JPH11328762A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the recording density of a recording and holding layer in which information can be reproduced with super-high resolution by forming a separation zone to cut the magnetic coupling between adjacent information tracks and forming the information tracks in such a manner that the width of the information track is not larger than the width of a recording mark. SOLUTION: A SiN layer of 1000 Å thickness as a light-transmitting layer 12, GdCo layer having 300 Å thickness as a transfer layer 13, DyFe layer having 100 Å thickness as a switching layer 14, TbFeCo layer having 400 Å thickness as a recording layer 15, and SiN layer having 800 Å thickness as a protective layer 16 are formed in this order on a polycarbonate transparent substrate 1 on which tracking guide grooves are formed with 0.5 to 1.5 μm track pitch to constitute a magneto-optical disk. Then the grooves are irradiated with high-power laser light by using a recording reproducing device to heat to >=400 deg.C so that the grooves are changed into a nonmagnetic layer 19 to form a separation zone 17. Since the both side faces of the information track 18 are in contact with the nonmagnetic layer 19, short recording marks can be stably maintained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光ビームを照射して
情報の記録再生を行う光磁気記録媒体に関する。The present invention relates to a magneto-optical recording medium for recording and reproducing information by irradiating a light beam.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、情報記録媒体に光ビームを照射
し、その反射光を検出して情報の再生が行える光メモリ
としては、例えば、 位相ピットによって情報を記録したＲＯＭ型のメモ
リ、 光ビームの照射によって記録膜に孔を開けて情報を記
録するライトワンス型の光メモリ、 光ビームの照射によって記録膜の結晶相を変化させて
記録を行なう相変化型光メモリ、 光ビームの照射と磁界の印加によって記録保持層の磁
化方向を変化させて記録を行なう光磁気メモリなど、種
々の光メモリが提案されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an optical memory capable of reproducing information by irradiating an information recording medium with a light beam and detecting a reflected light thereof, for example, a ROM type memory in which information is recorded by phase pits, A write-once type optical memory that records information by opening a hole in the recording film by irradiation, a phase change type optical memory that changes the crystal phase of the recording film by irradiation with a light beam, Various optical memories have been proposed, such as a magneto-optical memory that performs recording by changing the magnetization direction of a recording holding layer.

【０００３】これらの光メモリにおける信号の再生分解
能は、再生光の波長と対物レンズの開口数（Ｎ．Ａ．）
でほぼ決定され、検出限界のピット周期はほぼλ／（２
・Ｎ．Ａ．）である。このような光メモリにおいても、
情報記録密度を高めるための試みがなされているが、再
生光の波長を短くしたり、対物レンズの開口数を大きく
することは容易ではないため、これら以外の手段、例え
ば、記録媒体自体の構造や再生方法を工夫して情報の記
録密度を上げる試みがなされている。The resolution of reproducing signals in these optical memories depends on the wavelength of the reproducing light and the numerical aperture (NA) of the objective lens.
And the detection limit pit period is approximately λ / (2
・ N. A. ). Even in such an optical memory,
Attempts have been made to increase the information recording density, but it is not easy to shorten the wavelength of the reproduction light or to increase the numerical aperture of the objective lens, so other means such as the structure of the recording medium itself Attempts have been made to increase the recording density of information by devising a reproduction method.

【０００４】特に、光磁気記録媒体では情報の記録密度
を上げるための様々な試みが提案されている。例えば、
特開平３−９３０５８号公報や特開平５−８１７１７号
公報には、再生用光ビームの照射による温度上昇を利用
して再生用光ビームの一部分だけが信号の再生に寄与す
るように工夫し、再生光の波長と対物レンズの開口数で
決まる検出限界を越えて再生分解能を向上させる超解像
再生技術が開示されている。[0004] In particular, various attempts have been made to increase the information recording density of a magneto-optical recording medium. For example,
JP-A-3-93058 and JP-A-5-81717 devised that only a part of the reproduction light beam contributes to signal reproduction by utilizing the temperature rise due to the irradiation of the reproduction light beam, There is disclosed a super-resolution reproduction technique for improving the reproduction resolution beyond a detection limit determined by the wavelength of the reproduction light and the numerical aperture of the objective lens.

【０００５】また、特開平６−２９０４９６号公報に
は、再生用光ビームに差し掛かった磁壁を次々と移動さ
せこの磁壁の移動を検出することによって再生光の波長
と対物レンズの開口数で決まる検出限界を越えて再生分
解能を向上させる技術が開示されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-290496 discloses a detection method which determines the wavelength determined by the wavelength of the reproduction light and the numerical aperture of the objective lens by sequentially moving the magnetic domain walls approaching the reproducing light beam and detecting the movement of the magnetic domain walls. A technique for improving the reproduction resolution beyond the limit is disclosed.

【０００６】さらに、特開平８−７３５０号公報には再
生時に磁区を拡大することにより再生光の波長と対物レ
ンズの開口数で決まる検出限界を越えて再生分解能を向
上させる技術が開示されている。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-7350 discloses a technique for improving the reproduction resolution beyond the detection limit determined by the wavelength of the reproduction light and the numerical aperture of the objective lens by enlarging the magnetic domain during reproduction. .

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記の種々の試みによ
って信号の再生分解能の大幅な向上が達成されたが、情
報の記録密度を更に向上させる技術を提供するには、よ
り広い視点からの検討が必要となってくる。例えば、上
記の従来技術では、情報の記録形態自体に関しての考慮
はなされていなかった。すなわち、光磁気記録媒体への
情報の記録に関しては、記録用光ビームを照射しながら
記録情報によって変調された磁界を印加して情報の記録
を行う磁界変調記録方式を用いれば、波長と対物レンズ
の開口数で決まる検出限界よりもずっと短いマークを記
録することができるため、特別な工夫は必要なかった。
しかし、前述したような様々な工夫によって再生分解能
を向上させることが可能になったため、従来よりもはる
かに高密度な情報の記録を行うようになると、情報の記
録が安定に行えないとか、記録した情報が安定に保存で
きないといった問題が発生するようになった。このた
め、例えばマーク長が０．１μｍ以下といった非常に短
い記録マークを安定して記録し、保存できる光磁気記録
媒体が求められていた。Although the signal reproduction resolution has been greatly improved by the various attempts described above, in order to provide a technique for further improving the information recording density, a study from a broader viewpoint is required. Is required. For example, in the above prior art, no consideration was given to the information recording form itself. That is, with respect to recording information on a magneto-optical recording medium, if a magnetic field modulation recording method of recording information by applying a magnetic field modulated by recording information while irradiating a recording light beam is used, the wavelength and objective lens Since a mark much shorter than the detection limit determined by the numerical aperture can be recorded, no special device was required.
However, since it has become possible to improve the reproduction resolution by various measures as described above, if recording of information at a much higher density than in the past becomes possible, it may be impossible to stably record information. The problem that the information which was not able to be stored stably came to occur. For this reason, there has been a demand for a magneto-optical recording medium capable of stably recording and storing extremely short recording marks, for example, having a mark length of 0.1 μm or less.

【０００８】そこで本発明はこのような事情に鑑みてな
されたものであって、超解像情報記録媒体の能力を充分
に発揮させ、例えばマーク長が０．１μｍ以下といった
非常に短い記録マークを安定して記録し、保存できる光
磁気記録媒体を提供することをその目的とする。Accordingly, the present invention has been made in view of such circumstances, and makes it possible to fully utilize the capability of a super-resolution information recording medium, and to record very short recording marks, for example, having a mark length of 0.1 μm or less. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium that can stably record and store.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成し得る
本発明の光磁気記録媒体は、記録マークの記録が可能な
情報トラックが互いに隣り合う構造を有する光磁気記録
媒体において、互いに隣り合う情報トラック間に、これ
らの磁気的結合を切断する分離帯が設けられており、か
つ情報トラックの幅が記録マークの幅を超えないことを
特徴とする。A magneto-optical recording medium according to the present invention, which can achieve the above object, has a structure in which information tracks on which record marks can be recorded are adjacent to each other. A separator is provided between the information tracks to cut off these magnetic couplings, and the width of the information track does not exceed the width of the recording mark.

【００１０】本発明によれば、超解像再生可能な記録保
持層を備えた光磁気記録媒体においても、情報トラック
の幅を記録マークの幅以下とし、情報トラックの両側面
が非磁性層に接するようにした構造としたことで、情報
の記録密度を更に高めることが可能となる。According to the present invention, even in a magneto-optical recording medium having a recording holding layer capable of super-resolution reproduction, the width of the information track is set to be equal to or less than the width of the recording mark, and both side surfaces of the information track are formed on the non-magnetic layer. With the structure in which the contact is made, it is possible to further increase the information recording density.

【００１１】この本発明における効果は、以下の作用に
よって得られるものと考えられる。光磁気記録媒体の記
録保持層に部分的に磁化の向きを反転させることによっ
てマークを記録すると、記録保持層が垂直磁化膜からな
る場合は、従来の光磁気記録媒体では記録マークの周囲
に閉じた磁壁が形成された。しかし、磁壁が形成される
とそこには磁壁エネルギーが貯えられるため、磁壁には
その面積を小さくしてエネルギーの低い安定な状態にな
ろうとする力が働く。光磁気記録媒体では、この磁壁の
面積を小さくしようとする力に抗して、記録したマーク
を安定に保持するために、数キロエルステッド以上とい
った大きな保磁力を持った材料が記録保持層に使われて
いた。しかし、例えば記録保持層の材料としてＴｂＦｅ
Ｃｏを用い、保磁力が２０キロエルステッドと非常に大
きな値となるようにその組成を調整した記録保持層を用
いても、記録したマークを保持できるのはせいぜいマー
ク長０．１μｍまでの大きさであって、０．１μｍ以下
のマーク長のマークを記録すると、記録されたマークは
部分的に消失したり、隣接するマークと接合して１つの
大きなマークに変形するといった問題が生じる場合があ
った。従って、従来構造の光磁気記録媒体では、マーク
長が０．１μｍ以下といった非常に短い記録マークを安
定して記録し、保存することは困難な場合が多かった。The effect of the present invention is considered to be obtained by the following operation. When a mark is recorded by partially reversing the direction of magnetization on the recording holding layer of a magneto-optical recording medium, if the recording holding layer is composed of a perpendicular magnetization film, the mark is closed around the recording mark in the conventional magneto-optical recording medium. A domain wall was formed. However, since the domain wall energy is stored when the domain wall is formed, a force is exerted on the domain wall to reduce the area thereof to a stable state with low energy. In a magneto-optical recording medium, a material having a large coercive force of several kilo Oersted or more is used for the recording holding layer in order to stably hold the recorded mark against the force for reducing the area of the domain wall. Had been However, for example, TbFe
Even if a recording holding layer whose composition is adjusted so that the coercive force becomes a very large value of 20 kOe using Co, a recorded mark can be held at most up to a mark length of 0.1 μm. However, when a mark having a mark length of 0.1 μm or less is recorded, there may be a problem that the recorded mark partially disappears or is joined to an adjacent mark and deformed into one large mark. Was. Therefore, in a magneto-optical recording medium having a conventional structure, it is often difficult to stably record and store a very short recording mark having a mark length of 0.1 μm or less.

【００１２】これに対して、情報トラックの幅を記録マ
ークの幅以下とし、情報トラックの両側面が非磁性層に
接する構造を採用すると、記録マークの境界部分にでき
る磁壁にその面積を小さくしてエネルギーの低い安定な
状態になろうとする力が働いても、その力はマークの長
さを変化させる方向には働かない。このため、情報トラ
ックの幅を記録マークの幅以下とし、情報トラックの両
側面が非磁性層に接するようにすることによって、例え
ば０．１μｍ以下と非常に短い記録マークを記録してそ
れを安定に保持することができるようになる。On the other hand, when the width of the information track is set to be equal to or less than the width of the recording mark and the both sides of the information track are in contact with the non-magnetic layer, the area of the domain wall formed at the boundary of the recording mark is reduced. Therefore, even if a force is applied to a stable state with low energy, the force does not work in the direction of changing the length of the mark. For this reason, by setting the width of the information track to be equal to or less than the width of the recording mark and making both sides of the information track contact with the non-magnetic layer, a very short recording mark of, for example, 0.1 μm or less is recorded to stabilize it. Can be held.

【００１３】本発明の光磁気記録媒体の情報トラックに
は、垂直磁化膜より成る記録保持層と、垂直磁化膜より
なる再生層とを有し、光ビームの照射による昇温によっ
て記録保持層の磁化を再生層に転写することが可能な構
成が利用できる。The information track of the magneto-optical recording medium according to the present invention has a recording holding layer made of a perpendicular magnetization film and a reproducing layer made of a perpendicular magnetization film, and the temperature of the recording holding layer is increased by irradiation with a light beam. A configuration capable of transferring the magnetization to the reproducing layer can be used.

【００１４】また、この情報トラックには、垂直磁化膜
より成る記録保持層と、記録保持層より高いキュリー温
度を有し、室温で面内磁化を示し、かつ光ビームの照射
により昇温すると垂直磁化を示す再生層とを有する構造
を用いることができる。The information track has a recording holding layer composed of a perpendicular magnetization film, a Curie temperature higher than that of the recording holding layer, exhibits in-plane magnetization at room temperature, and becomes perpendicular when heated by light beam irradiation. A structure having a reproducing layer exhibiting magnetization can be used.

【００１５】更に、この情報トラックには、基板上に第
１、第２及び第３の磁性層が室温において交換結合して
順次積層された構造を有し、第１の磁性層は、周囲温度
近傍の温度において第３の磁性層に比べて相対的に磁壁
抗磁力が小さく磁壁移動度が大きな磁性膜からなり、第
２の磁性層は、第１の磁性層および第３の磁性層よりも
キュリー温度の低い磁性膜からなる構造を用いることが
できる。Further, this information track has a structure in which first, second and third magnetic layers are sequentially exchange-coupled at room temperature on a substrate and are sequentially laminated. At a temperature close to the third magnetic layer, the second magnetic layer is made of a magnetic film having a smaller domain wall coercive force and a larger domain wall mobility than the third magnetic layer, and the second magnetic layer has a larger thickness than the first magnetic layer and the third magnetic layer. A structure made of a magnetic film having a low Curie temperature can be used.

【００１６】また、この情報トラックには、基板上に第
１、第２、第３の磁性層が順次積層された構造を有し、
第２の磁性層は室温以上に補償温度を有する磁性体から
なり、第２の磁性層は第３の磁性層よりもキュリー温度
の低い磁性膜からなる構造を用いることができる。The information track has a structure in which first, second, and third magnetic layers are sequentially stacked on a substrate.
The second magnetic layer may be formed of a magnetic material having a compensation temperature of room temperature or higher, and the second magnetic layer may be formed of a magnetic film having a lower Curie temperature than the third magnetic layer.

【００１７】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【００１８】図１は本発明の光磁気記録媒体の第１の例
を示した図である。この光磁気記録媒体は、例えば特開
平６−２９０４９６号公報に記載されるような、再生用
光ビームに差し掛かった磁壁を次々と移動させこの磁壁
の移動を検出することによって、再生光の波長と対物レ
ンズの開口数で決まる検出限界を越えて超解像再生が可
能となる光磁気記録媒体に適用した例である。FIG. 1 is a diagram showing a first example of a magneto-optical recording medium according to the present invention. This magneto-optical recording medium, as described in, for example, JP-A-6-290496, sequentially moves the magnetic domain walls approaching the reproducing light beam and detects the movement of the magnetic domain walls to thereby determine the wavelength of the reproducing light. This is an example applied to a magneto-optical recording medium capable of performing super-resolution reproduction beyond a detection limit determined by the numerical aperture of an objective lens.

【００１９】図１において、１１は透明基板、１２は磁
性膜の保護と媒体の光学的特性を調整するための光透過
層、１３は情報を磁壁の移動によって検出するための移
動層、１４は移動層と記録保持層の間の交換結合を制御
するためのスイッチング層、１５は情報を保持しておく
記録保持層、１６は磁性膜の保護のための保護層であ
る。In FIG. 1, 11 is a transparent substrate, 12 is a light transmitting layer for protecting the magnetic film and adjusting the optical characteristics of the medium, 13 is a moving layer for detecting information by moving the domain wall, and 14 is a moving layer. A switching layer for controlling exchange coupling between the moving layer and the recording layer, 15 is a recording layer for retaining information, and 16 is a protective layer for protecting the magnetic film.

【００２０】透明基板１１としては、例えば、ポリカー
ボネート、ガラス等の透光性のものを用いることができ
る。光透過層１２としては、例えばＳｉ₃Ｎ₄、ＡｌＮ、
ＳｉＯ₂、ＳｉＯ、ＺｎＳ、ＭｇＦ₂などの透明誘電体層
が使用できる。基板１１の表面に設ける情報トラック間
のピッチは、目的とする光磁気記録媒体の機能や特性に
応じて設定することができ、例えば０．５〜１．５μｍ
に設定することが好ましい。As the transparent substrate 11, for example, a transparent material such as polycarbonate and glass can be used. As the light transmission layer 12, for example, Si ₃ N ₄ , AlN,
A transparent dielectric layer such as SiO ₂ , SiO, ZnS, MgF ₂ can be used. The pitch between the information tracks provided on the surface of the substrate 11 can be set according to the function and characteristics of the target magneto-optical recording medium, for example, 0.5 to 1.5 μm.
It is preferable to set

【００２１】保護層１６としては、光透過層１２と同様
の透明誘電体に加えてＡｌ、ＡｌＴａ、ＡｌＴｉ、Ａｌ
Ｃｒ、Ｐｔ、Ａｕなどの耐蝕性に優れた金属層も使用で
きる。各磁性層は、例えばマグネトロンスパッタ装置に
よる連続スパッタリング、または連続蒸着等によって被
着形成できる。これらの磁性層は、真空を破ることなく
連続成膜されることで、互いに交換結合をしている。ま
た、この構成に、更にＡｌ、ＡｌＴａ、ＡｌＴｉ、Ａｌ
Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｕなどからなる金属層を記録保持層と保
護層の間に付加して、熱的な特性を調整してもよい。ま
た、高分子樹脂からなる保護コートを付与してもよい。
あるいは、成膜後の基板を貼り合わせてもよい。As the protective layer 16, in addition to the same transparent dielectric material as the light transmitting layer 12, Al, AlTa, AlTi, Al
A metal layer having excellent corrosion resistance such as Cr, Pt, and Au can also be used. Each magnetic layer can be formed by, for example, continuous sputtering using a magnetron sputtering apparatus, continuous evaporation, or the like. These magnetic layers are exchange-coupled to each other by being continuously formed without breaking vacuum. Further, in this configuration, Al, AlTa, AlTi, Al
A thermal property may be adjusted by adding a metal layer made of Cr, Cu, Au or the like between the recording holding layer and the protective layer. Further, a protective coat made of a polymer resin may be provided.
Alternatively, a substrate after film formation may be attached.

【００２２】この媒体において、各磁性層１３〜１５
は、種々の磁性材料によって構成することができる。こ
の磁性材料としては、例えば、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇ
ｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏなどの希土類金属元素の一種類あ
るいは二種類以上の１０〜４０ａｔ％と；Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｎｉなどの鉄族元素の一種類あるいは二種類以上の９０
〜６０ａｔ％とからなる希土類−鉄族非晶質合金を挙げ
ることができる。また、耐食性向上などのために、これ
にＣｒ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｉｎな
どの元素を少量添加してもよい。In this medium, each of the magnetic layers 13 to 15
Can be made of various magnetic materials. As this magnetic material, for example, Pr, Nd, Sm, G
one or more rare earth metal elements such as d, Tb, Dy, and Ho, and 10 to 40 at%; Fe, Co,
90 or more of one or more iron group elements such as Ni
Rare earth-iron group amorphous alloy consisting of ６０60 at%. Further, in order to improve the corrosion resistance, an element such as Cr, Mn, Cu, Ti, Al, Si, Pt, or In may be added in a small amount.

【００２３】各磁性層を重希土類−鉄族非晶質合金によ
り構成する場合、その飽和磁化は、希土類元素と鉄族元
素との組成比により制御することが可能である。また、
キュリー温度も、組成比により制御することが可能であ
るが、飽和磁化と独立に制御するためには、鉄族元素と
して、Ｆｅの一部をＣｏで置き換えた材料を用い、置換
量を制御する方法がより好ましく利用できる。即ち、Ｆ
ｅの１ａｔ％をＣｏで置換することにより、６℃程度の
キュリー温度上昇が見込めるので、この関係を用いて所
望のキュリー温度となるようにＣｏの添加量を調整す
る。また、Ｃｒ、Ｔｉなどの非磁性元素を微量添加する
ことにより、逆にキュリー温度を低下させることも可能
である。あるいはまた、二種類以上の希土類元素を用い
てそれらの組成比を調整することでもキュリー温度を制
御できる。When each magnetic layer is made of a heavy rare earth-iron group amorphous alloy, its saturation magnetization can be controlled by the composition ratio between the rare earth element and the iron group element. Also,
The Curie temperature can also be controlled by the composition ratio, but in order to control independently of the saturation magnetization, a material in which a part of Fe is replaced with Co as the iron group element is used, and the replacement amount is controlled. A method is more preferably available. That is, F
By replacing 1 at% of e with Co, a Curie temperature rise of about 6 ° C. can be expected. Therefore, the amount of Co to be added is adjusted by using this relationship so that a desired Curie temperature is obtained. Conversely, the Curie temperature can be lowered by adding a small amount of a nonmagnetic element such as Cr or Ti. Alternatively, the Curie temperature can be controlled by adjusting the composition ratio of two or more rare earth elements.

【００２４】この他に、ガーネット、白金族−鉄族周期
構造膜、もしくは白金族−鉄族合金などの材料も使用可
能である。移動層１３の材料としては、例えば、ＧｄＣ
ｏ、ＧｄＦｅＣｏ、ＧｄＦｅ、ＮｄＧｄＦｅＣｏなどの
垂直磁気異方性の小さな希土類−鉄族非晶質合金や、Ｐ
ｔ／Ｃｏ、Ｐｄ／Ｃｏなどの白金族−鉄族周期構造膜
や、ガーネット等のバブルメモリ用材料が望ましい。In addition, materials such as garnet, a platinum group-iron group periodic structure film, or a platinum group-iron group alloy can also be used. The material of the moving layer 13 is, for example, GdC
o, rare earth-iron group amorphous alloys with small perpendicular magnetic anisotropy such as GdFeCo, GdFe, NdGdFeCo,
Platinum group-iron group periodic structure films such as t / Co and Pd / Co, and bubble memory materials such as garnet are desirable.

【００２５】スイッチング層１４の材料には、例えばＴ
ｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＴｂＤｙＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、Ｄｙ
ＦｅＣｏ、ＴｂＤｙＦｅＣｏ等のキュリー温度の低いも
のを用いることが望ましい。The material of the switching layer 14 is, for example, T
bFe, DyFe, TbDyFe, TbFeCo, Dy
It is desirable to use a material having a low Curie temperature, such as FeCo or TbDyFeCo.

【００２６】記録保持層１５の材料としては、例えば、
ＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ、ＴｂＤｙＦｅＣｏといっ
た希土類−鉄族非晶質合金で、垂直磁気異方性及び保磁
力が大きく、微小なピットが記録でき、かつ形成された
記録ピットが安定に保持できるものが望ましい。As a material of the recording holding layer 15, for example,
It is desirable to use a rare earth-iron group amorphous alloy such as TbFeCo, DyFeCo, or TbDyFeCo, which has large perpendicular magnetic anisotropy and coercive force, can record minute pits, and can stably hold formed recording pits.

【００２７】図３は本発明の光磁気記録媒体の第２の例
を示した図である。この光磁気記録媒体は、例えば特開
平３−９３０５８号公報に記載されるような、再生時の
レーザ光照射によりある温度以上となった領域でのみあ
らかじめ記録保持層に記録された信号が再生層に転写さ
れ、この温度以下の領域では再生層が等価的なマスクと
等価な働きをし、超解像再生が可能となる光磁気記録媒
体に適用した例である。この光磁気記録媒体は、図３に
示すように所定のトラックピッチでトラッキングガイド
用のグルーブが形成されたポリカーボネイト製の透明基
板３０上に光透過層３１、第１の再生層３２、第２の再
生層３３、中間層３４、記録保持層３５、保護層３６を
順次積層した構造を有する。FIG. 3 is a view showing a second example of the magneto-optical recording medium of the present invention. In this magneto-optical recording medium, a signal recorded in a recording holding layer in advance only in an area at which a temperature becomes higher than a certain temperature by laser beam irradiation at the time of reproduction as described in JP-A-3-93058 is used. This is an example applied to a magneto-optical recording medium in which the reproducing layer functions equivalently to an equivalent mask in a region below this temperature and enables super-resolution reproduction. As shown in FIG. 3, this magneto-optical recording medium has a light transmitting layer 31, a first reproducing layer 32, and a second reproducing layer formed on a polycarbonate transparent substrate 30 on which grooves for tracking guide are formed at a predetermined track pitch. It has a structure in which a reproducing layer 33, an intermediate layer 34, a recording holding layer 35, and a protective layer 36 are sequentially laminated.

【００２８】各磁性層３２〜３５は、図１を用いて説明
した第１の例において説明した磁性層用材料を用いて形
成することができる。例えば、第１の再生層３２はキュ
リー温度が高く、カー回転角が大きく、保磁力が小さい
垂直磁化膜で、例えばＧｄＦｅＣｏ（膜厚３００Å）で
形成することができる。また、第２の再生層３３は垂直
磁気異方性が大きく、キュリー温度が低く、室温での保
磁力が数キロエルステッドであることが好ましいので、
ＴｂＦｅ（膜厚２００Å）で形成することができる。ま
た、中間層３４は第２の再生層と記録保持層のあいだの
交換結合力を調整するための層で、ＧｄＦｅＣｏ（膜厚
１００Å）で形成することができる。記録保持層３５は
垂直磁気異方性が大きく、キュリー温度と保磁力が第２
の再生層のキュリー温度と保磁力よりも大きいことが必
要なため、ＴｂＦｅＣｏ（膜厚３００Å）で形成し、キ
ュリー温度は２３０℃、保磁力は１５キロエルステッド
以上にすることができる。Each of the magnetic layers 32 to 35 can be formed using the magnetic layer material described in the first example described with reference to FIG. For example, the first reproducing layer 32 is a perpendicular magnetization film having a high Curie temperature, a large Kerr rotation angle, and a small coercive force, and can be formed of, for example, GdFeCo (thickness: 300 °). The second reproducing layer 33 preferably has a large perpendicular magnetic anisotropy, a low Curie temperature, and a coercive force at room temperature of several kilo-Oersted.
It can be formed of TbFe (thickness 200 °). Further, the intermediate layer 34 is a layer for adjusting the exchange coupling force between the second reproducing layer and the recording holding layer, and can be formed of GdFeCo (thickness: 100 °). The recording holding layer 35 has a large perpendicular magnetic anisotropy, and the Curie temperature and the coercive force are the second.
Since the reproducing layer needs to be higher than the Curie temperature and the coercive force of the reproducing layer, it is formed of TbFeCo (thickness: 300 °), the Curie temperature is 230 ° C., and the coercive force can be 15 kOe or more.

【００２９】また、光透過層３１および保護層３６も第
１の例において説明した材料を用いて形成することがで
きる。The light transmitting layer 31 and the protective layer 36 can also be formed using the materials described in the first example.

【００３０】図５は、本発明の光磁気記録媒体の第３の
例を示した図である。この例は、例えば特開平５−８１
７１７号公報に記載されるような、再生時のレーザ光照
射によりある温度以上となった領域でのみ再生層の磁化
が面内磁化から垂直磁化に移行し、垂直磁化に移行した
部分でのみあらかじめ記録保持層に記録された信号が再
生層に転写され、前記温度以下の領域では面内磁化の再
生層が等価的なマスクと等価な働きをし、超解像再生が
可能となる光磁気記録媒体に適用したものである。この
第３の例は、所定のトラックピッチでトラッキングガイ
ド用のグルーブが形成されたポリカーボネイト製の透明
基板５１上に光透過層５２、再生層５３、記録保持層５
４、保護層５５を順次積層して形成した構造を有する。FIG. 5 is a view showing a third example of the magneto-optical recording medium of the present invention. This example is described in, for example,
No. 717, the magnetization of the reproduction layer shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization only in a region where the temperature becomes higher than a certain temperature due to laser beam irradiation during reproduction, and only in a portion where the transition to perpendicular magnetization occurs. A signal recorded on the recording holding layer is transferred to the reproducing layer, and in a region below the temperature, the reproducing layer having in-plane magnetization functions equivalently to an equivalent mask, thereby making it possible to perform super-resolution reproduction. Applied to media. In the third example, a light transmitting layer 52, a reproducing layer 53, and a recording holding layer 5 are formed on a transparent substrate 51 made of polycarbonate on which grooves for tracking guide are formed at a predetermined track pitch.
4. It has a structure in which a protective layer 55 is sequentially laminated.

【００３１】この例における磁性層も図１に示した第１
の例における材料を用いて形成することができる。例え
ば、再生層５３はキュリー温度が高く、室温とキュリー
温度の間に補償温度を有し、室温で面内磁化を示す一
方、光ビームの照射により所定温度以上に温度が上昇す
ると垂直直に移行する磁化膜で、例えばＧｄＦｅＣｏ
（膜厚５００Å）で形成することができる。また、再生
層５３の補償温度は、１００℃程度、またキュリー温度
は３００℃以上とすることができる。記録保持層５４は
垂直磁気異方性が大きく、微小な磁区を安定に保持する
ことが必要なため、ＤｙＦｅＣｏ（膜厚２００Å）で形
成し、キュリー温度は２３０℃、保磁力は１５キロエル
ステッド以上にすることができる。更に、光透過層５２
および保護層５５も第１の例で挙げた材料を同様に用い
ることができる。The magnetic layer in this example is also the first layer shown in FIG.
Can be formed by using the material in the above example. For example, the reproducing layer 53 has a high Curie temperature, has a compensation temperature between room temperature and the Curie temperature, and exhibits in-plane magnetization at room temperature, but shifts perpendicularly when the temperature rises to a predetermined temperature or more by light beam irradiation. For example, GdFeCo
(A film thickness of 500 °). Further, the compensation temperature of the reproducing layer 53 can be about 100 ° C., and the Curie temperature can be 300 ° C. or more. Since the recording holding layer 54 has a large perpendicular magnetic anisotropy and is required to stably hold a minute magnetic domain, it is formed of DyFeCo (film thickness 200 °), the Curie temperature is 230 ° C., and the coercive force is 15 kOe or more. Can be Further, the light transmitting layer 52
For the protective layer 55, the materials described in the first example can be similarly used.

【００３２】図６は本発明の光磁気記録媒体の第４の例
を示した図である。この例は、例えば特開平８−７３５
０号公報に記載されるような、再生時のレーザ光照射と
磁界の印加によってあらかじめ記録保持層に記録された
信号を再生層に転写し、拡大して、超解像再生が可能と
なる光磁気記録媒体に適用したものである。FIG. 6 is a view showing a fourth example of the magneto-optical recording medium of the present invention. This example is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-735.
As described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 0, light which enables super-resolution reproduction by transferring a signal previously recorded on the recording holding layer to the reproduction layer by laser beam irradiation and application of a magnetic field at the time of reproduction, and enlarging the signal. This is applied to a magnetic recording medium.

【００３３】この例の光磁気記録媒体は、所定のトラッ
クピッチでトラッキングガイド用のグルーブが形成され
たポリカーボネイト製の透明基板６１上に光透過層６
２、再生層６３、中間層６４、記録保持層６５、保護層
６６を順次積層して形成した構造を有する。The magneto-optical recording medium of this example has a light transmission layer 6 on a polycarbonate transparent substrate 61 on which grooves for tracking guide are formed at a predetermined track pitch.
2, a structure in which a reproducing layer 63, an intermediate layer 64, a recording holding layer 65, and a protective layer 66 are sequentially laminated.

【００３４】各磁性層６３〜６５も図１を用いて説明し
た第１の例において説明した磁性層用材料を用いて形成
することができる。第１磁性層（再生層）６３はキュリ
ー温度が高く、保磁力が小さく、外部磁界の印加によっ
て容易に磁区を拡大縮小できる垂直磁化膜で、例えばＧ
ｄＴｂＦｅＣｏ（膜厚４００Å）で形成することができ
る。再生層６３の補償温度は室温以下、キュリー温度は
３００℃以上とすることができる。第２磁性層（中間
層）６４はキュリー温度が低く、補償温度が室温以上で
再生時の光スポット中心の温度よりも低いことが望まし
いため、キュリー温度１２０℃、補償温度７０℃のＧｄ
ＦｅＣｏ（膜厚２００Å）で形成することができる。第
３磁性層（記録保持層）６５は垂直磁気異方性が大き
く、微小な磁区を安定に保持することが必要なため、Ｔ
ｂＦｅＣｏ（膜厚４００Å）で形成し、キュリー温度は
２４０℃、保磁力は１５キロエルステッド以上にするこ
とができる。また、光透過層６２および保護層６６は第
１の例で説明した材料を用いて形成することができる。Each of the magnetic layers 63 to 65 can also be formed using the magnetic layer material described in the first example described with reference to FIG. The first magnetic layer (reproducing layer) 63 is a perpendicular magnetization film having a high Curie temperature, a small coercive force, and capable of easily enlarging and reducing magnetic domains by applying an external magnetic field.
It can be formed of dTbFeCo (thickness: 400 °). The compensation temperature of the reproducing layer 63 can be set to room temperature or lower, and the Curie temperature can be set to 300 ° C. or higher. Since the second magnetic layer (intermediate layer) 64 preferably has a low Curie temperature and a compensation temperature equal to or higher than room temperature and lower than the temperature of the center of the light spot during reproduction, Gd having a Curie temperature of 120 ° C. and a compensation temperature of 70 ° C.
It can be formed of FeCo (film thickness 200 °). The third magnetic layer (recording holding layer) 65 has a large perpendicular magnetic anisotropy and needs to stably hold a minute magnetic domain.
It is formed of bFeCo (thickness: 400 °), has a Curie temperature of 240 ° C., and has a coercive force of 15 kOe or more. Further, the light transmitting layer 62 and the protective layer 66 can be formed using the materials described in the first example.

【００３５】図８は本発明の光磁気記録媒体の第５の例
を示した図である。この例は、第１の例１と同じく特開
平６−２９０４９６号公報に記載されるような、再生用
光ビームに差し掛かった磁壁を次々と移動させこの磁壁
の移動を検出することによって前記の波長と対物レンズ
の開口数で決まる検出限界を越えて超解像再生が可能と
なる光磁気記録媒体に適用した例である。FIG. 8 is a view showing a fifth example of the magneto-optical recording medium of the present invention. In this example, as in the first example 1, the domain walls approaching the reproducing light beam are successively moved as described in JP-A-6-290496, and the movement of the domain walls is detected. This is an example in which the present invention is applied to a magneto-optical recording medium capable of super-resolution reproduction beyond the detection limit determined by the numerical aperture of the objective lens.

【００３６】この光磁気記録媒体は、図８に示すよう
に、基板８１上に設けたランド（図では凸側）と、グル
ーブ（図では凹側）のそれぞれの部分に光透過層８２か
ら保護層８６までの構造を有する情報トラック８８を形
成し、各情報トラック間に分離帯として機能する空間を
配置した構造を有する。各磁性層、光透過層及び保護層
は第１の例で説明した材料を用いて形成することができ
る。As shown in FIG. 8, this magneto-optical recording medium has a land (convex side in the figure) provided on a substrate 81 and a groove (concave side in the figure) provided on the substrate 81 to be protected from the light transmitting layer 82. An information track 88 having a structure up to the layer 86 is formed, and a space functioning as a separator is arranged between the information tracks. Each magnetic layer, light transmitting layer and protective layer can be formed using the materials described in the first example.

【００３７】なお、ランドとグルーブとの高低差は、情
報トラックの構造や大きさなどに応じて設定することが
でき、例えば１２０〜２００ｎｍとすることが好まし
い。The height difference between the land and the groove can be set according to the structure and size of the information track, and is preferably, for example, 120 to 200 nm.

【００３８】以上説明した各構造の光磁気記録媒体は、
目的とする機能が得られるように材料を選択して、公知
の方法を用いて製造することができる。The magneto-optical recording medium of each structure described above is
A material can be selected so as to obtain a desired function, and can be manufactured using a known method.

【００３９】[0039]

【実施例】実施例１ 図１の構成を有する光磁気記録媒体（光磁気ディスク）
を、以下の方法を用いて作成した。まず、直流マグネト
ロンスパッタリング装置に、ＢドープしたＳｉ、及びＧ
ｄ、Ｄｙ、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットを取り付
け、トラックピッチ１．１μｍでトラッキングガイド用
のグルーブが形成されたディスク状のポリカーボネイト
基板を基板ホルダーに固定した後、１×１０^ー5Ｐａ以下
の高真空になるまでチャンバー内をクライオポンプで真
空排気した。真空排気をしたままＡｒガスとＮ₂ガスを
０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回
転させながら、光透過層としてＳｉＮ層を１０００Å成
膜した。引き続き、真空排気をしたままＡｒガスを０．
３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転さ
せながら、移動層としてＧｄＣｏ層を３００Å、スイッ
チング層としてＤｙＦｅ層を１００Å、記録保持層とし
てＴｂＦｅＣｏ層を４００Å順次成膜した。最後に、光
透過層の成膜時と同様の条件で、保護層としてＳｉＮ層
を８００Å成膜した。各磁性層は、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｔｂ、
Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットに直流パワーを印加して成膜
した。各磁性層の組成は、全て補償組成近傍になるよう
に調整し、キュリー温度は、第１の磁性層（移動層）が
２５０℃、第２の磁性層（スイッチング層）が１５０
℃、第３の磁性層（記録保持層）が２９０℃程度となる
ように設定した。EXAMPLE 1 A magneto-optical recording medium (magneto-optical disk) having the configuration shown in FIG.
Was prepared using the following method. First, B-doped Si and G were added to a DC magnetron sputtering apparatus.
d, Dy, Tb, Fe, attaching each target of Co, after fixing the polycarbonate substrate groove disc shape formed for tracking guide to a substrate holder at a track pitch 1.1 .mu.m, 1 × 10 ^over 5 Pa or less The inside of the chamber was evacuated with a cryopump until a high vacuum was reached. While evacuating, Ar gas and N ₂ gas were introduced into the chamber until the pressure became 0.3 Pa, and an SiN layer as a light transmitting layer was formed at a thickness of 1000 ° while rotating the substrate. Subsequently, Ar gas was added to 0.1 while evacuation was continued.
The substrate was introduced into the chamber until the pressure became 3 Pa, and while rotating the substrate, a GdCo layer was formed as a moving layer at a thickness of 300 °, a DyFe layer as a switching layer was formed at a thickness of 100 °, and a TbFeCo layer as a recording holding layer was formed at 400 °. Finally, a SiN layer was formed to a thickness of 800 ° as a protective layer under the same conditions as when forming the light transmitting layer. Each magnetic layer is composed of Gd, Dy, Tb,
DC power was applied to each of the Fe and Co targets to form a film. The composition of each magnetic layer is adjusted so as to be close to the compensation composition, and the Curie temperature is 250 ° C. for the first magnetic layer (moving layer) and 150 ° C. for the second magnetic layer (switching layer).
° C, and the temperature of the third magnetic layer (recording holding layer) was set to about 290 ° C.

【００４０】図２に示すような記録再生装置を用いてこ
の光磁気ディスク２１のグルーブ上に高パワーのレーザ
ー光を集光して照射し、４００℃以上に加熱してグルー
ブ部分のみにアニール処理を行い、グルーブ部に積層さ
れた磁性層を非磁性層１９に変質させて分離帯１７を形
成した。非磁性層１９によって、隣接する情報トラック
の記録保持層１５は分離帯１７の部分でほぼ磁気的に分
離されている。なお実際には分離帯の磁性層がアニール
処理によって完全に非磁性層にならなくても、飽和磁化
が十分に小さくなれば分離帯での結合は無視できる。再
び図２に示すような記録再生装置を用いてこの光磁気デ
ィスクを光ヘッドから見て反時計周りに回転させなが
ら、情報トラック１８上に記録光ビームと変調磁界を印
加して、磁界変調記録方法によって情報トラック１８の
幅いっぱいに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの移
動線速度は１．５ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μｓで
パルス幅５０ｎｓとし、１．５μｍ間隔でマーク長０．
０７５μｍの記録マークを形成した。記録パワーは３．
５ｍＷ、記録磁界の強度は±２００エルステッドに設定
した。Using a recording / reproducing apparatus as shown in FIG. 2, a high-power laser beam is condensed and irradiated onto the groove of the magneto-optical disk 21, heated to 400 ° C. or more, and annealed only in the groove portion. Then, the magnetic layer laminated on the groove portion was transformed into the non-magnetic layer 19 to form the separation zone 17. By the non-magnetic layer 19, the recording holding layer 15 of the adjacent information track is almost magnetically separated at the separation zone 17. In practice, even if the magnetic layer of the separation band does not completely become a non-magnetic layer by the annealing process, the coupling in the separation band can be ignored if the saturation magnetization is sufficiently small. Using a recording / reproducing apparatus as shown in FIG. 2 again, while rotating this magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head, a recording light beam and a modulation magnetic field are applied on the information track 18 to perform magnetic field modulation recording. Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the information track 18 by the method. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 1.5 m / s, the modulating magnetic field has a period of 1.0 μs, the pulse width is 50 ns, and the mark length is 0.5 μm at intervals of 1.5 μm.
A recording mark of 075 μm was formed. The recording power is 3.
5 mW, the recording magnetic field strength was set to ± 200 Oe.

【００４１】次に、この光磁気ディスクを光ヘッドから
見て反時計周りの方向に回転させながら、光ピックアッ
プ２２から再生用光ビームを照射して、先程記録した記
録マークを再生し、記録マークの欠落率を調べた。光磁
気ディスクの移動線速度は１．５ｍ／ｓ、再生パワーを
１．７ｍＷとして再生を行い、再生信号をデジタルオシ
ロスコープに取り込んで記録マークの欠落を数えたとこ
ろ、１０００個分のマークのうち欠落していたのは１個
で、欠落率は０．１％であった。Next, while rotating the magneto-optical disk in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, a light beam for reproduction is irradiated from the optical pickup 22 to reproduce the recording mark recorded previously. The missing rate of was investigated. When reproduction was performed with the moving linear velocity of the magneto-optical disk being 1.5 m / s and the reproduction power being 1.7 mW, the reproduction signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of recorded marks was counted. Only one was missing and the missing rate was 0.1%.

【００４２】比較例１ グルーブ部分のアニール処理を行わない以外は実施例１
と同様の光磁気ディスクを作成し、この光磁気ディスク
を光ヘッドから見て反時計周りに回転させながら、情報
トラック１８上に記録光ビームと変調磁界を印加して、
磁界変調記録方法によって情報トラック１８の幅いっぱ
いに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの移動線速度
は１．５ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μｓでパルス幅
５０ｎｓとし、１．５μｍ間隔でマーク長０．０７５μ
ｍの記録マークを形成した。記録パワーは３．５ｍＷ、
記録磁界の強度は±２００エルステッドに設定した。次
に、実施例１と同様にこの光磁気ディスクを光ヘッドか
ら見て反時計周りの方向に回転させながら再生用光ビー
ムを照射して、先程記録した記録マークを再生し、記録
マークの欠落率を調べた。光磁気ディスクの移動線速度
は１．５ｍ／ｓ、再生パワーを１．７ｍＷとして再生を
行った。再生信号の振幅は実施例１よりも小さくなった
が、記録マークの欠落率を調べることは可能であった。
再生信号をデジタルオシロスコープに取り込んで記録マ
ークの欠落を数えたところ、１０００個分のマークのう
ち欠落していたのは１２０個で、欠落率は１２％と実施
例１よりも大きかった。Comparative Example 1 Example 1 except that the groove portion was not annealed.
A recording light beam and a modulation magnetic field are applied to the information track 18 while rotating the magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head.
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the information track 18 by a magnetic field modulation recording method. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 1.5 m / s, the modulating magnetic field has a period of 1.0 μs, the pulse width is 50 ns, and the mark length is 0.075 μ at 1.5 μm intervals.
m recording marks were formed. The recording power is 3.5mW,
The intensity of the recording magnetic field was set to ± 200 Oersted. Next, similarly to the first embodiment, the magneto-optical disk is irradiated with a reproducing light beam while rotating the magneto-optical disk in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, thereby reproducing the recording mark recorded previously, and the recording mark missing. The rate was checked. The reproduction was performed with the moving linear velocity of the magneto-optical disk being 1.5 m / s and the reproduction power being 1.7 mW. Although the amplitude of the reproduced signal was smaller than that of Example 1, it was possible to check the recording mark missing rate.
When the reproduced signal was taken into a digital oscilloscope and the number of missing recording marks was counted, 120 of the 1,000 marks were missing, and the missing rate was 12%, which was larger than that of the first embodiment.

【００４３】実施例２ 図３に示す構造の光磁気ディスクを、トラックピッチ
１．１μｍでトラッキングガイド用のグルーブが形成さ
れたポリカーボネイト製の透明基板３０上に光透過層３
１、第１の再生層３２、第２の再生層３３、中間層３
４、記録保持層３５、保護層３６を公知の成膜方法を利
用して順次積層して形成した。Example 2 A magneto-optical disk having the structure shown in FIG. 3 was prepared by placing a light transmitting layer 3 on a transparent substrate 30 made of polycarbonate on which grooves for tracking guide were formed at a track pitch of 1.1 μm.
1, first reproducing layer 32, second reproducing layer 33, intermediate layer 3
4. The record holding layer 35 and the protective layer 36 were sequentially laminated using a known film forming method.

【００４４】第１の再生層３２はキュリー温度が高く３
００℃以上で、カー回転角が大きく、保磁力が約２キロ
エルステッドと小さい垂直磁化膜で、ＧｄＦｅＣｏ（膜
厚３００Å）で形成した。第２の再生層３３は垂直磁気
異方性が大きく、キュリー温度が低く、室温での保磁力
が数キロエルステッドであることが好ましいので、キュ
リー温度が１２０℃、室温での保磁力が約１．５キロエ
ルステッドであるＴｂＦｅ（膜厚２００Å）で形成し
た。中間層３４は第２の再生層と記録保持層のあいだの
交換結合力を調整するための層で、ＧｄＦｅＣｏ（膜厚
１００Å）で形成した。記録保持層３５は垂直磁気異方
性が大きく、キュリー温度と保磁力が前記第２の再生層
のキュリー温度と保磁力よりも大きいことが必要なた
め、ＴｂＦｅＣｏ（膜厚３００Å）で形成し、キュリー
温度は２３０℃、保磁力は１５キロエルステッド以上に
した。また、光透過層３１および保護層３６は窒化珪素
で形成した。The first reproducing layer 32 has a high Curie temperature
A perpendicular magnetization film having a large Kerr rotation angle and a small coercive force of about 2 kOe at a temperature of 00 ° C. or more, and formed of GdFeCo (thickness 300 °). The second reproducing layer 33 preferably has a large perpendicular magnetic anisotropy, a low Curie temperature, and a coercive force of several kilo-Oersted at room temperature. It was formed of TbFe (thickness: 200 °) of 0.5 kOe. The intermediate layer 34 is a layer for adjusting the exchange coupling force between the second reproducing layer and the recording holding layer, and is formed of GdFeCo (100 膜厚 in thickness). The recording holding layer 35 has a large perpendicular magnetic anisotropy, and the Curie temperature and the coercive force need to be larger than the Curie temperature and the coercive force of the second reproducing layer. The Curie temperature was 230 ° C., and the coercive force was 15 kOe or more. The light transmitting layer 31 and the protective layer 36 were formed of silicon nitride.

【００４５】この光磁気ディスクのグルーブ上に図４に
示した記録再生装置を用いて高パワーのレーザー光を集
光して照射し、４００℃以上に加熱してグルーブ部分の
みにアニール処理を行い、グルーブ部に積層された磁性
層を非磁性層２９に変質させて分離帯２７を形成した。Using a recording / reproducing apparatus shown in FIG. 4, a high-power laser beam is condensed and irradiated onto the groove of the magneto-optical disk, heated to 400 ° C. or more, and an annealing process is performed only on the groove portion. The magnetic layer laminated on the groove portion was changed into a non-magnetic layer 29 to form a separation zone 27.

【００４６】この光磁気ディスクを光ヘッドから見て反
時計周りに回転させながら、図４に示した記録再生装置
を用いて情報トラック３８上に記録光ビームと変調磁界
を印加して、磁界変調記録方法によっで情報トラック３
８の幅いっぱいに反転磁区を形成した。光磁気ディスク
の移動線速度は２．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μ
ｓでパルス幅５０ｎｓとし、２．０μｍ間隔でマーク長
０．１μｍの記録マークを形成した。記録パワーは４．
０ｍＷ、記録磁界の強度は±２５０エルステッドに設定
した。次に、この光磁気ディスクを光ヘッドから見て反
時計周りの方向に回転させて、初期化磁界印加装置４４
によって２キロエルステッドの初期化磁界を印加しなが
ら光ピックアップ４２から再生用光ビームを照射して先
程記録した記録マークを再生し、記録マークの欠落率を
調べた。光磁気ディスクの移動線速度は２．０ｍ／ｓ、
再生パワーを２．１ｍＷとして再生を行い、再生信号を
デジタルオシロスコープに取り込んで記録マークの欠落
を数えたところ、５０００個分のマークのうち欠落して
いたのは１個で、欠落率は０．０２％であった。While rotating this magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head, a recording light beam and a modulating magnetic field are applied to the information track 38 using the recording / reproducing apparatus shown in FIG. Information track 3 depending on the recording method
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of No. 8. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s, and the modulating magnetic field has a period of 1.0 μm.
s, the pulse width was set to 50 ns, and recording marks having a mark length of 0.1 μm were formed at intervals of 2.0 μm. The recording power is 4.
0 mW, and the strength of the recording magnetic field was set to ± 250 Oersted. Next, the magneto-optical disk is rotated in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, and the initialization magnetic field applying device 44 is rotated.
Then, the recording mark previously recorded was reproduced by irradiating a reproducing light beam from the optical pickup 42 while applying an initialization magnetic field of 2 kOe, and the missing rate of the recording mark was examined. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s,
Reproduction was performed at a reproduction power of 2.1 mW, the reproduction signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of missing recording marks was counted. One of the 5000 marks was missing, and the missing rate was 0. 02%.

【００４７】比較例２ グルーブ部分のアニール処理を行わない以外は実施例２
と同様の光磁気ディスクを作成し、この光磁気ディスク
を光ヘッドから見て反時計周りに回転させながら、情報
トラック３８上に記録光ビームと変調磁界を印加して、
磁界変調記録方法によって情報トラック３８の幅いっぱ
いに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの移動線速度
は２．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μｓでパルス幅
５０ｎｓとし、実施例２と同様に２．０μｍ間隔でマー
ク長０．１μｍの記録マークを形成した。記録パワーは
４．０ｍＷ、記録磁界の強度は±２５０エルステッドに
設定した。Comparative Example 2 Example 2 was repeated except that the groove portion was not annealed.
A recording light beam and a modulating magnetic field are applied to the information track 38 while rotating the magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head.
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the information track 38 by a magnetic field modulation recording method. The moving linear velocity of the magneto-optical disk was 2.0 m / s, the modulation magnetic field was 1.0 μs, the pulse width was 50 ns, and recording marks having a mark length of 0.1 μm were formed at 2.0 μm intervals as in Example 2. The recording power was set at 4.0 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set at ± 250 Oersted.

【００４８】次に、実施例２と同様にこの光磁気ディス
クを光ヘッドから見て反時計周りの方向に回転させて初
期化磁界印加装置４４によって２キロエルステッドの初
期化磁界を印加しながら再生用光ビームを照射して、先
程記録した記録マークを再生し、記録マークの欠落率を
調べた。光磁気ディスクの移動線速度は２．０ｍ／ｓ、
再生パワーを２．１ｍＷとして再生を行った。再生信号
の振幅は実施例１よりも少し大きくなったが、再生信号
をデジタルオシロスコープに取り込んで記録マークの欠
落を数えたところ、１０００個分のマークのうち欠落し
ていたのは６０個で、欠落率は６％と実施例１よりも大
きかった。Next, as in the second embodiment, the magneto-optical disk is rotated counterclockwise as viewed from the optical head, and reproduction is performed while applying an initialization magnetic field of 2 kilooersted by the initialization magnetic field applying device 44. The recording mark recorded previously was reproduced by irradiating the recording light beam, and the missing rate of the recording mark was examined. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s,
Reproduction was performed with a reproduction power of 2.1 mW. Although the amplitude of the reproduced signal was slightly larger than that of the first embodiment, when the reproduced signal was taken into a digital oscilloscope and the number of missing recording marks was counted, 60 of the 1,000 marks were missing. The drop rate was 6%, which was larger than that in Example 1.

【００４９】実施例３ 図５に示す構造の光磁気ディスクを、トラックピッチ
１．１μｍでトラッキングガイド用のグルーブが形成さ
れたポリカーボネイト製の透明基板５１上に光透過層５
２、再生層５３、記録保持層５４、保護層５５を公知の
成膜方法で順次積層して形成した。再生層５３はキュリ
ー温度が高く、室温とキュリー温度の間に補償温度を有
し、室温で面内磁化を示す一方、光ビームの照射により
所定温度以上に温度が上昇すると垂直に移行する磁化膜
で、ＧｄＦｅＣｏ（膜厚５００Å）で形成した。再生層
５３の補償温度は１００℃、キュリー温度は３００℃以
上、垂直磁化への移行温度は１２０℃とした。記録保持
層５４は垂直磁気異方性が大きく、微小な磁区を安定に
保持することが必要なため、ＤｙＦｅＣｏ（膜厚２００
Å）で形成し、キュリー温度は２３０℃、保磁力は１５
キロエルステッド以上にした。また、光透過層５２およ
び保護層５５は窒化珪素で形成した。Embodiment 3 A magneto-optical disk having the structure shown in FIG. 5 was prepared by forming a light transmitting layer 5 on a transparent polycarbonate substrate 51 having a groove for tracking guide formed at a track pitch of 1.1 μm.
2. The reproducing layer 53, the recording holding layer 54, and the protective layer 55 were sequentially laminated by a known film forming method. The reproducing layer 53 has a high Curie temperature, has a compensation temperature between room temperature and the Curie temperature, and exhibits in-plane magnetization at room temperature, but moves perpendicularly when the temperature rises to a predetermined temperature or more by light beam irradiation. Then, it was formed of GdFeCo (film thickness 500 °). The compensation temperature of the reproducing layer 53 was 100 ° C., the Curie temperature was 300 ° C. or higher, and the transition temperature to perpendicular magnetization was 120 ° C. Since the recording holding layer 54 has a large perpendicular magnetic anisotropy and is required to stably hold a minute magnetic domain, DyFeCo (film thickness 200
Å), Curie temperature is 230 ° C, coercive force is 15
More than Kilo Oersted. Further, the light transmission layer 52 and the protection layer 55 were formed of silicon nitride.

【００５０】この光磁気ディスクのグルーブ上に図２に
示した記録再生装置を用いて高パワーのレーザー光を集
光して照射し、４００℃以上に加熱してグルーブ部分の
みにアニール処理を行い、グルーブ部に積層された磁性
層を非磁性層５９に変質させて分離帯５７を形成した。Using a recording / reproducing apparatus shown in FIG. 2, a high power laser beam is condensed and irradiated onto the groove of the magneto-optical disk, and the groove is heated to 400 ° C. or more to anneal only the groove portion. The magnetic layer laminated on the groove portion was changed into a non-magnetic layer 59 to form a separation zone 57.

【００５１】この光磁気ディスクを光ヘッドから見て反
時計周りに回転させながら、図２に示した記録再生装置
を用いて情報トラック５８上に記録光ビームと変調磁界
を印加して、磁界変調記録方法によって情報トラック５
８の幅いっぱいに反転磁区を形成した。光磁気ディスク
の移動線速度は２．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μ
ｓでパルス幅４０ｎｓとし、２．０μｍ間隔でマーク長
０．０８μｍの記録マークを形成した。記録パワーは
４．０ｍＷ、記録磁界の強度は±２００エルステッドに
設定した。While rotating this magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head, a recording light beam and a modulating magnetic field are applied onto the information track 58 using the recording / reproducing apparatus shown in FIG. Information track 5 depending on the recording method
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of No. 8. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s, and the modulation magnetic field has a period of 1.0 μm.
s, the pulse width was set to 40 ns, and recording marks having a mark length of 0.08 μm were formed at intervals of 2.0 μm. The recording power was set to 4.0 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set to ± 200 Oe.

【００５２】次に、この光磁気ディスクを光ヘッドから
見て反時計周りの方向に回転させてながら光ピックアッ
プ２２から再生用光ビームを照射して先程記録した記録
マークを再生し、記録マークの欠落率を調た。光磁気デ
ィスクの移動線速度は２．０ｍ／ｓ、再生パワーを２．
２ｍＷとして再生を行い、再生信号をデジタルオシロス
コープに取り込んで記録マークの欠落を数えたところ、
１０００個分のマークのうち欠落していたのは８個で、
欠落率は０．８％であった。Next, while rotating the magneto-optical disk in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, the optical pickup 22 irradiates a reproducing light beam to reproduce the recording mark recorded previously, and reproduces the recording mark. Adjusted the missing rate. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s, and the reproducing power is 2.
Playback was performed at 2 mW, the playback signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of missing recording marks was counted.
Eight of the 1,000 marks were missing,
The missing rate was 0.8%.

【００５３】比較例３ グルーブ部分のアニール処理を行わない以外は実施例３
と同様の光磁気ディスクを作成し、この光磁気ディスク
を光ヘッドから見て反時計周りに回転させながら、情報
トラック５８上に記録光ビームと変調磁界を印加して、
磁界変調記録方法によって情報トラック５８の幅いっぱ
いに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの移動線速度
は２．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μｓでパルス幅
４０ｎｓとし、実施例３と同様に２．０μｍ間隔でマー
ク長０．０８μｍの記録マークを形成した。記録パワー
は４．０ｍＷ、記録磁界の強度は±２００エルステッド
に設定した。Comparative Example 3 Example 3 was repeated except that the groove portion was not annealed.
A recording light beam and a modulation magnetic field are applied to the information track 58 while rotating the magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head.
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the information track 58 by a magnetic field modulation recording method. The moving linear velocity of the magneto-optical disk was 2.0 m / s, the modulation magnetic field was 1.0 μs, the pulse width was 40 ns, and recording marks having a mark length of 0.08 μm were formed at 2.0 μm intervals as in Example 3. The recording power was set to 4.0 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set to ± 200 Oe.

【００５４】次に、実施例３と同様にこの光磁気ディス
クを光ヘッドから見て反時計周りの方向に回転させなが
ら再生用光ビームを照射して先程記録した記録マークを
再生し、記録マークの欠落率を調べた。光磁気ディスク
の移動線速度は２．０ｍ／ｓ、再生パワーを２．２ｍＷ
として再生を行った。再生信号をデジタルオシロスコー
プに取り込んで記録マークの欠落を数えたところ、１０
００個分のマークのうち欠落していたのは２００個で、
欠落率は２０％と実施例１よりも大きかった。Next, as in the third embodiment, the magneto-optical disc is irradiated with a reproducing light beam while rotating the magneto-optical disc in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, thereby reproducing the recording marks recorded previously. The missing rate of was investigated. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 2.0 m / s, and the reproducing power is 2.2 mW.
Played as. When the playback signal was taken into a digital oscilloscope and the number of missing recording marks was counted, 10
Of the 00 marks, 200 were missing,
The loss rate was 20%, which was larger than that in Example 1.

【００５５】実施例４ 図６に示す構造の光磁気ディスクを、トラックピッチ
１．１μｍでトラッキングガイド用のグルーブが形成さ
れたポリカーボネイト製の透明基板６１上に光透過層６
２、再生層６３、中間層６４、記録保持層６５、保護層
６６を公知の成膜方法で順次積層して形成した。Example 4 A magneto-optical disk having the structure shown in FIG. 6 was prepared by forming a light-transmitting layer 6 on a polycarbonate transparent substrate 61 on which grooves for tracking guide were formed at a track pitch of 1.1 μm.
2. A reproducing layer 63, an intermediate layer 64, a recording holding layer 65, and a protective layer 66 were sequentially laminated by a known film forming method.

【００５６】再生層６３はキュリー温度が高く、保磁力
が小さく、外部磁界の印加によって容易に磁区を拡大縮
小できる垂直磁化膜で、ＧｄＴｂＦｅＣｏ（膜厚４００
Å）で形成した。再生層６３の補償温度は室温以下、キ
ュリー温度は３００℃以上とした。中間層６４はキュリ
ー温度が低く、補償温度が室温以上で再生時の光スポッ
ト中心の温度よりも低いことが望ましいため、キュリー
温度１２０℃、補償温度７０℃のＧｄＦｅＣｏ（膜厚２
００Å）で形成した。記録保持層６５は垂直磁気異方性
が大きく、微小な磁区を安定に保持することが必要なた
め、ＴｂＦｅＣｏ（膜厚４００Å）で形成し、キュリー
温度は２４０℃、保磁力は１５キロエルステッド以上に
した。また、光透過層６２および保護層６６は窒化珪素
で形成した。The reproducing layer 63 is a perpendicular magnetization film having a high Curie temperature, a small coercive force, and capable of easily enlarging and reducing a magnetic domain by applying an external magnetic field.
Å). The compensation temperature of the reproducing layer 63 was equal to or lower than room temperature, and the Curie temperature was equal to or higher than 300 ° C. Since it is desirable that the intermediate layer 64 has a low Curie temperature and a compensation temperature higher than room temperature and lower than the temperature of the center of the light spot at the time of reproduction, GdFeCo having a Curie temperature of 120 ° C. and a compensation temperature of 70 ° C.
00 °). Since the recording holding layer 65 has a large perpendicular magnetic anisotropy and is required to stably hold minute magnetic domains, it is formed of TbFeCo (thickness: 400 ° C.), the Curie temperature is 240 ° C., and the coercive force is 15 kOe or more. I made it. Further, the light transmitting layer 62 and the protective layer 66 were formed of silicon nitride.

【００５７】この光磁気ディスクのグルーブ上に図７に
示した記録再生装置を用いて高パワーのレーザー光を集
光して照射し、４００℃以上に加熱してグルーブ部分の
みにアニール処理を行い、グルーブ部に積層された磁性
層を非磁性層６９に変質させて分離帯６７を形成した。Using a recording / reproducing apparatus shown in FIG. 7, a high-power laser beam is condensed and irradiated onto the groove of the magneto-optical disk, and is heated to 400 ° C. or more to anneal only the groove portion. The magnetic layer laminated on the groove portion was changed into a non-magnetic layer 69 to form a separation zone 67.

【００５８】この光磁気ディスクを光ヘッドから見て反
時計周りに回転させながら、図７に示した記録再生装置
を用いて情報トラック６８上に記録光ビームと変調磁界
を印加して、磁界変調記録方法によって情報トラック６
８の幅いっぱいに反転磁区を形成した。光磁気ディスク
の移動線速度は１．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期２．０μ
ｓでパルス幅１００ｎｓとし、２．０μｍ間隔でマーク
長０．１μｍの記録マークを形成した。記録パワーは
３．１ｍＷ、記録磁界の強度は±３００エルステッドに
設定した。While rotating this magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head, a recording light beam and a modulating magnetic field are applied to the information track 68 using the recording / reproducing apparatus shown in FIG. Information track 6 depending on the recording method
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of No. 8. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 1.0 m / s, and the modulating magnetic field has a period of 2.0 μ.
s, the pulse width was 100 ns, and recording marks having a mark length of 0.1 μm were formed at intervals of 2.0 μm. The recording power was set at 3.1 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set at ± 300 Oe.

【００５９】次に、この光磁気ディスクを光ヘッドから
見て反時計周りの方向に回転させて、初期化磁界印加装
置７４によって２キロエルステッドの初期化磁界を印加
し、光ピックアップ７２から再生用光ビームを照射し、
同時に記録再生磁界印加装置７３で１ＭＨｚの交番磁界
を印加して先程記録した記録マークを再生し、記録マー
クの欠落率を調べた。光磁気ディスクの移動線速度は
１．０ｍ／ｓ、再生パワーを１．３ｍＷとして再生を行
い、再生信号をデジタルオシロスコープに取り込んで記
録マークの欠落を数えたところ、１０００個分のマーク
のうち欠落していたのは３個で、欠落率は０．３％であ
った。Next, the magneto-optical disk is rotated counterclockwise as viewed from the optical head, and an initializing magnetic field of 2 kOe is applied by the initializing magnetic field applying device 74. Irradiate a light beam,
At the same time, an alternating magnetic field of 1 MHz was applied by the recording / reproducing magnetic field applying device 73 to reproduce the recording mark recorded previously, and the missing rate of the recording mark was examined. When reproduction was performed with the moving linear velocity of the magneto-optical disk set to 1.0 m / s and the reproduction power set to 1.3 mW, the reproduction signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of missing recording marks was counted. There were three of them, and the missing rate was 0.3%.

【００６０】比較例４ グルーブ部分のアニール処理を行わない以外は実施例４
と同様の光磁気ディスクを作成し、この光磁気ディスク
を光ヘッドから見て反時計周りに回転させながら、情報
トラック６８上に記録光ビームと変調磁界を印加して、
磁界変調記録方法によって情報トラック６８の幅いっぱ
いに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの移動線速度
は１．０ｍ／ｓ、変調磁界は周期２．０μｓでパルス幅
１００ｎｓとし、実施例４と同様に２．０μｍ間隔でマ
ーク長０．１μｍの記録マークを形成した。記録パワー
は３．１ｍＷ、記録磁界の強度は±３００エルステッド
に設定した。Comparative Example 4 Example 4 was repeated except that the groove portion was not annealed.
A recording light beam and a modulating magnetic field are applied to the information track 68 while rotating the magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head.
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the information track 68 by a magnetic field modulation recording method. The moving linear velocity of the magneto-optical disk was 1.0 m / s, the modulation magnetic field was 2.0 μs, the pulse width was 100 ns, and recording marks having a mark length of 0.1 μm were formed at 2.0 μm intervals as in Example 4. The recording power was set at 3.1 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set at ± 300 Oe.

【００６１】次に、実施例４と同様にこの光磁気ディス
クを光ヘッドから見て反時計周りの方向に回転させて初
期化磁界印加装置７４によって２キロエルステッドの初
期化磁界を印加し、光ピックアップ７２から再生用光ビ
ームを照射し、同時に記録再生磁界印加装置７３で１Ｍ
Ｈｚの交番磁界を印加して先程記録した記録マークを再
生し、記録マークの欠落率を調べた。光磁気ディスクの
移動線速度は１．０ｍ／ｓ、再生パワーを１．３ｍＷと
して再生を行い、再生信号をデジタルオシロスコープに
取り込んで記録マークの欠落を数えたところ、１０００
個分のマークのうち欠落していたのは８０個で、欠落率
は８％と実施例４よりも大きかった。Next, as in the fourth embodiment, the magneto-optical disk is rotated in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, and an initializing magnetic field of 2 kOe is applied by the initializing magnetic field applying device 74. A light beam for reproduction is irradiated from the pickup 72, and at the same time, the recording / reproducing magnetic field applying device 73 applies 1 M
The recording mark recorded previously was reproduced by applying an alternating magnetic field of Hz, and the missing rate of the recording mark was examined. Reproduction was performed with the moving linear velocity of the magneto-optical disk set to 1.0 m / s and the reproduction power set to 1.3 mW. The reproduction signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of missing recording marks was counted.
Of the individual marks, 80 were missing, and the missing rate was 8%, which was larger than in Example 4.

【００６２】実施例５ 図８に示す構造の光磁気ディスクを、ランド（図では凸
側）が０．７μｍ幅でグルーブ（図では凹側）が０．５
μｍ幅でトラックピッチ１．２μｍの矩形のトラッキン
グガイド用溝が形成されたガラス２Ｐ製の基板を使用し
て作製した。なお、溝の深さ（ランドとグルーブとの高
低差）は２００ｎｍとした。この透明基板８１上に磁性
膜の保護と光磁気ディスクの光学的特性を調整するため
の光透過層８２、情報を磁壁の移動によって検出するた
めの移動層８３、移動層と記録保持層の間の交換結合を
制御するためのスイッチング層８４、情報を保持してお
く記録保持層８５、磁性膜の保護のための保護層８６を
順次積層して形成した。Example 5 A magneto-optical disk having the structure shown in FIG. 8 was prepared by setting a land (convex side in the figure) to a width of 0.7 μm and a groove (concave side in the figure) to 0.5.
It was manufactured using a glass 2P substrate on which a rectangular tracking guide groove having a width of 1.2 μm and a track pitch of 1.2 μm was formed. The depth of the groove (the difference in height between the land and the groove) was 200 nm. On this transparent substrate 81, a light transmitting layer 82 for protecting the magnetic film and adjusting the optical characteristics of the magneto-optical disk, a moving layer 83 for detecting information by moving the domain wall, and between the moving layer and the recording holding layer. A switching layer 84 for controlling exchange coupling, a recording holding layer 85 for holding information, and a protective layer 86 for protecting the magnetic film are sequentially laminated.

【００６３】各層の材料、組成および膜厚は実施例１と
同じにした。図８に示すように、矩形の溝を持った基板
８１にマグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜を
行うと、成膜時の膜のつきまわりによって図８に示すよ
うな形状に膜が成膜される。本実施例では溝の深さを２
００ｎｍと通常よりも深くしたので、図８に示すように
溝の側面に磁性膜の付着していない分離帯８７が形成さ
れる。この光磁気ディスクを図２に示すような記録再生
装置を用いて光ヘッドから見て反時計周りに回転させな
がら、情報トラック８８上に記録光ビームと変調磁界を
印加して、磁界変調記録方法によって情報トラック８８
の幅いっぱいに反転磁区を形成した。光磁気ディスクの
移動線速度は１．５ｍ／ｓ、変調磁界は周期１．０μｓ
でパルス幅５０ｎｓとし、１．５μｍ間隔でマーク長
０．０７５μｍの記録マークを形成した。記録パワーは
３．５ｍＷ、記録磁界の強度は±２００エルステッドに
設定した。The material, composition and thickness of each layer were the same as in Example 1. As shown in FIG. 8, when a film is formed on a substrate 81 having a rectangular groove using a magnetron sputtering apparatus, the film is formed into a shape as shown in FIG. You. In this embodiment, the depth of the groove is 2
Since the depth is set to 00 nm, which is deeper than usual, a separation zone 87 where no magnetic film is attached is formed on the side surface of the groove as shown in FIG. A recording light beam and a modulation magnetic field are applied to the information track 88 while rotating this magneto-optical disk counterclockwise as viewed from the optical head using a recording / reproducing apparatus as shown in FIG. Information track 88 by
Inverted magnetic domains were formed over the entire width of the. The moving linear velocity of the magneto-optical disk is 1.5 m / s, and the modulating magnetic field has a period of 1.0 μs.
The pulse width was set to 50 ns, and recording marks having a mark length of 0.075 μm were formed at 1.5 μm intervals. The recording power was set to 3.5 mW, and the intensity of the recording magnetic field was set to ± 200 Oe.

【００６４】次に、この光磁気ディスクを光ヘッドから
見て反時計周りの方向に回転させながら、光ピックアッ
プ２２から再生用光ビームを照射して、先程記録した記
録マークを再生し、記録マークの欠落率を調べた。光磁
気ディスクの移動線速度は１．５ｍ／ｓ、再生パワーを
１．７ｍＷとして再生を行い、再生信号をデジタルオシ
ロスコープに取り込んで記録マークの欠落を数えたとこ
ろ、１０００個分のマークのうち欠落していたのは１個
で、欠落率は０．１％であり実施例１と同じであった。Next, while rotating this magneto-optical disk in a counterclockwise direction as viewed from the optical head, a light beam for reproduction is irradiated from the optical pickup 22 to reproduce the recording mark recorded just before. The missing rate of was investigated. When reproduction was performed with the moving linear velocity of the magneto-optical disk being 1.5 m / s and the reproduction power being 1.7 mW, the reproduction signal was taken into a digital oscilloscope, and the number of recorded marks was counted. Only one was found, and the missing rate was 0.1%, which was the same as in Example 1.

【００６５】[0065]

【発明の効果】本発明によれば、超解像情報記録媒体の
能力を充分に発揮させ、非常に短い記録マークを安定し
て記録し、保存できる光磁気記録媒体を提供することが
できる。According to the present invention, it is possible to provide a magneto-optical recording medium capable of sufficiently exhibiting the performance of a super-resolution information recording medium and stably recording and storing very short recording marks.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の光磁気記録媒体の一例の構造を示す断
面図である。FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an example of a magneto-optical recording medium according to the present invention.

【図２】光磁気記録媒体での記録、再生を行う装置の概
略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of an apparatus that performs recording and reproduction on a magneto-optical recording medium.

【図３】本発明の光磁気記録媒体の一例の構造を示す断
面図である。FIG. 3 is a sectional view showing the structure of an example of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図４】光磁気記録媒体での記録、再生を行う装置の概
略図である。FIG. 4 is a schematic diagram of an apparatus for performing recording and reproduction on a magneto-optical recording medium.

【図５】本発明の光磁気記録媒体の一例の構造を示す断
面図である。FIG. 5 is a sectional view showing the structure of an example of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図６】本発明の光磁気記録媒体の一例の構造を示す断
面図である。FIG. 6 is a sectional view showing the structure of an example of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図７】光磁気記録媒体での記録、再生を行う装置の概
略図である。FIG. 7 is a schematic diagram of an apparatus that performs recording and reproduction on a magneto-optical recording medium.

【図８】本発明の光磁気記録媒体の一例の構造を示す断
面図である。FIG. 8 is a sectional view showing the structure of an example of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【符号の説明】 １１、３０、５１、６１、８１ 基板 １２、３１、５２、６２、８２ 光透過層 １３、８３ 移動層 １４、８４ スイッチング層 １５、３５、５４、８５ 記録保持層 １６、３６、５５、６６、８６ 保護層 １７、３７、５７、６７、８７ 分離帯 １８、３８、５８、６８、８８ 情報トラック １９、３９、５９、６９ 非磁性層 ２１、４１、７１ 光磁気記録媒体（ディスク） ２２、４２、７２ 光ピックアップ ２３、４３ 記録磁界印加装置 ２４、４５、７５ ディスク回転機構 ３２ 第１の再生層 ３３ 第２の再生層 ３４ 中間層 ４４、７４ 初期化磁界印加装置 ５３ 再生層 ６３ 第１磁性層 ６４ 第２磁性層 ６５ 第３磁性層 ７３ 記録再生磁界印加装置[Description of Reference Symbols] 11, 30, 51, 61, 81 Substrate 12, 31, 52, 62, 82 Light transmitting layer 13, 83 Moving layer 14, 84 Switching layer 15, 35, 54, 85 Recording holding layer 16, 36 , 55, 66, 86 Protective layer 17, 37, 57, 67, 87 Separation zone 18, 38, 58, 68, 88 Information track 19, 39, 59, 69 Nonmagnetic layer 21, 41, 71 Magneto-optical recording medium ( Disk) 22, 42, 72 Optical pickup 23, 43 Recording magnetic field applying device 24, 45, 75 Disk rotating mechanism 32 First reproducing layer 33 Second reproducing layer 34 Intermediate layer 44, 74 Initializing magnetic field applying device 53 Reproducing layer 63 first magnetic layer 64 second magnetic layer 65 third magnetic layer 73 recording / reproducing magnetic field applying device

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 記録マークの記録が可能な情報トラック
が互いに隣り合う構造を有する光磁気記録媒体におい
て、 互いに隣り合う情報トラック間に、これらの磁気的結合
を切断する分離帯が設けられており、かつ情報トラック
の幅が記録マークの幅を超えないことを特徴とする光磁
気記録媒体。1. A magneto-optical recording medium having a structure in which information tracks on which recording marks can be recorded are adjacent to each other, wherein a separation band is provided between the adjacent information tracks to cut off their magnetic coupling. A magneto-optical recording medium, wherein the width of the information track does not exceed the width of the recording mark. 【請求項２】 垂直磁化膜より成る記録保持層と、垂直
磁化膜よりなる再生層とを有し、光ビームの照射による
昇温によって記録保持層の磁化を再生層に転写すること
が可能である請求項１に記載の光磁気記録媒体。2. A recording layer having a perpendicular magnetization film and a reproducing layer composed of a perpendicular magnetization film, wherein the magnetization of the recording layer can be transferred to the reproduction layer by increasing the temperature by irradiating a light beam. 2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein: 【請求項３】 垂直磁化膜より成る記録保持層と、記録
保持層より高いキュリー温度を有し、室温で面内磁化を
示し、かつ光ビームの照射により昇温すると垂直磁化を
示す再生層とを有する請求項１に記載の光磁気記録媒
体。3. A recording layer comprising a perpendicular magnetization film, and a reproducing layer having a higher Curie temperature than the recording layer, exhibiting in-plane magnetization at room temperature, and exhibiting perpendicular magnetization when heated by light beam irradiation. The magneto-optical recording medium according to claim 1, comprising: 【請求項４】 基板上に第１、第２及び第３の磁性層が
室温において交換結合して順次積層された構造を有し、
第１の磁性層は、周囲温度近傍の温度において第３の磁
性層に比べて相対的に磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度が
大きな磁性膜からなり、第２の磁性層は、第１の磁性層
および第３の磁性層よりもキュリー温度の低い磁性膜か
らなる請求項１に記載の光磁気記録媒体。4. A structure in which first, second and third magnetic layers are sequentially exchange-coupled and stacked at room temperature on a substrate,
The first magnetic layer is made of a magnetic film having a smaller domain wall coercive force and a larger domain wall mobility than the third magnetic layer at a temperature near the ambient temperature, and the second magnetic layer is made of the first magnetic layer. 2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, comprising a magnetic film having a lower Curie temperature than the layer and the third magnetic layer. 【請求項５】 基板上に第１、第２、第３の磁性層が順
次積層された構造を有し、第２の磁性層は室温以上に補
償温度を有する磁性体からなり、第２の磁性層は第３の
磁性層よりもキュリー温度の低い磁性膜からなる請求項
１に記載の光磁気記録媒体。5. A structure in which first, second, and third magnetic layers are sequentially laminated on a substrate, wherein the second magnetic layer is made of a magnetic material having a compensation temperature of room temperature or higher. 2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer comprises a magnetic film having a lower Curie temperature than the third magnetic layer.