JPH11333205A - 真空脱気装置 - Google Patents
真空脱気装置Info
- Publication number
- JPH11333205A JPH11333205A JP10143041A JP14304198A JPH11333205A JP H11333205 A JPH11333205 A JP H11333205A JP 10143041 A JP10143041 A JP 10143041A JP 14304198 A JP14304198 A JP 14304198A JP H11333205 A JPH11333205 A JP H11333205A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum pump
- permeable membrane
- degassed
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の被脱気液体から同時に脱気を行なう
場合でも、脱気・排出されたガスが再透過して相互干渉
を起こすような恐れが全くないようにすると共に、その
構造が簡単且つ小型で安価な真空脱気装置を提供するこ
と。 【解決手段】 気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜３ａ，３ｂを真空容器１ａ，１ｂ内に設け、真空容
器内を真空ポンプ２で減圧することにより上記透過膜を
通して被脱気液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置
において、複数のヘッド21ａ，21ｂを備えた一台の真空
ポンプの各ヘッド21ａ，21ｂに前記透過膜を備えた真空
容器を接続せしめた。
場合でも、脱気・排出されたガスが再透過して相互干渉
を起こすような恐れが全くないようにすると共に、その
構造が簡単且つ小型で安価な真空脱気装置を提供するこ
と。 【解決手段】 気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜３ａ，３ｂを真空容器１ａ，１ｂ内に設け、真空容
器内を真空ポンプ２で減圧することにより上記透過膜を
通して被脱気液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置
において、複数のヘッド21ａ，21ｂを備えた一台の真空
ポンプの各ヘッド21ａ，21ｂに前記透過膜を備えた真空
容器を接続せしめた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の内部に
気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧することにより上記透過膜
を通して被脱気液体から溶存気体を脱気するようにした
真空脱気装置に関し、特に、複数の被脱気液体から同時
に脱気を行なうのに適した真空脱気装置に関するもので
ある。
気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧することにより上記透過膜
を通して被脱気液体から溶存気体を脱気するようにした
真空脱気装置に関し、特に、複数の被脱気液体から同時
に脱気を行なうのに適した真空脱気装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】液体クロマトグラフなどの分析装置や検
査装置では、分析・測定の精度を高めるために、サンプ
ル液や溶媒，緩衝液などから予め溶存気体をオンライン
で脱気するが、その際に、真空容器の内部に気体のみを
通し液体の透過を阻止するチューブ状透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧しながらチューブ状透過膜
内に溶媒や対照液などを流通させることによりチューブ
状透過膜を通して溶存気体をオンラインで脱気する真空
脱気装置を用いる。
査装置では、分析・測定の精度を高めるために、サンプ
ル液や溶媒，緩衝液などから予め溶存気体をオンライン
で脱気するが、その際に、真空容器の内部に気体のみを
通し液体の透過を阻止するチューブ状透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧しながらチューブ状透過膜
内に溶媒や対照液などを流通させることによりチューブ
状透過膜を通して溶存気体をオンラインで脱気する真空
脱気装置を用いる。
【０００３】しかし、複数の被脱気液体から同時に脱気
を行なう場合、従来では図３に示すごとく、真空ポンプ
２’に接続した１つの真空容器１’の内部に複数本
（組）のチューブ状透過膜3a’，3b’を設け、真空ポン
プ２’で真空容器１’内を減圧しながら各チューブ状透
過膜3a’，3b’内にそれぞれの被脱気液体を流通させる
ことにより同時に脱気を行なっていた。その為に、各チ
ューブ状透過膜を通して真空容器内に脱気・排出された
ガスがチューブ状透過膜を再透過して流入し、相互干渉
を起こすことがあった。
を行なう場合、従来では図３に示すごとく、真空ポンプ
２’に接続した１つの真空容器１’の内部に複数本
（組）のチューブ状透過膜3a’，3b’を設け、真空ポン
プ２’で真空容器１’内を減圧しながら各チューブ状透
過膜3a’，3b’内にそれぞれの被脱気液体を流通させる
ことにより同時に脱気を行なっていた。その為に、各チ
ューブ状透過膜を通して真空容器内に脱気・排出された
ガスがチューブ状透過膜を再透過して流入し、相互干渉
を起こすことがあった。
【０００４】そこで、係る不具合を解消するべく、内部
にチューブ状透過膜を備えた複数の真空容器を１つの真
空ポンプで減圧コントロールすると共に、各真空容器と
真空ポンプとの間に圧力調整室を設けてなる脱気装置が
提案された（特開平８−３３２３０７号公報参照）。し
かし乍ら、この脱気装置においても、複数の真空容器の
内部は圧力調整室及び真空ポンプを介して連通状態にあ
り、脱気・排出されたガスによる相互干渉作用を完全に
は排除できない不具合があった。
にチューブ状透過膜を備えた複数の真空容器を１つの真
空ポンプで減圧コントロールすると共に、各真空容器と
真空ポンプとの間に圧力調整室を設けてなる脱気装置が
提案された（特開平８−３３２３０７号公報参照）。し
かし乍ら、この脱気装置においても、複数の真空容器の
内部は圧力調整室及び真空ポンプを介して連通状態にあ
り、脱気・排出されたガスによる相互干渉作用を完全に
は排除できない不具合があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来の不具合に鑑みてなされたものであり、複数の被脱気
液体から同時に脱気を行なう場合でも、脱気・排出され
たガスが再透過して相互干渉を起こすような恐れが全く
なく、しかも、その構造が簡単且つ小型で安価に製作し
得る真空脱気装置を提供せんとするものである。
来の不具合に鑑みてなされたものであり、複数の被脱気
液体から同時に脱気を行なう場合でも、脱気・排出され
たガスが再透過して相互干渉を起こすような恐れが全く
なく、しかも、その構造が簡単且つ小型で安価に製作し
得る真空脱気装置を提供せんとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の真空脱気装置は、気体のみを通し液体の透過を阻
止する透過膜を真空容器の内部に設け、該真空容器内を
真空ポンプで減圧することにより上記透過膜を通して被
脱気液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置におい
て、複数のヘッドを備えた一台の真空ポンプの各ヘッド
に前記透過膜を備えた真空容器を接続せしめてなる事を
特徴としたものである。この際、複数のヘッドを備えた
一台の真空ポンプにおける一部のヘッド同士を直列又は
並列に接続し、直列又は並列に接続せしめた各ヘッドに
前記透過膜を備えた真空容器を接続させるようにしても
良い。
発明の真空脱気装置は、気体のみを通し液体の透過を阻
止する透過膜を真空容器の内部に設け、該真空容器内を
真空ポンプで減圧することにより上記透過膜を通して被
脱気液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置におい
て、複数のヘッドを備えた一台の真空ポンプの各ヘッド
に前記透過膜を備えた真空容器を接続せしめてなる事を
特徴としたものである。この際、複数のヘッドを備えた
一台の真空ポンプにおける一部のヘッド同士を直列又は
並列に接続し、直列又は並列に接続せしめた各ヘッドに
前記透過膜を備えた真空容器を接続させるようにしても
良い。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
図１及び図２に基づいて詳細に説明する。図中、１ａ，
１ｂはそれぞれ独立した真空容器を示し、２はこれらの
真空容器１ａ，１ｂの内部を減圧するための真空ポンプ
を示す。尚、図１に示した第１実施例では、１つの真空
ポンプ２に２つの真空容器１ａ，１ｂを接続させている
が、本発明はこのような実施例に限定されるものではな
く、２つ以上の真空容器を接続させることも可能である
ことは、以下の説明により容易に理解されるだろう。
図１及び図２に基づいて詳細に説明する。図中、１ａ，
１ｂはそれぞれ独立した真空容器を示し、２はこれらの
真空容器１ａ，１ｂの内部を減圧するための真空ポンプ
を示す。尚、図１に示した第１実施例では、１つの真空
ポンプ２に２つの真空容器１ａ，１ｂを接続させている
が、本発明はこのような実施例に限定されるものではな
く、２つ以上の真空容器を接続させることも可能である
ことは、以下の説明により容易に理解されるだろう。
【０００８】各真空容器１ａ，１ｂの内部には、サンプ
ル液や溶媒，緩衝液などの被脱気液体と接触する部分
に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜３ａ，
３ｂをそれぞれ設ける。透過膜３ａ，３ｂは、フッ素系
樹脂重合体などからなる公知の材料を用いて、チューブ
状又は膜状或いはフィルム状に形成され、真空容器１
ａ，１ｂの内部に設置される。
ル液や溶媒，緩衝液などの被脱気液体と接触する部分
に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜３ａ，
３ｂをそれぞれ設ける。透過膜３ａ，３ｂは、フッ素系
樹脂重合体などからなる公知の材料を用いて、チューブ
状又は膜状或いはフィルム状に形成され、真空容器１
ａ，１ｂの内部に設置される。
【０００９】図１に示した第１実施例の場合、所要の長
さを有するチューブ状に形成された透過膜３ａ，３ｂを
用い、その１本ないし複数本を各真空容器１ａ，１ｂの
内部に設置すると共に、その一端側の液入口31ａ，31ｂ
と他端側の液出口32ａ，32ｂを真空容器１ａ，１ｂの外
部に臨ませ、各真空容器１ａ，１ｂの内部を１台の真空
ポンプ２でもって減圧コントロールしながら被脱気液体
を各液入口31ａ，31ｂからそれぞれチューブ状透過膜３
ａ，３ｂ内に流通させ各液出口32ａ，32ｂから出てくる
間に当該各被脱気液体から同時に脱気を行なう仕組みに
なっている。尚、図中符号４ａ，４ｂは圧力センサーを
示し、５ａ，５ｂは一定圧力で動作する逆止弁を示す
が、必ずしもなくとも良く、これらの圧力センサー４
ａ，４ｂや逆止弁５ａ，５ｂを設置すれば、真空容器１
ａ，１ｂ内部の圧力を精度良く適確にコントロールする
ことが容易となる。
さを有するチューブ状に形成された透過膜３ａ，３ｂを
用い、その１本ないし複数本を各真空容器１ａ，１ｂの
内部に設置すると共に、その一端側の液入口31ａ，31ｂ
と他端側の液出口32ａ，32ｂを真空容器１ａ，１ｂの外
部に臨ませ、各真空容器１ａ，１ｂの内部を１台の真空
ポンプ２でもって減圧コントロールしながら被脱気液体
を各液入口31ａ，31ｂからそれぞれチューブ状透過膜３
ａ，３ｂ内に流通させ各液出口32ａ，32ｂから出てくる
間に当該各被脱気液体から同時に脱気を行なう仕組みに
なっている。尚、図中符号４ａ，４ｂは圧力センサーを
示し、５ａ，５ｂは一定圧力で動作する逆止弁を示す
が、必ずしもなくとも良く、これらの圧力センサー４
ａ，４ｂや逆止弁５ａ，５ｂを設置すれば、真空容器１
ａ，１ｂ内部の圧力を精度良く適確にコントロールする
ことが容易となる。
【００１０】複数の各真空容器１ａ，１ｂは、それぞれ
管路６ａ，６ｂを介して１台の真空ポンプ２に連通接続
されるが、一台の真空ポンプ２には複数のヘッド（本実
施例にあっては、２つのヘッド）21ａ，21ｂを具備せし
め、各ヘッド21ａ，21ｂに各真空容器１ａ，１ｂを各管
路６ａ，６ｂを介してそれぞれ独立させて接続せしめ
る。尚、真空ポンプ２としては、ダイアフラム式やベー
ン式，ギヤ式などのヘッドを備えた真空ポンプであれ
ば、どのような真空ポンプでも本発明に適用し得るもの
である。
管路６ａ，６ｂを介して１台の真空ポンプ２に連通接続
されるが、一台の真空ポンプ２には複数のヘッド（本実
施例にあっては、２つのヘッド）21ａ，21ｂを具備せし
め、各ヘッド21ａ，21ｂに各真空容器１ａ，１ｂを各管
路６ａ，６ｂを介してそれぞれ独立させて接続せしめ
る。尚、真空ポンプ２としては、ダイアフラム式やベー
ン式，ギヤ式などのヘッドを備えた真空ポンプであれ
ば、どのような真空ポンプでも本発明に適用し得るもの
である。
【００１１】而して、真空ポンプ２を動作させると、各
真空容器１ａ，１ｂの内部がそれぞれ減圧されるので、
その状態で各真空容器１ａ，１ｂの液入口31ａ，31ｂか
ら被脱気液体を各チューブ状透過膜３ａ，３ｂ内に流通
させると、被脱気液体が液出口32ａ，32ｂから出てくる
間にチューブ状透過膜３ａ，３ｂを通して被脱気液体か
ら溶存気体が脱気されそれぞれの真空容器１ａ，１ｂ内
に排出される。
真空容器１ａ，１ｂの内部がそれぞれ減圧されるので、
その状態で各真空容器１ａ，１ｂの液入口31ａ，31ｂか
ら被脱気液体を各チューブ状透過膜３ａ，３ｂ内に流通
させると、被脱気液体が液出口32ａ，32ｂから出てくる
間にチューブ状透過膜３ａ，３ｂを通して被脱気液体か
ら溶存気体が脱気されそれぞれの真空容器１ａ，１ｂ内
に排出される。
【００１２】次に、図２に示した第２実施例を説明する
が、図１に示した第１実施例と同様の構成部材には同じ
符号を付して、重複する説明は省略する。この第２実施
例のものは、複数のヘッド（図示実施例にあっては、４
つのヘッド）21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄを備えた一台の真
空ポンプ２における一部のヘッド同士（図示実施例にあ
っては、ヘッド21ａと21ｂ並びにヘッド21ｃと21ｄ）を
直列に接続し、直列に接続せしめた各ヘッドの管路６
ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに、チューブ状透過膜３ａ，３ｂ
を備えた真空容器１ａ，１ｂを接続してなるものであ
る。
が、図１に示した第１実施例と同様の構成部材には同じ
符号を付して、重複する説明は省略する。この第２実施
例のものは、複数のヘッド（図示実施例にあっては、４
つのヘッド）21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄを備えた一台の真
空ポンプ２における一部のヘッド同士（図示実施例にあ
っては、ヘッド21ａと21ｂ並びにヘッド21ｃと21ｄ）を
直列に接続し、直列に接続せしめた各ヘッドの管路６
ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに、チューブ状透過膜３ａ，３ｂ
を備えた真空容器１ａ，１ｂを接続してなるものであ
る。
【００１３】また、この第２実施例の変形例として、複
数のヘッド21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄを備えた一台の真空
ポンプ２における一部のヘッド同士を並列に接続し、並
列に接続せしめた各ヘッドの管路６ａ，６ｂ，６ｃ，６
ｄにチューブ状透過膜３ａ，３ｂを備えた真空容器１
ａ，１ｂを接続させるようにしても良い。
数のヘッド21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄを備えた一台の真空
ポンプ２における一部のヘッド同士を並列に接続し、並
列に接続せしめた各ヘッドの管路６ａ，６ｂ，６ｃ，６
ｄにチューブ状透過膜３ａ，３ｂを備えた真空容器１
ａ，１ｂを接続させるようにしても良い。
【００１４】
【発明の効果】本発明の請求項１記載の真空脱気装置は
斯様に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を
真空容器内に設け、真空容器内を真空ポンプで減圧する
ことにより上記透過膜を通して被脱気液体から溶存気体
を脱気する真空脱気装置において、複数のヘッドを備え
た一台の真空ポンプの各ヘッドに前記透過膜を備えた真
空容器を接続せしめてなるので、種類が異なる複数の被
脱気液体を同時に脱気することが出来ることは勿論のこ
と、各被脱気液体が脱気・排出される経路は真空容器か
ら真空ポンプまでそれぞれ完全に独立しており、従って
種類が異なる複数の被脱気液体から同時に脱気を行なう
場合でも、脱気・排出されたガスが相互干渉を起こすよ
うな恐れが全くなく、精度の高い分析・測定を期待でき
るようになる。
斯様に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を
真空容器内に設け、真空容器内を真空ポンプで減圧する
ことにより上記透過膜を通して被脱気液体から溶存気体
を脱気する真空脱気装置において、複数のヘッドを備え
た一台の真空ポンプの各ヘッドに前記透過膜を備えた真
空容器を接続せしめてなるので、種類が異なる複数の被
脱気液体を同時に脱気することが出来ることは勿論のこ
と、各被脱気液体が脱気・排出される経路は真空容器か
ら真空ポンプまでそれぞれ完全に独立しており、従って
種類が異なる複数の被脱気液体から同時に脱気を行なう
場合でも、脱気・排出されたガスが相互干渉を起こすよ
うな恐れが全くなく、精度の高い分析・測定を期待でき
るようになる。
【００１５】しかも、各被脱気液体が脱気・排出される
経路は真空容器から真空ポンプまでそれぞれ完全に独立
しているにもかかわらず真空ポンプは１台で済むので、
その構造が簡単且つ小型となり安価に製造することが出
来る。
経路は真空容器から真空ポンプまでそれぞれ完全に独立
しているにもかかわらず真空ポンプは１台で済むので、
その構造が簡単且つ小型となり安価に製造することが出
来る。
【００１６】また、本発明の請求項１記載の真空脱気装
置は、複数のヘッドを備えた一台の真空ポンプにおける
一部のヘッド同士を直列又は並列に接続し、直列又は並
列に接続せしめた各ヘッドに前記透過膜を備えた真空容
器を接続してなるので、前記請求項１記載の真空脱気装
置が奏する効果に加えて、真空ポンプにおける一部のヘ
ッド同士を直列に接続せしめたヘッドに透過膜を備えた
真空容器を接続させれば、真空容器における真空度をア
ップさせ、脱気性能を向上させることが可能となるし、
真空ポンプにおける一部のヘッド同士を並列に接続せし
めたヘッドに透過膜を備えた真空容器を接続させれば、
排気量がアップし脱気性能を向上させることが可能とな
る。
置は、複数のヘッドを備えた一台の真空ポンプにおける
一部のヘッド同士を直列又は並列に接続し、直列又は並
列に接続せしめた各ヘッドに前記透過膜を備えた真空容
器を接続してなるので、前記請求項１記載の真空脱気装
置が奏する効果に加えて、真空ポンプにおける一部のヘ
ッド同士を直列に接続せしめたヘッドに透過膜を備えた
真空容器を接続させれば、真空容器における真空度をア
ップさせ、脱気性能を向上させることが可能となるし、
真空ポンプにおける一部のヘッド同士を並列に接続せし
めたヘッドに透過膜を備えた真空容器を接続させれば、
排気量がアップし脱気性能を向上させることが可能とな
る。
【図１】 本発明の第１実施例を示す模式図。
【図２】 本発明の第２実施例を示す模式図。
【図３】 従来例を示す模式図。
１ａ，１ｂ：真空容器 ２：真空ポンプ 21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄ：ヘッド ３ａ，３ｂ：透過膜（チューブ状透過膜） ４ａ，４ｂ：圧力センサー ５ａ，５ｂ：逆止弁 ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ：管路
Claims (2)
- 【請求項１】 気体のみを通し液体の透過を阻止する
透過膜を真空容器内に設け、該真空容器内を真空ポンプ
で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液体か
ら溶存気体を脱気する真空脱気装置において、複数のヘ
ッドを備えた一台の真空ポンプの各ヘッドに前記透過膜
を備えた真空容器を接続せしめてなる事を特徴とした真
空脱気装置。 - 【請求項２】 気体のみを通し液体の透過を阻止する
透過膜を真空容器内に設け、該真空容器内を真空ポンプ
で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液体か
ら溶存気体を脱気する真空脱気装置において、複数のヘ
ッドを備えた一台の真空ポンプにおける一部のヘッド同
士を直列又は並列に接続し、直列又は並列に接続せしめ
た各ヘッドに前記透過膜を備えた真空容器を接続してな
る事を特徴とした真空脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10143041A JPH11333205A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 真空脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10143041A JPH11333205A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 真空脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11333205A true JPH11333205A (ja) | 1999-12-07 |
Family
ID=15329541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10143041A Pending JPH11333205A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 真空脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11333205A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000102702A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Erc:Kk | 真空脱気装置 |
| JP2014508644A (ja) * | 2011-03-25 | 2014-04-10 | アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー | 液体脱気システム内の浸透気化を制御する装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08332307A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Yunifuroozu:Kk | 脱気装置 |
-
1998
- 1998-05-25 JP JP10143041A patent/JPH11333205A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08332307A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Yunifuroozu:Kk | 脱気装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000102702A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Erc:Kk | 真空脱気装置 |
| JP2014508644A (ja) * | 2011-03-25 | 2014-04-10 | アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー | 液体脱気システム内の浸透気化を制御する装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6126725A (en) | Deaerating apparatus and treatment apparatus with gas permeable films | |
| US7144443B2 (en) | Axial transfer line degassing | |
| US7713331B2 (en) | Axial transfer line degassing | |
| JPH11114310A (ja) | 液体脱気用接触装置 | |
| JP5926384B2 (ja) | 過飽和流体の脱気 | |
| US6983504B2 (en) | Method for carrying out an integrity test for filter elements | |
| JP2021181094A (ja) | 分離膜モジュール | |
| JP3602887B2 (ja) | 脱気装置 | |
| US11408868B2 (en) | Measuring system and measuring method of hydrogen peroxide concentration | |
| JPH11333205A (ja) | 真空脱気装置 | |
| JP7020960B2 (ja) | 過酸化水素濃度の測定システムおよび測定方法 | |
| JP2000275229A (ja) | 脱気装置 | |
| JPH02290201A (ja) | 液体の脱気方法 | |
| JPS63111909A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2004237281A (ja) | 膜分離装置およびその装置における状態検知方法 | |
| JPH07303802A (ja) | 隔膜式脱気装置 | |
| KR101911786B1 (ko) | 기체분리막 세정 장치 및 방법 | |
| JPH0360704A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2005296908A (ja) | 膜ろ過装置及び膜破断の検知方法 | |
| JP2007024840A (ja) | シリンジポンプ及びそれを用いたｔｏｃ測定装置 | |
| JP2000102702A (ja) | 真空脱気装置 | |
| JP2000162100A (ja) | 液体脱気装置 | |
| CN212379247U (zh) | 一种离子膜水的压差渗透系数的测量装置 | |
| JP2000065710A (ja) | 液体中の溶存気体濃度の測定方法及び測定装置 | |
| US5992221A (en) | Concentration measuring apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050216 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060221 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060301 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070227 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070717 |