JPH1140815A - 半導体装置およびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
うる新しい構造の半導体装置を提供する。 【解決手段】 絶縁表面を有する基板106上の結晶半
導体薄膜を利用した半導体装置において、活性領域10
2に局部的な不純物注入を施し、ピニング領域104を
形成する。このピニング領域104はドレイン側からの
空乏層の広がりを抑止し、短チャネル効果を効果的に防
止する。また、チャネル形成領域105は真性または実
質的に真性であるので高いモビリティが実現される。
Description
結晶性半導体薄膜を利用した半導体装置、特に絶縁ゲイ
ト型の薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TF
T)の構成に関する。また、TFT等で構成された半導
体回路または表示装置或いはそれらを複合化した電気光
学装置等の構成に関する。
回路、電気光学装置および電子機器を全て「半導体装
置」の範疇に含めて扱う。即ち、半導体特性を利用して
機能しうる装置を全て半導体装置と呼ぶ。従って、上記
特許請求の範囲に記載された半導体装置は、TFT等の
単体素子だけでなく、それを集積化した半導体回路や電
気光学装置およびそれらを部品として搭載した電子機器
をも包含する。
非常に速い速度で進められている。当初はアクティブマ
トリクス型表示装置の画素スイッチとして利用されてい
たが、膨大な研究によって飛躍的に性能が向上し、現在
では従来のICに匹敵する性能を有する集積化回路を形
成しうる段階にまで到達している。
積度向上を求めて素子サイズが微細化の一途を辿る傾向
にある。この流れはTFTにおいても同様であり、現在
では、チャネル長(L)が1μm以下、さらには 0.2μ
m以下といったTFTが求められる様になっている。
を妨げる要因として短チャネル効果という現象が知られ
ている。短チャネル効果とは、チャネル長が短くなるに
つれて引き起こされるソース/ドレイン間耐圧の低下、
しきい値電圧の低下などの諸問題である(サブミクロン
デバイスI;小柳光正他,pp88〜138 ,丸善株式会社,
1987参照)。
としてパンチスルー現象が最もよく知られている。この
現象は、チャネル長が短くなることでドレイン側空乏層
の電位的な影響がソース側に及び、ソース側の拡散電位
が下げられる(ドレイン誘起障壁低下現象)ことでゲイ
ト電圧によるキャリアの制御が困難な状況になる現象で
ある。
も同様に問題となり、微細化を行う上で乗り越えなくて
はならない課題となっている。ここで短チャネル効果の
発生機構について図2の簡略図を用いて説明する。
する基板、202はソース領域、203はドレイン領
域、204は一対の低濃度不純物領域(LDD領域)、
205はチャネル形成領域である。これらの領域202
〜205は結晶性半導体層で構成されている。また、2
06はゲイト絶縁膜、207はゲイト電極である。
4に注目したのが図2(B)に示す簡略図である。な
お、図2(B)において208で示される斜線部は、チ
ャネル形成領域内に広がる空乏層である。
イト電極207の直下に形成されるチャネルの下には均
一な深さの空乏層が形成される。ところが、チャネル長
(L)が極端に短くなるとドレイン側から伸びてきた空
乏層がソース領域の方向に向かって広がり、ソース側の
空乏層と接する様になる(図2(B))。
傍の電位障壁が引き下げられ、ゲイト電圧に電圧を印加
しない状態でも勝手に電流が流れてしまう様になる。こ
の場合、ソース−ドレイン間のエネルギーバンド図は図
2(C)の様に連続的に変化する。これがパンチスルー
であり、ソース/ドレイン間耐圧の低下を招く。
い値電圧の低下が挙げられる。これも空乏層の広がりに
よって引き起こされると考えられる。
対策がなされているが、最も一般的に行なわれている対
策はチャネルドープである。チャネルドープとは、チャ
ネル形成領域全体に浅くP(リン)、B(ボロン)とい
った不純物元素を微量に添加し、短チャネル効果を抑制
する技術である(特開平4-206971号公報、特開平4-2863
39号公報等)。
ンチスルーの抑制とを目的として行われる。しかしなが
ら、チャネルドープ技術はTFTの電界効果移動度(以
下、モビリティと呼ぶ)に重大な制約を与えるという欠
点を持っている。即ち、意図的に添加された不純物元素
によってキャリアの移動が阻害され、キャリア移動度が
大幅に低下してしまうのである。
を鑑みて成されたものであり、高い動作性能(高いモビ
リティ)と高い信頼性(高い耐圧特性)とを同時に実現
しうる全く新しい構造の半導体装置およびその作製方法
を提供することを課題とする。
の構成は、絶縁表面を有する基板上の結晶半導体薄膜を
利用して形成されたソース領域、ドレイン領域および活
性領域と、ゲイト絶縁膜およびゲイト電極と、を構成の
少なくとも一部に含む半導体装置であって、前記活性領
域はチャネル形成領域と、前記結晶半導体薄膜のエネル
ギーバンドをシフトさせてなる不純物領域と、から構成
され、局部的に設けられた前記不純物領域によって前記
ドレイン領域より前記ソース領域に向かって広がる空乏
層が抑止されることを特徴とする。
る基板上の結晶半導体薄膜を利用して形成されたソース
領域、ドレイン領域および活性領域と、ゲイト絶縁膜お
よびゲイト電極と、を構成の少なくとも一部に含む半導
体装置であって、前記活性領域はチャネル形成領域と、
前記結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフトさせて
なる不純物領域と、から構成され、局部的に設けられた
前記不純物領域によってしきい値電圧が制御されること
を特徴とする。
る基板上の結晶半導体薄膜を利用して形成されたソース
領域、ドレイン領域および活性領域と、ゲイト絶縁膜お
よびゲイト電極と、を構成の少なくとも一部に含む半導
体装置であって、前記活性領域はチャネル形成領域と、
前記結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフトさせて
なる不純物領域と、から構成され、局部的に設けられた
前記不純物領域によって前記ドレイン領域より前記ソー
ス領域に向かって広がる空乏層が抑止され、且つ、しき
い値電圧が制御されることを特徴とする。
的に不純物領域を形成し、その不純物領域によってドレ
イン側からソース側に広がる空乏層を抑止することにあ
る。なお、活性領域とは従来のTFTではチャネル形成
領域に相当するが、本願発明ではチャネル形成領域と上
記不純物領域とを分けて考えるので、便宜上、活性領域
という言葉で定義している。
があたかも空乏層をピン止めする様に捉えられることか
ら、「抑止」という意味で「ピニング」という言葉を定
義している。そして、本明細書で開示する発明を利用し
たTFTをピニングTFTと呼び、従来のTFTと明確
に区別している。
る基板上に結晶半導体薄膜を形成する工程と、前記結晶
半導体薄膜のうち、後に活性領域となる部分に対して当
該結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフトさせる不
純物元素を添加して局部的に不純物領域を形成する工程
と、を有し、前記不純物領域はチャネル形成領域とドレ
イン領域との接合部において不連続となる様に形成され
ることを特徴とする。
る基板上に結晶半導体薄膜を形成する工程と、前記結晶
半導体薄膜のうち、後に活性領域となる部分に対して当
該結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフトさせる不
純物元素を添加して局部的に不純部領域を形成する工程
と、を有し、前記不純物領域によって前記活性領域は複
数のチャネル形成領域に分断されることを特徴とする。
る高い動作性能と高い信頼性とを同時に得られる半導体
装置が実現される。本願発明のピニングTFTに関する
詳細は以下に示す実施例でもって説明する。
について図1を用いて説明する。図1(A)は上面図、
図1(B)は上面図をA−A’で切断した断面図、図1
(C)は上面図をB−B’で切断した断面図である。
域、102は活性領域、103はドレイン領域である。
これらをまとめて活性層と呼ぶ。本実施例の活性層は多
結晶シリコン膜(ポリシリコン膜)からなる。なお、多
結晶シリコン膜の形成方法は全ての公知の手段を用いる
ことができる。
15〜45 nm )である。膜厚を10nm以下とするとソース/
ドレインコンタクトの接触抵抗が高くなり好ましくな
い。また、膜厚を75nmよりも薄くすると薄くするにつれ
てオフ電流(TFTがオフの時の漏れ電流)を小さくす
ることができる。
01からドレイン領域103にかけて複数設けられた不
純物領域104が空乏層をピニングするための領域(以
下、ピニング領域と呼ぶ)であり、その間の領域がチャ
ネル形成領域105である。即ち、本願発明では活性領
域102の基本構成が複数のピニング領域104と複数
のチャネル形成領域105とで構成されている。
にピニング領域104とチャネル形成領域105とが互
いに概略平行に、且つ、交互に並んだ構成である。な
お、この様な構成では活性領域102がピニング領域1
04によって複数のチャネル形成領域に分断されている
とも見なせる。
3との接合部では少なくとも一部に多数キャリアがチャ
ネル形成領域105からドレイン領域103に向かって
流れ込むためのパスを残しておく必要がある。即ち、上
記接合部に着目すればピニング領域が不連続に設けられ
た構成とする。これは、本願発明のピニングTFTが高
い動作性能を示すことと密接に関係する。
のエネルギーバンドをシフトさせる不純物元素を添加す
ることによって形成できる。従って、エネルギーバンド
をシフトさせてなる領域と呼ぶこともできる。
純物元素について図3に示す様な概念図で説明する。図
3(A)はアンドープの多結晶シリコンのエネルギーバ
ンド状態を表している。そこに電子の移動を妨げる方向
にエネルギーバンドをシフトさせる不純物元素(例え
ば、ボロンまたはインジウム等)を添加すると、図3
(B)の様なエネルギー状態に変化する。
ャップに変化はないがフェルミレベル(Ef)が価電子
帯(Ev)側に移動する。その結果、見かけ上、上側に
エネルギー状態がシフトする。そのため、アンドープな
領域に比べて△Eだけ(電子にとって)高いエネルギー
障壁が形成される。
げる方向にエネルギーバンドをシフトさせる不純物元素
(例えば、リン、砒素またはアンチモン等)を添加する
と、エネルギー状態は図3(C)の様に変化する。
導帯(Ec)側に移動し、見かけ上、下側にエネルギー
状態がシフトする。そのため、アンドープな領域に比べ
て△Eだけ(正孔にとって)高いエネルギー障壁が形成
される。
ープの)領域とピニング領域との間にはΔEに相当する
エネルギー差が生まれる。このエネルギー的(電位的)
な障壁の高さは不純物元素の添加濃度によって変化す
る。
体薄膜に対してエネルギーバンドをシフトさせる不純物
元素を添加し、それによってピニング領域を形成してい
る。この様な不純物元素としては、ソース/ドレイン領
域とは逆の導電型を呈する不純物元素を用いれば良い。
製する場合にはピニング領域に13族から選ばれた元
素、代表的にはB(ボロン)またはIn(インジウム)
のうちの少なくとも一種を用いれば良い。また、Pチャ
ネル型ピニングTFTを作製する場合にはピニング領域
に15族から選ばれた元素、代表的にはP(リン)、A
s(砒素)またはSb(アンチモン)のうちの少なくと
も一種を用いれば良い。
物の濃度は、基本的にはピニング領域104がチャネル
形成領域105に対して十分に高い電位障壁となる様に
調節する。典型的には 1×1017〜 1×1020atoms/cm3
(好ましくは 1×1018〜 1×1019atoms/cm3 )とすれば
良い。
ドレイン領域と接しない端部)にはできるだけピニング
領域104が形成される様にすることが好ましい。側端
部にピニングのための不純物元素を打ち込んでおくと、
側端部を伝わるリーク電流を低減することが可能となり
有効である。
性領域102とドレイン領域103との接合部にかかる
様に形成されていれば良い。なぜならば、ドレイン側接
合部を出発点としてドレイン側空乏層が広がるからであ
る。勿論、図1(A)に示す様にソース領域101から
ドレイン領域103にかけて形成することが最も望まし
い構成である。
を図4を用いて行う。図4においてソース領域401と
ドレイン領域402との間の距離(活性領域403の長
さに相当する)をチャネル長(L)と定義する。本願発
明はこの長さが2μm以下、典型的には30〜500 nm(さ
らに好ましくは50〜200 nm)である場合に有効である。
また、このチャネル長に沿った方向をチャネル長方向と
呼ぶ。
ニング幅(vj )とする。ピニング幅は2μm以下、好
ましくは50〜300nm (さらに好ましくは1〜50nm)とす
れば良い。そして、活性領域403内に存在する全ての
ピニング領域の幅の総和を有効ピニング幅(V)とする
と、次式の様に定義される。
03に対して少なくとも一つのピニング領域を設ける必
要がある。即ち、j=1以上が条件として必要である。
また、活性領域403の側端部にピニング領域を設ける
場合には少なくともj=2以上が必要条件となる。
ネル幅(wi )とする。チャネル幅は1μm以下、好ま
しくは50〜300nm (さらに好ましくは3〜50nm)とすれ
ば良い。なお、チャネル幅が活性領域の膜厚の10倍以上
となるとピニング効果の効き目が小さくなり好ましくな
い。また、チャネル幅が3nm以下となると量子効果が現
れる恐れがあり好ましくない。
効チャネル幅(W)とすると次式の様に定義される。
端部のみに設ける様な場合にはi=1となる。また、効
果的にピニング効果を得るためには活性領域403の側
端部以外にもピニング領域を設けた方が良い。その場合
にはi=2以上となる。
ニング幅)とチャネル形成領域の総和(有効チャネル
幅)とを加えた総和を総合チャネル幅(Wtotal )と
し、次式で定義する。
域403の幅(活性領域のチャネル長方向に対して垂直
な方向の長さ)に相当するものである。また、この総合
チャネル幅に沿った方向をチャネル幅方向と呼ぶことに
する。
置は、特にチャネル長が極めて小さい半導体装置に適用
することを念頭に置いているので、ピニング領域および
チャネル形成領域は極めて微細な寸法で形成しなくては
ならない。
域104の形成には極めて微細なフォトリソグラフィ技
術が必要となる。即ち、エキシマレーザー、電子ビーム
または集束イオンビーム等を用いた微細露光技術を駆使
しなくては、上述の様な微細なピニング領域およびチャ
ネル形成領域を形成することはできない。
制御するためにもイオン注入技術(質量分離をしたイオ
ン添加)等の如き精密な濃度制御の可能な技術を利用す
ることが好ましい。勿論、質量分離をしないイオンドー
ピング法(プラズマドーピング法等)を用いることも可
能である。
物元素はファーネスアニール、レーザーアニール、ラン
プアニール等で活性化を行うことが好ましい。この活性
化工程はゲイト絶縁膜の形成などの後工程におけるアニ
ール処理と同時に行っても良いし、それとは別に単独で
行っても良い。
A’で切断した断面図を図1(B)に示す。なお、図1
(B)において、図1(A)で説明した部分については
同一の符号を用いて説明することにする。
有する基板である。絶縁表面を有する基板としては、下
地膜を設けたガラス基板、石英基板(下地の有無は問わ
ない)、熱酸化膜を設けたシリコン基板、下地膜を設け
たセラミックス基板等を用いることができる。
の長さ)は少なくとも活性領域102の膜厚以上である
ことが望ましい。なお、絶縁表面を有する基板106と
して下地膜を設けた基板を利用する場合、下地膜内部に
ピニング領域104が食い込む様に形成することも有効
である。
面図を図1(C)に示す。B−B’での切断面では図1
(C)の様にピニング領域104が見える。なお、図1
(C)に示す様にピニング領域104をドレイン領域1
03の内部にまで食い込む様に形成すると、ドレイン側
空乏層に対するピニング効果が強まって効果的である。
また、ピニング領域104の形状は本実施例に限定され
るものではない。
た様な構成の活性領域を有する半導体装置である。次
に、ピニング領域104およびチャネル形成領域105
の果たす役割と、それによって得られる効果について説
明する。
発明の最も大きな目的は、ドレイン側からソース側に向
かって広がる空乏層を抑止(ピニング)し、ドレイン電
圧によるソース側の電位障壁の低下を防止することにあ
る。そして、空乏層の広がりを抑止することでしきい値
電圧の低下やパンチスルーによる耐圧の低下を十分に防
ぐことが可能となる。
(例えば線状またはドット状)に形成されたピニング領
域104は、ドレイン側から広がる空乏層に対してスト
ッパーとして働き、空乏層の広がりを効果的に抑止す
る。なお、空乏層の深さ方向への広がりは活性領域の膜
厚によって制限される。
の拡散電位が引き下げられることもなくなり、パンチス
ルー現象が防止される。また、空乏層の広がりによる空
乏層電荷の増加が抑制されるので、しきい値電圧の低下
も避けられる。
ることで、微細化に際して非常に重大な問題であった短
チャネル効果を抑止または防止することが可能となる。
この効果は本願発明の半導体装置の最も重要な効果であ
る。
明ではピニング領域によって意図的に狭チャネル効果を
強めることができる。狭チャネル効果とは、チャネル幅
が極端に狭い場合に観測される現象であり、しきい値電
圧の増加をもたらす(従来例で参照したサブミクロンデ
バイスIに詳しい)。
た際の活性領域102のエネルギー状態(電位状態)を
示している。図5において、501、502で示される
領域がピニング領域104のエネルギー状態に相当し、
503で示される領域がチャネル形成領域105のエネ
ルギー状態に相当する。
04はエネルギー的に高い障壁を形成し、チャネル形成
領域105はエネルギー障壁の低い領域を形成する形と
なる。そのため、キャリアはエネルギー状態の低いチャ
ネル形成領域105を優先的に移動する。
ギー的に高い障壁が形成され、その部分のしきい値電圧
が増加する。その結果、全体として観測されるしきい値
電圧も増加するのである。この狭チャネル効果は有効チ
ャネル幅が狭くなるほど顕著に現れる。
領域104に添加する不純物濃度や有効チャネル幅を自
由に設計することで狭チャネル効果の強弱を制御し、し
きい値電圧を調節することが可能である。即ち、ピニン
グ効果を制御することで短チャネル効果によるしきい値
電圧の低下と狭チャネル効果によるしきい値電圧の増加
とのバランスをとって所望の値に調節することも可能で
ある。
ば13族元素が添加され、Pチャネル型ならば15族元
素が添加されるので、その部分ではしきい値電圧が増加
する方向(Nチャネル型の場合は正、Pチャネル型の場
合は負の方向)にシフトする。即ち、局部的にしきい値
電圧が増加するので、その分全体的なしきい値電圧も増
加する。従って、所望のしきい値電圧に調節するために
はピニング領域に添加する不純物濃度を適切な値とする
ことが重要である。
施例に示したピニングTFTでは、チャネル形成領域1
05が真性または実質的に真性な領域で構成され、その
領域を多数キャリアが移動するという利点がある。
する不純物元素および炭素、窒素、酸素といった不純物
元素を意図的に添加しない領域を呼ぶ。また、実質的に
真性な領域とは、スピン密度よりも不純物濃度が低い領
域、活性化エネルギーがほぼ1/2 である領域、またはし
きい値電圧の制御が可能な範囲において一導電型を有す
る領域を指す。
的に真性である場合、不純物散乱による移動度の低下は
極めて小さくなり高いモビリティが得られる。この点が
本願発明とチャネルドープ法との大きな相違点である。
に大別され、これらの影響によって全体的なモビリティ
が決定される。例えば、格子散乱の影響を受けた場合の
モビリティ(μlattice )は温度(T)の-3/2乗に比例
し、キャリアの有効質量(m*)の-5/2乗に比例する。
この関係を式に表すと数4の様になる。
リティ(μimpurity)は温度(T)の3/2 乗に比例し、
キャリアの有効質量(m*)の-1/2乗に比例する。さら
に、イオン化した不純物の濃度(N)に比例する。この
関係を式に表すと数5の様になる。
全体的なモビリティ(μtotal )は次式で表される。
的に真性であるということは数5において不純物濃度N
が限りなく0に近づくことを意味しており、μimpurity
は無限大に近づく。
項が無視しうるまでに小さくなるので全体的なモビリテ
ィ(μtotal )は格子散乱の影響を受けた場合のモビリ
ティ(μlattice )に近づく。即ち、格子散乱のみを考
慮したモビリティとして捉えることが可能となる。
からドレイン領域に渡って線状のピニング領域を設けた
場合、ピニング領域によって多数キャリアの移動経路が
規定されるという効果が得られる。
ネル形成領域のエネルギー状態は図5に示す様な状態と
なっている。図1(A)に示す構成では、図5の様なエ
ネルギー状態のスリットが複数並んでいると考えられ
る。
る。図6において、601がピニング領域、602がチ
ャネル形成領域を表している。また、603が多数キャ
リア(電子または正孔)である。図6に示す様に、キャ
リア603はピニング領域601を越えることができな
いのでチャネル形成領域602を優先的に移動する。即
ち、ピニング領域によって多数キャリアの移動経路が規
定されるのである。
キャリア同士の自己衝突による散乱が低減する。この事
はモビリティの向上に大きく寄与する。また、チャネル
/ドレイン接合部ではピニング領域104が不連続に設
けられているので、多数キャリアはその隙間をぬってド
レイン領域103へと流れ込む。
ル形成領域には極めて僅かな不純物元素しか存在しない
ため、室温でも電子の移動度が通常よりも速くなる速度
オーバーシュート効果(K.Ohuchi et al.,Jpn.J.Appl.P
hys. 35,pp.960,1996 参照)が生じるので、モビリティ
は極めて大きなものとなる。
TFTは高い信頼性と高いモビリティとを同時に実現す
ることが可能である。
タの活性領域に対して行われるエンジニアリングであ
り、基本的にトランジスタ構造に限定される技術ではな
い。従って、本願発明は全ての構造および構成の絶縁ゲ
イト型トランジスタに対して適用することができる。
た構成からなるピニングTFTの作製工程について説明
する。説明には図7を用いる。
に酸化珪素膜でなる下地膜702を形成する。そして、
その上に多結晶シリコン膜(図示せず)を形成し、パタ
ーニングにより活性層703を形成する。多結晶シリコ
ン膜703は、CVD法により直接成膜したものでも良
いし、非晶質シリコン膜を結晶化したものでも良い。
(図7(A))
ネスアニール、レーザーアニール、ランプアニールいず
れの手段によっても良い。さらに、シリコンの結晶化を
助長する触媒元素を利用しても良い。
0652号公報の実施例1に記載の技術を用いる。同公報で
は非晶質シリコン膜全面に触媒元素を含有した極薄膜を
スピンコート法で形成し、触媒作用を利用して非晶質シ
リコン膜を結晶化する技術が開示されている。
(Ni)、コバルト(Co)、鉄(Fe)、パラジウム
(Pd)、白金(Pt)、銅(Cu)、金(Au)、ゲ
ルマニウム(Ge)、鉛(Pb)、インジウム(In)
から選ばれた一種または複数種の元素を用いることがで
きる。
04を設け、活性層703に対してエネルギーバンドを
シフトさせる不純物元素を局部的に添加する。この不純
物元素の添加工程によってピニング領域705が形成さ
れる。添加する不純物元素については実施例1に従えば
良い。(図7(B))
ー、電子ビーム、集束イオンビーム等を利用したフォト
リソグラフィ技術によって露光され、極めて微細な開口
部が形成される。そして、その状態で不純物元素(13
族元素または15族元素)をイオン注入法により添加す
ることでピニング領域705が形成される。
1において図1(A)で説明した様な配置でピニング領
域705が形成される。また、不純物元素の添加濃度は
実施例1で説明した条件を満たす様に調節すれば良い。
ら、レジストマスク704を除去した後、450 〜650 ℃
(好ましくは 550〜600 ℃)の加熱処理を行い、ピニン
グ領域705に添加された不純物元素の活性化を行う。
活性化を行わなくてもピニング効果を得ることはできる
が、活性化を行った方がTFTの電気特性を安定させる
上で有効である。
703の上にゲイト絶縁膜706を形成する。ゲイト絶
縁膜706は酸化シリコン膜、窒化シリコン膜またはそ
れらの積層膜で構成すれば良い。
形成後にゲイト絶縁膜706を形成しているが、ゲイト
絶縁膜の形成後にスルードーピングによりピニング領域
を形成することも可能である。
主成分とする金属薄膜(図示せず)を成膜し、パターニ
ングによって後のゲイト電極の原型となる金属パターン
707を形成する。本実施例では2wt% のスカンジウム
を含有したアルミニウム膜を用いる。なお、これ以外に
もタンタル膜、アルミニウムとチタンの積層膜などを用
いても良い。(図7(C))
公報記載の技術を利用する。同公報には、陽極酸化によ
り形成した酸化膜を利用して自己整合的にソース/ドレ
イン領域と低濃度不純物領域とを形成する技術が開示さ
れている。
用したレジストマスク(図示せず)を残したまま3%シ
ュウ酸水溶液中で陽極酸化処理を行い、多孔性の陽極酸
化膜708を形成する。この時、上面にレジストマスク
が残っているので多孔性の陽極酸化膜708はゲイト電
極の原型707の側面のみに形成される。なお、特開平
7-135318号公報記載の技術では、この膜厚が後に低濃度
不純物領域(LDD領域とも呼ばれる)の長さになる。
た後、エチレングリコール溶液に3%の酒石酸を混合し
た電解溶液中で陽極酸化処理を行う。この処理では緻密
な無孔性の陽極酸化膜709が形成される。なお、多孔
性の陽極酸化膜の内部にも電解溶液が浸透するので、そ
の内側にも形成される。
後に残ったアルミニウム膜710が実質的にゲイト電極
として機能する。(図7(D))
膜708をマスクとしてゲイト絶縁膜706をドライエ
ッチング法によりエッチングする。そして、多孔性の陽
極酸化膜708を除去する。こうして形成されるゲイト
絶縁膜711の端部は多孔性の陽極酸化膜708の膜厚
分だけ露出した状態となる。(図8(A))
加工程を行う。不純物元素としてはN型ならばリンまた
は砒素、P型ならばボロンまたはインジウムを用いれば
良い。本実施例ではリンを添加してNチャネル型ピニン
グTFTを作製する場合の例を示す。勿論、前述のピニ
ング領域705に添加した不純物元素は、ここで添加す
る不純物元素とは逆の導電型を呈するものである。
高加速電圧で行い、n- 領域712、713を形成す
る。この時、加速電圧が80keV 程度と高いので不純物元
素は活性層表面だけでなく露出したゲイト絶縁膜の端部
の下にも添加される。(図8(B))
で行い、n+ 領域714、715を形成する。この時は
加速電圧が10keV 程度と低いのでゲイト絶縁膜がマスク
として機能する。また、このn+ 領域714、715は
シート抵抗が 500Ω以下(好ましくは 300Ω以下)とな
る様に調節する。(図8(C))
+ 領域がソース領域714、ドレイン領域715とな
り、n- 領域が低濃度不純物領域716、717とな
る。また、ゲイト電極直下の活性領域718には不純物
元素が添加されない。そのため、活性領域718は図1
で説明した様にピニング領域705と真性または実質的
に真性なチャネル形成領域(図示せず)とで構成され
る。
チャネル形成領域とドレイン領域715との間にかかる
高電界を緩和する効果があり、LDD(ライトドープド
レイン)領域とも呼ばれる。LDD領域もドレイン領域
の一部として考えられる。
端部が低濃度不純物領域716、717の内部に到達す
る様に形成されているが、到達しない構成でも良いし、
ソース/ドレイン領域の内部にまで突き抜けた構成でも
良い。
了したら、ファーネスアニール、レーザーアニール、ラ
ンプアニール等の組み合わせによって不純物元素の活性
化を行う。それと同時に添加工程で受けた活性層の損傷
も修復される。
形成する。層間絶縁膜719としては酸化珪素膜、窒化
珪素膜、酸化窒化珪素膜、有機性樹脂膜、或いはそれら
の積層膜を用いることができる。なお、有機性樹脂膜と
してはポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミド
アミド等が用いられる。有機性樹脂膜の利点は、成膜
方法が簡単である点、容易に膜厚を厚くできる点、
比誘電率が低いので寄生容量を低減できる点、平坦性
に優れている点などが挙げられる。
ース電極720、ドレイン電極721を形成する。最後
に、基板全体を350 ℃の水素雰囲気で1〜2時間加熱
し、素子全体の水素化を行うことで膜中(特に活性層
中)のダングリングボンド(不対結合手)を終端する。
以上の工程によって、図8(D)に示す様な構造のTF
Tを作製することができる。
域を形成する前にピニング領域を形成しているが、ソー
ス/ドレイン領域形成後にピニング領域を形成すること
もできる。この場合、本実施例の様なセルフアライン構
造とはならず、パターニングでソース/ドレイン領域を
形成しなければならない。
製されたピニングTFTの全体的な構造を図9に示す。
なお、図9(A)は上面図、図9(B)はチャネル幅方
向の断面図(A−A’の切断面)、図9(C)はチャネ
ル長方向の断面図(B−B’の切断面)である。
実施例(図7、図8)で用いた符号をそのまま用いる。
ただし、図9(A)、(B)、(C)に付した各符号に
ついては既に十分に説明したのでここでの説明は省略す
る。
異なる構成のTFT作製工程について説明する。説明に
は図10を用いるが、基本的には実施例2で説明した作
製工程と同じであるので、相違点のみを詳細に説明す
る。
膜12を表面に設けたシリコン基板11を用意する。こ
の基板11は水素を用いて脱酸素化したシリコン基板を
HCl(塩化水素)を含む雰囲気中で熱酸化することで
得られる。その他、石英基板や表面に下地膜を設けたセ
ラミックス基板でも良い。石英基板は高価であるので、
安価な石英基板をCMP等で研磨して用いるなどの工夫
を行うと良い。
形成するのだが、本実施例では結晶化の手段として特開
平7-130652号公報の実施例2に記載の技術(特開平8-78
329号公報に詳しい)を用いる。勿論、同公報の実施例
2の技術を用いることもできる。
非晶質半導体薄膜(本実施例では非晶質シリコン膜を例
にとる)13を形成したら触媒元素の添加領域を選択す
るマスク絶縁膜14を形成する。マスク絶縁膜14は触
媒元素を添加するために複数箇所の開口部を有してい
る。この開口部の位置によって結晶領域の位置を決定す
ることができる。
する触媒元素(本実施例ではニッケルを例にとる)を含
有した溶液をスピンコート法により塗布し、Ni含有層
15を形成する。(図10(A))
450 ℃1時間程度の水素出しの後、不活性雰囲気、水素
雰囲気または酸素雰囲気中において 500〜700 ℃(代表
的には 550〜650 ℃)の温度で 4〜24時間の加熱処理を
加えて非晶質シリコン膜13の結晶化を行う。本実施例
では窒素雰囲気で570 ℃14時間の加熱処理を行う。
ニッケルを添加した領域16で発生した核から優先的に
進行し、基板11の基板面に対してほぼ平行に成長した
結晶領域17が形成される。本発明者らはこの結晶領域
17を横成長領域と呼んでいる。横成長領域は比較的揃
った状態で個々の結晶が集合しているため、全体的な結
晶性に優れるという利点がある。(図10(B))
スク絶縁膜14を除去して触媒元素のゲッタリング工程
を行う。この工程はハロゲン元素を含む雰囲気中で加熱
処理を行い、ハロゲン元素による金属元素のゲッタリン
グ効果を利用して結晶化に用いた触媒元素を除去する技
術である。
果を十分に得るためには、上記加熱処理を700 ℃を超え
る温度で行なうことが好ましい。この温度以下では処理
雰囲気中のハロゲン化合物の分解が困難となり、ゲッタ
リング効果が得られなくなる恐れがある。そのため本実
施例ではこの加熱処理を700 ℃を超える温度で行い、好
ましくは800 〜1000℃(代表的には950 ℃)とし、処理
時間は 0.1〜 6hr、代表的には 0.5〜 1hrとする。
塩化水素(HCl)を0.5 〜10体積%(本実施例では3
体積%)の濃度で含有させた雰囲気中において、950
℃、30分の加熱処理を行う例を示す。HCl濃度を上記
濃度以上とすると、シリコン膜表面に膜厚程度の凹凸が
生じてしまうため好ましくない。
lガスを用いる例を示したが、それ以外のガスとして、
代表的にはHF、NF3 、HBr、Cl2 、ClF3 、
BCl3 、F2 、Br2 等のハロゲンを含む化合物から
選ばれた一種または複数種のものを用いることが出来
る。
ルが塩素の作用によりゲッタリングされ、揮発性の塩化
ニッケルとなって処理雰囲気中へ離脱して除去されると
考えられる。そして、この工程を行った後、横成長領域
18中のニッケルの濃度は 5×1017atoms/cm3 以下にま
で低減される。(図10(C))
MS(質量二次イオン分析)の検出下限である。本発明
者らが試作したTFTを解析した結果、 1×1018atoms/
cm3以下(好ましくは 5×1017atoms/cm3 以下)ではT
FT特性に対するニッケルの影響は確認されなかった。
去したら、パターニングによって横成長領域18のみか
らなる活性層19を形成する。この際、横成長領域18
を構成する個々の結晶粒の延在する方向とチャネル長方
向とを一致させる様にすることが好ましい。
20を設け、不純物元素を添加してピニング領域21を
形成する。(図10(D))
膜22を形成する。ゲイト絶縁膜22の膜厚は後の熱酸
化工程による増加分も考慮して20〜250nm の範囲で調節
すれば良い。また、成膜方法は公知の気相法(プラズマ
CVD法、スパッタ法等)を用いれば良い。
熱酸化のための加熱処理を行う。なお、この加熱処理は
酸素雰囲気でも良いし、ハロゲン元素を含ませた酸化性
雰囲気であっても良い。ハロゲン元素を含ませるとさら
なるゲッタリング効果を期待できる。
縁膜22との界面では熱酸化反応が進行し、熱酸化膜の
分だけゲイト絶縁膜22の膜厚は増加する。この様にし
て熱酸化膜を形成すると、非常に界面準位の少ない半導
体/絶縁膜界面を得ることができる。また、活性層端部
における熱酸化膜の形成不良(エッジシニング)を防ぐ
効果もある。
ゲイト電極等を形成すれば図9に示す様な構造のピニン
グTFTが完成する。こうして作製されたTFTは実施
例1で説明したと同様のピニング効果を実現する。
った後にピニング領域を形成しているが、ピニング領域
を形成した後にゲッタリング工程を行うこともできる。
この場合、ピニング領域の活性化がゲッタリング工程と
同時に行われるという利点があるが、ピニング領域に添
加された不純物元素の熱拡散を抑える様に注意する必要
がある。
れた結晶性シリコン膜は特異な結晶構造を有している。
本発明者らはこの結晶性シリコン膜を電子線回折、X線
回折、HRTEM(高分解能透過型電子顕微鏡法)、S
IMS(質量二次イオン分析)等、様々な分析手法を駆
使して分析している。(本発明者らによる特願平9-1652
16号明細書に詳細が記載されている。)
シリコン膜は主たる配向面が{110}面であることが
判明している。また、結晶粒界近傍の格子縞をHRTE
Mで詳細に観察した結果、結晶粒界の殆どが一般的に低
角粒界と分類される粒界群に含まれるものであり、電気
的に不活性であることが判明している。
ップとして振る舞わず、キャリアの移動を何ら妨げない
と見なせる。即ち、本実施例の結晶性シリコン膜は実質
的に単結晶と見なせる構造を有する結晶半導体薄膜であ
ると言える。
異なる構成のTFT作製工程について説明する。説明に
は図11を用いるが、基本的には実施例2で説明した作
製工程と同じであるので、相違点のみを詳細に説明す
る。
を有する基板23を用意し、次に、減圧熱CVD法(ま
たはプラズマCVD法)により、非晶質半導体薄膜(本
実施例は非晶質シリコン膜を例にとる)24を形成す
る。本実施例の場合、絶縁表面を有する基板23はプロ
セス中の最高加熱温度によって決定される。最高温度が
650 ℃位までならばガラス基板を用いることができる
が、それ以上の温度では耐熱性の高い基板(シリコン基
板や石英基板等)を用いなくてはならない。
の含有層25を形成する。なお、本実施例では結晶化手
段として特開平7-130652号公報の実施例1を用いた場合
について説明する。勿論、同公報の実施例2に記載され
た技術を用いても良い。また、使用しうる触媒元素は実
施例2で説明した通りである。(図11(A))
結晶シリコン膜26を得る。加熱処理は電熱炉において
500〜700 ℃(好ましくは 550〜650 ℃)で行う。そし
て、得られた多結晶シリコン膜26に対してレーザー光
の照射を行い、結晶性の改善を図る。レーザー光源とし
てはKrFエキシマレーザー、XeClエキシマレーザ
ーまたはYAGレーザー等を用いれば良い。なお、この
レーザーアニール工程は省略することも可能である。
(図11(B))
レジストマスク27を形成する。次に15族から選ばれ
た元素のドーピング工程をプラズマドーピング法(また
はイオン注入法)で行う。15族元素としては、N(窒
素)、P(リン)、As(砒素)、Sb(アンチモ
ン)、Bi(ビスマス)が挙げられる。特に顕著な作用
効果を示すのはリンであるので、本実施例ではリンを用
いる。
加速電圧を 5〜30keV (代表的には10keV)に設定し、P
元素のドーズ量は 1×1013ions/cm2以上(好ましくは 5
×1013〜 5×1014ions/cm2)で行えば良い。
8、29が形成される。この領域をゲッタリング領域と
呼ぶ。また、30で示される領域は、レジストマスク2
7によって保護されるためリンは注入されない。この領
域は後に活性層として利用する領域であり、被ゲッタリ
ング領域と呼ぶ。(図11(C))
ストマスク27を除去した後ゲッタリングのための加熱
処理を行い、被ゲッタリング領域30の内部に残存する
触媒元素を、ゲッタリング領域28、29に移動させる
(矢印の方向)。こうして触媒元素濃度が低減された被
ゲッタリング領域31を得る。(図11(D))
性雰囲気、水素雰囲気、酸化性雰囲気またはハロゲン元
素を含む酸化性雰囲気にいずれかで行えば良い。また、
温度は 500℃〜1050℃とすれば良い。ただし、リンが被
ゲッタリング領域31に逆拡散しない程度の温度を上限
とする。
場合には上記加熱処理は 550〜650℃とするのが好まし
い。また、耐熱性の高いシリコン基板や石英基板を用い
る場合には 700〜950 ℃とするのが好ましい。
を形成する。この時、ゲッタリング領域28、29は除
去する。こうすることで活性層32は十分に触媒元素濃
度が低減された領域となる。なお、被ゲッタリング領域
31とゲッタリング領域28、29との界面近傍には触
媒元素が高濃度に存在する傾向にあるので、パターニン
グ時に一緒に除去することが望ましい。(図11
(E))
が得られる。この後は、実施例1と同様の工程に従って
ピニング領域を形成し、ゲイト電極等を形成すれば図9
に示す様な構造のピニングTFTが完成する。こうして
作製されたTFTは実施例1で説明したと同様のピニン
グ効果を実現する。
成するにあたってイオン注入法を利用する例を示した
が、PSG等を用いることもできる。また、15族から
選ばれた元素を含む雰囲気中で加熱処理してゲッタリン
グすることもできる。
れた結晶シリコン膜をHRTEMや電子線回折等の手法
を用いて分析した結果、実施例3で説明したのと同様
に、主たる配向面は{110}面であり、実質的に単結
晶と見なせる構造を有する結晶半導体薄膜であることが
判明している。
て、非晶質シリコン膜を多結晶シリコン膜に変成させる
手段として特開平7-130652号公報を用いる場合、同公報
の実施例1記載の技術を利用するか、実施例2の技術を
利用するかで多結晶シリコン膜の結晶構造が異なる。
リコン膜は不規則な形状の結晶粒が集合して構成され
る。そのため、従来のTFT(ピニング領域を設けない
TFT)では結晶粒界を伝わるキャリアによってリーク
電流(オフ電流)が高くなるなどの問題があった。
は結晶粒界とは無関係に形成されるピニング領域によっ
てキャリアの移動経路が概略一方向に規定されるので、
結晶粒界を伝わるリーク電流等の問題が低減されるとい
う利点を持つ。
た手段によって結晶化した結晶性シリコン膜にピニング
領域を形成した例である。33は結晶粒、34は結晶粒
界、35はピニング領域である。
結晶性シリコン膜は微視的に見れば複数の棒状または偏
平棒状結晶が互いに概略平行に特定方向への規則性をも
って並んだ結晶構造を有することがTEM(透過型電子
顕微鏡)による観察で確認されている。
偏平棒状結晶、37は結晶粒界、38はピニング領域で
ある。この際、ピニング領域は結晶粒界に重ねて形成し
ても良いし、結晶粒界と並べて概略平行に形成しても良
い。例えば、任意の2本のピニング領域の間に1本乃至
数本の結晶粒界が存在する様な構成でも良い。
向と垂直にピニング領域を設ける構成にしても良い。そ
の場合、オン電流は低下してしまうが、低オフ電流特性
を実現できる。
結晶性シリコン膜も実施例2および実施例3に示した様
な触媒元素のゲッタリング工程を経過することで結晶性
が飛躍的に向上することが本発明者の実験により確認さ
れている。
性シリコン膜は結晶粒界が電気的に不活性であり、単な
るエネルギー障壁として振る舞うと推測される。従っ
て、特に特開平130652号公報の実施例2に記載された技
術に対して本願明細書の実施例3または実施例4の技術
を適用した場合、結晶粒界そのものが本願発明のピニン
グ領域と似た様な機能を果たしていると考えられる。
規則性をもって並んだ結晶粒の結晶粒界が図1(A)の
ピニング領域104に相当し、結晶粒がチャネル形成領
域105に相当する。ただし、キャリアの移動経路を規
定する障壁としての効果はピニング領域よりも小さく、
ある程度のキャリアは障壁(結晶粒界)を横切って移動
する。従って、結晶粒界の延びる方向と一致させてピニ
ング領域を設ければより効果的にピニング効果を得るこ
とができる。
に示した全ての半導体装置に適用することができる。ま
た、他の全ての実施例と組み合わせることができる。
FTでは、ゲイト電極としてアルミニウムまたはアルミ
ニウムを主成分とする金属薄膜を用いているが、一導電
性を持たせたシリコンゲイト電極を用いることもでき
る。
イト電極形成後に行いうる加熱処理の上限温度が上がる
ので、TFTの作製工程のマージンが向上してスループ
ットの向上や特性改善効果を期待することができる。
に示した全ての半導体装置に適用することができる。ま
た、他の全ての実施例と組み合わせることができる。
したリンによる金属元素のゲッタリング効果を利用して
ソース/ドレイン領域に結晶化を助長する触媒元素のゲ
ッタリングを行う場合の例について説明する。
(C)に示す状態を得る。この状態ではソース領域71
4およびドレイン領域715が高濃度のリンを含有して
いる。そして、この状態で 400〜650 ℃(好ましくは 4
50〜500 ℃)の加熱処理を行い、活性領域718に残存
する触媒元素をソース領域714およびドレイン領域7
15にゲッタリングする。
は、ゲイト電極として利用するアルミニウムを主成分と
する金属薄膜の耐熱性を考慮したためである。従って、
実施例7に示した様にゲイト電極としてシリコンゲイト
を用いる場合には、加熱処理温度を 600〜1050℃(好ま
しくは 700〜950 ℃)とすることができる。
合、ソース/ドレイン領域には高濃度のボロンまたはイ
ンジウムが添加される。これらボロンまたはインジウム
だけでは触媒元素をゲッタリングすることはできない。
程度のリン(ドーズ量は 5×1014atoms/cm2 程度)とそ
れを超える濃度のボロン(ドーズ量は 1×1015〜 1.5×
1015atoms/cm2 程度)とが混在した状態では、優れたゲ
ッタリング効果を示すことが判明した。これを利用すれ
ば、Pチャネル型ピニングTFTでもソース/ドレイン
領域に触媒元素のゲッタリングを行うことが可能であ
る。
に示した全ての半導体装置に適用することができる。ま
た、他の全ての実施例と組み合わせることができる。
性層として結晶性シリコン膜(多結晶シリコン膜または
実質的に単結晶と見なせるシリコン膜)を用いる例を示
したが、本願発明に利用することのできる結晶半導体薄
膜は結晶性シリコン膜に限定されるものではない。
いて、活性領域の少なくとも一部を化合物半導体膜、或
いは化合物半導体膜と結晶性シリコン膜との積層構造と
することも可能である。
砒素(GaAs)、インジウムリン(InP)またはシ
リコンゲルマニウム(Six Ge1-x :ただし、xは0.
5 〜9.5 )などを材料とした薄膜を用いても良い。
導体膜を活性領域として利用する場合、結晶性シリコン
膜よりも高いキャリア移動度が得られる。即ち、この効
果に本願発明の効果を組み合わせることで、さらに高い
モビリティを有する半導体装置を実現することが可能で
ある。
示した全ての半導体装置に適用することができる。ま
た、他の全ての実施例と組み合わせることも可能であ
る。
ニングTFTに対して基板浮遊効果を防ぐための構成を
加えた例について説明する。基板浮遊効果とは衝突電離
によって生成した少数キャリアがチャネル下に蓄積さ
れ、寄生バイポーラトランジスタを導通させてソース−
ドレイン間耐圧を低下させる現象である。
ング領域の配置を図13に示す様な構成とした。なお、
基本的な構成は図1(A)と同様であるので、必要な箇
所のみ符号を付して説明する。また、基板浮遊効果はP
チャネル型ではさほど問題とならず、Nチャネル型で顕
著な問題となる。そのため、本実施例ではNチャネル型
ピニングTFTを例にとって説明する。
の場合、衝突電離によって発生した少数キャリア(正
孔)はピニング領域39を流れ、そのままソース領域4
0に到達する。そこで、ピニング領域39に外部端子を
接続して正孔を引き出せば正孔の蓄積を防ぐことができ
る。外部端子としては、例えば41で示されるコンタク
トホールでソース領域40と接するソース電極を用いれ
ば良い。
電離によって発生した少数キャリア(正孔)を多数キャ
リア(電子)とは逆の方向に流し、そのまま外部へ引き
出すためのパスとしても機能する。
はP型の導電性を有するため、正孔は移動できるが電子
が移動することはない。即ち、多数キャリアである電子
はチャネル形成領域42のみを流れる。
効果を防ぐことが可能であるため、実施例1で説明した
パンチスルーによる耐圧の低下防止効果との相乗効果
で、非常に高い耐圧を有する信頼性の高い半導体装置を
実現できる。
技術(代表的にはソース領域にゲルマニウムを添加して
ボテンシャル井戸を形成する技術等)を利用しても良い
し、その様な公知技術と組み合わせても良い。
た全ての構成の半導体装置に適用することが可能であ
る。また、他の全ての実施例と組み合わせることができ
る。
は異なる構成の活性領域を形成する場合の例について説
明する。具体的には、活性領域においてピニング領域以
外にしきい値電圧を制御するための不純物元素を添加す
る場合に例である。なお、説明には図14を用いるが、
基本的な構成は実施例1で説明した図1(A)とほぼ同
じであるので、必要箇所のみに符号を付して説明する。
はドレイン領域、45はチャネル形成領域である。そし
て、46〜48はソース/ドレイン領域43、44とは
逆の導電型を呈する不純物領域(ピニング領域)であ
る。
8以外に、しきい値電圧制御用の不純物領域49、50
が設けられている点にある。このしきい値電圧制御用の
不純物領域49、50はソース/ドレイン領域43、4
4と同一導電型の不純物領域である。
3、44双方と接する様にしきい値電圧制御用の不純物
領域49、50が設けられているが、ソース/ドレイン
領域のどちらか片方のみに接する様に形成しても良い。
また、ソース/ドレイン領域のどちらとも接しない様に
形成しても良い。
は活性領域とゲイト電極との仕事関数差やゲイト絶縁膜
の膜厚などによってしきい値電圧が正負いずれかの方向
にシフトしてしまうことがある。このしきい値電圧の変
動はTFTで半導体回路を構築する際に動作電圧の設定
に大きく関与するため大きな問題となっている。
域に添加された不純物元素による効果とピニング領域に
よって制御された狭チャネル効果とによってしきい値電
圧を制御できるという特徴を持つが、仕事関数差による
しきい値電圧のシフトが大きい場合などはそれだけでは
制御が困難な場合がありうる。
たしきい値電圧制御用の不純物領域49、50によって
強制的に所望のしきい値電圧を実現するのが本実施例の
ピニングTFTの特徴である。
合はしきい値電圧制御用の不純物領域49、50を13
族から選ばれた元素(代表的にはボロンまたはインジウ
ム)で形成すれば良い。ただし、Nチャネル型ピニング
TFTの場合にはピニング領域が同様の役割を果たすの
で必要ない。
ら選ばれた元素(代表的にはリンまたは砒素)で形成す
れば良い。勿論、Pチャネル型ピニングTFTの場合に
はピニング領域が同様の役割を果たすので必要ない。
9、50は多数キャリアにとってエネルギー障壁とはな
らないので、多数キャリアの移動経路として機能する。
そのため、しきい値電圧制御用の不純物領域49、50
が有効チャネル幅を狭める様なことはないと考えられ
る。
施例4に示した全ての半導体装置の構成に対して適用す
ることが可能である。また、他の全ての実施例と組み合
わせることが可能である。
の配置と結晶粒界の関係について記載したが、本実施例
ではその特殊な場合について説明する。なお、本実施例
は特にNチャネル型TFTにおいて効果を発揮する技術
である。
ングTFTは不純物散乱によるモビリティ低下を避ける
ことができるので、実質的に数4で示される格子散乱の
みで決まると考えられる。本実施例では数4においてキ
ャリアの有効質量(m*)を極力小さくする(結果的に
μtotal は大きくなる)構成を示す。
結晶の〈100〉方向とが一致した時に電子の有効質量
が最も小さくなると報告されている。この現象は特に4
〔K:ケルビン〕という極低温において顕著に現れる。
特開平8-78329 号公報に記載された技術を利用して形成
した結晶性シリコン膜である。ただし、上記公報記載の
技術と実施例2(または実施例3)とを組み合わせて形
成している。
{110}面を主たる配向面とする特徴がある。また、
結晶性シリコン膜を構成する個々の棒状または偏平棒状
結晶51の成長方向は〈111〉軸方向に概略一致す
る。これらの結果は、電子回折パターンから確認されて
いる。その様子を図15(B)に示す。
0}面である場合、面内に〈111〉軸と〈100〉軸
とが存在する。本実施例では、上述の文献に報告された
効果を利用するために図15(A)の様な配置でピニン
グ領域52を形成する点に特徴がある。
〈111〉軸方向に向かってキャリア(電子を例にと
る)が移動するのだが、本実施例ではピニング領域52
を概略〈100〉軸に一致する様に形成することで、強
制的に電子の進行方向と〈100〉軸とを一致させてい
る。こうすることで電子の有効質量を小さくして格子散
乱を低減できるので、全体的なモビリティが向上する。
施例4に示した全ての半導体装置に対して適用すること
が可能である。また、他の全ての実施例と組み合わせる
ことが可能である。
した半導体装置の作製方法に従えばNチャネル型ピニン
グTFTもPチャネル型ピニングTFTも作製すること
ができる。従って、公知のCMOS技術を踏襲すれば、
Nチャネル型ピニングTFTとPチャネル型ピニングT
FTとを相補的に組み合わせたCMOS回路(インバー
タ回路)を構成することも可能である。
(A)、(B)、(C)のいずれかの様な構成をとるこ
とができる。図16(A)は二つのピニングTFT5
4、55を用いて形成している。なお、上段がPチャネ
ル型、下段がNチャネル型のピニングTFTを表してい
る。
従来のチャネルドープを用いたTFT(チャネルドープ
TFT)56を用い、Nチャネル型の方にピニングTF
T57を用いている。また、図16(C)は、図16
(B)とは逆にPチャネル型の方にピニングTFT58
を用い、Pチャネル型の方にチャネルドープTFT59
を用いた構成としている。
方がモビリティが高いので、図16(B)の様な構成は
Nチャネル型TFTとPチャネル型TFTとの出力バラ
ンスをとるという意味で好ましい。
他の全ての実施例を適用することが可能である。また、
Nチャネル型ピニングTFTとPチャネル型ピニングT
FTのどちらか片方のみの他の実施例を適用することも
可能である。
に対して13族または15族から選ばれた元素を添加す
る例を示したが、その代わりにC(炭素)、N(窒素)
またはO(酸素)を用いることも可能である。
合、結晶半導体薄膜のエネルギーバンド幅が広がるので
結果的に高い障壁が形成される。そのため、Nチャネル
型にもPチャネル型にも共用できる点に特徴がある。
1020atoms/cm3 (代表的には 1×1018〜 1×1019atoms/
cm3 )とすれば良い。この場合、ピニング領域自体には
しきい値電圧をシフトさせる能力はないが、狭チャネル
効果によるしきい値電圧の制御は可能である。
説明した図1(A)の構成においてピニング領域の形状
をドットパターン形状とする場合の例について説明す
る。説明には図17を用いるが、必要箇所以外は図1
(A)と同じ符号を用いる。
域60はドットパターン状(点状)に形成される。ま
た、その周りを囲む様にしてチャネル形成領域61が形
成される。このピニング領域60の形状は円状に限定さ
れず楕円状、棒状等に形成することもできる。また、個
々のピニング領域の配置をずらしてちどり状に形成する
ことも可能である。
TFTの作製工程において、図7(A)の下地膜702
の表面(上面)にピニング領域と同一導電型の不純物元
素を添加しておくことも有効である。
状態においてチャネル形成領域503のエネルギー状態
が底上げされた形となる。その様な構成とすることで下
地膜と活性領域との界面におけるキャリア散乱が低減さ
れるので、モビリティの向上に大きく寄与する。
シリコン膜の下地となる絶縁層に対して行われる技術で
ある。従って、どの様な構造のピニングTFTに対して
も適用することが可能である。
TFT(代表的にはプレーナ型TFT)に適用されるだ
けでなく、ボトムゲイト型TFT(代表的には逆スタガ
型TFT)にも適用することができる。
適用した場合においても、他の実施例の構成と組み合わ
せることが可能である。
ピニングTFTを用いて電気光学装置を構成する場合の
例について説明する。なお、電気光学装置とは電気的信
号を光学的信号に変換する装置またはその逆を行う装置
と定義する。電気光学装置としてはアクティブマトリク
ス型の液晶表示装置、EL(エレクトロルミネッセン
ス)表示装置、EC(エレクトロクロミクス)表示装置
などが挙げられる。また、イメージセンサやCCDを作
製することも可能である。
(TFT形成側基板)の配置例を示している。62は絶
縁表面を有する基板、63は画素マトリクス回路、64
はソース側駆動回路、65はゲイト側駆動回路、66は
ロジック回路である。
タ回路、サンプリング回路、バッファ回路等から構成さ
れる。また、ゲイト側駆動回路65は主にシフトレジス
タ回路、バッファ回路等から構成される。ロジック回路
66はクロック発生回路、メモリ回路、演算回路、信号
変換回路など各種信号処理回路から構成される。
路に対して適用することができる。また、必要とする性
能に応じて部分的に採用する様なこともできる。例え
ば、高速動作特性を必要とする回路(ロジック回路やシ
フトレジスタ回路等)にピニングTFTを適用すること
は有効である。また、高耐圧特性を必要とする画素マト
リクス回路にピニングTFTを適用することも有効であ
る。
どの様に大電流を必要とする様な回路に対してはピニン
グTFTを使うメリットが生かされない。本願発明のピ
ニングTFTはピニング領域を形成する分だけ有効チャ
ネル幅が狭まるので、同一サイズの従来型TFTに比べ
てオン電流を稼ぎにくい。
のチャネルドープを用いたTFTを用い、大電流を取り
扱うことなく高速動作性と高耐圧性を重視する回路には
本願発明のピニングTFTを用いる様なシステムが好ま
しい。
は実施例17に示した様な電気光学装置だけでなく、ロ
ジックIC、ロジックLSIといった半導体回路回路を
構築することも可能である。特に、実施例3または実施
例4に示したピニングTFTは従来のMOSFETに匹
敵する性能を実現する。なお、半導体回路とは半導体特
性を利用して電気信号の制御、変換を行う電気回路と定
義する。
の様に、高周波を利用する回路、具体的にはMMIC
(マイクロウェイブモジュールIC)などに適用するこ
とも有効である。
う必要のある部分には従来のチャネルドープを用いたT
FTを用い、高速動作性能と高耐圧性能とを必要とする
部分には本願発明のピニングTFTを用いる様な構成も
良い。
高い動作性能と高い耐圧特性(高い信頼性)とを同時に
満足するTFTであるので、あらゆる半導体回路に対し
て適用することが可能である。
を用いて構成した電気光学装置や半導体回路は、様々な
電子機器の構成部品として利用される。なお、本実施例
に挙げる電子機器とは、半導体回路または電気光学装置
を搭載した製品と定義する。
ラ、スチルカメラ、プロジェクター、ヘッドマウントデ
ィスプレイ、カーナビゲーション、パーソナルコンピュ
ータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話
等)などが挙げられる。それらの一例を図19に示す。
01、音声出力部2002、音声入力部2003、表示
装置2004、操作スイッチ2005、アンテナ200
6で構成される。本願発明は音声出力部2002、音声
出力部2003、表示装置2004等に適用することが
できる。
2101、表示装置2102、音声入力部2103、操
作スイッチ2104、バッテリー2105、受像部21
06で構成される。本願発明は表示装置2102、音声
入力部2103、受像部2106等に適用することがで
きる。
ービルコンピュータ)であり、本体2201、カメラ部
2202、受像部2203、操作スイッチ2204、表
示装置2205で構成される。本願発明はカメラ部22
02、受像部2203、表示装置2205等に適用でき
る。
イであり、本体2301、表示装置2302、バンド部
2303で構成される。本発明は表示装置2302に適
用することができる。
り、本体2401、光源2402、表示装置2403、
偏光ビームスプリッタ2404、リフレクター240
5、2406、スクリーン2407で構成される。本発
明は表示装置2403に適用することができる。
であり、本体2501、光源2502、表示装置250
3、光学系2504、スクリーン2505で構成され
る。本発明は表示装置2503に適用することができ
る。
広く、あらゆる分野の電子機器に適用することが可能で
ある。また、実施例16の電気光学装置や実施例17の
半導体回路を必要とする製品であれば全てに適用でき
る。
ル幅が極めて小さい微細な半導体装置においても短チャ
ネル効果による悪影響を抑制または防止することができ
る。即ち、パンチスルーによるソース−ドレイン間耐圧
の低下としきい値電圧の低下とを同時に解決することが
できる。
ャリアが移動する領域)に余計な不純物を含ませること
なく得られるので、キャリア移動度を損なうことがな
い。その結果、非常に高いモビリティが実現され、高速
動作特性(高周波特性)に優れるという利点がある。
グ領域を少数キャリアの引き出し配線として活用するこ
とで、衝突電離によるソース−ドレイン間耐圧の低下を
防ぐことが可能である。
高い信頼性とを同時に実現する半導体装置を実現するこ
とができる。また、本願発明の半導体装置を採用した電
気光学装置および半導体回路並びにそれらを搭載した電
子機器は、非常に高い性能と高い信頼性を得ることがで
きる。
図。
図。
図。
図。
Claims (27)
- 【請求項1】絶縁表面を有する基板上の結晶半導体薄膜
を利用して形成されたソース領域、ドレイン領域および
活性領域と、 ゲイト絶縁膜およびゲイト電極と、 を構成の少なくとも一部に含む半導体装置であって、 前記活性領域はチャネル形成領域と、前記結晶半導体薄
膜のエネルギーバンドをシフトさせてなる不純物領域
と、 から構成され、 局部的に設けられた前記不純物領域によって前記ドレイ
ン領域より前記ソース領域に向かって広がる空乏層が抑
止されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】絶縁表面を有する基板上の結晶半導体薄膜
を利用して形成されたソース領域、ドレイン領域および
活性領域と、 ゲイト絶縁膜およびゲイト電極と、 を構成の少なくとも一部に含む半導体装置であって、 前記活性領域はチャネル形成領域と、前記結晶半導体薄
膜のエネルギーバンドをシフトさせてなる不純物領域
と、 から構成され、 局部的に設けられた前記不純物領域によってしきい値電
圧が制御されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項3】絶縁表面を有する基板上の結晶半導体薄膜
を利用して形成されたソース領域、ドレイン領域および
活性領域と、 ゲイト絶縁膜およびゲイト電極と、 を構成の少なくとも一部に含む半導体装置であって、 前記活性領域はチャネル形成領域と、前記結晶半導体薄
膜のエネルギーバンドをシフトさせてなる不純物領域
と、 から構成され、 局部的に設けられた前記不純物領域によって前記ドレイ
ン領域より前記ソース領域に向かって広がる空乏層が抑
止され、且つ、しきい値電圧が制御されることを特徴と
する半導体装置。 - 【請求項4】請求項1乃至請求項3において、前記活性
領域は前記不純物領域およびチャネル形成領域が互いに
概略平行に、且つ、交互に並んで構成され、 前記不純物領域は前記ソース領域から前記ドレイン領域
にかけて形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項5】請求項1乃至請求項3において、前記不純
物領域によって多数キャリアの移動経路が規定されるこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項6】請求項1乃至請求項3において、前記チャ
ネル形成領域は多数キャリアの移動経路となり、且つ、
前記不純物領域は少数キャリアを前記活性領域の外部へ
引き出すための移動経路となることを特徴とする半導体
装置。 - 【請求項7】請求項1乃至請求項3において、前記チャ
ネル形成領域は真性または実質的に真性であることを特
徴とする半導体装置。 - 【請求項8】請求項1乃至請求項3において、前記結晶
半導体薄膜は多結晶構造または実質的な単結晶と見なせ
る構造を有することを特徴とする半導体装置。 - 【請求項9】請求項8において、前記実質的に単結晶と
見なせる構造を有する結晶半導体薄膜の主たる配向面は
{110}面であることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項10】請求項1乃至請求項3において、前記結
晶半導体薄膜とは非晶質半導体薄膜を結晶化させて得ら
れた薄膜であることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項11】請求項1乃至請求項5において、前記不
純物領域には13族から選ばれた元素が 1×1017〜 1×
1020atoms/cm3 の濃度で添加されていることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項12】請求項11において、前記13族から選
ばれた元素とはボロンまたはインジウムであることを特
徴とする半導体装置。 - 【請求項13】請求項1乃至請求項5において、前記不
純物領域には15族から選ばれた元素が 1×1017〜 1×
1020atoms/cm3 の濃度で添加されていることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項14】請求項13において、前記15族から選
ばれた元素とはリン、砒素またはアンチモンであること
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項15】絶縁表面を有する基板上に結晶半導体薄
膜を形成する工程と、 前記結晶半導体薄膜のうち、後に活性領域となる部分に
対して当該結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフト
させる不純物元素を添加して局部的に不純物領域を形成
する工程と、 を有し、 前記不純物領域はチャネル形成領域とドレイン領域との
接合部において不連続となる様に形成されることを特徴
とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項16】絶縁表面を有する基板上に結晶半導体薄
膜を形成する工程と、 前記結晶半導体薄膜のうち、後に活性領域となる部分に
対して当該結晶半導体薄膜のエネルギーバンドをシフト
させる不純物元素を添加して局部的に不純部領域を形成
する工程と、 を有し、 前記不純物領域によって前記活性領域は複数のチャネル
形成領域に分断されることを特徴とする半導体装置の作
製方法。 - 【請求項17】請求項15または請求項16において、
前記結晶半導体薄膜の形成方法は、絶縁表面を有する基
板上に非晶質半導体薄膜を形成する工程と、 前記非晶質半導体薄膜の全部または一部に当該非晶質半
導体薄膜の結晶化を助長する触媒元素を保持させる工程
と、 加熱処理により前記非晶質半導体薄膜を結晶化して、結
晶半導体薄膜に変成させる工程と、 ハロゲン元素を含む雰囲気中での加熱処理により前記結
晶半導体薄膜中に残存する触媒元素を処理雰囲気中へと
ゲッタリングする工程と、 を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項18】請求項15または請求項16において、
前記結晶半導体薄膜の形成方法は、絶縁表面を有する基
板上に非晶質半導体薄膜を形成する工程と、 前記非晶質半導体薄膜の全部または一部に当該非晶質半
導体薄膜の結晶化を助長する触媒元素を保持させる工程
と、 加熱処理により前記非晶質半導体薄膜を結晶化し、結晶
半導体薄膜に変成させる工程と、 前記結晶半導体薄膜の所定の領域に対して15族から選
ばれた元素を導入する工程と、 加熱処理により前記15族から選ばれた元素を導入した
領域に前記触媒元素をゲッタリングする工程と、 を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項19】請求項15または請求項16において、
前記不純物領域には13族から選ばれた元素が 1×1017
〜 1×1020atoms/cm3 の濃度で添加されることを特徴と
する半導体装置の作製方法。 - 【請求項20】請求項19において、前記13族から選
ばれた元素とはボロンまたはインジウムであることを特
徴とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項21】請求項15または請求項16において、
前記不純物領域には15族から選ばれた元素が 1×1017
〜 1×1020atoms/cm3 の濃度で添加されることを特徴と
する半導体装置の作製方法。 - 【請求項22】請求項21において、前記15族から選
ばれた元素とはリン、砒素またはアンチモンであること
を特徴とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項23】請求項15または請求項16において、
前記結晶半導体薄膜は多結晶構造または実質的に単結晶
と見なせる構造を有することを特徴とする半導体装置の
作製方法。 - 【請求項24】請求項23において、前記実質的に単結
晶と見なせる構造を有する結晶半導体薄膜の主たる配向
面は{110}面であることを特徴とする半導体装置の
作製方法。 - 【請求項25】請求項15または請求項16において、
前記結晶半導体薄膜は非晶質半導体薄膜を結晶化させて
得られることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 【請求項26】請求項15または請求項16において、
前記触媒元素とは、Ni、Co、Fe、Pd、Pt、C
u、Au、Ge、Pb、Inから選ばれた一種または複
数種の元素であることを特徴とする半導体装置の作製方
法。 - 【請求項27】請求項15または請求項16において、
前記不純物領域はイオン注入法により形成されることを
特徴とする半導体装置の作製方法。
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