JPH1146486A - 振動アクチュエータおよび振動アクチュエータにおける振動体の締結部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】振動アクチュエータの効率等の改善を図ろうと
するものでる。 【解決手段】 締結部材１により電気−機械エネルギー
変換素子４を弾性体５間に挟持固定し、前記弾性体５に
駆動波が形成される振動体と、前記振動体の弾性体５に
対して加圧接触する移動体８とを有した振動アクチュエ
ータにおいて、前記締結部材１にはその中心部に出力軸
２が貫通する貫通孔１ａが軸方向に沿って形成され、前
記出力軸２に前記移動体８が結合している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は出力軸を有する振動
波モータなどの振動アクチュエータおよび振動アクチュ
エータにおける振動体の締結部材の製造方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】振動アクチュエータとしての棒状振動波
モータは、弾性体間に電気−機械エネルギー変換素子と
しての圧電素子を挟持した振動体と、この振動体の例え
ば端面の駆動面に加圧接触す回転体とを基本的構成とし
て有し、出力軸を有するタイプとしては、特開平１−２
５２１７８号公報に開示されている。この出力軸を有す
るタイプの棒状振動波モータは、図５に示すように、外
側ケース１９０内に棒状振動体１８０が配置され、振動
体１８０の他端部を底蓋１３５に支持している。外側ケ
ース１９０の一端部には２つのベアリング１４０が設け
られ、ベアリング１４０に回転体１１３に固定の出力軸
１１３’を支持する構造になっている。振動体１８０の
一端側には、リテーナ１０９，１１１，１１４で支持さ
れたボール１１０，１１２，１１５が順次積み重ねら
れ、ばね１３８で回転体１１３がボール１１５に圧接さ
れ、またばね１３８の一端はケース１９０に装着された
スラストベアリング１３９で支持されている。そして、
振動体１８０の圧電素子に駆動信号を印加すると、振動
体は上記のボールを回転させ、回転体１１３が回転して
出力軸１１３’も回転する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では出力軸を振動体の片側にのみ配置しているた
め、該出力軸を支持する２つの軸受の間の距離が短くな
っている。一方、該出力軸には一般にギヤ、プーリー等
の回転力伝達部材が取り付けられる。そして、外部より
前記回転力伝達部材に負荷が与えられると、前記出力軸
には側力が加わり、該出力軸に傾きを生じる。その結
果、前記摩擦摺動面は偏荷重を受けることになり、均一
な摩擦駆動力を生じなくなり、モータ効率の低下、騒音
の発生、摩擦材料の偏摩耗により寿命低下を引き起こ
す。

【０００４】本出願に係る発明の目的は、振動アクチュ
エータの効率等の改善を図ろうとするものでる。

【０００５】本出願に係る他の目的は、簡単に振動アク
チュエータにおける振動体の中空の締結部材を得ること
ができる製造方法を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する第１の構成は、締結部材により電気−機械エ
ネルギー変換素子を弾性体間に挟持固定し、前記弾性体
に駆動波が形成される振動体と、前記振動体の弾性体に
対して加圧接触する接触体とを有した振動アクチュエー
タにおいて、前記締結部材にはその中心部に出力軸が貫
通する貫通孔が軸方向に沿って形成され、前記出力軸に
前記移動体が結合していることを特徴とするものであ
る。

【０００７】本出願に係る発明の目的を実現する第２の
構成は、締結部材により電気−機械エネルギー変換素子
を弾性体間に挟持固定し、前記弾性体に駆動波が形成さ
れる振動体と、前記振動体の弾性体に対して加圧接触す
る接触体と、前記振動体および移動体を覆うケース部材
とを有した振動アクチュエータにおいて、前記締結部材
にはその中心部に出力軸が貫通する貫通孔が軸方向に沿
って形成され、前記出力軸に前記移動体が結合され、前
記振動体と前記ケース部材とは薄板の支持部材を介して
支持されていて、前記支持部材が前記弾性体に挟持され
ている部分を振動体の外径よりも小径としていることを
特徴とするものである。

【０００８】本出願に係る発明の目的を実現する第３の
構成は、上記した第１の構成において、前記支持部材
は、前記締結部材により挟持固定された部分以外の面に
孔が設けられていることを特徴とするものである。

【０００９】本出願に係る発明の目的を実現する第４の
構成は、上記したいずれかの構成において、前記振動体
の軸方向の両端部にそれぞれ移動体が設けられているこ
とを特徴とするものである。

【００１０】本出願に係る発明の目的を実現する第５の
構成は、上記したいずれかの構成のいて、前記振動子と
前記移動体との間に、出力軸に固定されたファンが設け
られていることを特徴とするものである。

【００１１】本出願に係る発明の目的を実現する第６の
構成は、上記したいずれかの構成において、前記出力軸
の軸受け部材は、前記振動体の軸方向の両側に設けられ
ていることを特徴とするものである。

【００１２】上記した構成では、従来の振動アクチュエ
ータの片側に２つ配置していた軸受を、振動体の軸方向
の両側にそれぞれ配置することができ、出力軸の倒れは
最小限に抑えられる。

【００１３】本出願に係る他の目的を実現する構成は、
振動アクチュエータにおける振動体の中空の締結部材の
素材となる中空パイプ材の中空孔部の内周面または治具
として前記中空パイプ材の孔部に遊嵌される治具として
の棒状部材の表面にりん酸亜鉛潤滑皮膜処理が行われて
いて、前記中空パイプ材の孔部に治具としての棒状部材
を遊嵌し、これを所定形状に圧造後に加熱し、前記りん
酸亜鉛潤滑皮膜処理の潤滑成分を溶かして前記棒状部材
を形成品から取り出して締結部材を得るようにしたこと
を特徴とする振動アクチュエータにおける振動体の中空
の締結部材の製造方法としたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】

（第１の実施の形態）図１は第１の実施の形態を示す。

【００１５】図１において、電気−機械エネルギー変換
素子としての円環形状の圧電素子４及び図２に詳細を示
す支持部材３を２つの弾性体としての棒状の中空金属部
材５，６で挟み、締結部材としての中空ボルト１とナッ
ト７により挟持固定して振動体を構成している。

【００１６】本実施の形態の振動体は、２つの曲げ振動
を合成して、首ふり運動を生じさせる形式のものであ
り、その駆動原理については特開平０３−０１１９８１
号公報等に記載のように周知であるため、その説明は省
略する。但し、該振動体は２つの曲げ振動だけでなく、
例えばねじれと縦振動を合成するものでもよい。振動体
の軸心部にボルトが貫通していて、圧電素子を該ボルト
にて挟持固定するものであるなら、本実施の形態と同様
の効果を発揮できる。

【００１７】本実施の形態の振動体は、圧電素子４と同
時に支持部材３が挟持されて構成されている。支持部材
３は、図２に示すように円板形状に形成され、その外周
部が外側のケース１５及び１６の突き合わせ面に接合さ
れている。

【００１８】支持部材３の役割は、振動体を固定するこ
とと、振動体で発生する振動を前記ケース１５，１６に
伝達しないようにすることである。そのため、支持部材
３は適当な厚さを有している。薄すぎると固定の役割を
十分には果たせず、振動体がその空間位置を決められ
ず、移動体側の摩擦部材８ａと振動体側の摩擦部材５ａ
との摩擦接触が不安定になり、移動体８への摩擦伝達効
率が低下し、騒音発生、モータ効率低下の原因になる。

【００１９】一方、支持部材３が厚すぎると、振動体の
振動を制圧することになり、電気エネルギーから機械エ
ネルギーへの変換効率の低い振動体になってしまう。さ
らに、振動体の振動がケース１５，１６に伝達してしま
う。ケース１５，１６に振動が発生している状態では、
該振動アクチュエータを取り付けた装置などにその影響
が及んでしまう。以上の理由により、支持部材３は前記
した役割に対して、効果を発生するように設計されたも
のである必要がある。

【００２０】本実施の形態において、支持部材３は、図
２に示すように、中心部に中心孔３ａが形成され、さら
に同心上に弧上の長孔３ｂ、３ｃが４５度の位相差を有
して形成されている。また、最外周の長孔３ｃよりも外
周の部分３ｄがケース１５と１６との接合部分であり、
中心孔３ａと長孔３ｂとの間の部分３ｅが弾性体６と圧
電素子４との挟持部分である。

【００２１】そして、長孔３ｂ、３ｃにより、しっかり
した固定が必要な方向には剛性が高く、振動体が振動す
る方向には柔らかくなっている。又、振動以外にも、移
動体の回転によるねじれ反力に対しても充分剛くなって
いる必要がある。

【００２２】さらに、振動体の振動に対して、支持部材
３が共振を生じる現象（サージング）も避けなければな
らない。但し、該孔形状は振動体を支持する位置によっ
てもその最適形状は変化する。例えば、振動体の振動の
腹の位置付近に支持部材３を設ける時は、支持部材３は
放射方向に対して柔らかい必要がある。

【００２３】一方、節の位置付近に支持部材３を設ける
時は、支持部材３の板厚方向に対して柔らかい必要があ
る。以上の考慮をして、支持部材３を設計した上で、さ
らに振動体の振動をケースに伝達させないという目的
を、より完全に達成するのもよい。

【００２４】この目的のために、図示はしていないが、
該支持部材３とケース１５及び１６の間に振動減衰能力
の高い部材をはさみ込むことが効果ある。該振動減衰能
力の高い部材としては、ゴム、フェルト及び樹脂等があ
る。

【００２５】さらに支持部材３自身が振動減衰能力の高
い部材で作られていても良い。又、支持部材３と前記ケ
ースとの接合は電気抵抗溶接で行ったが、レーザ溶接、
電子ビーム溶接、ろう付け、接着剤による接合でも良
い。

【００２６】次に挟持用ボルト１には、マルテンサイト
系ステンレス製の出力軸２が通るため貫通孔１ａが中心
に形成されている。本実施の形態では、挟持用ボルト１
の頭部１ｂは弾性部材５の孔部５ｂに対して隙間ばめを
設けているが、圧入でも良い。又、ボルト１が弾性部材
５に対して回転することを防ぐため、ボルトまたは金属
部材の内径あるいはその両方にスプライン、二面取りな
どの回り止めを設けたものでもよい。本実施の形態では
ナット７を締める時、ボルト１が回転しないように、ボ
ルト１の頭部１ｂに軸力を与え、ボルト１の頭部１ｂと
弾性部材５との間に摩擦力を発生させている。弾性部材
５の端部には摩擦摺動部材５ａが接合されている。

【００２７】ボルト１の貫通孔１ａを貫通する出力軸２
は、ケース１５側に移動体８が取り付けられ、ケース１
６側にエンコーダの回転体１３が取り付けられている。
移動体８と皿バネ９との間にブチルゴム１８が接着され
ており、また皿バネ９は出力軸２に圧入された黄銅製の
かしめ部材１２に中心部がかしめ方式で固定され、移動
体８の摩擦摺動部材８ａを弾性体５の摩擦摺動部材５ａ
に対して加圧接触させる。

【００２８】そして、圧電素子４に不図示の駆動回路よ
り駆動信号としての交番信号が印加されると、位相の異
なる２つの曲げ振動が励起され、その合成により形成さ
れる進行波としての駆動波が弾性体５の摩擦摺動部材５
ａに形成され、その振動変位は、摩擦力を介して移動体
８側のばね性を有する摩擦摺動部材８ａに伝達され、移
動体８は回転運動を行う。その際、皿バネ９と移動体８
の間にはブチルゴム１８が接着されているので、移動体
８側の摩擦摺動部材８ａが回転すれば、ガタを生じるこ
となく出力軸２は回転する。なお、移動体側摩擦摺動部
材８ａは、ステンレスの薄板をプレス加工することによ
り作られている。

【００２９】一方、移動体８とは反対の出力軸２には、
出力軸２に設けられたくびれ部に止めリング１７がはめ
られており、止めリング１７とかしめ部材１２との間を
所定の距離とすることで、皿バネ９に一定の変位を生じ
させ、振動体側の摩擦部材５ａに対して摩擦摺動部材８
ａが所定の圧接力で加圧接触するようになっている。な
お、外側ケース１５に同軸的に固定されている軸受１１
はステンレス焼結部材に潤滑油を含浸したものを使用
し、摩擦抵抗を減じている。黄銅でもステンレス軸との
相性はよい。また、ポリアセタールなどの樹脂を使用し
てもよい。また、外側ケース１６にはベアリング１０が
同様に固定されている。ベアリング１０の軸方向には、
前記した圧接力の反力が加わっているため、摩擦抵抗を
減じる手段としてボールベアリングを使用している。勿
論、スラストベアリングを使用してもよい。

【００３０】ベアリング１０の近傍には、回転位置を検
出するためのエンコーダ部品である回転板１３が出力軸
２に固定されている。回転板１３には放射方向に多数の
孔があけられており、ケース１６に固定されているフォ
トインターラプター１４からの光の遮断と通過によっ
て、該回転をカウントすることで位置を検出する。な
お、フォトインターラプター１４はファイバー型の細い
光線が得られるものなら、分解能が向上し、位置決め精
度も高められるのでさらに望ましい。

【００３１】ここで、本実施の形態で採用したボルト１
の製造方法について説明する。切削加工で作る場合な
ら、丸棒の軸心にドリルで貫通孔を加工するか、パイプ
材を切削しても良い。しかし、本実施の形態で採用した
製造方法は圧造（鍛造の一種、ヘッダ加工とも言う）と
転造を組み合わせたものである。

【００３２】この方法によると、切削困難なじん性の高
い材料、例えば、ニッケル−クロム−モリブデン鋼など
も加工可能である。しかも、引き抜き加工で軸方向に延
びた繊維組織を切断することなく、また塑性加工と熱処
理を組み合わせることで、結晶粒が微細化するので強靭
なボルトができる。本実施の形態の中空ボルトはこの塑
性加工で製造している。

【００３３】この方法を図３に示す。素材としてはパイ
プ材Ｐと、その孔部Ｐ１に隙間をもって入る丸棒Ｄを用
意する。丸棒Ｄ又はパイプ材Ｐあるいは両方にはそれら
の表面にりん酸亜鉛潤滑皮膜処理（ＴＲＡＤＥ ＭＡＲ
Ｋ ボンデ処理）を施しておく。

【００３４】その上で、図３の（ａ）〜（ｂ）に示すよ
うに、丸棒Ｄをパイプ材Ｐの孔部Ｐ１に挿入する。次
に、図３の（ｃ）に示すように、丸棒Ｄが挿入され状態
でのパイプ材Ｐを所定の長さに切断した上、図３の
（ｄ）に示すように、金型を用いて圧造してボルト頭部
１ｂを形成する。その後、該形成品を熱すると前記した
りん酸亜鉛潤滑皮膜処理の潤滑成分が溶けるため、図３
の（ｅ）に示すように、変形した丸棒素材を簡単に形成
品から取り出すことができ、図３の（ｆ）に示すよう
に、最後に転造加工によりネジ山を形成して、形状が出
来上がる。なお、防錆はニッケルメッキにより行った
が、黒染めなどでも良い。

【００３５】本実施の形態では、従来の棒状振動波モー
タの振動体における圧電素子を挟持する弾性体間固定す
る締結部材としての中実ボルトを中空ボルトに代えるだ
けの変更で、出力軸を振動体に貫通させることができる
ようになる。

【００３６】その上、締結部材としてのボルトには耐ね
じり応力が必要であるが、中心付近の部材は該応力低減
に対してほとんど寄与しておらず、本実施の形態の孔あ
きボルトであることで不利な点はほとんどない。

【００３７】また、そのことは曲げ応力についても同様
で、振動体の設計にもほとんど影響を及ぼさないので、
中実ボルトを使用して設計された振動体をそのまま中空
ボルトに置き換えればよい。

【００３８】（第２の実施の形態）図４は第２の実施の
形態を示す。

【００３９】本実施の形態における振動体は、圧電素子
４を中空で内周部にめねじ部が形成された同形状のネジ
付き弾性部材５の間にはさみ込み、ステンレスパイプを
切削加工し、両端部の外周にネジ部を形成して得られた
締結部材としての中空ボルト１を両ネジ付き弾性部材５
のめねじ部に螺着させることにより挟持固定した構成と
している。

【００４０】本実施の形態の圧電素子４の外形は両弾性
部材５の外径より小径に形成されていて、圧電素子４と
片方の弾性体５との間には、円錐台形状に形成された支
持部材３０の小径フランジ部３０ａが挟持されている。
このように、支持部材３０の小径フランジ部３０ａは、
挟み込まれて固定されている部分が小径部であるため、
振動体の振動を拘束しにくく、限られた空間の中におい
て支持部材３０の挟持固定されていない部分を広く確保
できるので、支持部材３０の設計自由度が増すという効
果がある。

【００４１】一方、支持部材３０の大径側の筒部３０ｂ
は、外側ケース１５，１６の嵌合形式の接合部に挟まれ
て固定されている。

【００４２】外側ケース１５はプレス絞り加工の後、飲
料缶などの製法で用いられる口をつぼめる加工を施して
ある。支持部材３０が外側ケースに挟み込まれている部
分である大径側の筒部３０ｂには、接着剤が塗布され、
ケースがはずれないようにしている。

【００４３】外側ケース１５及び１６の底板部の中心部
には、中空ボルト１を貫通する出力軸２を軸支する含油
樹脂製の軸受１１がそれぞれ圧入されている。軸受１１
には、第１の実施の形態の時のような軸方向の力が掛か
らない構造になっているので、特にボールベアリングの
ような高級な軸受けを要しない。

【００４４】本実施の形態において、振動体の両側には
それぞれ移動体８が配置され、移動体の各弾性体５に対
して各移動体８ごとに設けた加圧用コイルバネ１９によ
り加圧接触している。

【００４５】前記移動体８の中心部に装着されているコ
イルバネ１９は、出力軸２に圧入のかしめ回り止め部材
２０により一端側の位置が規制されて加圧力を移動体８
に付与している。また、かしめ回り止め部材２０は、そ
の外周部には２面取り、スプラインなどの回り止めが設
けられているので、移動体８と出力軸２は軸方向には相
対的位置を移動できるが、同軸方向に対しては一体とな
って動くようになっている。

【００４６】又、出力軸２には２つのファン２１が圧入
されており、出力軸２の回転とともに回転するようにな
っている。ファン２１は移動体８と弾性体５との間に設
けられることで、前記摩擦摺動面に発生する摩耗粉を、
該ファン２１で発生する風により外側ケースの内壁に付
着するようにしている。このように、摩耗粉を排除し
て、それを機能上影響ないところへ付着させることで、
安定した摩擦力を維持し、研磨材として作用する摩耗粉
による摩耗促進を抑え、かつ軸受け可動部や前記かしめ
部材と移動体との間の狭い隙間に該摩耗分が堆積して、
軸受けや加圧機能を阻害することがない。

【００４７】また、出力軸２の回転によって、ファン２
１は軸方向にも風を送るようにしており、これにより振
動体を冷却している。このとき、２つのファン２１の向
きは同じ方向にしているので、空気の流れは貫通孔を通
して一定の方向になるようにして、冷却効果を高めてい
る。この事も、ボルトに孔が貫通しているため得られる
効果になっている。

【００４８】さらに、本実施の形態では１つの出力軸２
に同軸に２つの移動体８が取り付けられているため、移
動体８が１つの時に比べて２倍のトルクが容易に得られ
ることとなる。高トルクが最大の特徴である振動波モー
タとしては、この構成は非常に効果的である。

【００４９】従来の振動波モータでは、１つの振動体に
対して移動体は１つであったが、本実施の形態では振動
体の両側に２つの移動体１２を設け、かつ前記２つの移
動体を同じ出力軸に結合することで、移動体が１つのモ
ータに比べて次の様な効果がある。

【００５０】：起動トルクが約２倍になる。摩耗等の
関係で前記圧接力に制限があるが、該圧接力を同等にし
た場合、出力軸には２倍のトルクを生じる。

【００５１】：回転ムラが小さくなる。回転ムラは通
常前記圧接部の不安定な接触状態から生じる。そして、
その不安定な接触状態は、摩擦面の平面度や振動体の振
動が軸心を中心にして真円になっていない事などが原因
である。これらが加工精度の因子が主原因であるので限
界がある。しかし、移動体が２つの場合、前記それぞれ
の不安定な接触状態が相殺されるので回転ムラが小さく
なる。

【００５２】：振動体の内部損失が減少して、モータ
の効率が向上する。移動体が１つの場合は、移動体が設
けられていない振動体の端部は自由に振動して、その振
動減衰によってエネルギーを消費している。今、移動体
が２つあるモータが、移動体が１つのモータの２倍の出
力を発生する時を考える。これはトルクが２倍で回転数
が同じ時を考えると理解しやすい。その時、振動体の内
部損失は同等になる。よって、全体の効率は向上するこ
とになる。

【００５３】なお、弾性体５には摩擦摺動部材５ａが接
合され、移動体８には摩擦部材８ａが嵌合方式で設けら
れ、両部材５ａと８ａが接触するようにしている。ま
た、本実施の形態の摩擦部材８ａは第１の実施の形態の
場合とは異なり、素材の板材の板厚部を摩擦摺動面とは
しておらず、摩擦摺動面積を広く確保できるように、板
面部を折り曲げて、該曲げ部の凸部をラップ加工した上
で、摩擦摺動面としている。

【００５４】この方法で移動体８側の摩擦摺動部８ａを
形成すると、移動体８の摩擦部材８ａを振動体側の摩擦
摺動部材５ａに圧接する力を大きくすることが可能とな
る他、摩擦摺動面の角部が鋭利にならず、相手の振動体
側の摩擦摺動部材５ａを削って摩耗の進行を速めること
がない。なお、以上説明した摩擦摺動部材の構成につい
ては、振動体側と移動体側を入れ替えても成り立つのは
言うまでもない。

【００５５】

【発明の効果】請求項１〜６に係る発明によれば、圧電
素子などの電気−機械エネルギー変換素子を弾性体で挟
持固定する形式の振動アクチュエータにおいては、締結
部材、例えばボルトに貫通孔をあけ、該貫通孔に出力軸
を通すことにより、該出力軸を離れた２箇所で支持する
構造にすることができる。しかも、既存の振動体の設計
を変えずに、単に締結部材としてのボルトを穴あきのも
のに換えるだけで済むことになる。そのため、出力軸が
外力によりその姿勢を変化させ、移動体と振動体との摩
擦摺動部の接触状態を不安定にさせない。

【００５６】よって、アクチュエータ出力の安定、摩擦
摺動部材の被摩耗量低減、及び騒音発生低減を図ること
ができた。

【００５７】また、請求項２に係る発明では、前記振動
体を支持する支持部材が、前記振動体の外径よりも小径
部分で挟持固定されているため、前記振動体の振動を阻
害しにくい設計が可能になる。

【００５８】この事は、請求項３に係る発明のように、
前記支持部材において、前記した挟持固定部以外に孔を
設けることで、さらに設計の自由度が増す。

【００５９】また、請求項４に係る発明では、移動体が
振動体の両端部２箇所に設けられていることで、高トル
クのモータを実現できる。また、安定した滑らかな回転
が得られる。

【００６０】さらに、請求項５に係る発明では、移動体
と振動体との間に風力発生用のファンを設けたことで、
摩耗粉排除作用の増進と冷却効果が得られるため、アク
チュエータの性能安定、耐久性向上が出来、より高温で
の使用を可能にし、効率向上も図れた。

【００６１】請求項７に係る発明によれば、簡単に振動
アクチュエータの振動体の締結部材を製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態を示す断面図。

【図２】図１の支持部材の平面図。

【図３】（ａ）〜（ｆ）は図１の中空ボルトの製造工程
を示す図。

【図４】第２の実施の形態を示す断面図。

【図５】従来の振動アクチュエータを示す断面図。

【符号の説明】

１…中空ボルト ２…出力軸 ３…支持部材 ４…圧電素子 ５，６…金属部材 ５ａ…振動体側摩擦部材 ７…ナット ８…移動体 ８ａ…移動体側摩擦部材 ９…加圧皿バネ １０…ボールベアリング １１…軸受 １２…かしめ部材 １３…エンコーダ回転板 １４…エンコーダフォトインターラプター １５，１６…外側ケース １７…止めリング １８…防振ゴム １９…加圧用コイルバネ ２０…かしめ回り止め部材 ２１…ファン

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 締結部材により電気−機械エネルギー変
   換素子を弾性体間に挟持固定し、前記弾性体に駆動波が
   形成される振動体と、前記振動体の弾性体に対して加圧
   接触する接触体とを有した振動アクチュエータにおい
   て、 前記締結部材にはその中心部に出力軸が貫通する貫通孔
   が軸方向に沿って形成され、前記出力軸に前記移動体が
   結合していることを特徴とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 締結部材により電気−機械エネルギー変
   換素子を弾性体間に挟持固定し、前記弾性体に駆動波が
   形成される振動体と、前記振動体の弾性体に対して加圧
   接触する接触体と、前記振動体および移動体を覆うケー
   ス部材とを有した振動アクチュエータにおいて、 前記締結部材にはその中心部に出力軸が貫通する貫通孔
   が軸方向に沿って形成され、前記出力軸に前記移動体が
   結合され、前記振動体と前記ケース部材とは薄板の支持
   部材を介して支持されていて、前記支持部材が前記弾性
   体に挟持されている部分を振動体の外径よりも小径とし
   ていることを特徴とする振動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記支持部材は、前記締結部材により挟
   持固定された部分以外の面に孔が設けられていることを
   特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記振動体の軸方向の両端部にそれぞれ
   移動体が設けられていることを特徴とする請求項１、２
   または３に記載の振動アクチュエータ。
5. 【請求項５】 前記振動子と前記移動体との間に、出力
   軸に固定されたファンが設けられていることを特徴とす
   る請求項１、２、３または４に記載の振動アクチュエー
   タ。
6. 【請求項６】 請求項１、２、３、４または５におい
   て、前記出力軸の軸受け部材は、前記振動体の軸方向の
   両側に設けられていることを特徴とする振動アクチュエ
   ータ。
7. 【請求項７】 振動アクチュエータにおける振動体の中
   空の締結部材の素材となる中空パイプ材の中空孔部の内
   周面または治具として前記中空パイプ材の孔部に遊嵌さ
   れる治具としての棒状部材の表面にりん酸亜鉛潤滑皮膜
   処理が行われていて、前記中空パイプ材の孔部に治具と
   しての棒状部材を遊嵌し、これを所定形状に圧造後に加
   熱し、前記りん酸亜鉛潤滑皮膜処理の潤滑成分を溶かし
   て前記棒状部材を形成品から取り出して締結部材を得る
   ようにしたことを特徴とする振動アクチュエータにおけ
   る振動体の中空の締結部材の製造方法。