preferred because they are less likely. In addition, the partition plate separates the wafer be strong enough to support and avoid deflection over the life of the container; be.

それぞれの対の仕切り板４０の間には、ウエハ受容用溝部４２が設けられている。溝部４２の少なくとも後側部の部分は、ウエハの円周の周りのウエハの曲率半径と概して同一の長手方向の曲率半径を有する。この構成は、単一の点におけるものとしてではなく、線に沿うものとして溝部４２によってウエハが支持されることから有利である。このような支持を行うことにより、カセット内におけるウエハの安定性が改善される。また、このような支持を行うことにより、カセット１０がウエハ輸送用具に連結された際に、ウエハが完全に水平になることが確実になるように助成される。カセット１０の側壁部１４、１６は、特定の直径、例えば、３００ｍｍのウエハを受容して保存するために適切な処理で、互いに離間されている。カセットは、あらゆる数のウエハを保持する寸法とすることができる。２つの典型的な構成として、１３枚および２５枚の容量のカセットが挙げられる。仕切り板４０の数は、カセットの容量に依存して変化する。 Wafer receiving grooves 42 are provided between each pair of partition plates 40 . be. At least a portion of the rear side of groove 42 conforms to the curvature of the wafer about the circumference of the wafer. It has a longitudinal radius of curvature that is generally the same as the radius. This configuration is The wafer is supported by groove 42 along a line rather than as It is advantageous because By performing such support, the Wafer stability is improved. Also, by providing such support, the cassette Ensures that the wafer is perfectly horizontal when the carrier 10 is connected to the wafer carrier. assisted to come true. The sidewalls 14, 16 of the cassette 10 have a specific diameter, For example, with appropriate processing to receive and store 300 mm wafers, separated from each other. between Cassettes can be sized to hold any number of wafers. Wear. Two typical configurations include 13 and 25 capacity cassettes. be done. The number of partition plates 40 varies depending on the capacity of the cassette.

仕切り板４０および溝部４２は、好ましくは所定の利点を達成するように配向させるものとする。第１に、これらは、５ｍｍ〜１２ｍｍの範囲の所定のピッチでウエハを保持するように配向させる。第２に、これらは、ウエハの間で３ｍｍ〜８ｍｍのクリアランスを与えるように配向させる。第３に、カセット１０の側壁部１４、１６のそれぞれと、開放された側部２０、２２の平面に並行なウエハの直径におけるウエハの縁部との間で１ｍｍ〜３ｍｍのクリアランスが与えられるものとする。このようなピッチおよびクリアランスを設けることにより、カセット内でウエハが互いに接触しないことが確実となる。また、このようなクリアランスは、カセットがウエハ輸送用具に連結される際に、ウエハのロボットによる挿入および取出しを可能とするのに十分なものである。 The diaphragm 40 and groove 42 are preferably oriented to achieve certain advantages. shall be allowed. First, they have a predetermined pitch ranging from 5 mm to 12 mm. oriented to hold the wafer. Second, they are 3 mm between wafers. Oriented to give ~8 mm clearance. Third, the cassette 10 side Wafer parallel to the plane of each of the walls 14, 16 and the open sides 20, 22 A clearance of 1 mm to 3 mm is provided between the edge of the wafer at the diameter of shall be By providing such a pitch and clearance, the cassette It is ensured that the wafers do not touch each other within the batch. Also clear like this The lances are moved robotically to the wafers as the cassette is coupled to the wafer transporter. sufficient to allow insertion and removal of

この設計の幾つかの独特の特徴は、第１の端部壁部１２の構成に存する。第１の端部壁部１２は、第１のプレート５０と、第２のプレート５２と、通路５６によって分離された複数の架橋部材５４とにより構成される。プレート５０、５２は、架橋部材５４によって互いに離間されて平行に固定的に保持されている。それぞれの通路５６は、第１のプレート５０の一部分と、第２のプレート５２の一部分と、２つの架橋部材５４とによって形成されている。通路５６のそれぞれは、開放された頂部５８と開放された底部６０とを有し、これにより、ウエハの処理またはカセットの浄化の際に、通路５６を介して流体が容易に通過することができる。カセット１０の浄化またはウエハの処理の際に、浄化するのが困難であるか、または流体が捕集もしくは捕獲され得る閉止された隅部等は、通路内には存在しない。 Some unique features of this design reside in the configuration of the first end wall 12 . first The end wall 12 of the first plate 50, the second plate 52 and the passageway 56 Thus, it is composed of a plurality of separated bridging members 54 . plates 50, 52 are spaced apart from each other by a bridging member 54 and fixedly held in parallel. ancestor Each passageway 56 is defined by a portion of the first plate 50 and a portion of the second plate 52. and two bridging members 54 . Each of the passages 56 , has an open top 58 and an open bottom 60 to allow for wafer processing. Fluid can readily pass through the passageway 56 during processing or cleaning of the cassette. can. During cleaning of the cassette 10 or processing of the wafers, it may be difficult to clean. There are no closed corners or the like where fluid can collect or become trapped within the passageway. not exist.

プレート５０は概して平坦である。また、プレート５２も概して平坦であるが、中心部に大きな開口部６４を有する。３つの動的連結溝部６６、６８、７０が、第２のプレート５２の前面に形成され、第１のプレート５０へと向かって後方に延在している。これらの溝部を使用して、ウエハ処理装置のポートのような他の目的物に対するカセットの指標とすることができる。溝部６６、６８、７０は、溝部６６、６８、７０と対合するように設計された目的物上の３つの相補的な突起と共働して、カセット１０の適切な整列配置を達成するものである。当業者であれば、動的溝部６６、６８、７０を設けるための代替的な構成が存在することが理解されよう。例えば、溝部は別々のブロックとして成形することができ、その後これをねじ、ピン、超音波溶接、または接着剤によりプレート５２に取り付けることができる。 Plate 50 is generally flat. Plate 52 is also generally flat, although , has a large opening 64 in the center. Three dynamic coupling grooves 66, 68, 70 are , formed on the front surface of the second plate 52 and rearward toward the first plate 50 extends to These grooves can be used for other purposes such as wafer processing equipment ports. can be used to index the cassette to the object of The grooves 66, 68, 70 are , three complementary grooves on the object designed to mate with grooves 66, 68, 70 Cooperate with the projections to achieve proper alignment of the cassette 10 . person skilled in the art If so, there are alternative arrangements for providing the dynamic grooves 66, 68, 70. It will be understood that For example, the grooves can be molded as separate blocks, It is then attached to plate 52 by screws, pins, ultrasonic welding, or adhesive. can be attached.

この設計を有する前面の壁部１２により、多くの利点が導かれる。第１に、２つのプレート５０、５２と架橋部材５４との組合せにより、壁部の捻れまたは曲げが低減される。第２に、この設計においては、浄化を行うのが極めて容易であり、ウエハの処理の際に流体を容易に廃液することができる。これは、通路５６が、開放された頂部および底部を有するためである。カセット１０内においては、流体の捕集を生起するような閉塞された空間は存在しない。第３に、動的連結溝部６６、６８、７０は、表面上の相補的な突起と対合した場合に、表面上におけるカセット１０の位置決めを簡単にするものである。第４に、必要なプラスチックが少なく、全体的な設計は比較的軽量である。第５に、カセット１０は、プレート５２の開口部６４により、人間の手またはロボット用具によって容易に把持することができる。また、カセット１０は、強化用レール３４、３６により、ロボット用具によって側部から把持することもできる。 A front wall 12 with this design leads to a number of advantages. First, 2 The combination of the two plates 50, 52 and the bridging member 54 allows the wall to twist or bend. brittleness is reduced. Second, this design is extremely easy to clean up. This allows the fluid to be easily drained during wafer processing. This is passage 56 has an open top and bottom. in the cassette 10 , there are no closed spaces that could cause fluid collection. Third, dynamic concatenation Grooves 66, 68, 70 are positioned on the surface when mated with complementary protrusions on the surface. This simplifies the positioning of the cassette 10 in the Fourth, the necessary plastic less hooks and the overall design is relatively lightweight. Fifth, the cassette 10 is An opening 64 in rate 52 allows for easy grasping by a human hand or robotic implement. can have Moreover, the cassette 10 can be It can also be gripped from the side by a robotic tool.

第１の壁部１２の設計は、これを２つの側壁部１４、１６と接合する独特の様式に帰着するものである。第１のプレート５０の下部部分の対向する側部縁部は、対向する側壁部１４、１６のそれぞれの下部部材２５に対して略直角に接合されている。また、プレート５２の対向する縁部も、側壁部１４、１６のそれぞれの上部部材２８に対して接合されている。これは、プレート５２と側壁部の上部部材２８との間に角度を有するパネル５３を設けることによって達成される。プレート５２および上部部材２８の両者に対して角度を有するパネル５３は、全体的な設計を強化するように補助するものである。 The design of the first wall 12 is unique in that it joins the two side walls 14,16. It comes down to the formula Opposite side edges of the lower portion of the first plate 50 are , are joined substantially perpendicularly to the respective lower members 25 of the opposing side wall portions 14, 16. is Opposite edges of plate 52 are also attached to sidewalls 14 and 16, respectively. is joined to the upper member 28 of the . This is the plate 52 and the top of the side wall. This is accomplished by providing an angled panel 53 with member 28 . pu The panel 53, which is angled with respect to both the rate 52 and the top member 28, is It helps to strengthen the design of the product.

カセット１０の第２の壁部１８は、第１の端部壁部１２と同一の設計を有するものとすることができる。しかしながら、第１および第２の端部壁部の両者が、６６、６８、７０のような動的連結溝部を有することは一般に必要ではない。よって、図面においては、第２の端部壁部１８についてはこのような溝部は示していない。 The second wall 18 of the cassette 10 has the same design as the first end wall 12. can be However, both the first and second end walls It is generally not necessary to have dynamic coupling grooves such as 66,68,70. world Thus, in the drawings such grooves are not shown for the second end wall 18. not present.

前記したように、本発明によれば、シリコンウエハの保存および輸送に限定されない多くの利点が与えられる。この発明は、剛性の記憶ディスク、フォトマスク、液晶ディスプレイ、フラットパネルディスプレイ、基板等を保存して輸送するために成功裏に使用することができる。ここに開示したカセットに対して、ここに記載する特許請求の範囲によって特定されるように意図する本発明から逸脱することなく、種々の改変および付加を行うことができる。 As noted above, the present invention is limited to the storage and transportation of silicon wafers. It offers many advantages that are not available. The invention is a rigid storage disk, a photomass storage and transportation of racks, liquid crystal displays, flat panel displays, substrates, etc. can be used successfully for For the cassette disclosed herein, this Deviating from the invention intended to be defined by the claims set forth herein Various modifications and additions can be made without modification.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ギャラガー、ガリーアメリカ合衆国、コロラド州 80906 コロラドスプリングス、オータムリッジサークル 440エフ (72)発明者グレガーソン、バリーアメリカ合衆国、ミネソタ州 55331 ディープヘイブン、エクセルシオールブールバード 19550──────────────────────────────────────────────────── ──── continuation of the front page (72) Inventor Gallagher, Gully United States, Colorado 80906 Lorad Springs, Autumn Ridge circle 440 f (72) Inventor Gregerson, Barry United States, Minnesota 55331 DE Deephaven, Excelsior Boo rubard 19550

Claims

【特許請求の範囲】[Claims]

１．複数の対象物を保持するためのカセットであって、（ａ）第１の開放された側部と、（ｂ）第２の開放された側部と、（ｃ）第１の側壁部および第２の側壁部であって、前記側壁部のそれぞれは、内側表面と前記内側表面から内方に延在する複数の仕切り板とを有し、前記第１および第２の側壁部は共働して、前記第１および第２の側壁部によって支持されるそれぞれの対象物が、前記複数の対象物の他のそれぞれに対して平行で離間した非接触の関係となるように、カセット内の複数の対象物を支持する第１の側壁部および第２の側壁部と、（ｄ）前記側壁部とそれぞれ一体的に形成された第１の端部壁部および第２の端部壁部であって、前記第１の端部側壁部が、（ｉ）第１のプレートと、（ii）第２のプレートと、（iii）前記第１のプレートおよび前記第２のプレートを互いに離間して平行に固定的に保持するように設計された複数の架橋部材と、（iv）複数の通路であって、それぞれの通路は、前記第１のプレートの一部分と、前記第２のプレートの一部分と、一対の前記複数の架橋部材とによって形成され、それぞれの通路は、開放された頂部と開放された底部とを有し、これにより流体が前記通路を介して容易に通過することができ、内部に捕獲されることのない複数の通路とを有する第１の端部壁部および第２の端部壁部とを備えることを特徴とするカセット。 1. A cassette for holding a plurality of objects, (a) a first open side; (b) a second open side; (c) a first sidewall portion and a second sidewall portion, each of said sidewall portions comprising: having an inner surface and a plurality of partitions extending inwardly from the inner surface; and a second sidewall cooperatively supported by said first and second sidewalls each object parallel to and spaced apart from each other of said plurality of objects; a first side wall supporting a plurality of objects in the cassette in non-contacting relationship; a portion and a second sidewall portion; (d) a first end wall portion and a second end wall portion each integrally formed with said side wall portion; an end wall, the first end sidewall comprising: (i) a first plate; (ii) a second plate; (iii) the first plate and the second plate spaced apart and parallel to each other; a plurality of bridging members designed to securely hold the (iv) a plurality of passages, each passage being a portion of said first plate; and a portion of the second plate and a pair of the plurality of bridging members and each passageway has an open top and an open bottom, whereby fluid can readily pass through said passageway and be prevented from being trapped therein; with no multiple aisles a first end wall and a second end wall having A cassette comprising:

２．請求項１記載のカセットにおいて、前記第２のプレートが大きな中心の開口部を有することを特徴とするカセット。 2. 2. The cassette of claim 1, wherein said second plate has a large central opening. A cassette characterized by having a mouth.

３．請求項１記載のカセットにおいて、他の目的物に対してカセットを動的に位置決めするための第１の組の少なくとも３つの溝部をさらに備えることを特徴とするカセット。 3. 2. The cassette of claim 1, wherein the cassette is dynamically moved with respect to other objects. further comprising a first set of at least three grooves for positioning cassette.

４．請求項１記載のカセットにおいて、前記第２の端部側壁部が、同様に（ａ）第１のプレートと、（ｂ）第２のプレートと、（ｃ）前記第１のプレートおよび前記第２のプレートを互いに離間して平行に固定的に保持するように設計された複数の架橋部材と、（ｄ）複数の通路であって、それぞれの通路は、前記第１のプレートの一部分と、前記第２のプレートの一部分と、一対の前記複数の架橋部材とによって形成され、それぞれの通路は、開放された頂部と開放された底部とを有し、これにより流体が前記通路を介して容易に通過することができ、内部に捕獲されることのない複数の通路とを有することを特徴とするカセット。 4. 2. The cassette of claim 1, wherein said second end sidewall also includes a (a) a first plate; (b) a second plate; (c) placing said first plate and said second plate spaced apart and parallel to each other; a plurality of bridging members designed to hold fixedly; (d) a plurality of passages, each passage being a portion of said first plate; and a portion of the second plate and a pair of the plurality of bridging members and each passageway has an open top and an open bottom, whereby fluid can readily pass through said passageway and be prevented from being trapped therein; with no multiple aisles A cassette characterized by comprising:

５．請求項４記載のカセットにおいて、前記第１の端部壁部の前記第２のプレートおよび前記第２の端部壁部の前記第２のプレートのそれぞれが、大きな中央の開口部を有することを特徴とするカセット。 5. 5. The cassette of claim 4, wherein said second plate of said first end wall. Each of the plate and the second plate of the second end wall has a large central A cassette, characterized in that it has an opening of

６．請求項３記載のカセットにおいて、第２の組の少なくとも３つの溝部をさらに備え、前記第１の組または前記第２の組のいずれかを使用して、他の目的物に対してカセットを動的に位置決めすることが可能なことを特徴とするカセット。 6. 4. The cassette of claim 3, wherein the second set of at least three grooves is further Further, using either said first set or said second set, other objects A cassette characterized in that it is possible to dynamically position the cassette with respect to .

７．請求項１記載のカセットにおいて、前記側壁部のそれぞれが、下部部材と、中間部材と、上部部材とを有することを特徴とするカセット。 7. 2. The cassette of claim 1, wherein each of said sidewalls includes a lower member and , a middle member and a top member.

８．請求項７記載のカセットにおいて、それぞれの側壁部の上部部材が、外方に突出する一対のレールを有することを特徴とするカセット。 8. 8. The cassette of claim 7, wherein the top member of each side wall is outwardly A cassette comprising a pair of rails projecting from the bottom.

９．請求項７記載のカセットにおいて、それぞれの前記側壁部の下部部材が、それぞれの前記端部壁部の第１のプレートに直接取り付けられていることを特徴とするカセット。 9. 8. The cassette of claim 7, wherein the bottom member of each sidewall comprises: attached directly to the first plate of each said end wall cassette.

１０．請求項７記載のカセットにおいて、それぞれの側壁部の上部部材をそれぞれの端部壁部の第２のプレートに取り付けるために、それぞれの側壁部の上部部材の対向する端部に、別々のパネルが設けられていることを特徴とするカセット。 10. 8. The cassette of claim 7, wherein the top member of each side wall is top of each side wall for attachment to the second plate of each end wall A cassette characterized in that separate panels are provided at opposite ends of the members. door.

１１．請求項１記載のカセットにおいて、対象物を受容する溝部が、前記複数の仕切り板の対によって形成され、それぞれの溝部の後側部の一部分が、対象物の円周においてカセット内に保持された対象物の曲率半径と概して同一の、溝部の長手方向における曲率半径を有することを特徴とするカセット。 11. 2. The cassette of claim 1, wherein said object-receiving groove comprises said plurality of partition plates, and a portion of the rear side of each groove is formed by the object groove, generally identical to the radius of curvature of the object held in the cassette at the circumference of A cassette having a radius of curvature in the longitudinal direction of .

１２．請求項１記載のカセットにおいて、前記仕切り板の少なくとも幾つかが、ウエハに対する支持を助成するために連続的に変化するスロープを有することを特徴とするカセット。 12. 2. The cassette of claim 1, wherein at least some of said dividers are , having a continuously varying slope to aid support for the wafer A cassette characterized by