JPH11354493A - ウエ−ハのノッチエッチング方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエ−ハのノッチだけをエッチング処理す
る。 【解決手段】 ウエ−ハ（１）のノッチ（４）に対応す
る形状の作用部（８）を有するノッチエッチング片
（９）を形成する。このノッチエッチング片（９）に供
給ノズル(10)からエッチング液を供給する。ウエ−ハ
（１）のノッチ（４）に上記ノッチエッチング片（９）
の作用部（８）を差し込み、ノッチ（４）にエッチング
液を付着させる。エッチング処理は、ウエ−ハ（１）の
平面の周縁部に大きな影響を与えることなく、ノッチ
（４）だけをエッチングすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエ−ハの外周に
形成されたノッチ部分のみをエッチングするようにした
ウエ−ハのノッチエッチング方法及び装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエ−ハの製造工程においては、
インゴットからスライシングしたウエ−ハの周縁を機械
加工により面取りしたり、周縁に形成したノッチをノッ
チ面取装置で面取りすることが行われているが、このよ
うな面取り加工をした端面は微細な粗面であり、汚れの
付着やダストの発生、熱ひずみの原因等になるため、面
取り加工後にウエ−ハの端面のみをエッチング処理する
ことが行われている。

【０００３】上記のようにウエ−ハの端面のみをエッチ
ング処理する種々の方法及び装置が提案され、使用され
ており、出願人も先にウエ−ハの端面にエッチングロ−
ラを接触させて回転することにより該端面をエッチング
処理する方法及び装置を提案して好評を博しているが、
近年ウエ−ハの平面の周縁部へ及ぶエッチング幅に対す
る技術的要求が益々厳しくなってきており、例えば約0.
５mm以下の精度を要求されるようになってきている。ウ
エ−ハの外周には、結晶方向を判別したり、位置合せを
容易にするため外周の一部をフラットにしたオリエンテ
−ションフラットや外周の一部を切欠いたノッチが形成
されているが、このような部分では周縁部へ及ぶエッチ
ングの影響が表われやすく、特にノッチの場合には外周
から中心に向かって形状が急激に変化しているため、ウ
エ−ハの端面にロ−ラを接触させてノッチの奥まで充分
にエッチング処理しようとするとウエ−ハの平面の周縁
部への影響を少なくすることはむずかしい。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決課題は、
ウエ−ハの平面の周縁部に影響を与えることなく、外周
に形成したノッチを確実にエッチング処理できるように
したウエ−ハのノッチエッチング方法及び装置を提供す
ることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ウエ−
ハのノッチに対応する形状の作用部を有するノッチエッ
チング片を形成し、該ノッチエッチング片にエッチング
液を供給し、該ノッチエッチング片の作用部をウエ−ハ
のノッチに差し込み、該ノッチエッチング片を介してエ
ッチング液をノッチに付着し、ノッチのエッチング処理
を行うことを特徴とするウエ−ハのノッチエッチング方
法が提供され、上記課題が解決される。

【０００６】また、本発明によれば、ウエ−ハの端面に
対向して開口する開口部を有し内部に該開口部に臨みウ
エ−ハのノッチに対応する形状の作用部を有するノッチ
エッチング片と該ノッチエッチング片にエッチング液を
供給する手段を有するノッチエッチングユニット、該ノ
ッチエッチングユニットの外部から上記開口部を通して
内部に向けて流れるガス流を形成する手段、上記ウエ−
ハのノッチに上記作用部を差し込むよう上記ノッチエッ
チング片を移動する手段を具備するウエ−ハのノッチエ
ッチング装置が提供され、上記課題が解決される。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の概略的構成を示す
説明図を示し、ウエ−ハ（１）は真空チャック等のチャ
ック手段（２）に吸着保持されて回転し、該ウエ−ハ
（１）に隣接してノッチエッチングユニット（３）が設
けられ、また適宜位置に上記ウエ−ハ（１）のノッチ
（４）の位置を検出するノッチ検出手段（５）が設けら
れ、該ノッチ検出手段（５）の検出信号に基づき、上記
ウエ−ハ（１）の回転を上記ノッチエッチングユニット
（３）に対向する位置で停止させるよう構成されてい
る。

【０００８】上記ノッチエッチングユニット（３）のフ
レ−ム（６）は、図２，図３に示すように、上記ウエ−
ハ（１）の端面に対向して開口する開口部（７）を有
し、該フレ−ム（６）の内部に上記開口部（７）に臨み
ウエ−ハのノッチ（４）に対応する形状の作用部（８）
を有するノッチエッチング片（９）と該ノッチエッチン
グ片（９）にエッチング液を供給する手段、図において
はエッチング液の供給源（図示略）に通じる供給ノズル
(10)が設けられ、下方にはエッチング液のドレインと排
気のためのダクト(11)が形成されている。

【０００９】上記エッチング液は、弗酸, 硝酸，酢酸を
適宜の割合で混合した混酸を用いているが、アルカリエ
ッチング液等目的に応じた適宜のエッチング液が使用さ
れ、液温は常温でもよいが、ウエ−ハエッジの状況によ
っては加温することでエッチングスピ−ドを増すことも
できる。上記ノッチエッチング片（９）は、これらのエ
ッチング液により損傷されないよう塩化ビニル樹脂, フ
ッ素樹脂等のプラスチック材料, ゴム材料, セラミック
ス材料その他の適宜の耐薬品性を有する材料で作られて
いる。この際、好ましくは図４に示すように全体若しく
は少くとも作用部（８）を含む部分を多孔質のプラスチ
ックフォ−ム材料で作り、上記供給ノズル(10)から供給
されたエッチング液を一時的に滞留させることができる
よう受孔(12)を形成し、該受孔(12)に溜められたエッチ
ング液が上記作用部（８）から滲み出て作用部の表面に
液膜を形成するようにしてあるが、上記ノッチエッチン
グ片（９）の外表面を伝わって上記作用部（８）にエッ
チング液が流れるようにしたり、エッチング液の流れを
案内するよう適宜の傾斜面、案内溝等を適宜部位に設け
ることもできる。なお、供給ノズル(10)の先端を上記受
孔(12)内に差し込んでエッチング液を直接供給するよう
にすれば、供給量を調節することにより作用部表面の液
膜をコントロ−ルでき、均一エッチングとエッチングス
ピ−ドの可変が可能である。

【００１０】上記ノッチエッチング片（９）は、図４等
に示す如き角形形状やその他の適宜の形状に形成するこ
とができ、例えば図５に示すように、円板状に形成して
その外周に適宜数の作用部（８）・・・を形成したり、
ノッチに入り込む形状のピン若しくはパイプに形成して
その外周全体を作用部としてもよい（図示略）。なお、
該ノッチエッチング片（９）は、エッチング液により劣
化したとき容易に交換できるようにしてあり、図３に示
す実施例では適宜位置に取付孔(13)を形成しフレ−ム
（６）に設けた支持ピン(14)に差し込み式に着脱可能と
し、上記供給ノズル(10)を取付けた蓋(15)もフレ−ム
（６）から容易に取り外せるようにしてある。

【００１１】上記エッチング液は、激しく反応してガス
を生じ、このガスが上記開口部（７）から外部に流出し
てウエ−ハの平面を曇らすおそれがあるので、上記ノッ
チエッチングユニット（３）の外部から上記開口部
（７）を通してフレ−ムの内部に向けて流れるガス流を
形成する手段が設けられている。図においては、上記フ
レ−ム（６）の開口部（７）の外側にエア−供給チュ−
ブ(16),(16）を設け、該エア−供給チュ−ブ(16),(16）
に形成した吹出口からドライ空気，窒素ガスその他適宜
の気体を上記開口部（７）を通してフレ−ム内に向けて
吹き出すようにしてあるが、ノッチエッチングユニット
（３）と別体に独立して適宜の位置にエア−供給チュ−
ブ等を設けたり、適宜のノズルから吹き出すようにして
もよい。

【００１２】上記ウエ−ハ（１）のノッチ（４）に上記
作用部（８）を差し込むよう上記ノッチエッチング片
（９）を移動する手段がある。該移動手段としては、ノ
ッチエッチング片（９）のみを移動させてもよいが、好
ましくはノッチエッチングユニット（３）を移動させる
とよく、例えば、図２に示す実施例では該ユニット
（３）のフレ−ム（６）を上記ダクト(11)部を中心とし
て回動可能に支持し、エアシリンダ−，油圧シリンダ−
等の流体圧シリンダ−やモ−タ−等の駆動手段（図示
略）をフレ−ムに連結することにより上記ユニットを回
動させているが、図６に示すように流体圧シリンダ−(1
7)により直線動させるようにしたり、ノッチに対して上
下方向に移動させるようにしてもよい（図示略）。な
お、これらの移動は、上記ウエ−ハ（１）のノッチ
（４）に対してノッチエッチング片（９）の作用部
（８）を過度に押し付けることがないよう適宜位置にス
トッパ−を設けたり、押圧力を調整する適宜の圧力調整
装置や緩衝装置を設けてウエ−ハに衝撃を与えることな
くソフトに接触させるようにしてある。

【００１３】上記ノッチエッチング装置は、ノッチ部分
だけをエッチングする工程として独立して用いることが
できるが、図２，図３に示すように、ウエ−ハの端面エ
ッチングユニットと併用することが好ましい。図に示す
端面エッチングユニット(18)は、ウエ−ハ（１）に対向
する開口部(19)を有するフレ−ム(20)内にエッチングロ
−ラ(21)と該エッチングロ−ラ(21)にエッチング液を供
給する供給ロ−ラ(22)を有し、該供給ロ−ラ(22)に供給
ノズル(23)からエッチング液を供給し、各ロ−ラ(21),
(22）をモ−タ−（図示略）で回転し、上記エッチング
ロ−ラ(21)を上記ウエ−ハ（１）の端面に接触させて該
端面をエッチングするようにしてあり、この際上記開口
部(19)からエッチング液のガスが流出しないようフレ−
ム(20)の外部から上記開口部(19)を通して内部にガス流
を生じさせる吹出口を有するノズルやエア−供給チュ−
ブ(24)が設けられている。上記エッチングロ−ラ(21)
は、図に示す実施例では１個であるが小径の複数のエッ
チングロ−ラを設けてもよく、また上記フレ−ム(20)
は、流体圧シリンダ−やモ−タ−等の適宜の駆動手段に
より上記エッチングロ−ラ(21)がウエ−ハ（１）の端面
に接触する位置と離れる位置にダクト(25)部を中心とし
て回動可能である。

【００１４】上記ウエ−ハ（１）の外周には、洗浄ロ−
ラ(26)を有する洗浄ユニット(27)が該ウエ−ハに接離自
在に接するように回動可能に設けてあり、上記洗浄ロ−
ラ(26)に純水等の洗浄液を供給してエッチング部分を洗
浄するようにしてある。なお、洗浄工程はエッチング処
理部と別に設けることもできる。

【００１５】而して、図２，図３に示すようにウエ−ハ
（１）をチャック手段（２）で保持回転してウエ−ハ
（１）の端面を上記端面エッチングユニット(18)でエッ
チング処理した後、若しくは端面をエッチングする前
に、適時にノッチ検出手段（５）を作動させてノッチ
（４）の位置を検出し、その検出に基づきウエ−ハ
（１）の回転を上記ノッチエッチングユニット（３）に
対向する位置で停止させ、該ノッチエッチングユニット
（３）を移動して上記ノッチエッチング片（９）の作用
部（８）を上記ウエ−ハ（１）のノッチ（４）に差し込
めば、ノッチの奥部まで適量のエッチング液が的確に付
着され、該ノッチ部だけをエッチング処理することがで
きる。

【００１６】上記ノッチエッチングユニット（３）は、
上記端面エッチングユニット(18)に組み込むこともでき
る。例えば、上記端面エッチングユニット(18)のエッチ
ングロ−ラ(21)の代わりに、該ロ−ラ−(21)の回転を停
止させて図５に示す如き円板状のノッチエッチング片
（９）を取付け、該ノッチエッチング片（９）が回転し
ないように保持した状態で上記作用部（８）をウエ−ハ
（１）のノッチ（４）に差し込むようにしたり、図７に
示すようにエッチングロ−ラ(21)の下方にノッチエッチ
ング片（９）を設け、ウエ−ハの端面をエッチングする
ときは図７に示すようにエッチングロ−ラ(21)がウエ−
ハ端面に対面する状態で行い、ノッチ（４）をエッチン
グするときは上記ノッチエッチング片（９）を上方へ移
動させて該ノッチエッチング片（９）の作用部（８）を
ウエ−ハ（１）のノッチ（４）に下方から差し込み、該
ノッチのエッチングを行えばよい。

【００１７】また、図８に示すように上記ノッチエッチ
ングユニット（３）と上記端面エッチングユニット(18)
のフレ−ムを一体としたり、隣接して設け上記ダクト(1
1),(25）を１つに構成し、ウエ−ハの回転が停止したと
き適時にノッチエッチング片（９）を流体圧シリンダ−
等の駆動手段(28)で移動させてノッチをエッチングする
ようにしたり、図９に示すようにノッチエッチング片
（９）を長く形成し多数積層したウエ−ハ（１）・・・
のノッチに当てて該ノッチを一度でエッチング処理する
ようにしてもよい。

【００１８】上記ノッチエッチング片（９）をノッチ
（４）に差し込んだ状態において、該ノッチエッチング
片（９）は静止させたままでもよいが、好ましくはモ−
タ−、流体圧シリンダ−、電磁装置その他の駆動手段に
よりウエ−ハのノッチに対し上下、左右等ノッチエッチ
ング片を抜き差しする方向に微振動、微移動させるとよ
い。なお、上記エッチング雰囲気は、通常は常温である
が、ウエ−ハエッジの状況によっては、上記ノズルから
吹き出す空気等の気体を加温してウエ−ハを若干暖める
ようにしてもよい。このようにすれば、エッチングする
部分と残す部分の境がはっきりしたエッチングが可能で
ある。

【００１９】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、 ウエ
−ハのノッチに対応する形状の作用部を有するノッチエ
ッチング片を形成し、該ノッチエッチング片にエッチン
グ液を供給し、該ノッチエッチング片の作用部をウエ−
ハのノッチに差し込み、該ノッチエッチング片を介して
エッチング液をノッチに付着し、ノッチのエッチング処
理をするようにしたから、ウエ−ハのノッチ部分を的確
にエッチング処理することができ、ウエ−ハの平面の周
縁部に及ぼすエッチングの影響が極めて少なくなり、エ
ッチングロ−ラによるウエ−ハの端面のエッチング処理
と併用することにより端縁をきれいにエッチングした良
質なノッチ付のウエ−ハを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の概略的構成を示し、（Ａ）
は待機時、（Ｂ）はノッチをエッチングする状態の説明
図。

【図２】フレ−ムを断面して示す平面図。

【図３】フレ−ムを断面して示す正面図。

【図４】ノッチエッチング片の一実施例を示す斜視図。

【図５】ノッチエッチング片の他の実施例を示す平面
図。

【図６】移動手段の他の実施例を示す平面図。

【図７】他の実施例を示す一部の正面図。

【図８】他の実施例を示す平面図。

【図９】他の実施例を示す説明図。

【符号の説明】

１ ウエ−ハ ２ チャック手段 ３ ノッチエッチングユニット ４ ノッチ ５ ノッチ検出手段 ６ フレ−ム ７ 開口部 ８ 作用部 ９ ノッチエッチング片 10 供給ノズル 18 端面エッチングユニット 21 エッチングロ−ラ 26 洗浄ロ−ラ 27 洗浄ユニット

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年３月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項５

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエ−ハのノッチに対応する形状の作用
   部を有するノッチエッチング片を形成し、該ノッチエッ
   チング片にエッチング液を供給し、該ノッチエッチング
   片の作用部をウエ−ハのノッチに差し込み、該ノッチエ
   ッチング片を介してエッチング液をノッチに付着し、ノ
   ッチのエッチング処理を行うことを特徴とするウエ−ハ
   のノッチエッチング方法。
2. 【請求項２】 上記ウエ−ハは端面にエッチングロ−ラ
   を接触させた状態で回転し、該エッチングロ−ラにエッ
   チング液を供給することにより上記ウエ−ハの端面をエ
   ッチング処理し、上記ノッチエッチング片は上記ウエ−
   ハのノッチの位置を検出するノッチ検出手段によりウエ
   −ハのノッチ位置を検出して該ウエ−ハの回転を停止し
   たとき上記ウエ−ハのノッチに差し込まれる請求項１に
   記載のウエ−ハのノッチエッチング方法。
3. 【請求項３】 上記エッチング処理は、エッチング液か
   らのガスがウエ−ハの平面に流出しないようウエ−ハの
   端面のみを囲んだ状態で行われる請求項１または２に記
   載のウエ−ハのノッチエッチング方法。
4. 【請求項４】 ウエ−ハの端面に対向して開口する開口
   部を有し内部に該開口部に臨みウエ−ハのノッチに対応
   する形状の作用部を有するノッチエッチング片と該ノッ
   チエッチング片にエッチング液を供給する手段を有する
   ノッチエッチングユニット、該ノッチエッチングユニッ
   トの外部から上記開口部を通して内部に向けて流れるガ
   ス流を形成する手段、上記ウエ−ハのノッチに上記作用
   部を差し込むよう上記ノッチエッチング片を移動する手
   段を具備するウエ−ハのノッチエッチング装置。
5. 【請求項５】 上記装置は、ウエ−ハを保持回転する手
   段及び上記ウエ−ハのノッチの位置を検出する手段を含
   み、上記ノッチの位置の検出に基づき上記ウエ−ハの回
   転を停止し上記ノッチエッチング片を移動させるように
   した請求項３に記載のウエ−ハのノッチエッチング装
   置。