JP3371235B2 - Optical characteristic measuring device for optical system - Google Patents
Optical characteristic measuring device for optical systemInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、眼鏡レンズその他の光
学系の光学特性、すなわち、光学系の球面屈折力、円柱
屈折力及び主径線方向、並びに必要に応じてプリズム屈
折力及びその基底方向を、測定する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to optical characteristics of an optical system such as a spectacle lens, that is, a spherical refractive power, a cylindrical refractive power and a main radial direction of the optical system, and if necessary, a prism refractive power and its base. A device for measuring direction.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から光学系の光学特性測定装置とし
て種々の装置が提供されており、例えは、特開平5−2
31986号公報に記載された装置が提供されている。2. Description of the Related Art Conventionally, various devices have been provided as an optical characteristic measuring device for an optical system.
The apparatus described in Japanese Patent No. 31986 is provided.
【0003】特開平5−231986号公報に記載され
た装置では、単一の一次元受光センサが使用されてお
り、円柱屈折力を有するレンズを通過した後のスリット
状の光束のねじれ量を近似的にしか演算処理することが
できず、繰り返し演算に時間を要するとともに、近似解
による演算誤差が生じていた。The device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-231986 uses a single one-dimensional light receiving sensor, and approximates the amount of twist of a slit-shaped light beam after passing through a lens having a cylindrical refractive power. However, the calculation process can be performed only for a long time, and the repeated calculation requires time, and a calculation error occurs due to the approximate solution.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記事情に
鑑みてなされたもので、単一の一次元受光センサを用い
たにもかかわらず、演算時間を短縮することができると
ともに測定精度の良い光学特性測定装置を提供しようと
するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and can reduce the calculation time and increase the measurement accuracy in spite of using a single one-dimensional light receiving sensor. It is intended to provide a good optical characteristic measuring device.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明による光学系の光学特性測定装置は、被検光
学系に向けて4つ以上の光源を有する照射手段と、前記
照射手段による光束を透過率の異なる境界を有する光束
にする遮光手段と、前記透過率の異なる境界を有する光
束を前記被検光学系に対して集束させる集束光学系と、
一次元の受光位置に応じた出力信号を出力する一つの一
次元受光センサと、該一つの一次元受光センサ上に前記
被検光学系を通過した各光束を投影させる投影光学系
と、前記一つの一次元受光センサの出力信号に基づい
て、前記透過率の異なる境界を有する光束に基づく各光
束の前記一つの一次元受光センサ上の投影位置にそれぞ
れ応じた各投影位置データを得る投影位置データ抽出手
段と、該各投影位置データに基づいて前記被検光学系の
屈折力を得る演算手段とを備えた構成としたものであ
る。そして、前記遮光手段による前記透過率の異なる境
界を有する光束の中心線又は境界線(勿論、それらの延
長線も含む)は少なくとも一対以上の平行線と少なくと
も2本以上の線とで構成され、前記少なくとも一対以上
の平行線のうちの少なくとも一対の平行線は前記一次元
受光センサの受光軸に対してほぼ垂直であり、前記少な
くとも2本以上の線のうちの少なくとも2本は互いにほ
ぼ垂直であるように、前記遮光手段を構成したものであ
る。あるいは、前記遮光手段による前記透過率の異なる
境界を有する光束の中心線又は境界線は、少なくとも二
対以上の平行線と少なくとも1本以上の線とで構成さ
れ、前記少なくとも二対以上の平行線のうちの少なくと
も一対の平行線は前記一次元受光センサの受光軸に対し
てほぼ垂直であり、前記遮光手段による前記透過率の異
なる境界を有する光束の中心線又は境界線のうちの少な
くとも1本の中心線又は境界線は前記少なくとも二対以
上の平行線のうちの少なくとも一対の平行線に対してほ
ぼ垂直であるように、前記遮光手段を構成したものであ
る。あるいは、前記遮光手段による前記透過率の異なる
境界を有する光束の中心線又は境界線は、少なくとも二
対以上の平行線で構成され、前記少なくとも二対以上の
平行線のうちの一対は前記少なくとも二対以上の平行線
のうちの他の一対に対してほぼ垂直であるように、前記
遮光手段を構成したものである。In order to solve the above-mentioned problems, an optical characteristic measuring apparatus for an optical system according to the present invention comprises an irradiating means having four or more light sources toward an optical system to be tested, and the irradiating means. A light blocking means for making a light beam having a boundary having a different transmittance, a focusing optical system for focusing a light beam having a boundary having a different transmittance with respect to the optical system under test;
One one-dimensional light receiving sensor that outputs an output signal according to a one-dimensional light receiving position; a projection optical system that projects each light beam that has passed through the optical system to be tested onto the one one-dimensional light receiving sensor; Projection position data for obtaining each projection position data corresponding to each projection position on the one one-dimensional light receiving sensor of each light beam based on a light beam having a boundary having different transmittance, based on an output signal of one one-dimensional light receiving sensor. The extraction means and the arithmetic means for obtaining the refractive power of the optical system to be tested based on the respective projection position data are provided. The center line or boundary line (including, of course, extension lines) of the light flux having the boundary with different transmittance by the light shielding means is composed of at least one pair of parallel lines and at least two lines. At least one pair of the at least one pair of parallel lines is substantially perpendicular to the light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor, and at least two of the at least two lines are substantially perpendicular to each other. As described above, the light shielding means is configured. Alternatively, the center line or the boundary line of the light flux having the boundary having the different transmittance by the light shielding means is composed of at least two or more pairs of parallel lines and at least one or more lines, and the at least two pairs or more of parallel lines. At least one of the parallel lines is substantially perpendicular to the light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor, and at least one of the center line or the boundary line of the light flux having the boundary of different transmittance by the light shielding means. The light shielding means is configured such that the center line or the boundary line is substantially perpendicular to at least one pair of parallel lines of the at least two pairs or more. Alternatively, the center line or the boundary line of the light flux having the boundary having the different transmittance by the light shielding means is composed of at least two pairs or more of parallel lines, and one pair of the at least two pairs or more of the parallel lines is the at least two pairs. The light shielding means is configured so as to be substantially perpendicular to the other pair of parallel lines of a pair or more.
【0006】前記照射手段は前記4つ以上の光源を順次
照射し、前記投影位置データ抽出手段は、前記4つ以上
の光源のうちのいずれの光束が照射されているかを判別
する判別信号を得る判別手段を含むとともに、前記判別
信号及び前記一つの一次元受光センサの出力信号に基づ
いて前記各投影位置データを得てもよい。The irradiating means sequentially irradiates the four or more light sources, and the projection position data extracting means obtains a discrimination signal for discriminating which of the four or more light sources is radiated. The projection position data may be obtained based on the discrimination signal and the output signal of the one-dimensional one-dimensional light receiving sensor, in addition to the discrimination means.
【0007】前記各投影位置データに基づいて前記被検
光学系のプリズム屈折力を得る演算手段を更に備えてい
てもよい。A calculation means for obtaining the prismatic power of the optical system to be tested based on the respective projection position data may be further provided.
【0008】前記各集束位置を4箇所とし、該各集束位
置が仮想的な同心円上にあって90゜ずつの角度をなす
ように定めておいてもよい。Each of the focusing positions may be set at four positions, and the focusing positions may be set so as to form an angle of 90 ° on a virtual concentric circle.
【0009】[0009]
【作用】前記特開平5−231986号公報からもわか
るように、円柱屈折力を有する被検光学系を通過した後
のスリット状の光束は、被検光学系の屈折力、円柱軸方
向、中心厚に応じてねじれ(その傾斜角が変化し)、ね
じれ量(スリット状の光束の傾斜角の変化量)を生ず
る。As can be seen from JP-A-5-231986, the slit-shaped light flux after passing through the optical system to be inspected having a cylindrical refracting power has a refracting power of the optical system to be inspected, a cylindrical axis direction, and a center. Twist (the tilt angle changes) depending on the thickness, and a twist amount (a change amount of the tilt angle of the slit-shaped light beam) occurs.
【0010】このねじれ量を特殊な光束絞りと繰り返し
演算処理によって対処したものが、前記特開平5−23
1986号公報に記載された装置であった。The above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 5-23 has dealt with this twist amount by a special light beam diaphragm and repeated calculation processing.
It was the device described in the 1986 gazette.
【0011】これに対し、本発明では、繰り返し演算処
理をしない。それにもかかわらず、被検光学系の光学特
性を得ることができるのは、以下の知見によるものであ
る。On the other hand, in the present invention, iterative calculation processing is not performed. Nevertheless, the fact that the optical characteristics of the test optical system can be obtained is based on the following findings.
【0012】すなわち、前記特開平5−231986号
公報に記載の知見と同様、二種類以上の所定の傾斜角度
を有するスリット状の光束の交差点は、被検光学系を通
過した後は、被検光学系の光学特性を示すという性質に
基づいている。このことは、スポット的な光束が被検光
学系を通過した後は被検光学系の光学特性を示すとい
う、一般的に知られている事実と光学的に等価である。That is, similar to the finding described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-231986, the intersection of slit-like light fluxes having two or more kinds of predetermined inclination angles is to be inspected after passing through the optical system to be inspected. It is based on the property of showing the optical characteristics of the optical system. This is optically equivalent to the generally known fact that the spot-like light beam shows the optical characteristics of the test optical system after passing through the test optical system.
【0013】したがって、被検光学系を通過した後の二
種類以上の所定の傾斜角度を有するスリット状の光束の
交差点(光束が実際に交差していない場合にはその延長
線の交差点)の二次元の位置を知ることによって、被検
光学系の光学特性を知ることができる。Therefore, at the intersection of the slit-shaped light fluxes having two or more kinds of predetermined inclination angles after passing through the optical system to be inspected (the intersection of extension lines thereof when the light fluxes do not actually intersect), By knowing the dimensional position, the optical characteristics of the test optical system can be known.
【0014】そして、中心厚d、ある方向の屈折力Dを
有する被検レンズにおいて投影光束が被検レンズを通過
した後、絞りのない場合は、一般的に知られているよう
に、次式が成立する。Then, in the case where there is no diaphragm after the projection light flux passes through the lens to be inspected in the lens to be inspected having the center thickness d and the refractive power D in a certain direction, the following equation is generally known. Is established.
【0015】
D’=D/(1+dD) …(1)
tanθ’=tanθ/(1+dD) …(2)
ただし、θは被検レンズへの入射角、θ’は被検レンズ
からの出射角、D’は受光XY平面での像の高さであ
り、fφ=1としている。なお、fは投影レンズの焦点
距離、φは物体の高さ(測定光軸からの光源までの距
離)である。本発明においては、前記知見に加えて新た
に式(1)、式(2)の関連性に注目し、被検レンズの
光学特性を特定するものである。D ′ = D / (1 + dD) (1) tan θ ′ = tan θ / (1 + dD) (2) where θ is the angle of incidence on the lens to be inspected, θ ′ is the angle of emission from the lens to be inspected, D ′ is the height of the image on the light-receiving XY plane, and fφ = 1. Note that f is the focal length of the projection lens, and φ is the height of the object (the distance from the measurement optical axis to the light source). In the present invention, in addition to the above findings, attention is newly paid to the relevance of Expressions (1) and (2), and the optical characteristics of the lens to be inspected are specified.
【0016】したがって、本発明によれば、被検光学系
が円柱屈折力を有していて、スリット状の光束の光束が
被検光学系を通過した後にいかにねじれようとも、正確
に被検光学系の光学特性を得ることができる。Therefore, according to the present invention, the optical system to be inspected has a cylindrical refractive power, and the optical system to be inspected can be accurately measured no matter how the slit-shaped light beam is twisted after passing through the optical system to be inspected. The optical characteristics of the system can be obtained.
【0017】[0017]
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on the embodiments shown in the drawings.
【0018】図1は本発明の一実施例に係る光学特性測
定装置の光学系を示す構成図である。FIG. 1 is a block diagram showing an optical system of an optical characteristic measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【0019】図1において、Oは測定光軸で、説明の便
宜上、該測定光軸Oに対して垂直な図1の紙面内の方向
をY軸(その矢印の向きは測定光軸Oを原点とした正の
向きを示すものとする)とし、測定光軸Oに対して垂直
でかつ紙面に垂直な方向をX軸(図1の紙面奥の向き
(他の図面においては矢印の向き)が測定光軸Oを原点
とした正の向きを示す)とする。測定光軸O上において
XY平面内に光源部1が配置されている。図1における
A矢視方向から見た光源部1を図2に示してある。光源
部1は四つのLED等の光源1a、1c、1b及び1d
を有しており、これらが測定光軸Oを中心とする仮想的
な同心円U1上にあって90゜ずつの角度をなすように
配置されている。なお、光源1a及び1bはY軸上に配
置され、光源1c及び1dはX軸上に配置されている。
また、光源1a、1b、1c及び1dはほぼ点光源とみ
なせる。なお、光源1a,1b,1c及び1dはそれぞ
れ独立して点灯及び消灯できるようになっている。同心
円U1の直径は2φで、設計で決まる値である。In FIG. 1, O is a measurement optical axis, and for convenience of explanation, the direction in the plane of FIG. 1 perpendicular to the measurement optical axis O is the Y axis (the direction of the arrow is the origin of the measurement optical axis O). And a direction perpendicular to the measurement optical axis O and perpendicular to the paper surface is defined by the X-axis (the direction behind the paper surface in FIG. 1 (the direction of the arrow in other drawings)). The positive direction with the measurement optical axis O as the origin is shown). The light source unit 1 is arranged in the XY plane on the measurement optical axis O. FIG. 2 shows the light source unit 1 viewed from the direction of arrow A in FIG. The light source unit 1 includes light sources 1a, 1c, 1b and 1d such as four LEDs.
Are arranged on a virtual concentric circle U1 centered on the measurement optical axis O so as to form an angle of 90 °. The light sources 1a and 1b are arranged on the Y axis, and the light sources 1c and 1d are arranged on the X axis.
The light sources 1a, 1b, 1c and 1d can be regarded as point light sources. The light sources 1a, 1b, 1c and 1d can be turned on and off independently. The diameter of the concentric circle U1 is 2φ, which is a value determined by design.
【0020】測定光軸O上において光源部1から所定距
離だけ離して、スリット状の開口2a,2b,2c及び
2dを有するマスク2が配置されている。図1における
B矢視方向から見たマスク2を図3に示してある。スリ
ット状の開口2aはその中心線がY軸に対して垂直にな
るように配置され、スリット状の開口2bはその中心線
がY軸に対して垂直になるように配置され、スリット状
の開口2aの中心線及びスリット状の開口2bの中心線
がY軸にそれぞれ±H0’の位置で交差している。な
お、説明の便宜上、スリット状の開口もその中心線も同
一符号を付している。スリット状の開口2aの幅はスリ
ット状の開口2bの幅より大きくされており、それによ
って後述の一次元受光センサ7の出力信号に基づいて該
一次元受光センサ7上にそれぞれ同時に投影された二対
の光束がスリット状の開口2a,2bのいずれを通過し
たものかを判別することができるようになっている。ス
リット状の開口2c,2dの中心線は、測定光軸O上の
点O2で、互いに交差し、それぞれ±45゜に傾斜して
いる。A mask 2 having slit-shaped openings 2a, 2b, 2c and 2d is arranged at a predetermined distance from the light source section 1 on the measurement optical axis O. FIG. 3 shows the mask 2 viewed from the direction of arrow B in FIG. The slit-shaped opening 2a is arranged so that its center line is perpendicular to the Y axis, and the slit-shaped opening 2b is arranged so that its center line is perpendicular to the Y axis. The center line of 2a and the center line of the slit-shaped opening 2b intersect the Y axis at positions ± H0 '. For convenience of explanation, the slit-shaped opening and the center line thereof are denoted by the same reference numerals. The width of the slit-shaped opening 2a is larger than the width of the slit-shaped opening 2b, so that the two two-dimensional images are simultaneously projected on the one-dimensional light receiving sensor 7 based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7 described later. It is possible to determine which of the slit-shaped openings 2a and 2b the pair of light fluxes have passed through. The center lines of the slit-shaped openings 2c and 2d intersect each other at a point O2 on the measurement optical axis O and are inclined at ± 45 °.
【0021】また、図1において、4は被検光学系とし
ての被検レンズ、5は該被検レンズ4を保持するレンズ
ホルダーであり、レンズホルダー5に被検レンズ4を保
持させたときに、被検レンズ4の後面がレンズホルダー
5のホルダー面と一致するようになっている。In FIG. 1, 4 is a lens to be inspected as an optical system to be inspected, 5 is a lens holder for holding the lens to be inspected 4, and when the lens holder 5 holds the lens to be inspected 4. The rear surface of the lens 4 to be inspected matches the holder surface of the lens holder 5.
【0022】図1において、3は測定光軸O上において
マスク2と被検レンズ4との間に配置された集光レンズ
である。被検レンズ4をレンズホルダー5に設置しない
場合に、集光レンズ3によって光源1a、1b、1c及
び1dとレンズホルダー5のホルダー面とが共役となっ
ている。したがって、図1に示す実施例では、集光レン
ズ3が、前記スリット状の光束を前記被検レンズ4に対
して集束させる集束光学系を構成している。なお、集光
レンズ3の前側焦点面がマスク2と一致している。図1
に示す実施例では、前記スリット状の光束の集光レンズ
3による被検レンズ4に対する集束位置は合計4箇所と
なっている。In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a condenser lens arranged between the mask 2 and the lens 4 to be inspected on the measurement optical axis O. When the lens 4 to be inspected is not installed on the lens holder 5, the light sources 1a, 1b, 1c and 1d and the holder surface of the lens holder 5 are conjugated by the condenser lens 3. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, the condenser lens 3 constitutes a focusing optical system that focuses the slit-shaped light beam on the lens 4 to be inspected. The front focal plane of the condenser lens 3 coincides with the mask 2. Figure 1
In the embodiment shown in (4), there are a total of four focusing positions of the slit-shaped light flux with respect to the lens 4 to be inspected by the condenser lens 3.
【0023】また、図1において、7は一次元の受光位
置に応じた出力信号を出力する一次元受光センサで、例
えば、一次元CCDを用いることができる。図1におけ
るC方向から見た一次元受光センサ7を図4に示してあ
る。一つの一次元受光センサ7の線状の受光面の受光中
心は、Y軸に一致している。なお、説明の便宜上、一つ
の一次元受光センサ7の受光面を含むXY平面を受光X
Y平面という。この受光XY平面の原点と図1中の測定
光軸O上の位置O7とは一致している。Further, in FIG. 1, 7 is a one-dimensional light receiving sensor which outputs an output signal according to a one-dimensional light receiving position, and for example, a one-dimensional CCD can be used. FIG. 4 shows the one-dimensional light receiving sensor 7 viewed from the direction C in FIG. The light receiving center of the linear light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7 coincides with the Y axis. For convenience of explanation, the XY plane including the light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7 receives the light X
It is called the Y plane. The origin of this light receiving XY plane and the position O7 on the measurement optical axis O in FIG.
【0024】さらに、図1において、6は測定光軸O上
において前記被検レンズ4と前記一次元受光センサ7と
の間に配置された投影レンズである。投影レンズ6の前
側焦点面がレンズホルダー5のホルダー面、投影レンズ
6の後側焦点面が一次元受光センサ7の受光面と一致し
ている。したがって、図1に示す実施例では、投影レン
ズ6が、一次元受光センサ7の受光面上に前記被検レン
ズ4を通過した前記各光束を投影させる投影光学系を構
成している。Further, in FIG. 1, reference numeral 6 is a projection lens arranged on the measurement optical axis O between the lens 4 to be inspected and the one-dimensional light receiving sensor 7. The front focal plane of the projection lens 6 coincides with the holder surface of the lens holder 5, and the rear focal plane of the projection lens 6 coincides with the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, the projection lens 6 constitutes a projection optical system for projecting each of the light fluxes having passed through the lens 4 under test on the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7.
【0025】そして、図5に示すように、前記光源1
a、1b、1c及び1dはこれらを点灯及び消灯させる
光源駆動回路12に接続されている。該光源駆動回路1
2は、マイクロコンピュータ等からなる演算制御回路1
1から点灯制御信号を受けるように、これに接続されて
いる。演算制御回路11は、センサ駆動回路13にデー
タ取り込み開始信号を供給するように、これに接続され
ている。センサ駆動回路13は、一次元受光センサ7を
それぞれ駆動するように、これらに接続されている。一
次元受光センサ7は、それらの出力信号をA/D変換又
は二値化等する信号処理回路14にそれぞれ接続されて
いる。信号処理回路14は、その出力信号が演算制御回
路11に入力されるように、これに接続されている。そ
して、測定が開始すると、まず、演算制御回路11が点
灯制御信号を光源駆動回路12に送って光源1aのみを
点灯させる。その後、演算制御回路11がデータ取り込
み開始信号をセンサ駆動回路13に送って一次元受光セ
ンサ7をそれぞれ駆動し、一次元受光センサ7から受光
位置に応じた出力信号をそれぞれ得て、これらの出力信
号を信号処理回路14で処理した後に測定データとして
演算制御回路11の内部メモリに取り込む。すなわち、
光源1aから発してスリット状の開口2a,2b,2c
及び2dを通過したスリット状の光束に基づく各光束の
一次元受光センサ7上の投影位置に応じた投影位置デー
タが演算制御回路11の内部メモリに取り込まれる。同
一の一次元受光センサの出力信号に基づいて得られる投
影位置データ間の区別は、当該一次元受光センサの出力
信号に基づいて当該一次元受光センサの受光幅を判別す
ることによって、行われる。この取り込みが終了する
と、演算制御回路11は再び点灯制御信号を光源駆動回
路12に送って今度は光源1bのみを点灯して、前述と
同様にして測定データとして投影位置データを取り込
む。以下、同様に、順次光源1c及び1dを点灯してい
き、その都度演算制御回路11の内部メモリに測定デー
タとして投影位置データを取り込む。そして、演算制御
回路11はこのようにして取り込まれた投影位置データ
に基づいて後述の演算を行って被検レンズ4の光学特性
である、球面屈折力S、円柱屈折力C、円柱軸方向(一
つの主径線方向)θ、プリズム屈折力P及びその基底方
向φを得る。得られた光学特性は表示装置15により表
示される。Then, as shown in FIG.
Reference characters a, 1b, 1c and 1d are connected to a light source drive circuit 12 for turning them on and off. The light source drive circuit 1
2 is an arithmetic control circuit 1 including a microcomputer and the like.
It is connected to this so as to receive the lighting control signal from 1. The arithmetic control circuit 11 is connected to the sensor drive circuit 13 so as to supply a data capture start signal to the sensor drive circuit 13. The sensor drive circuit 13 is connected to each of the one-dimensional light receiving sensors 7 so as to drive them. The one-dimensional light receiving sensor 7 is connected to a signal processing circuit 14 for A / D converting or binarizing the output signals thereof. The signal processing circuit 14 is connected to the arithmetic control circuit 11 so that its output signal is input to the arithmetic control circuit 11. Then, when the measurement is started, first, the arithmetic control circuit 11 sends a lighting control signal to the light source drive circuit 12 to light only the light source 1a. After that, the arithmetic control circuit 11 sends a data fetching start signal to the sensor drive circuit 13 to drive the one-dimensional light receiving sensors 7, respectively, and obtain output signals corresponding to the light receiving positions from the one-dimensional light receiving sensors 7, respectively, and output these. After the signal is processed by the signal processing circuit 14, it is taken into the internal memory of the arithmetic control circuit 11 as measurement data. That is,
Slit-shaped openings 2a, 2b, 2c emitted from the light source 1a
And the projection position data corresponding to the projection position on the one-dimensional light receiving sensor 7 of each light flux based on the slit-shaped light flux passing through 2d are stored in the internal memory of the arithmetic control circuit 11. The distinction between the projection position data obtained based on the output signal of the same one-dimensional light receiving sensor is performed by determining the light receiving width of the one-dimensional light receiving sensor based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor. When this acquisition is completed, the arithmetic control circuit 11 again sends a lighting control signal to the light source drive circuit 12 to light only the light source 1b this time, and the projection position data is acquired as measurement data in the same manner as described above. Hereinafter, similarly, the light sources 1c and 1d are sequentially turned on, and the projection position data is taken into the internal memory of the arithmetic control circuit 11 as measurement data each time. Then, the arithmetic control circuit 11 performs the later-described arithmetic operation on the basis of the thus-acquired projection position data to calculate the optical characteristics of the lens 4 to be inspected, that is, the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, the cylindrical axial direction ( One main radial direction) θ, the prism refractive power P and its base direction φ are obtained. The obtained optical characteristics are displayed on the display device 15.
【0026】以上の説明から明らかなように、本実施例
では、演算制御回路11は、一次元受光センサ7の出力
信号に基づいて前記スリット状の光束に基づく各光束の
一次元受光センサ7上の各投影位置データにそれぞれ応
じた投影位置データを得る投影位置データ抽出手段とし
ての機能を担っている。特に、本実施例では、前記点灯
制御信号又は前記データ取り込み開始信号が前記光束の
うちのいずれの光源に基づく光束が照射されているかの
判別信号に相当しており、その判別信号を出力する判別
手段としての機能を演算制御回路11が担っている。ま
た、演算制御回路11は同時に照射されたスリット状の
光束の幅を判別する機能を担っている。さらに、演算制
御回路11は、前記判別信号及び一次元受光センサ7の
出力信号に基づいて被検レンズ4の光学特性を得る演算
手段としての機能も担っている。As is clear from the above description, in the present embodiment, the arithmetic control circuit 11 is based on the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7 and is based on the slit-shaped light beam. It has a function as a projection position data extracting means for obtaining the projection position data corresponding to each projection position data. In particular, in the present embodiment, the lighting control signal or the data capture start signal corresponds to a determination signal of which light source of the light flux is emitted, and the determination signal is output. The arithmetic control circuit 11 has a function as a means. The arithmetic control circuit 11 also has a function of discriminating the widths of the slit-shaped luminous fluxes irradiated at the same time. Further, the arithmetic control circuit 11 also has a function as an arithmetic unit that obtains the optical characteristics of the lens 4 to be inspected based on the discrimination signal and the output signal of the one-dimensional light receiving sensor 7.
【0027】次に、演算制御回路11の演算により、被
検レンズ4の光学特性である、球面屈折力S、円柱屈折
力C、円柱軸方向θ、プリズム屈折力P及びその基底方
向φを求めることができる理由を説明する。Next, by the calculation of the calculation control circuit 11, the spherical optical power S, the cylindrical refractive power C, the cylindrical axial direction θ, the prism refractive power P and the base direction φ thereof, which are the optical characteristics of the lens 4 to be measured, are obtained. Explain why you can.
【0028】さて、被検レンズ4が、中心厚d、球面屈
折力S、円柱屈折力C、円柱軸方向θであれば、マスク
2を通過し、被検レンズ4を通過し受光平面XYに投影
された光束は、図6に示すように、マスク2のXY軸は
X’,Y’となり、スリット状の開口の中心線2c,2
dは、2c’,2d’のようにネジレを生じる。このこ
とは、特開平5−23186号公報及び特開平6−58
841号公報に詳しく述べてある。Now, if the lens 4 to be inspected has a central thickness d, a spherical power S, a cylindrical refracting power C, and a cylindrical axis direction θ, it passes through the mask 2, passes through the lens 4 to be inspected, and enters the light receiving plane XY. As shown in FIG. 6, the projected light flux has the XY axes of the mask 2 as X ′, Y ′, and the center lines 2c, 2 of the slit-shaped opening.
d is twisted like 2c 'and 2d'. This is disclosed in JP-A-5-23186 and JP-A-6-58.
This is described in detail in Japanese Patent No. 841.
【0029】さて、ここで、α1 α2、β1とβ2と
はほとんど等しく、α1≒−α2、β1≒−β2と近似
しても実際上問題ない。そこで、次の式(3)及び式
(4)のように、近似する。Here, α1 α2, β1 and β2 are almost equal to each other, and it is practically no problem to approximate α1≈−α2 and β1≈−β2. Therefore, approximation is performed as in the following equations (3) and (4).
【0030】
m≒tanα1=−tanα2=(1+dΔX)/(1+dΔY) …(3)
n≒tanβ1=−tanβ2=dΔ/(1+dΔY) …(4)
ただし、後述するように、ΔXは被検レンズ4のX軸を
含む子午面(メリジオナル面)に沿った屈折力、ΔYは
被検レンズ4のY軸を含む子午面に沿った屈折力、Δは
被検レンズ4の球欠面(サジタル面)に沿った屈折力で
ある。M≈tan α1 = −tan α2 = (1 + dΔX) / (1 + dΔY) (3) n≈tan β1 = -tan β2 = dΔ / (1 + dΔY) (4) However, as described later, ΔX is the lens 4 to be detected. Is a refracting power along a meridional surface (meridional surface) including the X axis, ΔY is a refracting power along a meridian surface including the Y axis of the lens 4, and Δ is a spherical surface (sagittal surface) of the lens 4. Power along the.
【0031】前記図1に示す実施例によれば、被検レン
ズ4が中心厚d、球面屈折力S、円柱屈折力C及びプリ
ズム屈折力Pを有しているとすると、例えば、光源1a
を発してマスク2のスリット状の開口2a,2b,2
c,2dを通過した各スリット状の光束による前記受光
XY平面上の投影光束81,82,83,84、並び
に、光源1bを発してマスク2のスリット状の開口2
a,2b,2c,2dを通過した各スリット状の光束に
よる前記受光XY平面上の投影光束85,86,87,
88は、図7に示すようになる。また、光源1cを発し
てマスク2のスリット状の開口2a,2b,2c,2d
を通過した各スリット状の光束による前記受光XY平面
上の投影光束89,90,91,92、並びに、光源1
dを発してマスク2のスリット状の開口2a,2b,2
c,2dを通過した各スリット状の光束による前記受光
XY平面上の投影光束93,94,95,96は、図8
に示すようになる。なお、図7及び図8では、各投影光
束81乃至96はその中心線しか示していない。そし
て、図7におけるA1点は光源1aを発して測定光軸O
上のマスク2の位置であるO2点を通過した光線(以
下、光源1aによる基準光線という)の受光XY平面上
の投影位置を示し、図7におけるA2点は光源1bを発
してO2点を通過した光線(以下、光源1bによる基準
光線という)の受光XY平面上の投影位置を示し、図8
におけるA3点は光源1cを発してO2点を通過した光
線(以下、光源1cによる基準光線という)の受光XY
平面上の投影位置を示し、図8におけるA4点は光源1
dを発してO2点を通過した光線(以下、光源1dによ
る基準光線という)の受光XY平面上の投影位置を示し
ている。According to the embodiment shown in FIG. 1, if the lens 4 to be inspected has a center thickness d, a spherical refractive power S, a cylindrical refractive power C and a prism refractive power P, for example, the light source 1a
To emit slit-shaped openings 2a, 2b, 2 of the mask 2
Projected light fluxes 81, 82, 83, 84 on the light receiving XY plane by the slit-shaped light fluxes that have passed through c and 2d, and the slit-shaped opening 2 of the mask 2 that emits the light source 1b.
Projected light fluxes 85, 86, 87 on the light-receiving XY plane by the slit-shaped light fluxes that have passed through a, 2b, 2c, and 2d.
88 is as shown in FIG. In addition, the light source 1c is emitted to open the slit-shaped openings 2a, 2b, 2c, 2d of the mask 2.
Projected light fluxes 89, 90, 91, 92 on the light receiving XY plane by the respective slit-shaped light fluxes that have passed through
d to emit slit-shaped openings 2a, 2b, 2 of the mask 2
Projected light fluxes 93, 94, 95, 96 on the light receiving XY plane by the respective slit-shaped light fluxes that have passed through c and 2d are shown in FIG.
As shown in. Note that, in FIGS. 7 and 8, each of the projection light beams 81 to 96 only shows the center line thereof. The point A1 in FIG. 7 emits the light source 1a and the measurement optical axis O
The projected position on the light-receiving XY plane of a light ray (hereinafter referred to as a reference light ray by the light source 1a) that has passed the O2 point which is the position of the upper mask 2 is shown, and the A2 point in FIG. 7 emits the light source 1b and passes through the O2 point. 8A and 8B show the projection positions of the reflected light rays (hereinafter, referred to as reference light rays from the light source 1b) on the light receiving XY plane.
Point A3 in FIG. 2 is a light-receiving XY of a light beam emitted from the light source 1c and passing through the O2 point (hereinafter referred to as a reference light beam from the light source 1c)
The projection position on the plane is shown. Point A4 in FIG. 8 is the light source 1.
The projection position on the light-receiving XY plane of a light beam emitted from d and passing through the O2 point (hereinafter referred to as a reference light beam from the light source 1d) is shown.
【0032】なお、各投影光束と前記光源部1との位置
関係を明らかにするため、図7には光源部1の光源1a
及び1bも前記受光XY平面上にあるかの如く重ね合わ
せて示してあり、図8には光源部1の光源1c及び1d
も前記受光XY平面上にあるかの如く重ね合わせて示し
てある。なお、前述から明かなように、図7及び図8に
おいて、Y軸は、一つの一次元受光センサ7の線状の受
光面の受光中心線を示している。In order to clarify the positional relationship between each projected light flux and the light source unit 1, FIG. 7 shows the light source 1a of the light source unit 1.
And 1b are also overlapped and shown as if they were on the light receiving XY plane. In FIG. 8, the light sources 1c and 1d of the light source unit 1 are shown.
Is also superposed as if it were on the light receiving XY plane. As will be apparent from the above, in FIGS. 7 and 8, the Y axis indicates the light receiving center line of the linear light receiving surface of one one-dimensional light receiving sensor 7.
【0033】図7及び図8に示すように、被検レンズ4
の光学特性に応じて、前記各点A1,A2,A3及びA
4は受光XY平面の原点O7に対してそれぞれずれてい
る。As shown in FIG. 7 and FIG.
The points A1, A2, A3 and A according to the optical characteristics of
Reference numerals 4 are displaced from the origin O7 of the light receiving XY plane.
【0034】まず、前記各点A1,A2,A3及びA4
の位置が被検レンズ4の光学特性との関係でいかなる情
報を有しているかについて説明する。なお、前記各点A
1,A2,A3及びA4のXY座標をそれぞれ符号も含
めて、(X1,Y1)、(X2,Y2)、(X3,Y
3)、(X4,Y4)とする。このように符号も含める
のは、屈折力の正負、すなわち、被検レンズ4の凹凸を
判別するためである。First, the points A1, A2, A3 and A4.
What information the position of has in relation to the optical characteristics of the lens 4 to be inspected will be described. In addition, each point A
Including the symbols, the XY coordinates of 1, A2, A3 and A4 are (X1, Y1), (X2, Y2), (X3, Y
3) and (X4, Y4). The reason why the sign is included in this way is to determine whether the refractive power is positive or negative, that is, the unevenness of the lens 4 to be inspected.
【0035】前述したように、被検レンズ4のX軸を含
む子午面(メリジオナル面)に沿った屈折力をΔX、被
検レンズ4のY軸を含む子午面に沿った屈折力をΔY、
被検レンズ4の球欠面(サジタル面)に沿った屈折力を
Δとすると、ΔX、ΔY及びΔは、被検レンズ4の球面
屈折力S、円柱屈折力C及び円柱軸方向θを用いて次の
ように表せる。As described above, the refractive power along the meridional surface (meridional surface) including the X axis of the lens 4 to be tested is ΔX, and the refractive power along the meridian surface of the lens 4 to be tested including the Y axis is ΔY,
Assuming that the refractive power along the spherical surface (sagittal surface) of the lens 4 to be tested is Δ, ΔX, ΔY, and Δ use the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, and the cylindrical axis direction θ of the lens 4 to be tested. Can be expressed as follows.
【0036】
ΔX=S+C・sin2θ …(5)
ΔY=S+C・cos2θ …(6)
Δ=C・sinθ・cosθ …(7)
そして、今、被検レンズ4が球面屈折力S及び円柱屈折
力Cを有しプリズム屈折力Pは有していないとすると、
本実施例では前述の配置関係を有しているとともに、光
源1a,1b,1b,1dによる各基準光線と前記各点
A1,A2,A3,A4の座標と前記ΔX、ΔY及びΔ
との間に次の関係が成立する。なお、以下の式における
fは前記投影レンズ7の焦点距離を示す。また、以下の
式におけるφは、前述したように、前記同心円U1の半
径を示す。さらに、以下の式では、式(1)を考慮して
いる。ΔX = S + C · sin 2 θ (5) ΔY = S + C · cos 2 θ (6) Δ = C · sin θ · cos θ (7) Then, the lens 4 to be inspected now has a spherical refractive power S and Assuming that there is a cylindrical power C and no prism power P,
In the present embodiment, the above-mentioned arrangement relationship is provided, and the reference rays by the light sources 1a, 1b, 1b, 1d and the coordinates of the points A1, A2, A3, A4 and the ΔX, ΔY and Δ are also provided.
The following relationship is established between and. It should be noted that f in the following equation indicates the focal length of the projection lens 7. Further, φ in the following equation indicates the radius of the concentric circle U1, as described above. Furthermore, in the following equation, the equation (1) is considered.
【0037】
|X1|=|X2|=|Y3|=|Y4|=φ・f・Δ/(1+dΔ)
…(8)
|Y1|=|Y2|=φ・f・ΔY/(1+dΔY) …(9)
|X3|=|X4|=φ・f・ΔX/(1+dΔX) …(10)
ここで、φ及びfは設計上の定数であるので、説明の便
宜上、式を簡単に表現するため、φ・f=1とすると、
式(8)〜(10)はそれぞれ次のようになる。もっと
も、本発明ではφ・f≠1でもよいことは勿論であ
る。。| X1 | = | X2 | = | Y3 | = | Y4 | = φ · f · Δ / (1 + dΔ) (8) | Y1 | = | Y2 | = φ · f · ΔY / (1 + dΔY) ... (9) | X3 | = | X4 | = φ · f · ΔX / (1 + dΔX) (10) Here, since φ and f are design constants, the expression is simply expressed for convenience of description. , Φ · f = 1,
Equations (8) to (10) are as follows, respectively. Of course, in the present invention, φ · f ≠ 1 may be satisfied. .
【0038】
|X1|=|X2|=|Y3|=|Y4|=Δ/(1+dΔ) …(11)
|Y1|=|Y2|=ΔY/(1+dΔY) …(12)
|X3|=|X4|=ΔX/(1+dΔX) …(13)
以上の説明においては、被検レンズ4が球面屈折力S及
び円柱屈折力Cを有しプリズム屈折力Pは有していない
とした。しかし、被検レンズ4がプリズム屈折力Pも有
しているとすると、前記各点A1,A2,A3及びA4
の位置は、被検レンズ4がプリズム屈折力Pを有してい
ない場合の位置に対して、プリズム屈折力Pによってベ
クトルP”(そのX成分をX0とし、Y成分をY0とす
る)の分だけ平行移動することとなる。| X1 | = | X2 | = | Y3 | = | Y4 | = Δ / (1 + dΔ) (11) | Y1 | = | Y2 | = ΔY / (1 + dΔY) (12) | X3 | = | X4 | = ΔX / (1 + dΔX) (13) In the above description, it is assumed that the lens 4 to be inspected has the spherical refractive power S and the cylindrical refractive power C, and does not have the prism refractive power P. However, if the lens 4 to be inspected also has the prismatic power P, the points A1, A2, A3 and A4 are set.
The position of is the amount of the vector P ″ (whose X component is X0 and Y component is Y0) by the prism refractive power P with respect to the position where the lens 4 under test does not have the prism refractive power P. It will be translated only.
【0039】したがって、被検レンズ4が球面屈折力S
及び円柱屈折力Cをのみならずプリズム屈折力Pを有し
ている場合には、前記各点A1,A2,A3,A4の座
標(X1,Y1)、(X2,Y2)、(X3,Y3)、
(X4,Y4)は、その符号も考慮に入れると、次のよ
うに表すことができる。Therefore, the lens 4 to be inspected has a spherical refractive power S.
And not only the cylindrical refracting power C but also the prism refracting power P, the coordinates (X1, Y1), (X2, Y2), (X3, Y3) of the points A1, A2, A3, A4. ),
(X4, Y4) can be expressed as follows, taking the sign into consideration.
【0040】
(X1,Y1)=[(Δ+X0)/(1+dΔ),(ΔY+Y0)/(1+d
ΔY)] …(14)
(X2,Y2)=[(−Δ+X0)/(1+dΔ),(−ΔY+Y0)/(1
+dΔY)] …(15)
(X3,Y3)=[(ΔX+X0)/(1+dΔX),(Δ+Y0)/(1+
dΔ)] …(16)
(X4,Y4)=[(−ΔX+X0)/(1+dΔX),(−Δ+Y0)/(
1+dΔ)] …(17)
以上に、前記各点A1,A2,A3及びA4の位置が被
検レンズ4の光学特性との関係でいかなる情報を有して
いるかについて説明した。(X1, Y1) = [(Δ + X0) / (1 + dΔ), (ΔY + Y0) / (1 + d ΔY)] (14) (X2, Y2) = [(− Δ + X0) / (1 + dΔ), (−ΔY + Y0) ) / (1 + dΔY)] (15) (X3, Y3) = [(ΔX + X0) / (1 + dΔX), (Δ + Y0) / (1 + dΔ)] (16) (X4, Y4) = [(-ΔX + X0) / (1 + dΔX), (−Δ + Y0) / (1 + dΔ)] (17) As described above, the position of each of the points A1, A2, A3, and A4 has any information in relation to the optical characteristics of the lens 4 to be tested. I explained.
【0041】本発明では、被検レンズ4を通過した後の
前記光束の交差点である前記各点A1,A2,A3,A
4が被検レンズ4の光学特性を示すものであるというこ
とに注目し、被検レンズ4の光学特性を得るものであ
る。この点について、以下、図7及び図8を参照して説
明する。In the present invention, the points A1, A2, A3, A which are the intersections of the light fluxes after passing through the lens 4 to be inspected.
The optical characteristics of the lens 4 to be inspected are obtained by paying attention to the fact that 4 indicates the optical characteristics of the lens 4 to be inspected. This point will be described below with reference to FIGS. 7 and 8.
【0042】まず、前記点A1の位置について述べる。First, the position of the point A1 will be described.
【0043】図2におけるマスク2のスリット状の光束
2a,2bの中心線が、Y軸と交差する点は、図7にお
いてはA11,A12となる。点A11,A12の座標
は、式(2)及び式(4)より、A11[X1−nH
0,Y1+H0/(1+dΔY)],A12[X1+n
H0,Y1−H0/(1+dΔY)]となる。ただし、
H0は、被検レンズ4のないときの投影光束81,82
間の間隔である。The points where the center lines of the slit-shaped light beams 2a and 2b of the mask 2 in FIG. 2 intersect the Y axis are A11 and A12 in FIG. From the equations (2) and (4), the coordinates of the points A11 and A12 are A11 [X1-nH
0, Y1 + H0 / (1 + dΔY)], A12 [X1 + n
H0, Y1-H0 / (1 + dΔY)]. However,
H0 is the projection light flux 81, 82 when the lens 4 under test is not present.
Is the interval between.
【0044】また、直線81〜84がY軸と交差する点
をそれぞれH1〜H4とすると、次式が成立する。な
お、説明の便宜上、点H1〜H4のY座標の値をそれぞ
れH1〜H4とする。Further, if the points where the straight lines 81 to 84 intersect the Y axis are H1 to H4, respectively, the following equation holds. For convenience of description, the Y coordinate values of the points H1 to H4 are set to H1 to H4, respectively.
【0045】
H1=nX1−n2H0+Y1+H0/(1+dΔY) …(18)
H2=nX1−n2H0+Y1−H0/(1+dΔY) …(19)
式(18),(19)より、次式が得られる。なお、n
2H0は、実用上無視し得る小さい値である。[0045] H1 = nX1-n 2 H0 + Y1 + H0 / (1 + dΔY) ... (18) H2 = nX1-n 2 H0 + Y1-H0 / (1 + dΔY) ... (19) Equation (18) and (19), the following equation is obtained . Note that n
2 H0 is a small value that can be practically ignored.
【0046】 (H1−H2)/2=n2H0+H0/(1+dΔY)≒H0/(1+dΔY ) …(20) H3=−mX1+Y1 …(21) H4=mX1+Y1 …(22) 式(21),(22)より、次式が得られる。(H1−H2) / 2 = n 2 H0 + H0 / (1 + dΔY) ≈H0 / (1 + dΔY) (20) H3 = −mX1 + Y1 (21) H4 = mX1 + Y1 (22) Formulas (21) and (22) ), The following equation is obtained.
【0047】 Y1=(H3+H4)/2 …(23) 式(21),(22)より、次式が得られる。[0047] Y1 = (H3 + H4) / 2 (23) From equations (21) and (22), the following equation is obtained.
【0048】
mX1=(H4−H3)/2 …(24)
次に、前記各点A2(X2,Y2),A3(X3,Y
3)及びA4(X4,Y4)についても同様にして、以
下の式が得られる。MX1 = (H4−H3) / 2 (24) Next, the points A2 (X2, Y2), A3 (X3, Y)
3) and A4 (X4, Y4) are similarly obtained as follows.
【0049】 H7=−mX2+Y2 …(25) H8=mX2+Y2 …(26) H11=−mX3+Y3 …(27) H12=mX3+Y3 …(28) H15=−mX4+Y4 …(29) H16=mX4+Y4 …(30) 式(25),(26)より、次式が得られる。[0049] H7 = -mX2 + Y2 (25) H8 = mX2 + Y2 (26) H11 = -mX3 + Y3 (27) H12 = mX3 + Y3 (28) H15 = -mX4 + Y4 (29) H16 = mX4 + Y4 (30) The following equation is obtained from the equations (25) and (26).
【0050】 Y2=(H7+H8)/2 …(31) mX2=(H8−H7)/2 …(32) 式(27),(28)より、次式が得られる。[0050] Y2 = (H7 + H8) / 2 (31) mX2 = (H8-H7) / 2 (32) From equations (27) and (28), the following equation is obtained.
【0051】 Y3=(H11+H12)/2 …(33) mX3=(H12−H11)/2 …(34) 式(29),(30)より、次式が得られる。[0051] Y3 = (H11 + H12) / 2 (33) mX3 = (H12-H11) / 2 (34) The following equation is obtained from the equations (29) and (30).
【0052】 Y4=(H15+H16)/2 …(35) mX4=(H16−H15)/2 …(36) 式(14),(15)より、次式が得られる。[0052] Y4 = (H15 + H16) / 2 (35) mX4 = (H16-H15) / 2 (36) From equations (14) and (15), the following equation is obtained.
【0053】 ΔY=(1+dΔY)(Y1−Y2)/2 …(37) 式(14),(15)より、次式が得られる。[0053] ΔY = (1 + dΔY) (Y1-Y2) / 2 (37) From equations (14) and (15), the following equation is obtained.
【0054】 Y0=(1+dΔY)(Y1+Y3)/2 …(38) 式(3),(16),(17)より、次式が得られる。[0054] Y0 = (1 + dΔY) (Y1 + Y3) / 2 (38) The following equation is obtained from the equations (3), (16) and (17).
【0055】 ΔX=(1+dΔY)(mX3−mX4)/2 …(39) 式(3),(16),(17)より、次式が得られる。[0055] ΔX = (1 + dΔY) (mX3-mX4) / 2 (39) The following equation is obtained from the equations (3), (16) and (17).
【0056】
X0=(1+dΔY)(mX3+mX4)/2 …(40)
Δ=(Y3−Y4)/「2−d(Y3−Y4)] …(41)
以上の通りΔX,ΔY,Δ,X0,Y0が求まり、被検
レンズ4の球面屈折力S,円柱屈折力C,円柱軸方向θ
を求めることができる。X0 = (1 + dΔY) (mX3 + mX4) / 2 (40) Δ = (Y3-Y4) / “2-d (Y3-Y4)] (41) As described above, ΔX, ΔY, Δ, X0, Y0 is obtained, and the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, and the cylindrical axis direction θ of the lens 4 under test
Can be asked.
【0057】また、式(38),(40)からX0及び
Y0を求めることができる。そして、図1に示す実施例
では、前述のように投影レンズ7の焦点距離をfとする
と、被検レンズ4のプリズム屈折力PのX成分PX及び
Y成分PYは、次のように表せる。Further, X0 and Y0 can be obtained from the equations (38) and (40). Then, in the embodiment shown in FIG. 1, assuming that the focal length of the projection lens 7 is f as described above, the X component PX and the Y component PY of the prism refractive power P of the lens 4 under test can be expressed as follows.
【0058】 PY=Y0/f …(42) PX=X0/f …(43) さらに、次の関係が成立している。[0058] PY = Y0 / f (42) PX = X0 / f (43) Furthermore, the following relationships are established.
【0059】
P=(PX2+PY2)1/2 …(44)
tanφ=PY/PX …(45)
したがって、前述のようにして求めたX0及びY0に基
づいて、式(42)〜(45)より、被検レンズ4のプ
リズム屈折力P及びその基底方向φを求めることができ
る。P = (PX 2 + PY 2 ) 1/2 (44) tan φ = PY / PX (45) Therefore, based on X0 and Y0 obtained as described above, equations (42) to (45) are used. ), The prism refractive power P of the lens 4 to be inspected and its base direction φ can be obtained.
【0060】図1に示す実施例では、一次元受光センサ
7の出力信号に基づいた測定データを用いて、演算制御
回路11にて前述したように演算処理することにより、
被検レンズ4の球面屈折力S、円柱屈折力C、円柱軸方
向θ、プリズム屈折力P及びその基底方向φを求めるこ
とができるのである。In the embodiment shown in FIG. 1, by using the measurement data based on the output signal of the one-dimensional photosensor 7, the arithmetic control circuit 11 performs the arithmetic processing as described above,
It is possible to obtain the spherical refractive power S, the cylindrical refractive power C, the cylindrical axial direction θ, the prism refractive power P and the base direction φ of the lens 4 to be inspected.
【0061】スリット状の開口を通過した各スリット状
の光束に基づく各投影光束の傾斜角度は被検レンズ4の
厚みdや円柱屈折力C等に依存して複雑に変化するが、
本実施例では、前記一つの一次元受光センサ7により前
記点A1,A2,A3,A4に注目して各投影光束によ
って被検レンズ4の光学特性を正確に得ることができ
る。The inclination angle of each projection light beam based on each slit-shaped light beam that has passed through the slit-shaped opening changes intricately depending on the thickness d of the lens 4 to be tested, the cylindrical refractive power C, and the like.
In the present embodiment, the optical characteristics of the lens 4 to be inspected can be accurately obtained by focusing on the points A1, A2, A3 and A4 by the one-dimensional light receiving sensor 7 and using each projection light beam.
【0062】以上述べたように、前記図1に示す実施例
に係る光学系の光学特性測定装置では、被検レンズ4が
円柱屈折力を有していて、スリット状の光束の光束が被
検レンズ4を通過した後にいかにねじれようとも、この
ねじれ量に何ら影響を受けることなく正確に被検レンズ
の光学特性を得ることができる。As described above, in the optical characteristic measuring apparatus for the optical system according to the embodiment shown in FIG. 1, the lens 4 to be inspected has a cylindrical refracting power, and the light beam of the slit-shaped light beam is inspected. No matter how much the lens is twisted after passing through the lens 4, the optical characteristics of the lens to be tested can be accurately obtained without being affected by the amount of the twist.
【0063】また、前記一つの一次元受光センサ7が配
置されるだけで、繰り返し演算を必要としないので、機
構の単純化及び測定精度の向上並びに測定時間の短縮を
図ることができる。Further, since only one one-dimensional light receiving sensor 7 is arranged and repeated calculation is not required, the mechanism can be simplified, the measurement accuracy can be improved, and the measurement time can be shortened.
【0064】前記実施例では、マスク2のスリット状の
開口が交差しているので、この交差点の近くでは、一次
元受光センサ7の検出精度が悪くなる可能性がある。そ
こで、次に、スリット状の開口が交差しない実施例につ
いて述べる。In the above-described embodiment, since the slit-shaped openings of the mask 2 intersect, the detection accuracy of the one-dimensional light receiving sensor 7 may deteriorate near this intersection. Therefore, next, an embodiment in which the slit-shaped openings do not intersect will be described.
【0065】図9のマスク20は、本実施例の一例のス
リット状の開口である。マスク20では、スリット状の
開口20a,20bの中心線は平行であり、スリット状
の開口20aの中心線はX軸上にあり、スリット状の開
口20aのX軸のプラス側とマイナス側とは幅が違って
おり、スリット状の開口20bの中心線はX軸に平行で
ありY軸と−H0’で交差する。スリット状の開口20
c,20dの中心線は平行であり45゜の傾斜角を有し
ており、スリット状の開口20c,20dの中心線はそ
れぞれY軸とH0’,3H0’で交差する。スリット状
の開口20c’,20d’の中心線は平行であり−45
゜の傾斜角を有しており、スリット状の開口20c’,
20d’の中心線はそれぞれY軸と2H0’,4H0’
で交差する。スリット状の開口20eの中心線は、−4
5゜の傾斜角を有しており、スリット状の開口20eの
中心線はY軸と−3H0’で交差する。スリット状の開
口20e’は45゜の傾斜角を有しており、スリット状
の開口20e’の中心線はY軸と−2H0’で交差す
る。The mask 20 shown in FIG. 9 is a slit-shaped opening according to an example of this embodiment. In the mask 20, the center lines of the slit-shaped openings 20a and 20b are parallel to each other, the center line of the slit-shaped opening 20a is on the X-axis, and the plus side and the minus side of the X-axis of the slit-shaped opening 20a are different from each other. The widths are different, and the center line of the slit-shaped opening 20b is parallel to the X axis and intersects the Y axis at -HO '. Slit-shaped opening 20
The center lines of c and 20d are parallel to each other and have an inclination angle of 45 °, and the center lines of the slit openings 20c and 20d intersect the Y axis at H0 'and 3H0', respectively. The center lines of the slit-shaped openings 20c 'and 20d' are parallel to each other and -45.
Has an inclination angle of ° and has a slit-shaped opening 20c ',
The center lines of 20d 'are Y-axis and 2H0', 4H0 ', respectively.
Cross at. The center line of the slit-shaped opening 20e is -4.
It has an inclination angle of 5 °, and the center line of the slit-shaped opening 20e intersects the Y axis at -3HO '. The slit-shaped opening 20e ′ has an inclination angle of 45 °, and the center line of the slit-shaped opening 20e ′ intersects the Y axis at −2H0 ′.
【0066】このように構成されたスリット状の開口を
有するマスク20を、マスク2の代わりに前記実施例と
同じ図1の光学系に設置すれば、前記実施例と同じ被検
レンズ4を通過した光束は、受光XY平面において、図
10,図11に示すように投影される。If the mask 20 having the slit-shaped opening configured as described above is installed in the optical system of FIG. 1 which is the same as that of the above-described embodiment, instead of the mask 2, it passes through the same lens 4 to be inspected. The generated light flux is projected on the light receiving XY plane as shown in FIGS.
【0067】マスク20のスリット状の開口20a,2
0b,20c,20d,20e,20c’,20d’,
20e’の中心線は、受光XY平面上で、光源1aによ
っては21a,21b,21c,21d,21e,21
c’,21d’,21e’へ、光源1bによっては22
a,22b,22c,22d,22e,22c’,22
d’,22e’へ、光源1cによっては23a,23
b,23c,23d,23e,23c’,23d’,2
3e’へ、光源1dによっては24a,24b,24
c,24d,24e,24c’,24d’,24e’
へ、それぞれ投影される。The slit-shaped openings 20a, 2 of the mask 20
0b, 20c, 20d, 20e, 20c ', 20d',
The center line of 20e ′ is 21a, 21b, 21c, 21d, 21e, 21 depending on the light source 1a on the light receiving XY plane.
22 depending on the light source 1b to c ', 21d', 21e '
a, 22b, 22c, 22d, 22e, 22c ', 22
d ', 22e', 23a, 23 depending on the light source 1c
b, 23c, 23d, 23e, 23c ', 23d', 2
3e ', depending on the light source 1d, 24a, 24b, 24
c, 24d, 24e, 24c ', 24d', 24e '
, Respectively.
【0068】図10及び図11における各点A1,A
2,A3,A4は、前記実施例と同様、光学特性を示す
点であり、A1(X1,Y1),A2(X2,Y2),
A3(X3,Y3),A4(X4,Y4)となる。Points A1 and A in FIG. 10 and FIG.
2, A3 and A4 are points showing optical characteristics as in the above embodiment, and A1 (X1, Y1), A2 (X2, Y2),
It becomes A3 (X3, Y3) and A4 (X4, Y4).
【0069】マスク20のY軸上の各点は、光源1aに
よって、B11,B12,B13,B14,B15,B
16,B17に投影される。これらの点のうち受光XY
平面のY軸と交差するのはB11,B12,B13,B
14であり、B15,B16,B17は交差しない。こ
のことは、スリット状の開口20aの幅で区別すること
ができる。The points on the Y-axis of the mask 20 are B11, B12, B13, B14, B15, B by the light source 1a.
16 and B17. Light reception XY among these points
B11, B12, B13, B intersect with the Y axis of the plane
14 and B15, B16, and B17 do not intersect. This can be distinguished by the width of the slit-shaped opening 20a.
【0070】交差する座標は、前記実施例と同様にし
て、B11[X1+nH0,Y1−H0/(1+dΔ
Y)],B12[X1−nH0,Y1+H0/(1+d
ΔY)],B13[X1−3nH0,Y1+3H0/
(1+dΔY)],B14[X1+3nH0,Y1−3
H0/(1+dΔY)]となる。The intersecting coordinates are B11 [X1 + nH0, Y1-H0 / (1 + dΔ) in the same manner as in the above embodiment.
Y)], B12 [X1-nH0, Y1 + H0 / (1 + d
ΔY)], B13 [X1-3nH0, Y1 + 3H0 /
(1 + dΔY)], B14 [X1 + 3nH0, Y1-3
H0 / (1 + dΔY)].
【0071】同様にして、光源1bによる各交差する座
標は、B21[X2+nH0,Y2−H0/(1+dΔ
Y)],B25[X2−2nH0,Y2+2H0/(1
+dΔY)],B26[X2−4nH0,Y2−4H0
/(1+dΔY)],B27[X2+2nH0,Y2−
2H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1b are B21 [X2 + nH0, Y2-H0 / (1 + dΔ
Y)], B25 [X2-2nH0, Y2 + 2H0 / (1
+ DΔY)], B26 [X2-4nH0, Y2-4H0
/ (1 + dΔY)], B27 [X2 + 2nH0, Y2-
2H0 / (1 + dΔY)].
【0072】同様にして、光源1cによる各交差する座
標は、B31[X3+nH0,Y3−H0/(1+dΔ
Y)],B35[X3−2nH0,Y3+2H0/(1
+dΔY)],B36[X3−4nH0,Y3−4H0
/(1+dΔY)],B37[X3+2nH0,Y3−
2H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1c are B31 [X3 + nH0, Y3-H0 / (1 + dΔ
Y)], B35 [X3-2nH0, Y3 + 2H0 / (1
+ DΔY)], B36 [X3-4nH0, Y3-4H0
/ (1 + dΔY)], B37 [X3 + 2nH0, Y3-
2H0 / (1 + dΔY)].
【0073】同様にして、光源1dによる各交差する座
標は、B41[X4+nH0,Y4−H0/(1+dΔ
Y)],B42[X4−nH0,Y4+H0/(1+d
ΔY)],B43[X4−3nH0,Y4+3H0/
(1+dΔY)],B44[X4+3nH0,Y4−3
H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1d are B41 [X4 + nH0, Y4-H0 / (1 + dΔ
Y)], B42 [X4-nH0, Y4 + H0 / (1 + d
ΔY)], B43 [X4-3nH0, Y4 + 3H0 /
(1 + dΔY)], B44 [X4 + 3nH0, Y4-3
H0 / (1 + dΔY)].
【0074】したがって、投影されたスリット状の開口
の中心線とY軸との交点は、以下の通りである。Therefore, the intersection of the projected center line of the slit-shaped opening and the Y-axis is as follows.
【0075】 I11=nX1+Y …(46) I12=nX1+Y1−H0/(1+dΔY) …(47) I13=−mX1+mnH0+Y1+H0/(1+dΔY) …(48) I14=−mX1+3mnH0+Y1+3H0/(1+dΔY) …(49) I15=mX1−3mnH0+Y1−3H0/(1+dΔY) …(50) I23=mX2−2mnH0+Y2+2H0/(1+dΔY) …(51) I24=mX2−4mnH0+Y2+4H0/(1+dΔY) …(52) I25=−mX2−2mnH0+Y2−2H0/(1+dΔY) …(53) I33=mX3−2mnH0+Y3+2H0/(1+dΔY) …(54) I34=mX3−4mnH0+Y3+4H0/(1+dΔY) …(55) I35=−mX3−2mnH0+Y3−2H0/(1+dΔY) …(56) I43=−mX4+mnH0+Y1+H0/(1+dΔY) …(57) I44=−mX4+3mnH0+Y1+3H0/(1+dΔY) …(58) I45=mX4−3mnH0+Y4−3H0/(1+dΔY) …(59) 式(46),(47)より次式が得られる。[0075] I11 = nX1 + Y (46) I12 = nX1 + Y1-H0 / (1 + dΔY) (47) I13 = -mX1 + mnH0 + Y1 + H0 / (1 + dΔY) (48) I14 = -mX1 + 3mnH0 + Y1 + 3H0 / (1 + dΔY) (49) I15 = mX1-3mnH0 + Y1-3H0 / (1 + dΔY) (50) I23 = mX2-2mnH0 + Y2 + 2H0 / (1 + dΔY) (51) I24 = mX2-4mnH0 + Y2 + 4H0 / (1 + dΔY) (52) I25 = -mX2-2mnH0 + Y2-2H0 / (1 + dΔY) (53) I33 = mX3-2mnH0 + Y3 + 2H0 / (1 + dΔY) (54) I34 = mX3-4mnH0 + Y3 + 4H0 / (1 + dΔY) (55) I35 = -mX3-2mnH0 + Y3-2H0 / (1 + dΔY) (56) I43 = -mX4 + mnH0 + Y1 + H0 / (1 + dΔY) (57) I44 = -mX4 + 3mnH0 + Y1 + 3H0 / (1 + dΔY) (58) I45 = mX4-3mnH0 + Y4-3H0 / (1 + dΔY) (59) The following equation is obtained from the equations (46) and (47).
【0076】 H0/(1+dΔY)=I11−I12 …(60) 式(49),(50)より次式が得られる。[0076] H0 / (1 + dΔY) = I11−I12 (60) The following equation is obtained from the equations (49) and (50).
【0077】 Y1=(I14+I15)/2 …(61) 式(48),(49),(50)より次式が得られる。[0077] Y1 = (I14 + I15) / 2 (61) The following equation is obtained from the equations (48), (49) and (50).
【0078】
mX1=(I15−I14)/2+3(I14−I13)/2 …(62)
式(60),(51),(52),(53)より次式が
得られる。MX1 = (I15-I14) / 2 + 3 (I14-I13) / 2 (62) The following equation is obtained from the equations (60), (51), (52) and (53).
【0079】 Y2=(I23+I25)/2+2(I11−I12)−(I24−I23) …(63) 式(60),(51),(53)より次式が得られる。[0079] Y2 = (I23 + I25) / 2 + 2 (I11-I12)-(I24-I23) … (63) The following equation is obtained from the equations (60), (51) and (53).
【0080】
mX2=(I23−I25)/2−2(I11−I12) …(64)
式(60),(54),(55),(56)より次式が
得られる。MX2 = (I23-I25) / 2-2 (I11-I12) (64) The following formula is obtained from the formulas (60), (54), (55) and (56).
【0081】 Y3=(I33+I35)/2+2(I11−I12)−(I34−I33) …(65) 式(60),(54),(56)より次式が得られる。[0081] Y3 = (I33 + I35) / 2 + 2 (I11-I12)-(I34-I33) … (65) The following equation is obtained from the equations (60), (54) and (56).
【0082】 mX3=(I33−I35)/2−2(I11−I12) …(66) 式(58),(59)より次式が得られる。[0082] mX3 = (I33-I35) / 2-2 (I11-I12) (66) The following equation is obtained from the equations (58) and (59).
【0083】 Y4=(I44+I45)/2 …(67) 式(57),(58),(59)より次式が得られる。[0083] Y4 = (I44 + I45) / 2 (67) The following equation is obtained from the equations (57), (58) and (59).
【0084】
mX3=(I45−I43)+3(I44−I43)/2 …(68)
したがって、以下、前記実施例と同様にして、被検レン
ズ4の光学特性を得ることができる。MX3 = (I45-I43) +3 (I44-I43) / 2 (68) Therefore, the optical characteristics of the lens 4 to be tested can be obtained in the same manner as in the above example.
【0085】次に、本発明の他の実施例におけるマスク
30を図17に示す。Next, FIG. 17 shows a mask 30 according to another embodiment of the present invention.
【0086】マスク30では、スリット状の開口30a
の中心線とスリット状の開口30bの中心線とは互いに
平行である。スリット状の開口30cの中心線とスリッ
ト状の開口30dの中心線とは互いに平行である。スリ
ット状の開口30a’の中心線とスリット状の開口30
b’の中心線とは互いに平行である。スリット状の開口
30c’の中心線とスリット状の開口30d’の中心線
とは互いに平行である。スリット状の開口30a,30
bの中心線とスリット状の開口30c,30dの中心線
とは互いにほぼ垂直である。スリット状の開口30
a’,30b’の中心線とスリット状の開口30c’,
30d’の中心線とは互いにほぼ垂直である。スリット
状の開口30a,30a’の中心線はH0’で、スリッ
ト状の開口30b,30b’の中心線は2H0’で、ス
リット状の開口30c,30c’の中心線は−H0’
で、スリット状の開口30d,30d’の中心線は−2
H0’で、それぞれY軸と交差している。なお、X軸の
正側のスリット状の開口と負側のスリット状の開口とは
幅が異なっており、両者を判別することができるように
なっている。The mask 30 has a slit-shaped opening 30a.
And the center line of the slit-shaped opening 30b are parallel to each other. The center line of the slit-shaped opening 30c and the center line of the slit-shaped opening 30d are parallel to each other. The center line of the slit-shaped opening 30a ′ and the slit-shaped opening 30
The center lines of b'are parallel to each other. The center line of the slit-shaped opening 30c 'and the center line of the slit-shaped opening 30d' are parallel to each other. Slit-shaped openings 30a, 30
The center line of b and the center lines of the slit-shaped openings 30c and 30d are substantially perpendicular to each other. Slit-shaped opening 30
center line of a ', 30b' and slit-shaped opening 30c ',
The center line of 30d 'is substantially perpendicular to each other. The center lines of the slit-shaped openings 30a and 30a ′ are H0 ′, the center lines of the slit-shaped openings 30b and 30b ′ are 2H0 ′, and the center lines of the slit-shaped openings 30c and 30c ′ are −H0 ′.
The center line of the slit-shaped openings 30d and 30d 'is -2.
At H0 ', they intersect the Y axis. The slit-shaped opening on the positive side and the slit-shaped opening on the negative side of the X-axis have different widths so that they can be discriminated from each other.
【0087】このように構成されたスリット状の開口を
有するマスク30を、マスク2の代わりに前記各実施例
と同じ図1の光学系に設置すれば、前記各実施例と同じ
被検レンズ4を通過した光束は、受光XY平面におい
て、図18,図19に示すように投影される。If the mask 30 having the slit-shaped opening thus configured is installed in the optical system of FIG. 1 which is the same as each of the above-described embodiments, instead of the mask 2, the lens 4 to be inspected is the same as that of each of the above-mentioned embodiments. The light flux that has passed through is projected on the light receiving XY plane as shown in FIGS.
【0088】マスク30のスリット状の開口30a,3
0b,30c,30d,30a’,30b’,30
c’,30c’の中心線は、受光XY平面上で、光源1
aによっては31a,31b,31c,31d,31
a’,31b’,31c’,31d’へ、光源1bによ
っては32a,32b,32c,32d,32a’,3
2b’,32c’,32d’へ、光源1cによっては3
3a,33b,33c,33d,33a’,33b’,
33c’,33d’へ、光源1dによっては34a,3
4b,34c,34d,34a’,34b’,34
c’,34d’へ、それぞれ投影される。The slit-shaped openings 30a, 3 of the mask 30
0b, 30c, 30d, 30a ', 30b', 30
The center lines of c ′ and 30c ′ are the light sources 1 on the light receiving XY plane.
31a, 31b, 31c, 31d, 31 depending on a
a ', 31b', 31c ', 31d', depending on the light source 1b, 32a, 32b, 32c, 32d, 32a ', 3
2b ', 32c', 32d ', 3 depending on the light source 1c
3a, 33b, 33c, 33d, 33a ', 33b',
33c ', 33d', 34a, 3 depending on the light source 1d
4b, 34c, 34d, 34a ', 34b', 34
It is projected on c'and 34d ', respectively.
【0089】図18及び図19における各点A1,A
2,A3,A4は、前記実施例と同様、光学特性を示す
点であり、A1(X1,Y1),A2(X2,Y2),
A3(X3,Y3),A4(X4,Y4)となる。Points A1 and A in FIGS. 18 and 19
2, A3 and A4 are points showing optical characteristics as in the above embodiment, and A1 (X1, Y1), A2 (X2, Y2),
It becomes A3 (X3, Y3) and A4 (X4, Y4).
【0090】マスク30のY軸上の各点は、光源1aに
よって、C11,C12,C13,C14に投影され
る。いずれのスリット状の開口の中心線がY軸と交差し
ているかは、スリット状の開口の幅等により区別するこ
とができる。Each point on the Y-axis of the mask 30 is projected on C11, C12, C13, C14 by the light source 1a. Which slit-shaped opening the center line intersects with the Y-axis can be distinguished by the width of the slit-shaped opening or the like.
【0091】交差する座標は、前記各実施例と同様にし
て、C11[X1−nH0,Y1+H0/(1+dΔ
Y)],C12[X1−2nH0,Y1+2H0/(1
+dΔY)],C13[X1+nH0,Y1−H0/
(1+dΔY)],C14[X1+2nH0,Y1−2
H0/(1+dΔY)]となる。The intersecting coordinates are C11 [X1-nH0, Y1 + H0 / (1 + dΔ) in the same manner as in the above embodiments.
Y)], C12 [X1-2nH0, Y1 + 2H0 / (1
+ DΔY)], C13 [X1 + nH0, Y1-H0 /
(1 + dΔY)], C14 [X1 + 2nH0, Y1-2
H0 / (1 + dΔY)].
【0092】同様にして、光源1bによる各交差する座
標は、C21[X2−nH0,Y2+H0/(1+dΔ
Y)],C22[X2−2nH0,Y2+2H0/(1
+dΔY)],C23[X2+nH0,Y2−H0/
(1+dΔY)],C24[X2+2nH0,Y2−2
H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1b are C21 [X2-nH0, Y2 + H0 / (1 + dΔ
Y)], C22 [X2-2nH0, Y2 + 2H0 / (1
+ DΔY)], C23 [X2 + nH0, Y2-H0 /
(1 + dΔY)], C24 [X2 + 2nH0, Y2-2
H0 / (1 + dΔY)].
【0093】同様にして、光源1cによる各交差する座
標は、C31[X3−nH0,Y3+H0/(1+dΔ
Y)],C32[X3−2nH0,Y3+2H0/(1
+dΔY)],C33[X3+nH0,Y3−H0/
(1+dΔY)],C34[X3+2nH0,Y3−2
H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1c are C31 [X3-nH0, Y3 + H0 / (1 + dΔ
Y)], C32 [X3-2nH0, Y3 + 2H0 / (1
+ DΔY)], C33 [X3 + nH0, Y3-H0 /
(1 + dΔY)], C34 [X3 + 2nH0, Y3-2
H0 / (1 + dΔY)].
【0094】同様にして、光源1dによる各交差する座
標は、C41[X4−nH0,Y4+H0/(1+dΔ
Y)],C42[X4−2nH0,Y4+2H0/(1
+dΔY)],C43[X4+nH0,Y4−H0/
(1+dΔY)],C44[X4+2nH0,Y4−2
H0/(1+dΔY)]となる。Similarly, the intersecting coordinates of the light source 1d are C41 [X4-nH0, Y4 + H0 / (1 + dΔ
Y)], C42 [X4-2nH0, Y4 + 2H0 / (1
+ DΔY)], C43 [X4 + nH0, Y4-H0 /
(1 + dΔY)], C44 [X4 + 2nH0, Y4-2
H0 / (1 + dΔY)].
【0095】したがって、投影されたスリット状の開口
の中心線とY軸との交点は、以下の通りである。Therefore, the intersection of the projected center line of the slit-shaped opening and the Y axis is as follows.
【0096】 K11=−mX1+mnH0+Y1+H0/(1+dΔY) …(69) K12=−mX1+2mnH0+Y1+2H0/(1+dΔY) …(70) K13=mX1+mnH0+Y1−H0/(1+dΔY) …(71) K14=mX1+2mnH0+Y1−2H0/(1+dΔY) …(72) K21=mX2−mnH0+Y2+H0/(1+dΔY) …(73) K22=mX2−2mnH0+Y2+2H0/(1+dΔY) …(74) K23=−mX2−mnH0+Y2−H0/(1+dΔY) …(75) K24=−mX2−2mnH0+Y2−2H0/(1+dΔY) …(76) K31=mX3−mnH0+Y3+H0/(1+dΔY) …(77) K32=mX3−2mnH0+Y3+2H0/(1+dΔY) …(78) K33=−mX3−mnH0+Y3−H0/(1+dΔY) …(79) K34=−mX3−2mnH0+Y3−2H0/(1+dΔY) …(80) K41=−mX4+mnH0+Y4+H0/(1+dΔY) …(81) K42=−mX4+2mnH0+Y4+2H0/(1+dΔY) …(82) K43=mX4+mnH0+Y4−H0/(1+dΔY) …(85) K44=mX4+2mnH0+Y4−2H0/(1+dΔY) …(84) 式(69),(70)より次式が得られる。[0096] K11 = -mX1 + mnH0 + Y1 + H0 / (1 + dΔY) (69) K12 = -mX1 + 2mnH0 + Y1 + 2H0 / (1 + dΔY) (70) K13 = mX1 + mnH0 + Y1-H0 / (1 + dΔY) (71) K14 = mX1 + 2mnH0 + Y1-2H0 / (1 + dΔY) (72) K21 = mX2-mnH0 + Y2 + H0 / (1 + dΔY) (73) K22 = mX2-2mnH0 + Y2 + 2H0 / (1 + dΔY) (74) K23 = -mX2-mnH0 + Y2-H0 / (1 + dΔY) (75) K24 = -mX2-2mnH0 + Y2-2H0 / (1 + dΔY) (76) K31 = mX3-mnH0 + Y3 + H0 / (1 + dΔY) (77) K32 = mX3-2mnH0 + Y3 + 2H0 / (1 + dΔY) (78) K33 = -mX3-mnH0 + Y3-H0 / (1 + dΔY) (79) K34 = -mX3-2mnH0 + Y3-2H0 / (1 + dΔY) (80) K41 = -mX4 + mnH0 + Y4 + H0 / (1 + dΔY) (81) K42 = -mX4 + 2mnH0 + Y4 + 2H0 / (1 + dΔY) (82) K43 = mX4 + mnH0 + Y4-H0 / (1 + dΔY) (85) K44 = mX4 + 2mnH0 + Y4-2H0 / (1 + dΔY) (84) The following equation is obtained from the equations (69) and (70).
【0097】 HO/(1+dΔY)=[(K13−K14)−(K11−K12)]/2 …(85) Y1=(K11+K13)/2+[(K13−K14)+(K11−K12) ]/2 …(86) mX1=(K13−K11)/2+[(K13−K14)−(K11−K12 )]/2 …(87) 式(73)〜(76)より次式が得られる。HO / (1 + dΔY) = [(K13−K14) − (K11−K12)] / 2 (85) Y1 = (K11 + K13) / 2 + [(K13−K14) + (K11−K12)] / 2 (86) m X1 = (K13−K11) / 2 + [(K13−K14) − (K11−K12)] / 2 (87) The following equations are obtained from the equations (73) to (76).
【0098】 Y2=(K21+K23)/2+[(K23−K24)+(K21−K22 )]/2 …(88) mX2=(K21−K23)/2+[(K23−K24)−(K21−K2 2)]/2 …(89) 式(77)〜(80)より次式が得られる。[0098] Y2 = (K21 + K23) / 2 + [(K23-K24) + (K21-K22 )] / 2 (88) mX2 = (K21-K23) / 2 + [(K23-K24)-(K21-K2 2)] / 2 (89) The following equation is obtained from the equations (77) to (80).
【0099】 Y3=(K31+K33)/2+[(K33−K34)+(K31−K32) ]/2 …(90) mX3=(K31−K33)/2+[(K33−K34)−(K31−K32 )]/2 …(91) 式(81)〜(84)より次式が得られる。Y3 = (K31 + K33) / 2 + [(K33−K34) + (K31−K32)] / 2 (90) m X3 = (K31−K33) / 2 + [(K33−K34) − (K31−K32) )] / 2 (91) The following equation is obtained from equations (81) to (84).
【0100】
Y4=(K41+K43)/2+[(K43−K44)+(K41−K42
)]/2 …(92)
mX4=(K43−K41)/2+[(K43−K44)−(K41−K4
2)]/2 …(93)
したがって、以下、前記各実施例と同様にして、被検レ
ンズ4の光学特性を得ることができる。Y4 = (K41 + K43) / 2 + [(K43-K44) + (K41-K42)] / 2 (92) mX4 = (K43-K41) / 2 + [(K43-K44)-(K41-K42) )] / 2 (93) Therefore, the optical characteristics of the lens 4 to be inspected can be obtained in the same manner as in each of the examples.
【0101】ところで、以上説明した各実施例のマスク
の形状は、例えば、Y軸方向において、少なくとも4点
又は5点以上の交差があればよいので、図12のマスク
121のようなものでもよいし、また、スリット状の開
口の中心線が平行であればよいので、図13のマスク1
22のようにスリット状の開口は、平行でなくともよ
く、図14のマスク123のように直線でなくてもよ
い。傾斜角は45゜に限定されるものではない。図15
は、前記実施例のマスク102’の一例である。By the way, the shape of the mask of each of the embodiments described above may be, for example, the one like the mask 121 of FIG. 12 as long as there are at least 4 or 5 or more intersections in the Y-axis direction. In addition, since the center lines of the slit-shaped openings may be parallel to each other, the mask 1 of FIG.
The slit-shaped openings like 22 do not have to be parallel and do not have to be straight like the mask 123 of FIG. The inclination angle is not limited to 45 °. Figure 15
Is an example of the mask 102 'of the above embodiment.
【0102】図12のマスク121は、中心線がX軸上
にあるスリット状の開口121aと、中心線がX軸に平
行なスリット状の開口121bと、中心線の傾斜角が4
5゜のスリット状の開口121dと、中心線の傾斜角が
−45゜のスリット状の開口121eとを有している。
スリット状の開口121aの幅とスリット状の開口12
1bの幅とは異なっている。The mask 121 of FIG. 12 has a slit-shaped opening 121a whose center line is on the X-axis, a slit-shaped opening 121b whose center line is parallel to the X-axis, and an inclination angle of the center line is 4 degrees.
It has a slit-shaped opening 121d of 5 ° and a slit-shaped opening 121e having a centerline inclination angle of −45 °.
The width of the slit-shaped opening 121a and the slit-shaped opening 12
It is different from the width of 1b.
【0103】図13のマスク122は、中心線がX軸上
にあるスリット状の開口122aと、中心線がX軸に平
行なスリット状の開口122b〜122dと、中心線の
傾斜角が45゜のスリット状の開口122e,122f
と、中心線の傾斜角が−45゜のスリット状の開口12
2g〜122jとを有している。スリット状の開口12
2a〜122bは、Y軸に向かうほど幅狭になってい
る。The mask 122 of FIG. 13 has a slit-shaped opening 122a whose center line is on the X axis, slit-shaped openings 122b to 122d whose center line is parallel to the X axis, and an inclination angle of the center line is 45 °. Slit-shaped openings 122e, 122f
And a slit-shaped opening 12 with a centerline inclination angle of -45 °
2g to 122j. Slit-shaped opening 12
2a to 122b are narrower toward the Y axis.
【0104】図14のマスク123は、中心線がX軸方
向に対して若干湾曲した既知の曲線をなすスリット状の
開口123a,123bと、中心線の傾斜角が45゜の
スリット状の開口123c〜123eと、中心線の傾斜
角が−45゜のスリット状の開口123f〜122hと
を有している。The mask 123 of FIG. 14 has slit-shaped openings 123a and 123b forming a known curve whose center line is slightly curved with respect to the X-axis direction, and a slit-shaped opening 123c whose center line has an inclination angle of 45 °. .About.123e and slit-shaped openings 123f to 122h having a centerline inclination angle of -45.degree.
【0105】図15のマスク102’は、中心線がX軸
に平行なスリット状の開口102a〜102fと、中心
線の傾斜角が45゜のスリット状の開口102gと、中
心線の傾斜角が−45゜のスリット状の開口102hと
を有している。The mask 102 'shown in FIG. 15 has slit-shaped openings 102a to 102f whose center lines are parallel to the X-axis, slit-shaped openings 102g having a center line inclination angle of 45 °, and center line inclination angles. It has a -45 ° slit-shaped opening 102h.
【0106】また、以上説明した各マスクでは、各スリ
ット状の開口の中心線を測定の基準線としており、この
基準線がY軸と交差する位置を測定データとしていた。
しかし、各スリット状の開口の中心線の代わりにスリッ
ト状の開口の境界線(縁の線)を測定の基準線として、
この境界線がY軸と交差する位置を測定データとしても
よい。このように、開口の境界線に基づいて測定データ
を得る場合には、通常の意味のスリット開口のみならず
境界線を除く開口自体の形状は任意であってよい。例え
ば、図20に示すマスク200は、前記図14に示すマ
スク24と実質的に同一であり、本発明において用いる
ことができる。マスク200では、マスク24のスリッ
ト状の開口123e,123hと同一のスリット状の開
口200e,200hと、マスク24のスリット状の開
口123c,123d,123f,123gを打ち抜い
た形状の開口(これも本明細書ではスリット状の開口と
いう)200aと、マスク24のスリット状の開口12
3a,123bを打ち抜いた形状の開口(これも本明細
書ではスリット状の開口という)200bとを有してい
る。本発明における、「スリット状の光束」とは、通常
の意味のスリット開口を通過した光束のみならず、この
ような所定形状の境界線を有する任意形状の開口を通過
した光束も含むものである。In each of the masks described above, the center line of each slit-shaped opening is used as the reference line for measurement, and the position where this reference line intersects the Y axis is used as the measurement data.
However, instead of the center line of each slit-shaped opening, the boundary line (edge line) of the slit-shaped opening is used as a reference line for measurement,
The position where this boundary line intersects the Y axis may be used as the measurement data. As described above, when the measurement data is obtained based on the boundary line of the opening, not only the slit opening having the usual meaning but also the shape of the opening itself excluding the boundary line may be arbitrary. For example, the mask 200 shown in FIG. 20 is substantially the same as the mask 24 shown in FIG. 14 and can be used in the present invention. In the mask 200, slit-shaped openings 200e and 200h that are the same as the slit-shaped openings 123e and 123h of the mask 24 and openings that are punched out of the slit-shaped openings 123c, 123d, 123f, and 123g of the mask 24 (also this In the specification, referred to as a slit-shaped opening) 200a and the slit-shaped opening 12 of the mask 24.
It has an opening 200b (also referred to as a slit-shaped opening in the present specification) formed by punching out 3a and 123b. In the present invention, the "slit-shaped light beam" includes not only a light beam that has passed through a slit opening in the ordinary sense, but also a light beam that has passed through an arbitrary-shaped opening having a boundary line of such a predetermined shape.
【0107】ところで、以上説明した各実施例に関して
説明したような演算を演算制御回路11に行わせるよう
にすると、演算に時間がかかるとか、光学系の配置によ
り前述の各定数等が変化したりする。そのため、実際の
装置では、装置を作った後、予め光学特性のわかってい
るレンズを用いて測定を行い、そのときの各光源点灯時
の一次元受光センサ7の出力を前記既知の光学特性と対
応させて演算制御回路11に記憶させておくようにする
ことにより、前述の不都合を解消できる。このように一
次元受光センサ7の出力と光学特性と対応づけるように
しておけば、何ら複雑な手間を付加することなく、光学
系の配置を比較的自由にできる。By the way, if the arithmetic control circuit 11 is made to perform the arithmetic operations described in connection with the above-described respective embodiments, the arithmetic operations will take a long time, and the above-mentioned constants will change depending on the arrangement of the optical system. To do. Therefore, in an actual device, after the device is manufactured, the measurement is performed using a lens whose optical characteristics are known in advance, and the output of the one-dimensional light receiving sensor 7 when each light source is turned on at that time is compared with the known optical characteristics. The above-mentioned inconvenience can be eliminated by storing the corresponding data in the arithmetic control circuit 11. By thus associating the output of the one-dimensional light receiving sensor 7 with the optical characteristics, the arrangement of the optical system can be made relatively free without adding any complicated labor.
【0108】したがって、例えば、集光レンズ3の前側
焦点面がマスク2と必ずしも一致していなくてもよい。
各光源1a、1b、1c、1dとレンズホルダー5のホ
ルダー面とを共役にしなくてもよい。投影レンズ7の前
側焦点面とレンズホルダー5のホルダー面とを一致させ
なくてもよいし、投影レンズ7の後側焦点面と一次元受
光センサ7の受光面とを一致させなくてもよい。各光源
1a、1b、1c、1dの配置も任意に定めることがで
きる。Therefore, for example, the front focal plane of the condenser lens 3 does not necessarily have to coincide with the mask 2.
The respective light sources 1a, 1b, 1c, 1d and the holder surface of the lens holder 5 do not have to be conjugated. The front focal plane of the projection lens 7 and the holder surface of the lens holder 5 do not have to match, and the rear focal plane of the projection lens 7 and the light receiving surface of the one-dimensional light receiving sensor 7 do not have to match. The arrangement of the respective light sources 1a, 1b, 1c, 1d can also be arbitrarily determined.
【0109】また、本発明では、例えば、以上説明した
各実施例において、図16に示すように被検レンズ4及
びレンズホルダー5の向きを逆向きに配置してもよい。
図16に示すように配置した場合、レンズホルダー面に
適当な絞りを配置してもよい。In the present invention, for example, in each of the embodiments described above, the lens 4 to be inspected and the lens holder 5 may be arranged in opposite directions as shown in FIG.
When arranged as shown in FIG. 16, an appropriate diaphragm may be arranged on the lens holder surface.
【0110】[0110]
【発明の効果】本発明によれば、単一の一次元受光セン
サを用いたにもかかわらず、演算時間を短縮することが
できるとともに測定精度の良い光学特性測定装置を提供
することができる。また、一つの一次元受光センサで被
検光学系の光学特性を正確に得ることができ、しかも、
光路分割器を必要としないので、測光光量を有効に活用
することができて測定精度を高めることができるととも
に、機構を単純化することができる効果が得られる。According to the present invention, although a single one-dimensional light receiving sensor is used, it is possible to provide an optical characteristic measuring device capable of shortening the calculation time and having high measurement accuracy. Moreover, the optical characteristics of the optical system to be tested can be accurately obtained with one one-dimensional light receiving sensor, and moreover,
Since no optical path divider is required, the amount of photometric light can be effectively used, the measurement accuracy can be improved, and the mechanism can be simplified.
【図1】本発明の一実施例に係る光学特性測定装置の光
学系を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical system of an optical characteristic measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1におけるA矢視図である。FIG. 2 is a view on arrow A in FIG.
【図3】図1におけるB矢視図である。FIG. 3 is a view on arrow B in FIG.
【図4】図1におけるC矢視図である。FIG. 4 is a view on arrow C in FIG.
【図5】前記光学特性測定装置の電気回路図である。FIG. 5 is an electric circuit diagram of the optical characteristic measuring apparatus.
【図6】ネジレ量の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a twist amount.
【図7】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平面
上の投影光束を示す図である。7 is a diagram showing a projected light flux on a light-receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG.
【図8】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平面
上の他の投影光束を示す図である。8 is a diagram showing another projected light flux on the light-receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG.
【図9】本発明の他の実施例に係る光学特性測定装置に
用いられるマスクを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to another embodiment of the present invention.
【図10】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平
面上の投影光束を示す図である。10 is a diagram showing a projected light flux on the light-receiving XY plane as seen from the direction of arrow C in FIG.
【図11】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平
面上の他の投影光束を示す図である。11 is a diagram showing another projected light flux on the light receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG.
【図12】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 12 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
【図13】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 13 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
【図14】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 14 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
【図15】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
【図16】図1に示す光学系の変形例を示す図である。16 is a diagram showing a modified example of the optical system shown in FIG.
【図17】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
【図18】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平
面上の投影光束を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a projected light flux on the light-receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG. 1.
【図19】図1におけるC矢視方向から見た受光XY平
面上の他の投影光束を示す図である。19 is a diagram showing another projected light flux on the light-receiving XY plane viewed from the direction of arrow C in FIG.
【図20】本発明の更に他の実施例に係る光学特性測定
装置に用いられるマスクを示す図である。FIG. 20 is a view showing a mask used in an optical characteristic measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention.
1a〜1d 光源
2,20,30,102’,121,122,123,
200 マスク
3 集光レンズ
4 被検レンズ
6 投影レンズ
7 一次元受光センサ1a to 1d light sources 2, 20, 30, 102 ', 121, 122, 123,
200 Mask 3 Condenser lens 4 Test lens 6 Projection lens 7 One-dimensional photo sensor
Claims (6)
する照射手段と、前記照射手段による光束を透過率の異
なる境界を有する光束にする遮光手段と、前記透過率の
異なる境界を有する光束を前記被検光学系に対して集束
させる集束光学系と、一次元の受光位置に応じた出力信
号を出力する一つの一次元受光センサと、該一つの一次
元受光センサ上に前記被検光学系を通過した各光束を投
影させる投影光学系と、前記一つの一次元受光センサの
出力信号に基づいて、前記透過率の異なる境界を有する
光束に基づく各光束の前記一つの一次元受光センサ上の
投影位置にそれぞれ応じた各投影位置データを得る投影
位置データ抽出手段と、該各投影位置データに基づいて
前記被検光学系の屈折力を得る演算手段とを備えてな
り、前記遮光手段による前記透過率の異なる境界を有す
る光束の中心線又は境界線は少なくとも一対以上の平行
線と少なくとも2本以上の線とで構成され、前記少なく
とも一対以上の平行線のうちの少なくとも一対の平行線
は前記一次元受光センサの受光軸に対してほぼ垂直であ
り、前記少なくとも2本以上の線のうちの少なくとも2
本は互いにほぼ垂直であることを特徴とする光学系の光
学特性測定装置。1. An irradiation unit having four or more light sources directed to an optical system to be inspected, a light shielding unit for converting a light beam from the irradiation unit into a light beam having a boundary having a different transmittance, and a boundary having a different transmittance. A focusing optical system that focuses a light beam that it has on the test optical system, one one-dimensional light receiving sensor that outputs an output signal according to a one-dimensional light receiving position, and the one target one-dimensional light receiving sensor on which the one-dimensional light receiving sensor is provided. Based on the output signal of the projection optical system for projecting each light beam that has passed through the inspection optical system and the one-dimensional light receiving sensor, the one-dimensional light reception of each light beam based on the light beam having the boundary with different transmittance. Projection position data extraction means for obtaining each projection position data corresponding to each projection position on the sensor, and calculation means for obtaining the refracting power of the optical system to be tested based on each projection position data are provided. By means A center line or a boundary line of a light flux having a boundary having different transmittance is composed of at least a pair of parallel lines and at least two lines, and at least a pair of parallel lines of the at least a pair of parallel lines. Is substantially perpendicular to the light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor, and at least two of the at least two or more lines are
An optical characteristic measuring device for an optical system, wherein the books are substantially perpendicular to each other.
する照射手段と、前記照射手段による光束を透過率の異
なる境界を有する光束にする遮光手段と、前記透過率の
異なる境界を有する光束を前記被検光学系に対して集束
させる集束光学系と、一次元の受光位置に応じた出力信
号を出力する一つの一次元受光センサと、該一つの一次
元受光センサ上に前記被検光学系を通過した各光束を投
影させる投影光学系と、前記一つの一次元受光センサの
出力信号に基づいて、前記透過率の異なる境界を有する
光束に基づく各光束の前記一つの一次元受光センサ上の
投影位置にそれぞれ応じた各投影位置データを得る投影
位置データ抽出手段と、該各投影位置データに基づいて
前記被検光学系の屈折力を得る演算手段とを備えてな
り、前記遮光手段による前記透過率の異なる境界を有す
る光束の中心線又は境界線は、少なくとも二対以上の平
行線と少なくとも1本以上の線とで構成され、前記少な
くとも二対以上の平行線のうちの少なくとも一対の平行
線は前記一次元受光センサの受光軸に対してほぼ垂直で
あり、前記遮光手段による前記透過率の異なる境界を有
する光束の中心線又は境界線のうちの少なくとも1本の
中心線又は境界線は前記少なくとも二対以上の平行線の
うちの少なくとも一対の平行線に対してほぼ垂直である
ことを特徴とする光学系の光学特性測定装置。2. An illuminating device having four or more light sources directed to the optical system to be tested, a light-shielding device for making a light beam from the illuminating device a light beam having a boundary having a different transmittance, and a boundary having a different transmittance. A focusing optical system that focuses a light beam that it has on the test optical system, one one-dimensional light receiving sensor that outputs an output signal according to a one-dimensional light receiving position, and the one target one-dimensional light receiving sensor on which the one-dimensional light receiving sensor is provided. Based on the output signal of the projection optical system for projecting each light beam that has passed through the inspection optical system and the one-dimensional light receiving sensor, the one-dimensional light reception of each light beam based on the light beam having the boundary with different transmittance. Projection position data extraction means for obtaining each projection position data corresponding to each projection position on the sensor, and calculation means for obtaining the refracting power of the optical system to be tested based on each projection position data are provided. By means The center line or boundary line of the light flux having a boundary having different transmittance is composed of at least two pairs of parallel lines and at least one line, and at least one pair of the at least two pairs of parallel lines. Parallel lines are substantially perpendicular to the light receiving axis of the one-dimensional light receiving sensor, and at least one center line or boundary of the center lines or boundary lines of the light beam having the boundary of different transmittance by the light shielding means. An optical characteristic measuring apparatus for an optical system, wherein the line is substantially perpendicular to at least one pair of parallel lines among the at least two pairs of parallel lines.
する照射手段と、前記照射手段による光束を透過率の異
なる境界を有する光束にする遮光手段と、前記透過率の
異なる境界を有する光束を前記被検光学系に対して集束
させる集束光学系と、一次元の受光位置に応じた出力信
号を出力する一つの一次元受光センサと、該一つの一次
元受光センサ上に前記被検光学系を通過した各光束を投
影させる投影光学系と、前記一つの一次元受光センサの
出力信号に基づいて、前記透過率の異なる境界を有する
光束に基づく各光束の前記一つの一次元受光センサ上の
投影位置にそれぞれ応じた各投影位置データを得る投影
位置データ抽出手段と、該各投影位置データに基づいて
前記被検光学系の屈折力を得る演算手段とを備えてな
り、前記遮光手段による前記透過率の異なる境界を有す
る光束の中心線又は境界線は、少なくとも二対以上の平
行線で構成され、前記少なくとも二対以上の平行線のう
ちの一対は前記少なくとも二対以上の平行線のうちの他
の一対に対してほぼ垂直であることを特徴とする光学系
の光学特性測定装置。3. An irradiation unit having four or more light sources directed to the optical system to be tested, a light shielding unit for converting a light beam from the irradiation unit into a light beam having a boundary having a different transmittance, and a boundary having a different transmittance. A focusing optical system that focuses a light beam that it has on the test optical system, one one-dimensional light receiving sensor that outputs an output signal according to a one-dimensional light receiving position, and the one target one-dimensional light receiving sensor on which the one-dimensional light receiving sensor is provided. Based on the output signal of the projection optical system for projecting each light beam that has passed through the inspection optical system and the one-dimensional light receiving sensor, the one-dimensional light reception of each light beam based on the light beam having the boundary with different transmittance. Projection position data extraction means for obtaining each projection position data corresponding to each projection position on the sensor, and calculation means for obtaining the refracting power of the optical system to be tested based on each projection position data are provided. By means The center line or boundary line of the light flux having a boundary having different transmittance is composed of at least two or more pairs of parallel lines, and a pair of the at least two or more pairs of parallel lines is the at least two or more pairs of parallel lines. An optical characteristic measuring device for an optical system, which is substantially perpendicular to the other pair.
次照射し、前記投影位置データ抽出手段は、前記4つ以
上の光源のうちのいずれの光束が照射されているかを判
別する判別信号を得る判別手段を含むとともに、前記判
別信号及び前記一つの一次元受光センサの出力信号に基
づいて前記各投影位置データを得ることを特徴とする請
求項1乃至3のいずれかに記載の光学系の光学特性測定
装置。4. The irradiating means sequentially irradiates the four or more light sources, and the projection position data extracting means discriminates which light flux of the four or more light sources is irradiated. 4. The optical system according to claim 1, further comprising a discriminating unit for obtaining the projection position data, based on the discrimination signal and the output signal of the one one-dimensional light receiving sensor. Optical characteristic measuring device.
検光学系のプリズム屈折力を得る演算手段を更に備える
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光
学系の光学特性測定装置。5. The optical characteristic of the optical system according to claim 1, further comprising a computing unit that obtains a prismatic power of the optical system to be tested based on each projection position data. measuring device.
位置が仮想的な同心円上にあって90゜ずつの角度をな
すように定められたことを特徴とする請求項1乃至3の
いずれかに記載の光学系の光学特性測定装置。6. Each of the focusing positions is set at four positions, and the focusing positions are set so as to form an angle of 90 ° on a virtual concentric circle. An optical characteristic measuring device for an optical system according to any one of the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27302094A JP3371235B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Optical characteristic measuring device for optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27302094A JP3371235B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Optical characteristic measuring device for optical system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08110284A JPH08110284A (en) | 1996-04-30 |
JP3371235B2 true JP3371235B2 (en) | 2003-01-27 |
Family
ID=17522049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27302094A Expired - Fee Related JP3371235B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | Optical characteristic measuring device for optical system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3371235B2 (en) |
-
1994
- 1994-10-12 JP JP27302094A patent/JP3371235B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08110284A (en) | 1996-04-30 |
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