JPH11335655A - エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 - Google Patents

エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法

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JPH11335655A
JPH11335655A JP10141534A JP14153498A JPH11335655A JP H11335655 A JPH11335655 A JP H11335655A JP 10141534 A JP10141534 A JP 10141534A JP 14153498 A JP14153498 A JP 14153498A JP H11335655 A JPH11335655 A JP H11335655A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パ
ターンを切削屑などから保護するために用いられるウエ
ハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物であって、シー
ト剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水
で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去するこ
とができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着
剤組成物を提供すること。 【解決手段】 本発明に係るエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物は、エネルギー線重合性基と酸性基とを含
有する重合体（Ａ）と、中和剤（Ｂ）とからなることを
特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の技術分野】本発明はエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しく
はウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターン
を切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面
保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関
する。
【０００２】
【発明の技術的背景】シリコン、ガリウムヒ素などの半
導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ
法などによってパターンが形成される。次いで表面にパ
ターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シ
ートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなど
により研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウ
エハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工
程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがある
ため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパ
ターンが形成されたウエハの厚みを調節することにあ
る。
【０００３】ところで、表面にパターンが形成されたウ
エハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩
屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去す
るために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハ
の裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏
面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエ
ハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表
面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
【０００４】このような粘着シートとしては、特開昭６
２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオ
ン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、ある
いは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性
粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そ
のまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分によ
る汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるように
した親水性タイプのものと、特開平８−２７２３９号公
報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギ
ー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させること
により、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないよ
うにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
【０００５】上記２種類のタイプのウエハ裏面研磨用粘
着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜
に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化
に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエ
ハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シー
トが要望されてくる。
【０００６】しかし、このようなエネルギー線硬化型の
粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事
由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射に
よる異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシ
ート表面に付着することによるエネルギー線の照射不
良、粘着剤の凝集力不足、粘着剤の組成の不均一等）に
よりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該残留粘
着剤を水洗浄によっては除去できないという問題があ
る。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤がウ
エハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄が行
われていたが、環境保全等の点からも改善の必要があっ
た。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、ウエハ裏面の研摩時に、ウエ
ハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために
用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物
を提供することを目的としている。
【０００８】また本発明は、粘着シート剥離後に粘着剤
がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することに
よって容易に残留粘着剤を除去することができるよう
な、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供
することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物は、エネルギー線重合性基と酸性基とを含
有する重合体（Ａ）と、中和剤（Ｂ）とからなることを
特徴としている。
【００１０】ここで、前記重合体（Ａ）は、官能基含有
モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）と該官
能基に反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含
有化合物（A2）とを反応させて得られる、側鎖にエネル
ギー線重合性基を有する重合体であって、かつ前記官能
基の全部または一部が酸性基であり、（A1）と（A2）と
の反応後も酸性基の少なくも一部が重合体（Ａ）中に残
存している重合体であることが好ましい。
【００１１】特に、前記官能基含有モノマー単位を有す
るアクリル系共重合体（A1）は、酸性基含有重合性モノ
マー（a1）と該モノマーと共重合可能な他のモノマー
（a2）とを重合することにより得られる重合体であるこ
とが好ましい。
【００１２】ここで、前記共重合可能な他のモノマー
（a2）は、下記式にて示される化合物であることが特に
好ましい。
【００１３】
【化２】
【００１４】（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独
立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２
の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭
化水素基であり、ｎは１〜１０である。） また本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成
物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重合開始剤を含
有することが好ましい。
【００１５】本発明に係る粘着シートは、基材上に、上
記の粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されてなるこ
とを特徴とし、特にウエハ加工に好ましく用いられる。
このような粘着シートは、該粘着シートを、パターンが
形成されたウエハ表面に貼着し、水をウエハ裏面に供給
しながらウエハ裏面を研摩する工程を含むウエハ裏面の
研摩方法に好ましく使用される。
【００１６】本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬
化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照
射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの
剥離を容易に行うことができる。しかも、粘着剤の組成
が均一であり、また凝集力にも優れるため、粘着シート
を剥離しても、粘着剤が被着体表面に残存することはな
い。さらに、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残
存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留
粘着剤を除去することができる。
【００１７】
【発明の具体的説明】以下、本発明に係るエネルギー線
硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法につい
て、具体的に説明する。
【００１８】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘
着剤組成物は、（Ａ）エネルギー線重合性基と酸性基と
を含有する重合体と、（Ｂ）中和剤とからなることを特
徴としている。各成分について、以下に具体例を挙げて
説明する。
【００１９】（Ａ）エネルギー線重合性基と酸性基とを
含有する重合体 重合体（Ａ）は、エネルギー線重合性基を含む繰り返し
単位と、酸性基を含む繰り返し単位とを含有する重合体
である。エネルギー線重合性基としては、炭素−炭素二
重結合基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基等が存在
するが、好ましくは炭素−炭素二重結合が選択される。
また酸性基としては、カルボキシル基等があげられる。
なお、カルボキシル基は、酸無水物から誘導されるもの
であってもよい。さらに、重合体（Ａ）には、上記の繰
り返し単位のみならず、本発明の目的に反しない範囲
で、種々の繰り返し単位を含ませることができる。
【００２０】重合体（Ａ）中において、エネルギー線重
合性基を含む繰り返し単位と、酸性基を含む繰り返し単
位と、他の繰り返し単位との総和１００モル％に対し
て、エネルギー線重合性基を含む繰り返し単位は、好ま
しくは０．１〜６０モル％、さらに好ましくは０．５〜
５０モル％、特に好ましくは１．０〜３０モル％の割合
で含有され、酸性基を含む繰り返し単位は、好ましくは
０．０５〜５０モル％、さらに好ましくは０．１〜４０
モル％、特に好ましくは０．５〜２０モル％の割合で含
有され、他の繰り返し単位は、好ましくは０〜９９．８
５モル％、さらに好ましくは０〜９９．４モル％、特に
好ましくは５０〜９８．５モル％の割合で含有されてい
る。
【００２１】上記のような重合体（Ａ）は、たとえば官
能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A
1）と、該官能基に反応する置換基を有するエネルギー
線重合性基含有化合物（A2）とを反応させて得られる。
なお、官能基含有モノマー単位の全部または一部は、官
能基として酸性基を含んでおり、（A1）と（A2）との反
応後にも、酸性基の少なくとも一部が重合体（Ａ）中に
残留している。
【００２２】官能基として酸性基を含む官能基含有モノ
マー（a1）は、重合性の二重結合と、カルボキシル基等
の酸性基を分子内に有するモノマーであり、好ましくは
カルボキシル基含有不飽和化合物が用いられる。
【００２３】カルボキシル基含有不飽和化合物のさらに
具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロ
トン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアル
キルイタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキ
ルフマル酸等があげられ、また、無水マレイン酸を用い
て重合し、これを加水分解することで、重合体（Ａ）中
にカルボキシル基を導入することもできる。
【００２４】上記の官能基含有モノマーは、１種単独
で、または２種以上を組み合わせて用いてもよい。アク
リル系共重合体（A1）は、上記酸性基含有モノマー（a
1）から導かれる構成単位を必須単位とし、これに加
え、該酸性基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモ
ノマー（a2）から導かれる構成単位を含んでいてもよ
い。
【００２５】上記酸性基含有重合性モノマーと共重合可
能な他のモノマー（a2）としては、重合性の炭素−炭素
二重結合を１個以上有する化合物であれば、特に制限さ
れることなく種々のモノマーが用いられうるが、特に下
記式にて示される化合物が好ましい。
【００２６】
【化３】
【００２７】式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立
に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
【００２８】Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基
であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロ
ピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、s
ec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキ
レン基である。
【００２９】これらの中でも、Ｒ1としては特に、エチ
レン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好
ましい。Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好
ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、
n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-
ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等
の炭素数１〜６のアルキル基である。
【００３０】これらの中でも、Ｒ2としては特に、エチ
ル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチ
ル、tert-ブチルが好ましい。したがって、本発明にお
いて用いられるモノマー（a2）としては、特に2-メトキ
シエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メ
タ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレ
ート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアル
コキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好まし
い。
【００３１】このようなアルコキシ基含有（メタ）アク
リル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み
合わせて用いることができる。さらに、モノマー（a2）
としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エ
ステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である
（メタ）アクリル酸エステルを用いることができる。ま
た、モノマー（a2）の中でも、酸性基以外の官能基を含
有するモノマーを用いると、共重合体（A1）中に酸性基
以外の官能基を導入することができる。これらの酸性基
以外の官能基は、後述するエネルギー線重合性基含有化
合物（A2）との反応に用いることができる。酸性基以外
の官能基を含む官能基含有モノマーは、重合性の二重結
合と、ヒドロキシル基、アミノ基、置換アミノ基、エポ
キシ基等の官能基を分子内に有するモノマーであり、好
ましくはヒドロキシル基含有不飽和化合物、エポキシ基
含有不飽和化合物が用いられる。
【００３２】ヒドロキシル基含有不飽和化合物の具体的
な例としては、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピル
アクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート等
があげられる。
【００３３】アミノ基または置換アミノ基含有不飽和化
合物の具体的な例としては、２−アミノエチル（メタ）
アクリレート、２−アミノエチル（メタ）アクリルアミ
ド、Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ
−メチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド等があげ
られる。
【００３４】エポキシ基含有不飽和化合物の具体的な例
としては、グリシジル（メタ）アクリレート、脂環式エ
ポキシ含有（メタ）アクリレート等があげられる。さら
に、共重合体（A1）には、上記モノマーの他にも少量
（たとえば１０重量％以下、好ましくは５重量％以下）
の割合で、蟻酸ビニル、酢酸ビニル、スチレン、アクリ
ルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リルアミド、アクリロニトリル等が共重合されていても
よい。
【００３５】本発明で用いる共重合体（A1）中における
酸性基含有重合性モノマー（a1）と、（a1）と共重合可
能なモノマー（a2）との比（（a1）／（a2）モル比）
は、好ましくは１／５０００〜５／１、特に好ましくは
１／１０００〜２／１である。また共重合体（A1）の重
量平均分子量は、好ましくは２万〜２００万であり、特
に好ましくは５万〜１５０万である。
【００３６】本発明で用いる共重合体（A1）は、上記し
た酸性基含有重合性モノマー（a1）と、該モノマーと共
重合可能な他のモノマー（a2）とを所定の比となるよう
に共重合することに得られる。この共重合は好ましくは
溶液重合にて行われる。
【００３７】溶液重合は、上記モノマー（a1）と（a2）
との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチ
ロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室
温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０
時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれ
ば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるた
め、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御およ
び得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点
がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合に
よる重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚く
べき効果も得られる。
【００３８】上記の共重合体（A1）は、１種単独で用い
ることもできるし、また２種以上を組み合わせて用いる
こともできる。上記の共重合体（A1）と、該共重合体
（A1）中に含まれる酸性基等の官能基に反応する置換基
を有するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）とを反
応させることによって重合体（Ａ）が得られる。
【００３９】エネルギー線重合性基含有化合物（A2）に
は、アクリル系共重合体（A1）中の官能基（酸性基等）
と反応しうる置換基が含まれている。この置換基は、前
記官能基の種類により様々である。たとえば、官能基が
ヒドロキシル基またはカルボキシル基の場合、置換基と
してはイソシアナート基、エポキシ基等が好ましく、官
能基がアミノ基または置換アミノ基の場合、置換基とし
てはイソシアナート基等が好ましく、官能基がエポキシ
基の場合、置換基としてはカルボキシル基またはヒドロ
キシル基が好ましい。このような置換基は、エネルギー
線重合性基含有化合物（A2）１分子毎に一つずつ含まれ
ている。
【００４０】またエネルギー線重合性基含有化合物（A
2）には、エネルギー線重合性基が、１分子毎に１〜５
個、好ましくは１〜２個含まれている。エネルギー線重
合性基としては、前述したように、炭素−炭素二重結合
基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基等が存在する
が、好ましくは炭素−炭素二重結合が選択される。
【００４１】このようなエネルギー線重合性基含有化合
物（A2）の具体例としては、たとえばメタクリロイルオ
キシエチルイソシアナート、メタ−イソプロペニル−
α，α−ジメチルベンジルイソシアナート、メタクリロ
イルイソシアナート、アリルイソシアナート；ジイソシ
アナート化合物またはポリイソシアナート化合物と、ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得
られるアクリロイルモノイソシアナート化合物；ジイソ
シアナート化合物またはポリイソシアナート化合物と、
ポリオール化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシ
アナート化合物；グリシジル（メタ）アクリレート；脂
環式エポキシ基含有（メタ）アクリレート；エポキシ基
含有ウレタン（メタ）アクリレート；ヒドロキシル基含
有（メタ）アクリレート；および（メタ）アクリル酸等
が挙げられる。
【００４２】アクリル系共重合体（A1）とエネルギー線
重合性基含有化合物（A2）との反応は、アクリル系共重
合体（A1）に含まれる酸性基等の官能基および、エネル
ギー線重合性基含有化合物（A2）に含まれる置換基の反
応性を考慮して適宜に選択される。
【００４３】たとえば、ヒドロキシル基とイソシアナー
ト基との反応は、通常室温程度の温度で常圧にて２４時
間程度で行われる。この反応はたとえば酢酸エチル等の
溶液中で、ジブチル錫ラウレート、トリエチルアミン、
N,N,N',N'-テトラメチル-1,3-ブタンジアミン、1,4-ジ
アザビシクロ[2,2,2]オクタン等の触媒を用いて行う。
【００４４】また、カルボキシル基とエポキシ基との反
応は、通常室温から１２０℃程度の温度範囲で常圧にて
２４時間程度で行われる。このときの触媒としては三級
アミン、アンモニウム塩、金属触媒等を用いる。
【００４５】この結果、アクリル系共重合体（A1）中の
側鎖に存在する官能基と、エネルギー線重合性基含有化
合物（A2）中の置換基とが反応し、エネルギー線重合性
基がアクリル系共重合体（A2）中の側鎖に導入され、重
合体（Ａ）が得られる。
【００４６】重合体（Ａ）の分子量（重量平均）は、好
ましくは２万〜３００万であり、さらに好ましくは５万
〜２００万であり、特に好ましくは６万〜１８０万であ
る。また重合体（Ａ）のガラス転移温度は、通常２０℃
以下、好ましくは−７０〜０℃程度になり、常温（２３
℃）においては粘着性を有する。
【００４７】このような重合体（Ａ）中には、エネルギ
ー線重合性基が含まれているので、エネルギー線照射に
より、重合硬化し、粘着性を失う。また、重合体（Ａ）
中には、前述した量の酸性基が残留している。
【００４８】（Ｂ）中和剤 中和剤（Ｂ）は、上記の重合体（Ａ）中に残留するカル
ボキシル基等の酸性基の一部または全部を中和し、重合
体（Ａ）に親水性あるいは水溶性を付与するために用い
られる。
【００４９】中和剤（Ｂ）としては、ウエハ等の被着体
に悪影響を及ぼすイオン性不純物のことを踏まえると、
分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物を用いるのが
好ましく、種々の塩基性化合物が使用されうるが、本発
明においては、特にアミン類、置換アミン類が好ましく
用いられ、これらの中でも、水溶性アミン化合物が好ま
しい。
【００５０】このようなアミン化合物としては、具体的
にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およ
びモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級
アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２
級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、
Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチ
ルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシル
アミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミ
ンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピ
リジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性
を示す有機アミノ化合物が用いられる。
【００５１】本発明のおいては、特にトリエタノールア
ミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセター
ルが好ましく用いられる。これらの中和剤は、１種単独
で、または２種以上を組み合わせて用いることができ
る。
【００５２】中和剤（Ｂ）は、前記重合体（Ａ）中に残
留している酸性基１モルに対して、好ましくは０．００
０１〜１モル、特に好ましくは０．００１〜０．７５モ
ルの割合で用いられる。
【００５３】重合体（Ａ）と中和剤（Ｂ）との混合は、
たとえば、中和剤（Ｂ）をそのまま、あるいは溶剤（ア
ルコール、アセトン等）で希釈し、室温下で重合体
（Ａ）に加え、その後、５〜４０℃にて２５分以上攪拌
することにより行われる。
【００５４】この結果、重合体（Ａ）中に残留した酸性
基（カルボキシル基等）と、中和剤（Ｂ）とが反応し、
重合体（Ａ）中に中和剤（Ｂ）が取り込まれ、中和剤に
由来する親水性が付与される。
【００５５】かくして、本発明のエネルギー線硬化型親
水性粘着剤組成物が得られる。（Ｃ）光重合開始剤 また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始
剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入
することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光
照射量を少なくすることができる。
【００５６】このような光重合開始剤としては、具体的
には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモ
ノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベン
ジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが
挙げられる。
【００５７】光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、前記重合
体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは０．０５〜
１５重量部、さらに好ましくは０．１〜１０重量部、特
に好ましくは０．５〜５重量部である。
【００５８】その他の成分 また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
には、架橋剤（Ｄ）を添加することもできる。架橋剤
（Ｄ）は、前記重合体（Ａ）を部分架橋させるために用
いられる。架橋剤（Ｄ）としては、具体的には、分子内
にグリシジル基を含む化合物、たとえばネオペンチルグ
リコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジ
ルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、
フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジ
ルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリ
セロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラ
グリシジルエーテル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリ
シジルｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−
ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，
Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタ
ンなどのエポキシ系架橋剤、分子内にイソシアナート基
を含む化合物、たとえばトリレンジイソシアナート、ジ
フェニルメタンジイソシアナートなどのイソシアナート
系架橋剤、メラミン、フェノールなどのメチロール系架
橋剤、キレート系架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤な
どが用いられる。
【００５９】重合体（Ａ）を架橋剤（Ｄ）で部分架橋す
ることにより、得られる粘着剤組成物の剥離強度を適当
な強さに調節することができ、水に溶解せずに膨潤する
粘着剤が得られる。
【００６０】架橋剤（Ｄ）は、エネルギー線重合性基を
前記重合体（Ａ）中に導入し、中和剤を添加した後に最
終的に残留する官能基１モルに対して、好ましくは０．
００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜０．７
５モルの割合で用いられる。
【００６１】架橋剤（Ｄ）をそのまま、あるいは溶剤
（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール等）
で希釈し、上記粘着剤組成物に室温下で配合し、５〜４
０℃にて５分以上攪拌することにより、重合体（Ａ）を
部分架橋できる。
【００６２】さらに本発明の粘着剤組成物には、水溶性
有機化合物（Ｅ）を添加することもできる。水溶性有機
化合物（Ｅ）としては、ポリオレフィングリコール系界
面活性剤や非イオン系界面活性剤が好ましく用いられ
る。
【００６３】ポリオレフィングリコール系界面活性剤と
しては、たとえばポリエチレングリコールアルキルフェ
ニルエーテル、ポリエチレングリコールアルキルエーテ
ル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロ
ピレングリコールポリエチレングリコールエーテルなど
が用いられ、特にＨＬＢ８〜１８のものが好ましく用い
られる。ポリオレフィングリコール系界面活性剤の配合
量は、粘着剤組成物１００重量部に対して０．１〜１０
重量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当であ
る。
【００６４】また非イオン系界面活性剤としては、たと
えばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、
アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノ
ールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレン
オキシラウリルエーテル等である。
【００６５】また、上記の他にも、水溶性有機化合物と
しては、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテ
ル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、この
うち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましくは
１５０℃以上のものが好適である。
【００６６】さらに、水溶性有機化合物としては、水溶
性ポリマーを用いることもできる。水溶性ポリマーとし
て、種々のものを用いうるが、就中ポリプロピレングリ
コールの如く界面活性剤作用や可塑剤作用を有するもの
が好ましく用いられる。特にジオール型やトリオール型
のポリプロピレングリコールが好ましい。
【００６７】このような水溶性有機化合物（Ｅ）の配合
量は、粘着剤組成物１００重量部に対して０．０１〜５
０重量部、好ましくは０．０２〜２０重量部、さらに好
ましくは０．０５〜１０重量部が好適である。
【００６８】上記のような水溶性有機化合物（Ｅ）は、
１種単独で用いてもよく、また２種以上を併用して用い
てもよい。さらに、本発明の粘着剤組成物には、エネル
ギー線重合性化合物（Ｆ）を添加することもできる。エ
ネルギー線重合性化合物（Ｆ）を添加することで、エネ
ルギー線照射による接着力の低下をさらに促進できる。
エネルギー線重合性化合物（Ｆ）は、分子内にエネルギ
ー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有し、
その重量平均分子量は通常１０００００以下、好ましく
は１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３０
０００、特に好ましくは１０００〜２５０００であり、
エネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
【００６９】このようなエネルギー線重合性化合物
（Ｆ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６
号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示
されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用い
られ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトール
モノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレング
リコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられ
る。
【００７０】さらにエネルギー線重合性化合物として、
上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタン
アクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレ
タンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型また
はポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソ
シアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシア
ナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−
キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイ
ソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナ
ートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレ
タンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレ
ートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエ
チルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコ
ールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレ
ートなどを反応させて得られる。
【００７１】このようなウレタンアクリレート類の中で
も、特に、親水性を有するウレタンアクリレート化合物
が好ましく、具体的には、分子内に少なくとも１個の水
酸基を含有する（メタ）アクリル酸エステルと、有機ポ
リイソシアナート類と、１個の水酸基を含有するポリエ
チレングリコールモノアルキルエーテルとの反応生成物
が好適に用いられる。
【００７２】ここで、ポリエチレングリコールモノアル
キルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中
Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示
す）であらわされる化合物である。
【００７３】このような特に好ましいウレタンアクリレ
ート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等
に記載されている。本発明の粘着剤組成物におけるエネ
ルギー線重合性化合物（Ｆ）の配合割合は、重合体
（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１５０重量部
以下、さらに好ましくは１２０重量部以下、特に好まし
くは１００重量部以下である。この場合には、得られる
粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギー線照射
後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離が容易に
なり、しかも粘着剤が被着体表面に残留することもな
い。
【００７４】さらに、本発明の粘着剤組成物には、上記
以外の他の粘着成分（Ｇ）を配合することもでき、具体
的にはアクリル系粘着剤やゴム系粘着剤など従来より公
知の粘着剤や、前述したアクリル系共重合体（A1）を添
加することもできる。公知のアクリル系粘着剤やアクリ
ル系共重合体（A1）には、エネルギー線重合性基が含ま
れておらず、それ自体は重合活性を有しない。このよう
な粘着成分（Ｇ）としては、前述したアクリル系共重合
体（A1）が特に好ましく用いられる。
【００７５】アクリル系共重合体（A1）は、前述したよ
うに、（a1）酸性基含有重合性モノマーと（a2）該モノ
マーと共重合可能な他のモノマーとを重合することによ
り得られる重合体である。モノマー（a2）としては、ア
ルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸
アルキルエステルが好ましく用いられる。また、これら
単量体の他にも、酢酸ビニル、スチレン、塩化ビニル等
が共重合されていてもよい。本発明においては、特にカ
ルボキシル基含有アクリル系共重合体が好ましく用いら
れる。
【００７６】他の粘着成分（Ｇ）として用いられるアク
リル系共重合体（A1）の分子量は、５万以上であり、好
ましくは１０万〜２００万であり、特に好ましくは１５
万〜１５０万である。またアクリル系共重合体（A1）の
ガラス転移温度は、通常２０℃以下、好ましくは−７０
〜０℃程度になり、常温（２３℃）においては粘着性を
有する。
【００７７】また、アクリル系共重合体（A1）中の酸性
基を中和剤（Ｂ）で中和することで、親水性が付与され
る。このような他の粘着成分（Ｇ）の配合割合は、重合
体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは２００重量
部以下、さらに好ましくは１５０重量部以下、特に好ま
しくは１２０重量部以下である。粘着成分（Ｇ）の配合
割合が多過ぎると、放射線硬化性を損ない、放射線照射
後も粘着力が低下しないことがある。
【００７８】さらに本発明のエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物には、必要に応じて、本発明の目的を損な
わない範囲で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子
量、分子量分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水
性等の調整のため、水溶性多価アルコールなどの親水性
可塑剤、粘着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤
などを添加することもできる。
【００７９】このような他の成分は、それぞれの成分を
添加する目的により様々であるが、重合体（Ａ）１００
重量部に対して、好ましくは０．０１〜１００重量部程
度の割合で用いられる。
【００８０】エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物 本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上
記のような重合体（Ａ）、中和剤（Ｂ）、所望により光
重合開始剤（Ｃ）および前述した他の成分とを、常法に
て混合することにより得られる。
【００８１】このようなエネルギー線硬化型感圧接着剤
組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体へ
の粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬
化が得られる。
【００８２】エネルギー線としては、具体的には、紫外
線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着
剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であ
り、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ
／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜
１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線
の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウ
エハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には
１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後
には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールでき
る。
【００８３】しかも、本発明の粘着剤組成物は、エネル
ギー線により硬化した後でも、親水性を維持する。たと
えば、重合体（Ａ）として、部分架橋型重合体を用いた
場合には、水と接触すると架橋した状態で有限に膨潤す
る。エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するた
め、粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。
【００８４】なお、粘着剤の親水性は以下のようにして
評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエ
ハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶
解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時
間を測定する。
【００８５】通常、研磨されたウエハを研磨屑の除去等
のため水で洗浄する工程がある。工程適性を考えると、
本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好
ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。
３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
【００８６】このように、本発明の粘着剤組成物は、エ
ネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、
硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単
な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
【００８７】粘着シート 本発明に係る粘着シートは、上記粘着剤組成物からなる
粘着剤層と、基材とからなる。
【００８８】基材としては、特に限定はされないが、た
とえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポ
リメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、
塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、
ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオ
ノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共
重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステ
ル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカー
ボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが
用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよ
い。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィル
ム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。ま
た、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましく
は８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなる
と表面保護機能が低下するおそれがある。
【００８９】本発明の粘着シートは、上記粘着剤組成物
をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、
リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各
種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層
を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを
貼り合わせることによって得られる。
【００９０】粘着剤層の厚さは、用途によって様々であ
るが、通常は５〜５０μｍ、好ましくは１０〜４０μｍ
程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機能
が低下するおそれがある。
【００９１】本発明に係る粘着シートの形状は、テープ
状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。このような
本発明に係る粘着シートは、ウエハ加工時に好ましく用
いられ、特にウエハ等の表面保護に好ましく用いられ
る。
【００９２】すなわち、上記のような各成分を含む粘着
シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表
面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウ
エハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の
加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥
離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残
存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
【００９３】利用方法 このような本発明に係る粘着シートは、特にウエハ加工
時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発
明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法につ
いて説明する。
【００９４】粘着シートの上面に剥離性シートが設けら
れている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの
粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着す
る。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ
表面が接するようにして貼着する。
【００９５】この状態で、ウエハ裏面をグラインダーな
どによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被
膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さ
に調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどし
てウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する
熱を除去する。
【００９６】次に研摩が終了した後に、ウエハから粘着
シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述
したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に
低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易
に粘着シートを剥離することができる。また粘着シート
の剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、
この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることがで
きる。
【００９７】このように本発明に係る粘着シートでは、
粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成
されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激
減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえ
ウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレ
ンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄するこ
とによって除去することができ、したがって、人体に悪
影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が
全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表
面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で
洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、
粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波
洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工
程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シー
トは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な
接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着
シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に
形成されたパターンが破壊されることがない。
【００９８】なお、本発明の粘着シートは、上記のよう
な使用方法の他、半導体化合物、ガラス、セラミック
ス、金属などの加工時における表面保護あるいは固定の
ために使用することもでき、たとえば、半導体ウエハを
チップ毎にダイシングする際のウエハ固定用シートとし
て使用することもできる。
【００９９】
【発明の効果】本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線
硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線
照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シート
の剥離を容易に行うことができる。しかも、粘着剤の組
成が均一であり、また凝集力にも優れるため、粘着シー
トを剥離しても、粘着剤が被着体表面に残存することは
ない。さらに、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に
残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残
留粘着剤を除去することができる。
【０１００】
【実施例】以下本発明を実施例により説明するが、本発
明はこれら実施例に限定されるものではない。
【０１０１】なお、以下の実施例および比較例におい
て、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着
力」は次のようにして評価した。残留パーティクル測定 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエ
ハ鏡面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り
付け、６０分間放置した後、基材フィルム側から高圧水
銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード
５ｍ／分で紫外線照射した後、その後、粘着シートを剥
離した。水洗浄性試験を行う前に、ウエハ表面に残留し
た粒径０．２７μｍφ以上のパーティクルの数をレーザ
ー表面検査装置（ＬＳ５０００、日立電子エンジニアリ
ング製）により測定した。水洗浄性 実施例および比較例で作成した粘着剤のみを厚さ５０μ
ｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエ
ハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水
銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード
５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸
漬し、剥離までの時間を測定した。
【０１０２】なお、実施例１６では、紫外線照射に代え
て、低エネルギー電子線加速器を用いて加速電圧２００
ｋＶ、ビーム電流５ｍＡの設定で線量が８０ｋＧｙにな
るように電子線照射を行った。
【０１０３】表中の判定基準は以下のとおりである。 良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分粘着力 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ鏡面に２
kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０
分間放置した後、万能型引張試験機（株式会社オリエン
テック製、商品名：TENSILON / UTM-4-100）を用いて剥
離速度３００mm／分で１８０°剥離粘着力（ｇ／25mm）
を測定した。また、同様の条件で貼付、放置後、基材フ
ィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０
cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、同様
に１８０°剥離粘着力を測定した。なお、実施例１６で
は、上記と同様に、紫外線照射に代えて電子線照射を行
った。
【０１０４】なお、略号は以下のものを示す。 〔粘着剤主剤〕 Ａ：エネルギー線重合性基含有重合体 Ａ（１）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)９０重量
部，アクリル酸(a1)１０重量部からなる重量平均分子量
２５００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１
００重量部とグリシジルメタクリレート(A2)４重量部と
の反応物（二重結合を含む単位１３．６モル％、酸性基
を含む単位３．４モル％）。 Ａ（２）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)８０重量
部，メタクリル酸(a1)５重量部、脂環式エポキシ基含有
メタクリレート(a2)（ダイセル化学工業社製サイクロマ
ーＭ−１００）１５重量部からなる重量平均分子量１０
００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００
重量部とメタクリル酸(A2)１．３重量部との反応物（二
重結合を含む単位６．９モル％、酸性基を含む単位７．
７モル％）。 Ａ（３）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)８０重量
部，アクリル酸(a1)５重量部、2-ヒドロキシエチルアク
リレート(a2)１５重量部からなる重量平均分子量２５０
０００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重
量部とメタクリロイルオキシエチルイソシアナート(A2)
３．５重量部との反応物（二重結合を含む単位１１．２
モル％、酸性基を含む単位８．５モル％）。この反応は
主としてＯＨ基とＮＣＯ基との間で進行する。 Ａ（４）：ブチルアクリレート(a2)８０重量部，アクリ
ル酸(a1)５重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート(a
2)１５重量部からなる重量平均分子量２５００００の共
重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とメタ
クリロイルオキシエチルイソシアナート(A2)３．５重量
部との反応物（二重結合を含む単位１０．９モル％、酸
性基を含む単位８．４モル％）。この反応は主としてＯ
Ｈ基とＮＣＯ基との間で進行する。 Ａ（５）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)６７重量
部、脂環式エポキシ基含有メタクリレート(a2)（ダイセ
ル化学工業社製サイクロマーＭ−１０１）３０重量部、
アクリル酸(a1)３重量部からなる重量平均分子量２００
０００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重
量部とヒドロキシメタクリレート(A2)２．５重量部との
反応物（二重結合を含む単位１１．８モル％、酸性基を
含む単位６．４モル％）。 Ｇ：他の粘着成分（エネルギー線重合性基不含有重合
体） Ｇ（１）：2-メトキシエチルアクリレート９０重量部，
アクリル酸１０重量部からなる重量平均分子量２５００
００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。 Ｇ（２）：ブチルアクリレート８０重量部，アクリル酸
５重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート１５重量部
からなる重量平均分子量２５００００の共重合体の２５
％酢酸エチル溶液。 Ｇ（３）：ブチルアクリレート７０重量部，2-ヒドロキ
シエチルアクリレート３０重量部からなる重量平均分子
量２５００００の共重合体の２５％酢酸エチル溶 液。〔中和剤〕 Ｂ：トリエタノールアミン 〔光重合開始剤〕 Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品
名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製） 〔架橋剤〕 Ｄ：エポキシ系架橋剤（テトラッドＣ） 〔界面活性剤〕 Ｅ：トリエチレングリコールモノメチルエーテル 〔エネルギー線重合性化合物〕 Ｆ（１）：ヘキサメチレンジイソシアナート三量体（商
品名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３
４３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．
３部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９
０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量
平均分子量：２５０００） Ｆ（２）：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８
部、ペンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエ
チルアクリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸
エチル溶液）（重量平均分子量：２０００）
【０１０５】
【実施例および比較例】上記各成分を表１に記載の処方
にしたがって配合し、粘着剤組成物を得た。上記で得ら
れた粘着剤組成物を、厚さ１１０μｍのポリエチレンフ
ィルムのコロナ処理面上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍ
になるように塗布し、総厚が１３０μｍの粘着シートを
得た。
【０１０６】得られた粘着シートを用いて上記の手法に
より「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着
力」の評価を行った。結果を表１に示す。
【０１０７】
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｃ０８Ｆ 2/48 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｍ (72)発明者 峯 浦 芳 久 東京都板橋区仲町15−７ サンハウス201 号

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 エネルギー線重合性基と酸性基とを含有
    する重合体（Ａ）と、中和剤（Ｂ）とからなることを特
    徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
  2. 【請求項２】 前記重合体（Ａ）が、官能基含有モノマ
    ー単位を有するアクリル系共重合体（A1）と該官能基に
    反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含有化合
    物（A2）とを反応させて得られる、側鎖にエネルギー線
    重合性基を有する重合体であって、かつ前記官能基の全
    部または一部が酸性基であり、（A1）と（A2）との反応
    後も酸性基の少なくも一部が重合体（Ａ）中に残存して
    いる重合体であることを特徴とする請求項１に記載のエ
    ネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
  3. 【請求項３】 前記官能基含有モノマー単位を有するア
    クリル系共重合体（A1）が、酸性基含有重合性モノマー
    （a1）と該モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）
    とを重合することにより得られる重合体であることを特
    徴とする請求項２に記載のエネルギー線硬化型親水性粘
    着剤組成物。
  4. 【請求項４】 前記共重合可能な他のモノマー（a2）
    が、下記式にて示される化合物であることを特徴とする
    請求項３に記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成
    物。 【化１】 （式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素また
    はメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化
    水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であ
    り、ｎは１〜１０である。）
  5. 【請求項５】 （Ｃ）光重合開始剤をさらに含有するこ
    とを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のエネルギ
    ー線硬化型親水性粘着剤組成物。
  6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかに記載のエネルギ
    ー線硬化型親水性粘着剤組成物が、基材上に塗布されて
    なることを特徴とする粘着シート。
  7. 【請求項７】 ウエハ加工用粘着シートとして用いられ
    ることを特徴とする請求項６に記載の粘着シート。
  8. 【請求項８】 ウエハ表面保護用粘着シートとして用い
    られることを特徴とする請求項６に記載の粘着シート。
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