JPH11330541A - 端面発光素子 - Google Patents
端面発光素子Info
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- JPH11330541A JPH11330541A JP12863698A JP12863698A JPH11330541A JP H11330541 A JPH11330541 A JP H11330541A JP 12863698 A JP12863698 A JP 12863698A JP 12863698 A JP12863698 A JP 12863698A JP H11330541 A JPH11330541 A JP H11330541A
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Abstract
端面発光素子を提供する。 【解決手段】 N形半導体基板30とN形半導体層32
との間であって、光出射端面38より遠い方の領域に、
P形半導体層31を設けている。アノード電極・カソー
ド電極間に順方向電圧が印加されると、P形半導体層3
1とN形半導体層32との間のPN接合は逆バイアスさ
れる結果、このPN接合を電流は流れることができな
い。したがって、アノード電極36からの注入電流I
は、光出射端面38の近くを集中して流れる。これによ
り、発光中心が光出射端面38に近づく結果、光取出し
効率が向上し、発光光量が増加する。
Description
に光取出し効率の高い端面発光素子に関する。
発光部と、電極とが同一面上に存在しないので、高密度
化に有利であり、光プリンタ等の光源(光プリントヘッ
ド)に適している。
理図を図1に示す。円筒形の感光ドラム2の表面に、ア
モルファスSi等の光導電性を持つ材料(感光体)が作
られている。このドラムはプリントの速度で回転してい
る。回転しているドラムの感光体表面を、帯電器4で一
様に帯電させる。そして、光プリントヘッド6で、印字
するドットイメージの光を感光体上に照射し、光の当た
ったところの帯電を中和する。続いて、現像器8で感光
体上の帯電状態にしたがって、トナーを感光体上につけ
る。そして、転写器10でカセット12中から送られて
きた用紙14上に、トナーを転写する。用紙は、定着器
16にて熱等を加えられ定着され、スタッカ18に送ら
れる。一方、転写の終了したドラムは、消去ランプ20
で帯電が全面にわたって中和され、清掃器22で残った
トナーが除去される。
の端面発光素子を直線状に配列した端面発光素子アレイ
が用いられる。
端面発光ダイオードがあるが、本願の発明者らは発光素
子アレイの構成要素としてPNPN構造を持つ発光サイ
リスタに注目し、発光点の自己走査が実現できることを
既に特許出願(特開平1−238962号、特開平2−
14584号、特開平2−92650号、特開平2−9
2651号)し、光プリンタ用光源として実装上簡便と
なること、発光素子ピッチを細かくできること、コンパ
クトな発光素子アレイを作製できること等を示してい
る。このような発光素子アレイは、端面発光サイリスタ
アレイとして構成することができる。
オードおよび端面発光サイリスタのいずれも、光出射端
面から遠い部分の発光は光出力にあまり寄与せず、光取
出し効率が悪いという問題点があった。
を示す。N形半導体基板30上にN形半導体層32,P
形半導体層34が積層され、N形半導体層34上にアノ
ード電極36が設けられている。P形半導体基板30の
裏面には、カソード電極(図示せず)が設けられてい
る。
ソード電極に向かって、P形半導体層34およびN形半
導体層32内を均一に流れ、N形半導体層32からの電
子がP形半導体層34のホールと結合して発光する。
発光は、光出射端面からの光出力にあまり寄与しない。
というのは、発光層を通過する間に、特に短波長側の成
分が大きな吸収を受けるからである。
が良くないという問題がある。この問題は、端面発光サ
イリスタについても同様である。
光光量を増大させた端面発光素子を提供することにあ
る。
半導体基板上に少なくとも2つの半導体層が積層された
端面発光素子において、前記半導体基板と、前記半導体
基板の直上に設けられた第1導電形の半導体層との間で
あって、光出射端面とは遠い領域に設けられた、前記第
1の導電形とは反対の第2の導電形の半導体層を備える
ことを特徴とする。
は、第1の導電形半導体基板上に、第1の導電形の第1
の半導体層と、第1の導電形とは反対の第2の導電形の
第2の半導体層とが順次積層され、前記半導体基板と前
記第1の半導体層との間であって、光出射端面とは遠い
領域に設けられた、第2の導電形の半導体層を備えてい
る。
は、第1の導電形半導体基板上に、第1の導電形の第1
の半導体層と、第1の導電形とは反対の第2の導電形の
第2の半導体層と、第1の導電形の第3の半導体層と第
2の導電形の第4の半導体層とが順次積層され、前記半
導体基板と前記第1の半導体層との間であって、光出射
端面とは遠い領域に設けられた、第2の導電形の半導体
層を備えている。
端面発光ダイオードの断面図である。図2の構造におい
て、N形半導体基板30とN形半導体層32との間であ
って、光出射端面38より遠い方の領域に、P形半導体
層31を設けている。
れば、アノード電極・カソード電極間に順方向電圧が印
加されると、P形半導体層31とN形半導体層32との
間のPN接合は逆バイアスされる結果、このPN接合を
電流は流れることができない。したがって、アノード電
極36からの注入電流Iは、図3に示すように、光出射
端面38の近くを集中して流れる。これにより、発光中
心が光出射端面38に近づく結果、光取出し効率が向上
し、発光光量が増加する。
光サイリスタの断面図である。N形半導体基板40上
に、P形半導体層41,N形半導体層42,P形半導体
層44,N形半導体層46,P形半導体層48が順次積
層されている。P形半導体層48上にアノード電極50
が、N形半導体層46上にゲート電極52が、N形半導
体基板40の裏面にはカソード電極(図示せず)が設け
られている。
の間に設けられているP形半導体層41は、光出射端面
54より遠い方の領域に設けられている。
れば、アノード電極・カソード電極間に順方向電圧が印
加されると、P形半導体層41とN形半導体層42との
間のPN接合は逆バイアスされる結果、このPN接合を
電流は流れることができない。したがって、アノード電
極50からの注入電流Iは、図4に示すように、光出射
端面54の近くを集中して流れる。これにより、発光中
心が光出射端面54に近づく結果、光取出し効率が向上
し、発光光量が増加する。
サイリスタの実施例をそれぞれ説明したが、図示の構成
において、半導体基板および半導体層の導電形を反対の
導電形にしても、本発明が成り立つことは明らかであ
る。
自己走査型端面発光素子アレイについて説明する。
つの基本構造について説明する。
第1の基本構造の等価回路図である。発光素子として、
端面発光サイリスタT(−2)〜T(+2)を用い、発
光サイリスタT(−2)〜T(+2)には、各々ゲート
電極G-2〜G+2が設けられている。各々のゲート電極に
は、負荷抵抗RL を介して電源電圧VGKが印加される。
また、各々のゲート電極G-2〜G+2は、相互作用を作る
ために抵抗RI を介して電気的に接続されている。ま
た、各単体発光サイリスタのアノード電極に、3本の転
送クロックライン(φ1 ,φ2 ,φ3 )が、それぞれ3
素子おきに(繰り返されるように)接続される。
がハイレベルとなり、発光サイリスタT(0)がオンし
ているとする。このとき3端子サイリスタの特性から、
ゲート電極G0 は零ボルト近くまで引き下げられる。電
源電圧VGKを仮に5ボルトとすると、負荷抵抗RL 、相
互作用抵抗RI のネットワークから各発光サイリスタの
ゲート電圧が決まる。そして、発光サイリスタT(0)
に近い素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にT
(0)から離れるにしたがいゲート電圧は上昇してい
く。これは次のように表せる。
の値を適当に選択することにより設定することができ
る。
ン電圧VONは、ゲート電圧より拡散電位Vdif だけ高い
電圧となることが知られている。
圧VONより高く設定すれば、その発光サイリスタはオン
することになる。
ている状態で、次の転送クロックパルスφ1 にハイレベ
ル電圧VH を印加する。このクロックパルスφ1 は発光
サイリスタT(+1)とT(−2)に同時に加わるが、
ハイレベル電圧VH の値を次の範囲に設定すると、発光
サイリスタT(+1)のみをオンさせることができる。
ンしていることになる。そしてクロックパルスφ3 のハ
イレベル電圧を切ると、発光サイリスタT(0)がオフ
となりオン状態の転送ができたことになる。
イでは抵抗ネットワークで各発光サイリスタのゲート電
極間を結ぶことにより、発光サイリスタに転送機能をも
たせることが可能となる。
φ1 ,φ2 ,φ3 のハイレベル電圧を順番に互いに少し
ずつ重なるように設定すれば、発光サイリスタのオン状
態は順次転送されていく。すなわち、発光点が順次転送
され、自己走査型端面発光素子アレイを実現することが
できる。
第2の基本構造の等価回路図である。この自己走査型端
面発光素子アレイは、発光サイリスタのゲート電極間の
電気的接続の方法としてダイオードを用いている。発光
サイリスタT(−2)〜T(+2)は、一列に並べられ
た構成となっている。G-2〜G+2は、発光サイリスタT
(−2)〜T(+2)のそれぞれのゲート電極を表す。
RL はゲート電極の負荷抵抗を表し、D-2〜D+2は電気
的相互作用を行うダイオードを表す。またVGKは電源電
圧を表す。各単体発光サイリスタのアノード電極に、2
本の転送クロックライン(φ1 ,φ2 )がそれぞれ1素
子おきに接続される。
ハイレベルとなり、発光サイリスタT(0)がオンして
いるとする。このとき3端子サイリスタの特性からゲー
ト電極G0 は零ボルト近くまで引き下げられる。電源電
圧VGKを仮に5ボルトとすると、抵抗RL ,ダイオード
D-2〜D+2のネットワークから各発光サイリスタのゲー
ト電圧が決まる。そして発光サイリスタT(0)に近い
素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にT(0)から
離れるにしたがいゲート電圧は上昇していく。
性,非対称性から、電圧を下げる効果は、T(0)の右
方向にしか働かない。すなわちゲート電極G1 はG0 に
対し、ダイオードの順方向立ち上がり電圧Vdif だけ高
い電圧に設定され、ゲート電極G2 はG1 に対し、さら
にダイオードの順方向立ち上がり電圧Vdif だけ高い電
圧に設定される。一方、T(0)の左側のゲート電極G
-1はダイオードD-1が逆バイアスになっているため電流
が流れず、したがって電源電圧VGKと同電位となる。
発光サイリスタT(1),T(−1)、そしてT(3)
およびT(−3)等に印加されるが、これらのなかで、
最もターンオン電圧の低い素子はT(1)であり、T
(1)のターンオン電圧は約G 1 のゲート電圧+Vdif
であるが、これはVdif の約2倍である。次にターン電
圧の低い素子はT(3)であり、Vdif の約4倍であ
る。T(−1)とT(−3)のオン電圧は、約VGK+V
dif となる。
ル電圧をVdif の約2倍からVdifの約4倍の間に設定
しておけば、発光サイリスタT(1)のみをオンさせる
ことができ、転送動作を行うことができる。
第3の基本構造の等価回路図である。この自己走査型端
面発光素子アレイは、スイッチ素子T(−1)〜T
(2)、書き込み用発光素子L(−1)〜L(2)から
なる。スイッチ素子部分の構成は、ダイオード接続を用
いた例を示している。スイッチ素子のゲート電極G-1〜
G 1 は、書き込み用発光素子のゲートにも接続される。
書き込み用発光素子のアノードには、書き込み信号Sin
が加えられている。
イの動作を説明する。いま、転送素子T(0)がオン状
態にあるとすると、ゲート電極G0 の電圧は、VGK(こ
こでは5ボルトと想定する)より低下し、はぼ零ボルト
となる。したがって、書き込み信号Sinの電圧が、PN
接合の拡散電位(約1ボルト)以上であれば、発光素子
L(0)を発光状態とすることができる。
であり、ゲート電極G1 は約1ボルトとなる。したがっ
て、発光素子L(−1)の書き込み電圧は約6ボルト、
発光素子L(1)の書き込み電圧は約2ボルトとなる。
これから、発光素子L(0)のみに書き込める書き込み
信号Sinの電圧は、約1〜2ボルトの範囲となる。発光
素子L(0)がオン、すなわち発光状態に入ると、書き
込み信号Sinラインの電圧は約1ボルトに固定されてし
まうので、他の発光素子が選択されてしまう、というエ
ラーは防ぐことができる。
で決められ、任意の強度にて画像書き込みが可能とな
る。また、発光状態を次の素子に転送するためには、書
き込み信号Sinラインの電圧を一度零ボルトまでおと
し、発光している素子をいったんオフにしておく必要が
ある。
イは、半導体ウェハに集積した後、切り出して1つの半
導体チップ(以下、発光素子アレイチップという)の形
にし、これを必要個数配列して長尺のものを作製する。
用いた光プリントヘッドの一例を示す斜視図である。プ
リント配線基板61上に自己走査型端面発光素子アレイ
62と、セルフォックレンズアレイ63(セルフォック
レンズは日本板硝子(株)の登録商標である)とが貼り
付けられて実装されている。
光素子アレイチップ69を連続して直線状に配列するこ
とにより構成される。例えば、1つの発光素子アレイチ
ップは、1200DPIで、256個の発光素子が配列
されているものとすると、チップ長さは約5.4mmと
なる。また発光素子の発光点のサイズは、例えば5μm
×1μmである。
所定本数のセルフォックレンズ64を、1つの基板65
上に配列し固着したセルフォックレンズアレイ・ユニッ
ト66を連続して直線状に配列することにより構成され
る。
ォックレンズ64により、感光ドラム2の表面に結像す
る。
用いた光プリントヘッドによれば、各端面発光素子の光
量が増大しているので、低消費電力で印刷品位を保持す
ることが可能となる。
力を光出射端面の近くに集中することができるので、光
出射端面より取り出される光量を増大でき、したがって
光取出し効率を向上させることができる。
断面図である。
の断面図である。
造の等価回路図である。
造の等価回路図である。
造の等価回路図である。
ントヘッドの一例を示す斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】第1導電形の半導体基板上に少なくとも2
つの半導体層が積層された端面発光素子において、 前記半導体基板と、前記半導体基板の直上に設けられた
第1導電形の半導体層との間であって、光出射端面とは
遠い領域に設けられた、前記第1の導電形とは反対の第
2の導電形の半導体層を備えることを特徴とする端面発
光素子。 - 【請求項2】第1の導電形半導体基板上に、第1の導電
形の第1の半導体層と、第1の導電形とは反対の第2の
導電形の第2の半導体層とが順次積層された端面発光ダ
イオードにおいて、 前記半導体基板と前記第1の半導体層との間であって、
光出射端面とは遠い領域に設けられた、第2の導電形の
半導体層を備えることを特徴とする端面発光ダイオー
ド。 - 【請求項3】第1の導電形半導体基板上に、第1の導電
形の第1の半導体層と、第1の導電形とは反対の第2の
導電形の第2の半導体層と、第1の導電形の第3の半導
体層と第2の導電形の第4の半導体層とが順次積層され
た端面発光サイリスタタおいて、 前記半導体基板と前記第1の半導体層との間であって、
光出射端面とは遠い領域に設けられた、第2の導電形の
半導体層を備えることを特徴とする端面発光サイリス
タ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12863698A JPH11330541A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 端面発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12863698A JPH11330541A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 端面発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11330541A true JPH11330541A (ja) | 1999-11-30 |
Family
ID=14989723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12863698A Pending JPH11330541A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 端面発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11330541A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004128175A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 発光素子および自己走査型発光素子アレイチップ |
JP2013058788A (ja) * | 2012-11-21 | 2013-03-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
JP2013058789A (ja) * | 2012-11-21 | 2013-03-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
JP2013214751A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 発光サイリスタ、自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
US9059362B2 (en) | 2011-08-30 | 2015-06-16 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Light emitting element, light emitting element array, optical writing head, and image forming apparatus |
-
1998
- 1998-05-12 JP JP12863698A patent/JPH11330541A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004128175A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 発光素子および自己走査型発光素子アレイチップ |
US9059362B2 (en) | 2011-08-30 | 2015-06-16 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Light emitting element, light emitting element array, optical writing head, and image forming apparatus |
JP2013214751A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 発光サイリスタ、自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
JP2013058788A (ja) * | 2012-11-21 | 2013-03-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
JP2013058789A (ja) * | 2012-11-21 | 2013-03-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
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