JPH11352016A - Optical characteristics measuring equipment for optical system - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical characteristics measuring equipment exhibiting high measuring accuracy, using a single one-dimensional light receiving sensor. SOLUTION: Luminous flux from total three light sources at a light source section 1 passes through a mask 2 and advances as a plurality of slit-like luminous flux toward a lens to be inspected. Respective slit-like luminous flux is condensed with respect to a condenser lens 3 onto the lens 4 to be inspected at total three positions. Each slit-like luminous flux passed through the lens 4 to be inspected has an inclination angle shifted by a specific torsional angle from the original inclination angle and is projected through a projection lens 7 onto a single one-dimensional light-receiving sensor 7. Optical characteristics of the lens 4 to be inspected are operated, based on the output signal from the one-dimensional light-receiving sensor 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、眼鏡レンズその他
の光学系の光学特性、すなわち、光学系の球面屈折力、
円柱屈折力及び主径線方向、並びにプリズム屈折力及び
その基底方向を、測定する光学系の光学特性測定装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to optical characteristics of spectacle lenses and other optical systems, that is, the spherical refractive power of the optical system,
The present invention relates to an optical characteristic measuring device of an optical system for measuring a cylindrical refractive power and a main radial direction, and a prism refractive power and a base direction thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来から光学系の光学特性測定装置とし
て種々の装置が提供されており、例えば、特開平８−１
１０２８４号公報に記載された装置が提供されている。2. Description of the Related Art Conventionally, various apparatuses have been provided as optical characteristic measuring apparatuses for optical systems.
An apparatus described in Japanese Patent No. 10284 is provided.

【０００３】この従来の光学系の光学特性測定装置は、
被検光学系に向けて三つ以上の光源を有する照射手段
と、前記照射手段による光束を透過率の異なる境界を有
する光束にする遮光手段と、前記透過率の異なる境界を
有する光束を前記被検光学系に対して集束させる集束光
学系と、一次元の受光位置に応じた出力信号を出力する
一つの一次元受光センサと、該一つの一次元受光センサ
上に前記被検光学系を通過した各光束を投影させる投影
光学系と、前記一つの一次元受光センサの出力信号に基
づいて、前記透過率の異なる境界を有する光束に基づく
各光束の前記一つの一次元受光センサ上の投影位置にそ
れぞれ応じた各投影位置データを得るとともに、該各投
影位置データに基づいて前記被検光学系の屈折力を得る
演算手段とを備えてなり、前記遮光手段による前記透過
率の異なる境界を有する光束の中心線または境界線は少
なくとも二対以上の平行線と少なくとも二本以上の線と
で構成され、少なくとも二対以上の平行線のうち少なく
とも一対の平行線は一次元受光センサの受光軸に対して
ほぼ垂直とし、少なくとも二本以上の線のうち少なくと
も二本は互いにほぼ垂直にしたものからなる。[0003] This conventional optical characteristic measuring apparatus for an optical system includes:
Irradiating means having three or more light sources toward the optical system to be inspected, light shielding means for converting a light beam from the irradiating means into a light beam having a boundary having a different transmittance, and a light beam having a boundary having a different transmittance. A focusing optical system that focuses on the analyzing optical system, one one-dimensional light receiving sensor that outputs an output signal corresponding to a one-dimensional light receiving position, and the optical system to be inspected passing over the one one-dimensional light receiving sensor A projection optical system for projecting the respective light beams, and a projection position on the one-dimensional light receiving sensor of each light beam based on the light beams having different boundaries of the transmittance based on an output signal of the one one-dimensional light receiving sensor. Calculating means for obtaining respective projection position data corresponding to the respective projection position data, and for obtaining the refractive power of the optical system to be tested based on the respective projection position data. The center line or boundary line of the light flux is composed of at least two pairs or more of parallel lines and at least two or more lines, and at least one pair of at least two pairs of parallel lines is the light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor. And at least two of the at least two lines are substantially perpendicular to each other.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の光学系の光学特性測定装置は、理論的には正確に
被検光学系の光学特性を得ることができるものの、直交
するスリット光束を使用するため、この直交部が、連続
性を欠くことになり、これが一次元受光センサでの測定
誤差を招き、この部分で十分な測定精度が得られないと
いう課題があった。However, such a conventional optical characteristic measuring apparatus for an optical system can theoretically accurately obtain the optical characteristics of the optical system to be measured, but uses orthogonal slit light beams. Therefore, the orthogonal portion lacks continuity, which causes a measurement error in the one-dimensional light receiving sensor, and there is a problem that sufficient measurement accuracy cannot be obtained in this portion.

【０００５】本発明は、前記課題を解決するもので、単
一の一次元受光センサを用いたにも拘らず、測定精度の
よい光学測定が行える光学系の光学特性測定装置を提供
することを目的とする。An object of the present invention is to provide an optical characteristic measuring apparatus for an optical system capable of performing optical measurement with high measurement accuracy despite using a single one-dimensional light receiving sensor. Aim.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的達成のため、本
発明にかかる光学系の光学特性測定装置は、被検光学系
に向けて三つ以上の光源を有する照射手段と、前記照射
手段による光束を透過率の異なる境界を有する光束にす
る遮光手段と、前記透過率の異なる境界を有する光束を
前記被検光学系に対して収束させる集束光学系と、一次
元の受光位置に応じた出力信号を出力する一つの一次元
受光センサと、該一つの一次元受光センサ上に前記被検
光学系を通過した各光束を投影させる投影光学系と、前
記一つの一次元受光センサの出力信号に基づいて、前記
透過率の異なる境界を有する光束に基づく各光束の前記
一つの一次元受光センサ上の投影位置にそれぞれ応じた
各投影位置データを得るとともに、該各投影位置データ
に基づいて前記被検光学系の屈折力を得る演算手段とを
備え、前記遮光手段による前記透過率の異なる境界を有
する光束の中心線または境界線（勿論、それらの延長線
も含む）は少なくとも二対以上の平行線で構成され、前
記二対以上の平行線のうち少なくとも一対の平行線は前
記一次元センサの受光軸に対してほぼ垂直であり、前記
二対以上の平行線のうち、他方の平行線は前記平行線と
は異なる傾斜角を有するものとしたものである。In order to achieve the above object, an optical characteristic measuring apparatus for an optical system according to the present invention comprises: an irradiating unit having three or more light sources toward an optical system to be inspected; Light blocking means for converting a light beam into a light beam having a boundary having a different transmittance; a focusing optical system for converging the light beam having a boundary having a different transmittance to the test optical system; and an output corresponding to a one-dimensional light receiving position. One one-dimensional light receiving sensor that outputs a signal, a projection optical system that projects each light beam that has passed through the test optical system onto the one one-dimensional light receiving sensor, and an output signal of the one one-dimensional light receiving sensor. And obtaining respective projection position data respectively corresponding to the projection positions of the respective light beams based on the light beams having the boundaries having different transmittances on the one-dimensional light receiving sensor, based on the respective projection position data. Calculating means for obtaining the refracting power of the optical system, wherein at least two pairs or more of parallel lines are included in the center line or the boundary line (including the extension line thereof) of the light beam having the boundary where the transmittance differs due to the light shielding unit. And at least one of the two or more parallel lines is substantially perpendicular to the light receiving axis of the one-dimensional sensor, and the other of the two or more parallel lines is the other It has a different inclination angle from the parallel line.

【０００７】また、前記照射手段は前記三つ以上の光源
を順次照射し、前記演算手段が、前記三つ以上の光源の
うちのいずれの光束が照射されているかを判別する判別
信号を得て、この判別信号及び前記一つの一次元受光セ
ンサの出力信号に基づいて前記各投影位置データを得る
ようにしたものである。The irradiating means sequentially irradiates the three or more light sources, and the calculating means obtains a discrimination signal for discriminating which of the three or more light sources is irradiating. The projection position data is obtained based on the determination signal and the output signal of the one-dimensional light receiving sensor.

【０００８】さらに、前記演算手段は、前記各投影位置
データに基づいて前記被検光学系のプリズム屈折力を得
る演算を行うようにしたものである。Further, the calculation means performs calculation for obtaining the prismatic refracting power of the test optical system based on the respective projection position data.

【０００９】そして、前記各集束位置を四箇所とし、該
各集束位置が仮想的な同心円上にあって９０°ずつの角
度をなすように配置してある。[0009] Each of the converging positions is set at four positions, and the respective converging positions are arranged on a virtual concentric circle so as to form an angle of 90 °.

【００１０】従って、円柱屈折力を有する被検光学系を
通過した後のスリット状の光束は、被検光学系の屈折
力、円柱軸方向、中心厚に応じてねじれ（その傾斜角が
変化し）、ねじれ量（スリット状の光束の傾斜角の変化
量）を生じ、このねじれ量を直交するスリットで解決し
たものが特開平６−２７３０２０号公報に記載されてい
る。Therefore, the slit-shaped light beam after passing through the optical system to be inspected having a cylindrical refractive power is twisted (the inclination angle is changed according to the refractive power of the optical system to be inspected, the axial direction of the cylinder, and the center thickness). Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-273020 discloses a method in which a twist amount (a change amount of the inclination angle of a slit-like light beam) is generated, and the twist amount is solved by orthogonal slits.

【００１１】これに対して、本発明では直交するスリッ
ト光束を使用しないにもかかわらず被検レンズの光学特
性を知ることができる。これは少なくとも二対以上の異
なる傾斜角を有する平行線を用い、実用上良好な近似式
を用いたためである。On the other hand, according to the present invention, the optical characteristics of the lens to be inspected can be known even though orthogonal slit beams are not used. This is because at least two pairs of parallel lines having different inclination angles are used, and a practically good approximation formula is used.

【００１２】従って、本発明によれば、被検光学系が円
柱屈折力を有していて、スリット状の光束が被検光学系
を通過した後にいかにねじれようとも、正確に被検光学
系の光学特性を得られるように機能する。Therefore, according to the present invention, the optical system to be inspected has a cylindrical refractive power, and no matter how the slit-shaped light beam is twisted after passing through the optical system to be inspected, the optical system to be inspected can be accurately formed. Functions to obtain optical characteristics.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態につ
いて説明する。図１は本発明の光学特性測定装置の光学
系を示す構成図である。図１において、Ｏは測定光軸
で、説明の便宜上、該測定光軸Ｏに対して垂直な図１の
紙面内の方向をＹ軸（その矢印の向きは測定光軸Ｏを原
点とした正の向きを示すものとする）とし、測定光軸Ｏ
に対して垂直でかつ紙面に垂直な方向をＸ軸（図１の紙
面奥の向き（他の図面においては矢印の向き）が測定光
軸Ｏを原点とした正の向きを示す）とする。測定光軸Ｏ
上においてＸＹ平面内に光源部１が配置されている。図
１におけるＡ矢視方向から見た光源部１を図２に示して
ある。光源部１は四つのＬＥＤ等の光源１ａ，１ｃ１ｂ
及び１ｄを有しており、これらが測定光軸Ｏを中心とす
る仮想的な同心円Ｕ上にあって９０°ずつの角度をなす
ように配置されている。なお、光源１ａ及び１ｂはＹ軸
上に配置され、光源１ｃ及び１ｄはＸ軸上に配置されて
いる。また、光源１ａ，１ｂ，１ｃ及び１ｄはほぼ点光
源とみなせる。なお、光源１ａ，１ｂ，１ｃ及び１ｄは
それぞれ独立して点灯及び消灯できるようになってい
る。同心円Ｕ１の直径は２φで、設計で決まる値であ
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical system of the optical characteristic measuring device of the present invention. In FIG. 1, O is a measurement optical axis, and for convenience of explanation, the direction in the plane of FIG. 1 perpendicular to the measurement optical axis O is the Y axis (the direction of the arrow is the positive direction with the measurement optical axis O as the origin). The direction of the measurement optical axis O
The direction perpendicular to the drawing and perpendicular to the plane of the drawing is the X-axis (the direction toward the back of the drawing of FIG. 1 (the direction of the arrow in other drawings) indicates the positive direction with the measurement optical axis O as the origin). Measurement optical axis O
Above, the light source unit 1 is arranged in the XY plane. FIG. 2 shows the light source unit 1 viewed from the direction of the arrow A in FIG. The light source unit 1 includes light sources 1a and 1c1b such as four LEDs.
And 1d, which are arranged on an imaginary concentric circle U centered on the measurement optical axis O so as to form an angle of 90 °. The light sources 1a and 1b are arranged on the Y axis, and the light sources 1c and 1d are arranged on the X axis. The light sources 1a, 1b, 1c, and 1d can be regarded as point light sources. The light sources 1a, 1b, 1c and 1d can be turned on and off independently. The diameter of the concentric circle U1 is 2φ, which is a value determined by design.

【００１４】測定光軸Ｏ上において光源部１から所定距
離だけ離して、スリット状の開口２ａ，２ｂ，２ｃ及び
２ｄを有するマスト２が配置されている。図１における
Ｂ矢視方向から見たマスク２を図３に示してある。スリ
ット状の開口２ａはその中心線がＹ軸に対して垂直にな
るように配置され、スリット状の開口２ｂはその中心線
がＹ軸に対して垂直になるように配置され、スリット状
の開口２ａの中心線及びスリット状の開口２ｂの中心線
がＹ軸にそれぞれ±Ｈ０１’の位置で交差している。な
お、説明の便宜上、スリット状の開口もその中心線も同
一符号を付している。スリット状の開口２ｃ，２ｄはそ
の中心線が、一次元センサの受光軸であるＹ軸に対して
ｔａｎω＝１／２の傾斜角になるように配置され、スリ
ット状の開口２ｃ，２ｄの中心線はＹ軸とそれぞれ±Ｈ
０２’で交差している。なお、開口２ｃ，２ｄの傾斜角
は必ずしもｔａｎω＝１／２である必要性はなく、スリ
ット状の開口２ａ，２ｂと異なる傾斜角、例えば、ω＝
１０°〜３５°であればよい。A mast 2 having slit-shaped openings 2a, 2b, 2c and 2d is arranged on the measuring optical axis O at a predetermined distance from the light source unit 1. FIG. 3 shows the mask 2 viewed from the direction of the arrow B in FIG. The slit-shaped opening 2a is arranged so that its center line is perpendicular to the Y axis, and the slit-shaped opening 2b is arranged so that its center line is perpendicular to the Y axis. The center line 2a and the center line of the slit-shaped opening 2b intersect the Y axis at positions of ± H01 '. For convenience of explanation, the same reference numerals are given to the slit-shaped opening and its center line. The slit-shaped openings 2c and 2d are arranged such that their center lines have an inclination angle of tan ω = 1/2 with respect to the Y-axis which is the light receiving axis of the one-dimensional sensor, and the center of the slit-shaped openings 2c and 2d. Lines are ± H with Y axis respectively
Crosses at 02 '. Note that the inclination angles of the openings 2c and 2d do not necessarily have to be tan ω = 1/2, and are different from those of the slit-shaped openings 2a and 2b, for example, ω =
It should just be 10 degrees-35 degrees.

【００１５】また、図１において、４は被検光学系とし
て被検レンズ、５は該被検レンズ４を保持するレンズホ
ルダーであり、レンズホルダー５に被検レンズ４を保持
させたときに、被検レンズ４の後面がレンズホルダー５
のホルダー面と一致するようになっている。In FIG. 1, reference numeral 4 denotes a lens to be inspected as an optical system to be inspected, and 5 denotes a lens holder for holding the lens 4 to be inspected. The rear surface of the test lens 4 is the lens holder 5
Of the holder.

【００１６】図１において、３は測定光軸Ｏ上において
マスク２と被検レンズ４との間に配置された集光レンズ
である。被検レンズ４をレンズホルダー５に設置しない
場合に、集光レンズ３によって光源１ａ，１ｂ，１ｃ及
び１ｄとレンズホルダー５のホルダー面とが共役となっ
ている。従って、図１に示す例では、集光レンズ３が、
前記スリット状の光束を前記被検レンズ４に対して集束
させる集束光学系を構成している。なお、集光レンズ３
の前側焦点面がマスク２と一致している。図１に示す実
施の形態では、前記スリット状の光束の集光レンズ３に
よる被検レンズ４に対する集束位置は合計四箇所となっ
ている。In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a condenser lens disposed between the mask 2 and the lens 4 on the measuring optical axis O. When the test lens 4 is not installed in the lens holder 5, the light sources 1 a, 1 b, 1 c and 1 d are conjugated to the holder surface of the lens holder 5 by the condenser lens 3. Therefore, in the example shown in FIG.
A converging optical system for converging the slit-shaped light beam to the test lens 4 is configured. Note that the condenser lens 3
Is in agreement with the mask 2. In the embodiment shown in FIG. 1, the focusing positions of the slit-shaped light beam with respect to the test lens 4 by the condenser lens 3 are a total of four positions.

【００１７】また、図１において、７は一次元の受光位
置に応じた出力信号を出力する一次元受光センサで、例
えば、一次元ＣＣＤを用いることができる。図１におけ
るＣ方向から見た一次元受光センサ７を図５に示してあ
る。一つの一次元受光センサ７の線状の受光面の受光中
心は、Ｙ軸に一致している。なお、説明の便宜上、一つ
の一次元受光センサ７の受光面を含むＸＹ平面を受光Ｘ
Ｙ平面という。この受光ＸＹ平面の原点と図１中の測定
光軸Ｏ上の位置Ｏ７とは一致している。In FIG. 1, a one-dimensional light receiving sensor 7 outputs an output signal corresponding to a one-dimensional light receiving position. For example, a one-dimensional CCD can be used. FIG. 5 shows the one-dimensional light receiving sensor 7 as viewed from the direction C in FIG. The light receiving center of the linear light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7 coincides with the Y axis. For convenience of explanation, the XY plane including the light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7 is
It is called a Y plane. The origin of the light receiving XY plane coincides with the position O7 on the measurement optical axis O in FIG.

【００１８】更に、図１において、６は測定光軸Ｏ上に
おいて前記被検レンズ４と前記一次元受光センサ７との
間に配置された投影レンズである。投影レンズ６の前側
焦点面がレンズホルダー５のホルダー面、投影レンズ６
の後側焦点面が一次元受光センサ７の受光面と一致して
いる。従って、図１に示す実施例では、投影レンズ６
が、一次元受光センサ７の受光面上に前記被検レンズ４
を通過した前記各光束を投影させる投影光学系を構成し
ている。Further, in FIG. 1, reference numeral 6 denotes a projection lens disposed between the test lens 4 and the one-dimensional light receiving sensor 7 on the measurement optical axis O. The front focal plane of the projection lens 6 is the holder surface of the lens holder 5 and the projection lens 6
The rear focal plane coincides with the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7. Therefore, in the embodiment shown in FIG.
Is located on the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7.
And a projection optical system for projecting each of the light fluxes passing through the projection optical system.

【００１９】そして、図４に示すように、前記光源１
ａ，１ｂ，１ｃ及び１ｄはこれらを点灯及び消灯させる
光源駆動回路１２に接続されている。該光源駆動回路１
２は、マイクロコンピュータ等からなる演算手段として
の演算制御回路１１から点灯制御信号を受けるように、
これに接続されている。演算制御回路１１は、センサ駆
動回路１３にデータ取り込み開始信号を供給するよう
に、これに接続されている。センサ駆動回路１３は、一
次元受光センサ７をそれぞれ駆動するように、これらに
接続されている。一次元受光センサ７は、それらの出力
信号をＡ／Ｄ変換または二値化等する信号処理回路１４
にそれぞれ接続されている。信号処理回路１４は、その
出力信号が演算制御回路１１に入力されるように、これ
に接続されている。そして、測定を開始すると、まず、
演算制御回路１１が点灯制御信号を光源駆動回路１２に
送って光源１ａのみを点灯させる。その後、演算制御回
路１１がデータ取り込み開始信号をセンサ駆動回路１３
に送って一次元受光センサ７をそれぞれ駆動し、一次元
受光センサ７から受光位置に応じた出力信号をそれぞれ
得て、これらの出力信号を信号処理回路１４で処理した
後に、測定データとして演算制御回路１１の内部メモリ
に取り込む。すなわち、光源１ａから発してスリット状
の開口２ａ，２ｂ，２ｃ及び２ｄを通過したスリット状
の光束に基づく各光束の一次元受光センサ７上の投影位
置に応じた投影位置データが演算制御回路１１の内部メ
モリに取り込まれる。同一の一次元受光センサ７の出力
信号に基づいて得られる投影位置データ間の区別は、当
該一次元受光センサ７の出力信号に基づいて当該一次元
受光センサ７における受光幅を判別することによって、
行われる。この取り込みが終了すると、演算制御回路１
１は再び点灯制御信号を光源駆動回路１２に送って今度
は光源１ｂのみを点灯して、前述と同様にして測定デー
タとして投影位置データを取り込む。以下、同様に、順
次光源１ｃ及び１ｄを点灯していき、その都度演算制御
回路１１の内部メモリに測定データとして投影位置デー
タを取り込む。そして、演算制御回路１１はこのように
して取り込まれた投影位置データに基づいて後述の演算
を行って、被検レンズ４の光学特性である、球面屈折力
Ｓ，円柱屈折力Ｃ，円柱軸方向（一つの主径線方向）
θ，プリズム屈折力Ｐ及びその基底方向γを得る。得ら
れた光学特性は表示装置１５により表示される。Then, as shown in FIG.
a, 1b, 1c, and 1d are connected to a light source driving circuit 12 for turning on and off these. The light source driving circuit 1
2 receives a lighting control signal from an arithmetic control circuit 11 as arithmetic means including a microcomputer or the like;
Connected to this. The arithmetic control circuit 11 is connected to the sensor drive circuit 13 so as to supply a data capture start signal to the sensor drive circuit 13. The sensor drive circuit 13 is connected to these to drive the one-dimensional light receiving sensors 7 respectively. The one-dimensional light receiving sensor 7 is a signal processing circuit 14 for A / D converting or binarizing those output signals.
Connected to each other. The signal processing circuit 14 is connected to the arithmetic control circuit 11 so that its output signal is input to the arithmetic control circuit 11. And when you start the measurement,
The arithmetic control circuit 11 sends a lighting control signal to the light source driving circuit 12 to turn on only the light source 1a. After that, the arithmetic control circuit 11 sends a data fetch start signal to the sensor drive circuit 13.
To drive the one-dimensional light-receiving sensors 7 to obtain output signals corresponding to the light-receiving positions from the one-dimensional light-receiving sensors 7. These output signals are processed by the signal processing circuit 14, and then are calculated and controlled as measurement data. The data is taken into the internal memory of the circuit 11. That is, the arithmetic control circuit 11 calculates projection position data corresponding to the projection position on the one-dimensional light receiving sensor 7 for each light beam based on the slit light beams emitted from the light source 1a and passing through the slit openings 2a, 2b, 2c and 2d. Is taken into the internal memory of The distinction between the projection position data obtained based on the output signal of the same one-dimensional light receiving sensor 7 is performed by determining the light receiving width of the one-dimensional light receiving sensor 7 based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7.
Done. When this loading is completed, the arithmetic control circuit 1
1 again sends a lighting control signal to the light source driving circuit 12, turns on only the light source 1b, and captures projection position data as measurement data in the same manner as described above. Hereinafter, similarly, the light sources 1c and 1d are sequentially turned on, and each time the projection position data is taken into the internal memory of the arithmetic and control circuit 11 as measurement data. Then, the arithmetic control circuit 11 performs an arithmetic operation described later based on the projection position data taken in as described above to obtain the optical characteristics of the lens 4 to be inspected, that is, the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, and the cylindrical axial direction. (One main radial direction)
θ, the prism refractive power P and its base direction γ are obtained. The obtained optical characteristics are displayed on the display device 15.

【００２０】以上の説明から明かなように、本実施の形
態では、演算制御回路１１は、一次元受光センサ７の出
力信号に基づいて前記スリット状の光束に基づく各光束
の一次元受光センサ７上の各投影位置データにそれぞれ
応じた投影位置データを得る投影位置データ抽出手段と
しての機能を担っている。特に、本実施の形態では、前
記点灯制御信号または前記データ取り込み開始信号が、
前記光束のうちのいずれの光源に基づく光束が照射され
ているかの判別信号に相当しており、その判別信号を出
力する判別手段としての機能を演算制御回路１１が担っ
ている。また、演算制御回路１１は同時に照射されたス
リット状の光束の幅を判別する機能を担っている。更
に、演算制御回路１１は、前記判別信号及び一次元受光
センサ７の出力信号に基づいて被検レンズ４の光学特性
を得る演算手段としての機能も担っている。As is clear from the above description, in the present embodiment, the arithmetic and control circuit 11 controls the one-dimensional light receiving sensor 7 based on the slit-like light based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7. It has a function as projection position data extraction means for obtaining projection position data corresponding to each of the above projection position data. In particular, in the present embodiment, the lighting control signal or the data capture start signal is
The signal corresponds to a discrimination signal indicating which light source of the light beam is emitted from the light source, and the arithmetic control circuit 11 has a function as a discriminating unit that outputs the discrimination signal. Further, the arithmetic and control circuit 11 has a function of determining the width of the slit-shaped luminous flux irradiated at the same time. Further, the arithmetic control circuit 11 also has a function as an arithmetic means for obtaining the optical characteristics of the lens 4 to be measured based on the discrimination signal and the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7.

【００２１】次に、演算制御回路１１の演算により、被
検レンズ４の光学特性である、球面屈折力Ｓ，円柱屈折
力Ｃ，円柱軸方向θ，プリズム屈折力Ｐ及びその基底方
向γを求めることができる理由を説明する。Next, the arithmetic control circuit 11 calculates the optical characteristics of the lens 4 to be measured, namely, the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, the cylindrical axial direction θ, the prism refractive power P, and the base direction γ. Explain why you can do it.

【００２２】すなわち、前記特開平８−１１０２８４号
公報に記載の知見と同様、二種類以上の所定の傾斜角度
を有するスリット状の光束の交差点は、被検光学系を通
過した後は、被検光学系の光学特性を示すという性質に
基づいている。このことは、スポット的な光束が被検光
学系を通過した後は被検光学系の光学特性を示すとい
う、一般的に知られている事実と光学的に等価である。That is, similar to the findings described in JP-A-8-110284, the intersection of two or more types of slit-shaped light beams having a predetermined inclination angle is detected after passing through the optical system. It is based on the property of exhibiting optical characteristics of an optical system. This is optically equivalent to the generally known fact that the spot-like light beam shows the optical characteristics of the test optical system after passing through the test optical system.

【００２３】従って、被検光学系を通過した後の二種類
以上の所定の傾斜角度を有するスリット状の光束の交差
点（光束が実際に交差していない場合にはその延長線の
交差点）の二次元の位置を知ることによって、被検光学
系の光学特性を知ることができる。Accordingly, two intersections of slit-like light beams having two or more predetermined inclination angles after passing through the optical system to be inspected (intersections of extension lines of the light beams when they do not actually intersect). By knowing the dimensional position, the optical characteristics of the test optical system can be known.

【００２４】そして、中心厚ｄ、ある方向の屈折力Ｄを
有する被検レンズにおいて投影光束が被検レンズを通過
した後、絞りのない場合、一般的に知られているよう
に、次式が成立する。In the case where the projection light beam passes through the test lens having a center thickness d and a refracting power D in a certain direction, and there is no stop, as is generally known, the following equation is obtained. To establish.

【００２５】 Ｈ ＝ｆφＤ 但しｄ≒０ …（１） Ｈ’＝Ｈ／（１＋ｄＤ） …（２） 但し、Ｄは被検レンズ４の屈折力であり、Ｈは受光ＸＹ
平面での被検レンズの屈折力に対する像の高さである。
実際にはｄ≠０なので、受光ＸＴ平面での像の高さは
Ｈ’となる。ｆは投影レンズの焦点距離、φは図２にお
ける半径、ｄは被検レンズの中心厚さである。H = fφD where d ≒ 0 (1) H ′ = H / (1 + dD) (2) where D is the refractive power of the lens 4 to be measured and H is the light receiving XY
The height of the image relative to the refractive power of the lens under test in a plane.
Actually, since d ≠ 0, the height of the image on the light receiving XT plane is H ′. f is the focal length of the projection lens, φ is the radius in FIG. 2, and d is the center thickness of the test lens.

【００２６】さて、被検レンズ４が、中心厚ｄ，球面屈
折力Ｓ，円柱屈折力Ｃ，円柱軸方向θであれば、マスク
２を通過し、被検レンズ４を通過し受光平面ＸＹに投影
された光束は、図６に示すように、マスク２のＸＹ軸は
Ｘ’，Ｙ’となり、スリット状の開口の中心線２ｃ，２
ｄは、２ｃ’，２ｄ’のようにねじれを生じる。このこ
とは、特開平５−２３１８６号公報及び特開平６−５８
８４１号公報に詳しく述べてある。If the lens 4 to be measured has a center thickness d, a spherical refractive power S, a cylindrical refractive power C, and a cylindrical axial direction θ, the light passes through the mask 2 and passes through the lens 4 to be detected on the light receiving plane XY. As shown in FIG. 6, the projected luminous flux has the X and Y axes of the mask 2 at X 'and Y', and the center lines 2c and 2 of the slit-shaped openings.
d causes a twist like 2c 'and 2d'. This is described in JP-A-5-23186 and JP-A-6-58.
No. 841 discloses this in detail.

【００２７】さて、ここで、α１，α２，β１とβ２と
ほとんど等しく、α１≒−α２，β１≒−β２と近似し
ても実際上問題ない。そこで、次の式（３）及び式
（４）のように、近似する。Here, α1, α2, β1 and β2 are almost equal to each other, and there is no practical problem even if α1 と −α2, β1 ≒ −β2 is approximated. Therefore, the approximation is performed as in the following equations (3) and (4).

【００２８】 ｍ≒ｔａｎα１＝−ｔａｎα２＝（１＋ｄΔＸ）／（１＋ｄΔＹ）…（３） ｎ≒ｔａｎβ１＝−ｔａｎβ２＝ｄΔ／（１＋ｄΔＹ） …（４） ただし、後述するように、ΔＸは被検レンズ４のＸ軸を
含む子午面（メリジオナル面）に沿った屈折力、ΔＹは
被検レンズ４のＹ軸を含む子午面に沿った屈曲力、Δは
被検レンズ４の球欠面（サジタル面）に沿った屈折力で
ある。M ≒ tanα1 = −tanα2 = (1 + dΔX) / (1 + dΔY) (3) n ≒ tanβ1 = -tanβ2 = dΔ / (1 + dΔY) (4) where ΔX is the lens 4 to be measured. Is the refractive power along the meridional plane (meridional plane) including the X axis, ΔY is the bending force along the meridian plane including the Y axis of the test lens 4, and Δ is the spherical surface (sagittal plane) of the test lens 4. Is the refractive power along.

【００２９】前記図１に示す実施の形態によれば、被検
レンズ４が中心厚，球面屈折力Ｓ，円柱屈折力Ｃ及びプ
リズム屈折力Ｐを有しているとすると、例えば、光源１
ａを発してマスク２のスリット状の開口２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを通過した各スリット状の光束による前記受光
ＸＹ平面上の投影光束７１，７２，７３，７４並びに、
光源１ｂを発してマスク２のスリット状の開口２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄを通過した各スリット状の光束による前
記受光ＸＹ平面上の投影光束７５，７６，７７，７８
は、図７に示すようになる。また、光源１ｃを発してマ
スク２のスリット状の開口２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを通
過した各スリット状の光束による前記受光ＸＹ平面上の
投影光束８１，８２，８３，８４並びに、光源１ｄを発
してマスク２のスリット状の開口２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄを通過した各スリット状の光束による前記受光ＸＹ平
面上の投影光束８５，８６，８７，８８は、図８に示す
ようになる。なお、図７及び図８では、各投影光束７１
乃至８８はその中心線しか示していない。そして、図７
におけるＡ１点は光源１ａを発して測定光軸Ｏ上のマス
ク２の位置であるＯ２点を通過した光線（以下、光源１
ａによる基準光線という）の受光ＸＹ平面上の投影位置
を示し、図７におけるＡ２点は光源１ｂを発してＯ２点
を通過した光線（以下、光源１ｂによる基準光線とい
う）の受光ＸＹ平面上の投影位置を示し、図８における
Ａ３点は光源１ｃを発してＯ２点を通過した光線（以
下、光源１ｃによる基準光線という）の受光ＸＹ平面上
の投影位置を示し、図８におけるＡ４点は光源１ｄを発
してＯ２点を通過した光線（以下、光源１ｄによる基準
光線という）の受光ＸＹ平面上の投影位置を示してい
る。According to the embodiment shown in FIG. 1, if the test lens 4 has a center thickness, a spherical refractive power S, a cylindrical refractive power C, and a prism refractive power P, for example, the light source 1
a to emit slit-shaped openings 2a, 2b, 2 of the mask 2.
c, 2d, projected light beams 71, 72, 73, 74 on the light receiving XY plane by the respective slit-shaped light beams;
The light source 1b emits light, and the slit-shaped openings 2a and 2 of the mask 2 are emitted.
b, 2c, 2d, projected light beams 75, 76, 77, 78 on the light receiving XY plane by respective slit-shaped light beams.
Is as shown in FIG. Further, the projection light beams 81, 82, 83, 84 and the light source 1d on the light receiving XY plane by the respective slit-like light beams emitted from the light source 1c and passed through the slit-like openings 2a, 2b, 2c, 2d of the mask 2 are transmitted. The slit-shaped openings 2a, 2b, 2c, 2
The projected light beams 85, 86, 87, and 88 on the light receiving XY plane by the respective slit-shaped light beams that have passed through d are as shown in FIG. 7 and 8, each projection light flux 71
To 88 show only the center line. And FIG.
A1 is a light beam emitted from the light source 1a and passed through a point O2 which is the position of the mask 2 on the measurement optical axis O (hereinafter, light source 1).
a point A2 in FIG. 7 indicates a projected position of a light beam emitted from the light source 1b and passing through a point O2 (hereinafter referred to as a reference light beam by the light source 1b) on the light receiving XY plane. A point A3 in FIG. 8 indicates a projection position on a light receiving XY plane of a light beam emitted from the light source 1c and passing through the point O2 (hereinafter, referred to as a reference light beam by the light source 1c), and a point A4 in FIG. The projection position on the light receiving XY plane of a light beam that emits 1d and passes through the O2 point (hereinafter, referred to as a reference light beam by the light source 1d) is shown.

【００３０】なお、各投影光束と前記光源部１との位置
関係を明らかにするため、図７には光源部１の光源１ａ
及び１ｂも前記受光ＸＹ平面上にあるかの如く重ね合わ
せて示してあり、図８には光源部１の光源１ｃ及び１ｄ
も前記受光ＸＹ平面上にあるかの如く重ね合わせて示し
てある。なお、前述から明らかなように、図７及び図８
において、Ｙ軸は、一つの一次元受光センサ７の線状の
受光面の受光中心線を示している。In order to clarify the positional relationship between each projection light beam and the light source unit 1, FIG.
And 1b are also superimposed as if they were on the light receiving XY plane. FIG. 8 shows the light sources 1c and 1d of the light source unit 1.
Are also superimposed as if they were on the light receiving XY plane. As apparent from the above description, FIGS.
In FIG. 7, the Y axis indicates the light receiving center line of the linear light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7.

【００３１】図７及び図８に示すように、被検レンズ４
の光学特性に応じて、前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３及びＡ
４は受光ＸＹ平面の原点Ｏ７に対してそれぞれずれてい
る。まず、前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３，及びＡ４の位置
が被検レンズ４の光学特性との関係でいかなる情報を有
しているかについて説明する。なお、前記各点Ａ１，Ａ
２，Ａ３及びＡ４のＸＹ座標をそれぞれ符号も含めて
（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），
（Ｘ４，Ｙ４）とする。このように符号を含めるのは、
屈折力の正負、すなわち、被検レンズ４の凹凸を判別す
るためである。As shown in FIG. 7 and FIG.
The points A1, A2, A3 and A
Reference numeral 4 deviates from the origin O7 of the light receiving XY plane. First, what information the positions of the points A1, A2, A3, and A4 have in relation to the optical characteristics of the test lens 4 will be described. The points A1, A
The XY coordinates of A2, A3 and A4, including the sign, respectively, are (X1, Y1), (X2, Y2), (X3, Y3),
(X4, Y4). The inclusion of the sign in this way is
This is for determining whether the refractive power is positive or negative, that is, the unevenness of the lens 4 to be measured.

【００３２】前述したように、被検レンズ４のＸ軸を含
む子午面（メリジオナル面）に沿った屈折力をΔＸ，被
検レンズ４のＹ軸を含む子午面に沿った屈折力をΔＹ，
被検レンズ４の球欠面（サジタル面）に沿った屈折力を
Δとすると、ΔＸ，ΔＹ及びΔは、被検レンズ４の球面
屈折力Ｓ，円柱屈折力Ｃ及び円柱軸方向θを用いて次の
ように表せる。As described above, the refractive power along the meridional plane (meridional plane) including the X axis of the test lens 4 is ΔX, the refractive power along the meridian plane including the Y axis of the test lens 4 is ΔY,
Assuming that the refractive power along the spherical surface (sagittal surface) of the test lens 4 is Δ, ΔX, ΔY, and Δ use the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, and the cylindrical axial direction θ of the test lens 4. Can be expressed as

【００３３】 ΔＸ＝Ｓ＋Ｃ・ｓｉｎ^２ θ …（５） ΔＹ＝Ｓ＋Ｃ・ｃｏｓ^２ θ …（６） Δ＝Ｃ・ｓｉｎθ・ｃｏｓθ …（７） そして、今、被検レンズ４が球面屈折力Ｓ及び円柱屈折
力Ｃを有し、プリズム屈折力Ｐは有していないとする
と、本実施の形態では前述の配置関係を有しているとと
もに、光源１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄによる各基準光線と
前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４の座標と前記ΔＸ，Δ
Ｙ及びΔとの間に次の関係が成立する。なお、以下の式
におけるｆは前記投影レンズ６の焦点距離を示す。ま
た、以下の式におけるφは、前述したように、前記同心
円Ｕ１の半径を示す。更に、以下の式では、式（１），
（２）を考慮している。ΔX = S + C · sin ² θ (5) ΔY = S + C · cos ² θ (6) Δ = C · sin θ · cos θ (7) Then, the lens 4 to be measured has a spherical refractive power S and Assuming that it has a cylindrical refractive power C and does not have a prism refractive power P, the present embodiment has the above-described arrangement relationship, and the reference light beams from the light sources 1a, 1b, 1c, 1d and The coordinates of each point A1, A2, A3, A4 and the ΔX, Δ
The following relationship is established between Y and Δ. Note that f in the following equation indicates the focal length of the projection lens 6. Further, φ in the following equation indicates the radius of the concentric circle U1 as described above. Further, in the following equation, equations (1),
(2) is considered.

【００３４】 ｜Ｘ１｜＝｜Ｘ２｜＝φ・ｆ・Δ／（１＋ｄΔＸ） …（８） ｜Ｙ３｜＝｜Ｙ４｜＝φ・ｆ・Δ／（１＋ｄΔＹ） …（９） ｜Ｙ１｜＝｜Ｙ２｜＝φ・ｆ・ΔＹ／（１＋ｄΔＹ） …（１０） ｜Ｘ３｜＝｜Ｘ４｜＝φ・ｆ・ΔＸ／（１＋ｄΔＸ） …（１１） ここで、φ及びｆは設計上の定数であるので、説明の便
宜上、式を簡単に表現するため、φ・ｆ＝１とすると、
式（８）〜（１１）はそれぞれ次のようになる。もっと
も、本発明ではφ・ｆ≠１でもよいことは勿論である。| X1 | = | X2 | = φ · f · Δ / (1 + dΔX) (8) | Y3 | = | Y4 | = φ · f · Δ / (1 + dΔY) (9) | Y1 | = | Y2 | = φ · f · ΔY / (1 + dΔY) (10) | X3 | = | X4 | = φ · f · ΔX / (1 + dΔX) (11) where φ and f are design constants. Therefore, for convenience of explanation, in order to simplify the expression, if φ · f = 1,
Equations (8) to (11) are as follows. However, in the present invention, it is needless to say that φ · f ≠ 1.

【００３５】 ｜Ｘ１｜＝｜Ｘ２｜＝Δ／（１＋ｄΔＸ） …（１２） ｜Ｙ３｜＝｜Ｙ４｜＝Δ／（１＋ｄΔＹ） …（１３） ｜Ｙ１｜＝｜Ｙ２｜＝ΔＹ／（１＋ｄΔＹ） …（１４） ｜Ｘ３｜＝｜Ｘ４｜＝ΔＸ／（１＋ｄΔＸ） …（１５） 以上の説明においては、被検レンズ４が球面屈折力Ｓ及
び円柱屈折力Ｃを有しプリズム屈折力Ｐは有していない
とした。しかし、被検レンズ４がプリズム屈折力Ｐも有
しているとすると、前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３及びＡ４
の位置は、被検レンズ４がプリズム屈折力Ｐを有してい
ない場合の位置に対して、プリズム屈折力Ｐによってベ
クトルＰ’（そのＸ成分をＸ０とし、Ｙ成分をＹ０とす
る）の分だけ平行移動することとなる。| X1 | = | X2 | = Δ / (1 + dΔX) (12) | Y3 | = | Y4 | = Δ / (1 + dΔY) (13) | Y1 | = | Y2 | = ΔY / (1 + dΔY) (14) | X3 | = | X4 | = ΔX / (1 + dΔX) (15) In the above description, the test lens 4 has the spherical refractive power S and the cylindrical refractive power C and the prism refractive power P has I did not. However, assuming that the test lens 4 also has a prism refractive power P, the points A1, A2, A3 and A4
Is the position of the vector P ′ (the X component is X0 and the Y component is Y0) by the prism refractive power P with respect to the position when the test lens 4 does not have the prism refractive power P. Will be translated.

【００３６】従って、被検レンズ４が球面屈折力Ｓ及び
円柱屈折力Ｃのみならず、プリズム屈折力Ｐを有してい
る場合には、前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４の座標
（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），
（Ｘ４，Ｙ４）は、その符号も考慮に入れると、次のよ
うに表わすことができる。Therefore, when the lens 4 to be examined has not only the spherical refractive power S and the cylindrical refractive power C but also the prism refractive power P, the coordinates (X1 , Y1), (X2, Y2), (X3, Y3),
(X4, Y4) can also be expressed as follows, taking its sign into consideration.

【００３７】 （Ｘ１，Ｙ１）＝［（Δ＋Ｘ０）／（１＋ｄΔＸ），（ΔＹ＋Ｙ０）／（１＋ ｄΔＹ）］ …（１６） （Ｘ２，Ｙ２）＝［（−Δ＋Ｘ０）／（１＋ｄΔＸ），（−ΔＹ＋Ｙ０）／（ １＋ｄΔＹ）］ …（１７） （Ｘ３，Ｙ３）＝［（ΔＸ＋Ｘ０）／（１＋ｄΔＸ），（Δ＋Ｙ０）／（１＋ ｄΔＹ）］ …（１８） （Ｘ４，Ｙ４）＝［（−ΔＸ＋Ｘ０）／（１＋ｄΔＸ），（−Δ＋Ｙ０）／（ １＋ｄΔＹ）］ …（１９） 以上に、前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３及びＡ４の位置が被
検レンズ４の光学特性との関係でいかなる情報を有して
いるかについて説明した。(X1, Y1) = [(Δ + X0) / (1 + dΔX), (ΔY + Y0) / (1 + dΔY)] (16) (X2, Y2) = [(− Δ + X0) / (1 + dΔX), (−ΔY + Y0) ) / (1 + dΔY)] (17) (X3, Y3) = [(ΔX + X0) / (1 + dΔX), (Δ + Y0) / (1 + dΔY)] (18) (X4, Y4) = [(− ΔX + X0) / (1 + dΔX), (−Δ + Y0) / (1 + dΔY)] (19) As described above, the positions of the points A1, A2, A3, and A4 have any information in relation to the optical characteristics of the lens 4 to be measured. Was explained.

【００３８】本発明では、被検レンズ４を通過した後の
前記光束の交差点である前記各点Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ
４が被検レンズ４の光学特性を示すものであるというこ
とに注目し、被検レンズ４の光学特性を得るものであ
る。この点について、以下、図７及び図８を参照して説
明する。In the present invention, each of the points A1, A2, A3, A, which are the intersections of the light beams after passing through the lens 4 to be inspected.
It is noted that reference numeral 4 indicates the optical characteristics of the lens 4 to be measured, and the optical characteristics of the lens 4 to be measured are obtained. This will be described below with reference to FIGS.

【００３９】まず、前記点Ａ１の位置について述べる。
図３におけるマスク２のスリット状の開口２ａ，２ｂ，
２ｃ及び２ｄがＹ軸と交差する点は、図７において、Ａ
１１，Ａ１２，Ａ１３，Ａ１４となる。ここで、被検レ
ンズ４の円柱屈折力が強くないか、または中心厚ｄが小
さい場合について考える。この場合、被検レンズ４を通
過したスリット状の光束はほとんどねじれ量を生じな
い。すなわち、ｎ≒０，ｍ／２＝（１＋Δｍ）／２≒１
／２である。First, the position of the point A1 will be described.
The slit-shaped openings 2a, 2b,
The points where 2c and 2d intersect the Y axis are indicated by A in FIG.
11, A12, A13, and A14. Here, the case where the cylindrical refractive power of the lens 4 to be inspected is not strong or the center thickness d is small is considered. In this case, the slit-shaped luminous flux that has passed through the lens 4 to be inspected hardly generates a twist amount. That is, n ≒ 0, m / 2 = (1 + Δm) / 2 ≒ 1
/ 2.

【００４０】従って、このときのＡ１１’，Ａ１２’，
Ａ１３’，Ａ１４’の座標は、式（２）よりＡ１１’
［Ｘ１’，Ｙ１’＋Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ）］、Ａ１
２’［Ｘ１’，Ｙ１’−Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ）］、Ａ
１３’［Ｘ１’，Ｙ１’＋Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）］、
Ａ１４’［Ｘ１’，Ｙ１’−Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）］
となる。但し、Ｈ０１，Ｈ０２は被検レンズのないとき
の投影光束７１，７２間の間隔及び投影光束７３，７４
間の間隔である。中心線７１〜７４が、Ｙ軸と交差する
点を、それぞれＨ１１，Ｈ１２，Ｈ１３，Ｈ１４とする
と、 Ｈ１１＝Ｙ１’＋Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ） …（２０） Ｈ１２＝Ｙ１’−Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ） …（２１） Ｈ１３＝Ｙ１’＋Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）−（１／２）Ｘ１’ …（２２） Ｈ１４＝Ｙ１’−Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）−（１／２）Ｘ１’ …（２３） Ｙ１’＝（Ｈ１１＋Ｈ１２）／２ …（２４） Ｘ１’＝２Ｙ１’−（Ｈ１３＋Ｈ１４） …（２５） 点Ａ２，Ａ３，Ａ４についても同様に、図７，図８より
中心線７５〜７８がＹ軸と交差する点をＨ２１，Ｈ２
２，Ｈ２３，Ｈ２４、中心線８１〜８４がＹと交差する
点をＨ３１，Ｈ３２，Ｈ３３，Ｈ３４、中心線８５〜８
８がＹ軸と交差する点をＨ４１，Ｈ４２，Ｈ４３，Ｈ４
４とすると、 Ｙ２’＝（Ｈ２１＋Ｈ２２）／２ …（２６） Ｘ２’＝２Ｙ２’−（Ｈ２３＋Ｈ２４） …（２７） Ｙ３’＝（Ｈ３１＋Ｈ３２）／２ …（２８） Ｘ３’＝２Ｙ３’−（Ｈ３３＋Ｈ３４） …（２９） Ｙ４’＝（Ｈ４１＋Ｈ４２）／２ …（３０） Ｘ４’＝２Ｙ４’−（Ｈ４３＋Ｈ４４） …（３１） となる。Therefore, A11 ', A12',
The coordinates of A13 'and A14' are calculated from the equation (2) as A11 '.
[X1 ′, Y1 ′ + H01 / (1 + dΔY)], A1
2 ′ [X1 ′, Y1′−H01 / (1 + dΔY)], A
13 ′ [X1 ′, Y1 ′ + H02 / (1 + dΔY)],
A14 '[X1', Y1'-H02 / (1 + dΔY)]
Becomes However, H01 and H02 represent the distance between the projection light beams 71 and 72 and the projection light beams 73 and 74 when there is no lens to be inspected.
Is the interval between them. Assuming that the points at which the center lines 71 to 74 intersect the Y axis are H11, H12, H13, and H14, respectively, H11 = Y1 ′ + H01 / (1 + dΔY) (20) H12 = Y1′−H01 / (1 + dΔY) (21) H13 = Y1 ′ + H02 / (1 + dΔY) − (1/2) X1 ′ (22) H14 = Y1′−H02 / (1 + dΔY) − (1/2) X1 ′ (23) Y1 ′ = ( H11 + H12) / 2 (24) X1 '= 2Y1'-(H13 + H14) (25) Similarly, for points A2, A3, and A4, the points where the center lines 75 to 78 intersect the Y axis from FIGS. To H21, H2
2, H23 and H24, and the points where the center lines 81 to 84 intersect with Y are defined as H31, H32, H33 and H34, and the center lines 85 to 8
The points at which 8 intersects the Y axis are denoted by H41, H42, H43, and H4.
Assuming that 4, Y2 ′ = (H21 + H22) / 2 (26) X2 ′ = 2Y2 ′ − (H23 + H24) (27) Y3 ′ = (H31 + H32) / 2 (28) X3 ′ = 2Y3 ′ − (H33 + H34) (29) Y4 '= (H41 + H42) / 2 (30) X4' = 2Y4 '-(H43 + H44) (31)

【００４１】次に被検レンズ４が強い屈折力を含む一般
的な場合について述べる。この場合、被検レンズ４を通
過後、スリット状の光束はねじれを生ずる。しかし、こ
の場合でも、ｎ《１であり、また、ｍ／２＝（１＋Δ
ｍ）／２でΔｍ《１である。このときのＡ１１，Ａ１
２，Ａ１３，Ａ１４の座標は式（２），（４）より、Ａ
１１［Ｘ１−ｎＨ０１，Ｙ１＋Ｈ０１／（１＋ｄΔ
Ｙ）］，Ａ１２［Ｘ１＋ｎＨ０１，Ｙ１−Ｈ０１／（１
＋ｄΔＹ）］，Ａ１３［Ｘ１−ｎＨ０２，Ｙ１＋Ｈ０２
／（１＋ｄΔＹ）］，Ａ１４［Ｘ１＋ｎＨ０２，Ｙ１−
Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）］であり、このとき、中心線７
１〜７４がＹ軸と交差する点は前記と同じであるから、 Ｈ１１＝Ｙ１＋Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ）＋ｎＸ１ …（３２） Ｈ１２＝Ｙ１−Ｈ０１／（１＋ｄΔＹ）＋ｎＸ１ …（３３） Ｈ１３＝Ｙ１＋Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）−（ｍ／２）Ｘ１−（ｎ／２）Ｈ０２ …（３４） Ｈ１４＝Ｙ１−Ｈ０２／（１＋ｄΔＹ）−（ｍ／２）Ｘ１＋（ｎ／２）Ｈ０２ …（３５） Ｙ１＝（Ｈ１１＋Ｈ１２）／２−ｎＸ１ …（３６） ｍＸ１＝２Ｙ１−（Ｈ１３＋Ｈ１４） …（３７） ｎ＝（Ｈ１３−Ｈ１４）／Ｈ０２−（Ｈ１１−Ｈ１２）／Ｈ０１…（３８） １＋ｄΔＹ＝２Ｈ０１／（Ｈ１１−Ｈ１２） …（３９） さて、特開平８−１１０２８４号公報では、スリット光
束を直交することによって、Ｙ１を直接求めることがで
きたが、本発明では、式（３６），（３７）でわかるよ
うに、直接Ｙ１，Ｘ１を求めることはできない。Next, a general case where the test lens 4 has a strong refractive power will be described. In this case, after passing through the lens 4 to be inspected, the slit-shaped light beam is twisted. However, even in this case, n << 1 and m / 2 = (1 + Δ
m) / 2 and Δm << 1. A11, A1 at this time
From the equations (2) and (4), the coordinates of 2, A13 and A14 are expressed as A
11 [X1-nH01, Y1 + H01 / (1 + dΔ)
Y)], A12 [X1 + nH01, Y1-H01 / (1
+ DΔY)], A13 [X1-nH02, Y1 + H02
/ (1 + dΔY)], A14 [X1 + nH02, Y1-
H02 / (1 + dΔY)], and the center line 7
Since the points where 1 to 74 intersect with the Y axis are the same as described above, H11 = Y1 + H01 / (1 + dΔY) + nX1 (32) H12 = Y1-H01 / (1 + dΔY) + nX1 (33) )-(M / 2) X1- (n / 2) H02 (34) H14 = Y1-H02 / (1 + d.DELTA.Y)-(m / 2) X1 + (n / 2) H02 (35) Y1 = (H11 + H12) / 2−nX1 (36) mX1 = 2Y1- (H13 + H14) (37) n = (H13−H14) / H02− (H11−H12) / H01 (38) 1 + dΔY = 2H01 / (H11−H12) (39) Now, in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-110284, Y1 could be directly obtained by making the slit light beams orthogonal, but in the present invention, Expression (36), As can be seen in 37), it can not be obtained directly Y1, X1.

【００４２】ここで、本発明は実用上、良好な近似式を
用いる。すなわち、ｎ《１，Δｎ《１の条件のもとで
は、 Ｘ１＝Ｘ１’＋δｘ （δ×《１） …（４０） としても、実用上、何ら問題ない。従って、式（２
４），（３６），（４０）より、 Ｙ１＝Ｙ１’−ｎ（Ｘ１’＋δｘ）≒Ｙ１’−ｍＸ１’ …（４１） 式（２５），（３７），（４１）より、 ｎＸ１＝Ｘ１’−２ｎＸ１’ …（４２） となる。Here, the present invention uses a practically good approximation formula. That is, under the condition of n << 1, Δn << 1, there is no practical problem even if X1 = X1 ′ + δx (δ × << 1) (40). Therefore, equation (2)
4), (36) and (40), Y1 = Y1′−n (X1 ′ + δx) ≒ Y1′−mX1 ′ (41) From equations (25), (37) and (41), nX1 = X1 '−2nX1' (42)

【００４３】式（４１），（４２）は円柱屈折力が、強
くなるとして求めた値Ｘ１’，Ｙ１’にｎＸ１’の補正
をすればよいということになる。点Ａ２，Ａ３，Ａ４に
ついても全く同様にして Ｙ２＝Ｙ２’−ｎＸ２’ …（４３） ｍＸ２＝Ｘ２’−２ｎＸ２’ …（４４） Ｙ３＝Ｙ３’−ｎＸ３’ …（４５） ｍＸ３＝Ｘ３’−２ｎＸ３’ …（４６） Ｙ４＝Ｙ４’−ｎＸ４’ …（４７） ｍＸ４＝Ｘ４’−２ｎＸ４’ …（４８） となり、式（１６），（１７）より ΔＹ＝（１＋ｄΔＹ）（Ｙ１−Ｙ２）／２ …（４９） Ｙ０＝（１＋ｄΔＹ）（Ｙ１＋Ｙ２）／２ …（５０） 式（３），（１６），（１７）より、 Δ ＝（１＋ｄΔＹ）（ｍＸ１−ｍＸ２）／２ …（５１） Ｘ０＝（１＋ｄΔＹ）（ｍＸ１＋ｍＸ２）／２ …（５２） 式（１８），（１９）より、 Δ ＝（１＋ｄΔＹ）（Ｙ３−Ｙ４）／２ …（５３） Ｙ０＝（１＋ｄΔＹ）（Ｙ３＋Ｙ４）／２ …（５４） 式（３），（１８），（１９）より、 ΔＸ＝（１＋ｄΔＹ）（ｎＸ３−ｍＸ４）／２ …（５５） Ｘ０＝（１＋ｄΔＹ）（ｍＸ３＋ｍＸ４）／２ …（５６） となる。以上の通り、ΔＸ，ΔＹ，Δ，Ｘ０，Ｙ０が求
まり、被検レンズの光学特性を求めることができる。Equations (41) and (42) indicate that the values X1 'and Y1' obtained assuming that the cylindrical refractive power becomes strong should be corrected by nX1 '. The same applies to points A2, A3, and A4. Y2 = Y2'-nX2 '(43) mX2 = X2'-2nX2' (44) Y3 = Y3'-nX3 '(45) mX3 = X3'- 2nX3 '... (46) Y4 = Y4'-nX4' ... (47) mX4 = X4'-2nX4 '... (48) From formulas (16) and (17), ΔY = (1 + dΔY) (Y1-Y2) / 2 ... (49) Y0 = (1 + dΔY) (Y1 + Y2) / 2 (50) From equations (3), (16) and (17), Δ = (1 + dΔY) (mX1-mX2) / 2 (51) X0 = (1 + dΔY) (mX1 + mX2) / 2 (52) From equations (18) and (19), Δ = (1 + dΔY) (Y3-Y4) / 2 (53) Y0 = (1 + dΔY) (Y3 + Y4) / 2. (54) From equations (3), (18) and (19), ΔX (1 + dΔY) (nX3-mX4) / 2 ... (55) X0 = (1 + dΔY) (mX3 + mX4) / 2 ... a (56). As described above, ΔX, ΔY, Δ, X0, Y0 are obtained, and the optical characteristics of the lens to be measured can be obtained.

【００４４】ここで、たとえば、式（４７），（４８）
のＹ４，ｍＸ４がなくてもΔＸ，ΔＹ，Δ，Ｘ０，Ｙ０
は求まる。即ち、光源は３点でもよいうということにな
る。また、式（５０），（５２），（５４），（５６）
からＸ０及びＹ０を求めることができる。そして、図１
に示す実施の形態では、前述のように投影レンズ６の焦
点距離をｆとすると、被検レンズ４のプリズム屈折力Ｐ
のＸ成分ＰＸ及びＹ成分ＰＹは、次のように表わせる。Here, for example, equations (47) and (48)
ΔX, ΔY, Δ, X0, Y0 even without Y4, mX4
Is found. That is, three light sources may be used. Equations (50), (52), (54), and (56)
X0 and Y0 can be obtained from And FIG.
In the embodiment shown in FIG. 1, assuming that the focal length of the projection lens 6 is f as described above, the prism refractive power P
The X component PX and the Y component PY can be expressed as follows.

【００４５】[0045]

【００５８】 ＰＹ＝Ｙ０／ｆ …（５７） ＰＸ＝Ｘ０／ｆ …（５８） 更に次の関係が成立している。PY = Y0 / f (57) PX = X0 / f (58) Further, the following relationship is established.

【００４６】[0046]

【００５９】 Ｐ＝（ＰＸ^２ ＋ＰＹ^２ ）^１／２ …（５９） ｔａｎφ＝ＰＹ／ＰＸ …（６０） 従って、前述のようにして求めたＸ０に基づいて、式
（５７）〜（６０）より、被検レンズ４のプリズム屈折
力Ｐ及びその基底方向γを求めることができる。図１に
示す実施の形態では、一次元受光センサ７の出力信号に
基づいた測定データを用いて、演算制御回路１１にて前
述したように演算処理することにより、被検レンズ４の
球面屈折力Ｓ，円柱屈折力Ｃ，円柱軸方向θ，プリズム
屈折力Ｐ及びその基底方向γを求めることができるので
ある。P = (PX ² + PY ² ) ^1/2 (59) tan φ = PY / PX (60) Therefore, based on X0 obtained as described above, the equations (57) to (60) are used. , The prism refractive power P of the test lens 4 and its base direction γ can be obtained. In the embodiment shown in FIG. 1, the arithmetic control circuit 11 performs the arithmetic processing as described above using the measurement data based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7, and thereby the spherical refractive power of the lens 4 to be measured. S, cylindrical refractive power C, cylindrical axial direction θ, prism refractive power P and its base direction γ can be obtained.

【００４７】スリット状の開口を通過した各スリット状
の光束に基づく各投影光束の傾斜角度は、被検レンズ４
の厚みｄや円柱屈折力Ｃ等に依存して複雑に変化する
が、この実施の形態では、前記一つの一次元受光センサ
７により前記点Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４に注目して、各
投影光束によって被検レンズ４の光学特性を正確に得る
ことができる。The inclination angle of each projection light beam based on each slit light beam passing through the slit opening is determined by the lens 4 to be measured.
Although it varies in a complicated manner depending on the thickness d and the cylindrical refractive power C of the projection, in this embodiment, the one-dimensional light receiving sensor 7 focuses on the points A1, A2, A3, and A4, and The optical characteristics of the test lens 4 can be accurately obtained by the light beam.

【００４８】以上述べたように、前記図１に示す実施の
形態に係る光学系の光学特性測定装置では、被検レンズ
４が円柱屈折力を有していて、スリット状の光束が被検
レンズ４を通過した後にいかにねじれようとも、このね
じれ量に何ら影響を受けることなく正確に被検レンズの
光学特性を得ることができる。As described above, in the optical characteristic measuring apparatus of the optical system according to the embodiment shown in FIG. 1, the lens 4 to be inspected has a cylindrical refractive power, and the light beam in the form of a slit is No matter how twisted after passing through No. 4, the optical characteristics of the test lens can be accurately obtained without being affected by the amount of twist.

【００４９】また、前記一つの一次元受光センサ７が配
置され、単に実用上良好な近似式が用いられるだけなの
で、機構の単純化及び測定精度の向上を図ることができ
る。以下、図９〜図１２はマスク２の他の形態を示す。
図９においては、マスク９０に設けられたスリット状の
開口９１，９２は、Ｘ軸に平行で、他の開口９３，９４
は互いに平行であるが、ｘ軸に対し図示のように傾いて
いる。Further, since the one-dimensional light receiving sensor 7 is disposed and only an approximate expression that is practically good is used, the mechanism can be simplified and the measurement accuracy can be improved. 9 to 12 show other forms of the mask 2.
In FIG. 9, the slit-shaped openings 91 and 92 provided in the mask 90 are parallel to the X-axis and the other openings 93 and 94 are provided.
Are parallel to each other, but are inclined with respect to the x-axis as shown.

【００５０】図１０はマスク２の更に他の形態を示す。
ここでは、マスク１００に設けられたスリット１０３，
１０４が一部で屈曲部１００Ａとなっており、ここでの
測定精度は悪くなるが、このときは、スリット１０５，
１０６の値を使用すればよい。また、スリット１０５，
１０６は屈曲部１００Ｂを有し、ここでは測定精度が悪
くなるが、このときは開口１０３，１０４の値を使用す
ればよい。FIG. 10 shows still another embodiment of the mask 2.
Here, the slit 103 provided in the mask 100,
A portion 104 is a bent portion 100A, and the measurement accuracy here is deteriorated.
The value of 106 may be used. Also, the slit 105,
Reference numeral 106 has a bent portion 100B, and the measurement accuracy is deteriorated here. In this case, the values of the openings 103 and 104 may be used.

【００５１】また、本発明におけるスリット状の平行線
は、必ずしも直線に限定されるものではなく、図１１に
示すように、マスク１１０に互いに平行に彎曲する開口
１１１，１１２としたり、クサビ形の開口１１３，１１
４をＸ軸，Ｙ軸の原点Ｏ２に対し点対称配置したりして
もよい。The slit-shaped parallel line in the present invention is not necessarily limited to a straight line. As shown in FIG. 11, the mask 110 has openings 111 and 112 which are curved in parallel with each other, or a wedge-shaped opening. Openings 113, 11
4 may be arranged point-symmetrically with respect to the origin O2 of the X axis and the Y axis.

【００５２】また、以上説明した各マスク２では、各ス
リット状の開口の中心線を測定の基準線としており、こ
の基準線がＹ軸と交差する位置を測定データとしてい
た。しかし、各スリット状の開口の中心線の代わりにス
リット状の開口の境界線（縁の線）を測定の基準線とし
て、この境界線がＹ軸と交差する位置を測定データとし
てもよい。このように、開口の境界線に基づいて測定デ
ータを得る場合には、通常の意味のスリット開口のみな
らず境界線を除く開口自体の形状は任意であってよい。
例えば、図１２に示すマスク１２０は、前記図９に示す
マスク９０と実質的に同一であり、本発明において用い
ることができる。マスク１２０では、マスク９０のスリ
ット状の開口９１，９２が連続するように打ち抜いた形
状の開口（これも本発明ではスリット状の開口という）
１２１と、マスク９０のスリット状の開口９３，９４が
連続するように打ち抜いた形状の開口（これも本発明で
はスリット状の開口という）１２２とを有している。本
発明における、「スリット状の光束」とは、通常の意味
のスリット開口を通過した光束のみならず、このような
所定形状の境界線を有する任意の形状の開口を通過した
光束も含むものであり、また、明暗を反転させた光束も
含むものである。In each of the masks 2 described above, the center line of each slit-shaped opening is used as a measurement reference line, and the position where this reference line intersects the Y axis is used as measurement data. However, instead of the center line of each slit-shaped opening, the boundary line (edge line) of the slit-shaped opening may be used as a reference line for measurement, and the position where this boundary line intersects the Y axis may be used as measurement data. As described above, when the measurement data is obtained based on the boundary of the opening, not only the slit opening in a normal meaning but also the shape of the opening itself excluding the boundary may be arbitrary.
For example, the mask 120 shown in FIG. 12 is substantially the same as the mask 90 shown in FIG. 9 and can be used in the present invention. In the mask 120, an opening having a shape punched out so that the slit-shaped openings 91 and 92 of the mask 90 are continuous (also referred to as a slit-shaped opening in the present invention).
An opening 121 is formed by punching out the slit-shaped openings 93 and 94 of the mask 90 so as to be continuous (this is also referred to as a slit-shaped opening in the present invention). In the present invention, the "slit-shaped light beam" includes not only a light beam that has passed through a slit opening in a normal sense, but also a light beam that has passed through an opening having an arbitrary shape having such a boundary line of a predetermined shape. Yes, and also includes a light beam whose brightness is inverted.

【００５３】ところで、以上説明した各実施の形態に関
して説明したような演算を演算制御回路１１に行わせる
ようにすると、演算に時間がかかるとか、光学系の配置
により前述の各定数等が変化したりする。そのため、実
際の装置では、装置を作った後、予め光学特性のわかっ
ているレンズを用いて測定を行い、そのときの各光原点
灯時の一次元受光センサ７の出力を前記既知の光学特性
と対応させて演算制御回路１１に記憶させておくように
することにより、前述の不都合を解消できる。このよう
に一次元受光センサ７の出力と光学特性とを対応づける
ようにしておけば、何ら複雑な手間を付加することな
く、光学系の配置を比較的自由にできる。従って、例え
ば、集光レンズ３の前側焦点面がマスク２と必ずしも一
致していなくてもよい。各光源１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ
とレンズホルダー５のホルダー面とを共役にしなくても
よい。投影レンズ６の前側焦点面とレンズホルダー５の
ホルダー面とを一致させなくてもよいし、投影レンズ６
の後側焦点面と一次元受光センサ７の受光面とを一致さ
せなくてもよい。各光源１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの配置
も任意に定めることができる。By the way, if the arithmetic and control circuit 11 is made to perform the arithmetic operations described in the above embodiments, it takes a long time to execute the arithmetic operations, and the above-mentioned constants change depending on the arrangement of the optical system. Or Therefore, in an actual device, after the device is manufactured, measurement is performed using a lens whose optical characteristics are known in advance, and the output of the one-dimensional light receiving sensor 7 when each light source is lit at that time is output from the known optical characteristics. The above-mentioned inconvenience can be solved by storing in the arithmetic and control circuit 11 in association with the above. By associating the output of the one-dimensional light receiving sensor 7 with the optical characteristics as described above, the arrangement of the optical system can be made relatively free without adding any complicated work. Therefore, for example, the front focal plane of the condenser lens 3 does not necessarily need to coincide with the mask 2. Each light source 1a, 1b, 1c, 1d
It is not necessary to conjugate the lens holder 5 with the holder surface. The front focal plane of the projection lens 6 does not have to coincide with the holder surface of the lens holder 5.
It is not necessary to make the rear focal plane coincide with the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7. The arrangement of the light sources 1a, 1b, 1c, 1d can also be arbitrarily determined.

【００５４】また、本発明においては、図１における光
源部１及びマスク２と、一次元受光センサ７を交換し、
光束の向きを反転させても何ら問題はない。In the present invention, the light source unit 1 and the mask 2 in FIG.
There is no problem even if the direction of the light beam is reversed.

【００５５】[0055]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、単一の
一次元受光センサを用いたにもかかわらず、測定精度の
よい光学特性測定装置を提供することができる。また、
一つの一次元受光センサで被検光学系の光学特性を正確
に得ることができ、しかも、光路分割器を必要としない
ので、測光光量を有効に活用することができて測定精度
を高めることができるとともに、機構を単純化すること
ができる効果が得られる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide an optical characteristic measuring apparatus with high measurement accuracy despite the use of a single one-dimensional light receiving sensor. Also,
The optical characteristics of the optical system to be measured can be accurately obtained with a single one-dimensional light-receiving sensor. Further, since an optical path splitter is not required, the amount of photometric light can be effectively used and the measurement accuracy can be improved. As a result, the effect that the mechanism can be simplified can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施の形態に係る光学特性測定装置の
光学系を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical system of an optical characteristic measuring device according to an embodiment of the present invention.

【図２】図１におけるＡ矢視図である。FIG. 2 is a view taken in the direction of arrow A in FIG.

【図３】図１におけるＢ矢視図である。FIG. 3 is a view taken in the direction of arrow B in FIG. 1;

【図４】前記光学特性測定装置の電気回路図である。FIG. 4 is an electric circuit diagram of the optical characteristic measuring device.

【図５】図１におけるＣ矢視図である。FIG. 5 is a view taken in the direction of arrow C in FIG. 1;

【図６】ねじれ量の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a twist amount.

【図７】図１におけるＣ矢視方向から見た受光ＸＹ平面
上の投影光束を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a projected light beam on a light receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG. 1;

【図８】図１におけるＣ矢視方向から見た受光ＸＹ平面
上の他の投影光束を示す図である。8 is a diagram showing another projection light beam on the light receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG.

【図９】本発明の他の実施の形態に係る光学特性測定装
置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 9 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring device according to another embodiment of the present invention.

【図１０】本発明の更に他の実施の形態に係る光学特性
測定装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 10 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.

【図１１】本発明の更に他の実施の形態に係る光学特性
測定装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 11 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.

【図１２】本発明の更に他の実施の形態に係る光学特性
測定装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 12 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring device according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ａ〜１ｄ 光源 ２，９０，１００，１１０，１２０ マスク ３ 集光レンズ ４ 被検レンズ ６ 投影レンズ ７ 一次元受光センサ 1a to 1d Light source 2, 90, 100, 110, 120 Mask 3 Condensing lens 4 Test lens 6 Projection lens 7 One-dimensional light receiving sensor

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 被検光学系に向けて三つ以上の光源を有
する照射手段と、前記照射手段による光束を透過率の異
なる境界を有する光束にする遮光手段と、前記透過率の
異なる境界を有する光束を前記被検光学系に対して集束
させる集束光学系と、一次元の受光位置に応じた出力信
号を出力する一つの一次元受光センサと、該一つの一次
元受光センサ上に前記被検光学系を通過した各光束を投
影させる投影光学系と、前記一つの一次元受光センサの
出力信号に基づいて、前記透過率の異なる境界を有する
光束に基づく各光束の前記一つの一次元受光センサ上の
投影位置にそれぞれ応じた各投影位置データを得るとと
もに、該各投影位置データに基づいて前記被検光学系の
屈折力を得る演算手段とを備えてなり、前記遮光手段に
よる前記透過率の異なる境界を有する光束の中心線また
は境界線は少なくとも二対以上の平行線で構成され、前
記二対以上の平行線のうち、少なくとも一対の平行線は
前記一次元センサの受光軸に対してほぼ垂直であり、他
方の平行線は前記平行線とは異なる傾斜角を有すること
を特徴とする光学系の光学特性測定装置。1. An irradiating unit having three or more light sources toward an optical system to be tested, a light-shielding unit for converting a light beam from the irradiating unit into a light beam having a boundary having a different transmittance, and A converging optical system for converging the luminous flux with respect to the test optical system, one one-dimensional light receiving sensor for outputting an output signal corresponding to a one-dimensional light receiving position, and the light receiving sensor on the one one-dimensional light receiving sensor. A projection optical system for projecting each light beam that has passed through the light detection system, and the one-dimensional light reception of each light beam based on the light beam having a boundary having a different transmittance based on an output signal of the one one-dimensional light reception sensor. Calculating means for obtaining each projection position data corresponding to the projection position on the sensor, and for obtaining the refractive power of the test optical system based on each projection position data, wherein the transmittance by the light shielding means is provided. Different The center line or the boundary line of the light beam having the boundary is composed of at least two pairs of parallel lines, and among the two pairs or more parallel lines, at least one pair of the parallel lines is substantially aligned with the light receiving axis of the one-dimensional sensor. An optical characteristic measuring device for an optical system, wherein the device is perpendicular and the other parallel line has a different inclination angle from the parallel line. 【請求項２】 前記二対以上の平行線のうち、少なくと
も一方の平行線は、前記一次元受光センサの受光軸に対
してほぼ垂直であり、前記他方の平行線は前記平行線に
対して１０°〜３５°の傾斜面を有することを特徴とす
る請求項１に記載の光学系の光学特性測定装置。2. At least one of the two or more pairs of parallel lines is substantially perpendicular to a light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor, and the other parallel line is relative to the parallel lines. The optical characteristic measuring device for an optical system according to claim 1, wherein the optical characteristic measuring device has an inclined surface of 10 ° to 35 °. 【請求項３】 前記照射手段は前記三つ以上の光源を順
次照射し、前記演算手段が、前記三つ以上の光源のうち
のいずれの光束が照射されているかを判別する判別信号
を得て、この判別信号及び前記一つの一次元受光センサ
の出力信号に基づいて前記各投影位置データを得ること
を特徴とする請求項１に記載の光学系の光学特性測定装
置。3. The irradiating means sequentially irradiates the three or more light sources, and the arithmetic means obtains a determination signal for determining which of the three or more light sources is irradiating. 2. The optical characteristic measuring apparatus for an optical system according to claim 1, wherein each of the projection position data is obtained based on the discrimination signal and the output signal of the one-dimensional light receiving sensor. 【請求項４】 前記演算手段は前記各投影位置データに
基づいて前記被検光学系のプリズム屈折力を得ることを
特徴とする請求項１に記載の光学系の光学特性測定装
置。4. The optical characteristic measuring apparatus according to claim 1, wherein said calculating means obtains a prism refractive power of the optical system to be measured based on each of the projection position data. 【請求項５】 前記各集束位置を４箇所とし、該各集束
位置が仮想的な同心円上にあって９０°ずつの角度をな
すように配置されていることを特徴とする請求項１に記
載の光学系の光学特性測定装置。5. The apparatus according to claim 1, wherein each of the focusing positions is set at four positions, and each of the focusing positions is arranged on a virtual concentric circle so as to form an angle of 90 °. Optical characteristic measuring device for optical system.