JPH11352434A - ビーム走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 車間測定装置等に用いる光ビーム走査装置を
小型でコンパクトに構成すること。 【解決手段】 光ビーム走査装置１は、固定位置に配置
したレーザーユニット４と、この前方に配置したコリメ
ートレンズ５と、このコリメートレンズ５を左右に揺動
させる磁気駆動式の揺動機構６とを有している。揺動機
構６によるレンズの回転角度位置は、揺動機構６のロー
タ９２の回転位置の原点を検出するホール素子９７の出
力に基づき検出され、これに基づきレーザーユニット４
の発光タイミングがフィードバック制御される。レンズ
５を直接に揺動させてレーザービームを左右に振るよう
にしているので、従来のような反射板、ポリゴンミラー
を用いた装置に比べて、小型でコンパクトに構成でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、車間測定装置等に
おいて測定対象領域をレーザービーム等で一次元的ある
いは二次元的に走査するためのビーム走査装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、車間測定装置は、レーザービー
ムを前方の測定対象領域に対して一次元的あるいは二次
元的に走査する光ビーム走査装置と、ここから照射され
たレーザービームの反射光を受光する受光装置と、この
受光装置での受光状態に基づき、車間距離を算出する演
算装置から基本的に構成されている。例えば、特開平９
−２７４０７６号公報にはこのような車間測定装置が開
示されている。

【０００３】ここで、車間測定装置に用いられている従
来の光ビーム走査装置は、レーザーダイオード等の発光
源からのパルス光をコリメートレンズを通して光ビーム
として出射し、この光ビームを一定の角度範囲内で揺動
する反射板、あるいは回転しているポリゴンミラーに照
射し、ここからの反射ビームを用いて前方の測定対象領
域を一次元的あるいは二次元的に走査するようになって
いる。例えば、上記の公開特許公報に記載されている車
間測定装置ではポリゴンミラーを用いて二次元的に光ビ
ームを走査するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の光ビーム走査装
置は、上記のように反射板を揺動運動させ、あるいは、
ポリゴンミラーを回転させることにより、光ビームを一
定の角度範囲で走査するようにしている。このような反
射板等の偏向手段は他の構成部品に比べて設置スペース
を多く必要とするので、光ビーム走査装置の小型化を図
る上での大きな障害となっている。

【０００５】また、従来の光ビーム走査装置では、光ビ
ームを走査角度に同期してパルス状に照射している。光
ビームの照射（発光）タイミングと反射板あるいはポリ
ゴンミラーの回転角度位置（走査角度）との間にずれが
生ずると、測定対象領域の全体を漏れなく走査できない
といった弊害が発生する。このような弊害を回避するた
めに、従来においては、光ビームの照射タイミングに対
して高精度のリニアリティーを保持して反射板やポリゴ
ンミラーを駆動させている。このため、これらの駆動機
構は分解能の高い位置精度が必要である。

【０００６】本発明の課題は、このような点に鑑みて、
反射板やポリゴンミラーといった光偏向手段を必要とせ
ずにレーザービーム等のビームを一定の角度範囲で走査
することができる、小型でコンパクトなビーム走査装置
を提案することにある。

【０００７】また、本発明の課題は、分解能の高い位置
精度が備わった駆動機構を用いることなく、ビームの走
査を適切に行うことの可能なビーム走査装置を提案する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、レーザービーム等の光ビームを用いて
対象領域を所定の方向に走査するためのビーム走査装置
において、レーザー光等を発生する発光源と、この発光
源からの出射光を光ビームとして出射するコリメートレ
ンズと、このコリメートレンズを一定の角度範囲で揺動
運動させる揺動機構とを有している。ここで、前記発光
源からの出射光の主光軸と前記コリメートレンズの光軸
とは同一の平面上に位置している。また、前記揺動機構
による前記コリメートレンズの揺動中心点は、前記コリ
メートレンズの前記発光源の側における当該コリメート
レンズの光軸延長上に位置している。さらに、前記揺動
機構によって、前記コリメートレンズは前記平面上を揺
動するようになっている。

【０００９】このように、本発明のビーム走査装置で
は、コリメートレンズを直接に揺動運動させ、これによ
り、光ビームで測定対象領域を走査するようにしてい
る。従って、反射板やポリゴンミラー等の光偏向手段が
不要となるので、光走査装置が従来に比べて格段に小型
でコンパクトに構成される。

【００１０】また、本発明のビーム走査装置では、上記
の構成に加えて、前記揺動機構による前記コリメートレ
ンズの揺動位置を検出するための位置検出手段を有して
おり、当該位置検出手段の検出結果に基づき、前記揺動
手段による前記コリメートレンズの揺動運動を制御する
ようにしている。また、前記位置検出手段の検出結果に
基づき前記発光源の発光を制御するようにしている。

【００１１】このように本発明のビーム走査装置では、
レンズの回転角度位置に基づき当該レンズの揺動運動、
発光源の発光タイミングをフィードバック制御してい
る。従って、従来のように高分解能の位置精度を備えた
駆動機構を用いなくとも、発光源の発光タイミングとレ
ンズの回転角度位置との同期を正確に取ることができ、
適切なビーム走査を行うことができる。

【００１２】ここで、前記揺動機構としては、前記コリ
メートレンズを支持しているレンズ支持部と、このレン
ズ支持部を前記揺動中心点の周りに揺動運動させるため
の磁気駆動機構とを備えた構成のものを採用することが
できる。

【００１３】この場合、前記磁気駆動機構は、ステータ
と、前記レンズ支持部の側に構成されたロータとを備
え、前記ステータには磁石および駆動コイルの一方が取
り付けられ、前記ロータには磁石および駆動コイルの他
方が取り付けられ、これら磁石と駆動コイルが、前記コ
リメートレンズの揺動中心線の方向に対向配置されてい
る、所謂、面対向型のものを用いることができる。

【００１４】この面対向型の磁気駆動機構の代わりに、
前記磁石と駆動コイルが、前記コリメートレンズの揺動
中心線の方向とは直交する方向に対向配置されている、
所謂、周対向型のものを用いることもできる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明を
適用したビーム走査装置を説明する。

【００１６】（第１の実施例）図１（Ａ）〜（Ｃ）は、
車間測定装置等に用いるのに適した光ビーム走査装置の
主要部分の平面図、正面図および側面図である。これら
の図に示すように、本例の光ビーム走査装置１は、矩形
の支持板２と、この上に配置した回路基板３とを有して
おり、この回路基板３の上には、キャンタイプのレーザ
ーユニット４と、このレーザーユニット４からの出射さ
れるレーザー光を平行光束化してレーザービームとして
射出するコリメートレンズ５と、このコリメートレンズ
５を揺動させるための揺動機構６とが配置されている。

【００１７】図２は、回路基板３を省略した状態での光
ビーム走査装置の主要部分を示す分解斜視図であり、図
３は、図１（Ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した部分の
断面図である。これらの図も参照して、本例の光ビーム
走査装置１の各部分の構成を説明する。

【００１８】まず、レーザーユニット４は門型の支持枠
７の水平部分７ａの中央位置に、前方に向く状態で取り
付けられており、その主光軸４ａは水平となるように設
定されている。支持枠７の両脚７ｂ、７ｃの下端は後方
に直角に折れ曲がっており、この折れ曲がり部分がビス
等の締結金具によって、回路基板３を介して、その下側
の支持板２の側に固定されている。レーザーユニット４
の前方にはコリメートレンズ５が位置しており、このレ
ンズ５の光軸５ａはレーザーユニット４の主光軸４ａと
同一の水平面上に位置するように設定されている。

【００１９】次に、このコリメートレンズ５を左右に揺
動させる揺動機構６について説明する。この揺動機構６
は、コリメートレンズ５を支持しているレンズ支持枠８
と、このレンズ支持枠８を左右に揺動運動させるための
磁気駆動機構９とを有している。

【００２０】磁気駆動機構９はステータ９１とロータ９
２とを有している。ステータ９１は、回路基板３の上面
に取り付けたヨーク板９３と、このヨーク板９３の上面
において、当該ヨーク板９３に形成した貫通穴９３ａの
前後に配置した一対の駆動コイル９４、９５とを備えて
いる。ロータ９２は、円盤状のロータ本体９２ａと、こ
のロータ本体９２ａの裏面中心から垂直に突出している
回転軸９２ｂとを有しており、ロータ本体９２ａの裏面
には、Ｎ、Ｓの磁極が９０度間隔で２組形成されてい
る。なお、磁極は１８０度間隔で１組形成するようにし
てもよい。

【００２１】支持板２には、ヨーク板の貫通穴９３ａに
対峙する位置に、軸穴２ａが形成されている。この軸穴
２ａの上半部分は大径とされ、下半部分は小径とされて
おり、大径部分にはスラストベアリング９６が嵌め込ま
れ、このスラストベアリング９６により、ロータ９２は
回転自在の状態で支持板２の側に支持されている。

【００２２】ここで、ロータ回転軸９２ｂの中心軸線９
２ｃが、当該ロータに取り付けられたレンズ支持枠８に
よって支持されているコリメートレンズ５の揺動中心線
である。本例では、この揺動中心線９２ｃは、レーザー
ユニット４の発光点４ｂを通るように設定されている。
このように、レーザーユニット４の出射光の主光軸４ａ
とレンズ光軸５ａは同一の水平面上に位置しており、コ
リメートレンズの揺動中心点はレーザーユニットの発光
点４ｂに一致しているので、コリメートレンズ５は、レ
ーザーユニット４の発光点４ｂを中心として、水平面上
を左右に揺動可能となっている。

【００２３】磁気駆動機構６には、更に、ロータ９２の
回転位置（揺動位置）を検出するための位置検出手段が
備わっている。図２を参照して説明すると、本例の位置
検出手段は、ヨーク板９３の表面においてロータ本体９
２ａの裏面（着磁面）に対向配置したホール素子９７に
より構成されている。このホール素子９７を用いて、ロ
ータ９２が予め設定した原点位置に到ると、それを表す
パルス出力を得るようにしている。本例では、これに加
えて、ロータ９２の速度制御手段が備わっている。この
手段には、ロータ本体９２ａの外周面に形成したＦＧ着
磁面（周波数発生用着磁面）９２ｄと、ヨーク板９３の
上面において当該ＦＧ着磁面９２ｄに対向配置したＭＲ
素子９８が含まれている。

【００２４】次に、図４（Ａ）は本例の光ビーム走査装
置１の駆動制御系の概略ブロック図であり、図４（Ｂ）
はその概略動作のタイミングチャートである。これらの
図を参照して説明すると、ホール素子９７の検出信号に
基づき位置検出部１１では磁気駆動機構６のロータ９２
が原点位置に至ったか否かが検出される。検出結果は比
較・制御部１２に供給され、ここにおいては、ロータ９
２が原点位置に戻ったことが検出されると、モータ駆動
部１３を介して、一対の駆動コイル９４、９５に対する
通電方向を逆向きに切り換えて、ロータ９２を逆転から
正転に切り換える。

【００２５】比較・制御部１２では、基準信号発生部１
４から供給される基準クロック信号に基づき、原点復帰
時点からの時間を計数しており、予め定められている時
間Ｔが経過した時点で、モータ駆動部１３を介して、一
対の駆動コイル９４、９５に対する通電方向を反転させ
る。これにより、ロータ９２は正転から逆転に切り換わ
る。以後、同様にして、ロータ９２の正逆転が周期的に
切り代わる。この結果、当該ロータ９２によって支持さ
れているレンズ５は、例えば、レーザーユニット４の主
光軸４ａを中心として左右に一定の角度範囲で揺動運動
を行う。

【００２６】なお、比較・制御部１２では、更に、ＭＲ
素子９８の検出信号に基づき、ロータ９２の速度制御も
同時に行っている。

【００２７】一方、レーザユニット４に内蔵されている
レーザーダイオード４Ａの駆動はＬＤ駆動部１５によっ
て行われ、このＬＤ駆動部１５は、照射同期制御部１６
の制御の下に、レーザーダイオード４Ａを一定のタイミ
ングに間欠的に発光させる。この発光タイミング、換言
すると、測定対象物に対するレーザービームの照射タイ
ミングは、コリメートレンズ５の走査角度と同期が取ら
れる。すなわち、照射同期制御部１６には、基準信号発
生部１４からの基準クロック信号と、位置検出部１１か
らのレンズの原点位置（絶対位置）を示す信号と、比較
・制御部１３からの制御信号が供給されている。照射同
期制御部１６では、これらの信号に基づき、照射タイミ
ングを決定している。

【００２８】以上説明したように、本例の光ビーム走査
装置１では、レーザーユニット４の前方に配置されたコ
リメートレンズ５を直接に左右に揺動運動させることに
より、当該コリメートレンズ５から射出されるレーザー
ビームを左右に一定の角度範囲にわたって振り、これに
より測定対象領域を走査するようにしている。

【００２９】従って、従来のような反射板、ポリゴンミ
ラーを用いてレーザービームを走査する機構に比べて、
このような反射板やポリゴンミラーが不要となるので、
格段に、装置を小型でコンパクトに構成することができ
る。また、ロータ９２、レンズ支持枠８、コリメートレ
ンズ５等の揺動部材の中心にレーザーユニット４が配置
されているので、レーザーユニットが揺動部材の揺動軌
跡の外側に配置されている従来の機構に比べて、各部品
を小スペース内に配置することができ、これによっても
装置の小型・コンパクト化を達成できる。

【００３０】さらに、レーザーユニット４の発光タイミ
ング（照射タイミング）と、コリメートレンズ５の走査
角度（回転角度位置）との間の同期は、コリメートレン
ズ５の回転角度の絶対位置に基づき発光タイミングをフ
ィードバック制御することにより実現している。従っ
て、従来のように、発光タイミングに正確に同期させる
ために、高い分解能の位置精度を備えたリニアリティー
の高い駆動機構を用いる必要はなくなり、また、従来の
ように発光タイミングと走査角度の間に同期ずれが発生
するおそれもない。

【００３１】（第１の実施例の変形例）上記の実施例で
は、レーザーユニット４を１個備えた構成となっている
が、２個以上のレーザーユニットを備えた構成とするこ
ともできる。この場合には、例えば、上下方向に多段に
レーザーユニットを配列し、各レーザーユニットの前方
位置にそれぞれ対応させて多数のコリメートレンズを配
置すればよい。

【００３２】（第２の実施例）図５は、本発明による光
ビーム走査装置の別の例の主要部分を示す斜視図であ
る。この図に示す光ビーム走査装置１００も、固定した
位置に配置された発光源としての半導体レーザーチップ
１０４と、この半導体レーザーチップ１０４の前方に位
置しているコリメートレンズ１０５と、このコリメート
レンズ１０５を左右に揺動させる揺動機構１０６とを有
している。

【００３３】図６（Ａ）および（Ｂ）は光ビーム走査装
置１００の平面図および正面図であり、図７はその半導
体レーザーチップの取り付け部分を取り出して示す平面
図、正面図および側面図である。

【００３４】これら図６および図７も参照して説明する
と、光ビーム走査装置１００の揺動機構１０６は、ステ
ータ１１１とロータ１１２とを備え、ロータ１１２の外
周面と、これに対峙しているステータ１１１の内周面と
の間に磁気駆動回路が構成される所謂、周対向型の磁気
駆動機構である。詳しく説明すると、ステータ１１１
は、ヨーク板１１３と一対の駆動マグネット１１４、１
１５とを備えており、ヨーク板１１３は、矩形の底板部
分１１６と、その左右の縁から垂直に立ち上がった側壁
部分１１７、１１８とを備え、前後方向に開放した形状
をしている。側壁部分１１７、１１８の内側面は円弧状
の内周面とされており、ここに、駆動用のマグネット１
１４、１１５が左右対称な状態で取り付けられている。
また、これら一対の円弧状の内周面の中心が位置する底
板部分１１６の部分からは、揺動中心軸１１９が垂直に
突出している。

【００３５】ロータ１１２は、レンズ保持部材１２２
と、一対の駆動コイル１２３、１２４とを備えている。
レンズ保持部材１２２は、その中心に、揺動中心軸１１
９をしゅう動自在に受け入れている中心軸穴１２６を備
えている。また、その左右の側面は上記のステータ側の
円弧状の内周面に対応する円弧状外周面とされており、
これらの円弧状外周面にはそれぞれ駆動コイル１２３、
１２４が取り付けられている。この結果、各駆動コイル
１２３、１２４は対応するステータ側の駆動マグネット
１１４、１１５に僅かの間隔で対峙した状態となってい
る。

【００３６】このレンズ保持部材１２２の前面は垂直な
面とされており、ここに、コリメートレンズ１０５が前
方を向いた状態で取り付けられている。本例では、この
レンズ光軸１０５ａが揺動中心軸１２５の中心を通って
水平に延びるように設定されている。

【００３７】次に、このレンズ保持部材１２２における
中心軸穴１２６とコリメートレンズ１０５の取り付け部
分との間には、上下に貫通した矩形の開口部１２８が形
成されており、この開口部１２８の前側部分にはコリメ
ートレンズ１０５の後端面が露出している。この開口部
１２８の内部には半導体レーザーチップ１０４が配置さ
れている。

【００３８】半導体レーザーチップ１０４は、ヨーク板
の底板部分１１６に対して垂直に取り付けられた支持基
板１３１に取り付けられており、この支持基板１３１の
左右両側の面からは端子ピン１３２、１３３が延びてい
る。

【００３９】ここで、本例では、半導体レーザーチップ
１０４の発光点１０４ｂは、レンズ光軸１０５ａと同一
の水平面上に位置している。また、当該発光点１０４ｂ
からの出射光の主光軸１０４ａの延長線およびレンズ光
軸１０５の延長線の交点が揺動中心軸１１９の中心とさ
れている。さらに、揺動中心軸１１９とレンズ１０５の
間に発光点１０４ａが位置している。

【００４０】なお、図６（Ｂ）に示すようにヨーク板１
１３の上端には矩形のカバー１５１が取り付けられ、そ
の上側開口が封鎖されている。図５および図６（Ａ）に
おいてはこのカバー１５１を省略してある。

【００４１】この構成の光ビーム走査装置１００におい
ては、一対の駆動コイル１２３、１２４に対する通電方
向を制御することにより、ロータ１１２を左右に所定の
角度範囲にわたって揺動させることができる。この磁気
駆動原理は、光ピックアップ装置における軸しゅう動型
と称される対物レンズ駆動機構のトラッキング補正動作
の場合と同様である。

【００４２】このようにロータ１１２を揺動させると、
その前面に取り付けられているコリメートレンズ１０５
も同時に左右に揺動する。半導体レーザーチップ１０４
を発光させると、そこからのレーザー光が揺動している
コリメートレンズ１０５に入射し、ここを経由してレー
ザービームとして出射する。すなわち、レーザービーム
は、レンズ１０５の揺動に応じて左右に振れるので、前
方の測定対象領域を左右に走査することになる。前述の
実施例と同様に、半導体レーザーチップ１０４を間欠的
に発光させ、当該発光のタイミング（照射タイミング）
と、コリメートレンズ１０５の回転角度位置（走査角
度）との同期を取るようにしている。

【００４３】ここで、本例の光ビーム走査装置１００に
おけるロータ１０２、すなわちコリメートレンズ１０５
の回転角度位置の検出手段は次のように構成することが
できる。すなわち、図６（Ａ）を参照して説明すると、
レンズ保持部材１２２の後端の裏面には、一対の反射面
１４１、１４２が形成されている。ヨーク板の底板部分
１１６には、各反射面１４１、１４２に対峙させて反射
型の光センサ１４３、１４４が配置されている。光セン
サ１４３、１４４はＬＥＤ等の発光素子と反射面１４
１、１４２での反射光を受光する受光素子とを備えてい
る。

【００４４】各光センサ１４３、１４４は、レンズ１０
５が前方を向いた図示の中立位置（原点位置）に対して
左右に回転すると正反対の出力特性を示すように、それ
らの受光面の位置、および反射面との配置関係が規定さ
れている。従って、これらの光センサの出力に基づきレ
ンズ１０５の回転角度位置を求めることができ、この回
転角度位置に基づき、半導体レーザーチップの発光タイ
ミングをフィードバック制御することができる。

【００４５】なお、光センサは１個でもよいが、本例の
ように２個配置して双方の出力に差分を取ることによ
り、センサの温度特性等を補償できるので、精度の高い
制御を実現できる。

【００４６】このように構成した本例の光ビーム走査装
置においても、第１の実施例の場合と同様に、従来のも
のに比べて、装置を小型でコンパクトに構成できるとい
う効果を奏する。

【００４７】また、レンズ１０５の回転角度位置を検出
する機構を備えているので、半導体レーザーチップの発
光タイミングをフードバック制御することができ、発光
タイミングとレンズ１０５の走査角度との同期ずれが発
生することを回避できるという効果も奏する。

【００４８】さらには、本例では、レンズ１０５の揺動
中心１１９ａに対して、半導体レーザーチップの発光点
１０４ｂがレンズ側に位置している。この結果、レンズ
の回転角度よりも、ここを介して出射されるレーザービ
ームの振れ角（走査角）が大きくなる。従って、目標と
する領域を走査するために必要とされるレンズの揺動角
度を小さくすることができるという利点がある。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のビーム走
査装置では、固定した位置に配置した発光源の前方にコ
リメートレンズを配置し、このコリメートレンズを直接
に一定の角度範囲で揺動させるようにしている。従っ
て、本発明によれば、従来のような反射板やポリゴンミ
ラーが不要となるので、装置全体を格段に小型でコンパ
クトに構成することができる。

【００５０】また、発光源が揺動機構およびこれにより
駆動されるレンズの揺動中心あるいはその近傍に配置さ
れているので、従来のように反射板やポリゴンミラー等
の揺動機構の揺動軌跡の外側に発光源を配置する場合に
比べて、これらの部品を配置するための所要スペースが
少なくて済むので、装置全体を一層小型でコンパクトに
構成することができる。

【００５１】さらに、本発明のビーム走査装置では、コ
リメートレンズの回転角度位置を検出する検出手段を備
えており、この検出結果に基づき、発光源の発光タイミ
ングをフィードバック制御するようにしている。従っ
て、従来のように発光タイミングに合わせて反射板やポ
リゴンミラーを高精度で揺動させることにより当該発光
タイミングとレンズの回転角度位置の同期を取る場合と
は異なり、同期ずれの発生を回避でき、常に適正なビー
ムを走査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明を適用した光ビ
ーム走査装置の主要部分の平面図、正面図および側面図
である。

【図２】図１の光走査装置における回路基板省略した状
態での主要部分を示す分解斜視図である。

【図３】図１（Ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した部分
の断面図である。

【図４】（Ａ）は図１の光ビーム走査装置の駆動制御系
の概略ブロック図であり、（Ｂ）はその概略動作のタイ
ミングチャートである。

【図５】本発明による第２の実施例に係る光ビーム走査
装置の外観斜視図である。

【図６】（Ａ）は図５の光ビーム走査装置の平面図、
（Ｂ）はその正面図である。

【図７】図５の光ブーム走査装置の半導体レーザーチッ
プの取り付け部分を取り出して示す平面図、正面図およ
び側面図である。

【符号の説明】

１、１００ 光ビーム走査装置 ２ 支持板 ３ 回路基板 ４、１０４ レーザーユニット ４ａ、１０４ａ レーザー光の光軸 ４ｂ、１０４ｂ 発光点 ５、１０５ コリメートレンズ ５ａ、１０５ａ レンズ光軸 ６、１０６ 揺動機構 ８ レンズ支持枠 ９ 磁気駆動機構 ９１、１１１ ステータ ９２、１１２ ロータ ９２ｂ 回転中心軸 ９２ｃ 揺動中心線 ９７ ホール素子 ９８ ＭＲ素子 １１９ 揺動中心軸 １４３、１４４ 光センサ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザービーム等の光ビームを用いて対
   象領域を所定の方向に走査するためのビーム走査装置に
   おいて、 レーザー等の光を発生する発光源と、 この発光源からの出射光を光ビームとして出射するコリ
   メートレンズと、 このコリメートレンズを一定の角度範囲で揺動運動させ
   る揺動機構とを有し、 前記発光源からの出射光の主光軸と前記コリメートレン
   ズの光軸とは同一の平面上に位置しており、 前記揺動機構による前記コリメートレンズの揺動中心点
   は、前記コリメートレンズよりも前記発光源の側におけ
   る当該コリメートレンズの光軸延長上に位置しており、 前記揺動機構によって、前記コリメートレンズは前記平
   面上を揺動することを特徴とするビーム走査装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記揺動機構による前記コリメートレンズの揺動位置を
   検出するための位置検出手段を有しており、当該位置検
   出手段の検出結果に基づき、前記揺動機構による前記コ
   リメートレンズの揺動運動が制御されることを特徴とす
   るビーム走査装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記位置検出手段の検出結果に基づき、前記発光源の発
   光が制御されることを特徴とするビーム走査装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のうちのいずれかの項
   において、 前記揺動機構は、前記コリメートレンズを支持している
   レンズ支持部と、このレンズ支持部を前記揺動中心点の
   周りに揺動運動させるための磁気駆動機構とを備えてい
   ることを特徴とするビーム走査装置。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記磁気駆動機構は、ステータと、前記レンズ支持部の
   側に構成されたロータとを備え、前記ステータには磁石
   および駆動コイルの一方が取り付けられ、前記ロータに
   は磁石および駆動コイルの他方が取り付けられ、これら
   磁石と駆動コイルは、前記コリメートレンズの揺動中心
   線の方向に対向配置されていることを特徴とする光ビー
   ム走査装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、 前記磁石と駆動コイルは、前記コリメートレンズの揺動
   中心線の方向とは直交する方向に対向配置されているこ
   とを特徴とする光ビーム走査装置。