JPH11353887A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置

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JPH11353887A
JPH11353887A JP15507398A JP15507398A JPH11353887A JP H11353887 A JPH11353887 A JP H11353887A JP 15507398 A JP15507398 A JP 15507398A JP 15507398 A JP15507398 A JP 15507398A JP H11353887 A JPH11353887 A JP H11353887A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の不揮発性半導体記憶装置では、2つの
メモリアレイを1パッケージの装置内に形成しても、2
回の読み出し用の動作が必要であり、動作が複雑で、読
み出しを実行するときに必要な処理時間も約2倍であっ
た。 【解決手段】 本発明の不揮発性半導体記憶装置は、複
数のブロックを有するメモリアレイと、メモリアレイの
状態を示す第1データを格納するステータスレジスタ
と、複数のブロックのうちの1つの状態を示す第2デー
タを格納するブロックステータスレジスタと、第1デー
タおよび第2データのデータバスへの出力を制御する制
御回路とを備え、データバスのビット数は、第1データ
のビット数と第2のデータのビット数とを加えたものと
等しいかまたは大きく、制御回路は、第1のデータと第
2のデータとがデータバスに同時に出力されるように第
1データおよび第2データのデータバスへの出力を制御
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータや情
報携帯機器に用いられる不揮発性半導体記憶装置に関す
る。より詳しくはデータの電気的な書き込みや、消去が
可能なメモリと、そのメモリに対応したステータスレジ
スタやブロックステータスレジスタとの構成や動作方法
に関する。特に、2チップ分のメモリアレイの機能を1
つのチップに集積した構成(DUAL WORKと呼ば
れる構成)からなる不揮発性半導体記憶装置で16ビッ
ト以上のバスを有し、ステータスレジスタとブロックス
テータスレジスタとを有する不揮発性半導体記憶装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の不揮発性メモリの1つに、EPR
OM(Erasable Programmable Read-Only memory)があ
る。EPROMでは、ユーザ側でデータの書き込みが可
能であるが、データを消去するときには、紫外線を照射
することにより全メモリアレイのデータを一括して消去
する。そのため、データを書き換える度に、EPROM
を基盤から抜き取る作業が必要であった。
【0003】上記EPROMはメモリセル面積が小さ
く、大容量を集積するには適しているが、紫外線を照射
してデータを消去するため、窓付きのパッケージを必要
とし、プログラマ(または、ライタ)と呼ばれる書き込
み装置によって書き込みを行うため、書き込み時にシス
テムからEPROMを取り外す必要がある。
【0004】一方、従来からあるEEPROMはシステ
ム内で電気的にデータの書き換えが可能であるが、メモ
リセル面積がEPROMの1.5倍から2倍程度と大き
いため値段が高く、また大容量を集積することは技術的
に困難であった。
【0005】そこで最近、両者の中間的な記憶装置とし
て、フラッシュメモリ(または、フラッシュEEPRO
M)と呼ばれるものが開発された。このフラッシュメモ
リは、チップ全体またはある領域のメモリセル(セクタ
またはブロックと呼ばれるもの)内のデータを一括して
電気的に消去する機能を持つ不揮発性半導体記憶装置で
あり、メモリセルの面積を、EPROM程度に小さくす
ることが可能である。このようなフラッシュメモリのメ
モリセルは、例えば、米国特許No.5249158、
米国特許No.5245570などに記載されている。
【0006】図5は、従来のフラッシュメモリのメモリ
セル3を示す。
【0007】メモリセル3は、浮遊ゲート型電界効果ト
ランジスタ構造を有している。基板301内にソース302と
ドレイン303とが形成されており、ソース302とドレイン
303との間の上部に浮遊ゲート304と制御ゲート305とが
形成されている。このようなフラッシュメモリでは、1
素子で1ビット(1セル)のメモリを構成できるために
高度の集積化を容易く実現することができる。
【0008】メモリセルヘデータを書き込むには、制御
ゲート電極に約12V、ドレインに約7V、ソースに0
Vの電圧を印加し、ドレイン接合の近傍で発生させたホ
ットエレクトロンを浮遊ゲート電極に注入する。セルに
データを書き込むと、メモリセルの制御ゲート電極から
見たしきい値電圧は高くなる。
【0009】また、図5に示されるように、浮遊ゲート
型電界効果トランジスタ構造を有したメモリセルは、1
素子で多値(メモリセルのスレッショルド電圧Vthの値
を細分化し、数百mV間隔で2のn乗のデータを表すこ
とができるようにした値)のデータを格納できるように
構成するとさらに高度な集積化を実現することができ
る。
【0010】メモリセルヘデータを書き込むには、ソー
スを0Vにし、制御ゲート電極に約12V、ドレインに
約7Vの数マイクロ秒のパルスを印加し、ドレイン接合
の近傍で発生させたホットエレクトロンを浮遊ゲート電
極に注入する。セルへの書き込みによってメモリセルの
制御ゲート電極から見たしきい値電圧は高くなる。V th
を制御するには、制御ゲート電極の電圧を変化させる
か、ドレイン電圧を変化させるかの方法があり、あるい
はまた、パルス幅を変化させることで実施することもで
きる。
【0011】一方、データを消去するには、制御ゲート
電極を接地し、ソースに正の高電圧(約12V)を印加
する。これにより、浮遊ゲート電極とソースとの間に高
電界が発生し、薄いゲート酸化膜を通してトンネル現象
が起こる。このトンネル現象を利用して浮遊ゲート電極
に蓄積された電子をソースに引き抜き、データを消去で
きる。データを消去するには、ブロック単位(例えば、
16Kバイトや64Kバイト単位)で消去するのが一般
的である。データを消去すると、制御ゲート電極から見
たしきい値電圧は低くなる(データの値が「1」にな
る)。このとき、メモリセルが選択トランジスタを持た
ないため、しきい値電圧が負になること(過剰消去)は
致命的な動作不良を引き起こす(読みだし時に、正しい
データが読み出せないという動作不良となる)。
【0012】読み出しには、ソースに0V、ドレインに
約1V程度の低電圧を印加し、制御ゲートには約5V程
度の電圧を印加し、この時に流れるチャンネル電流の大
小が情報の「1」と「0」とに対応することを利用し
て、データが読み出される。ドレイン電圧を低電圧にす
るのは、寄生的な弱い書き込み動作(ソフトライト)が
起こることを防止するためである。
【0013】また、多値の記憶データを読み出すには、
ソースに0V、ドレインに約1V程度の低電圧を印加
し、制御ゲートに印加する電圧を変化させ、チャンネル
電流を流し、制御ゲート電極の電圧の変化を利用するこ
とでデータの読み出しを実現する。
【0014】上述したように、メモリセルでは書き込み
をドレイン側、消去をソース側で行うので、それぞれの
動作に適するように接合プロファイルを個別に最適化す
るのが望ましい。すなわち、ソース、ドレインは非対称
構造となっているので、ドレイン接合では書き込み効率
を高めるために電界集中型プロファイルが用いられ、ソ
ース接合では高電圧が印加可能な電界緩和型プロファイ
ルが採用されている。
【0015】データを消去するときにソースに高電圧を
印加するが、このときソース接合の耐圧を高めなければ
ならない。このため、ソース電極側を微細化しにくいと
いう問題や、ソース近傍でホットホールが発生し、その
一部がトンネル絶縁膜中にトラップされ、セルの信頼性
が低下するなどの問題がある。そこで、他のデータ消去
方法の例としては、負ゲート消去という方法がある。負
ゲート消去では、制御ゲートに負電圧(約−10V)、
ソースに電源電圧(約5V)を印加し、トンネル電流に
よってデータを消去する。この方法では、データ消去時
にソースに印加する電圧が低いので、ソース側の接合耐
圧が低くてもよく、セルのゲート長を短縮する事が可能
であるという利点がある。また、負ゲート消去法を用い
るとデータ消去ブロックサイズを小さくし易いという利
点もあり、この方法はセクタ消去と呼ばれている。
【0016】ソースに高電界を加えるようなデータ消去
方法では、バンド間にトンネル電流が流れ、その電流値
はチップ全体で数mAにもなる。このため、昇圧回路を
使用することが困難である。従って、従来は消去用の高
電圧VPPをチップ外部から供給していた。負ゲート消去
方法では、ソースに電源電圧VCC(5Vまたは3V)を
供給することが可能であるので、単一の電源で装置を動
作させることが比較的容易であるという利点がある。
【0017】データ書き込みに、ホットエレクトロンを
用いる方法では、書き込み時に1セル当たり約1mAの
電流が流れるので、従来のEEPROMと同様にFNト
ンネル電流を用いて、データ書き込み時に1セル当たり
に流れる電流を少なくするように構成したフラッシュメ
モリもある。半導体プロセスが微細になり、電池で駆動
する携帯型機器が普及してきたため、動作電源をできる
だけ低電圧にすることが要望されている。そのため、5
Vでの単一動作ではなく、3.3Vでの単一動作をする
製品が求められ、開発が進められている。
【0018】3.3V電源(VCC)でデータを読み出す
場合、現状のフラッシュEEPROMでは、制御ゲート
線(ワード線)に電源電位(VCC=3.3V)を印加し
てデータを読み出したり、あるいはさらなる高速動作を
実現し、動作上のマージンを拡大するため、内部で昇圧
した約5Vの電圧を印加してデータを読み出している。
【0019】このような不揮発性半導体記憶装置では、
短時間での書き込みと読み出しが可能なRAM(ランダ
ムアクセスメモリ)に比べて、多くの動作状態(書き込
み、ブロック消去、全チップー括消去、ステータスレジ
スタの読みだしなど)が存在する。多数の動作状態を外
部制御信号(/CE、/WE、/CEなど)の組み合わ
せに対応させようとしても、従来のEPROM、EEP
ROMにある制御信号では足りなくなり、新しい制御信
号を追加する必要が生じている。その結果として使い勝
手が悪くなるので、米国特許No.5053990に示
されるように、制御信号線を増加することなく、コマン
ドを入力して制御する方式が考案され、現在主流として
実施されている。
【0020】この不揮発性半導体記憶装置では、ユーザ
が入力したコマンドが、コマンドステートマシーン(C
SM)と呼ばれるコマンドを認識する回路に入り、ライ
トステートマシーン(WSM)がコマンドに対応した動
作(消去/書き込みなど)を実行する。既存のフラッシ
ュメモリでは、ライトステートマシーンがコマンドを実
行中は、/CE/OEの制御信号レベルを「LOW」に
して読み出し動作にすると、メモリアレイに格納された
データではなく、ステータスレジスタ(SR)に格納さ
れた8ビットのデータを読み出すことになる。16ビッ
トのデータバスを用いたときでも、指定したアドレスに
は無関係に、上位の8ビットのデータバスは使われず下
位の8ビットのバスにステータスレジスタの状態を示し
たデータが出力される。
【0021】図6は、従来のステータスレジスタ(S
R)に格納されたデータを示す。
【0022】ステータスレジスタの7ビット目には、ラ
イトステートマシーン状態を示すビット(WSMSビッ
ト)が格納されている。WSMSビットの値「1」はレ
ディ状態を示し、値「0」はビジー状態を示す。ステー
タスレジスタの6ビット目には、消去中断状態を示すビ
ット(ESSビット)が格納されている。ESSビット
の値「1」は消去中断状態を示し、値「0」は消去中状
態/消去完了状態を示す。ステータスレジスタの5ビッ
ト目には、消去状態を示すビット(ESビット)が格納
されている。ESビットの値「1」はブロック消去エラ
ー状態を示し、値「0」はブロック消去成功状態を示
す。ステータスレジスタの4ビット目には、データ書き
込み状態を示すビット(DWSビット)が格納されてい
る。DWSビットの値「1」はデータ書き込みエラー状
態を示し、値「0」はデータ書き込み成功状態を示す。
ステータスレジスタの3ビット目には、VPP状態を示
すビット(VPPSビット)が格納されている。VPP
Sビットの値「1」はVPP低電位検出状態および動作
中止状態を示し、値「0」はVPP正常状態を示す。
【0023】ステータスレジスタの2ビット目〜0ビッ
ト目は将来の拡張のため予約されている。これらのビッ
トは将来の拡張用であるため、ステータスレジスタをポ
ーリングするときはこれらのビットをマスクする必要が
ある。
【0024】ステータスレジスタに格納されたデータを
利用するときの注意事項としては、RY/BY#出力ま
たはWSMSビットをチェックして、動作(消去中断、
消去、またはデータ書き込み)が完了していることを確
認してから、該当するステータス・ビット(ESSビッ
ト、ESビット、またはDWSビット)が成功を示して
いることをチェックする必要がある。また、消去動作に
おいてDWSビットおよびESビットの値が「1」にセ
ットされている場合は、誤ったコマンド・シーケンスが
入力されたことを示す。この場合、各ビットに格納され
たデータをクリアして、もう一度動作をやり直すことが
必要である。さらに、VPPSビットは、A/Dコンバ
ータとは異なり、VPPレベルでの連続表示を行わない。
ライトステートマシーンは、データの書き込みまたは消
去のコマンド・シーケンスが入力された後でのみVPP
ベルを問い合わせ、VPPがオンになっていない場合には
システムに適当なデータを通知する。VPPSビットの
データがVPPLおよびVPPHの正確なフィードバックを示
していることは必ずしも保証されない。
【0025】また、消去ブロックそれぞれの状態をデー
タとして格納したブロックステータスレジスタ(BS
R)を内蔵する不揮発性半導体記憶装置がある。この種
の装置の場合、ブロックステータスレジスタ読みだしコ
マンドを発行することにより、ブロックステータスレジ
スタの8ビットデータを読み出すことができる。16ビ
ットのデータバスを使用したときにも、上位8ビットの
バスは使われず、下位の8ビットのバスを介して、選択
したアドレスに対応するブロックステータスレジスタに
格納したデータが出力される。
【0026】図7は、従来のブロックステータスレジス
タ(BSR)に格納されたデータを示す。
【0027】ブロックステータスレジスタの7ビット目
には、ブロック状態を示すビット(BSビット)が格納
されている。BSビットの値「1」はレディ状態を示
し、値「0」はビジー状態を示す。ブロックステータス
レジスタの6ビット目には、ブロックロック状態を示す
ビット(BLSビット)が格納されている。BLSビッ
トの値「1」は消去/書き込み時のブロックロック解除
状態を示し、値「0」は消去/書き込み時のブロックロ
ック状態を示す。ブロックステータスレジスタの5ビッ
ト目には、ブロック動作状態を示すビット(BOSビッ
ト)が格納されている。BOSビットの値「1」は動作
失敗状態を示し、値「0」は動作成功状態もしくは動作
中状態を示す。ブロックステータスレジスタの4ビット
目には、ブロック動作中止状態を示すビット(BOAS
ビット)が格納されている。BOASビットの値「1」
は動作中止状態を示し、値「0」は動作継続状態を示
す。
【0028】BOSビットの値が「0」で、BOASビ
ットの値が「0」のとき、これらのビットは動作成功状
態もしくは動作中状態を示す。BOSビットの値が
「0」で、BOASビットの値が「1」のとき、これら
のビットは、妥当でない動作が行われた状態を示す。B
OSビットの値が「1」で、BOASビットの値が
「0」のとき、これらのビットは動作失敗状態を示す。
BOSビットの値が「1」で、BOASビットの値が
「1」のとき、これらのビットは動作中止状態を示す。
【0029】ブロックステータスレジスタの3ビット目
〜0ビット目は将来の拡張のため予約されている。これ
らのビットは将来の拡張用であるため、ブロックステー
タスレジスタをポーリングするときはこれらのビットを
マスクする必要がある。
【0030】ブロックステータスレジスタに格納された
データを利用するときの注意事項としては、RY/BY
#出力またはBSビットをチェックして、動作(ブロッ
ク・ロック、消去中断、消去、またはデータ書き込み)
が完了していることを確認してから、該当するステータ
ス・ビット(BOSビット、BLSビット)が成功を示
していることをチェックする必要がある。また、BOA
Sビットは、7ビット目のデータが値「1」になるまで
はセットされない。BOSビットの値が「1」で、BO
ASビットの値が「1」のとき、これらのビットは、ア
ボート・コマンドによって動作が中止されたことを示
す。
【0031】この種の不揮発性半導体記憶装置では、チ
ップ内の消去ブロックの大きさを不均等(米国特許N
o.5249158)または、均等(米国特許No.5
245570)に分割したものがある。
【0032】これらの不揮発性半導体記憶装置では、書
き込みや消去をともに、FNトンネル電流で行うものが
あり、メモリセルを直列に8個または16個接続したN
AND型と呼ばれるメモリセルを使用した構成もある。
NAND型は、NOR型に比べて読み出しスピードが遅
いが、メモリセルサイズを小さくできるという利点があ
る。
【0033】上述したように通常は、1個のメモリセル
に2つの値(1ビット)を記憶するが、4つの値(2ビ
ット)や8つの値(3ビット)さらには、16個の値
(4ビット)などの多値を記録する試みがある。
【0034】一般に不揮発性半導体記憶装置では、読み
だし速度が約100ナノ秒と速いのに比べ、書き込み動
作は約20マイクロ秒、消去動作は約1秒と遅い。一般
のSRAMやDRAMの様に、データの書き換えと読み
出しとを約100ナノ秒で高速に行うことができない。
そのため、消去動作を開始した後に、データの読み出し
を行おうとすると、消去動作が終了するまで待つか、消
去動作一時中断(サスペンド)コマンドを発行し、約5
0マイクロ秒後に消去動作が一時中断した後に、読み出
し動作を行う必要がある。
【0035】既存のフラッシュメモリでは、ステータス
レジスタに格納されたデータと、ブロックステータスレ
ジスタに格納されたデータとを読み出すには、以下のよ
うに動作させる必要がある。
【0036】ライトステートマシーンがコマンドを実行
している間は、/CEおよび/OEの制御信号レベルを
「LOW」にして読み出し動作にし、ステータスレジス
タに格納した8ビットデータを読み出す。たとえ16ビ
ットのバスを使用したとしても、アドレスには無関係
に、上位8ビットのバスは使われず下位の8ビットのバ
スにステータスレジスタの状態を示したデータが出力さ
れる。また、消去ブロックそれぞれの状態を示すブロッ
クステータスレジスタを内蔵する場合、ブロックステー
タスレジスタ読み出しコマンドを発行することにより、
ブロックステータスレジスタに格納された8ビットのデ
ータを読み出す。たとえ16ビットのバスを使用したと
しても、上位8ビットのバスは使われず、選択したアド
レスに対応した、ブロックステータスレジスタ内のデー
タが下位の8ビットのバスに出力される。
【0037】現在、1パッケージ内に2チップ分のメモ
リアレイの機能を内蔵した不揮発性半導体記憶装置があ
るが、このような不揮発性半導体記憶装置を改良したも
のとして、1チップ分のメモリアレイ(例えば、第1の
メモリアレイ)に対して書き込み/消去動作をしている
ときに、もう1つのチップ分のメモリアレイ(例えば、
第2のメモリアレイ)に対して読み出し動作を行える不
揮発性半導体記憶装置が開発されている(例えば、特開
平6−180999、特開平5−54682)。
【0038】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
不揮発性半導体記憶装置では、第1のメモリアレイおよ
び第2のメモリアレイの2つのメモリアレイを1パッケ
ージの装置内に形成しても、2つのレジスタに格納され
たデータを読み出すときの手順は従来のままであり、1
回の読み出し動作ではいずれかのレジスタに格納された
8ビットのデータを読み出すことしかできないという問
題がそのまま残っていた。つまり、8ビットよりもビッ
ト数の大きなデータバスを不揮発性半導体装置が備えて
いたとしても、このデータバスのビット数を最大限に活
用しようとする試みは行われてこなかった。
【0039】1パッケージ内の2つのメモリアレイに対
応する、2つのステータスレジスタからそれぞれに格納
されたデータを読むためには、まず1つのステータスレ
ジスタのデータを読み出し、次にもう1つのステータス
レジスタのデータを読み出す。このため、それぞれのデ
ータ読み出しにかかる時間を加えた処理時間が必要であ
った。
【0040】また、1チップの不揮発性半導体記憶装置
内にステータスレジスタと、(消去ブロックのそれぞれ
の状態を示しているデータを格納した)ブロックステー
タスレジスタとを形成したとしても、ステータスレジス
タに格納したデータとブロックステータスレジスタに格
納したデータとの両方を読み出すためには、2回の手順
が必要であり、これらのデータを一度で読み出すことは
できなかった。
【0041】すなわち、16ビットのデータバスを備え
ている不揮発性半導体記憶装置においてさえも、このう
ち下位の8ビットのビット線にいずれかのレジスタに格
納したデータが出力されるだけであった。ステータスレ
ジスタとブロックステータスレジスタとの2つのレジス
タのデータを読み出すには、まずステータスレジスタに
格納したデータを読み出すためにステータスレジスタ読
み出しコマンドを発行し、/CEおよび/OEの制御信
号レベルを「LOW」にしてステータスレジスタの読み
出し動作を開始し、ステータスレジスタに格納したデー
タを読み出す。(ステータスレジスタの状態を示す)読
み出された8ビットのデータはバスの下位8ビットを介
して送られ、上位8ビットのバスはまったく使われるこ
とがなかった。
【0042】次に、ブロックステータスレジスタに格納
したデータを読み出すためにアドレスを指定してブロッ
クを選択し、ブロックステータスレジスタ読みだしコマ
ンドを発行し、/CEおよび/OEの制御信号レベルを
「LOW」にしてブロックステータスレジスタの読み出
し動作を開始し、ブロックステータスレジスタに格納し
たデータを読み出す。(選択したアドレスに対応するブ
ロックステータスレジスタの状態を示す)読み出された
8ビットのデータはバスの下位8ビットを介して送ら
れ、上位8ビットのバスはまったく使われることがなか
った。従って、動作が複雑となり、この動作を実行する
ときの処理時間もそれぞれのレジスタの読み出しにかか
る時間を加えた分だけ必要であった。
【0043】本発明は、従来の不揮発性半導体記憶装置
を改良して、上述のような問題点を取り除き、短時間で
読み書き動作を行うことが可能な不揮発性半導体記憶装
置を提供することを目的としている。
【0044】
【課題を解決するための手段】本発明の不揮発性半導体
記憶装置は、複数のブロックを有するメモリアレイと、
該メモリアレイの状態を示す第1データを格納するステ
ータスレジスタと、該複数のブロックのうちの1つの状
態を示す第2データを格納するブロックステータスレジ
スタと、該第1データおよび該第2データのデータバス
への出力を制御する制御回路とを備え、該データバスの
ビット数は、該第1データのビット数と該第2のデータ
のビット数とを加えたものと等しいかまたは大きく、該
制御回路は、該第1のデータと該第2のデータとが該デ
ータバスに同時に出力されるように該第1データおよび
第2データの該データバスへの出力を制御し、これによ
り、上記目的が達成される。
【0045】前記第1データが、前記第2データより下
位のデータとして前記データバスに出力されてもよい。
【0046】前記第2データが、前記第1データより下
位のデータとして前記データバスに出力されてもよい。
【0047】また、本発明の他の不揮発性半導体記憶装
置は、複数のメモリアレイと、該複数のメモリアレイの
うちの1つの状態を示すデータを格納するステータスレ
ジスタと、該ステータスレジスタに格納された該データ
のデータバスへの出力を制御する制御回路とを備え、ア
ドレスを選択する情報に従って該複数のメモリアレイの
うちから1つのメモリアレイが選択され、該選択された
メモリアレイに対応するステータスレジスタから第1デ
ータが出力され、選択されなかった他のメモリアレイの
うちの1つのメモリアレイに対応するステータスレジス
タから第2データが出力され、該データバスのビット数
は、該第1データのビット数と該第2データのビット数
とを加えたものと等しいかまたは大きく、該制御回路
は、該第1データと該第2データとが該データバスに同
時に出力されるように該第1データおよび該第2データ
の該データバスへの出力を制御し、該選択されたメモリ
アレイへの書き込みと該他の1つのメモリアレイからの
読み出しとが同時に行われ、これにより、上記目的が達
成される。
【0048】前記複数のメモリアレイが1つのチップ内
に形成されてもよい。
【0049】また、本発明の他の不揮発性半導体記憶装
置は、各々が複数のブロックを有する複数のメモリアレ
イと、該複数のメモリアレイの1つの状態を示す第1デ
ータを格納する複数のステータスレジスタと、該複数の
ブロックのうちの1つの状態を示す第2データを格納す
る複数のブロックステータスレジスタと、該第1データ
および該第2データのデータバスへの出力を制御する制
御回路とを備え、該複数のステータスレジスタの各々と
該複数のブロックステータスレジスタの各々とは該複数
のメモリアレイの各々に対応し、アドレスを選択する情
報に従って該複数のメモリアレイのうちから1つのメモ
リアレイが選択され、該選択されたメモリアレイに対応
するステータスレジスタから第1データが出力され、該
選択されたメモリアレイに対応するブロックステータス
レジスタから第2データが出力され、該データバスのビ
ット数は、該第1データのビット数と該第2データのビ
ット数とを加えたものと等しいかまたは大きく、該第1
のデータと該第2のデータとが該データバスに同時に出
力されるように該第1データおよび該第2データの該デ
ータバスへの出力を制御し、これにより、上記目的が達
成される。
【0050】また、本発明の他の不揮発性半導体記憶装
置は、複数のブロックを有するメモリアレイと、該メモ
リアレイのうちの1つの状態を示す第1データを格納し
たステータスレジスタと、該第1データおよび該第1デ
ータと異なる第2データのデータバスへの出力を制御す
る制御回路とを備え、該データバスのビット数は、該第
1データのビット数と該第2データのビット数とを加え
たものと等しいかまたは大きく、該第1データと該第2
データとが該データバスに同時に出力されるように該第
1データおよび該第2データの該データバスへの出力を
制御し、これにより、上記目的が達成される。
【0051】さらに、本発明の他の不揮発性半導体記憶
装置は、複数のブロックを有するメモリアレイと、該複
数のブロックのうちの1つの状態を示す第1データを格
納するブロックステータスレジスタと、該第1データお
よび該第1データと異なる第2データのデータバスへの
出力を制御する制御手段とを備え、該データバスのビッ
ト数は、該第1データのビット数と該第2のデータのビ
ット数とを加えたものと等しいかまたは大きく、該第1
データと該第2データとが該データバスに同時に出力さ
れるように該第1データおよび該第2データの該データ
バスへの出力を制御し、これにより、上記目的が達成さ
れる。
【0052】以下、作用について説明する。
【0053】上記のように構成された不揮発性半導体記
憶装置は、1回の読み出しで2つのレジスタのデータを
読むことができるため、読み出し、消去、書き込みなど
の処理時間を短縮できる。また、コマンドを入力してデ
ータを読み出すときに一度で2チップ分のレジスタの状
態を知ることができ、ユーザが容易にチップの状況を知
ることができる。また、1チップの不揮発性半導体記憶
装置内に2チップ分のメモリアレイを備える構成が可能
であるので、従来のように2チップで装置を構成するよ
りも余分な回路を削ることができ、チップが占める面積
を削減することができる。さらに、従来と同様に、1回
の読み出しで1つのレジスタのデータを読むことも可能
であり、従来の不揮発性半導体記憶装置と互換性を保つ
ことができる。
【0054】また、本発明の不揮発性半導体記憶装置で
は、ライトステートマシーンがコマンドを実行している
ときに(またはステータスレジスタを読み出すために、
コマンドを発行した後に)、/CEおよび/OEの制御
信号レベルを「LOW」にして読み出し動作にすると、
メモリアレイに格納しているデータではなく、ステータ
スレジスタに格納したデータを読み出すことができる。
ステータスレジスタを複数備えているときでも、制御回
路が第1のステータスレジスタからの第1データと、第
2のステータスレジスタからの第2データとのデータバ
スへの出力を制御し、第1データと第2データとが同時
に出力されるため、CE#とOE#を「LOW」にした
とき、選択したアドレスに対応する1チップ分のメモリ
アレイに対応した、ステータスレジスタのデータを下位
のデータとしてデータバスに出力し、もう1チップ分の
メモリアレイに対応したステータスレジスタのデータ
を、上位のデータとしてデータバスに出力することがで
きる。
【0055】また、ブロックを選択するアドレスを入力
し、同時に/CEおよび/OEの制御信号レベルを「L
OW」にして、ブロックステータスレジスタのデータを
読み出すために、コマンドを発行すると、メモリアレイ
に格納されたデータではなく、ステータスレジスタの第
1データと、ブロックステータスの第2データとを読み
出すことになる。制御回路がステータスレジスタからの
第1データと、ブロックステータスレジスタからの第2
データとのデータバスへの出力を制御し、第1データと
第2データとが同時に出力されるため、アドレスで指定
したメモリアレイに対応するブロックステータスレジス
タからのデータを、下位のデータとしてデータバスに出
力し、アドレスで選択しなかった方のメモリアレイに対
応するステータスレジスタからのデータを、上位のデー
タとしてデータバスに出力することができる。さらに、
従来と同様に、アドレスで選択したメモリアレイに対応
したレジスタのデータのみを出力することもできる。
【0056】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を説明する。
【0057】(第1の実施の形態)図1は、本発明の第
1の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置1の構成を示
す。
【0058】以下の説明では、不揮発性半導体記憶装置
1はフラッシュメモリであるとする。しかし、フラッシ
ュメモリ以外の不揮発性メモリにも本発明は適用され得
る。フラッシュメモリ1は、複数のブロック101を備え
たメモリアレイ120と、コマンドステートマシーン(C
SM)102と、ライトステートマシーン(WSM)103
と、ロウ(行)デコーダ104と、コラム(列)デコーダ1
05と、ブロック選択回路106と、ステータスレジスタ
(SR)107と、データ切り換え回路109と、ブロックス
テータスレジスタ(BSR)110と、センスアンプ116と
を備えている。また、フラッシュメモリ1は16ビット
データバス112と、アドレスバス113とを備えている。さ
らに、フラッシュメモリ1は、消去/書き込みなどのプ
ログラム用に消去/書き込み電圧発生回路115を備えて
いる。
【0059】ステータスレジスタ107には、メモリアレ
イの状態を示すデータが格納されている。ブロックステ
ータスレジスタ110には、複数のブロック101のうちの1
つの状態を示すデータが格納されている。ブロックプロ
テクト設定部分(BP)108は、ブロックがロックされ
ているかどうかの状態を模式的に表している。ブロック
がロックされているかどうかのデータは、各消去ブロッ
クのブロックステータスレジスタ110に格納される。
【0060】コマンドステートマシーン102には、コマ
ンド111やリセット信号114が入力され、これに同期して
/CE、/WE、/OEの制御信号レベルが変化する。
【0061】コマンドステートマシーン102は、入力さ
れたコマンド111を解読し、ライトステートマシーン103
に解読した結果を送る。ライトステートマシーン103は
コマンド111に対応した動作(消去/書き込み等)を実
行する。ロウデコーダ104は、メモリアレイ120のワード
線(図示せず)を選択し、コラムデコーダ105はメモリ
アレイ120のビット線(図示せず)を選択する。コラム
デコーダ105によって選択されたビット線はセンスアン
プ116によって記憶状態をセンスされる。ブロック選択
回路106は、n個ある消去ブロック101から1個のブロッ
クを選択する。ライトステートマシーン103は、ブロッ
ク選択回路106によって選択されたブロックが消去禁止
の状態(ブロックロック状態)になっていないときには
ブロックのデータを一括して消去する。逆に、そのブロ
ックが消去禁止状態(ブロックロック状態)になってい
るときにはブロック内に格納されたデータの書き換えは
行われない。
【0062】消去動作をするためには、通常、まず消去
しようとするブロック101の1つを選択し、選択された
ブロック101内の全メモリセル(図示せず)にデー夕
「0」を書き込む(スレッショルド電圧Vthを大にす
る)。次に、消去しようとするブロック101内の全メモ
リセルのVthがすべて規定値以上になったとき、当該ブ
ロックのメモリセルに格納されたデータを一括して消去
する(Vthを小にする)。これら一連の動作はライトス
テートマシーン103によって制御され、実行結果はデー
タとしてステータスレジスタ107およびブロックステー
タスレジスタ110に格納される。また、ブロックステー
タスレジスタ110に格納されたデータには、各消去ブロ
ック101のロック状態を示したデータの他に、外部から
アドレスを指定することによって選択されたブロックが
どれであるかに関するデータなどがある。
【0063】コマンドステートマシーン102やデータ切
り換え回路109と、外部との間でデータのやり取りを可
能にするため、フラッシュメモリ1は16ビットのデー
タバス112を備えている。バス112の幅は16ビット以外
でもよく、例えば24ビットでも32ビットでもよい。
【0064】消去/書き込み電圧発生回路115には外部
電源VCCから所定の電圧が入力される。消去/書き込み
電圧発生回路115は必要に応じて約12Vの高電圧を発
生したり、負ゲート消去を実行する場合にはマイナス電
位を発生したりする。
【0065】データ切り換え回路109は、メモリアレイ1
01に格納されたデータ、ステータスレジスタ107に格納
されたデータ、ブロックステータスレジスタ110に格納
されたデータのうちどれをデータとして読み出すかを選
択する回路である。
【0066】図2は、図1に示されるデータ切り換え回
路109の構成を示す。
【0067】データ切り換え回路109は、複数のトライ
ステートゲート109-1〜109-6と、1/nブロックステー
タスレジスタ選択回路109-7とを備えている。データ切
り換え回路109には、センスアンプ116、ステータスレジ
スタ107、ブロックステータスレジスタ110が接続されて
いる。また、データ切り換え回路109から出力されるデ
ータは、16ビットのデータバス112へ送られる。
【0068】ブロックアドレスとして指定されたデータ
に基づいて1/nブロックステータスレジスタ選択回路
109-7は、n個のブロックステータスレジスタ110から1
個のブロックステータスレジスタを選択する。
【0069】信号S1〜S3がコマンドステートマシン
102(図2には示されていない。図1参照)からデータ
切り換え回路109に入力される。信号S1〜S3のレベ
ルを、(X,X,X)で示す。ここで、Xはレベル
「H」もしくはレベル「L」で、先頭から順にS1、S
2、S3の信号を表す。例えば、(H,L,L)は信号
S1がレベル「H」で、S2とS3とがレベル「L」で
あることを示す。
【0070】信号が(H,L,L)になったとき、トラ
イステートゲート109-1および109-2はセンスアンプ116
からの出力を通す。また、信号が(L,H,L)になっ
たとき、トライステートゲート109-6はブロックステー
タスレジスタ110に格納されたデータを下位の8ビット
のデータとしてデータバス112を介して伝達し、トライ
ステートゲート109-4はステータスレジスタ107に格納さ
れたデータを上位の8ビットのデータとして16ビット
バス112を介して伝達する。信号が(L,L,H)にな
ったとき、トライステートゲート109-3はステータスレ
ジスタ107に格納されたデータを下位の8ビットのデー
タとして16ビットのバス112を介して伝達し、トライ
ステートゲート109-5はブロックステータスレジスタ110
に格納されたデータを上位の8ビットのデータとして1
6ビットバス112を介して伝達する。
【0071】フラッシュメモリ1は、ステータスレジス
タ107とブロックステータスレジスタ110に格納されたデ
ータの出力を制御するデータ切り換え回路109を備えて
いるので、コマンドステートマシン102から信号(L,
H,L)や信号(L,L,H)を出力することで、デー
タバス112の下位のビット線のみならず、上位のビット
線にもステータスレジスタ107やブロックステータスレ
ジスタ110からのデータを出力することが可能である。
従って、従来の2チップ分のレジスタの状態を1回の読
み出しでデータとして読み出すことが可能である。
【0072】つまり、フラッシュメモリ1は、ステータ
スレジスタ107からのデータと、ブロックステータスレ
ジスタ110からのデータとを同時にデータバス112に出力
できる。
【0073】さらに、フラッシュメモリ1は、1/nブ
ロックステータスレジスタ選択回路109-7とデータバス1
12の下位のビット線との間に別のトライステートゲート
を備えることができる。この別のトライステートゲート
を制御することで、従来の方法と同様にデータバス112
の下位のビット線のみを使用して、ブロックステータス
レジスタ110からの情報を出力することもできる。
【0074】
【表1】
【0075】表1は、従来のフラッシュメモリの書き込
み−書き込みサイクルで用いられるコマンドを示す。
【0076】この書き込み−書き込みサイクルでの書き
込み用のコマンドとして、データ書き込み、ブロック消
去、消去中断、消去再開、ブロックロックがある。
【0077】本実施例のフラッシュメモリ1では、従来
の書き込み−書き込みサイクルでのコマンドをそのまま
使用して、書き込みを制御することができる。ブロック
消去コマンドが入力されると、第1サイクル目に/CE
および/WEの制御信号レベルが共に「L」になり、値
(20)Hを有するデータが入力される。ここで、
(X)Hは、16進で表された数Xを示す。以下で、同
様の表記を用いる。次に第2サイクル目に/CEおよび
/WEの制御信号レベルが共に「L」になり、値(D
0)Hのデータと消去したいブロックアドレスとが入力
される。
【0078】書き込みコマンドを入力すると、第1サイ
クル目に/CEおよび/WEの制御信号レベルが共に
「L」になり、値(40)Hのデータが入力され、次に
第2サイクル目に/CEおよび/WEの制御信号レベル
が共に「L」になり、メモリセルに書き込むためのデー
タとメモリセルのアドレスとが入力される。
【0079】ブロックロックコマンドが入力されると、
第1サイクル目に/CEおよび/WEの制御信号レベル
が共に「L」になり、値(77)Hのデータが入力さ
れ、次に第2サイクル目に/CEおよび/WEの制御信
号レベルが共に「L」になり、データの書き換えを禁止
するブロックのアドレスと値(D0)Hのデータとが入
力される。この結果、(図1に示される)ブロックプロ
テクト設定部分(BP)108ビットが設定される(ブロ
ックロック状態)。ブロックプロテクト設定部分108は
各ブロックごとに設定される。ブロックロック設定コマ
ンドを発行するとブロックプロテクト設定部分108は値
「H」となり、当該ブロックのデータを書き換えること
が禁止される(ブロックプロテクト設定部分108の値が
「L」のときには書き換えが可能である)。ブロックが
ロックされているかどうかを示すデータは、各消去ブロ
ックのブロックステータスレジスタ110に格納される。
【0080】消去動作をするには、通常時間が長くかか
るので、消去中断コマンドを使用することが好ましい。
消去中断コマンドを入力すると、第1サイクル目に/C
Eおよび/WEの制御信号レベルが共に「L」になり、
値(B0)Hを有するデータが入力される。消去動作の
中断を止め、消去動作を再開するには、再開コマンドを
用いる。再開コマンドを入力すると、第1サイクル目に
/CEおよび/WEの制御信号レベルが共に「L」にな
り、値(D0)Hを有するデータが入力される。
【0081】消去動作や、書き込み動作が成功したかど
うかのデータを得るためには、消去動作や、書き込み動
作を実行した後に/CEおよび/OEの制御信号レベル
を共に「L」にして、ステータスレジスタ107の8ビッ
トのデータを読み出せばよい。
【0082】
【表2】
【0083】表2は、従来のフラッシュメモリの書き込
み−読み出しサイクルで用いられるコマンドを示す。
【0084】書き込み−読み出しサイクルでの読み出し
用のコマンドとして、アレイ読み出し、ステータスレジ
スタ読み出し、クリアステータスレジスタ、ブロックス
テータスレジスタ読み出しがある。
【0085】フラッシュメモリ1の読み出し用のコマン
ドとしては、従来のフラッシュメモリ用のコマンドをそ
のまま使用することができる。
【0086】例えば、第1サイクル目に/CEおよび/
WEの制御信号レベルを共に「L」にし、値(70)H
を有するデータを書き込み、ステータスレジスタ107を
読み出しモードにして、/CEおよび/OEの制御信号
レベルを共に「L」にし、ステータスレジスタ107の状
態を読み出すことができる。
【0087】また、第1サイクル目に値(71)Hを有
するデータを書き込み、ブロックステータスレジスタ11
0読み出しモードをコマンドとして発行し、/CEおよ
び/OEの制御信号レベルを共に「L」にし、ブロック
選択アドレスを入力してブロックステータスレジスタ11
0の8ビットのデータを読み出すことができる。
【0088】(第2の実施の形態)図3は、本発明の第
2の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置2の構成を示
す。
【0089】以下の説明では、不揮発性半導体記憶装置
2はフラッシュメモリであるとする。しかし、フラッシ
ュメモリ以外の不揮発性メモリにも本発明は適用され得
る。フラッシュメモリ2は、2つのメモリアレイ201a,b
と、16ビットデータバス212と、アドレスバス213とを
備えている。メモリアレイ201a,bは、複数のブロック
(図示せず)を備えている。また、フラッシュメモリ2
は、2つのステータスレジスタ(図3に示されるSR1
およびSR2)207a,bを備えている。2つのステータス
レジスタ207a,bは、それぞれ2つのメモリアレイ201a,b
に対応している。また、フラッシュメモリ2は、2つの
メモリアレイ201a,bのそれぞれに対応したブロックステ
ータスレジスタ210(図3には示されていない。図4参
照)を備えている。フラッシュメモリ2は1チップ内に
形成されており、2チップ分のメモリアレイ201a,bやそ
れに対応する回路が含まれているので、DUAL WO
RKと呼ばれている。ステータスレジスタ207aには、メ
モリアレイ201aの状態を示すデータが格納されており、
ステータスレジスタ207bには、メモリアレイ201bの状態
を示すデータが格納されている。複数のブロックステー
タスレジスタ210は、メモリアレイ201a,bが備えている
複数のブロックのそれぞれに対応しており、複数のブロ
ックのうちの1つの状態を示すデータが各々のブロック
ステータスレジスタ210に格納されている。
【0090】また、フラッシュメモリ2は、コマンドス
テートマシーン(CSM)202と、ライトステートマシ
ーン(WSM)203と、データ切り換え回路209と、消去
/書き込み電圧発生回路215とを備えている。
【0091】コマンドステートマシーン202には、コマ
ンド211やリセット信号214が入力され、これに同期して
/CE、/WE、/OEの制御信号レベルが変化する。
コマンドステートマシーン202は入力されたコマンド211
とアドレスとを解読し、メモリアレイ201aまたはメモリ
アレイ201bに対する読み出し、消去、書き込みなどの実
行を指示するデータを、ライトステートマシーン203に
送る。例えば、メモリアレイ201aに対するコマンド211
が入力されると、ライトステートマシーン203はメモリ
アレイ201aに対してコマンド211に対応した動作(読み
出し/消去/書き込みなど)を実行する。
【0092】ロウデコーダ204a,bはそれぞれメモリアレ
イ201a,bに対応し、メモリアレイ201a,bのワード線(図
示せず)を選択する。コラムデコーダ205a,bはそれぞれ
メモリアレイ201a,bに対応し、メモリアレイ201a,bのビ
ット線(図示せず)を選択する。センスアンプ216a,b
は、ビット線の記憶状態をセンスする。ブロック選択回
路206a,bは、メモリアレイ201a,bのブロックに格納され
たデータの消去、書き込みを制御する。
【0093】メモリアレイ201aに対応するロウデコーダ
204aはメモリアレイ201aのワード線を選択し、コラムデ
コーダ205aはメモリアレイ201aのビット線を選択する。
コラムデコーダ205aで選択されたビット線はセンスアン
プ216aで記憶状態をセンスされる。ブロック選択回路20
6aは、M個ある消去ブロックから1個のブロックを選択
する。ライトステートマシーン203は、ブロック選択回
路206aが選択したブロックが消去禁止状態(ブロックロ
ック状態)でないときには、選択したブロックのデータ
を一括して消去する。逆に、ブロック選択回路206aが選
択したブロックが消去禁止状態(ブロックロック状態)
であるときには、ブロックに格納されたデータの書き換
えは行われない。
【0094】これら一連の動作はライトステートマシー
ン203によって制御され、実行結果はデータとしてステ
ータスレジスタ207aおよびブロックステータスレジスタ
210に格納される。また、メモリアレイ201aに対応する
ブロックステータスレジスタ210には、各消去ブロック
のロック状態(データの書き換えが禁止されるように設
定された状態)を示すデータが格納される。
【0095】同様に、メモリアレイ201bに対応するロウ
デコーダ204bはメモリアレイ201bのワード線を選択し、
コラムデコーダ205bはメモリアレイ201bのビット線を選
択する。コラムデコーダ205bで選択されたビット線はセ
ンスアンプ216bで記憶状態をセンスされる。ブロック選
択回路206bは、M個ある消去ブロックから1個のブロッ
クを選択する。ライトステートマシーン203は、ブロッ
ク選択回路206bが選択したブロックが消去禁止状態(ブ
ロックロック状態)でないときには、選択したブロック
のデータを一括して消去する。逆に、ブロック選択回路
206bが選択したブロックが消去禁止状態(ブロックロッ
ク状態)であるときには、ブロックに格納されたデータ
の書き換えは行われない。
【0096】これら一連の動作はライトステートマシー
ン203によって制御され、実行結果はデータとしてステ
ータスレジスタ207bおよびブロックステータスレジスタ
210に格納される。また、メモリアレイ201bに対応する
ブロックステータスレジスタ210には、各消去ブロック
のロック状態(データの書き換えが禁止されるように設
定された状態)を示すデータが格納される。
【0097】メモリアレイ201aに対してデータが書き込
まれているときでも、メモリアレイ201bに対する読み出
しがコマンドとして入力されると、メモリアレイ201bに
対応するロウデコーダ204bはメモリアレイ201bのワード
線を選択し、メモリアレイ201bに対応するコラムデコー
ダ205bはメモリアレイ201bのビット線を選択する。さら
に、メモリアレイ201bに対応するコラムデコーダ205bで
選択されたメモリアレイ201bのビット線は、メモリアレ
イ201bに対応したセンスアンプ216bで記憶状態をセンス
され出力される。
【0098】消去/書き込み電圧発生回路215には外部
電源VCCから所定の電圧が入力される。消去/書き込み
電圧発生回路215は必要に応じて約12Vの高電圧を発
生したり、負ゲート消去を実行する場合にはマイナス電
位を発生したりする。
【0099】フラッシュメモリ2には1チップに2チッ
プ分のメモリアレイ201a,bやそれに対応する回路が含ま
れているが、データ切り換え回路209を備えているため
に、メモリアレイ201aに対する消去動作を実行中に、同
時にメモリアレイ201bに対する読み出し動作が可能であ
るため、フラッシュメモリ2は従来の2チップ分の動作
をすることが可能である。
【0100】図4は、図3に示されるデータ切り換え回
路209の構成を示す。
【0101】データ切り換え回路209は、複数のトライ
ステートゲート209-1〜209-7と、1/Nブロックステー
タスレジスタ選択回路209-8とを備えている。また、デ
ータ切り換え回路209には、ステータスレジスタ207a,
b、N個のブロックステータスレジスタ210、センスアン
プ216とが接続されている。データ切り換え回路209から
出力されたデータは16ビットデータバス212へ送られ
る。データ切り換え回路209に入力される信号S1〜S
4は、コマンドステートマシン202(図4には示されて
いない。図3参照)から送られてきた信号である。
【0102】データ切り換え回路209は、メモリアレイ2
01a,b(図4には示されていない。図3参照)に格納さ
れたデータ、ステータスレジスタ207a,bに格納されたデ
ータ、ブロックステータスレジスタ210に格納されたデ
ータのうちいずれかをデータとして読み出すかを選択す
る。ブロックアドレスとして指定されたデータに基づい
て、1/Nブロックステータスレジスタ選択回路209-8
は、N個(メモリアレイ201aに対応するブロックの数
と、メモリアレイ201bに対応するブロックの数との総数
N)のブロックステータスレジスタ210から1個のブロ
ックステータスレジスタを選択する。
【0103】信号S1〜S3がコマンドステートマシン
202(図4には示されていない。図3参照)からデータ
切り換え回路209に入力される。信号S1〜S4のレベ
ルを(X,X,X,X)で示す。Xはレベル「H」もし
くは「L」で、先頭から順にS1、S2、S3、S4の
信号を表す。例えば、(H,L,L,L)は信号S1が
レベル「H」でS2〜S4がレベル「L」であることを
示す。
【0104】信号が(H,L,L,L)になったとき、
トライステートゲート209-1および209-2はセンスアンプ
出力を通す。信号が(L,H,L,L)になったとき、
トライステートゲート209-3はブロックステータスレジ
スタ210に格納されたデータを下位の8ビットデータと
して16ビットバス212を介して伝達する。
【0105】信号が(L,L,H,L)になったとき、
トライステートゲート209-4は、メモリアレイ201a(図
4には示されていない。図3参照)に対応したステータ
スレジスタ207aに格納されたデータを下位の8ビットデ
ータとして16ビットデータバス212を介して伝達し、
トライステートゲート209-6は、メモリアレイ201b(図
4には示されていない。図3参照)に対応するステータ
スレジスタ207bに格納されたデータを上位の8ビットデ
ータとして16ビットデータバス212を介して伝達す
る。
【0106】信号が(L,L,L,H)になったとき、
トライステートゲート209-7は、メモリアレイ201b(図
4には示されていない。図3参照)に対応するステータ
スレジスタ207bに格納したデータを下位の8ビットのデ
ータとして16ビットデータバス212を介して伝達し、
トライステートゲート209-5は、メモリアレイ201a(図
4には示されていない。図3参照)に対応するステータ
スレジスタ207aに格納されたデータを上位の8ビットデ
ータとして16ビットデータバス212を介して伝達す
る。
【0107】フラッシュメモリ2は、2つのステータス
レジスタ207a,bに格納されたデータのデータバス212へ
の出力を制御するデータ切り換え回路209を備えている
ので、コマンドステートマシン202から信号(L,L,
H,L)や信号(L,L,L,H)を出力することで、
データバス212の下位のビット線のみならず、データバ
ス212上位のビット線にもステータスレジスタ207a,bの
いずれかからのデータを出力することを可能にしてい
る。
【0108】つまり、フラッシュメモリ2は、アドレス
を選択する情報に従って選択されたメモリアレイ201a
(図4には示されていない。図3参照)に対応するステ
ータスレジスタ207aからのデータと、選択されなかった
メモリアレイ201b(図4には示されていない。図3参
照)に対応するステータスレジスタ207bからのデータと
を同時にデータバス212に出力できる。
【0109】さらに、フラッシュメモリ2は、信号
(L,H,L,L)をコマンドステートマシン202(図
4には示されていない。図3参照)から出力すること
で、従来の方法と同様にデータバス212の下位のビット
線のみを使用して、ブロックステータスレジスタ210の
うちの1つのレジスタからの情報を出力することもでき
【0110】(第3の実施の形態)以下の説明では、不
揮発性半導体記憶装置はフラッシュメモリであるとす
る。しかし、フラッシュメモリ以外の不揮発性メモリに
も本発明は適用され得る。
【0111】図3および図4を参照して、第2の実施の
形態と同様の符号を用いてフラッシュメモリを説明す
る。
【0112】フラッシュメモリ2は、第2の実施の形態
と異なり、メモリアレイ201bのステータスレジスタ207b
に格納したデータをデータ切り換え回路209のトライス
テートゲート209-6および209-7に入力する代わりに、メ
モリアレイ201bのブロックステータスレジスタ210に格
納されたデータをデータ切り換え回路209のトライステ
ートゲート209-6および209-7に入力する。フラッシュメ
モリ2のその他の構成は、第2の実施の形態と同じであ
る。
【0113】以下、図3を参照してフラッシュメモリ2
の動作を説明する。
【0114】メモリアレイ201aに対するコマンド211が
入力されると、ライトステートマシーン(WSM)203
はメモリアレイ201aに対してコマンド211に対応した動
作(読み出し/消去/書き込みなど)を実行する。メモ
リアレイ201aに対応するロウデコーダ204aはメモリアレ
イ201aのワード線(図示せず)を選択し、コラムデコー
ダ205aはメモリアレイ201aのビット線を選択する。コラ
ムデコーダ205aで選択されたビット線(図示せず)は、
センスアンプ216aで記憶状態をセンスされる。
【0115】ブロック選択回路206aは、M個ある消去ブ
ロック(またはセクタ)から1個のブロックを選択す
る。ブロック選択回路206aによって選択されたブロック
が消去禁止状態(ブロックロック状態)でないときに
は、ライトステートマシーン203は選択されたブロック
のデータを一括して消去する。逆に、ブロック選択回路
206aによって選択されたブロックが消去禁止状態(ブロ
ックロック状態)であるときには、ブロックに格納され
たデータの書き換えは行われない。
【0116】これら一連の動作はライトステートマシー
ン203によって制御され、実行結果はデータとしてステ
ータスレジスタ207aおよびブロックステータスレジスタ
210(図3には示されていない。図4参照)に格納され
る。また、ブロックステータスレジスタ210には、各消
去ブロックのロック状態(データの書き換えが禁止され
るように設定された状態)を反映したデータが格納され
る。
【0117】メモリアレイ201aに対してデータが書き込
まれているときに、メモリアレイ201bに対する読み出し
がコマンド211として入力されると、メモリアレイ201b
に対応するロウデコーダ204bはメモリアレイ201bのワー
ド線を選択し、メモリアレイ201bに対応するコラムデコ
ーダ205bはメモリアレイ201bのビット線を選択する。メ
モリアレイ201bに対応するコラムデコーダ205bで選択さ
れたメモリアレイ201bのビット線は、メモリアレイ201b
に対応したセンスアンプ216bで記憶状態をセンスされ出
力される。
【0118】本実施の形態の形態のフラッシュメモリ2
はデータ切り換え回路209を有しているが、データ切り
換え回路209は、メモリアレイ201a,bに格納されたデー
タ、ステータスレジスタ207a,bに格納されたデータ、ブ
ロックステータスレジスタ210に格納されたデータのう
ちいずれかをデータとして読み出すかを選択する。ブロ
ックアドレスは、N個(メモリアレイ201aに対応するブ
ロックの数と、メモリアレイ201bに対応するブロックの
数との総数N)のブロックステータスレジスタ210から
1個のブロックステータスレジスタを選択する。
【0119】以下、図4を参照してフラッシュメモリ2
の動作を説明する。
【0120】信号が(H,L,L,L)になったとき、
トライステートゲート209-1および209-2はセンスアンプ
216の出力を通す。信号が(L,H,L,L)になった
とき、トライステートゲート209-3はブロックステータ
スレジスタ210に格納されたデータを下位の8ビットデ
ータとして16ビットバス212を介して伝達する。
【0121】信号が(L,L,H,L)になったとき、
トライステートゲート209-4は、メモリアレイ201a(図
4には示されていない。図3参照)に対応したステータ
スレジスタ207aに格納されたデータを下位の8ビットデ
ータとして16ビットデータバス212を介して伝達し、
トライステートゲート209-6は、メモリアレイ201b(図
4には示されていない。図3参照)に対応するブロック
ステータスレジスタ210に格納されたデータを上位の8
ビットデータとして16ビットデータバス212を介して
伝達する。
【0122】信号が(L,L,L,H)になったとき、
トライステートゲート209-7は、メモリアレイ201bに対
応するブロックステータスレジスタ210に格納したデー
タを下位の8ビットのデータとして16ビットデータバ
ス212を介して伝達し、トライステートゲート209-5は、
メモリアレイ201aに対応するステータスレジスタ207aに
格納されたデータを上位の8ビットデータとして16ビ
ットデータバス212を介して伝達する。
【0123】フラッシュメモリ2は、ステータスレジス
タ207aと、ブロックステータスレジスタ210のいずれか
との2つのレジスタに格納されたデータのデータバス21
2への出力を制御するデータ切り換え回路209を有してい
るので、コマンドステートマシン202(図4には示され
ていない。図3参照)から信号(L,L,H,L)や信
号(L,L,L,H)を出力することで、データバス21
2の下位のビット線のみならず、上位のビット線にも上
記いずれかのレジスタからのデータを出力することを可
能にしている。
【0124】つまり、フラッシュメモリ2は、アドレス
を選択する情報に従って選択されたメモリアレイ201aに
対応するステータスレジスタ207aからのデータと、選択
されなかったメモリアレイ201bに対応するブロックステ
ータスレジスタ210からのデータとを同時にデータバス2
12に出力できる。
【0125】さらに、フラッシュメモリ2は、信号
(L,H,L,L)をコマンドステートマシン202から
出力することで、従来の方法と同様にデータバス212の
下位のビット線のみを使用して、ブロックステータスレ
ジスタ210からのデータを出力することもできる。
【0126】(第4の実施の形態)以下の説明では、不
揮発性半導体記憶装置はフラッシュメモリであるとす
る。しかし、フラッシュメモリ以外の不揮発性メモリに
も本発明は適用され得る。
【0127】図3および図4を参照して、第2の実施の
形態と同様の符号を用いてフラッシュメモリを説明す
る。
【0128】フラッシュメモリ2は、第2の実施の形態
と異なり、メモリアレイ201bのステータスレジスタ207b
に格納したデータをデータ切り換え回路209のトライス
テートゲート209-6および209-7に入力する代わりに、メ
モリアレイ201aのブロックステータスレジスタ210に格
納されたデータをデータ切り換え回路209のトライステ
ートゲート209-6および209-7に入力する。フラッシュメ
モリ2のその他の構成は、第2の実施の形態と同じであ
る。
【0129】以下、図3を参照してフラッシュメモリ2
の動作を説明する。
【0130】メモリアレイ201aに対するコマンドが入力
されると、ライトステートマシーン(WSM)203はメ
モリアレイ201aに対してコマンド211に対応した動作
(読み出し/消去/書き込みなど)を実行する。メモリ
アレイ201aに対応するロウデコーダ204aはメモリアレイ
201aのワード線を選択し、コラムデコーダ205aはメモリ
アレイ201aのビット線を選択する。コラムデコーダ205a
で選択されたビット線はセンス回路216aで記憶状態をセ
ンスされる。
【0131】ブロック選択回路206aは、M個ある消去ブ
ロック(またはセクタ)から1個のブロックを選択す
る。ブロック選択回路206aが選択したブロックが消去禁
止状態(ブロックロック状態)でないときには、ライト
ステートマシーン203は、選択されたブロックのデータ
を一括して消去する。逆に、ブロック選択回路206aが選
択したブロックが消去禁止状態(ブロックロック状態)
であるときには、ブロックに格納されたデータの書き換
えは行われない。
【0132】これら一連の動作はライトステートマシー
ン203が制御し、実行結果をデータとしてステータスレ
ジスタ207aおよびブロックステータスレジスタ210(図
3には示されていない。図4参照)に格納する。また、
ブロックステータスレジスタ210には、各消去ブロック
のロック状態(データの書き換えが禁止されるように設
定された状態)を反映したデータが格納される。
【0133】メモリアレイ201aに対してデータが書き込
まれているときに、メモリアレイ201bに対する読み出し
がコマンドとして入力されると、メモリアレイ201bに対
応するロウデコーダ204bはメモリアレイ201bのワード線
を選択し、メモリアレイ201bに対応するコラムデコーダ
205bはメモリアレイ201bのビット線を選択する。メモリ
アレイ201bに対応するコラムデコーダ205bで選択された
メモリアレイ201bのビット線は、メモリアレイ201bに対
応したセンス回路216bで記憶状態をセンスされ、出力さ
れる。
【0134】フラッシュメモリ2はデータ切り換え回路
209を有している。データ切り換え回路209は、メモリア
レイ201a,bに格納されたデータ、ステータスレジスタ20
7a,bに格納されたデータ、ブロックステータスレジスタ
210に格納されたデータのうちいずれかをデータとして
読み出すかを選択する。ブロックアドレスによってデー
タ切り換え回路209は、N個(メモリアレイ201aに対応
するブロックの数と、メモリアレイ201bに対応するブロ
ックの数との総数N)のブロックステータスレジスタ21
0から1個のブロックステータスレジスタを選択する。
【0135】以下、図4を参照してフラッシュメモリ2
の動作を説明する。
【0136】信号が(H,L,L,L)になったとき、
トライステートゲート209-1および209-2はセンスアンプ
216の出力を通す。信号が(L,H,L,L)になった
とき、トライステートゲート209-3はブロックステータ
スレジスタ210に格納されたデータを下位の8ビットデ
ータとして16ビットバスを介して伝達する。
【0137】信号が(L,L,H,L)になったとき、
トライステートゲート209-4は、メモリアレイ201aに対
応したステータスレジスタ207aに格納されたデータを下
位の8ビットデータとして16ビットデータバスを介し
て伝達し、トライステートゲート209-6は、メモリアレ
イ201aに対応するブロックステータスレジスタ210に格
納されたデータを上位の8ビットデータとして16ビッ
トデータバス212を介して伝達する。
【0138】信号が(L,L,L,H)になったとき、
トライステートゲート209-7は、メモリアレイ201aに対
応するブロックステータスレジスタ210に格納したデー
タを下位の8ビットのデータとして16ビットデータバ
ス212を介して伝達し、トライステートゲート209-5は、
メモリアレイ201aに対応するステータスレジスタ207aに
格納されたデータを上位の8ビットデータとして16ビ
ットデータバス212を介して伝達する。
【0139】フラッシュメモリ2は、ステータスレジス
タ207aと、ブロックステータスレジスタ210のうちのい
ずれかの2つのレジスタに格納されたデータのデータバ
ス212への出力を制御するデータ切り換え回路209を有し
ているので、コマンドステートマシン202から信号
(L,L,H,L)や信号(L,L,L,H)を出力す
ることで、データバス212の下位のビット線のみなら
ず、上位のビット線にも上記いずれかのレジスタからの
データを出力することを可能にしている。
【0140】つまり、フラッシュメモリ2は、アドレス
を選択する情報に従って選択されたメモリアレイ201aに
対応するステータスレジスタ207aからのデータと、メモ
リアレイ201aに対応するブロックステータスレジスタ21
0からのデータとを同時にデータバス212に出力できる。
【0141】さらに、フラッシュメモリ2は、信号
(L,H,L,L)をコマンドステートマシン202から
出力することで、従来の方法と同様にデータバス212の
下位のビット線のみを使用して、ブロックステータスレ
ジスタ210からのデータを出力することもできる。
【0142】本発明の不揮発性半導体記憶装置におい
て、メモリセルは、図5に示されるような従来のメモリ
セルでもよいし、DRAMのキャパシタとして強誘電体
薄膜を用いたメモリセルや、ゲート酸化膜として強誘電
体薄膜を用いたメモリセルでもよい。ゲート酸化膜とし
て強誘電体薄膜を用いたメモリセルは、分極反転を利用
しており、従来のゲート酸化膜のように薄層のトンネル
酸化膜を用いなくともよいため、高密度での集積化が可
能となる。
【0143】本発明の不揮発性半導体記憶装置におい
て、メモリアレイのデータを消去した状態は、メモリセ
ルのVthの値が低の状態に対応している場合に限ったも
のではない。つまり、本発明の不揮発性半導体記憶装置
では、メモリセルのVthが大である状態が消去に対応し
ていても、同様の効果を上げることができる。この場合
は、メモリセルのVthの値を一括して大きくすることで
プログラムし、個々のメモリセルのVthの値を低にする
ことで必要なデータを格納するとよい。
【0144】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、ステー
タスレジスタからの第1データおよびブロックステータ
スレジスタからの第2データからのデータバスへの出力
を制御回路が制御し、第1のデータの出力と第2のデー
タの出力とが同時に行われるので、1回の読み出しで2
つのレジスタのデータを読むことができ、処理時間を短
縮できる。また、従来の不揮発性半導体記憶装置と同様
に1回の読み出しで1つのレジスタのデータを読むこと
もでき、従来の不揮発性半導体記憶装置との互換性を保
つこともできる。
【0145】また、本発明の不揮発性半導体記憶装置
は、アドレスを選択する情報に従って選択された1つの
メモリアレイに対応するステータスレジスタからの第1
データと、選択されなかった他のメモリアレイのうちの
1つのメモリアレイに対応するステータスレジスタから
の第2データとのデータバスへの出力を制御回路が制御
し、第1データの出力と第2データの出力とが同時に行
われ、選択されたメモリアレイへの書き込みと他の1つ
のメモリアレイからの読み出しとが同時に行われるの
で、1回の読みだし動作で2つのレジスタのデータを読
むことが可能であり、処理時間を短縮できる。また、1
回の読み出し動作で2チップ分のレジスタの状態を示す
データを読み出すことができ、ユーザがチップの状況を
容易く知ることができる。また、1チップ内に2チップ
分のメモリアレイを備えることが可能であり、加えて2
チップのメモリアレイを使用したときと同様な動作が可
能であるので、2チップでメモリアレイを構成したとき
よりも余分な回路を削り、チップ面積を削減することが
できる。さらに、従来の不揮発性半導体記憶装置と同様
に1回の読み出しで1つのレジスタのデータを読むこと
もでき、従来の不揮発性半導体記憶装置との互換性を保
つこともできる。
【0146】また、本発明の不揮発性半導体記憶装置
は、アドレスを選択する情報に従って選択された1つの
メモリアレイに対応するステータスレジスタからの第1
データと、該選択された1つのメモリアレイに対応する
ブロックステータスレジスタからの第2データとのデー
タバスへの出力を制御回路が制御し、第1データと第2
データとの出力がが同時に行われるため、1回の読み出
しで2つのレジスタのデータを読むことができ、処理時
間を短縮できる。また、1回の読み出しで2チップ分の
レジスタの状態を知ることができ、ユーザが容易にチッ
プの状況を知ることができる。さらに、従来の不揮発性
半導体記憶装置と同様に1回の読み出しで1つのレジス
タのデータを読むこともでき、従来の不揮発性半導体記
憶装置との互換性を保つこともできる。
【0147】また、本発明の不揮発性半導体記憶装置
は、ステータスレジスタからの第1データと、第1デー
タと異なる第2データとのデータバスへの出力を制御回
路が制御し、第1データと第2データとの出力が同時に
行われるため、1回の読み出しで2つのデータを読むこ
とができ、処理時間を短縮できる。また、従来の不揮発
性半導体記憶装置と同様に1回の読み出しで1つのレジ
スタのデータを読むこともでき、従来の不揮発性半導体
記憶装置との互換性を保つこともできる。
【0148】さらに、本発明の不揮発性半導体記憶装置
は、ブロックステータスレジスタからの第1データと、
第1データと異なる第2データとのデータバスへの出力
を制御回路が制御し、第1データと第2データとの出力
とが同時に行われるため、1回の読み出しで2つのデー
タを読むことができ、処理時間を短縮できる。また、従
来の不揮発性半導体記憶装置と同様に1回の読み出しで
1つのレジスタのデータを読むこともでき、従来の不揮
発性半導体記憶装置との互換性を保つこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の不揮発性半導体記
憶装置1の構成を示す図である。
【図2】図1に示されるデータ切り換え回路109の構成
を示す図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態の不揮発性半導体記
憶装置2の構成を示す図である。
【図4】図3に示されるデータ切り換え回路209の構成
を示す図である。
【図5】従来のフラッシュメモリのメモリセル3を示す
図である。
【図6】従来のステータスレジスタ(SR)に格納され
たデータを示す図である。
【図7】従来のブロックステータスレジスタ(BSR)
に格納されたデータを示す図である。
【符号の説明】
2 フラッシュメモリ 201a,b メモリアレイ 202 コマンドステートマシーン 203 ライトステートマシーン 207a,b ステータスレジスタ 209 データ切り換え回路 210 ブロックステータスレジスタ 212 データバス

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のブロックを有するメモリアレイ
    と、該メモリアレイの状態を示す第1データを格納する
    ステータスレジスタと、該複数のブロックのうちの1つ
    の状態を示す第2データを格納するブロックステータス
    レジスタと、該第1データおよび該第2データのデータ
    バスへの出力を制御する制御回路とを備え、該データバ
    スのビット数は、該第1データのビット数と該第2のデ
    ータのビット数とを加えたものと等しいかまたは大き
    く、該制御回路は、該第1のデータと該第2のデータと
    が該データバスに同時に出力されるように該第1データ
    および第2データの該データバスへの出力を制御する、
    不揮発性半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記第1データが、前記第2データより
    下位のデータとして前記データバスに出力される、請求
    項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記第2データが、前記第1データより
    下位のデータとして前記データバスに出力される、請求
    項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 複数のメモリアレイと、該複数のメモリ
    アレイのうちの1つの状態を示すデータを格納するステ
    ータスレジスタと、該ステータスレジスタに格納された
    該データのデータバスへの出力を制御する制御回路とを
    備え、アドレスを選択する情報に従って該複数のメモリ
    アレイのうちから1つのメモリアレイが選択され、該選
    択されたメモリアレイに対応するステータスレジスタか
    ら第1データが出力され、選択されなかった他のメモリ
    アレイのうちの1つのメモリアレイに対応するステータ
    スレジスタから第2データが出力され、該データバスの
    ビット数は、該第1データのビット数と該第2データの
    ビット数とを加えたものと等しいかまたは大きく、該制
    御回路は、該第1データと該第2データとが該データバ
    スに同時に出力されるように該第1データおよび該第2
    データの該データバスへの出力を制御し、該選択された
    メモリアレイへの書き込みと該他の1つのメモリアレイ
    からの読み出しとが同時に行われる、不揮発性半導体記
    憶装置。
  5. 【請求項5】 前記複数のメモリアレイが1つのチップ
    内に形成されている、請求項4に記載の不揮発性半導体
    記憶装置。
  6. 【請求項6】 各々が複数のブロックを有する複数のメ
    モリアレイと、該複数のメモリアレイの1つの状態を示
    す第1データを格納する複数のステータスレジスタと、
    該複数のブロックのうちの1つの状態を示す第2データ
    を格納する複数のブロックステータスレジスタと、該第
    1データおよび該第2データのデータバスへの出力を制
    御する制御回路とを備え、該複数のステータスレジスタ
    の各々と該複数のブロックステータスレジスタの各々と
    は該複数のメモリアレイの各々に対応し、アドレスを選
    択する情報に従って該複数のメモリアレイのうちから1
    つのメモリアレイが選択され、該選択されたメモリアレ
    イに対応するステータスレジスタから第1データが出力
    され、該選択されたメモリアレイに対応するブロックス
    テータスレジスタから第2データが出力され、該データ
    バスのビット数は、該第1データのビット数と該第2デ
    ータのビット数とを加えたものと等しいかまたは大き
    く、該第1のデータと該第2のデータとが該データバス
    に同時に出力されるように該第1データおよび該第2デ
    ータの該データバスへの出力を制御する、不揮発性半導
    体記憶装置。
  7. 【請求項7】 複数のブロックを有するメモリアレイ
    と、該メモリアレイのうちの1つの状態を示す第1デー
    タを格納したステータスレジスタと、該第1データおよ
    び該第1データと異なる第2データのデータバスへの出
    力を制御する制御回路とを備え、該データバスのビット
    数は、該第1データのビット数と該第2データのビット
    数とを加えたものと等しいかまたは大きく、該第1デー
    タと該第2データとが該データバスに同時に出力される
    ように該第1データおよび該第2データの該データバス
    への出力を制御する、不揮発性半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 複数のブロックを有するメモリアレイ
    と、該複数のブロックのうちの1つの状態を示す第1デ
    ータを格納するブロックステータスレジスタと、該第1
    データおよび該第1データと異なる第2データのデータ
    バスへの出力を制御する制御手段とを備え、該データバ
    スのビット数は、該第1データのビット数と該第2のデ
    ータのビット数とを加えたものと等しいかまたは大き
    く、該第1データと該第2データとが該データバスに同
    時に出力されるように該第1データおよび該第2データ
    の該データバスへの出力を制御する、不揮発性半導体記
    憶装置。
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